一種版盒處理裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種版盒處理裝置，由若干個(gè)單版版盒處理裝置組成，所述單版版盒處理裝置包括：層連接組件和定位組件；其中，所述層連接組件用于連接相鄰2個(gè)所述單版版盒處理裝置；所述定位組件用于2個(gè)相鄰連接的所述單版版盒處理裝置之間的定位。通過定位組件和層連接組件將若干個(gè)單版版盒處理裝置進(jìn)行拼接，實(shí)現(xiàn)單版版盒處理裝置的擴(kuò)展，提高了版盒傳輸?shù)男?。此外，版盒解鎖機(jī)構(gòu)能夠方便可靠地實(shí)現(xiàn)版盒的解鎖，同時(shí)，裝有滾珠軸承的彈簧裝置實(shí)現(xiàn)了對(duì)版盒的多方向的定位，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)版盒的夾持功能，增強(qiáng)了人機(jī)操作的方便性。
【專利說明】一種版盒處理裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及一種版盒處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻機(jī)是一種將掩膜版上的圖像投影到硅片上的光刻設(shè)備，光刻效率的高低是評(píng)價(jià)光刻機(jī)的技術(shù)指標(biāo)之一。隨著科技的進(jìn)步以及集成電路制造行業(yè)得快速發(fā)展，光刻效率的提高成為光刻機(jī)增強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力的途徑之一，在光刻過程中對(duì)掩膜版的傳輸效率對(duì)提高光刻效率起著至關(guān)重要的作用。
[0003]在現(xiàn)有技術(shù)中，在光刻機(jī)領(lǐng)域通常使用版盒來存儲(chǔ)與保護(hù)掩膜版，將掩膜版放置在版盒中進(jìn)行傳輸，也就是說對(duì)版盒的傳輸即對(duì)掩膜版的傳輸。
[0004]目前，版盒的傳輸通常有單版版盒的傳輸和多版版盒的傳輸。
[0005]在光刻機(jī)領(lǐng)域所指的掩膜傳輸就是對(duì)掩膜版的傳輸，即將掩膜版放到版盒中用傳輸裝置將其傳輸至光刻的各個(gè)工位，進(jìn)行對(duì)掩膜版相應(yīng)的處理。在整個(gè)掩膜版的傳輸過程中對(duì)單版版盒的操作流程如圖1所示:將裝有掩膜版的單版版盒放入單版版盒處理裝置中(在放單版版盒的過程中要保證操作人員能夠輕松正確的將單版版盒放到位，放到位后要保證單版版盒定位正確，且不能隨運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)而晃動(dòng)，導(dǎo)致單版版盒掉落)，傳輸裝置帶動(dòng)單版版盒處理裝置運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)到規(guī)定工位，然后對(duì)單版版盒中的掩膜版進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)是否存在掩膜版，確認(rèn)有掩膜版之后利用解鎖機(jī)構(gòu)開啟單版版盒的版盒門，通過掩膜版取放機(jī)構(gòu)取拿掩膜版，然后關(guān)閉單版版盒的版盒門。對(duì)于傳輸裝置只具有傳輸單版版盒能力的傳輸裝置如果要繼續(xù)傳輸掩膜版就需要運(yùn)動(dòng)到初始位置，進(jìn)行重新加單版版盒，然后再進(jìn)行掩膜版的處理流程。
[0006]如圖2所示，對(duì)于具有能傳輸多版版盒的處理裝置，當(dāng)對(duì)一個(gè)版盒的的掩膜版處理結(jié)束后，傳輸裝置帶動(dòng)多版版盒處理裝置運(yùn)動(dòng)，使下一個(gè)版盒運(yùn)動(dòng)到規(guī)定工位，再進(jìn)行掩膜版的處理，直到所有掩膜版都處理結(jié)束，多版版盒運(yùn)動(dòng)裝置運(yùn)動(dòng)到原點(diǎn)，進(jìn)行下一批多版版盒的加載。但即便是多版版盒傳輸，可處理的版盒數(shù)量是一定的，即版盒數(shù)量是不變的，且不具有可擴(kuò)展功能，傳輸效率不高。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本實(shí)用新型的目的在于提供一種版盒處理裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中版盒傳輸效率不高的問題。
[0008]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種版盒處理裝置，由若干個(gè)單版版盒處理裝置組成，所述單版版盒處理裝置包括:層連接組件和定位組件；其中，
[0009]所述層連接組件用于連接相鄰2個(gè)所述單版版盒處理裝置；
[0010]所述定位組件用于2個(gè)相鄰連接的所述單版版盒處理裝置之間的定位。
[0011]進(jìn)一步的，在所述的版盒處理裝置中，
[0012]所述層連接組件包括層連接塊，所述層連接塊設(shè)置于所述單版版盒處理裝置的一側(cè)；
[0013]所述定位組件包括定位銷，所述定位銷設(shè)置于所述單版版盒處理裝置的另一側(cè)。
[0014]進(jìn)一步的，在所述的版盒處理裝置中，所述每個(gè)單版版盒處理裝置還包括:版盒、第一顯示裝置和第二顯示裝置；
[0015]所述層連接組件還包括左側(cè)連接裝置和右側(cè)連接裝置；其中，
[0016]所述第一顯示裝置與所述左側(cè)連接裝置連接，共同設(shè)置于所述版盒的左側(cè)；
[0017]所述第二顯示裝置與所述右側(cè)連接裝置連接，共同設(shè)置于所述版盒的右側(cè)。
[0018]進(jìn)一步的，在所述的版盒處理裝置中，所述每個(gè)單版版盒處理裝置還包括:版盒解鎖機(jī)構(gòu)，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)與所述左側(cè)連接裝置連接。
[0019]本發(fā)明中左側(cè)和右側(cè)連接可以互換。
[0020]進(jìn)一步的，在所述的版盒處理裝置中，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)包括:擺缸、擺缸安裝板、擺桿和位置傳感器；其中，
[0021 ] 所述擺缸與所述擺缸安裝板連接；
[0022]所述擺桿與所述擺缸連接；
[0023]所述位置傳感器與所述擺缸安裝板連接。
[0024]進(jìn)一步的，在所述的版盒處理裝置中，包括:版盒解鎖機(jī)構(gòu)，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)通過固定支架與若干個(gè)所述單版版盒處理裝置中的某一個(gè)連接。
[0025]進(jìn)一步的，在所述的版盒處理裝置中，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)包括:擺缸、擺缸安裝板、擺桿和位置傳感器；其中，
[0026]所述擺缸與所述擺缸安裝板連接；
[0027]所述擺桿與所述擺缸連接；
[0028]所述位置傳感器與所述擺缸安裝板連接。
[0029]進(jìn)一步的，在所述的版盒處理裝置中，所述左側(cè)連接裝置包括:第一側(cè)板、第二側(cè)板、緊固件和連接件；其中，
[0030]所述第一側(cè)板和第二側(cè)板通過一螺釘連接后，再通過所述連接件固定連接。
[0031]進(jìn)一步的，在所述的版盒處理裝置中，所述左側(cè)連接裝置還包括:第一外螺紋型軸承和裝有滾珠軸承的彈簧裝置，所述第一外螺紋型軸承與所述第一側(cè)板連接，所述裝有滾珠軸承的彈簧裝置與所述第二側(cè)板連接。
[0032]進(jìn)一步的，在所述的版盒處理裝置中，所述右側(cè)連接裝置包括:第三側(cè)板和第二外螺紋型軸承，所述第二外螺紋型軸承與所述第三側(cè)板連接。
[0033]本實(shí)用新型提供的一種版盒處理裝置，其有益效果在于:根據(jù)空間大小的不同，通過定位組件和層連接組件增加或減少若干個(gè)單版版盒處理裝置的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)單版版盒處理裝置的擴(kuò)展，提高了版盒傳輸?shù)男?。此外，版盒解鎖機(jī)構(gòu)能夠方便可靠地實(shí)現(xiàn)版盒的解鎖，同時(shí)，裝有滾珠軸承的彈簧裝置實(shí)現(xiàn)了對(duì)版盒的多方向的定位，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)版盒的夾持功能，增強(qiáng)了人機(jī)操作的方便性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的單版版盒的傳輸流程示意圖；
[0035]圖2是現(xiàn)有技術(shù)的多版版盒的傳輸流程示意圖；[0036]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例1的版盒處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例1的單版版盒處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例1的版盒處理裝置的擴(kuò)展結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例1的左側(cè)連接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0040]圖7是本實(shí)用新型實(shí)施例1的右側(cè)連接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0041]圖8是本實(shí)用新型實(shí)施例1的版盒解鎖機(jī)構(gòu)的俯視圖；
[0042]圖9是本實(shí)用新型實(shí)施例1的版盒解鎖機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0043]圖10是本實(shí)用新型實(shí)施例2的版盒處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0044]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的一種版盒處理裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0045]【實(shí)施例1】
[0046]如圖3所示，一種版盒處理裝置，由若干個(gè)單版版盒處理裝置100組成，所述若干個(gè)單版版盒處理裝置100包括:層連接組件和定位組件；其中，
[0047]所述層連接組件用于連接相鄰2個(gè)單版版盒處理裝置100 ；
[0048]所述定位組件用于2個(gè)相鄰連接的單版版盒處理裝置100之間的定位。
[0049]進(jìn)一步的，所述層連接組件包括層連接塊7，
[0050]所述層連接塊7設(shè)置于所述單版版盒處理裝置100的一側(cè)(本實(shí)施例中為左側(cè))；
[0051]進(jìn)一步的，所述定位組件包括定位銷8，所述定位銷8設(shè)置于所述單版版盒處理裝置100的另一側(cè)(本實(shí)施例中為右側(cè))。
[0052]如圖4所示，所述每個(gè)單版版盒處理裝置100包括:版盒1、第一顯示裝置5A和第二顯示裝置5B ;所述層連接組件還包括:左側(cè)連接裝置2和右側(cè)連接裝置3、其中，
[0053]所述左側(cè)連接裝置2設(shè)置于所述版盒I的一側(cè)(本實(shí)施例中為左側(cè));
[0054]所述右側(cè)連接裝置3設(shè)置于所述版盒I的另一側(cè)(本實(shí)施例中為右側(cè));
[0055]具體的，所述左側(cè)連接裝置2和所述右側(cè)連接裝置3用于對(duì)版盒I的支撐和定位；
[0056]所述第一顯示裝置5A與所述左側(cè)連接裝置2連接，共同設(shè)置于所述版盒的左側(cè)；
[0057]所述第二顯示裝置5B與所述右側(cè)連接裝置3連接，共同設(shè)置于所述版盒的右側(cè)。
[0058]具體的，所述第一顯示裝置5A和所述第二顯示裝置5B用于顯示掩膜版是否存在的狀態(tài)，以及版盒I定位的狀態(tài)顯示。
[0059]進(jìn)一步的，每個(gè)單版版盒處理裝置100還包括:版盒解鎖機(jī)構(gòu)4，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)4與所述左側(cè)連接裝置2連接。
[0060]具體的，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)4用于對(duì)版盒I的版盒門進(jìn)行解鎖。
[0061]如圖5所示，所述左側(cè)連接裝置2包括:第一側(cè)板201、第二側(cè)板202、一螺釘10和連接件6 ;其中，
[0062]所述第一側(cè)板201和第二側(cè)板202通過一螺釘10連接后，再通過連接件6固定連接。[0063]進(jìn)一步的，當(dāng)單版版盒處理裝置裝配完成后，當(dāng)需要進(jìn)行擴(kuò)展時(shí)，通過定位銷8將2層單版版盒處理裝置定位，再通過層連接塊7進(jìn)行固定，即實(shí)現(xiàn)上下固定，實(shí)現(xiàn)單版版盒處理裝置的擴(kuò)展。
[0064]如圖6和圖7所示，所述左側(cè)連接裝置2還包括:第一外螺紋型軸承41，所述第一外螺紋型軸承41與所述第一側(cè)板201連接，其中，所述第一外螺紋型軸承41包括3個(gè)。所述右側(cè)連接裝置3還包括:第二外螺紋型軸承309和第三側(cè)板302，所述第二外螺紋型軸承309與所述第三側(cè)板302連接，其中，所述第二外螺紋型軸承309包括3個(gè)。通過所述第一外螺紋型軸承41和第二外螺紋型軸承309的配合，實(shí)現(xiàn)對(duì)版盒的上下支撐，所述第一外螺紋型軸承41和第二外螺紋型軸承309的位置可以上下調(diào)節(jié)，以滿足對(duì)掩膜版水平度的調(diào)節(jié)。
[0065]進(jìn)一步的，所述左側(cè)連接裝置2還包括:裝有滾珠軸承42的彈簧裝置43，所述裝有滾珠軸承42的彈簧裝置43與所述第二側(cè)板202連接。特別的，右側(cè)連接裝置3不包括裝有滾珠軸承42的彈簧裝置43。
[0066]所述裝有滾珠軸承42的彈簧裝置43用以對(duì)版盒的左右定位，當(dāng)版盒沿著第一外螺紋型軸承41和第二外螺紋型軸承309被推進(jìn)單版版盒處理裝置的時(shí)候，彈簧裝置43上的滾珠軸承42受力被向外推，同時(shí)另一端被一彈簧44向外拉，保證了版盒在被推的過程中受到向里的作用力，此時(shí)，版盒沿著固定在右側(cè)連接裝置的第三側(cè)板302上的滾珠軸承311向前滾動(dòng)。兩邊相互配合對(duì)版盒進(jìn)行左右定位，版盒放到位后這個(gè)力依然存在，保證版盒不發(fā)生左右晃動(dòng)。
[0067]在版盒受到向里的作用力的同時(shí)，安裝在左側(cè)連接裝置上的拉桿彈簧機(jī)構(gòu)45給版盒向下的壓力以及向前的推力，具體過程是:當(dāng)版盒被推進(jìn)版盒裝置時(shí)，拉桿彈簧機(jī)構(gòu)45中的彈簧451拉動(dòng)擺桿452繞軸453轉(zhuǎn)動(dòng)，在推進(jìn)去的時(shí)候由于版盒上是一個(gè)角度很小的小滑坡，所以安裝在拉動(dòng)擺桿452上的滾動(dòng)軸承454沿著斜面滾動(dòng)，當(dāng)滾到半圓弧凸臺(tái)的時(shí)候，滾動(dòng)軸承454掉入小圓弧中，同時(shí)彈簧451給拉動(dòng)擺桿452 —個(gè)向前的力，使?jié)L珠軸承454緊貼到版盒的半圓弧形凸臺(tái)中，從而使版盒受到向前的力和向下的力，保證了版盒在傳輸過程中平穩(wěn)，只有當(dāng)人用力向后拉版盒的時(shí)候，安裝在轉(zhuǎn)軸453上的滾珠軸承454沿著版盒的半圓弧形臺(tái)階滾動(dòng)，彈簧451被拉伸，版盒從處理裝置中拿出。
[0068]在右側(cè)連接裝置中也是同樣的道理，版盒推進(jìn)去的時(shí)候，右側(cè)連接裝置的滾珠軸承305被擠壓受力，從而是拉動(dòng)右側(cè)連接裝置的擺桿304繞右側(cè)連接裝置的轉(zhuǎn)軸303轉(zhuǎn)動(dòng)，等到版盒運(yùn)動(dòng)到版盒中的半圓弧凸臺(tái)中，版盒便被定位，保證不動(dòng)。
[0069]進(jìn)一步的，在右側(cè)連接裝置3中還包含:第一傳感器301和第二傳感器307，其中，所述第一傳感器301為檢測(cè)版盒到位的傳感器，實(shí)現(xiàn)版盒位置狀態(tài)的檢測(cè)；所述第二傳感器307為檢測(cè)掩膜版是否存在的傳感器，實(shí)現(xiàn)對(duì)掩膜版狀態(tài)的檢測(cè)
[0070]如圖8和圖9所示，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)包括:位置傳感器401、擺桿402、擺缸403和擺缸安裝板404 ;其中，
[0071 ] 所述擺缸403與所述擺缸安裝板404連接；
[0072]所述擺桿402與所述擺缸403連接；
[0073]所述位置傳感器401與所述擺缸安裝板404連接。
[0074]具體的，擺缸403安裝于擺缸安裝板404上，擺缸安裝板404安裝于左側(cè)連接裝置2的第一側(cè)板201上，擺桿402與擺缸403的轉(zhuǎn)軸相連，在進(jìn)行版盒1解鎖的時(shí)候擺缸403帶動(dòng)擺桿402轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)到擺桿402與版盒I的版盒門101碰觸后繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，使擺桿402將所述版盒門101開啟，直到所述版盒門101與接觸式傳感器401碰觸，觸發(fā)傳感器，則停止轉(zhuǎn)動(dòng)，等待掩膜版取拿機(jī)構(gòu)取拿掩膜版后，擺缸403反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，直至關(guān)閉版盒門101完全關(guān)閉后停止轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0075]【實(shí)施例2】
[0076]如圖10所示，本實(shí)用新型的實(shí)施例2與實(shí)施例1不同在于，實(shí)施例1中每個(gè)單版版盒處理裝置均設(shè)有一個(gè)版盒解鎖機(jī)構(gòu)4，進(jìn)行版盒解鎖的時(shí)候所有版盒的門同時(shí)打開同時(shí)關(guān)閉，解鎖機(jī)構(gòu)4和版盒處理裝置一起運(yùn)動(dòng)。而在實(shí)施例2中，只安裝一個(gè)解鎖機(jī)構(gòu)4，解鎖機(jī)構(gòu)4不與版盒處理裝置安裝，而是將解鎖機(jī)構(gòu)4安裝到固定支架46上固定不動(dòng)，固定支架46與系統(tǒng)固定，如僅在第一個(gè)單版版盒處理裝置100上通過一固定支架46連接一個(gè)版盒解鎖機(jī)構(gòu)4，在進(jìn)行掩膜版處理的時(shí)候6層處理裝置進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，根據(jù)圖1的處理流程，對(duì)一層版盒中的掩膜版處理結(jié)束后版盒處理裝置由傳輸裝置帶動(dòng)，使下一個(gè)版盒運(yùn)動(dòng)到指定工位，當(dāng)版盒處理裝置運(yùn)動(dòng)到規(guī)定工位時(shí)，由所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)4對(duì)版盒挨個(gè)進(jìn)行解鎖，在提高版盒傳輸效率的同時(shí)，也節(jié)約了資源。具體版盒解鎖機(jī)構(gòu)4的詳細(xì)結(jié)構(gòu)參見實(shí)施例一，在此不再贅述。
[0077]通過上述機(jī)構(gòu)的結(jié)合，根據(jù)空間大小的不同，通過定位銷和層連接塊增加或減少若干個(gè)單版版盒處理裝置的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)單版版盒處理裝置的擴(kuò)展，提高了版盒傳輸?shù)男?。此外，版盒解鎖機(jī)構(gòu)能夠方便可靠地實(shí)現(xiàn)版盒的解鎖，同時(shí)，裝有滾珠軸承的彈簧裝置實(shí)現(xiàn)了對(duì)版盒的多方向的定位，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)版盒的夾持功能，增強(qiáng)了人機(jī)操作的方便性。
[0078]上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上 述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種版盒處理裝置，由若干個(gè)單版版盒處理裝置組成，其特征在于，所述單版版盒處理裝置包括:層連接組件和定位組件；其中， 所述層連接組件用于連接相鄰2個(gè)所述單版版盒處理裝置； 所述定位組件用于2個(gè)相鄰連接的所述單版版盒處理裝置之間的定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版盒處理裝置，其特征在于， 所述層連接組件包括層連接塊，所述層連接塊設(shè)置于所述單版版盒處理裝置的一側(cè)； 所述定位組件包括定位銷，所述定位銷設(shè)置于所述單版版盒處理裝置的另一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版盒處理裝置，其特征在于，所述每個(gè)單版版盒處理裝置還包括:版盒、第一顯示裝置和第二顯示裝置； 所述層連接組件還包括一側(cè)連接裝置和另一側(cè)連接裝置；其中， 所述第一顯示裝置與所述一側(cè)連接裝置連接，共同設(shè)置于所述版盒的一側(cè)； 所述第二顯示裝置與所述另一側(cè)連接裝置連接，共同設(shè)置于所述版盒的另一側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的版盒處理裝置，其特征在于，所述每個(gè)單版版盒處理裝置還包括:版盒解鎖機(jī)構(gòu)，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)與所述一側(cè)連接裝置連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的版盒處理裝置，其特征在于，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)包括:擺缸、擺缸安裝板、擺桿和位置傳感器；其中， 所述擺缸與所述擺缸安裝板連接； 所述擺桿與所述擺缸連接； 所述位置傳感器與所述擺缸安裝板連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一所述的版盒處理裝置，其特征在于，包括:版盒解鎖機(jī)構(gòu)，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)通過固定支架與若干個(gè)所述單版版盒處理裝置中的某一個(gè)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的版盒處理裝置，其特征在于，所述版盒解鎖機(jī)構(gòu)包括:擺缸、擺缸安裝板、擺桿和位置傳感器；其中， 所述擺缸與所述擺缸安裝板連接； 所述擺桿與所述擺缸連接； 所述位置傳感器與所述擺缸安裝板連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的版盒處理裝置，其特征在于，所述一側(cè)連接裝置包括:第一側(cè)板、第二側(cè)板、緊固件和連接件；其中， 所述第一側(cè)板和第二側(cè)板通過緊固件連接后，再通過所述連接件固定連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的版盒處理裝置，其特征在于，所述一側(cè)連接裝置還包括:第一外螺紋型軸承和裝有滾珠軸承的彈簧裝置，所述第一外螺紋型軸承與所述第一側(cè)板連接，所述裝有滾珠軸承的彈簧裝置與所述第二側(cè)板連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的版盒處理裝置，其特征在于，所述另一連接裝置包括:第三側(cè)板和第二外螺紋型軸承，所述第二外螺紋型軸承與所述第三側(cè)板連接。
【文檔編號(hào)】G03F1/66GK203444237SQ201320417269
【公開日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2013年7月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月12日
【發(fā)明者】牟吉元, 胡松立, 姜杰, 姜曉玉, 王邵玉, 馬喜寶 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司