一種lcos微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種LCOS微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)及其制造方法，所述的液晶盒結(jié)構(gòu)呈層狀結(jié)構(gòu)，包括上電極層、液晶材料層、納米柱以及硅基襯底層，其上電極層為石墨烯膜平板玻璃，納米柱采用氧化鋅或者二氧化鈦納米柱；其制造方法包括以下步驟：A)制備硅基襯底層；B)在硅基襯底層上制備納米柱，得到帶有納米柱的硅基襯底層；C)將石墨烯膜平板玻璃與帶有納米柱的硅基襯底層對(duì)接，組裝成液晶盒；D)在液晶盒內(nèi)灌注液晶材料，形成液晶材料層。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明透光率高，液晶盒厚度容易控制，并且工作溫度可以達(dá)到60度，從而使得器件的顯示性能大大提高。
【專利說明】—種LCOS微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)及其制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種微顯示器件，尤其是涉及一種LCOS微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)及其制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]LCOS(Liquid Crystal on Silicon)是一種較成熟的先進(jìn)技術(shù)。它是制作在單晶硅上的LCD新型顯示器，是LCD與CMOS集成電路有機(jī)結(jié)合的新興技術(shù)。LCOS具有高分辨率、反射式成像、低價(jià)格的特點(diǎn)。該技術(shù)最早出現(xiàn)在上世紀(jì)九十年代末期。其首批成型產(chǎn)品是由Aurora Systems公司于2000年開發(fā)出的。由于該產(chǎn)品具有高分辨率、高開口率、反射式成像的特點(diǎn)，所以立刻受到了人們高度關(guān)注，很多企業(yè)開始進(jìn)行了研究與開發(fā)。其中如索尼、JVC、佳能、英特爾、飛利浦、臺(tái)聯(lián)電等企業(yè)。
[0003]LCOS的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)決定了其與常規(guī)IXD有著眾多的不同點(diǎn)，具有一些IXD及任何其他顯示器所無法比擬的技術(shù)特點(diǎn)。
[0004]I)外部引線少、連接簡單及整機(jī)裝配簡便。
[0005]普通的IXD有大量密集的外部引線，如一個(gè)1024X768像素點(diǎn)陣的IXD便有2592條外部引線，給整機(jī)裝配帶來了諸多不便，而LCOS由于是將LCD制于單晶硅片上，LCD的行、列引出線皆通過半導(dǎo)體工藝在硅片內(nèi)與IC相連接，故留在外部的僅有數(shù)條數(shù)據(jù)控制線、時(shí)序線及電源線等?？衫猛ㄓ眠B接端口與前級(jí)電路相連接，頗為簡便。
[0006]2)顯示的信息量密度大且體積小，使成本降低。
[0007]普通的IXD在制造過程中需在玻璃基板上進(jìn)行光刻，制成像素。通常將像素制至0.28mm已屬不易，因在每個(gè)像素上還需制出一個(gè)有源器件。但LCOS的像素是制在單晶硅片上，硅片采用LSIC的工藝進(jìn)行加工，可將像素制至4 μ m以下。故在一個(gè)僅零點(diǎn)數(shù)英寸的硅片上可制成1024X768像素，甚至1920X1240像素點(diǎn)陣密度的顯示產(chǎn)品。顯示的信息量密度增大了，而體積卻減少了(達(dá)0.35?0.5英寸)，材料費(fèi)及成本自然便會(huì)大幅度地降低。LCOS可將驅(qū)動(dòng)IC等外部電路完全制于CMOS基板上，減少外部IC的數(shù)量及封裝成本，并使體積減小。
[0008]3)分辨率高，畫質(zhì)自然逼真。
[0009]由于LCOS的晶體管及驅(qū)動(dòng)電路皆制于單晶硅基板內(nèi)，位于反射面之下，并不占用表面面積，故僅有像素間隙才占用開口面積，不像透射式LCD的TFT及導(dǎo)線皆占用開口面積，所以理論上無論是分辨率還是開口率，LCOS都較透射式IXD高。由于LCOS采用半導(dǎo)體方式來控制分辨率，故分辨率很高，通常達(dá)到XVGA (1024 X 768像素)、SXGA等級(jí)(1280 X 1024像素)，較高的分辨率又導(dǎo)致較小的畫面像素，使畫質(zhì)逼真自然。高解析度可隨半導(dǎo)體制造過程快速實(shí)現(xiàn)微細(xì)化，易于提高解析度，尤其適用于便攜式咨詢?cè)O(shè)備。迄今，它的制造工藝技術(shù)已日臻成熟。
[0010]4)色彩現(xiàn)實(shí)占用像素空間少，響應(yīng)速度快。
[0011]通常，IXD的彩色化是采用微彩色膜方式，即將三個(gè)子像素制成紅、綠、藍(lán)三基色子像素，合成一個(gè)全色象素。這是一種空間混色法，占用了大量的像素空間，降低了分辨率。而LCOS則自身是黑白的，采用紅、綠、藍(lán)三基色光反復(fù)循環(huán)地照射，借助時(shí)間混色實(shí)現(xiàn)彩色顯示之目的。由于LCOS的響應(yīng)速度可達(dá)μ s級(jí)，故此種實(shí)現(xiàn)彩色方法完全切實(shí)可行，而且大大地降低顯示器件的成本，提高了顯示的分辨率。
[0012]在2004年，佳能發(fā)布了第一款采用LCOS技術(shù)的1400x1050高分辨率投影機(jī)SX50，與SX50 —同推出的還有佳能自己研發(fā)的AISYS光學(xué)照明系統(tǒng)技術(shù)。佳能利用自身的光學(xué)技術(shù)優(yōu)勢(shì)將LCOS技術(shù)和自家的光學(xué)照明技術(shù)良好地融合在一起，使這款投影機(jī)的對(duì)比度和亮度都有了提高。這款投影機(jī)的推出，獲得了業(yè)內(nèi)的廣泛好評(píng)，為LCOS陣營增添了一個(gè)強(qiáng)有力的產(chǎn)品。
[0013]2006年，佳能將第二代AISYS光學(xué)照明系統(tǒng)技術(shù)與LCOS技術(shù)再度融合，一口氣又發(fā)布了 SX60，SX6，Χ600三款SXGA+級(jí)的高分辨率投影機(jī)產(chǎn)品，完善了 LCOS投影產(chǎn)品線，使具有不同需求的客戶都可以找到適合自己的產(chǎn)品。采用了第二代佳能AISYS光學(xué)照明系統(tǒng)技術(shù)的投影機(jī)通過提高燈泡光線利用率和進(jìn)行光線補(bǔ)償，使LCOS技術(shù)能夠顯示更加清澈細(xì)致，色彩豐富的投影畫面；因此，具有AISYS增強(qiáng)功能的LCOS技術(shù)不僅可以得到細(xì)膩穩(wěn)定的畫面，而且更加節(jié)能。
[0014]2007年，佳能又發(fā)布了一款高分辨率投影機(jī)SX7，1000: I對(duì)比度的旗艦機(jī)型。將高分辨率、高亮度、卓越色彩還原和小巧機(jī)身完美地融合在一起，非常適合于藝術(shù)家、攝影師以及印刷人員等對(duì)色彩要求嚴(yán)格的用戶，其具有Adobe RGB/s RGB色域的色彩表現(xiàn)，可以使投影畫面保持原始圖像的色彩精確度。
[0015]在著名的光電廠商發(fā)展模式是走高端產(chǎn)品，少數(shù)人享受的同時(shí)，人們也在探討大眾化、普及型產(chǎn)品。由于LCOS微顯示器件是新型光電子顯示產(chǎn)品，屏幕畫面小于I英寸，但信號(hào)經(jīng)包括LCOS微顯示和LED電光源組成的光學(xué)引擎處理后，可以使原本小于I英寸的畫面放大幾十至幾百倍，其清晰度可以支持1080P甚至更高，引起了人們的極大關(guān)注。但早期一些下游應(yīng)用產(chǎn)品企業(yè)曾走過瞄準(zhǔn)大型背投影為主攻方向的彎路，大型背投影機(jī)的應(yīng)用失敗導(dǎo)致美國本來為數(shù)不多的幾家上游LCOS器件公司紛紛下馬。
[0016]2008年底隨著高亮度、長壽命LED電光源器件的突破，帶來了微型前投影的發(fā)展契機(jī)，實(shí)踐證明應(yīng)用于前投影的LCOS微顯示器件前景廣闊，方興未艾。其應(yīng)用整機(jī)產(chǎn)品還具有節(jié)能、環(huán)保、尺寸小、重量輕、方便攜帶等特點(diǎn)；LC0S微型投影機(jī)作為顯示終端產(chǎn)品，非常容易與機(jī)頂盒、DVD、衛(wèi)星接收機(jī)、手機(jī)、筆記本電腦等電子產(chǎn)品有線或無線連接使用，這種投影微型顯示完全顛覆了傳統(tǒng)的玻璃屏幕概念，實(shí)現(xiàn)了新的白墻或幕布上的大屏幕顯示。被譽(yù)為家庭臥室和客廳正在發(fā)生的悄悄的影視革命。應(yīng)用面涉及智能化的電視、電腦、手機(jī)等民生熱門領(lǐng)域，其應(yīng)用市場(chǎng)前景非常廣闊，深受人們喜愛和青睞，是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。它的研究符合走自主創(chuàng)新發(fā)展道路和未來經(jīng)濟(jì)、社會(huì)發(fā)展的強(qiáng)大需求，將產(chǎn)生巨大的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)效益。
[0017]因此，由于該產(chǎn)品具有高分辨率、高開口率、反射式成像的特點(diǎn)，立刻受到人們的重視。目前，LCOS技術(shù)呈現(xiàn)出良好的發(fā)展態(tài)勢(shì)。在投影顯示技術(shù)上，目前LCOS技術(shù)也已經(jīng)經(jīng)過了十多年的發(fā)展期。業(yè)內(nèi)分析預(yù)測(cè)，隨著技術(shù)進(jìn)一步發(fā)展成熟，生產(chǎn)成本日益下降，LCOS投影顯示技術(shù)發(fā)展的春天正在向我們走來。
[0018]但是，到目前為止，國內(nèi)尚未實(shí)現(xiàn)LCOS器件的產(chǎn)業(yè)化，也沒有國家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。目前，臺(tái)灣的HAIMAX代表了當(dāng)代產(chǎn)業(yè)化水平，在向內(nèi)地供貨。臺(tái)灣的LCOS器件雖然已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化，但它的產(chǎn)業(yè)化前的技術(shù)來自當(dāng)時(shí)我們技術(shù)團(tuán)隊(duì)的成員之一。卻產(chǎn)品的技術(shù)水平指標(biāo)偏低:分辨率1024*768 ;對(duì)比度100: I ;亮度不到100流明；使用溫度不能超過50度。在與國外的DLP微顯示器的壟斷企業(yè)美國TI競爭中處于劣勢(shì)。因此，開展高清晰度高亮度LCOS微顯示器件更高水準(zhǔn)(分辨率1280*1024 ;對(duì)比度1000: I ;亮度大于100流明；使用溫度達(dá)到60度。)的技術(shù)研究工作是十分必要的。加之，我們團(tuán)隊(duì)領(lǐng)軍人物已獲得了國內(nèi)第一個(gè)LCOS微顯示器件制造的國家發(fā)明專利(Z12010.0520661.9)，在此基礎(chǔ)上，通過技術(shù)創(chuàng)新，是有能力實(shí)現(xiàn)高清晰度微顯示器的設(shè)計(jì)和制造目標(biāo)的。LCOS微顯示器件作為微型顯示終端產(chǎn)品的核心器件，是最前沿的核心技術(shù)，它集超大規(guī)模集成電路和微小(小于I英寸)液晶屏設(shè)計(jì)、制造技術(shù)于一身，是基礎(chǔ)性的高新工藝技術(shù)。
[0019]但是，目前傳統(tǒng)的LCOS微顯示器件的液晶盒結(jié)構(gòu)如圖1所示，最上層由ITO膜玻璃作為上電極層I ;中間一層填充液晶材料2，液晶盒厚度由玻璃球31來控制；最下層為硅基襯底層4。采用此種結(jié)構(gòu)的微顯示器件，無法在高溫下使用，并且分辨率及對(duì)比度有限。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0020]本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種LCOS微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)及其制造方法。
[0021]本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
[0022]一種LCOS微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)，所述的液晶盒結(jié)構(gòu)呈層狀結(jié)構(gòu)，包括上電極層、液晶材料層、納米柱以及硅基襯底層，所述的硅基襯底層位于下層，上電極層位于上層，液晶材料層和納米柱位于中層，通過改變納米柱的高度調(diào)節(jié)液晶盒的厚度，所述的上電極層為石墨烯膜平板玻璃，可以提高透光率，所述的納米柱為氧化鋅或者二氧化鈦納米柱，可以精細(xì)地控制液晶盒的厚度，有利于提高清晰度、色度以及對(duì)比度。
[0023]所述的液晶材料層為高溫反射式液晶，使得液晶盒可以在60度的溫度下工作。
[0024]一種制造上述LCOS微顯示器件液晶盒的方法，包括以下步驟:
[0025]A)制備硅基襯底層；
[0026]B)在娃基襯底層上制備納米柱，得到帶有納米柱的娃基襯底層；
[0027]C)將石墨烯膜平板玻璃與帶有納米柱的硅基襯底層對(duì)接，組裝成液晶盒；
[0028]D)在液晶盒內(nèi)灌注液晶材料，形成液晶材料層。
[0029]步驟A具體包括以下步驟:
[0030]Al)在單晶硅基片上制成X-Y像素矩陣下的有源矩陣、驅(qū)動(dòng)電路、信號(hào)電路；
[0031]A2)制作遮光層；
[0032]A3)制作平坦化層；
[0033]A4)像素矩陣表面化學(xué)拋光；
[0034]A5)像素矩陣表面蒸鍍反光層。
[0035]步驟B具體包括以下步驟:
[0036]BI)采用氧化鋅或者二氧化鈦納米材料通過納米膜生成設(shè)備在硅基襯底層上制備納米膜；
[0037]B2)使用旋涂光刻工藝，將在硅基襯底層上的納米膜刻蝕出器件所需要的納米柱，隨后清除納米柱位置以外納米膜。
[0038]步驟C具體包括以下步驟:
[0039]Cl)獲取厚度為0.1mm的平板玻璃；
[0040]C2)采用原子沉積和激光脈沖誘導(dǎo)的物理方法，利用石墨烯膜生成設(shè)備在平板玻璃上制備石墨烯膜，獲取石墨烯膜平板玻璃；
[0041]C3)將石墨烯膜平板玻璃與帶有納米柱的硅基襯底層上下對(duì)接，組裝形成液晶盒。
[0042]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0043]1.采用石墨烯膜平板玻璃取代ITO膜玻璃，提高LCOS器件的光透過率、溫度穩(wěn)定性和光引擎的光密度。將世界重大的、獲得2010年諾貝爾獎(jiǎng)的發(fā)明一石墨烯技術(shù)首次引ALCOS器件制作中來，用石墨烯納米膜替代ITO膜可以顯著提高器件的光透過率、溫度穩(wěn)定性和光引擎的光密度。單層原子石墨烯薄膜厚度僅0.34nm，它是一種SP2碳原子組成的六角形晶體二維材料，具有很高的透光率和電導(dǎo)率。其透光率可以達(dá)到97%，電阻僅幾個(gè)歐姆，而且有很好的力學(xué)性質(zhì)。用石墨烯薄膜替代ITO膜可以顯著提高器件的光透過率、電子遷移率(即電導(dǎo)率)、溫度穩(wěn)定性、光引擎的光密度以及力學(xué)性質(zhì)。因此石墨烯薄膜的應(yīng)用是前沿性的應(yīng)用研究。
[0044]2.采用氧化鋅或者二氧化鈦納米微粒制備納米微柱，取代通常用的玻璃球控制盒厚；提高LCOS器件顯示對(duì)比度、色度、清晰度。選用氧化鋅或者二氧化鈦納米微粒具有以下優(yōu)點(diǎn):A.可以根據(jù)需要控制納米柱的厚度，例如1_2μπι厚度；B.由于氧化鋅或者二氧化鈦納米材料是一種光致發(fā)光材料，例如在可見光波長400-500nm氧化鋅或者二氧化鈦納米微粒表現(xiàn)出極強(qiáng)的發(fā)光信號(hào)。選擇黑色的材料，有利于提高對(duì)比度。C.有利于采用光刻技術(shù)，光刻技術(shù)可以精確地控制納米柱的厚度，做到精細(xì)加工。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0045]圖1為傳統(tǒng)LCOS微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)；
[0046]圖2為本發(fā)明的液晶盒結(jié)構(gòu)；
[0047]圖3為本發(fā)明制造方法的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0048]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0049]實(shí)施例
[0050]如圖2所示，一種LCOS微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)，所述的液晶盒結(jié)構(gòu)呈層狀結(jié)構(gòu)，包括石墨烯膜上電極層1、液晶材料層2、納米柱3以及硅基襯底層4，硅基襯底層4位于下層，上電極層I位于上層，液晶材料層2和納米柱3位于中層，通過改變納米柱3的高度調(diào)節(jié)液晶盒的厚度。
[0051]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)的主要區(qū)別點(diǎn)在于:
[0052]1、上電極層I為石墨烯膜平板玻璃。
[0053]采用石墨烯膜取代ITO膜，提高LCOS器件的光透過率、溫度穩(wěn)定性和光引擎的光密度。將世界重大的、獲得2010年諾貝爾獎(jiǎng)的發(fā)明一石墨烯技術(shù)引入LCOS器件制作中來，用石墨烯納米膜替代ITO膜可以顯著提高器件的光透過率、溫度穩(wěn)定性和光引擎的光密度。單層原子石墨烯薄膜厚度僅0.34nm,它是一種SP2碳原子組成的六角形晶體二維材料，具有很高的透光率和電導(dǎo)率。其透光率可以達(dá)到97%，電阻僅幾個(gè)歐姆，而且有很好的力學(xué)性質(zhì)。用石墨烯薄膜替代ITO膜可以顯著提高器件的光透過率、電子遷移率(即電導(dǎo)率)、溫度穩(wěn)定性、光引擎的光密度以及力學(xué)性質(zhì)。因此石墨烯薄膜的應(yīng)用是前沿性的應(yīng)用研究。
[0054]2.納米柱為氧化鋅或者二氧化鈦納米柱。
[0055]采用氧化鋅或者二氧化鈦納米微粒制備納米微柱，取代通常用的玻璃球控制盒厚；提高LCOS器件顯示對(duì)比度、色度、清晰度。選用氧化鋅或者二氧化鈦納米微粒具有以下優(yōu)點(diǎn):A.可以根據(jù)需要控制納米柱的厚度，例如1_2μπι厚度；B.由于氧化鋅或者二氧化鈦納米材料是一種光致發(fā)光材料，例如在可見光波長400-500nm氧化鋅或者二氧化鈦納米微粒表現(xiàn)出極強(qiáng)的發(fā)光信號(hào)。選擇黑色的材料，有利于提高對(duì)比度。C.有利于采用光刻技術(shù)，光刻技術(shù)可以精確地控制納米柱的厚度，做到精細(xì)加工。
[0056]3.液晶材料層為高溫反射式液晶，取代傳統(tǒng)的普通液晶材料，使得工作溫度可以達(dá)到60度，進(jìn)而提高亮度，使其顯示參數(shù)達(dá)到更高的水準(zhǔn):分辨率1280X1024 ;對(duì)比度1000: I;亮度大于100流明。
[0057]上述LCOS微顯示器件液晶盒可以通過如圖3所示的步驟制造，具體如下:
[0058]A)制備硅基襯底層，具體步驟為:
[0059]Al)在單晶硅基片上制成X-Y像素矩陣的有源矩陣、驅(qū)動(dòng)電路、信號(hào)電路；
[0060]A2)制作遮光層；
[0061]A3)制作平坦化層；
[0062]A4)像素矩陣表面化學(xué)拋光；
[0063]A5)像素矩陣表面蒸鍍反光層。
[0064]B)在硅基襯底層上制備納米柱，得到帶有納米柱的硅基襯底層，具體步驟為:
[0065]BI)采用氧化鋅或者二氧化鈦納米材料通過納米膜生成設(shè)備在硅基襯底層上制備納米膜；
[0066]B2)使用旋涂光刻工藝，將在硅基襯底層上的納米膜刻蝕出器件所需要的納米柱，隨后清除納米柱位置以外納米膜。
[0067]其優(yōu)點(diǎn)在于:可以根據(jù)需要控制納米柱的厚度，例如1_2μπι厚度；利用納米柱取代玻璃球，能夠精細(xì)控制盒厚，卻一致性好，可以用于制造高清晰度、高亮度、高對(duì)比度LCOS器件制造技術(shù)。
[0068]C)將石墨烯膜平板玻璃與帶有納米柱的硅基襯底層對(duì)接，組裝成液晶盒，具體步驟為:
[0069]Cl)獲取傳統(tǒng)工藝中ITO膜玻璃(厚度通常為0.3?0.7mm)更薄的平板玻璃(厚度為 0.1mm)；
[0070]C2)采用原子沉積和激光脈沖誘導(dǎo)的物理方法，利用石墨烯膜生成設(shè)備在平板玻璃上制備石墨烯膜，獲取石墨烯膜平板玻璃；
[0071]C3)將石墨烯膜平板玻璃與帶有納米柱的硅基襯底層上下對(duì)接，組裝形成液晶盒。
[0072]其優(yōu)點(diǎn)在于:用石墨烯膜替代ITO膜可以顯著提高器件的光透過率、電子遷移率(即電導(dǎo)率)、溫度穩(wěn)定性、光引擎的光密度以及力學(xué)性質(zhì)。
[0073]D)對(duì)盒前的LCOS硅基沉底和石墨烯膜玻璃都要按傳統(tǒng)的IXD液晶涂P1、摩擦工藝形成液晶取向?qū)?，附著在LCOS硅基沉底和石墨烯膜玻璃上；成盒后，在液晶盒內(nèi)灌注液晶材料，形成液晶材料層。
[0074]由本發(fā)明的制造方法，結(jié)合FS (場(chǎng)序)彩色精準(zhǔn)控制技術(shù)等，可以得到一種新型的LCOS微顯示器件，它可以制成高清高亮的各類投影儀，用于教育、衛(wèi)生、科研、會(huì)議交流、休閑娛樂、家庭影院；可以制成視頻眼鏡成為“隨身看”供個(gè)人用于學(xué)習(xí)、消遣而不影響他人；頭戴顯示器可以配夜視儀、電子望遠(yuǎn)鏡、瞄準(zhǔn)器等軍用。還可以與手機(jī)、電腦、衛(wèi)星接收機(jī)、有線和網(wǎng)絡(luò)機(jī)頂盒、攝像機(jī)、DVD等電子影像設(shè)備結(jié)合起來、制作一體化產(chǎn)品，具有重大的實(shí)用意義。
【權(quán)利要求】
1.一種LCOS微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述的液晶盒結(jié)構(gòu)呈層狀結(jié)構(gòu)，包括上電極層、液晶材料層、納米柱以及硅基襯底層，所述的硅基襯底層位于下層，上電極層位于上層，液晶材料層和納米柱位于中層，通過改變納米柱的高度調(diào)節(jié)液晶盒的厚度，所述的上電極層為石墨烯膜平板玻璃，所述的納米柱為氧化鋅或者二氧化鈦納米柱。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LCOS微顯示器件液晶盒結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述的液晶材料層為高溫反射式液晶。
3.—種LCOS微顯示器件液晶盒的制造方法，其特征在于，包括以下步驟: A)制備娃基襯底層； B)在娃基襯底層上制備納米柱，得到帶有納米柱的娃基襯底層； C)將石墨烯膜平板玻璃與帶有納米柱的硅基襯底層對(duì)接，組裝成液晶盒； D)在液晶盒內(nèi)灌注液晶材料，形成液晶材料層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種LCOS微顯示器件液晶盒的制造方法，其特征在于，步驟A具體包括以下步驟: Al)在單晶硅基片上制成X-Y像素矩陣下的有源矩陣、驅(qū)動(dòng)電路、信號(hào)電路； A2)制作遮光層； A3)制作平坦化層； A4)像素矩陣表面化學(xué)拋光； A5)像素矩陣表面蒸鍍反光層。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種LCOS微顯示器件液晶盒的制造方法，其特征在于，步驟B具體包括以下步驟: BI)采用氧化鋅或者二氧化鈦納米材料通過納米膜生成設(shè)備在硅基襯底層上制備納米膜； B2)使用旋涂光刻工藝，將在硅基襯底層上的納米膜刻蝕出器件所需要的納米柱，隨后清除納米柱位置以外納米膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種LCOS微顯示器件液晶盒的制造方法，其特征在于，步驟C具體包括以下步驟: Cl)獲取厚度為0.1mm的平板玻璃； C2)采用原子沉積和激光脈沖誘導(dǎo)的物理方法，利用石墨烯膜生成設(shè)備在平板玻璃上制備石墨稀I吳，獲取石墨稀I吳平板玻璃； C3)將石墨烯膜平板玻璃與帶有納米柱的硅基襯底層上下對(duì)接，組裝形成液晶盒。
【文檔編號(hào)】G02F1/1339GK104330909SQ201310309665
【公開日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2013年7月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月22日
【發(fā)明者】邢彥文, 馬仁祥, 付敏恭, 李傳南, 姚正鋼, 付夢(mèng)雨 申請(qǐng)人:上海長城計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)工程有限公司