專利名稱：顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶圓制造領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體檢測用顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
顯微鏡是由一組或多組透鏡組合而構(gòu)成的一種光學(xué)儀器，是人類進(jìn)入原子時(shí)代的標(biāo)志。顯微鏡是用于放大微小物體的儀器，使得微小物體放大后能被人的肉眼看到。顯微鏡按照顯微原理進(jìn)行分類可分為光學(xué)顯微鏡與電子顯微鏡。光學(xué)顯微鏡通常皆由光學(xué)部分、照明部分和機(jī)械部分組成。無疑光學(xué)部分是最為關(guān)鍵的，它由目鏡和物鏡組成。目前光學(xué)顯微鏡的種類很多，主要有明視野顯微鏡(普通光學(xué)顯微鏡)、暗視野顯微鏡、突光顯微鏡、相差顯微鏡、激光共聚掃描顯微鏡、偏光顯微鏡、微分干涉差顯微鏡、倒置顯微鏡。電子顯微鏡有與光學(xué)顯微鏡相似的基本結(jié)構(gòu)特征，但它有著比光學(xué)顯微鏡高得多的對(duì)物體的放大及分辨本領(lǐng)，它將電子流作為一種新的光源，使物體成像。目前電子顯微鏡的種類很多，主要有透射電鏡、掃描電鏡、分析電鏡、超高壓電鏡等?，F(xiàn)有技術(shù)中的一種顯微鏡，用以對(duì)晶圓進(jìn)行檢測。顯微鏡設(shè)有顯微鏡機(jī)臺(tái)以及用以抓取晶圓的機(jī)械手。若干晶圓收容在一個(gè)圓片盒內(nèi)，該圓片盒固定在顯微鏡機(jī)臺(tái)上。顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)包括可以上下運(yùn)動(dòng)的工作臺(tái)面以及驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)面作上下運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。工作臺(tái)面上設(shè)有用以定位圓片盒的卡槽以及感應(yīng)圓片盒是否安裝到工作臺(tái)面上的感應(yīng)器。現(xiàn)有技術(shù)中顯微鏡機(jī)臺(tái)的工作原理是:在正常測試時(shí)，安裝好晶圓的圓片盒正確卡持到卡槽中時(shí)，感應(yīng)器感應(yīng)到圓片盒已經(jīng)正確安裝到工作臺(tái)面上，會(huì)發(fā)出感應(yīng)信號(hào)，指示設(shè)備可以正常操作，此時(shí)，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)正向旋轉(zhuǎn)，控制工作臺(tái)面下降；如果圓片盒錯(cuò)誤安裝到工作臺(tái)面上，感應(yīng)器會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，代表此時(shí)設(shè)備不可以正常操作；測試完畢后，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)反向旋轉(zhuǎn)，控制工作臺(tái)面上升。但是，此種結(jié)構(gòu)的感應(yīng)器只對(duì)圓片盒安裝時(shí)起作用，在顯微鏡工作過程中，若是人為取走圓片盒，感應(yīng)器不會(huì)發(fā)出任何報(bào)警信號(hào)，這個(gè)問題是顯微鏡的軟件的缺陷。圓片盒被拿走后工作臺(tái)面上沒有圓片盒，操作人員發(fā)現(xiàn)后會(huì)重新放一個(gè)新的圓片盒，但是，之前圓片盒內(nèi)的晶圓正被機(jī)械手拿著進(jìn)行檢測，該晶圓檢測好后，機(jī)械手會(huì)將它放回圓片盒內(nèi)，但是此時(shí)已經(jīng)是一個(gè)新的圓片盒，此圓片盒沒有空缺供前一圓片盒的晶圓放置，機(jī)械手強(qiáng)行放置后會(huì)發(fā)生晶圓相互碰撞的想象，不但損壞了晶圓，而且存在一定的安全隱患。因此，針對(duì)上述技術(shù)問題，有必要提供一種具有改良結(jié)構(gòu)的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，以克服上述缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，其設(shè)有用以鎖扣圓片盒的固定鎖，該顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)解決了現(xiàn)有技術(shù)中的問題，可以防止顯微鏡在工作過程中，有人誤將圓片盒拿離工作臺(tái)面。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種用以放置晶圓的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，若干晶圓收容在一個(gè)圓片盒內(nèi)，所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)包括工作臺(tái)面以及控制所述工作臺(tái)面運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，所述工作臺(tái)面上設(shè)有用以卡持所述圓片盒的卡槽以及感應(yīng)所述圓片盒是否安裝到所述工作臺(tái)面上的感應(yīng)器，所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)還包括用以鎖住所述圓片盒的固定鎖，所述固定鎖隨所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)而移動(dòng)。優(yōu)選的，在上述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)中，所述固定鎖包括兩個(gè)。優(yōu)選的，在上述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)中，所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)上設(shè)有安裝槽，所述固定鎖安裝在所述安裝槽內(nèi)并能在該安裝槽內(nèi)運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選的，在上述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)中，所述固定鎖包括在所述安裝槽內(nèi)運(yùn)動(dòng)的安裝部以及自所述安裝部彎折延伸且用以限制所述圓片盒運(yùn)動(dòng)的限位部。優(yōu)選的，在上述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)中，所述晶圓安裝到圓片盒內(nèi)后與該圓片盒之間存在間隙，所述限位部鎖住圓片盒時(shí)位于間隙內(nèi)。優(yōu)選的，在上述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)中，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)正向旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述工作臺(tái)面下降，所述固定鎖移動(dòng)并鎖住所述圓片盒，該圓片盒不能移動(dòng)；所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述工作臺(tái)面上升，所述固定鎖移動(dòng)并松開所述圓片盒，該圓片盒能移動(dòng)。優(yōu)選的，在上述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)中，所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)上設(shè)有連接所述固定鎖與所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的杠杠。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:(I)通過設(shè)置固定鎖來鎖住圓片盒，可以防止顯微鏡在工作過程中有人誤將圓片盒拿離工作臺(tái)面，可以避免損壞晶圓及出現(xiàn)其他安全隱患。(2)固定鎖通過杠桿直接與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連接，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)在控制工作臺(tái)面運(yùn)動(dòng)的同時(shí)可以控制固定鎖運(yùn)動(dòng)，一個(gè)動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)兩個(gè)零件運(yùn)動(dòng)，減少了使用零件，結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約了成本。(3)固定鎖鎖住圓片盒時(shí)，固定鎖的限位部是位于晶圓與圓片盒之間的間隙內(nèi)的，圓片盒本身的結(jié)構(gòu)形狀不需變化，充分利用有效資源達(dá)成發(fā)明目的，結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約了成本。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關(guān)本發(fā)明的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2是本發(fā)明顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)的示意圖；圖3是本發(fā)明顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)另一角度的示意圖。1、1'工作臺(tái)面；2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；3、3'卡槽；4、4'感應(yīng)器；5固定鎖；51安裝部；52限位部；6安裝槽；7杠桿
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參閱圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中的一種顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，用以對(duì)晶圓進(jìn)行檢測。顯微鏡上設(shè)有用以抓取晶圓的機(jī)械手。若干晶圓收容在一個(gè)圓片盒內(nèi)。該圓片盒固定在顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)上。顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)包括可以上下運(yùn)動(dòng)的工作臺(tái)面P以及驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)面P作上下運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。工作臺(tái)面I,上設(shè)有用以定位圓片盒的卡槽3'以及感應(yīng)圓片盒是否安裝到工作臺(tái)面P上的感應(yīng)器4'?，F(xiàn)有技術(shù)中顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)的工作原理是:在正常測試時(shí)，安裝好晶圓的圓片盒正確卡持到卡槽3'中時(shí)，感應(yīng)器4'感應(yīng)到圓片盒已經(jīng)正確安裝到工作臺(tái)面Γ上，會(huì)發(fā)出感應(yīng)信號(hào)，指示設(shè)備可以正常操作，此時(shí)，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)正向旋轉(zhuǎn)，控制工作臺(tái)面P下降；如果圓片盒錯(cuò)誤安裝到工作臺(tái)面P上，感應(yīng)器4'會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，代表此時(shí)設(shè)備不可以正常操作；測試完畢后，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)反向旋轉(zhuǎn)，控制工作臺(tái)面P上升。但是，此種結(jié)構(gòu)的感應(yīng)器4'只對(duì)圓片盒安裝時(shí)起作用，在顯微鏡工作過程中，若是人為取走圓片盒，感應(yīng)器不會(huì)發(fā)出任何報(bào)警信號(hào)，這個(gè)問題是顯微鏡的軟件的缺陷。圓片盒被拿走后工作臺(tái)面Γ上沒有圓片盒，操作人員發(fā)現(xiàn)后會(huì)重新放一個(gè)新的圓片盒，但是，之前圓片盒內(nèi)的晶圓正被機(jī)械手拿著進(jìn)行檢測，該晶圓檢測好后，機(jī)械手會(huì)將它放回圓片盒內(nèi)，但是此時(shí)已經(jīng)是一個(gè)新的圓片盒，此圓片盒沒有空缺供前一圓片盒的晶圓放置，機(jī)械手強(qiáng)行放置后會(huì)發(fā)生晶圓相互碰撞的想象，不但損壞了晶圓，而且存在一定的安全隱患。本發(fā)明公開了一種顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，其設(shè)有用以鎖扣圓片盒的固定鎖，該顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)解決了現(xiàn)有技術(shù)中的問題，可以防止顯微鏡在工作過程中，有人誤將圓片盒拿離工作臺(tái)面。下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖2及圖3所示，顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，用以對(duì)晶圓進(jìn)行檢測。顯微鏡上設(shè)有用以抓取晶圓的機(jī)械手。若干晶圓收容在一個(gè)圓片盒內(nèi)。該圓片盒固定在顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)上。顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)包括可以上下運(yùn)動(dòng)的工作臺(tái)面I以及驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)面I作上下運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2。工作臺(tái)面I上設(shè)有用以定位圓片盒的卡槽3以及感應(yīng)圓片盒是否安裝到工作臺(tái)面上的感應(yīng)器4。安裝好晶圓的圓片盒正確卡持到卡槽3中時(shí)，感應(yīng)器4感應(yīng)到圓片盒已經(jīng)正確安裝到工作臺(tái)面I上，會(huì)發(fā)出感應(yīng)信號(hào)，指示設(shè)備可以正常操作，如果圓片盒錯(cuò)誤安裝到工作臺(tái)面I上，感應(yīng)器4會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，代表此時(shí)設(shè)備不可以正常操作。請(qǐng)參閱圖2所示，為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)在顯微鏡工作過程中，若是人為取走圓片盒，感應(yīng)器4不會(huì)發(fā)出任何報(bào)警信號(hào)的問題，避免損壞晶圓及出現(xiàn)其他安全隱患，本發(fā)明實(shí)施例的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)還設(shè)置了用以鎖住圓片盒的固定鎖5，通過設(shè)置固定鎖5來鎖住圓片盒，可以防止顯微鏡在工作過程中有人誤將圓片盒拿離工作臺(tái)面1，可以避免損壞晶圓及出現(xiàn)其他安全隱患。請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2所示，固定鎖5包括兩個(gè)。顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)上設(shè)有安裝槽6，固定鎖5安裝在安裝槽6內(nèi)并能在安裝槽6內(nèi) 運(yùn)動(dòng)。固定鎖5包括在安裝槽6內(nèi)運(yùn)動(dòng)的安裝部51以及自安裝部彎折延伸且用以限制圓片盒運(yùn)動(dòng)的限位部52。晶圓安裝到圓片盒內(nèi)后與圓片盒之間存在間隙，限位部52鎖住圓片盒時(shí)位于間隙內(nèi)。如此設(shè)置，固定鎖5鎖住圓片盒時(shí)，固定鎖5的限位部52是位于晶圓與圓片盒之間的間隙內(nèi)的，圓片盒本身的結(jié)構(gòu)形狀不需變化，充分利用有效資源達(dá)成發(fā)明目的，結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約了成本。本發(fā)明實(shí)施例的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2正向旋轉(zhuǎn)，控制工作臺(tái)面I下降，并控制固定鎖5移動(dòng)，使得固定鎖5鎖住圓片盒，圓片盒不能移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制工作臺(tái)面I上升，并控制固定鎖5移動(dòng)，使得固定鎖5松開圓片盒，圓片盒能移動(dòng)。操作簡單，方便，可以有效避免人為誤拿圓片盒。請(qǐng)參閱圖3所示，固定鎖5通過杠桿7與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2連接并隨驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2的轉(zhuǎn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)。如此設(shè)置，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2在控制工作臺(tái)面I上下運(yùn)動(dòng)的同時(shí)可以控制固定鎖5移動(dòng)，一個(gè)動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)兩個(gè)零件運(yùn)動(dòng)，減少了使用零件，結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約了成本。本發(fā)明目的是通過添加了兩個(gè)固定鎖5來鎖扣圓片盒，并通過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2來控制固定鎖5的前后移動(dòng)，借助固定鎖5的前后移動(dòng)來達(dá)成鎖住或松開圓片盒的目的。該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2安裝在工作臺(tái)面I的底部。本發(fā)明實(shí)施例的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)的工作原理是:在正常測試時(shí)，安裝好晶圓的圓片盒正確卡持到卡槽3中時(shí)，感應(yīng)器4感應(yīng)到圓片盒已經(jīng)正確安裝到工作臺(tái)面上，會(huì)發(fā)出感應(yīng)信號(hào)，指示設(shè)備可以正常操作，此時(shí)，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2正向旋轉(zhuǎn)，控制工作臺(tái)面I下降，并控制固定鎖5移動(dòng)，使得固定鎖5鎖住圓片盒，圓片盒不能移動(dòng)；當(dāng)圓片盒錯(cuò)誤安裝到工作臺(tái)面I上，感應(yīng)器4會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，代表此時(shí)設(shè)備不可以正常操作；當(dāng)設(shè)備正常運(yùn)行過程中，有人試圖將圓片盒拿離工作臺(tái)面I時(shí)，固定鎖5上的限位部52制止操作者拿走圓片盒，可以有效避免圓片盒被隨意移動(dòng)，避免產(chǎn)生安全隱患；當(dāng)測試完畢時(shí)，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制工作臺(tái)面I上升，并控制固定鎖5移動(dòng)，使得固定鎖5松開圓片盒，圓片盒能移動(dòng)。雖然現(xiàn)有技術(shù)中也有固定鎖結(jié)構(gòu)，但是現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的固定鎖是用復(fù)雜的軟件控制的，成本高，本發(fā)明實(shí)施例的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，經(jīng)過在工作臺(tái)面I上增加固定鎖5以及連接驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2與固定鎖5的杠桿7，可以解決軟件控制固定鎖的缺陷，并能降低安全隱患。本發(fā)明實(shí)施例的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)涉及的顯微鏡為OLYMPUS MX61顯微鏡。固定鎖是使用在OLYMPUS MX61顯微鏡上的。OLYMPUS MX61顯微鏡用于對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行檢測。OLYMPUS MX61顯微鏡能夠應(yīng)對(duì)從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法，切換物鏡時(shí)亮度光圈連動(dòng)能進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)。這些功能實(shí)現(xiàn)了快速舒適的檢查環(huán)境。OLYMPUS MX61顯微鏡具有如下優(yōu)點(diǎn):1.大型載物臺(tái)搭載,可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)；2.采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利；3.多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求；4.透射和反射照明可同時(shí)使用，極大提高液晶基板觀察效果。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)的有益效果是:(I)通過設(shè)置固定鎖來鎖住圓片盒，可以防止顯微鏡在工作過程中有人誤將圓片盒拿離工作臺(tái)面，可以避免損壞晶圓及出現(xiàn)其他安全隱患。(2)固定鎖通過杠桿直接與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連接，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)在控制工作臺(tái)面運(yùn)動(dòng)的同時(shí)可以控制固定鎖運(yùn)動(dòng)，一個(gè)動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)兩個(gè)零件運(yùn)動(dòng)，減少了使用零件，結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約了成本。
(3)固定鎖鎖住圓片盒時(shí)，固定鎖的限位部是位于晶圓與圓片盒之間的間隙內(nèi)的，圓片盒本身的結(jié)構(gòu)形狀不需變化，充分利用有效資源達(dá)成發(fā)明目的，結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約了成本。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
權(quán)利要求
1.一種用以放置晶圓的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，若干晶圓收容在一個(gè)圓片盒內(nèi)，所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)包括工作臺(tái)面以及控制所述工作臺(tái)面運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，所述工作臺(tái)面上設(shè)有用以卡持所述圓片盒的卡槽以及感應(yīng)所述圓片盒是否安裝到所述工作臺(tái)面上的感應(yīng)器，其特征在于:所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)還包括用以鎖住所述圓片盒的固定鎖，所述固定鎖隨所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)而移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述固定鎖包括兩個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)上設(shè)有安裝槽，所述固定鎖安裝在所述安裝槽內(nèi)并能在該安裝槽內(nèi)運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述固定鎖包括在所述安裝槽內(nèi)運(yùn)動(dòng)的安裝部以及自所述安裝部彎折延伸且用以限制所述圓片盒運(yùn)動(dòng)的限位部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述晶圓安裝到圓片盒內(nèi)后與該圓片盒之間存在間隙，所述限位部鎖住圓片盒時(shí)位于間隙內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)正向旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述工作臺(tái)面下降，所述固定鎖移動(dòng)并鎖住所述圓片盒，該圓片盒不能移動(dòng)；所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述工作臺(tái)面上升，所述固定鎖移動(dòng)并松開所述圓片盒，該圓片盒能移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)上設(shè)有連接所述固定鎖與所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的杠杠。
全文摘要
一種用以放置晶圓的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，若干晶圓收容在一個(gè)圓片盒內(nèi)，所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)包括能上下運(yùn)動(dòng)的工作臺(tái)面以及控制工作臺(tái)面上下運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，所述工作臺(tái)面上設(shè)有用以卡持圓片盒的卡槽以及感應(yīng)圓片盒是否安裝到工作臺(tái)面上的感應(yīng)器，所述顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)還包括用以鎖住圓片盒的固定鎖，所述固定鎖隨驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明通過設(shè)置固定鎖來鎖住圓片盒，可以防止顯微鏡在工作過程中有人誤將圓片盒拿離工作臺(tái)面，可以避免損壞晶圓及出現(xiàn)其他安全隱患。
文檔編號(hào)G03B21/26GK103163714SQ20111041121
公開日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月9日
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