一種防干燥液供給系統(tǒng)及涂布設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種防干燥液供給系統(tǒng)和一種涂布設(shè)備。所述防干燥液供給系統(tǒng)，包括第一通路、第二通路、與所述第一通路連接的第一防干燥槽、與所述第二通路連接的第二防干燥槽、連通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及與所述第一通路和第二通路連接的流量控制單元。其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制單元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替導(dǎo)通。所述涂布設(shè)備還包括與所述第一防干燥槽對應(yīng)設(shè)置的第一噴吐頭、與所述第二防干燥槽對應(yīng)設(shè)置的第二噴吐頭。本發(fā)明的防干燥液供給系統(tǒng)和涂布設(shè)備，能在保證提高產(chǎn)能的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)對兩個(gè)防干燥槽進(jìn)行加液，從而對暫不工作的噴吐頭進(jìn)行保養(yǎng)。
【專利說明】一種防干燥液供給系統(tǒng)及涂布設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種防干燥液供給系統(tǒng)及涂布設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)前，在液晶面板的生產(chǎn)過程中，需要經(jīng)過各種工藝流程完成相關(guān)器件的制造，其中，常用的制造薄膜晶體管液晶顯示器(thin film transistor liquid crystaldisplay, TFT-1XD)面板的工藝包括曝光工藝。針對曝光工藝，通常需要在曝光之前先涂布光刻膠以形成特定圖案后，再進(jìn)行曝光?，F(xiàn)有技術(shù)采用HCT (head coater，涂布機(jī))或者狹縫式涂布機(jī)(slit coater)來涂布光刻膠,如圖1所示。涂布機(jī)包括左右兩個(gè)工作頭(head,也稱噴吐頭)，在正常生產(chǎn)過程中，左headl和右head2同時(shí)處于待機(jī)狀態(tài)。涂布機(jī)會(huì)在被調(diào)用相關(guān)指令時(shí)，根據(jù)特定的指令程序(recipe)中設(shè)定的各種參數(shù)值，來啟用左headl或右head2進(jìn)行涂布。
[0003]然而，在實(shí)際使用中，右head2的使用頻次極低，例如平均只有2天/月。在右head2在待機(jī)過程中，需要每隔600s對它進(jìn)行一次清潔、空噴、排氣泡、補(bǔ)充防干燥液等動(dòng)作，以對右head2進(jìn)行保養(yǎng)，同時(shí)使正常工作的左headl暫停工作，一次保養(yǎng)時(shí)長約120s。保養(yǎng)時(shí)，右head2會(huì)下沉浸入到右head2下方的防干燥液槽(圖1中未不出),待需要工作時(shí)才會(huì)上升到待涂布的基板4上方，沿著基板4兩側(cè)的導(dǎo)軌3運(yùn)動(dòng)，對基板4進(jìn)行涂布。同樣，當(dāng)右head2工作而左headl待機(jī)時(shí)，也需每隔600s對左head進(jìn)行一次清潔、空噴、排氣泡、補(bǔ)充防干燥液等動(dòng)作，以對左headl進(jìn)行保養(yǎng)，同時(shí)使正常工作的右head2暫停工作。這樣一來就會(huì)造成產(chǎn)能損失。據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，采用上述工作模式，使左右兩個(gè)工作頭同時(shí)處于待機(jī)狀態(tài)，產(chǎn)能損失16%。因此為了提高產(chǎn)能，可以將不工作的右head2 (或者左headl)切換到停止?fàn)顟B(tài)。
[0004]然而這又產(chǎn)生了另一個(gè)問題。以將右head2切換到停止?fàn)顟B(tài)為例，一旦將右head2切換到停止?fàn)顟B(tài)，給右head2和相應(yīng)藥液管路填充防干燥液的操作也會(huì)全部停止；可是如前所說，任意一側(cè)的head都是需要保養(yǎng)的，那么就需要人為地定期給右head2的防干燥槽手動(dòng)補(bǔ)充防干燥液。那么存在以下幾方面問題:
[0005]1、防干燥液無法及時(shí)補(bǔ)充到位，降低了右head2的保護(hù)效果，導(dǎo)致右head2在涂布時(shí)，精度和穩(wěn)定性降低；
[0006]2、防干燥液的揮發(fā)性極強(qiáng)，保養(yǎng)和檢查頻率很高，工程師的勞動(dòng)量大大增加了。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有技術(shù)中在保證涂布機(jī)產(chǎn)能提高的同時(shí)，不能有效對兩側(cè)的防干燥槽加液以實(shí)現(xiàn)保養(yǎng)。
[0008]為解決以上問題，本發(fā)明提供了一種防干燥液供給系統(tǒng)和一種涂布設(shè)備。具體地，本發(fā)明提供的一種防干燥液供給系統(tǒng)，包括第一通路、第二通路、與所述第一通路連接的第一防干燥槽、與所述第二通路連接的第二防干燥槽、連通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及與所述第一通路和第二通路連接的流量控制單元。其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制單元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替導(dǎo)通。
[0009]本發(fā)明提供的一種涂布設(shè)備，包括上述任意一種防干燥液供給系統(tǒng)、以及與所述第一防干燥槽對應(yīng)設(shè)置的第一噴吐頭、與所述第二防干燥槽對應(yīng)設(shè)置的第二噴吐頭，其中，在任意時(shí)刻使所述第一噴吐頭或者第二噴吐頭中任一處于工作模式，另一處于休息模式。
[0010]采用本發(fā)明的防干燥液供給系統(tǒng)和涂布設(shè)備，能在保證提高產(chǎn)能的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)對任意一側(cè)的防干燥槽進(jìn)行加液，從而對暫不工作的噴吐頭進(jìn)行保養(yǎng)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中涂布機(jī)的俯視不意圖；
[0012]圖2a是本發(fā)明實(shí)施例一所述供給系統(tǒng)的示意圖；
[0013]圖2b是本發(fā)明實(shí)施例一所述供給系統(tǒng)的另一示意圖；
[0014]圖3是本發(fā)明實(shí)施例二所述供給系統(tǒng)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。
[0016]在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。
[0017]實(shí)施例一
[0018]本實(shí)施例提供了一種防干燥液供給系統(tǒng)，如圖2a所示，所述系統(tǒng)包括第一通路
10、第二通路20、與第一通路10連接的第一防干燥槽11、與第二通路20連接的第二防干燥槽21、連通第一通路10和第二通路20的第三通路30、以及與第一通路10和第二通路20連接的流量控制單元40。其中，第一防干燥槽11和第二防干燥槽21用于盛放防干燥液，流量控制單元40用于控制第一通路10和第二通路20交替導(dǎo)通。
[0019]這里的第一防干燥槽11可以與涂布機(jī)的左head對應(yīng)，用于在左head不工作時(shí)浸入其中以對其進(jìn)行保養(yǎng)；第二防干燥槽21可以與涂布機(jī)的右左head對應(yīng)，用于在右head不工作時(shí)浸入其中對其進(jìn)行保養(yǎng)。
[0020]在任意時(shí)刻，流量控制單元40會(huì)對所示系統(tǒng)進(jìn)行控制，使得第一通路10和第二通路20中僅有一條通路有防干燥液流經(jīng)。當(dāng)流量控制單元40控制第一通路10導(dǎo)通時(shí)，如圖2a所示，流經(jīng)第一通路10的防干燥液一部分流至第一防干燥槽11，另一部分通過第三通路30流至述第二防干燥槽21。當(dāng)流量控制單元40控制第二通路20導(dǎo)通時(shí)，如圖2b所示，流經(jīng)第二通路20的防干燥液一部分流至第二防干燥槽21，另一部分通過第三通路30流至第一防干燥槽11。
[0021]配合噴吐頭的工作模式，可以使所述左head工作且所述右head不工作時(shí)，通過控制流量控制單元40，使防干燥液只流向第一通路10，那么除了與第一通路10連接的第一防干燥槽11能夠及時(shí)被供給到防干燥液之外，第二防干燥槽21也可以通過第三通路30得到補(bǔ)液。同理，當(dāng)所述右head工作且所述左head不工作時(shí)，通過控制流量控制單元40，使防干燥液只流向第二通路20，那么除了與第二通路20連接的第二防干燥槽21能夠及時(shí)被供給到防干燥液之外，第一防干燥槽11也可以通過第三通路30得到補(bǔ)液。這樣就可以實(shí)現(xiàn)在一側(cè)工作頭(例如所述右head)工作效率極低的情況下，能夠?qū)⒅袚Q到停止?fàn)顟B(tài)，同時(shí)也保證另一側(cè)的工作頭(例如所述左head)的防干燥槽也能得到補(bǔ)液的結(jié)果，實(shí)現(xiàn)在提高產(chǎn)能的情況下不影響工作頭的保養(yǎng)的目的。
[0022]本實(shí)施例對流量控制單元40的具體結(jié)構(gòu)不做限定，只要能夠?qū)崿F(xiàn)本實(shí)施例中控制第一通路10和第二通路20交替導(dǎo)通，使得在任意時(shí)刻防干燥液能通過其中的一個(gè)通路流至第一防干燥槽11和第二防干燥槽21即可。
[0023]需要說明的是，圖2僅是為便于理解對本實(shí)施例進(jìn)行說明采用的示意圖，并不代表實(shí)際管道的排布或者結(jié)構(gòu)的設(shè)置，因此不應(yīng)以圖2顯示的具體結(jié)構(gòu)作為對本實(shí)施例技術(shù)方案形成的限制。
[0024]實(shí)施例二
[0025]本實(shí)施例是在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上形成的，與實(shí)施例一的區(qū)別在于本實(shí)施例中，如圖3所示，流量控制單元40具體地可以包括第一控制閥41和第二控制閥42，第一控制閥41與第一通路10連接，第二控制閥42與第二通路20連接，第一控制閥41用于控制所述第一通路10導(dǎo)通或關(guān)閉，第二控制閥42用于控制第二通路20導(dǎo)通或者關(guān)閉。
[0026]本實(shí)施例對流量控制單元40的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行一種擴(kuò)展，第一控制閥41可以控制第一通路10在導(dǎo)通和關(guān)閉兩種狀態(tài)下切換；第二控制閥42則可以控制第二通路20在導(dǎo)通和關(guān)閉兩種狀態(tài)下切換，從而使得流量控制單元40能夠在任一時(shí)刻控制第一通路10和第二通路20中只有一條通路導(dǎo)通。需要說明的是，這里流量控制單元40既可以采用手動(dòng)的方式來分別控制第一控制閥41或者第二控制閥42導(dǎo)通與否，也可以通過調(diào)用系統(tǒng)中的指令模塊，或者調(diào)用流量控制單元40中的指令模塊，或者其他指令來實(shí)現(xiàn)這種控制，因此本實(shí)施例對流量控制單元40的控制方式，即手動(dòng)控制還是自動(dòng)控制，不做限定。
[0027]進(jìn)一步優(yōu)選的，第一控制閥41除了具有“開”或“關(guān)”的功能之外，還可以具有調(diào)節(jié)流量大小的功能，也即第一控制閥41可以用于控制流經(jīng)第一通路10中的防干燥液的流量；同理，第二控制閥42也可以是具有調(diào)節(jié)流量大小功能的控制閥，用于控制流經(jīng)第二通路20中的防干燥液的流量。
[0028]使用了本實(shí)施例的系統(tǒng)，能夠?qū)Ψ栏稍镆旱牧髁堪葱枰M(jìn)行調(diào)整，使得滿足特定的需要，更有效地對防干燥液的供給進(jìn)行控制。例如可以針對不同揮發(fā)度的防干燥液，通過調(diào)節(jié)上述第一控制閥或者第二控制閥，控制補(bǔ)液的速度，或者控制補(bǔ)液的量，或者其他，從而達(dá)到任何種類的防干燥液都能及時(shí)地被供給到兩側(cè)的防干燥槽，不受防干燥液之間揮發(fā)性差別的限制。
[0029]更進(jìn)一步的，如圖3所示，所述防干燥液供給系統(tǒng)還可以包括與第三通路30連接的第三控制閥43，第三控制閥43用于控制流經(jīng)第三通路30的防干燥液的流量。由于通常情況下，處于休息模式下的工作頭，以所述右head為例，沉降在與其對應(yīng)設(shè)置的第二防干燥槽21的上方，第二防干燥槽21內(nèi)的防干燥液的揮發(fā)速度相對于第一防干燥槽11內(nèi)的防干燥液的揮發(fā)速度較慢，故增設(shè)第三控制閥43有助于調(diào)節(jié)左右兩側(cè)防干燥槽的防干燥液供給比例，實(shí)現(xiàn)相對資源的最優(yōu)配置。[0030]例如當(dāng)所述左head工作且所述右head休息時(shí),流量控制單元40通過控制第一控制閥41導(dǎo)通且第二控制閥42關(guān)閉，使得防干燥液通過第一通路10被供給到左右兩個(gè)防干燥槽中(也即補(bǔ)液或加液)。因?yàn)樗鲎骽ead在工作，因此與左head對應(yīng)的第一防干燥槽11內(nèi)的防干燥液揮發(fā)得更快，與右head對應(yīng)的第二防干燥槽21內(nèi)的防干燥液揮發(fā)得相對較慢，那么控制第三控制閥43，使供給到第一防干燥槽11的防干燥液多于供給到第二防干燥槽21的防干燥液，從而使得兩個(gè)防干燥槽內(nèi)的液體的量相對一致。而當(dāng)所述左head休息且所述右head工作時(shí)，情況剛好相反，那么通過調(diào)節(jié)第三控制閥43，使得供給到第二防干燥槽21的防干燥液多于供給到第一防干燥槽11的防干燥液，從而再次使得兩個(gè)防干燥槽內(nèi)的液體的量相對一致。如此，無論哪側(cè)的工作頭工作，都可以通過進(jìn)一步調(diào)節(jié)第三控制閥43進(jìn)行資源的合理配置。
[0031 ] 優(yōu)選的，流量控制單元40還包括與第一控制閥41連接的第一流量計(jì)51，與第二控制閥42連接的第二流量計(jì)52，與第三控制閥43連接的第三流量計(jì)53其中的一個(gè)或多個(gè)，第一流量計(jì)51可以用于檢測流經(jīng)第一通路10的防干燥液的流量，第二流量計(jì)52可以用于檢測流經(jīng)第二通路20的防干燥液的流量，第三流量計(jì)53可以用于檢測流經(jīng)第三通路30的防干燥液的流量。
[0032]圖3中顯示了流量控制系統(tǒng)40同時(shí)包括了第一流量計(jì)51、第二流量計(jì)52、第三流量計(jì)53的情況，但是這并不是必須的，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)需要和喜好，只保留其中的一個(gè)流量計(jì)或者兩個(gè)。這些流量計(jì)便于本系統(tǒng)的操作人員更好地知悉各個(gè)通路內(nèi)流經(jīng)的防干燥液的流量，從而更好地控制本系統(tǒng)。另外，本實(shí)施例也不對每個(gè)流量計(jì)具體接在所在通路中的位置進(jìn)行限定，只要是連接在各自的通路中，能夠檢測出所在通路中防干燥液的流量即可。例如第三流量計(jì)53既可以連接在第三控制閥43與第一通路10之間，也可以連接在第三控制閥43與第二通路20之間。
[0033]優(yōu)選的，在實(shí)施例一或者實(shí)施例二中的防干燥液供給系統(tǒng)中，第一防干燥槽11或者第二防干燥槽21還可以包括溢流管，以防止供給到第一防干燥槽11或者第二防干燥槽21中的防干燥液過量而溢出。
[0034]實(shí)施例三
[0035]本實(shí)施例是在前面兩個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上得到的。本實(shí)施例公開了一種涂布設(shè)備，尤其是光刻膠的涂布設(shè)備，所述設(shè)備包括上述任意一種實(shí)施例中公開的防干燥液供給系統(tǒng)，還包括與所述第一防干燥槽對應(yīng)設(shè)置的第一噴吐頭、與所述第二防干燥槽對應(yīng)設(shè)置的第二噴吐頭。其中，在任意時(shí)刻使所述第一噴吐頭或者第二噴吐頭中任一處于工作模式，另一處于休息模式。具體地，所述涂布設(shè)備在所述第一噴吐頭處于工作模式且所述第二噴吐頭處于休息模式下，所述防干燥液可以通過所述第一通路被提供給所述第一防干燥槽以及第二防干燥槽；在所述第二噴吐頭處于工作模式且所述第一噴吐頭處于休息模式下，所述防干燥液可以通過所述第二通路被提供給所述第二防干燥槽以及第一防干燥槽。
[0036]當(dāng)所述第一噴吐頭處于工作模式且使所述第二噴吐頭處于休息模式，通過控制所述流量控制單元，使防干燥液只流向所述第一通路，那么除了與所述第一通路連接的所述第一防干燥槽能夠及時(shí)被供給到防干燥液之外，所述第二防干燥槽也可以通過所述第三通路得到補(bǔ)液。同理，當(dāng)所述第二噴吐頭處于工作模式且所述第一噴吐頭處于休息模式時(shí)，通過控制所述流量控制單元，使防干燥液只流向所述第二通路，那么與所述第二通路連接的所述第二防干燥槽能夠及時(shí)被供給到防干燥液之外，所述第一防干燥槽也可以通過所述第三通路得到補(bǔ)液。這樣就可以實(shí)現(xiàn)在一側(cè)噴吐頭(工作頭head)工作效率極低的情況下，能夠?qū)⒅袚Q到停止?fàn)顟B(tài)，同時(shí)也保證另一側(cè)的噴吐頭的防干燥槽也能得到補(bǔ)液的結(jié)果，實(shí)現(xiàn)在提高產(chǎn)能的情況下不影響所述涂布設(shè)備及其防干燥液供給系統(tǒng)的保養(yǎng)的目的。
[0037]因此，所述涂布設(shè)備的流量控制單元需要對某一時(shí)刻處于導(dǎo)通狀態(tài)下的通路的總流量進(jìn)行控制，使得流經(jīng)所述第一通路或者流經(jīng)所述第二通路中的防干燥液的流量為流至所述第一防干燥槽和流至所述第二防干燥槽的流量的總和。例如，當(dāng)所述第一噴吐頭處于工作模式下，所述第二噴吐頭處于休息模式，所述第一通路導(dǎo)通，所述第二通路關(guān)閉，防干燥液通過所述第一通路流至所述第一防干燥槽，并通過所述第三通路流至所述第二防干燥槽，流經(jīng)所述第一通路的防干燥液的流量為流至所述第一防干燥槽和流至所述第二防干燥槽的流量的總和。反之，當(dāng)所述第二噴吐頭處于工作模式下，所述第一噴吐頭處于休息模式，所述第二通路導(dǎo)通，所述第一通路關(guān)閉，防干燥液通過所述第二通路流至所述第二防干燥槽，并通過所述第三通路流至所述第一防干燥槽，流經(jīng)所述第二通路的防干燥液的流量為流至所述第一防干燥槽和流至所述第二防干燥槽的流量的總和。
[0038]需要說明的是，本發(fā)明各實(shí)施例中，所述“連接”可以是直接連接，也可以是間接連接，只要不對流量的大小造成影響，不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)即可。例如，所述第一通路可以和所述第一防干燥槽在物理上可以是直接連接，也可以間接連接；同樣，所述第二通路可以和所述第二防干燥槽在物理上可以是直接連接，也可以間接連接；在此不窮盡列舉。本發(fā)明中所述的第一控制閥、第二控制閥、第三控制閥是指可以對流動(dòng)液體的流量進(jìn)行控制的器件，所述流動(dòng)液體在這些閥的控制下可能呈現(xiàn)全部通過相應(yīng)的通道或者全部不能通過，或者根據(jù)這些閥的開閉程度部分通過通道，這些閥的開閉能夠?qū)σ后w的流速進(jìn)行控制即可，在此不對這些閥的種類做限定。
[0039]需要說明的是，以上實(shí)施例可以互相借鑒、綜合使用。本發(fā)明雖然已以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出可能的變動(dòng)和修改，因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種防干燥液供給系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括第一通路、第二通路、與所述第一通路連接的第一防干燥槽、與所述第二通路連接的第二防干燥槽、連通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及與所述第一通路和第二通路連接的流量控制單元，其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制單元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替導(dǎo)通。
2.如權(quán)利要求1所述的防干燥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述第一通路導(dǎo)通時(shí)，流經(jīng)所述第一通路的防干燥液一部分流至所述第一防干燥槽，另一部分通過所述第三通路流至所述第二防干燥槽；所述第二通路導(dǎo)通時(shí)，流經(jīng)所述第二通路的防干燥液一部分流至所述第二防干燥槽，另一部分通過所述第三通路流至所述第一防干燥槽。
3.如權(quán)利要求1所述的防干燥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述流量控制單元包括第一控制閥和第二控制閥，所述第一控制閥與所述第一通路連接，所述第二控制閥與所述第二通路連接，所述第一控制閥用于控制所述第一通路導(dǎo)通或關(guān)閉，所述第二控制閥用于控制所述第二通路導(dǎo)通或者關(guān)閉。
4.如權(quán)利要求3所述的防干燥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述第一控制閥用于控制流經(jīng)所述第一通路中的防干燥液的流量；所述第二控制閥用于控制流經(jīng)所述第二通路中的防干燥液的流量。
5.如權(quán)利要求3所述的防干燥液供給系統(tǒng)，其特征在于，還包括與所述第三通路連接的第三控制閥，所述第三控制閥用于控制流經(jīng)所述第三通路的防干燥液的流量。
6.如權(quán)利要求5所述的防干燥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述流量控制單元還包括與所述第一控制閥連接的第一流量計(jì)，與所述第二控制閥連接的第二流量計(jì)，與所述第三控制閥連接的第三流量計(jì)其中的一個(gè)或多個(gè)，所述第一流量計(jì)用于檢測流經(jīng)所述第一通路的防干燥液的流量或者第二流量計(jì)用于檢測流經(jīng)所述第二通路的防干燥液的流量或者第三流量計(jì)用于檢測流經(jīng)所述第三通路的防干燥液的流量。
7.如權(quán)利要求1所述的防干燥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述第一防干燥槽或者第二防干燥槽還包括溢流管。
8.一種涂布設(shè)備，包括如權(quán)利要求1-7所述的防干燥液供給系統(tǒng)、以及與所述第一防干燥槽對應(yīng)設(shè)置的第一噴吐頭、與所述第二防干燥槽對應(yīng)設(shè)置的第二噴吐頭，其中，在任意時(shí)刻使所述第一噴吐頭或者第二噴吐頭中任一處于工作模式，另一處于休息模式。
9.如權(quán)利要求8所述的涂布設(shè)備，其特征在于，在所述第一噴吐頭處于工作模式且所述第二噴吐頭處于休息模式下，所述防干燥液通過所述第一通路被提供給所述第一防干燥槽以及第二防干燥槽；在所述第二噴吐頭處于工作模式且所述第一噴吐頭處于休息模式下，所述防干燥液通過所述第二通路被提供給所述第二防干燥槽以及第一防干燥槽。
10.如權(quán)利要求9所述的涂布設(shè)備，其特征在于，流經(jīng)所述第一通路或者流經(jīng)所述第二通路中的防干燥液的流量為流至所述第一防干燥槽和流至所述第二防干燥槽的流量的總和。
【文檔編號】G02F1/13GK103995368SQ201410038743
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年1月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月27日
【發(fā)明者】段樂樂, 陳崔軍 申請人:成都天馬微電子有限公司, 天馬微電子股份有限公司