專利名稱：用于激光輻射的頻率轉(zhuǎn)換的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于激光輻射的頻率轉(zhuǎn)換的裝置，包括第一非線性晶體，在該第一非線性晶體中由具有第一波長的第一入射激光束通過頻率翻倍產(chǎn)生具有第二波長的第二激光束，第二激光束與第一激光束共線地延伸；第二非線性晶體，在第二非線性晶體中由第一激光束和第二激光束通過頻率混合產(chǎn)生具有第三波長的第三激光束；以及在第一非線性晶和第二非線性晶體之間的光路中布置的用于將激光束彼此分離的光學(xué)裝置。本發(fā)明也涉及相關(guān)的用于頻率轉(zhuǎn)換的方法。
背景技術(shù)：
為了產(chǎn)生具有中等功率的UV激光，即在大約O到30瓦的功率范圍的UV激光，可以根據(jù)由激光振蕩器提供的例如λ !=IOe^m的第一波長(基波波長)在第一步驟中借助具 有非臨界相位匹配的第一非線性晶體產(chǎn)生具有例如λ 2=λ/2=532 的第二波長(所謂的二次諧波)的頻率翻倍的激光束(所謂的“二次諧波生成”，SHG)。基波和二次諧波在此情況下線性地被極化并且具有彼此垂直的極化方向?；ê投沃C波于是在具有臨界相位匹配的第二非線性晶體中根據(jù)I/ λ 3=1/ λ 1+1/ λ 2=3/ λ i來產(chǎn)生總頻率(所謂的“總頻率生成”，SFG),即在此例子中產(chǎn)生具有λ 3=355nm波長的第三激光束，其如所期望的那樣在UV范圍中。在非線性晶體中的所謂的臨界相位匹配使得三個參與頻率混合的波的波長向量滿足條件1^=1^2+1^ (針對SHG適用于1^=21^)。由于非線性晶體具有雙折射特性，所以臨界相位匹配導(dǎo)致這兩個入射的激光束之一(無序極化的波)以所謂的“走離”角度從第二入射的激光束(有序極化的波)遠(yuǎn)離。這兩個激光束于是在非線性晶內(nèi)一定傳播路程之后被分離并且具有所謂的空間走離。在以開頭所描述的方式產(chǎn)生具有高功率的UV激光時，基波在第二晶體中典型地有序地被極化，而二次諧波在該晶體中被無序地極化，使得在第二非線性晶體中出現(xiàn)走離效應(yīng)。而在第一非線性晶體中使用非臨界相位匹配，使得在那里不出現(xiàn)走離效應(yīng)并且基波和二次諧波共線地從晶體射出。在第二非線性晶體中在基波與二次諧波之間的走離降低了在產(chǎn)生三次諧波(UV輻射)時的效率，因?yàn)檫M(jìn)行頻率轉(zhuǎn)換的交互作用長度減小。通過補(bǔ)償走離效應(yīng)，增大了交互作用長度，由此在產(chǎn)生UV輻射時的效率明顯升高。在文獻(xiàn)DE 10143709A1中介紹了一種用于補(bǔ)償在頻率轉(zhuǎn)換時的走離效應(yīng)的方法。在該方法中使用具有非臨界相位匹配的用于頻率轉(zhuǎn)換的第一非線性三硼酸鋰(LBO)晶體并且使用具有臨界相位匹配的LBO晶體來產(chǎn)生三次諧波。在第一非線性晶體與第二非線性晶體之間設(shè)置有雙折射晶體，其中避免了非線性光學(xué)特性。通過雙折射晶體產(chǎn)生走離，其導(dǎo)致在第二非線性晶體上基波與二次諧波的射束偏移。射束偏移與第二 LBO晶體的走離相反并且應(yīng)當(dāng)補(bǔ)償該走離。但在DE 10143709A1所描述的結(jié)構(gòu)中必須將附加部件(雙折射晶體)定位在光路中。這導(dǎo)致較高的調(diào)整開銷。由于抵抗第二非線性晶體的走離效應(yīng)的晶體的雙折射與溫度有關(guān)，所以用于分離激光束的雙折射晶體還必須保持在恒定溫度上。文獻(xiàn)EP 0503875A2公開了另一用于在具有臨界相位匹配的非線性晶體中進(jìn)行走離補(bǔ)償?shù)目赡苄?。在此情況下，在有序射束和無序射束之間的走離通過如下方式來補(bǔ)償，即兩個射束共線地相對于晶體表面呈一角度地射到具有臨界相位匹配的晶體上。當(dāng)激光以一角度射到晶體上時，出現(xiàn)折射并且輻射的波長向量根據(jù)極化方向而改變了不同的數(shù)值。在正確選擇入射角度和使晶體軸線相對于晶體的入射面取向時因此可以實(shí)現(xiàn)走離的補(bǔ)償。然而該解決方案同樣要求相應(yīng)剖切并被調(diào)制的非線性晶體。典型地，晶體軸線在此情況下并不垂直于或平行于晶體表面地取向，而是相對于晶體表面呈一角度地延伸。晶體被剖切的角度因此必須非常精確，因?yàn)椴痪_的剖切角度不能通過整個晶體的傾斜或轉(zhuǎn)動來補(bǔ)償。出版物US 2006/0250677公開了一種走離補(bǔ)償?shù)慕鉀Q方案，其中激光束同樣在相同的點(diǎn)處射到非線性晶體上，但之前借助光學(xué)裝置被分離，使得這些激光束關(guān)于晶體表面的入射角度彼此不同。激光束之一例如垂直射到晶體表面上，而另一激光束以一角度射到非線性晶體上。作為用于分離的光學(xué)裝置，雙棱鏡定位在非線性晶體之前。在使用不同波 長的激光束時，提出了必要時使用二色性分束器。為了實(shí)現(xiàn)最大的走離補(bǔ)償，非線性晶體同樣擁有優(yōu)化的剖面，即晶體軸線相對于晶體表面呈一角度地延伸。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是改進(jìn)一種開頭所述類型的設(shè)備，使得以特別簡單的方式能夠?qū)崿F(xiàn)走離效應(yīng)的補(bǔ)償。該任務(wù)根據(jù)本發(fā)明通過開頭所述類型的設(shè)備來解決，其中光學(xué)裝置具有至少一個透鏡，以便引起這些激光束的空間分離。這是有利的，因?yàn)闉榱藢?shí)現(xiàn)良好的轉(zhuǎn)換效率，激光束通常必須(在這里使用泵浦功率的情況下)被聚焦，使得為此本來在光路中設(shè)置的透鏡除了用于射束成形或成像之外還可以用于激光束的空間分離。在一個實(shí)施形式中，為了波長有關(guān)的分離，第一激光束和第二激光束相對于光軸偏移地和/或傾斜地穿過透鏡以便引起空間分離。通過激光束相對于透鏡的光軸的偏移或傾斜，激光束并不垂直地射到透鏡入射面和透鏡出射面，使得激光束由于波長不同而在射入透鏡時以及在從透鏡射出時分別以不同的角度被折射。激光束在從透鏡射出之后因此不再共線地延伸，而是彼此具有角度。本發(fā)明已發(fā)現(xiàn)，為了補(bǔ)償空間走離效應(yīng)，激光束相對于透鏡的光軸比較小的移動或傾斜足以使得能夠避免激光束的過強(qiáng)的橢圓率。通常，在光學(xué)裝置中使用進(jìn)行聚焦的透鏡(會聚透鏡)，其典型地構(gòu)造為雙凸透鏡。但必要時也可以使用其他類型的會聚透鏡，例如平凸透鏡或凹凸透鏡。重要的是，所使用的透鏡材料具有波長有關(guān)的折射率，其中折射率中的差異對于所使用的不同激光波長而言要盡可能大。在這里所使用的波長的情況下已表明石英玻璃和BK7玻璃作為特別合適的透鏡材料。在石英玻璃的情況下，在1064nm到532nm之間的折射率差在大約Λη=0·0108。在ΒΚ7玻璃的情況下，差甚至為Λη=0. 01284。其他材料通常具有較小的折射率差。對透鏡的移動或傾斜可替選地或除此之外，透鏡中的至少一個由雙折射的材料構(gòu)成，以便引起分離。由于在當(dāng)前泵浦功率的情況下本來需要透鏡來聚焦，所以在使用透鏡來分離激光束時不會產(chǎn)生提高的調(diào)節(jié)開銷。
已證明有利的是，光學(xué)裝置或透鏡在第二非線性晶體的射束入射面上產(chǎn)生在第一激光束和第二激光束之間的射束偏移，因?yàn)樵诖饲闆r下通?？梢允褂梅叫螛?biāo)準(zhǔn)晶體。但應(yīng)理解的是，必要時被分離的激光束也可以以不同的角度在共同的點(diǎn)處射到相應(yīng)被剖切的非線性晶體的入射面上，以便以在US 2006/0250677中所描述的方式來補(bǔ)償走離效應(yīng)。在一個實(shí)施形式中，光學(xué)裝置具有用于將從第一非線性晶體射出的第一激光束和第二激光束準(zhǔn)直的第一透鏡以及用于將第一激光束和第二激光束聚焦到第二非線性晶體上的第二透鏡。當(dāng)激光束通過兩個透鏡偏心地延伸時，在此透鏡對激光束的分離會有幫助。以此方式，可以實(shí)現(xiàn)激光束的充分分離，而為此無需在相應(yīng)透鏡中激光束相對于光軸的過強(qiáng)的偏移。應(yīng)理解的是，光學(xué)裝置也可以具有多于兩個或小于兩個的透鏡。
在使用透鏡時的另一優(yōu)點(diǎn)在于，具有較短波長的激光束略微較強(qiáng)地被折射，使得第二激光束(具有532nm)的焦點(diǎn)與第一激光束(具有1064nm)的焦點(diǎn)相比更靠近透鏡。這導(dǎo)致，在第二晶體中的交互作用長度內(nèi)第二激光束的直徑小于第一激光束的直徑，這證明為對于頻率轉(zhuǎn)換是有利的。但由此產(chǎn)生的對頻率轉(zhuǎn)換的積極作用小于通過空間走離補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)的作用。在一個實(shí)施形式中，該裝置具有設(shè)置在第一非線性晶體之前的另外的透鏡，用于將激光輻射聚焦到第一非線性晶體上。通過另外的透鏡可以提高在第一非線性晶體中的轉(zhuǎn)換效率。另外的透鏡的焦距在此情況下例如與第一透鏡的焦距相一致。在另一實(shí)施形式中，該裝置具有用于使至少一個用于分離的透鏡垂直于光軸運(yùn)動的運(yùn)動設(shè)備。如上面所介紹的那樣，基波和二次諧波借助一個或多個透鏡來聚焦用于在第二晶體中產(chǎn)生UV。通過使透鏡從光軸沿著臨界方向移動，這些激光束的相互遠(yuǎn)離借助折射來產(chǎn)生而在兩個激光束之間的射束偏移被產(chǎn)生，由此可以延長在第二非線性晶體中的交互作用長度并且由此可以提高UV產(chǎn)生的效率。在理想情況下，通過透鏡產(chǎn)生的射束偏移選擇為使得射束在第二非線性晶體的中心精確地重疊。運(yùn)動設(shè)備可以用于調(diào)節(jié)所期望的射束偏移，其必要時在溫度波動的情況下要與第一非線性晶體匹配。運(yùn)動設(shè)備在此情況下可以與調(diào)節(jié)設(shè)備耦合，該調(diào)節(jié)設(shè)備與用于測量第三激光束的輸出功率的檢測器耦合并且調(diào)節(jié)射束偏移使得輸出功率最大?？商孢x地，當(dāng)然也可以使晶體溫度穩(wěn)定。在一個有利的實(shí)施形式中，第一非線性晶體和/或第二非線性晶體由三硼酸鋰構(gòu)成。該材料尤其是在使用具有大約1064nm的基波波長的激光輻射的情況下已表明可行，如其例如由NchYVO4激光器所提供的那樣。該裝置還可以包括用于產(chǎn)生第一激光束的激光振蕩器，其中非線性晶體典型地設(shè)置在諧振器外部。應(yīng)理解的是，在激光振蕩器與第一晶體之間還可以中間連接有另外的器件，例如激光放大器。用于頻率轉(zhuǎn)換的第一波長在非線性晶體管布置在諧振器外部的情況下對應(yīng)于激光振蕩器的基頻，其尤其是可以在1064nm。本發(fā)明的另一方面以用于激光輻射的頻率轉(zhuǎn)換的方法來實(shí)現(xiàn)，包括通過在第一非線性晶體中使具有第一波長的第一激光束頻率翻倍來產(chǎn)生具有第二波長的第二激光束，其中第二激光束與第一激光束共線地延伸；由第一激光束和第二激光束通過在第二非線性晶體中頻率混合來產(chǎn)生具有第三波長的第三激光束，其中第一激光束和第二激光束在設(shè)置在第一非線性晶體與第二非線性晶體之間的光路中的光學(xué)裝置上彼此分離。為了引起分離，第一激光束和第二激光束相對于光軸偏移地和/或傾斜地穿過光學(xué)裝置的至少一個透鏡。在該方法的一個變型方案中，第一激光束和第二激光束相對于光學(xué)軸偏移地和/或傾斜地穿過透鏡，以便引起分離?？商孢x地或附加地，透鏡也可以由雙折射材料構(gòu)成，以便引起分離。


本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)從以下說明書和所附的附圖中得到。同樣，單獨(dú)地或多個任意組合地使用前面所述的并且以下還要介紹的特征。所示的且所描述的實(shí)施形式并不理解為窮盡性列舉，而是更確切地說示例性的特征用于描述本發(fā)明。其中
圖la、lb示出根據(jù)本發(fā)明的用于激光束的頻率轉(zhuǎn)換的設(shè)備的實(shí)施形式的示意圖，該設(shè)備具有兩個非線性的晶體和兩個或一個用于走離補(bǔ)償?shù)耐哥R，以及圖2a、b示出第二非線性晶體的示意性圖，該晶體具有在走離補(bǔ)償(圖2a)的情況下和在沒有走離補(bǔ)償(圖2b)的情況下的臨界相位匹配。
具體實(shí)施例方式圖Ia示出了用于具有1064nm的第一波長X1的第一激光束2的頻率轉(zhuǎn)換的裝置1，該第一激光束由激光振蕩器3產(chǎn)生。激光振蕩器3在此例子中具有作為激光介質(zhì)的NdiYVO4激光器晶體。由激光振蕩器3發(fā)射的第一激光束2借助透鏡4聚焦至第一光學(xué)非線性晶體5中，它構(gòu)造為三硼酸鋰(LBO)晶體。在非臨界相位匹配的第一非線性晶體5中由第一激光束2通過頻率翻倍產(chǎn)生具有第二波長λ 2 = λ 1/2=532nm的第二激光束6，即第一非線性晶體5用于產(chǎn)生二次諧波。由于該非臨界相位匹配，在第一非線性晶體5中不出現(xiàn)走離效應(yīng)，使得第一激光束2和第二激光束6共線地離開第一非線性晶體5。兩個激光束
2、6在從第一晶體5離開時線性地極化，其中它們的極化方向彼此垂直。共線激光束2、6在離開第一 LBO晶體5之后首先借助第一透鏡7來準(zhǔn)直，該第一透鏡7擁有與用于第一聚焦的(另外的)透鏡4相同的焦距。隨后，激光束2、6借助第二透鏡8聚焦至第二 LBO晶體9中，以便通過第一激光束2和第二激光束6的頻率混合產(chǎn)生具有355nm波長λ 3的、即在UV波長范圍中的第三激光束10 (三次諧波)。在第二 LBO晶體
9中利用臨界相位匹配，以便由第一激光束2和第二激光束6形成總頻率(SPG)。如在圖2b中所示，臨界相位匹配導(dǎo)致第二激光束6與第一激光束2在第二晶體9中的空間分離，即使兩個激光束2、6在相同位置處共線地并且垂直于入射平面9a地射到第二晶體9上。這通過以下方式產(chǎn)生，即兩個激光束2、6具有不同的極化方向，使得第二激光束6在雙折射的晶體9中被無序地極化，而第一激光束擁有有序的極化。走離效應(yīng)使得兩個有序的或無序極化的激光束2、6彼此遠(yuǎn)離并且交疊區(qū)域L即在進(jìn)行頻率轉(zhuǎn)換的第二晶體9中的長度明顯減小。在交疊區(qū)域外還存在的第二晶體9的長度對在三個波長λ3處的激光輻射的產(chǎn)生不再有幫助。為了盡可能在很大程度上避免該問題，在圖Ia的裝置I中這兩個激光束2、6相對于光軸7a、8a偏移地延伸通過第一透鏡7和第二透鏡8。因?yàn)榧す馐?、6并不垂直地射到透鏡表面上，所以具有532nm的波長λ 2的第二激光束6被折射的射束方向不同于具有1064nm的波長λ :的第一激光束2的射束方向。這兩個激光束2、6因此彼此遠(yuǎn)離并且因此不再在相同位置處射入第二 LBO晶體9中，而是在入射面9a上具有射束偏移δ。針對兩個透鏡7、8的移動，在此情況下選擇如下方向，該方向使得第二激光束6的入射點(diǎn)沿著與走離相反的方向移動，使得這兩個激光束2、6在第二晶體9中進(jìn)入到彼此之中。如在圖2a與圖2b的比較中得到的那樣，進(jìn)行頻率轉(zhuǎn)換的交互作用長度L以此方式會增加，使得UV產(chǎn)生的效率即所產(chǎn)生的第三激光束10的功率提高。在理想情況下，通過透鏡7、8產(chǎn)生的射束偏移δ選擇為使得這兩個激光束2、6在第二 LBO晶體9的中心在交疊區(qū)域中疊加。為了保證射束偏移δ的可調(diào)節(jié)性，兩個操作器11、12 (例如線性馬達(dá))設(shè)置在透鏡7、8上，其嚙合到其插座上并且實(shí)現(xiàn)垂直于其光軸的移動。應(yīng)理解的是,除了這里所示的移動之外或?qū)@里所示的移動可替選地,透鏡7、8的傾斜
也是可能的，以便引起分離。對于分離重要的是，激光束2、6并不與透鏡7、8的入射面和出射面垂直，如例如在沿著光軸7a、8a穿過時情況如此，因?yàn)樵诖饲闆r下不會進(jìn)行分離(參見圖 2b)。圖Ia的裝置I也可以被適當(dāng)?shù)匦薷?。這樣，如在圖Ib中所示的那樣例如也可能的是，在第一 LBO晶體5與第二 LBO晶體9之間代替這兩個透鏡7、8僅使用具有更小的焦距的唯一的透鏡7’。在此情況下，透鏡7’定位為使得兩個激光束2、6近軸地即沿著光軸射至Ij透鏡7’上。圖Ib的透鏡T與圖Ia的透鏡7、8相反由雙折射材料例如方解石構(gòu)成，在該材料中第一激光束2被有序地折射而第二激光束6被無序地折射，由此引起分離。在此情況下，可以利用的是，第一激光束2和第二激光束6在從第一晶體5出射時具有彼此垂直的極化方向。應(yīng)理解的是，圖Ia和圖Ib中所示的裝置的組合是可能的。例如，在圖Ia中所示的裝置I的情況下一個或兩個透鏡2、6也可以由雙折射的材料構(gòu)成。此外，應(yīng)理解的是，頻率轉(zhuǎn)換可以在不同于這里所描述的頻率或波長處進(jìn)行。為了分離從第二非線性晶體9出射的激光束2、6、10，也可以使用附加的光學(xué)元件譬如二色性鏡或棱鏡。
權(quán)利要求
1.一種用于激光輻射的頻率轉(zhuǎn)換的裝置(1)，包括 第一非線性晶體(5)，在該第一非線性晶體中由具有第一波長(X1)的第一入射激光束(2)通過頻率翻倍產(chǎn)生具有第二波長(λ 2)的第二激光束(6)，第二激光束(6)與第一激光束(2)共線地延伸； 第二非線性晶體(9)，在該第二非線性晶體中由第一和第二激光束(2，6)通過頻率混合產(chǎn)生具有第三波長(λ 3)的第三激光束(10)； 以及布置在第一和第二非線性晶體(5，9)之間的、用于使激光束(2，6)彼此分離的光學(xué)裝置(7，7’，8)， 其特征在于，該光學(xué)裝置具有至少一個透鏡(7，7’，8)，以便引起分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，第一和第二激光束(2,6)相對于光軸(7a,8a)偏移地和/或傾斜地穿過透鏡(7，8)，以便引起分離。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的裝置，其中，透鏡(7’)由雙折射材料構(gòu)成，以便引起分離。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的裝置，其中，該光學(xué)裝置(7，7’，8)在第二非線性晶體(9)的射束入射面(9a)上產(chǎn)生在第一和第二激光束(2，6)之間的射束偏移(δ )。
5.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的裝置，其中，該光學(xué)裝置(7，8)具有用于將從第一非線性晶體(5)射出的第一和第二激光束(2，6)準(zhǔn)直的第一透鏡(7)以及用于將第一和第二激光束(2，6 )聚焦到第二非線性晶體(9 )上的第二透鏡(8 )。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的裝置，還包括設(shè)置在第一非線性晶體(5)之前的另外的透鏡(4)，用于將第一激光束(2)聚焦到第一非線性晶體(5)上。
7.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的裝置，還包括用于使至少一個透鏡(7，8)垂直于光軸(7a，8a)運(yùn)動的運(yùn)動設(shè)備(11，12 )。
8.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的裝置，其中，第一和/或第二非線性晶體(5，9)由三硼酸鋰構(gòu)成。
9.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的裝置，還包括用于產(chǎn)生第一激光束(2)的激光振蕩器(3)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中，第一波長(λP對應(yīng)于激光振蕩器(3)的基頻，尤其是對應(yīng)于1064nm的波長。
11.一種用于激光輻射的頻率轉(zhuǎn)換的方法，包括 通過在第一非線性晶體(5)中使具有第一波長(λ J的第一激光束(2)頻率翻倍來產(chǎn)生具有第二波長(λ 2)的第二激光束(6 )，其中，第二激光束(6 )與第一激光束(2 )共線地延伸； 由第一和第二激光束(2，6)通過在第二非線性晶體(9)中頻率混合來產(chǎn)生具有第三波長(λ3)的第三激光束(10)， 其中第一和第二激光束(2，6)在一個設(shè)置在第一和第二非線性晶體(5，9)之間的光路中的光學(xué)裝置(7，7’，8)上彼此分離， 其特征在于，第一和第二激光束(2，6)穿過光學(xué)裝置的至少一個透鏡(7，7’，8)，以便引起分離。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，第一和第二激光束(2，6)相對于光軸(7a，8a)偏移地和/或傾斜地穿過透鏡(7，8)，以便引起分離。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其中，透鏡(7’ )由雙折射材料構(gòu)成，以便引起分離。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于激光輻射的頻率轉(zhuǎn)換的裝置(1)，包括第一非線性晶體(5)，在該第一非線性晶體中由具有第一波長(λ1)的第一入射激光束(2)通過頻率翻倍產(chǎn)生具有第二波長(λ2)的第二激光束(6)，第二激光束(6)與第一激光束(2)共線地延伸；第二非線性晶體(9)，在第二非線性晶體中由第一激光束和第二激光束(2，6)通過頻率混合產(chǎn)生具有第三波長(λ3)的第三激光束(10)；以及在第一非線性晶和第二非線性晶體(5，9)之間布置的、用于將第一激光束(2)與第二激光束(6)空間分離的光學(xué)裝置(7，8)。光學(xué)裝置具有至少一個透鏡(7，8)，第一激光束和第二激光束(2，6)相對于光軸(7a，8a)偏移地和/或傾斜地穿過透鏡(7，8)，以便引起分離。本發(fā)明也涉及相關(guān)的用于頻率轉(zhuǎn)換的方法。
文檔編號G02F1/35GK102934019SQ201180027047
公開日2013年2月13日 申請日期2011年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月1日
發(fā)明者S·董, S·約斯滕, C·焦萊克 申請人:通快激光標(biāo)記系統(tǒng)公司