專利名稱：配線基板和顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及配線基板和顯示裝置。更具體地說(shuō)，涉及適合用作構(gòu)成顯示裝置面板的基板的配線基板和具備該配線基板的顯示裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，對(duì)安裝有液晶顯示面板、有機(jī)電致發(fā)光顯示面板等的便攜電話、PDA等便攜型電子設(shè)備，要求更進(jìn)一層的小型化和輕量化。伴隨于此，有不斷謀求顯示區(qū)域周邊的小型化即窄邊框化的傾向，開發(fā)正在被積極進(jìn)行。
在這些電子設(shè)備中，為了進(jìn)行高精細(xì)的顯示，在顯示區(qū)域設(shè)置有多個(gè)柵極配線(掃描信號(hào)線)和多個(gè)源極配線(圖像信號(hào)線)。并且，多個(gè)柵極配線由柵極驅(qū)動(dòng)器來(lái)驅(qū)動(dòng)，多個(gè)源極配線由源極驅(qū)動(dòng)器來(lái)驅(qū)動(dòng)。該各配線通過設(shè)置在顯示區(qū)域的外側(cè)的迂回配線與各驅(qū)動(dòng)器連接。伴隨窄邊框化，在設(shè)置迂回配線的區(qū)域(邊框區(qū)域)中，相鄰的迂回配線彼此的間隔有變窄的傾向，容易發(fā)生迂回配線間的電短路。因此，進(jìn)行了如下研究將多個(gè)迂回配線分別隔著絕緣膜形成在相互不同的層，在I個(gè)迂回配線的空間中配置2個(gè)迂回配線等(例如，參照專利文獻(xiàn)1-3)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :特開2005-91962號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :特開2008-64961號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :特開2009-115940號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的發(fā)明人對(duì)將多個(gè)迂回配線分別隔著絕緣膜形成在相互不同的層來(lái)進(jìn)行窄邊框化的方法進(jìn)行種種研究后發(fā)現(xiàn)，分別獨(dú)立形成的各迂回配線的工藝偏差會(huì)導(dǎo)致在各迂回配線間可能產(chǎn)生電阻差。圖7是示出用于窄邊框化的迂回配線的構(gòu)成的一個(gè)例子的俯視示意圖。如圖7所示，在顯示區(qū)域P中，多個(gè)柵極配線111在行方向上延伸配置，且多個(gè)源極配線112在列方向上延伸配置。另外，在周邊區(qū)域設(shè)置有柵極驅(qū)動(dòng)器121。并且，從柵極驅(qū)動(dòng)器121引出的多個(gè)迂回配線130按與第I行柵極配線相連的迂回配線、與第2行柵極配線相連的迂回配線、與第3行柵極配線相連的迂回配線這樣的順序從柵極驅(qū)動(dòng)器121的兩個(gè)末端側(cè)交替地引出，通過周邊區(qū)域后的各個(gè)迂回配線130與各柵極配線111連接。S卩，從柵極驅(qū)動(dòng)器121的一個(gè)末端自外側(cè)起按順序引出與第I個(gè)柵極配線連接的迂回配線、與第3條柵極配線連接的迂回配線、與第5條柵極配線連接的迂回配線這樣的與第奇數(shù)條柵極配線111連接的迂回配線130，從柵極驅(qū)動(dòng)器121的另一個(gè)末端自外側(cè)起按順序引出與第2條柵極配線連接的迂回配線、與第4條柵極配線連接的迂回配線、與第6條柵極配線連接的迂回配線這樣的與第偶數(shù)條柵極配線111連接的迂回配線130。通過這樣從柵極驅(qū)動(dòng)器121的兩個(gè)末端側(cè)左右交替地引出迂回配線130，能夠?qū)@示區(qū)域P配置在中央并且進(jìn)行窄邊框化。另外，由柵極配線111所用的材料(以下也稱為柵極金屬。)形成的迂回配線131(實(shí)線)和由源極配線112所用的材料(以下也稱為源極金屬。)形成的迂回配線132(虛線)這樣的由不同材料形成的迂回配線從柵極驅(qū)動(dòng)器121的各個(gè)末端分別交替地引出。這樣的配線構(gòu)造如下所述地對(duì)窄邊框化發(fā)揮效果。圖8是沿著圖7的E-F線的截面示意圖。如圖8所示，各種配線形成在玻璃等絕緣基板123上，迂回配線130分成2層在周邊區(qū)域中延伸。其中，配置在下層的迂回配線131是柵極金屬的迂回配線，配置在上層的迂回配線132是源極金屬的迂回配線。在柵極金屬的迂回配線131和源極金屬的迂回配線132之間形成有第一絕緣層124，在配置在上層的源 極金屬的迂回配線132上形成有第二絕緣層125。通過這樣將迂回配線分成2層設(shè)置，即使為了窄邊框化而縮小了相鄰的迂回配線彼此的間隔，也能夠防止短路發(fā)生。然而，本發(fā)明的發(fā)明人實(shí)際制作了具有這樣構(gòu)成的配線基板并進(jìn)行研究后發(fā)現(xiàn)，如圖8所示，在所形成的下層的迂回配線131和上層的迂回配線132之間，存在產(chǎn)生寬度不同或者厚度不同等工藝偏差的情況，其結(jié)果是，在各層的迂回配線131、132間產(chǎn)生電阻差，導(dǎo)致在與各個(gè)迂回配線131、132相連的柵極配線111間發(fā)生信號(hào)延遲導(dǎo)致的信號(hào)傳遞的偏差。另外，在將這樣的配線基板應(yīng)用于液晶顯示裝置時(shí)發(fā)現(xiàn)，由于信號(hào)傳遞的偏差，會(huì)影響到顯示區(qū)域P中各像素的液晶間有效電壓，產(chǎn)生如圖9所示的沿著柵極配線111圖形的莫爾(條紋)狀的周期性橫條的亮度不均，引起顯示質(zhì)量的下降。圖9是示出使用了圖7的迂回配線構(gòu)成時(shí)的顯示區(qū)域的亮度不均(莫爾)的照片圖。這種橫條的亮度不均在迂回配線是分別獨(dú)立形成于各層的2層配線構(gòu)造時(shí)會(huì)特別顯著地出現(xiàn)。在迂回配線包含單層配線的情況下，即使工藝偏差導(dǎo)致在各線寬和厚度中產(chǎn)生差異，因?yàn)樵谙噜彽臇艠O配線間不產(chǎn)生大的電阻差，亮度不均會(huì)逐漸(Gradual)變化，對(duì)顯示質(zhì)量幾乎沒有影響。另外，在如上所述地從柵極驅(qū)動(dòng)器的兩側(cè)交替地引出迂回配線，且從一個(gè)末端交替地引出柵極金屬的迂回配線和源極金屬的迂回配線的情況下，亮度不均的明暗間距加大，因此特別容易清楚地出現(xiàn)莫爾橫條。本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)狀而完成的，目的在于提供降低了多個(gè)迂回配線的各配線間的電阻差的配線基板。用于解決問題的方案本發(fā)明的發(fā)明人對(duì)上述問題進(jìn)行了種種研究，最終著眼于分別形成在不同層的迂回配線的構(gòu)成。并且發(fā)現(xiàn)，在迂回配線的中途的地點(diǎn)設(shè)置使形成在不同層的各個(gè)迂回配線彼此連接的接觸部，由此能夠由形成在不同層的多個(gè)配線構(gòu)成I個(gè)迂回配線，即使發(fā)生了工藝偏差，也能夠消除相鄰的迂回配線間的電阻差，可以獲得對(duì)抗(Robust)工藝偏差的設(shè)計(jì)。S卩，本發(fā)明是具有控制區(qū)域和周邊區(qū)域的配線基板，控制區(qū)域包含在行方向上延伸的多個(gè)柵極配線和在列方向上延伸的多個(gè)源極配線，周邊區(qū)域包含與上述多個(gè)柵極配線連接的柵極驅(qū)動(dòng)器、與上述多個(gè)源極配線連接的源極驅(qū)動(dòng)器以及沿著上述控制區(qū)域的外周迂回并將上述柵極驅(qū)動(dòng)器和上述多個(gè)柵極配線相連的多個(gè)迂回配線，上述多個(gè)迂回配線分別具有包含上述柵極配線的材料的柵極金屬部和包含上述源極配線的材料的源極金屬部，在上述柵極金屬部和上述源極金屬部之間配置有絕緣層，上述柵極金屬部和上述源極金屬部通過貫通上述絕緣層的接觸部連接。本發(fā)明的配線基板具有控制區(qū)域，上述控制區(qū)域包含在行方向上延伸的多個(gè)柵極配線和在列方向上延伸的多個(gè)源極配線。上述控制區(qū)域能夠作為顯示區(qū)域使用，例如將由柵極配線和源極配線所包圍的區(qū)域作為一個(gè)像素。另外，將開關(guān)元件與上述多個(gè)柵極配線和上述多個(gè)源極配線的各個(gè)交點(diǎn)相鄰地配置，由此能夠單獨(dú)控制各像素。上述開關(guān)元件例如可以舉出三端子型的薄膜晶體管(TFT :Thin Film Transistor)。當(dāng)通過柵極配線對(duì)開關(guān)元件施加?xùn)艠O電壓時(shí)，通過源極配線對(duì)各像素提供源極信號(hào)(例如，圖像信號(hào))。由此，能夠通過有源矩陣驅(qū)動(dòng)來(lái)控制顯示區(qū)域。即，優(yōu)選在上述配線基板中由上述多個(gè)柵極配線和上述多個(gè)源極配線所包圍的多個(gè)像素中的每個(gè)像素中具有開關(guān)元件，優(yōu)選上述開關(guān)元件是薄膜晶體管。此外，也將使用TFT等有源元件來(lái)控制矩陣狀的區(qū)域的配線基板稱為有源矩陣基板。本發(fā)明的配線基板具有周邊區(qū)域，上述周邊區(qū)域包含與上述多個(gè)柵極配線連接的柵極驅(qū)動(dòng)器、與上述多個(gè)源極配線連接的源極驅(qū)動(dòng)器以及沿著上述控制區(qū)域的外周迂回并將上述柵極驅(qū)動(dòng)器和上述多個(gè)柵極配線相連的多個(gè)迂回配線。上述周邊區(qū)域是控制區(qū)域以外的區(qū)域，能夠用作與柵極配線或源極配線連接的驅(qū)動(dòng)器的配置空間或者從上述驅(qū)動(dòng)器向控制區(qū)域引導(dǎo)迂回配線的空間。上述多個(gè)迂回配線分別具有包含上述柵極配線的材料的柵極金屬部和包含上述源極配線的材料的源極金屬部。柵極配線和迂回配線的柵極金屬部能夠由相同工藝來(lái)形成，源極配線和迂回配線的源極金屬部能夠由相同工藝來(lái)形成，因此根據(jù)本發(fā)明，與柵極配線和迂回配線或者源極配線和迂回配線分別由不同制造條件、材料形成的情況相比，能夠提聞制造效率。根據(jù)本發(fā)明的配線基板，能夠消除由于制造條件、材料的不同而在各迂回配線中產(chǎn)生的電阻差，因此本發(fā)明的配線基板特別適合用于上述柵極金屬部和上述源極金屬部由不同制造條件來(lái)形成的情況。另外，特別適合用于上述柵極金屬部的材料和上述源極金屬部的材料不同的情況。由此，選擇制造條件、配線材料的自由度提高，從而能夠選擇生產(chǎn)率聞的制造條件。在上述柵極金屬部和上述源極金屬部之間配置有絕緣層。通過這樣設(shè)置絕緣層，能夠?qū)⒂鼗嘏渚€隔離于不同的2層，因此能夠抑制相鄰的迂回配線彼此短路的可能性并且進(jìn)行窄邊框化。上述柵極驅(qū)動(dòng)器和上述源極驅(qū)動(dòng)器通過貫通上述絕緣層的接觸部連接。在絕緣層內(nèi)部設(shè)置柵極金屬部和源極金屬部的導(dǎo)通部，由此能夠獲得窄邊框化的效果并且能跨越多層來(lái)形成I個(gè)迂回配線。 如上所述，在本發(fā)明的配線基板中，在各迂回配線的中途設(shè)置有將上述柵極金屬部和上述源極金屬部相連的接觸部。柵極金屬部和源極金屬部通常分別由不同工序形成，因此在這些工序間容易產(chǎn)生工藝偏差。各柵極配線間產(chǎn)生電阻差的原因可以舉出由迂回配線的線寬和膜厚的差異導(dǎo)致的電阻差、由材料的電阻率的差異導(dǎo)致的電阻差等。工藝偏差產(chǎn)生各迂回配線的電阻差，成為信號(hào)延遲發(fā)生的原因，而實(shí)際上難以消除迂回配線的線寬和膜厚的偏差。另外，無(wú)法從本質(zhì)上改變材料的電阻率的差異。例如鉭和鋁，如下表所示電阻率就不同，另外，在實(shí)際的線寬和膜厚的差異的范圍內(nèi)難以使每單位長(zhǎng)度的電阻一致。[表 I]
權(quán)利要求
1.一種配線基板，其特征在于 具有控制區(qū)域和周邊區(qū)域，上述控制區(qū)域包含在行方向上延伸的多個(gè)柵極配線和在列方向上延伸的多個(gè)源極配線，上述周邊區(qū)域包含與該多個(gè)柵極配線連接的柵極驅(qū)動(dòng)器、與該多個(gè)源極配線連接的源極驅(qū)動(dòng)器以及沿著該控制區(qū)域的外周迂回并將該柵極驅(qū)動(dòng)器和該多個(gè)柵極配線相連的多個(gè)迂回配線； 該多個(gè)迂回配線分別具有包含該柵極配線的材料的柵極金屬部和包含該源極配線的材料的源極金屬部； 在該柵極金屬部和該源極金屬部之間配置有絕緣層； 該柵極金屬部和該源極金屬部通過貫通該絕緣層的接觸部相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的配線基板，其特征在于 從上述柵極驅(qū)動(dòng)器交錯(cuò)地按順序引出包含相互不同的材料的迂回配線。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的配線基板，其特征在于 上述配線基板具有將上述源極驅(qū)動(dòng)器和上述多個(gè)源極配線相連的多個(gè)源極迂回配線， 從上述源極驅(qū)動(dòng)器交錯(cuò)地按順序引出包含相互不同的材料的迂回配線。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中的任一項(xiàng)所述的配線基板，其特征在于 從上述柵極驅(qū)動(dòng)器交錯(cuò)地按順序引出上述多個(gè)迂回配線，并且從兩個(gè)末端左右交替地按順序引出的各迂回配線從各柵極配線中行號(hào)小的柵極配線起按順序連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中的任一項(xiàng)所述的配線基板，其特征在于 在上述多個(gè)迂回配線各自的整體長(zhǎng)度中上述柵極金屬部和上述源極金屬部所占的比例在多個(gè)迂回配線間實(shí)質(zhì)上相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5中的任一項(xiàng)所述的配線基板，其特征在于 上述接觸部位于上述迂回配線的大致中間點(diǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至6中的任一項(xiàng)所述的配線基板，其特征在于 上述相鄰的迂回配線的各接觸部的位置在列方向上錯(cuò)開配置。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至7中的任一項(xiàng)所述的配線基板，其特征在于 在上述配線基板中，在由上述多個(gè)柵極配線和上述多個(gè)源極配線包圍的多個(gè)像素中的每個(gè)像素中具有開關(guān)元件。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的配線基板，其特征在于 上述多個(gè)像素按每個(gè)相鄰的列而極性不同。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的配線基板，其特征在于 上述多個(gè)像素按每個(gè)相鄰的像素而極性不同。
11.一種顯示裝置，其特征在于 具備權(quán)利要求I至10中的任一項(xiàng)所述的配線基板。
全文摘要
本發(fā)明提供降低了多個(gè)迂回配線的各配線間的電阻差的配線基板。本發(fā)明的配線基板具有控制區(qū)域和周邊區(qū)域，上述控制區(qū)域包含在行方向上延伸的多個(gè)柵極配線和在列方向上延伸的多個(gè)源極配線，上述周邊區(qū)域包含與上述多個(gè)柵極配線連接的柵極驅(qū)動(dòng)器、與上述多個(gè)源極配線連接的源極驅(qū)動(dòng)器以及沿著上述控制區(qū)域的外周迂回并將上述柵極驅(qū)動(dòng)器和上述多個(gè)柵極配線相連的多個(gè)迂回配線，上述多個(gè)迂回配線分別具有包含上述柵極配線的材料的柵極金屬部和包含上述源極配線的材料的源極金屬部，在上述柵極金屬部和上述源極金屬部之間配置有絕緣層，上述柵極金屬部和上述源極金屬部通過貫通上述絕緣層的接觸部連接。
文檔編號(hào)G02F1/1345GK102667897SQ20108005225
公開日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2010年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月18日
發(fā)明者森純一 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社