專利名稱：一種檢測掩模版索引器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，特別是涉及一種檢測掩模版索引器的方法。
背景技術(shù)：
在光刻過程中，掩模傳輸系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要組成分系統(tǒng)，主要承擔(dān)掩模版的存取、傳輸、定位和交換等工作，能夠避免人與掩模版直接接觸而對掩模版造成損害。現(xiàn)有的掩模版升降定位機(jī)構(gòu)，如美國半導(dǎo)體制造商ASYST公司推出的索引器(indexer)，包括激光傳感系統(tǒng)、鎖定裝置、升降機(jī)構(gòu)，其中，升降機(jī)構(gòu)包括直流電機(jī)、皮帶和傳動絲桿，升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動連接至掩模版底盤的滑塊沿支撐立柱作直線往復(fù)運動。索引器以其精準(zhǔn)的伺服控制動作、智慧型鎖定設(shè)置與最佳化的載具感測(carrier sensing),提供優(yōu)越的性能。但是，索引器的升降機(jī)構(gòu)的傳動絲桿、直流電機(jī)和皮帶等容易發(fā)生機(jī)械損耗，使得 索引器的性能降低影響掩模版的正常傳輸，通常的檢測方法都需要在機(jī)器停止運行時進(jìn)行，由于整個光刻過程是連續(xù)的不能中斷的，故常規(guī)的檢測方法不適用于此。因此，需要一種能夠在索引器工作狀態(tài)下檢測索引器狀態(tài)的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種檢測掩模版索引器的方法，以在索引器工作狀態(tài)下檢測索引器運行狀況。一種檢測掩模版索引器的方法，包括用萬用表測量索引器電路的電流，當(dāng)所述索引器的電流超過警戒值，則將在未來2個月I個月內(nèi)對索引器進(jìn)行檢查；當(dāng)所述索引器的電流到達(dá)危險值，將在I個星期個星期內(nèi)對索引器進(jìn)行檢查，確定索引器的各個部件磨損狀況是否都正常。本發(fā)明的一種檢測掩模版索引器的方法，包括用萬用表測量索引器電路的電流，當(dāng)所述索引器的電流超過警戒值，則將在未來2個月I個月內(nèi)對索引器進(jìn)行檢查；當(dāng)所述索引器的電流到達(dá)危險值，將在I個星期個星期內(nèi)對索引器進(jìn)行檢查，確定索引器的各個部件磨損狀況是否都正常。作為優(yōu)選，通過多次試驗獲得所述警戒值和危險值。作為優(yōu)選，所述警戒值為I. 95A 2. 3A。作為優(yōu)選，所述危險值為2. 3A^2. 5A。本發(fā)明的檢測掩模版索引器的方法，能夠在索引器工作狀態(tài)下檢測索引器的運行狀況，該方法是非破壞性的，不需要拆開機(jī)器對各部分進(jìn)行檢測，通過本發(fā)明的方法能夠?qū)λ饕骷皶r維護(hù)和檢修，以避免不必要的故障。


圖I為掩模版索引器的正視圖；圖2為掩模版索引器的側(cè)視圖3為掩模版索引器的升降機(jī)構(gòu)的示意圖；圖4為本發(fā)明的一種檢測掩模版索引器的方法的原理圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
做詳細(xì)的說明。圖I和圖2分別為掩模版索引器的正視圖和側(cè)視圖，其中，11為索引器的升降底盤，能夠帶動掩模版做升降運動；12為索引器的底座，起支撐和固定的作用，且其內(nèi)還安裝有索引器的控制電路板；13和/或14為索引器的架構(gòu)支撐立柱，起支撐作用，14內(nèi)還安裝有升降底盤11的升降機(jī)構(gòu)，如圖3所示，所述升降機(jī)構(gòu)包括直流電機(jī)31、皮帶32和傳動絲桿33,皮帶32將直流電機(jī)31的動力傳遞給傳動絲桿33,所述傳動絲桿33帶動連接升降底 盤11的滑塊34沿架構(gòu)支撐立柱13和14上下往復(fù)運動，升降底盤11以及其上的掩模版隨著滑塊34而上下運動。曝光機(jī)臺的兩側(cè)各有一個索引器。當(dāng)索引器因故障顯示定位錯誤，并且在自我檢測后不能解決問題時，需要將索引器從設(shè)備上卸載，更換配件，這將花費很長時間。本發(fā)明的一種檢測掩模版索引器的方法是將一萬用表連接在索引器輸入輸出兩側(cè)，由于索引器發(fā)生異常時，會使得流過它的電流超過正常水平，因此，本發(fā)明通過檢測其電流大小來檢測掩模版索引器的運行狀態(tài)。圖4為本發(fā)明的一種檢測掩模版索引器的方法的原理圖，圖中的I表示索引器，所述索引器I就相當(dāng)于圖中的可變電阻，萬用表2接在索引器I的輸入輸出兩端。采用ISIM仿真軟件，對索引器做極限承受力的實驗，然后根據(jù)經(jīng)驗算出一個大概的警戒值和危險值。在本實施例中，分別對曝光機(jī)臺兩側(cè)的ASYST公司的型號為APDSS的7對掩模版索引器的多個承載狀態(tài)(Okg (空閑)、1. 4Kg (空盒)、1. 6Kg (I片掩模版)、4. OKg (6片掩模版)、5. OKg (12片掩模版)和8Kg(報警電流)進(jìn)行仿真，得出在索引器正常情況下的電流輸出值，如表I所示
權(quán)利要求
1.一種檢測掩模版索引器的方法，其特征在于，包括 確定索引器的警戒值和危險值，所述警戒值是索引器正常工作情況下的最大電流值，所述危險值是索引器在超載情況下的最小電流值； 在索引器工作狀態(tài)下用萬用表測量索引器輸入輸出兩端的電流； 將所測得的電流值與警戒值及危險值進(jìn)行比較，當(dāng)所述索引器的電流超過警戒值，則將在未來2個月I個月內(nèi)對索引器進(jìn)行檢查；當(dāng)所述索引器的電流達(dá)到或超過危險值，將在未來I個星期 2個星期內(nèi)對索引器進(jìn)行檢查，確定索引器的各個部件磨損狀況是否都正 常。
2.如權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，通過多次試驗獲得所述警戒值和危險值。
3.如權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述警戒值為I.95A 2. 3A。
4.如權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述危險值為2.3A^2. 5A。
全文摘要
本發(fā)明提供一種檢測掩模版索引器的方法，能夠在索引器工作狀態(tài)下檢測索引器的運行狀況，該方法是非破壞性的，不需要拆開機(jī)器對各部分進(jìn)行檢測，通過本發(fā)明的方法能夠?qū)λ饕骷皶r維護(hù)和檢修，以避免出現(xiàn)不必要的故障。
文檔編號G03F7/20GK102662310SQ20121014293
公開日2012年9月12日 申請日期2012年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月9日
發(fā)明者丁炯, 徐剛, 曹圣豪, 陸成 申請人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司