技術(shù)總結(jié)
一種具有自重補償功能的光刻投影物鏡中透鏡支撐裝置屬于光刻投影物鏡制造領(lǐng)域，目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)存在的引入三葉像差和不對稱像差的問題。本發(fā)明包括內(nèi)鏡框、外鏡框和連接螺釘；所述內(nèi)鏡框上圓周均布多個圓柱形線性導向機構(gòu)，每個圓柱形線性導向機構(gòu)上設(shè)置有柔性支撐結(jié)構(gòu)，多個柔性支撐結(jié)構(gòu)的支撐面在同一水平面上；透鏡下表面通光孔徑外的支撐面分別與多個柔性支撐結(jié)構(gòu)膠結(jié)固定，所述內(nèi)鏡框和所述外鏡框通過連接螺釘固定，所述內(nèi)鏡框和外鏡框同軸。本發(fā)明的內(nèi)鏡框和外鏡框都可以由圓柱形鋼料加工，結(jié)構(gòu)緊湊，集成誤差??；最后，采用多個圓柱形線性導向機構(gòu)并聯(lián)，保證了透鏡支撐高度一致性，得到滿足光刻投影物鏡使用要求的高精度支撐面形。

技術(shù)研發(fā)人員：張德福;李顯凌;孫振;倪明陽;隋永新;楊懷江
受保護的技術(shù)使用者：中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
文檔號碼：201410427122
技術(shù)研發(fā)日：2014.08.26
技術(shù)公布日：2016.11.16