柔性顯示器件及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種柔性顯示器件及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]柔性顯示器是一種制作在柔性載體(也稱為柔性基板)上的，可變型或可彎曲的顯示裝置。由于柔性顯示器具有高輕巧性、耐沖擊性、可撓取性、可穿戴性、攜帶方便等特點(diǎn)，被譽(yù)為二十一世紀(jì)最具前途的產(chǎn)品之一，已經(jīng)越來(lái)越多地受到人們的關(guān)注。
[0003]柔性顯示器通常包括顯示面板和用于驅(qū)動(dòng)顯示面板的外圍電路，所述顯示面板包括柔性基板、像素陣列和金屬線，所述像素陣列和金屬線均設(shè)置于所述柔性基板上，所述外圍電路通過(guò)所述金屬線與所述像素陣列的各個(gè)的像素單元實(shí)現(xiàn)電性連接，所述金屬線包括交叉設(shè)置且相互獨(dú)立的數(shù)據(jù)線和柵線。
[0004]柔性顯示器在使用時(shí)需要撓曲一定曲率半徑，甚至頻繁彎折。柔性顯示器發(fā)生形變時(shí)產(chǎn)生的應(yīng)力會(huì)施加于金屬線，金屬線會(huì)面臨斷裂的危險(xiǎn)。特別是數(shù)據(jù)線和柵線，由于其線寬非常小，而長(zhǎng)度卻很長(zhǎng)，具有超高的長(zhǎng)寬比，因此斷裂的幾率更大。隨著彎折次數(shù)的增加，金屬線容易出現(xiàn)斷裂或多處微連接，導(dǎo)致柔性顯示器無(wú)法正常顯示。
[0005]為了提高柔性顯示器的可靠性并延長(zhǎng)柔性顯示器的使用壽命，業(yè)界通常會(huì)對(duì)金屬線的設(shè)計(jì)和制作方法加以改進(jìn)。公開號(hào)為CN103700320A的中國(guó)專利申請(qǐng)，揭示了一種在金屬線上設(shè)置洞孔以釋放應(yīng)力，從而延長(zhǎng)金屬線的使用壽命的方法。具體請(qǐng)參考圖1，其為現(xiàn)有技術(shù)的柔性顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有的柔性顯示器10包括:柔性基板(圖中未示出)和設(shè)置于所述柔性基板上的金屬線，所述金屬線包括交叉設(shè)置且相互獨(dú)立的數(shù)據(jù)線I和柵線2，所述數(shù)據(jù)線I和柵線2限定的像素單元3內(nèi)設(shè)置有像素電極4和作為像素電極開關(guān)的薄膜晶體管5，所述數(shù)據(jù)線I和/或柵線2上設(shè)有洞孔6。
[0006]當(dāng)所述柔性顯示器10在發(fā)生形變時(shí)，可以通過(guò)所述洞孔6釋放應(yīng)力。該方法雖然能夠延長(zhǎng)金屬線的使用次數(shù)，提高柔性顯示器的使用壽命，但是由于金屬線的線寬本來(lái)就很小，在本就不寬的金屬線上打孔會(huì)有較多的問(wèn)題，主要表現(xiàn)為兩個(gè)方面:一方面，對(duì)于光刻設(shè)備的要求非常高，工藝難度較大；另一方面，打孔會(huì)在金屬線上產(chǎn)生打孔處，所述金屬線在打孔處邊緣的線寬會(huì)比其他位置的線寬窄很多，因此所述金屬線在打孔處非常容易出現(xiàn)斷裂，影響器件的可靠性。而且，眾所周知，隨著對(duì)顯示器分辨率的需求越來(lái)越高，金屬線的線寬要求也越來(lái)越窄，在很窄的金屬線上打孔，其技術(shù)難度也越來(lái)越大，實(shí)現(xiàn)的可能性也越來(lái)越低。
[0007]另外，公開號(hào)為CN103928401A的中國(guó)專利申請(qǐng)，揭示了一種使用石墨烯或納米銀材料制作透明導(dǎo)電層，來(lái)形成顯示屏陣列基板用像素電極和數(shù)據(jù)線的方法。該方法雖然能夠增加金屬線的使用次數(shù)，延長(zhǎng)顯示器的使用壽命，但是由于材料的限制，成本較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種柔性顯示器件及其制造方法，以解決現(xiàn)有的柔性顯示器因金屬線斷裂導(dǎo)致的可靠性差、使用壽命短的問(wèn)題。
[0009]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種柔性顯示器件的制造方法，所述柔性顯示器件的制造方法包括:
[0010]提供一柔性基板；
[0011 ] 在所述柔性基板上形成顯示器件層；
[0012]在所述顯示器件層上形成第一導(dǎo)電圖形；
[0013]在所述顯示器件層和第一導(dǎo)電圖形上形成第一介電絕緣層，對(duì)所述第一介電絕緣層進(jìn)行刻蝕以形成溝槽；以及
[0014]在所述溝槽中形成第二導(dǎo)電圖形；
[0015]其中，所述第一導(dǎo)電圖形和/或第二導(dǎo)電圖形由自修復(fù)導(dǎo)電材料制成。
[0016]可選的，在所述的柔性顯示器件的制造方法中，所述自修復(fù)導(dǎo)電材料為自修復(fù)型導(dǎo)電膠；
[0017]采用自修復(fù)導(dǎo)電材料在所述溝槽中形成所述第二導(dǎo)電圖形的過(guò)程包括:
[0018]通過(guò)噴墨打印工藝或旋涂工藝在所述第一介電絕緣層上及溝槽中形成自修復(fù)型導(dǎo)電膠層；
[0019]通過(guò)光刻工藝在所述自修復(fù)型導(dǎo)電膠層上形成圖形化的光阻層；以及
[0020]以所述圖形化的光阻層為掩膜對(duì)所述自修復(fù)型導(dǎo)電膠層進(jìn)行刻蝕，以形成第二導(dǎo)電圖形；
[0021]采用自修復(fù)導(dǎo)電材料在所述顯示器件層上形成所述第一導(dǎo)電圖形的過(guò)程包括:
[0022]通過(guò)噴墨打印工藝或旋涂工藝在所述顯示器件層上形成自修復(fù)型導(dǎo)電膠層；
[0023]通過(guò)光刻工藝在所述自修復(fù)型導(dǎo)電膠層上形成圖形化的光阻層；以及
[0024]以所述圖形案化的光阻層為掩膜對(duì)所述自修復(fù)型導(dǎo)電膠層進(jìn)行刻蝕，以形成第一導(dǎo)電圖形。
[0025]可選的，在所述的柔性顯示器件的制造方法中，所述自修復(fù)型導(dǎo)電膠包括填充有銀納米線的導(dǎo)電膠、含有多孔炭材料的導(dǎo)電膠或含有銦的熱可修復(fù)型導(dǎo)電膠；
[0026]所述填充有銀納米線的導(dǎo)電膠采用核殼結(jié)構(gòu)的納米粒子，所述核殼結(jié)構(gòu)的納米粒子的殼為聚苯乙烯，所述核殼結(jié)構(gòu)的納米粒子的核為分散有銀納米線的聚硫醇與二甲基苯胺的混合物；
[0027]所述含有多孔炭材料的導(dǎo)電膠的成分包括環(huán)氧樹脂、固化促進(jìn)劑、環(huán)氧稀釋劑份、乳化劑、含孔碳材料粉末、去離子水和囊壁材料；
[0028]所述含有銦的熱可修復(fù)型導(dǎo)電膠的成分包括環(huán)氧樹脂、片狀銀粉、固化劑、固化促進(jìn)劑、聚甲基丙烯酸酯微粉、銦填料和偶聯(lián)劑；
[0029]所述填充有銀納米線的導(dǎo)電膠和含有多孔炭材料的導(dǎo)電膠的制備方法均為乳液聚合法，所述含有銦的熱可修復(fù)型導(dǎo)電膠的制備方法為固固混合和固液混合工藝。
[0030]可選的，在所述的柔性顯示器件的制造方法中，所述自修復(fù)導(dǎo)電材料為低熔點(diǎn)合金材料；
[0031]采用自修復(fù)導(dǎo)電材料在所述溝槽中形成所述第二導(dǎo)電圖形的過(guò)程包括:
[0032]通過(guò)濺鍍工藝、化學(xué)氣相沉積工藝或旋涂工藝在所述第一介電絕緣層上及溝槽中形成低熔點(diǎn)合金材料層；
[0033]通過(guò)光刻工藝在所述低熔點(diǎn)合金材料層上形成圖形化的光阻層；以及
[0034]以所述圖形案化的光阻層為掩膜對(duì)所述低熔點(diǎn)合金材料層進(jìn)行刻蝕，以形成第二導(dǎo)電圖形；
[0035]采用自修復(fù)導(dǎo)電材料在所述顯示器件層上形成所述第一導(dǎo)電圖形的過(guò)程包括:
[0036]通過(guò)濺鍍工藝、化學(xué)氣相沉積工藝或旋涂工藝在所述顯示器件層上形成低熔點(diǎn)合金材料層；
[0037]通過(guò)光刻工藝在所述低熔點(diǎn)合金材料層上形成圖形化的光阻層；以及
[0038]以所述圖形案化的光阻層為掩膜對(duì)所述低熔點(diǎn)合金材料層進(jìn)行刻蝕，以形成第一導(dǎo)電圖形。
[0039]可選的，在所述的柔性顯示器件的制造方法中，所述低熔點(diǎn)合金材料為銦錫鉍鋅合金材料，所述銦錫鉍鋅合金材料的熔點(diǎn)在50°C到60°C之間，所述銦錫鉍鋅合金材料包括如下質(zhì)量百分含量的組分:銦46%?50% ;錫12?20% M 28?42% ;鋅O?10%。
[0040]可選的，在所述的柔性顯示器件的制造方法中，所述第一導(dǎo)電圖形由非自修復(fù)導(dǎo)電材料制成，所述第二導(dǎo)電圖形由自修復(fù)導(dǎo)電材料制成，采用非自修復(fù)導(dǎo)電材料在所述顯示器件層上形成第一導(dǎo)電圖形的過(guò)程包括:
[0041]通過(guò)濺鍍工藝、化學(xué)氣相沉積工藝或旋涂工藝在所述顯示器件層上形成非自修復(fù)導(dǎo)電材料層；
[0042]通過(guò)光刻工藝在所述非自修復(fù)導(dǎo)電材料層上形成圖形化的光阻層；以及
[0043]以所述圖形案化的光阻層為掩膜對(duì)所述非自修復(fù)導(dǎo)電材料層進(jìn)行刻蝕，以形成第一導(dǎo)電圖形；或者
[0044]所述第一導(dǎo)電圖形由自修復(fù)導(dǎo)電材料制成，所述第二導(dǎo)電圖形由非自修復(fù)導(dǎo)電材料制成，采用非自修復(fù)導(dǎo)電材料在所述溝槽中形成第二導(dǎo)電圖形的過(guò)程包括:
[0045]通過(guò)濺鍍工藝、化學(xué)氣相沉積工藝或旋涂工藝在所述第一介電絕緣層上及溝槽中形成非自修復(fù)導(dǎo)電材料層；
[0046]通過(guò)光刻工藝在所述非自修復(fù)導(dǎo)電材料層上形成圖形化的光阻層；以及
[0047]以所述圖形案化的光阻層為掩膜對(duì)所述非自修復(fù)導(dǎo)電材料層進(jìn)行刻蝕，以形成第二導(dǎo)電圖形。
[0048]可選的，在所述的柔性顯示器件的制造方法中，所述非自修復(fù)導(dǎo)電材料為鉬、鉬鋁鉬、鈦或鈦銷鈦。
[0049]可選的，在所述的柔性顯示器件的制造方法中，在形成第二導(dǎo)電圖形之后，還包括:
[0050]在所述第二導(dǎo)電圖形上依次形成金屬擴(kuò)散阻擋層、易流動(dòng)的介電層和第二介電絕緣層。
[0051]可選的，在所述的柔性顯示器件的制造方法中，在形成所述第一介電絕緣層之前，在形成所述第一導(dǎo)電圖形之后，還包括:在所述第一導(dǎo)電圖形上形成金屬擴(kuò)散阻擋層；
[0052]在形成所述第二導(dǎo)電圖形之后，還包括:
[0053]在所述第二導(dǎo)電圖形上形成易流動(dòng)的介電層；
[0054]在所述易流動(dòng)的介電層上形成第二介電絕緣層。
[0055]本發(fā)明還提供一種柔性顯示器件，所述柔性顯示器件包括:柔性基板；形成于所述柔性基板上的顯示器件層；形成于所述顯示器件層的第一導(dǎo)電圖形；形成于在所述顯示器件層和第一導(dǎo)電圖形上的第一介電絕緣層，形成于所述第一介電絕緣層中的溝槽；形成于所述溝槽中的第二導(dǎo)電圖形；
[0056]其中，所述第一導(dǎo)電圖形和/或第二導(dǎo)電圖形由自修復(fù)導(dǎo)電材料制成。
[0057]在本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示器件的制造方法中，通過(guò)分步形成長(zhǎng)寬比相對(duì)較高的金屬線和長(zhǎng)寬比相對(duì)較低的金屬線，其中長(zhǎng)寬比相對(duì)較高的金屬線，包括數(shù)據(jù)線和柵線均由自修復(fù)導(dǎo)電材料制成，斷裂后能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)