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光吸收層系統(tǒng)、其生產(chǎn)及適用于其的濺射靶材的制造方法與工藝

文檔序號:11638532閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種光吸收層系統(tǒng),其包括至少兩個層,其中一個層為由介電材料制成的面向觀測者的抗反射層,且其中至少一個其他層為由具有亞化學(xué)計(jì)量氧含量的氧化物或氮氧化物制成的背對所述觀測者的吸收層。所述層系統(tǒng)在380nm至780nm的波長范圍內(nèi)具有大體上小于20%的可視透射Tv、小于6%的可視反射Rv和超過10k?Ohm的層電阻Rγ。

技術(shù)研發(fā)人員:馬丁·施洛特;阿爾伯特·卡斯特納;馬庫斯·舒爾特海斯;詹斯·瓦格納;扎比內(nèi)·施奈德-貝茨;伯恩德·西斯?jié)煽?威爾瑪·德瓦爾德
受保護(hù)的技術(shù)使用者:賀利氏德國有限及兩合公司;弗勞恩霍夫應(yīng)用研究促進(jìn)協(xié)會
文檔號碼:201380055571
技術(shù)研發(fā)日:2013.10.15
技術(shù)公布日:2017.07.25

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