專利名稱：一種新型有機(jī)光刻膠剝離液及其制備工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種金屬材料的化學(xué)去膠用組合物及其制備工藝，具體涉及一種新型有機(jī)光刻膠剝離液和制備工藝。
背景技術(shù)：
剝離是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理溶解作用而移除光刻膠的技術(shù)。剝離技術(shù)分為濕法去膠和干法去膠，其中，濕法去膠是采用化學(xué)試劑，經(jīng)由物理溶解或者化學(xué)反應(yīng)光刻膠達(dá)到剝離的目的。剝離液為無色透明液體，在現(xiàn)有技術(shù)中，薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯示器(TFT LCD)、發(fā)光二極管(LED)、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)等行業(yè)用作面板過程中光刻膠的去除主要采用由氟化物和過氧化氫等危險(xiǎn)的化學(xué)試劑制成的剝離液，但上述剝離液存在如下缺點(diǎn):剝離速率難以控制，不同金屬層的剝離效果有差異，剝離液處理后的基板有殘留，影響產(chǎn)品的良率；剝離液對(duì)圖形深孔處的光刻膠剝離效果不理想；影響產(chǎn)品的氟化物和過氧化氫等化學(xué)試劑對(duì)工作人員的安全操作帶來一定的威脅。中國(guó)專利200810011907.2中公開了一種光刻膠剝離液，其中含有的組分為表面活性劑I 15%、有機(jī)胺5 4%、有機(jī)溶劑5 30%、螯合劑0.1 5%、緩蝕劑0.01 5%，余量為水，該剝離液組合物的成分較多，制備工藝復(fù)雜，生產(chǎn)成本較高。近年來，人們對(duì)液晶顯示器的需求量不斷增加的同時(shí)，對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和畫面精度也提出了更高的要求，而剝離效果的良差能直接導(dǎo)致電路板制造工藝的好壞，影響高密度細(xì)導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量。若要滿足人們對(duì)圖像精度和質(zhì)量提出的更高要求，本領(lǐng)域技術(shù)人員就有必要對(duì)現(xiàn)有的剝離液的相關(guān)技術(shù)做出進(jìn)一步改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的之一在于克服現(xiàn)有剝離液技術(shù)中的不足，設(shè)計(jì)一種成分簡(jiǎn)單、剝離光刻膠效果良好、成本較低的新型有機(jī)光刻膠剝離液配置方案。本發(fā)明的第二個(gè)目的在于克服現(xiàn)有剝離液制備工藝中的不足，設(shè)計(jì)一種簡(jiǎn)潔、合理的新型有機(jī)光刻膠剝離液制備工藝。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案的新型有機(jī)光刻膠剝離液包含有機(jī)溶劑、單乙醇胺和表面活性劑，所述有機(jī)光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機(jī)溶劑48% 70%、有機(jī)胺28% 50%、表面活性劑0.001% 3%。其中，所述有機(jī)溶劑為水溶性有機(jī)溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機(jī)胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機(jī)溶劑為二甲基亞砜或二甲基甲酰胺。其中，所述陰離子表面活性劑為月桂酸硫酸鈉、二辛基琥珀酸磺酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉和十六烷基硫酸鈉中的至少一種。其中，所述有機(jī)光刻膠剝離液中未溶解雜質(zhì)顆粒度大于0.3μπι的顆粒數(shù)不超過100個(gè),雜質(zhì)陰離子不超過lppb,雜質(zhì)陽離子不超過50ppb。
本發(fā)明的技術(shù)方案還包括設(shè)計(jì)一種有機(jī)光刻膠剝離液的制備工藝，其特征在于，所述制備工藝包括如下加工步驟:第一步:將有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑按權(quán)利要求1所述配比稱重配置；第二步:將有機(jī)溶劑加入配料罐中，攪拌下加入有機(jī)胺，攪拌均勻；第三步:往混勻的有機(jī)溶劑和有機(jī)胺的混合物中加入表面活性劑，充分?jǐn)嚢瑁坏谒牟?將混合物通入過濾器中過濾，得到所述有機(jī)光刻膠剝離液。其中，所述過濾器的微濾膜孔徑為0.05 0.15 μ m。其中，所述過濾在空氣中顆粒度大于0.5 μ m的顆粒不超過100個(gè)的百級(jí)凈化環(huán)境
中進(jìn)行。其中，所述攪拌為機(jī)械攪拌或磁力攪拌，攪拌的速度為60 85轉(zhuǎn)/分鐘。其中，所述攪拌與過濾是在常溫、常壓的狀態(tài)下進(jìn)行。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑組成的剝離液純度高、顆粒度小，剝離光刻膠后的基板表面無雜質(zhì)殘留；能與光刻膠表面尤其是圖形深孔充分并均勻接觸；使基板表面的剝離速率可控，適用于不同金屬層表面光刻膠的剝離；剝離光刻膠的操作對(duì)鋁層無損傷，保證了產(chǎn)品的良率。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而不能以此來限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。實(shí)施例1(I)新型有機(jī)光刻膠剝離液組成及制備新型有機(jī)光刻膠剝離液包含有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑，有機(jī)光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機(jī)溶劑50%、有機(jī)胺49.999%、表面活性劑0.001%。其中，所述有機(jī)溶劑為水溶性有機(jī)溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機(jī)胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機(jī)溶劑為二甲基甲酰胺。其中，所述陰離子表面活性劑為月桂酸硫酸鈉。其中，所述有機(jī)光刻膠剝離液中未溶解雜質(zhì)顆粒度大于0.3μπι的顆粒為80個(gè)，雜質(zhì)陰離子為0.8ppb,雜質(zhì)陽離子為30ppb。上述新型有機(jī)光刻膠剝離液的制備工藝包括如下加工步驟:第一步:將有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑按上述配比稱重配置；第二步:將有機(jī)溶劑加入配料罐中，攪拌下加入有機(jī)胺，攪拌均勻；第三步:往混勻的有機(jī)溶劑和有機(jī)胺的混合物中加入表面活性劑，充分?jǐn)嚢?；第四?將混合物通入過濾器中過濾，得到所述有機(jī)光刻膠剝離液。其中，所述過濾器的微濾膜孔徑為0.05 0.15 μ m。其中，所述過濾在空氣中顆粒度大于0.5 μ m的顆粒不超過100個(gè)的百級(jí)凈化環(huán)境
中進(jìn)行。其中，所述攪拌為機(jī)械攪拌，攪拌的速度為60轉(zhuǎn)/分鐘。其中，所述攪拌與過濾是在常溫、常壓的狀態(tài)下進(jìn)行。
(2)剝離操作將帶有光刻膠的基板浸潰到上述光刻膠剝離液中，剝離溫度為25°C，剝離時(shí)間為10分鐘，將基板從剝離液中取出后，用超純水漂洗3分鐘，最后用高純氮?dú)飧稍铩?3)剝離結(jié)果將剝離后的基板在掃描式電子顯微鏡(SEM)的觀察下，基板表面無殘留，對(duì)襯底材料和金屬配線無腐蝕。實(shí)驗(yàn)證明該剝離液能快速剝離基板上的光刻膠及殘留物。實(shí)施例2新型有機(jī)光刻膠剝離液包含有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑，有機(jī)光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機(jī)溶劑60%、有機(jī)胺39.99%、表面活性劑0.01%。其中，所述有機(jī)溶劑為水溶性有機(jī)溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機(jī)胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機(jī)溶劑為二甲基亞砜。其中，所述陰離子表面活性劑為二辛基琥珀酸磺酸鈉。其中，所述有機(jī)光刻膠剝離液中未溶解雜質(zhì)顆粒度大于0.3μπι的顆粒為70個(gè)，雜質(zhì)陰離子為0.7ppb,雜質(zhì)陽離子為40ppb。剝離液的制備同實(shí)施例1，區(qū)別在于，攪拌為機(jī)械攪拌，攪拌的速度為85轉(zhuǎn)/分鐘。剝離操作及剝離結(jié)果同實(shí)施例1。實(shí)施例3新型有機(jī)光刻膠剝離液包含有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑，有機(jī)光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機(jī)溶劑70%、有機(jī)胺29%、表面活性劑1%。其中，所述有機(jī)溶劑為水溶性有機(jī)溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機(jī)胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機(jī)溶劑為二甲基甲酰胺。其中，所述陰離子表面活性劑為十二烷基苯磺酸鈉。其中，所述有機(jī)光刻膠剝離液中未溶解雜質(zhì)顆粒度大于0.3 μ m的顆粒為65個(gè)，雜質(zhì)陰離子為0.56ppb,雜質(zhì)陽離子為45ppb。剝離液的制備同實(shí)施例1，區(qū)別在于，攪拌為磁力攪拌，攪拌的速度為70轉(zhuǎn)/分鐘。剝離操作及剝離結(jié)果同實(shí)施例1。實(shí)施例4新型有機(jī)光刻膠剝離液包含有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑，有機(jī)光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機(jī)溶劑65%、有機(jī)胺32%、表面活性劑3%。其中，所述有機(jī)溶劑為水溶性有機(jī)溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機(jī)胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機(jī)溶劑為二甲基亞砜。其中，所述陰離子表面活性劑為十六烷基硫酸鈉。其中，所述有機(jī)光刻膠剝離液中未溶解雜質(zhì)顆粒度大于0.3 μ m的顆粒為70個(gè)，雜質(zhì)陰離子為0.7ppb,雜質(zhì)陽離子為40ppb。剝離液的制備同實(shí)施例1，區(qū)別在于，攪拌為磁力攪拌，攪拌的速度為80轉(zhuǎn)/分鐘。剝離操作及剝離結(jié)果同實(shí)施例1。
上述實(shí)施例制成的新型有機(jī)光刻膠剝離液，其原料的物理化學(xué)性能指標(biāo)經(jīng)檢驗(yàn)如
下:當(dāng)單乙醇胺的濃度為99.9%時(shí)，其物理化學(xué)性能指標(biāo)如下:1.1物理特性
權(quán)利要求
1.一種新型有機(jī)光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機(jī)光刻膠剝離液包含有機(jī)溶劑、單乙醇胺和表面活性劑，所述有機(jī)光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機(jī)溶劑48% 70%、有機(jī)胺28% 50%、表面活性劑0.001% 3%。
2.如權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機(jī)溶劑為水溶性有機(jī)溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機(jī)胺為單乙醇胺。
3.如權(quán)利要求2所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述含水溶性有機(jī)溶劑為二甲基亞砜或二甲基甲酰胺。
4.如權(quán)利要求3所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述陰離子表面活性劑為月桂酸硫酸鈉、二辛基琥珀酸磺酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉和十六烷基硫酸鈉中的至少一種。
5.如權(quán)利要求4所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機(jī)光刻膠剝離液中未溶解雜質(zhì)顆粒度大于0.3 μ m的顆粒數(shù)不超過100個(gè)，雜質(zhì)陰離子不超過lppb，雜質(zhì)陽離子不超過 50ppbo
6.一種新型有機(jī)光刻膠剝離液的制備工藝，其特征在于，所述制備工藝包括如下加工步驟: 第一步:將有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑按權(quán)利要求1所述配比稱重配置； 第二步:將有機(jī)溶劑加入配料罐中，攪拌下加入有機(jī)胺，攪拌均勻； 第三步:往混勻的有機(jī)溶劑和有機(jī)胺的混合物中加入表面活性劑，充分?jǐn)嚢瑁? 第四步:將混合物通入過濾器中過濾，得到所述有機(jī)光刻膠剝離液。
7.如權(quán)利要求6所述的光刻膠剝離液的制備工藝，其特征在于，所述過濾器的微濾膜孔徑為0.05 0.15 μ m。
8.如權(quán)利要求7所述的光刻膠剝離液的制備工藝，其特征在于，所述過濾在空氣中顆粒度大于0.5 μ m的顆粒不超過100個(gè)的百級(jí)凈化環(huán)境中進(jìn)行。
9.如權(quán)利要求8所述的光刻膠剝離液的制備工藝，其特征在于，所述攪拌為機(jī)械攪拌或磁力攪拌，攪拌的速度為60 85轉(zhuǎn)/分鐘。
10.如權(quán)利要求9所述的光刻膠剝離液的制備工藝，其特征在于，所述攪拌與過濾是在常溫、常壓的狀態(tài)下進(jìn)行。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種新型有機(jī)光刻膠剝離液及其制備工藝。該新型有機(jī)光刻膠剝離液包括有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑。該剝離液制備工藝包括常溫常壓下保持配料罐攪拌器轉(zhuǎn)速，向配料罐中依次加入有機(jī)溶劑、有機(jī)胺和表面活性劑，充分?jǐn)嚢韬笸ㄈ脒^濾器過濾制成成品。本發(fā)明中的剝離液顆粒度小、純度高，剝離光刻膠后的基板表面無雜質(zhì)殘留；能與光刻膠表面尤其是圖形深孔充分并均勻接觸；使基板表面的剝離速率可控，適用于不同金屬層表面光刻膠的剝離；剝離光刻膠的操作對(duì)鋁層無損傷，保證了產(chǎn)品的良率。
文檔編號(hào)G03F7/42GK103163744SQ20111042080
公開日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2011年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月16日
發(fā)明者戈士勇, 沈翠芬, 盛建偉, 袁曉蕾 申請(qǐng)人:江陰潤(rùn)瑪電子材料股份有限公司