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一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置制造方法

文檔序號:2713264閱讀:110來源:國知局
一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明實施例提供一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置,涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】,能夠直接對像素電極進行測試。該陣列基板,包括顯示區(qū)域,該顯示區(qū)域包括多個像素單元,像素單元又包括第一區(qū)域和第二區(qū)域,第一區(qū)域包括薄膜晶體管,第二區(qū)域包括像素電極。其中,多個第一區(qū)域中的至少一個為測試區(qū)域,在此情況下,第一區(qū)域還可以包括位于薄膜晶體管漏極表面的測試層。在測試時間,測試層與像素電極電連接;在非測試時間,測試層與像素電極絕緣。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。 一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置

【背景技術(shù)】
[0002] TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶體管-液晶顯 示器)作為一種平板顯示裝置,因其具有體積小、功耗低、無輻射以及制作成本相對較低等 特點,而越來越多地被應(yīng)用于高性能顯示領(lǐng)域當(dāng)中。
[0003] TFT-IXD由陣列基板和彩膜基板構(gòu)成。在陣列基板和彩膜基板中充入液晶,通過控 制液晶的偏轉(zhuǎn),從而實現(xiàn)對光線強弱的控制,然后通過彩膜基板的濾光作用,實現(xiàn)彩色圖像 顯示。其中,陣列基板通過Array(陣列基板制造)工藝制成。在實際生產(chǎn)過程中,陣列基 板會因為其制作環(huán)境或者工藝水平等因素的影響,使其出現(xiàn)Mura(斑痕)、暗點、色差等不 良現(xiàn)象,從而嚴(yán)重影響顯示器件的顯示效果。
[0004] 因此,當(dāng)出現(xiàn)上述不良現(xiàn)象時,可以通過探針對陣列基板上的像素電極進行檢測。 然而當(dāng)像素電極并非位于陣列基板各個層級結(jié)構(gòu)中的最上端時,探針無法對像素電極直接 進行測試?,F(xiàn)有技術(shù)中,可以對位于顯示面板周邊區(qū)域的測試端口進行測試。然而該測試端 口得到的數(shù)據(jù)并不能直接、真實的反映陣列基板實際的缺陷狀態(tài),從而降低了測試的精度, 對顯示裝置的質(zhì)量和顯示效果造成不利的影響。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的實施例提供一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置,能夠直接對像素電 極進行測試。
[0006] 為達到上述目的,本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案:
[0007] 本發(fā)明實施例的一方面,提供一種陣列基板,包括顯示區(qū)域,所述顯示區(qū)域包括多 個像素單元,所述像素單元包括第一區(qū)域和第二區(qū)域,所述第一區(qū)域包括薄膜晶體管,所述 第二區(qū)域包括像素電極;其特征在于,多個所述第一區(qū)域中的至少一個為測試區(qū)域,在此情 況下,所述第一區(qū)域還包括位于所述薄膜晶體管漏極表面的測試層;
[0008] 其中,在測試時間,所述測試層與所述像素電極電連接;
[0009] 在非測試時間,所述測試層與所述像素電極絕緣。
[0010] 本發(fā)明實施例的另一方面,提供一種顯示裝置,包括形成顯示區(qū)域的方法;所述顯 示區(qū)域包括多個像素單元,所述像素單元包括第一區(qū)域和第二區(qū)域,所述第一區(qū)域包括薄 膜晶體管,所述第二區(qū)域包括像素電極;其特征在于,當(dāng)多個所述第一區(qū)域中的至少一個為 測試區(qū)域時,形成所述第一區(qū)域的方法包括:
[0011] 在所述薄膜晶體管漏極的表面形成測試層;
[0012] 在測試時間,將所述測試層與所述像素電極電連接;
[0013] 在非測試時間,將所述測試層與所述像素電極絕緣。
[0014] 本發(fā)明實施例提供一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置,該陣列基板,包括顯示 區(qū)域,該顯示區(qū)域包括多個像素單元,像素單元又包括第一區(qū)域和第二區(qū)域,第一區(qū)域包括 薄膜晶體管,第二區(qū)域包括像素電極。其中,多個第一區(qū)域中的至少一個為測試區(qū)域,在此 情況下,第一區(qū)域還可以包括位于薄膜晶體管漏極表面的測試層。在測試時間,測試層與像 素電極電連接,以對陣列基板的特性進行測試;在非測試時間,測試層與像素電極絕緣。這 樣一來,可以在不影響陣列基板正常使用的前提下,通過測試探針直接對陣列基板上的像 素電極進行測試,從而能夠保證測試的準(zhǔn)確性,提高測試的精度及顯示產(chǎn)品的質(zhì)量和顯示 效果。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015] 為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本 發(fā)明的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以 根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016] 圖1為本發(fā)明實施例提供的一種陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017] 圖2為本發(fā)明實施例提供的另一種陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0018] 圖3為本發(fā)明實施例提供的一種TFT的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0019] 圖4為本發(fā)明實施例提供的另一種陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0020] 圖5為本發(fā)明實施例提供的一種陣列基板的制作方法流程圖;
[0021] 圖6為本發(fā)明實施例提供的另一種陣列基板的制作方法流程圖。

【具體實施方式】
[0022] 下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完 整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;?本發(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他 實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0023] 實施例一
[0024] 本發(fā)明實施例提供一種陣列基板,如圖1所示,包括顯示區(qū)域200(Active Area, 簡稱AA區(qū)域,即有效顯示區(qū)域),該顯示區(qū)域200包括多個像素單元201 (由橫縱交叉的柵 線2001和數(shù)據(jù)線2002交叉界定而成),像素單元201包括第一區(qū)域211和第二區(qū)域212。 上述第一區(qū)域211包括薄膜晶體管TFT10,第二區(qū)域212包括像素電極30。其中,多個第一 區(qū)域211中的至少一個為測試區(qū)域213 (如圖2所示),在此情況下,第一區(qū)域211還包括位 于TFT10漏極101表面的測試層40。
[0025] 其中,在測試時間,測試層40與像素電極30電連接。這樣一來,測試探針能夠通 過位于鈍化層20表面的過孔50與測試層40相接觸,并對像素電極30進行測試。
[0026] 在非測試時間,測試層40與像素電極30絕緣
[0027] 需要說明的是,上述測試時間具體是指,為了及時發(fā)現(xiàn)陣列基板制作存在的各種 不良,確保陣列基板的質(zhì)量,在Array工藝過程中或在Array工藝之后,需要對TFT陣列基 板的特性進行檢測。具體的,可以采用測試探針對陣列基板上的像素電極進行測試。因此 上述測試時間為測試探針對陣列基板進行特性測試的時間。通過上述測試可以對TFT基板 存在的缺陷例如Mura (斑痕)、暗點等不良現(xiàn)象進行檢出,從而提高顯示裝置的質(zhì)量及其顯 示效果。當(dāng)檢測結(jié)束后,該陣列基板將進入后續(xù)的制作工序以最終形成顯示面板,這時該測 試層40可以與像素電極30絕緣以確保陣列基板可以正常使用,因此,在制作過程中,除了 上述測試時間以外的其它時間為非測試時間。
[0028] 需要說明的是,上述TFT可以如圖3所示,包括依次位于透明基板01表面的柵極 102、柵極絕緣層103、半導(dǎo)體有源層104和摻雜半導(dǎo)體層105,以及位于該摻雜半導(dǎo)體層105 表面的源極106。當(dāng)然上述僅僅是對TFT結(jié)構(gòu)的舉例說明,其他類型的TFT結(jié)構(gòu)在此不再 一一贅述,但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護范圍。
[0029] 本發(fā)明實施例提供一種陣列基板,該陣列基板,包括顯示區(qū)域,該顯示區(qū)域包括多 個像素單元,像素單元又包括第一區(qū)域和第二區(qū)域,第一區(qū)域包括薄膜晶體管,第二區(qū)域包 括像素電極。其中,多個第一區(qū)域中的至少一個為測試區(qū)域,在此情況下,第一區(qū)域還可以 包括位于薄膜晶體管漏極表面的測試層。在測試時間,測試層與像素電極電連接,以對陣列 基板的特性進行測試;在非測試時間,測試層與像素電極絕緣。這樣一來,可以在不影響陣 列基板正常使用的前提下,通過測試探針直接對陣列基板上的像素電極進行測試,從而能 夠保證測試的準(zhǔn)確性,提高測試的精度及顯示產(chǎn)品的質(zhì)量和顯示效果。
[0030] 需要說明的是,如圖2所示,與TFT的漏極101相連接的像素電極30可以位于該 TFT10漏極101遠離鈍化層20的一側(cè)表面。這樣一來,像素電極30與TFT10的漏極101連 接處薄膜層的斷差較小,從而可以防止由于薄膜層斷差較大而易造成薄膜層斷裂的現(xiàn)象產(chǎn) 生。
[0031] 實施例二
[0032] 多個上述測試區(qū)域213可以均勻分布于該陣列基板上。例如在陣列基板上均勻分 布16個測試區(qū)域213,每個測試區(qū)域213對應(yīng)一個像素單元201的第一區(qū)域211,則該第一 區(qū)域211中包括位于TFT10漏極101表面的測試層40。其它未設(shè)置測試層40的第一區(qū)域 101不具備測試功能。這樣一來,通過上述16個測試區(qū)域可以對與之相對應(yīng)的像素單元201 中的像素電極30進行測試,并對測試結(jié)果進行對比分析,根據(jù)測試結(jié)果之間的區(qū)別特征對 陣列基板出現(xiàn)的缺陷進行確認。由于,上述測試區(qū)域213均勻分布,因此能夠更好的掌握整 個陣列基板的特性。并且,通過上述測試方法,經(jīng)過多次測試后可以發(fā)現(xiàn)陣列基板上容易出 現(xiàn)缺陷的位置,從而能夠針對性的對生產(chǎn)工藝、環(huán)境等加工條件進行改進。
[0033] 實施例三
[0034] 測試區(qū)域213可以分布于陣列基板的四個角。需要說明的是,上述陣列基板的四 個角,具體是指,假設(shè)陣列基板為矩形,那么上述四個角可以是指該矩形的四個角。其中,陣 列基板的每個角所在區(qū)域?qū)?yīng)至少一個像素單元201。這樣一來,對于一些容易在邊角位置 出現(xiàn)缺陷的陣列基板,可以只對上述容易出現(xiàn)缺陷的位置進行測試,而無需對整個陣列基 板測試。從而能夠減小測試的時間和工序,提高生產(chǎn)效率。
[0035] 或者,
[0036] 上述測試區(qū)域213可以位于陣列基板的中心區(qū)域。其中上述中心區(qū)域只是位于整 個陣列基板中央位置的區(qū)域,該中心區(qū)域包括至少一個像素單元201。由于,采用上述陣列 基板構(gòu)成的顯示面板在顯示的過程中,用戶的視線大多情況下會停留于上述顯示面板的中 央位置。因此,中央位置的顯示缺陷會大大降低顯示效果。所以可以通過將測試區(qū)域213 設(shè)置于陣列基板的中心區(qū)域,以便對上述位置出現(xiàn)的缺陷進行檢出。
[0037] 當(dāng)然上述僅僅是對多個測試區(qū)域213在陣列基板上的分布情況的舉例說明,其它 分布方式在此不再一一贅述,但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護范圍。
[0038] 進一步地,測試層40可以由金屬氧化物半導(dǎo)體材料例如:IGZ0(In-Ga-Zn-0)、 ITZO (In-Sn-Zn-0)、ITGO (In-Sn-Ga-0)、ZnON、ZnO等構(gòu)成。由于金屬氧化物半導(dǎo)體材料通 過氫化處理后可以成為導(dǎo)體,而通過氧化處理后可以成為絕緣體。因此當(dāng)測試層40采用金 屬氧化物半導(dǎo)體材料構(gòu)成的情況下,在對陣列基板進行測試時,可以對測試層40進行氫化 處理,以使得測試層40具有導(dǎo)電性能,從而可以通過TFT的漏極101與像素電極30電連接, 以實現(xiàn)測試探針對像素電極30進行直接測試。在非測試時間,可以對測試層40進行氧化 處理,使得測試層40具有絕緣性能,從而能夠保證陣列基板在非測試時間能夠正常使用。
[0039] 進一步地,如圖4所示,公共電極60可以位于鈍化層20的表面。其中,公共 電極60如圖所示為狹縫狀,像素電極30為平板狀,以形成HADS(High Advanced-Super Dimensional Switching,簡稱為HADS,高開口率高級超維場開關(guān))型顯示裝置。這樣,設(shè)置 于陣列基板上的相互平行的公共電極60和像素電極30,通過該公共電極60和像素電極30 之間的水平電場來驅(qū)動面板內(nèi)切換模式的液晶。水平電場液晶顯示器具有約160°的寬視 角的優(yōu)點。
[0040] 具體的,HADS模式是平面電場寬視角核心技術(shù),其核心技術(shù)特性描述為:通過同 一平面內(nèi)狹縫電極(公共電極60)邊緣所產(chǎn)生的電場以及狹縫電極層與板狀電極層(像素 電極30)間產(chǎn)生的電場形成多維電場,使液晶盒內(nèi)狹縫電極間、電極正上方所有取向液晶 分子都能夠產(chǎn)生旋轉(zhuǎn),從而提高了液晶工作效率并增大了透光效率。HADS模式的開關(guān)技術(shù) 可以提高TFT-IXD產(chǎn)品的畫面品質(zhì),具有高分辨率、高透過率、低功耗、寬視角、高開口率、 低色差、無擠壓水波紋(push Mura)等優(yōu)點。
[0041] 本發(fā)明實施例提供一種顯示裝置,包括如上所述的任意一種陣列基板。具有與本 發(fā)明前述實施例提供的陣列基板相同的有益效果,由于陣列基板在前述實施例中已經(jīng)進行 了詳細說明,此處不再贅述。
[0042] 上述顯示裝置具體至少可以包括液晶顯示裝置和有機發(fā)光二極管顯示裝置,例如 該顯示裝置可以為液晶顯示器、液晶電視、數(shù)碼相框、手機或平板電腦等任何具有顯示功能 的產(chǎn)品或者部件。
[0043] 本發(fā)明實施例提供一種顯示裝置,包括陣列基板。該陣列基板,包括顯示區(qū)域,該 顯示區(qū)域包括多個像素單元,像素單元又包括第一區(qū)域和第二區(qū)域,第一區(qū)域包括薄膜晶 體管,第二區(qū)域包括像素電極。其中,多個第一區(qū)域中的至少一個為測試區(qū)域,在此情況下, 第一區(qū)域還可以包括位于薄膜晶體管漏極表面的測試層。在測試時間,測試層與像素電極 電連接,以對陣列基板的特性進行測試;在非測試時間,測試層與像素電極絕緣。這樣一來, 可以在不影響陣列基板正常使用的前提下,通過測試探針直接對陣列基板上的像素電極進 行測試,從而能夠保證測試的準(zhǔn)確性,提高測試的精度及顯示產(chǎn)品的質(zhì)量和顯示效果。
[0044] 本發(fā)明實施例提供一種陣列基板的制作方法,包括形成顯示區(qū)域200的方法。該 顯示區(qū)域200包括多個像素單元201 (由橫縱交叉的柵線2001和數(shù)據(jù)線2002交叉界定而 成)。像素單元201包括第一區(qū)域211和第二區(qū)域212。上述第一區(qū)域211包括薄膜晶體 管TFT10,第二區(qū)域212包括像素電極30。其中,當(dāng)多個第一區(qū)域211中的至少一個為測試 區(qū)域213時,形成上述第一區(qū)域211的方法,如圖5所示,包括:
[0045] S101、在薄膜晶體管TFT漏極101的表面形成測試層40。
[0046] S102、在測試時間,將測試層40與像素電極30電連接;以使得測試探針能夠?qū)ο?素電極30進行測試。
[0047] S103、在非測試時間,將測試層40與像素電極30絕緣。
[0048] 需要說明的是,上述測試時間具體是指,為了及時發(fā)現(xiàn)陣列基板制作存在的各種 不良,確保陣列基板的質(zhì)量,在Array工藝過程中或在Array工藝之后,需要對TFT陣列基 板的特性進行檢測。具體的,可以采用測試探針對陣列基板上的像素電極進行測試。因此 上述測試時間為測試探針對陣列基板進行特性測試的時間。通過上述測試可以對TFT基板 存在的缺陷例如Mura (斑痕)、暗點等不良現(xiàn)象進行檢出,從而提高顯示裝置的質(zhì)量及其顯 示效果。當(dāng)檢測結(jié)束后,該陣列基板將進入后續(xù)的制作工序以最終形成顯示面板,這時該測 試層40可以與像素電極30絕緣以確保陣列基板可以正常使用,因此,在制作過程中,除了 上述測試時間以外的其它時間為非測試時間。因此,在制作過程中,除了上述測試時間以外 的其它時間為非測試時間。所以,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際生產(chǎn)加工的需要,對上述步 驟S102和步驟S103的順序進行調(diào)整。
[0049] 需要說明的是,在通過上述步驟S101形成測試層40之后,測試工序進行之前,該 陣列基板的制作方法,如圖6所示,可以包括:
[0050] S201、在形成有測試層40圖案的基板表面形成鈍化層20的圖案。
[0051] S202、在鈍化層20圖案的表面對應(yīng)測試層40圖案的位置通過構(gòu)圖工藝形成過孔 50 〇
[0052] 需要說明的是,在本發(fā)明中,構(gòu)圖工藝,可指包括光刻工藝,或,包括光刻工藝以及 刻蝕步驟,同時還可以包括打印、噴墨等其他用于形成預(yù)定圖形的工藝;光刻工藝,是指包 括成膜、曝光、顯影等工藝過程的利用光刻膠、掩模板、曝光機等形成圖形的工藝。可根據(jù)本 發(fā)明中所形成的結(jié)構(gòu)選擇相應(yīng)的構(gòu)圖工藝。
[0053] 本發(fā)明實施例提供一種陣列基板的制作方法,包括形成薄膜晶體管TFT的方法還 包括在顯示區(qū)域的方法。該顯示區(qū)域包括多個像素單元。像素單元包括第一區(qū)域和第二區(qū) 域。上述第一區(qū)域包括薄膜晶體管,第二區(qū)域包括像素電極。其中,當(dāng)多個第一區(qū)域中的至 少一個為測試區(qū)域時,形成上述第一區(qū)域的方法包括:在薄膜晶體管漏極的表面形成測試 層。在測試時間,將測試層與像素電極電連接,以對陣列基板的特性進行測試;在非測試時 間,將測試層與像素電極絕緣。這樣一來,可以在不影響陣列基板正常使用的前提下,通過 測試探針直接對陣列基板上的像素電極進行測試,從而能夠保證測試的準(zhǔn)確性,提高測試 的精度及顯示產(chǎn)品的質(zhì)量和顯示效果。
[0054] 進一步地,測試層40由金屬氧化物半導(dǎo)體材料例如:IGZ0 (In-Ga-Zn-Ο)、 ITZO(In-Sn-Zn-O)、ITG0(In-Sn-Ga-0)、Ζη0Ν、Ζη0等構(gòu)成。這樣一來,金屬氧化物半導(dǎo)體材 料通過氫化處理后可以成為導(dǎo)體,而通過氧化處理后可以成為絕緣體。從而可以在不同的 制作階段(測試時間或非測試時間)對金屬氧化物半導(dǎo)體材料進行相對應(yīng)的工藝處理,以 滿足制作需要。
[0055] 進一步地,當(dāng)測試層40由金屬氧化物半導(dǎo)體材料構(gòu)成時,上述步驟S102可以包 括:
[0056] 對測試層40進行氫化處理,以使得測試層40具有導(dǎo)電性能,從而可以通過TFT的 漏極101與像素電極30電連接,以實現(xiàn)測試探針對像素電極30進行直接測試。
[0057] 進一步地,當(dāng)測試層40由金屬氧化物半導(dǎo)體材料構(gòu)成時,上述步驟S103可以包 括:
[0058] 對測試層40進行氧化處理,使得測試層40具有絕緣性能,從而能夠保證陣列基板 在非測試時間能夠正常使用。
[0059] 以上所述,僅為本發(fā)明的【具體實施方式】,但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此,任何 熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi),可輕易想到變化或替換,都應(yīng)涵 蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此,本發(fā)明的保護范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種陣列基板,包括顯示區(qū)域,所述顯示區(qū)域包括多個像素單元,所述像素單元包括 第一區(qū)域和第二區(qū)域,所述第一區(qū)域包括薄膜晶體管,所述第二區(qū)域包括像素電極;其特征 在于,多個所述第一區(qū)域中的至少一個為測試區(qū)域,在此情況下,所述第一區(qū)域還包括位于 所述薄膜晶體管漏極表面的測試層; 其中,在測試時間,所述測試層與所述像素電極電連接; 在非測試時間,所述測試層與所述像素電極絕緣。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板,其特征在于,多個所述測試區(qū)域均勻分布。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述測試區(qū)域分布于所述陣列基板 的四個角。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的陣列基板,其特征在于,所述測試區(qū)域位于所述陣列基板 的中心區(qū)域。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述測試層由金屬氧化物半導(dǎo)體材 料構(gòu)成。
6. -種顯示裝置,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-5任一項所述的陣列基板。
7. -種陣列基板的制作方法,包括形成顯示區(qū)域的方法;所述顯示區(qū)域包括多個像素 單元,所述像素單元包括第一區(qū)域和第二區(qū)域,所述第一區(qū)域包括薄膜晶體管,所述第二區(qū) 域包括像素電極;其特征在于,當(dāng)多個所述第一區(qū)域中的至少一個為測試區(qū)域時,形成所述 第一區(qū)域的方法包括: 在所述薄膜晶體管漏極的表面形成測試層; 在測試時間,將所述測試層與所述像素電極電連接; 在非測試時間,將所述測試層與所述像素電極絕緣。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述測試層由金屬氧化 物半導(dǎo)體材料構(gòu)成。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述在測試時間,將所述 測試層與所述像素電極電連接的方法包括: 對所述測試層進行氫化處理,以使得所述測試層具有導(dǎo)電性能。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述在非測試時間,將 所述測試層與所述像素電極絕緣的方法包括: 對所述測試層進行氧化處理,以使得所述測試層具有絕緣性能。
【文檔編號】G02F1/1368GK104091804SQ201410267799
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年6月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月16日
【發(fā)明者】黎午升, 曹占鋒 申請人:京東方科技集團股份有限公司
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