一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，包括矩形的底座，底座包括底部框架及固定連接在底部框架上的底板，底部框架上設(shè)有互相連接的主機機架及工作機架，主機機架與工作機架之間設(shè)有隔板，工作機架的高度為主機機架高度的一半，主架機架包括固定安裝在底部框架上的四個長立柱，相鄰長立柱的頂端分別通過上橫梁固定連接，長立柱的中間高度位置設(shè)有三個中間橫梁形成位于底座短邊側(cè)的開口，工作機架包括固接在底部框架上的四個短立柱，其中兩個短立柱與長立柱固定貼合，相鄰短立柱的頂端分別通過連接梁固定連接。本實用新型所述的一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，其有益效果是：結(jié)構(gòu)強度較高，穩(wěn)定性較好，布局合理，滿足了曝光機的需求。
【專利說明】一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種機架結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機是集電子光學(xué)、電氣、機械、真空、計算機技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備，70年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)，是在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光。
[0003]曝光機的前段空間為進(jìn)行曝光操作的空間，通常需要不間斷的連續(xù)進(jìn)行曝光操作，因此對整個曝光機而言，曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)要有更加優(yōu)秀的結(jié)構(gòu)強度以及穩(wěn)定性，同時需要有合理的布局節(jié)省空間，顯然現(xiàn)有技術(shù)中一般的機架結(jié)構(gòu)并不能滿足曝光機的需求。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，提供一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)強度較高，穩(wěn)定性較好，布局合理，可滿足曝光機的需求。
[0005]本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
[0006]一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，包括矩形的底座，所述底座包括底部框架及固定連接在所述底部框架上的底板，所述底部框架上設(shè)有互相連接的主機機架及工作機架，所述主機機架與所述工作機架之間設(shè)有隔板，所述工作機架的高度為所述主機機架高度的一半，所述主架機架包括固定安裝在所述底部框架上的四個長立柱，相鄰長立柱的頂端分別通過上橫梁固定連接，所述長立柱的中間高度位置設(shè)有三個中間橫梁形成位于所述底座短邊側(cè)的開口，所述工作機架包括固接在所述底部框架上的四個短立柱，其中兩個短立柱與所述長立柱固定貼合，相鄰短立柱的頂端分別通過連接梁固定連接，位于所述底座長邊兩側(cè)的連接梁上分別固定設(shè)有扶手，所述連接梁的下方位于所述短立柱之間固定連接有封板，所述封板與所述底板之間夾持固定一電器安裝板。
[0007]進(jìn)一步地，所述底板位于所述主機機架的部分具有安裝槽。
[0008]進(jìn)一步地，所述底座的長邊長度為所述底座短邊長度的二倍。
[0009]進(jìn)一步地，所述工作機架與所述主機機架的長寬相等。
[0010]本實用新型所述的一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，其有益效果是:結(jié)構(gòu)強度較高，穩(wěn)定性較好，布局合理，滿足了曝光機的需求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型所述一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)第一視角的立體圖；
[0012]圖2為本實用新型所述一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)第二視角的立體圖。
【具體實施方式】[0013]下面根據(jù)附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0014]如圖1及圖2所示，本實用新型實施例所述的一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，包括矩形的底座10，底座10包括底部框架11及固定連接在底部框架11上的底板12，底部框架11上設(shè)有互相連接的主機機架20及工作機架30，主機機架20與工作機架30之間設(shè)有隔板40，工作機架30的高度為主機機架高度20的一半，主架機架20包括固定安裝在底部框架11上的四個長立柱21，相鄰長立柱21的頂端分別通過上橫梁22固定連接，長立柱21的中間高度位置設(shè)有三個中間橫梁23形成位于底座10短邊IOa側(cè)的開口，工作機架30包括固接在底部框架11上的四個短立柱31，其中兩個短立柱31與長立柱21固定貼合，相鄰短立柱31的頂端分別通過連接梁32固定連接，位于底座10長邊IOb兩側(cè)的連接梁32上分別固定設(shè)有扶手33，連接梁32的下方位于短立柱31之間固定連接有封板34，封板34與底板12之間夾持固定一電器安裝板35。
[0015]底板12位于主機機架30的部分具有安裝槽13。底座10的長邊IOb長度為底座10短邊IOa長度的二倍。工作機架30與主機機架20的長寬相等。
[0016]以上所述僅為說明本實用新型的實施方式，并不用于限制本實用新型，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，包括矩形的底座，其特征在于，所述底座包括底部框架及固定連接在所述底部框架上的底板，所述底部框架上設(shè)有互相連接的主機機架及工作機架，所述主機機架與所述工作機架之間設(shè)有隔板，所述工作機架的高度為所述主機機架高度的一半，所述主架機架包括固定安裝在所述底部框架上的四個長立柱，相鄰長立柱的頂端分別通過上橫梁固定連接，所述長立柱的中間高度位置設(shè)有三個中間橫梁形成位于所述底座短邊側(cè)的開口，所述工作機架包括固接在所述底部框架上的四個短立柱，其中兩個短立柱與所述長立柱固定貼合，相鄰短立柱的頂端分別通過連接梁固定連接，位于所述底座長邊兩側(cè)的連接梁上分別固定設(shè)有扶手，所述連接梁的下方位于所述短立柱之間固定連接有封板，所述封板與所述底板之間夾持固定一電器安裝板。
2.如權(quán)利要求1所述的曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述底板位于所述主機機架的部分具有安裝槽。
3.如權(quán)利要求2所述的曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述底座的長邊長度為所述底座短邊長度的二倍。
4.如權(quán)利要求3所述的曝光機的前段機架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述工作機架與所述主機機架的長寬相等。
【文檔編號】G03F7/20GK203573083SQ201320713231
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月13日
【發(fā)明者】韓懿琰 申請人:無錫新奇特鈑金機械有限公司