技術(shù)編號(hào)：11773325
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光刻投影物鏡制造領(lǐng)域，具體涉及一種具有自重補(bǔ)償功能的光刻投影物鏡中透鏡支撐裝置。背景技術(shù)光刻投影物鏡是超大/極大規(guī)模集成電路制造工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，近年來隨著集成電路線寬不斷減小，光刻投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光學(xué)元件面形精度的要求越來越高，需要對(duì)支撐時(shí)重力引起的透鏡面形進(jìn)行嚴(yán)格控制。為了保證透鏡使用狀態(tài)下面形精度均方根值優(yōu)于1nm的高精度指標(biāo)，需要考慮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、加工和裝調(diào)全過程。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)，考慮使用狀態(tài)下的支撐方式對(duì)重力變形的影響，分析加工和裝調(diào)過程中產(chǎn)生誤差對(duì)使用的影響。因此必須探索一種使...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。