專利名稱：鏡片固定裝置及固定鏡片的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路設(shè)備中的光刻機(jī)，特別涉及應(yīng)用于光刻機(jī)中的鏡片固定裝置及固定鏡片的方法。
背景技術(shù)：
在大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路的前端制造設(shè)備中，光刻機(jī)是最復(fù)雜、要求最高的設(shè)備，集光機(jī)電技術(shù)于一身，尤其是對(duì)機(jī)械系統(tǒng)的精密性與穩(wěn)定性的要求幾乎達(dá)到了極限。為了達(dá)到精密性與穩(wěn)定性的要求，在光刻機(jī)的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)過程中，需要重視很多方面的問題。在光刻設(shè)備中，投影物鏡是ー種高精密的光學(xué)成像系統(tǒng)，要求實(shí)現(xiàn)細(xì)微圖形的像 的轉(zhuǎn)移，對(duì)投影光學(xué)系統(tǒng)的波相差或畸變提出了嚴(yán)格的要求，為了減少波相差或畸變，需要預(yù)先測量投影物鏡的面型，使其符合要求。在測量投影物鏡的鏡片面型時(shí)，最好在實(shí)時(shí)使用投影物鏡前進(jìn)行測量，使其更加符合實(shí)際使用時(shí)的條件需要。在實(shí)時(shí)使用投影物鏡時(shí)需要將鏡片固定，因此需要將投影物鏡固定后對(duì)鏡片的面型進(jìn)行測量。一般要求鏡片只受到重力的作用下對(duì)鏡片的面型進(jìn)行測量?，F(xiàn)有測量系統(tǒng)中，將鏡片固定在鏡框內(nèi)，有時(shí)鏡框會(huì)直接接觸鏡片的鏡面，使鏡片不僅僅只受到重力的作用，從而引入一定的誤差，給鏡片測量帶來影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種鏡片固定裝置及固定鏡片的方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中鏡框?qū)ν队拔镧R面型測量產(chǎn)生不利影響的問題。本發(fā)明提供一種鏡片固定裝置，該裝置包括鏡框、多個(gè)第一元件、多個(gè)第二元件，所述第一元件與鏡片的邊緣連接，所述第二元件固定在所述鏡框內(nèi)并與所述第一元件活動(dòng)連接。優(yōu)選地，在所述鏡片固定裝置中，所述第一元件與鏡片的邊緣粘連。優(yōu)選地，在所述鏡片固定裝置中，所述ー個(gè)第一元件與兩個(gè)第二元件匹配。優(yōu)選地，在所述鏡片固定裝置中，所述第一元件的數(shù)量為三個(gè)，且均勻分布在所述鏡片的邊緣。。優(yōu)選地，在所述鏡片固定裝置中，所述第一元件包括底座和簧片，所述簧片通過螺 釘固定在所述底座上。 優(yōu)選地，在所述鏡片固定裝置中，所述第一元件還包括連接元件，所述連接元件固定在所述簧片上，所述螺釘依次穿過連接元件和簧片。優(yōu)選地，在所述鏡片固定裝置中，所述第二元件包括基座、彈簧以及平片，所述彈簧的一端固定在所述基座上，所述彈簧的另一端固定在所述平片上，所述基座固定在所述鏡框內(nèi)。本發(fā)明還提供了ー種固定鏡片的方法，該方法包括將多個(gè)第二元件固定在鏡框內(nèi)；將多個(gè)第一元件與鏡片的邊緣連接；將粘連有第一元件的鏡片放入鏡框，使所述第一元件與所述第二元件活動(dòng)連接。優(yōu)選地，在所述固定鏡片的方法中，每ー個(gè)第一元件與兩個(gè)第二元件匹配設(shè)置。優(yōu)選地，在所述固定鏡片的方法中，所述第一元件包括底座、簧片以及連接元件，所述連接元件固定在所述簧片上，所述簧片固定在連接元件上，所述第二元件包括基座、彈簧以及平片，所述彈簧的一端固定在所述基座上，所述彈簧的另一端固定在所述平片上，所述基座固定在所述鏡框內(nèi)。優(yōu)選地，在所述固定鏡片的方法中，將所述第一元件的底座與鏡片的邊緣粘連，將所述第二元件的基座固定在鏡框內(nèi)，將所述第一元件的連接元件設(shè)置在兩個(gè)第二元件的平片之間。由于采用了以上技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明提供的鏡片固定裝置，通過第一元件和第二元件的設(shè)置，使鏡片與鏡框不直接接觸，在測試鏡片面型的時(shí)候，鏡框?qū)︾R片沒有作用力，使鏡片能夠在只受到重力的作用下進(jìn)行面型的測量，使鏡片面型測量的準(zhǔn)確度高。進(jìn)ー步地，本發(fā)明提供的第一元件包括的簧片不僅能夠限制鏡片在徑向的移動(dòng)，而且能夠吸收鏡片在徑向可能受到的應(yīng)カ；第二元件包括的彈簧能夠吸收鏡片在軸向可能受到的應(yīng)力。本發(fā)明提供的固定鏡片的方法，分別將第一元件與鏡片邊緣固定，第二元件與鏡框固定，之后將第一元件與第二元件活動(dòng)連接，實(shí)現(xiàn)鏡片與鏡框的間接固定，操作簡單且安全性高。進(jìn)ー步地，將所述第一元件的連接元件設(shè)置在兩個(gè)第二元件的平片之間，兩個(gè)第ニ元件不僅可以夾住第一元件的連接元件，還可以通過調(diào)節(jié)其中ー個(gè)第二元件的高度，進(jìn)一歩調(diào)整鏡面的傾斜度。因此，采用本發(fā)明提供的固定鏡片的方法對(duì)鏡片的設(shè)置具有很高的可調(diào)性。


參照附圖閱讀了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
以后，將會(huì)更清楚地了解本發(fā)明的各個(gè)方面。其中，圖I為本發(fā)明實(shí)施例提供的鏡片固定裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的鏡片固定裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖I中第一元件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖I中第二元件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的固定鏡片方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)ー步的詳細(xì)描述。在整個(gè)描述中，相 同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。本發(fā)明提供的鏡片固定裝置，通過第一元件和第二元件的設(shè)置，使鏡片與鏡框不直接接觸，在測試鏡片面型的時(shí)候，鏡框?qū)︾R片沒有作用力，使鏡片能夠在只受到重力的作用下進(jìn)行面型的測量，使鏡片面型測量的準(zhǔn)確度高。本發(fā)明提供的固定鏡片的方法，分別將第一元件與鏡片邊緣固定，第二元件與鏡框固定，之后將第一元件與第二元件活動(dòng)連接，實(shí)現(xiàn)鏡片與鏡框的間接固定，操作簡單且安全性高。圖I為本發(fā)明實(shí)施例提供的鏡片固定裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的鏡片固定裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖I以及圖2，本發(fā)明提供的鏡片固定裝置包括鏡框10、多個(gè)第一元件11、多個(gè)第二元件12，所述第一元件11與鏡片13的邊緣連接，所述第二元件12固定在所述鏡框10上并與所述第一元件11活動(dòng)連接。具體地，所述第一元件11與鏡片13的邊緣粘連，所述膠水采用低收縮率以及硬度大的材料，低收縮率的膠水可以減少固化膠水時(shí)對(duì)鏡片13面型的影響，而硬度大的膠水能夠提供比較大的剪切力，消除安裝鏡片13時(shí)帶來的應(yīng)力。在本實(shí)施例中，所述第一元件11的數(shù)量為三個(gè)，且均勻分布在所述鏡片13的邊 緣，所述第二元件12的數(shù)量為六個(gè)，且兩個(gè)第二元件12與ー個(gè)第一元件11匹配，即兩個(gè)第ニ元件12對(duì)應(yīng)ー個(gè)第一元件11設(shè)置。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解,所述第一元件11的數(shù)量不僅僅局限為3個(gè)，第二元件12的數(shù)量也不僅僅局限為6個(gè)，還可以是其他的數(shù)量值。圖3為圖I中第一元件的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖3，第一元件11包括底座111、簧片112、連接元件113，所述簧片112固定在底座111上，所述連接元件113固定在所述簧片112上，在本實(shí)施例中，采用螺釘依次穿過連接元件113和簧片112而起固定作用。所述第一元件11的底座111通過膠水與鏡片13的邊緣粘連。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，所述連接元件113以及簧片112固定的方式不僅僅局限于螺釘固定的方式，還可以采用其它的固定方式。所述第一元件11的簧片112能夠限制鏡片13在徑向的移動(dòng)，而且能夠吸收鏡片13在徑向可能受到的應(yīng)力。圖4為圖I中第二元件的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖4，第二元件12包括基座121、彈簧
122以及平片123，所述彈簧122的一端固定在所述基座121上，所述彈簧的122另一端固定在所述平片123上，所述基座121固定在所述鏡框10上。在本實(shí)施例中，所述基座121通過螺紋旋固的方式固定在所述鏡框10上。所述第二元件12包括的彈簧122能夠吸收鏡片13在軸向可能受到的應(yīng)力。相應(yīng)的，本發(fā)明還提供了利用圖I所示鏡片固定裝置的固定鏡片的方法。具體請參考圖5，其為本發(fā)明實(shí)施例提供的固定鏡片方法的流程圖。本發(fā)明實(shí)施例提供的固定鏡片方法包括以下步驟步驟S51 :將多個(gè)第二元件固定在鏡框內(nèi)；步驟S52 :將多個(gè)第一元件與鏡片的邊緣粘連；步驟S53 :將粘連有第一元件的鏡片放入鏡框，使所述第一元件與所述第二元件活動(dòng)連接。在本實(shí)施例中每ー個(gè)第一元件11與兩個(gè)第二元件12匹配設(shè)置。設(shè)置的方式為兩個(gè)第二元件12上下配置，而第一元件11的連接單元113設(shè)置在兩個(gè)第二元件12的中間。為描述方便，將設(shè)置在連接單元113上面的第二元件12稱為上第二元件，將設(shè)置在連接單元113下面的第二元件12稱為下第二元件。根據(jù)步驟S51至步驟S53，在本實(shí)施例中，首先將多個(gè)下第二元件均勻分布在鏡框10內(nèi)，每個(gè)下第二元件的底座111四周具有與鏡框10槽壁相匹配的螺紋，通過底座111與鏡框10的螺旋固定，使下第二元件均勻分布在鏡框10內(nèi)；再將粘連有多個(gè)第一元件11的鏡片13放入鏡框10內(nèi)，使第一元件11的連接元件113的一端放置在下第二元件的平片
123上；之后將多個(gè)上第二元件匹配下第二元件設(shè)置，使上第二元件底座111在鏡框10槽壁上螺旋旋進(jìn)，直至上第二元件的平片123觸碰到第一元件11的連接元件113的另一端。當(dāng)鏡片13的高低或者傾斜度需要調(diào)整時(shí)，可以先松開上第二元件，再根據(jù)需要的鏡片13調(diào)整量來旋轉(zhuǎn)下第二元件，使下第二元件通過上下微運(yùn)動(dòng)來帶動(dòng)第一元件11的上下微運(yùn)動(dòng)，由于第一元件11與鏡片13粘連，最終達(dá)到調(diào)整鏡片13的高度或者傾斜度的目的。調(diào)整鏡片13結(jié)束后，將上第二元件沿著鏡框10槽壁上的螺旋旋轉(zhuǎn)，直至上第二元件碰到第一元件11即可。進(jìn)ー步地，在鏡片13的安裝或者調(diào)整過程中，第一元件11的簧片112能夠限制鏡 片13在徑向的移動(dòng)，而且能夠吸收鏡片13在徑向可能受到的應(yīng)力。而所述第二元件12包括的彈簧122能夠吸收鏡片13在軸向可能受到的應(yīng)力。因此使用本發(fā)明提供的鏡片固定裝置能夠增強(qiáng)鏡片13安裝或者調(diào)整的安全性。綜上所述，本發(fā)明提供的鏡片固定裝置，通過第一元件和第二元件的設(shè)置，使鏡片與鏡框不直接接觸，在測試鏡片面型的時(shí)候，鏡框?qū)︾R片沒有作用力，使鏡片能夠在只受到重力的作用下進(jìn)行面型的測量，使鏡片面型測量的準(zhǔn)確度高。本發(fā)明提供的固定鏡片的方法，分別將第一元件與鏡片邊緣固定，第二元件與鏡框固定，之后將第一元件與第二元件活動(dòng)連接，實(shí)現(xiàn)鏡片與鏡框的間接固定，操作簡單且安全性高。上文中，參照附圖描述了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員能夠理解，在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本發(fā)明權(quán)利要求書所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種鏡片固定裝置，其特征在于，包括鏡框、多個(gè)第一元件、多個(gè)第二元件，所述第一元件與鏡片的邊緣連接，所述第二元件固定在所述鏡框內(nèi)并與所述第一元件活動(dòng)連接。
2.如權(quán)利要求I所述的鏡片固定裝置，其特征在于，所述第一元件與所述鏡片的邊緣粘連。
3.如權(quán)利要求I所述的鏡片固定裝置，其特征在于，所述ー個(gè)第一元件與兩個(gè)第二元件匹配。
4.如權(quán)利要求I至3中任ー項(xiàng)的鏡片固定裝置，其特征在干，所述第一元件的數(shù)量為三個(gè)，且均勻分布在所述鏡片的邊緣。
5.如權(quán)利要求I所述的鏡片固定裝置，其特征在于，所述第一元件包括底座和簧片，所述簧片通過螺釘固定在所述底座上。
6.如權(quán)利要求5所述的鏡片固定裝置，其特征在于，所述第一元件還包括連接元件，所述連接元件固定在所述簧片上，所述螺釘依次穿過連接元件和簧片。
7.如權(quán)利要求I所述的鏡片固定裝置，其特征在于，所述第二元件包括基座、彈簧以及平片，所述彈簧的一端固定在所述基座上，所述彈簧的另一端固定在所述平片上，所述基座固定在所述鏡框內(nèi)。
8.ー種固定鏡片的方法，其特征在于，包括 將多個(gè)第二元件固定在鏡框內(nèi)； 將多個(gè)第一元件與鏡片的邊緣連接； 將粘連有多個(gè)第一元件的鏡片放入鏡框，使所述第一元件與所述第二元件活動(dòng)連接。
9.如權(quán)利要求8所述的固定鏡片的方法，其特征在干，每ー個(gè)第一元件與兩個(gè)第二元件匹配設(shè)置。
10.如權(quán)利要求8或9所述的固定鏡片的方法，其特征在于，所述第一元件包括底座、簧片以及連接元件，所述連接元件固定在所述簧片上，所述簧片固定在連接元件上，所述第二元件包括基座、彈簧以及平片，所述彈簧的一端固定在所述基座上，所述彈簧的另一端固定在所述平片上，所述基座固定在所述鏡框內(nèi)。
11.如權(quán)利要求10所述的固定鏡片的方法，其特征在干，將所述第一元件的底座與鏡片的邊緣粘連，將所述第二元件的基座固定在鏡框內(nèi)，將所述第一元件的連接元件設(shè)置在兩個(gè)第二元件的平片之間。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種鏡片固定裝置，該裝置包括鏡框、多個(gè)第一元件、多個(gè)第二元件，所述第一元件與鏡片的邊緣粘連，所述第二元件固定在所述鏡框內(nèi)并與所述第一元件活動(dòng)連接。本發(fā)明還提供了一種固定鏡片的方法，該方法包括將多個(gè)第二元件固定在鏡框內(nèi)；將多個(gè)第一元件與鏡片的邊緣粘連；將粘連有多個(gè)第一元件的鏡片放入鏡框，使所述第一元件與所述第二元件活動(dòng)連接。本發(fā)明提供的鏡片固定裝置，通過第一元件和第二元件的設(shè)置，使鏡片與鏡框不直接接觸，在測試鏡片面型的時(shí)候，鏡框?qū)︾R片沒有作用力，使鏡片能夠在只受到重力的作用下進(jìn)行面型的測量，使鏡片面型測量的準(zhǔn)確度高。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102681126SQ20111006099
公開日2012年9月19日 申請日期2011年3月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月15日
發(fā)明者王健 申請人:上海微電子裝備有限公司