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反射式鏡面面型控制裝置的制作方法

文檔序號(hào):11990705閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種反射式鏡面面型控制裝置,包括:鏡片,鏡片在接受作用力而產(chǎn)生形變,形變后的面形對(duì)照射在其上的光束的波前陣面有整形作用;底座,底座與鏡片相連,用于接受加熱/制冷單元的能量變化而產(chǎn)生形變,并將形變作用在鏡片上;加熱/制冷單元,加熱/制冷單元安裝在底座的底部,為底座的形變提供溫度條件;溫度探測(cè)器,溫度探測(cè)器安裝在底座中,用于探測(cè)經(jīng)加熱/制冷單元傳到在底座上發(fā)生的溫度變化值,以便進(jìn)行控制調(diào)節(jié)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,調(diào)節(jié)精度高,實(shí)時(shí)效率高,減少能耗,同時(shí)結(jié)構(gòu)成本很低并可實(shí)現(xiàn)小體積多調(diào)節(jié)點(diǎn)的高效小型變形鏡制作。

技術(shù)研發(fā)人員:黃磊;鞏馬理;閆平;柳強(qiáng);薛嶠;馮澤心;康少男;閆海波
受保護(hù)的技術(shù)使用者:清華大學(xué)
文檔號(hào)碼:201310226580
技術(shù)研發(fā)日:2013.06.07
技術(shù)公布日:2017.04.05

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