專利名稱：曝光質(zhì)量檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種曝光質(zhì)量檢測方法。
背景技術(shù)：
以往，為了制造出高質(zhì)量的印刷板，通常在制版之后檢測通過制版裝置進行曝光后的印刷板，判斷通過曝光而得到的圖案是否滿足質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。關(guān)于對曝光后的印刷板的質(zhì)量檢測，大致檢測印刷板上的曝光而形成的圖像質(zhì)量(印刷物的質(zhì)量)和幾何學(xué)精度/重合精度(曝光再現(xiàn)性)，其中，幾何學(xué)精度/重合精度的指標(biāo)包括絕對尺寸、圖像斜度、線性度(內(nèi)部歪斜)、曝光開始位置、重合精度(registration)。
如圖13所示，在基板的表面和背面都印刷基板的情況下，如果表面和背面的圖案斜度不同，則存在表面和背面的圖案的位置不重合的缺陷。另外，如圖14A、圖14B所示，在為了制作冊子而在表面進行曝光的情況下，如果內(nèi)部圖案的線條歪斜，則印刷品圖案的大小不重合。這樣，在進行多種顏色印刷的情況下，將會產(chǎn)生顏色偏差的缺陷。另外，在曝光再現(xiàn)性(重合精度)不好的印刷板上進行印刷的情況下，同樣顏色也會出現(xiàn)偏差。關(guān)于對上述指標(biāo)的檢測，如圖15A、15B所示，以往將被評價印刷版I與標(biāo)準(zhǔn)印刷版2進行比較，然后通過顯微鏡觀察被評價印刷版I和標(biāo)準(zhǔn)印刷版2的線條之間的差異，由此對曝光后的印刷板進行質(zhì)量檢測。但是通過這種檢測方法進行測定的時間長，而且不能夠進行高精度的修正。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種能夠快速對曝光后的印刷板進行質(zhì)量檢測并且能夠高精度地進行修正的曝光質(zhì)量檢測方法。為了解決上述問題，本發(fā)明的技術(shù)方案I提供一種曝光質(zhì)量檢測方法，其特征在于，包括曝光工序，通過制版裝置對印刷版進行曝光而形成格子圖案；測定工序，測定印刷版和所述格子圖案；判定工序，判定所述測定的測定結(jié)果。在技術(shù)方案2中，優(yōu)選在所述判定工序中，判定絕對尺寸、圖像斜度、線性度、曝光開始位置、重合精度中的至少一個。在技術(shù)方案3中，優(yōu)選在判定絕對尺寸的過程中，確定所述印刷版的四角上的4個點，算出相鄰的兩個點之間距離，將各個距離與理論值進行比較。在技術(shù)方案4中，優(yōu)選在判定圖像斜度的過程中，確定構(gòu)成所述格子圖案的線條的交叉點中的規(guī)定的幾個點，然后測定水平方向上的各點的連線相對于平行方向的斜度，并且測定與水平方向垂直的垂直方向上的各點的連線相對于垂直方向的斜度，另外測定所述印刷版的對角線的長度，將它們與理論值進行比較。在技術(shù)方案5中，優(yōu)選在判定線性度的過程中，在判定線性度的過程中，確定所述印刷版上的形成格子圖案的各個線條的交叉點，然后測定出形成格子圖案的一個線條上的至少兩個交叉點之間的距離，將該距離與理論值進行比較。
在技術(shù)方案6中，優(yōu)選在判定曝光開始位置的過程中，確定曝光開始位置相對于所述印刷版邊緣的坐標(biāo)，判定在多次曝光中該坐標(biāo)是否相同。在技術(shù)方案7中，優(yōu)選在判定重合精度的過程中，判定對所述印刷版進行多次曝光時各次曝光中的線性度是否相同。以往，將被評價印刷版與標(biāo)準(zhǔn)印刷版進行比較，然后通過顯微鏡觀察被評價印刷版和基準(zhǔn)基板的線條之間的差異，由此對曝光后的印刷板進行質(zhì)量檢測。但是通過這種檢測方法進行測定的時間長，而且不能夠進行高精度的修正。根據(jù)本發(fā)明，能夠縮短測定時間，并且能夠高精度地進行修正，從而能夠避免通過以往那樣的檢測方法進行測定而測定時間長且不能夠進行高精度的修正的缺陷


圖I是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的主視立體圖。圖2是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的后視立體圖。圖3是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的打開前板后的主視立體圖。圖4是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的局部圖。圖5是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的記錄滾筒的側(cè)視圖。圖6是表示制版設(shè)備制造出的印刷板的俯視示意圖。圖7是表示檢測印刷板的絕對尺寸的示意圖。圖8是表示檢測印刷板的圖像斜度(直線性)的示意圖。圖9是表示檢測印刷板的圖像的線性度(內(nèi)部歪斜)的示意圖。圖10是表示檢測印刷板的圖像的曝光開始位置的示意圖。圖11是表示檢測印刷板的圖像的重合精度的示意圖。圖12是表示本發(fā)明的檢測步驟的流程圖。圖13是表示因圖像傾斜而引起的缺陷的示意圖。圖14A、圖14B是表示因線性度(內(nèi)部歪斜)而引起的缺陷的示意圖。圖15A、圖15B是表示現(xiàn)有的曝光質(zhì)量檢測方法的示意圖。
具體實施例方式下面，參照附圖Γ5說明本發(fā)明，以將本發(fā)明應(yīng)用于作為計算機直接制版(CTP)裝置的制版設(shè)備的情況為例來進行說明。圖I是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的主視立體圖。圖2是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的后視立體圖。圖3是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的打開前板后的主視立體圖。圖4是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的局部圖。圖5是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的記錄滾筒的側(cè)視圖。另夕卜，為了便于說明，按照主視情況下的方向定義本發(fā)明的上方、下方、左方、右方、前方、后方(參照圖I)。在計算機直接制版設(shè)備是一種綜合性的、多學(xué)科的產(chǎn)品，是集光學(xué)技術(shù)、電子技術(shù)、彩色數(shù)字圖像技術(shù)、計算機軟硬件、精密儀器及印刷版技術(shù)、自動化技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)技術(shù)等新技術(shù)于一體的高科技產(chǎn)品。計算機直接制版(CTP)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)主要由機械系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、電路系統(tǒng)3大部分組成。
在利用計算機直接制版設(shè)備進行制版時，由激光器產(chǎn)生的單束原始激光，經(jīng)過多路光學(xué)纖維或者復(fù)雜的高速旋轉(zhuǎn)光學(xué)裂束系統(tǒng)分裂成多束(通常是20(Γ500束)極細的激光束分別經(jīng)過聲光調(diào)制器按照來自計算機的圖像信息的亮暗等信息，對激光束的亮暗變化記憶進行調(diào)制后，形成受控光束。使該受控光束再進行聚焦后，使幾百束微激光直接射到印刷版表面來進行掃描刻版。在進行了掃描刻版之后，在印刷版上形成圖像的潛影。然后，經(jīng)過顯影，將來自計算機的圖像信息還原在印刷版上供膠印機直接印刷。利用計算機直接制版設(shè)備進行制版，與傳統(tǒng)的制版相比，不需要進行拼曬板，校色快，印刷準(zhǔn)備時間短，從而能夠節(jié)約材料、人工以及工作時間等。計算機直接制版的印刷版具有銀鹽印刷版、熱敏印刷版、光聚合印刷版和噴墨印刷版。銀鹽印刷版主要具有銀鹽與PS版復(fù)合型印刷版、向上擴散型印刷版和向下擴散型印刷版三種類型。銀鹽與PS版復(fù)合型直接印刷版主要利用銀鹽乳劑層的高感光度和寬感色 范圍完成印刷版的激光直接掃描成像。銀鹽與PS版復(fù)合型印刷版結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且需要多冊曝光和顯影(定影)等后處理，工藝繁雜。向上擴散型直接印刷版由版基、銀鹽乳劑層和物理顯影核層構(gòu)成。激光掃描成像后，進行擴散顯影。沒有曝光區(qū)域的銀離子向上擴散，在表層物理顯影核的作用下還原成金屬銀，成為親油表面；曝光區(qū)域的表層仍然為乳劑層，具有良好的親水性。向下擴散型銀鹽印刷版由具有良好親水表面的鋁版基、物理顯影核層和銀鹽乳劑層構(gòu)成。激光掃描成像后，進行擴散顯影。曝光區(qū)域的銀離子向下擴散，在底層物理顯影核的作用下還原成金屬銀，成為最后的親油表面；然后將乳劑層去掉，曝光區(qū)域的親水版基表面裸露出來成為親水層。向下擴散型銀鹽印刷版具有非常高的感光度和感光范圍，耐印力也非常高，適合于高檔商業(yè)印刷。熱敏印刷版(紅外熱敏印刷版)分為熱燒蝕型直接印刷版和非熱燒蝕型直接印刷版，非熱燒蝕型直接印刷版分為熱交換型直接印刷版、熱轉(zhuǎn)移型直接印刷版和熱致相變化型直接印刷版。熱燒蝕印刷版由斥油的硅膠表面層、光熱轉(zhuǎn)換層(吸光層)、親油底層和版基構(gòu)成。硅膠表面層將構(gòu)成最終的非印刷表面，在熱的作用下會隨光熱轉(zhuǎn)換層的汽化作用而被去掉，從而使下面的親油層裸露出來成為接受油墨的印刷表面。光熱轉(zhuǎn)換層的主要作用是吸收掃描激光發(fā)出的光能，并有效地將吸收的光能轉(zhuǎn)換成熱能，使版面的溫度升高達到汽化溫度水平。熱交聯(lián)印刷版由熱敏涂層和親水版基構(gòu)成。熱敏涂層一般有(堿)水溶性成膜樹脂(例如，酚醛樹脂)、熱敏交聯(lián)劑和紅外染料構(gòu)成；親水版基可以使用與傳統(tǒng)PS版完全一樣的鋁板基。熱轉(zhuǎn)移印刷版和熱致相變化印刷版都屬于成像后不再需要化學(xué)后處理就可以印刷的無后處理直接印刷版(Processless CTPlate),而且在激光掃描成像過程中也不會產(chǎn)生燒蝕碎片和汽霧等廢棄物。光聚合印刷版通常有鋁版基、感光層和表面層構(gòu)成。光聚合層主要由聚合單體(+低聚物)、引發(fā)劑、光譜增感激和成膜樹脂構(gòu)成。弓I發(fā)劑一般采用量子效率高的多元引發(fā)劑體系，光譜增感劑的作用是有效地將引發(fā)劑的感光范圍延伸到激光的發(fā)光波長區(qū)域。(整體結(jié)構(gòu))如圖f圖3所示，本發(fā)明的制版設(shè)備I具有箱體10，該箱體10具有框架，在框架上安裝前板101、后板102、左側(cè)板103、右側(cè)板104、頂板105和底板106，由此形成制版設(shè)備的內(nèi)部空間。另外，在前板101的右側(cè)設(shè)置有電源開關(guān)S，在頂板105上設(shè)置有操作面板，并且在頂板105上設(shè)置傳導(dǎo)部T。在傳導(dǎo)部T上設(shè)置有印版設(shè)定用刻度Tl和印版檢測傳感器T2。另外，如圖3、圖4所示，在制版設(shè)備I的內(nèi)部空間中內(nèi)置有記錄滾筒20、記錄頭30、控制基板部(未圖示)、電路部(未圖示)、對記錄滾筒20進行驅(qū)動的驅(qū)動部(未圖示)以及對記錄頭30進行驅(qū)動的驅(qū)動部(未圖示)。另外，在左側(cè)板103上安裝有I個排氣風(fēng)扇，在右側(cè)板104上安裝有3個吸氣風(fēng)扇，在后板102上形成有2個吸氣風(fēng)扇，由此形成散熱系統(tǒng)。另外，在后板102上還形成有開口部(排氣孔)。(記錄滾筒)下面，簡單描述記錄滾筒20。圖5是表示本發(fā)明的制版設(shè)備的記錄滾筒的側(cè)視圖。參照圖5，記錄滾筒20被設(shè)置于制版設(shè)備I之內(nèi)，借助電動機(未圖示)產(chǎn)生的驅(qū)動力，該記錄滾筒20繞著圓柱軸旋轉(zhuǎn)。由此被傳送來的印版被安裝和纏繞于記錄滾筒20的外表面(環(huán)形曲面)周圍。作為用于將印版(圖像記錄材料)穩(wěn)定于記錄滾筒20的外表面上的結(jié)構(gòu)，包括至少四個定位銷201、前端夾具202和尾端夾具203。定位銷201被固定于記錄滾筒20的外表面上，并被排列為能夠被傳送來的印版的一端(即前端)。尾端夾具203被構(gòu)造為可從記錄滾筒20的外表面松開。在尾端夾具203從記錄滾筒20松開的同時，尾端夾具203由第一夾具驅(qū)動部分(未圖示)保持。一旦尾端夾具203附著于記錄滾筒20上，該尾端夾具203就在記錄滾筒20的外表面上夾住被傳送來的印版的另一端(即尾端)。旋轉(zhuǎn)編碼器204被附著于記錄滾筒20的旋轉(zhuǎn)軸上，以檢測其各種角位置。在當(dāng)前的圓柱形外表面掃描設(shè)備中，預(yù)先限定了第一角位置X、第二角位置Z和第三角位置Q。特別地，前端夾具202在第一角位置X處夾緊；第二角位置Z與尾端夾具203的定位有關(guān)；以及前端夾具202的夾緊在第三角位置Q處被松開。如圖5所示，相對于預(yù)定的基準(zhǔn)線S來限定每個角的位置。在記錄滾筒20處于第一角位置X時，前端夾具202被第一夾具驅(qū)動部分(未圖示)驅(qū)動，以夾住印版的前端。在記錄滾筒20處于第三角位置Q時，前端夾具202被第二夾具驅(qū)動部分(未圖示)驅(qū)動，以松開已被夾住的印版的前端。在記錄滾筒20處于第二角位置Z時，尾端夾具203可被第三夾具驅(qū)動部分(未圖示)驅(qū)動，以附著于記錄滾筒20的外表面上，以便夾住印版的尾端。在記錄滾筒20處于第二角位置Z時，這樣附著于記錄滾筒20外表面上的尾端夾具203可通過第三夾具驅(qū)動部分而脫離外表面，由此松開印版的尾端。由于第一至第三夾具驅(qū)動部分不構(gòu)成本發(fā)明的實質(zhì)部分，所以將省略其具體描述。而且，作為用于保持印版緊密接觸記錄滾筒20外表面的結(jié)構(gòu)，圓柱形外表面掃描設(shè)備包括多個小孔和槽(下文稱為“吸孔”和“吸槽”)，其設(shè)置于記錄滾筒20的外表面上，用于吸附印版；鼓風(fēng)機(未圖示)，其與吸孔和吸槽相配合以建立真空系統(tǒng)；擠壓輥(未圖示)，其設(shè)置于記錄滾筒20的附近。由于吸孔、吸槽、鼓風(fēng)機和擠壓輥不構(gòu)成本發(fā)明的實質(zhì)部分，所以將省略其具體描述。·(記錄頭)下面，將描述記錄頭30。如圖4所示，記錄頭30被設(shè)置于工作臺60上，該工作臺60被設(shè)置于記錄滾筒20附近。該記錄頭30借助輸送螺桿機構(gòu)61所產(chǎn)生的驅(qū)動力，在平行于記錄滾筒20旋轉(zhuǎn)軸的方向上移動，并且利用光束來掃描印版，由此，記錄頭30進行曝光處理以將圖像記錄于印版上。具體地說，記錄頭30接收圖像數(shù)據(jù)，并朝向記錄滾筒20輸出利用該圖像數(shù)據(jù)調(diào)制了的激光。通過記錄滾筒20的旋轉(zhuǎn)，該激光沿著作為主掃描方向的周向在卷繞在記錄滾筒20的外周面上的印刷版上進行掃描。另外，記錄頭30被輸送螺桿機構(gòu)61驅(qū)動而在導(dǎo)軌(未圖示)上恒速移動。因此，激光沿著副掃描方向(平行于記錄滾筒20旋轉(zhuǎn)軸的方向)在印刷版上掃描。從而，在印刷版上形成有向作為主掃描方向的周向以及副掃描方向擴展的二維圖像。使用這樣形成有圖像的印刷版進行印刷。(對印刷版的檢測項目)下面舉 例說明被曝光后的印刷版P。如圖6所示，在被曝光后的印刷版P上形成作為格子圖案的曝光圖案，其中X、Y分別表示副掃描方向和主掃描(兩個曝光方向)，RU R2、R3分別表示記錄滾筒20上的印刷版曝光基準(zhǔn)位置。關(guān)于對曝光后的印刷板的質(zhì)量檢測，大致檢測印刷板上的曝光而形成的圖像質(zhì)量(印刷物的質(zhì)量)和幾何學(xué)精度/重合精度(曝光再現(xiàn)性)，其中，幾何學(xué)精度/重合精度的指標(biāo)包括絕對尺寸、圖像斜度、線性度(內(nèi)部歪斜)、曝光開始位置、重合精度等。在本發(fā)明中，利用大日本網(wǎng)屏制造株式會社制造的印刷版的圖案檢測測定用的裝置即測長機進行檢測，該測長機設(shè)置在溫度和濕度被管理的檢測室中，從而能夠高精度地進行測定。另外，對于印刷版檢測而言，印刷品所要求的精度為1/100_，相對于此，本發(fā)明中的測長機的測定精度能夠為1/10000_，從而能夠高精度的進行檢測。另外，本發(fā)明的測長機具有學(xué)習(xí)功能，能夠?qū)?zhí)行一次測定的順序保存在裝置中，因此，只需要設(shè)置印刷版就能夠自動進行測定。另外，關(guān)于運算檢測軟件，使用美迪亞(MTMC)公司開發(fā)的運算檢測軟件，能夠在4次印刷中同時對上述5個指標(biāo)進行檢測。(對各個指標(biāo)的檢測方法)I.關(guān)于對絕對尺寸的檢測，如圖7所示，確定印刷版P的四角上的4個點，算出相鄰的兩個點之間距離X1、X2、Y1、Y2，將各個距離與理論值進行比較，來確認絕對尺寸是否符合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。2.關(guān)于對圖像斜度的檢測，如圖8所示，確定構(gòu)成格子圖案的線條的交叉點中的規(guī)定的幾個點，在本例中，存在與副掃描方向平行的9條線條和與主掃描方向平行的13條線條，其中確定 Ρ1/1、Ρ7/1、Ρ13/1、Ρ1/5、Ρ7/5、Ρ13/5、Ρ1/9、Ρ7/9、Ρ13/9 這 9 個點。然后測定印刷版P上的點Ρ1/1至點Ρ13/1的連線、點Ρ1/5至點Ρ13/5的連線、點Ρ1/9至點Ρ13/9的連線相對于Rl、R2的連線在平行方向上的斜度，并且測定點Ρ1/1至點Ρ1/9的連線、點Ρ7/1至點Ρ7/9的連線、點Ρ13/1至點Ρ13/9的連線相對于與Rl、R2的連線垂直的直線在垂直方向上的斜度，還測定點Ρ1/9至Ρ13/1以及Ρ1/1至Ρ13/9這兩條對角線的長度，將這些斜度和長度與理論值進行比較，來確認圖像斜度是否符合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。3.關(guān)于對線性度(內(nèi)部歪斜)的檢測，如圖9所示，確定印刷版P上的形成格子圖案的各個線的交叉點，在本例中，在主掃描方向上每隔一個線條選擇一個交叉點，在副掃描方向上每隔兩個線條選擇一個交叉點。然后測定出連接各個頂點而形成的直線的長度，將該距離與理論值進行比較，來確認圖像的線性度。4.在現(xiàn)有技術(shù)中，通常對一個印刷版進行4色曝光，即對一個印刷版進行4次曝光，這樣確保各次曝光的開始位置是否一致是非常重要的。關(guān)于對曝光開始位置的檢測，如圖10所示，測定每次印刷版的曝光基準(zhǔn)位置Rl、R2、R3和曝光開始位置P1/1，運算出每次曝光過程中的曝光開始位置P1/1與印刷版的曝光基準(zhǔn)位置Rl、R2所在的邊緣的距離和印刷版的曝光基準(zhǔn)位置R3所在的邊緣的距離，由此確定曝光開始位置P1/1的坐標(biāo)，來判斷各次曝光過程中的曝光開始位置是否一致。
5.重合精度是指再現(xiàn)性，檢測重合精度是為了確保在對一個印刷版進行4次曝光時，最終4次曝光后的圖案重合。關(guān)于對重合精度的檢測，如圖11所示，以曝光基準(zhǔn)位置R1、R2、R3為基準(zhǔn)，如在圖像斜度的檢測中那樣，測定規(guī)定的點，通過運算軟件將4次曝光中的測量長度數(shù)據(jù)重合，來確認重合精度是否符合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。(檢測流程)關(guān)于檢測流程，如圖12所示首先，(I)通過制版裝置對印刷版進行曝光來形成格子圖案(SI)，然后，(2)通過測長機測定印刷版和曝光形成的格子圖案(S2)，并通過運算軟件(美迪亞制作)自動判定測長結(jié)果是否合格(S3)。在判定為合格的情況下，前進至下一個工序，在判定為不合格的情況下，將通過運算軟件計算出的圖像修正值輸入制版裝置，然后從工序(I)開始再次進行確認。根據(jù)上述的檢測方法，通過測長機測定印刷版和曝光形成的格子圖案，并通過運算軟件(美迪亞制作)自動判定測長結(jié)果是否合格，由此能夠縮短測定時間，并且能夠高精度地進行修正，從而能夠避免通過以往那樣的檢測方法進行測定而測定時間長且不能夠進行高精度的修正的缺陷。(其他實施方式)在上述的對圖像斜度的檢測中，選擇了 9個交叉點來進行檢測，但不限于此，可以根據(jù)需要選擇更多的點。另外，在上述的對線性度(內(nèi)部歪斜)的檢測中，在主掃描方向上每隔一個線條選擇一個交叉點，在副掃描方向上每隔兩個線條選擇一個交叉點，但不限于此，可以根據(jù)精度需要選擇所有交叉點。上述的實施方式僅為用于說明本發(fā)明的實施例，不用于限定本發(fā)明的保護范圍，本發(fā)明的保護范圍由權(quán)利要求書限定。還包括與權(quán)利要求書等同的意思及范圍內(nèi)的全部的變更。
權(quán)利要求
1.一種曝光質(zhì)量檢測方法，其特征在于，包括 曝光工序，通過制版裝置對印刷版進行曝光而形成格子圖案； 測定工序，測定印刷版和所述格子圖案； 判定工序，判定所述測定的測定結(jié)果。
2.如權(quán)利要求I所述的曝光質(zhì)量檢測方法，其特征在于，在所述判定工序中，判定絕對尺寸、圖像斜度、線性度、曝光開始位置、重合精度中的至少一個。
3.如權(quán)利要求2所述的曝光質(zhì)量檢測方法，其特征在于，在判定絕對尺寸的過程中，確定所述印刷版的四角上的4個點，算出相鄰的兩個點之間距離，將各個距離與理論值進行比較。
4.如權(quán)利要求2所述的曝光質(zhì)量檢測方法，其特征在于，在判定圖像斜度的過程中，確定構(gòu)成所述格子圖案的線條的交叉點中的規(guī)定的幾個點，然后測定水平方向上的各點的連線相對于平行方向的斜度，并且測定與水平方向垂直的垂直方向上的各點的連線相對于垂直方向的斜度，另外測定所述印刷版的對角線的長度，將它們與理論值進行比較。
5.如權(quán)利要求2所述的曝光質(zhì)量檢測方法，其特征在于，在判定線性度的過程中，確定所述印刷版上的形成格子圖案的各個線條的交叉點，然后測定出形成格子圖案的一個線條上的至少兩個交叉點之間的距離，將該距離與理論值進行比較。
6.如權(quán)利要求2所述的曝光質(zhì)量檢測方法，其特征在于，在判定曝光開始位置的過程中，確定曝光開始位置相對于所述印刷版邊緣的坐標(biāo)，判定在多次曝光中該坐標(biāo)是否相同。
7.如權(quán)利要求2所述的曝光質(zhì)量檢測方法，其特征在于，在判定重合精度的過程中，判定對所述印刷版進行多次曝光時各次曝光中的線性度是否相同。
全文摘要
本發(fā)明提供一種曝光質(zhì)量檢測方法，其特征在于，包括曝光工序，通過制版裝置對印刷版進行曝光而形成格子圖案；測定工序，測定印刷版和所述格子圖案；判定工序，判定所述測定的測定結(jié)果。
文檔編號G03F7/20GK102929105SQ201210457509
公開日2013年2月13日 申請日期2012年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月13日
發(fā)明者王舜祺 申請人:美迪亞印刷設(shè)備(杭州)有限公司