專利名稱:一種同時可實現(xiàn)多槽顯影的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及半導(dǎo)體微電子及PCB制作的設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及到一種同時可實現(xiàn)多槽顯影的裝置。
背景技術(shù):
隨著電子工業(yè)與各類自動控制儀器的飛速發(fā)展,尤其是大規(guī)模集成電路的應(yīng)用與超小儀器的設(shè)計;目前,在半導(dǎo)體微電子及PCB制作過程中起到圖形曝光成像后顯影功能的設(shè)備,其只有單一槽體進(jìn)行單塊顯影物的操作,不能使多塊顯影物同時進(jìn)行顯影功能;在使用時受到一定的局限性,對生產(chǎn)和學(xué)習(xí)造成一定的影響,且不能對顯影物進(jìn)行溫度及一些相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行全部監(jiān)控。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能同時實現(xiàn)多塊顯影物同時顯影的、實用的新型的同時可實現(xiàn)多槽顯影的裝置。本實用新型是通過如下方式實現(xiàn)的一種同時可實現(xiàn)多槽顯影的裝置,其特征在于主要包括有控制系統(tǒng)和顯影裝置;控制系統(tǒng)與顯影裝置通過連接設(shè)備相連接;所述的控制系統(tǒng)包括主控箱1,所述的主控箱1上裝設(shè)有控制臺7,控制臺7上裝設(shè)有觸摸屏2和總開關(guān)3 ;總開關(guān)3位于觸摸屏2的下方;總開關(guān)3與主控箱1和控制臺7 內(nèi)部電路相連接;所述的顯影裝置設(shè)有多個方形空腔裝置8,設(shè)于控制系統(tǒng)的一側(cè)邊;所述的空腔裝置8內(nèi)部設(shè)有數(shù)個顯影槽4。所述的空腔裝置8的上端設(shè)有保護(hù)蓋6。所述的顯影槽4可更換槽體,安裝液位、溫度等監(jiān)控裝置。該裝置機體采用透明的塑料構(gòu)成。本實用新型設(shè)計結(jié)構(gòu)簡單合理,本裝置通過數(shù)個可更換槽體,安裝液位,溫度等監(jiān)控裝置,不僅起到保護(hù)作用,還解決了多塊顯影物同時進(jìn)行顯影功能的作用。綜上所述,本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、操作方便實用的一種同時可實現(xiàn)多槽顯影的裝置。
圖1本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
現(xiàn)結(jié)合附圖,詳述本實用新型具體實施方式
[0016]如圖1所示,一種同時可實現(xiàn)多槽顯影的裝置,其特征在于主要包括有控制系統(tǒng)和顯影裝置控制系統(tǒng)與顯影裝置通過連接設(shè)備相連接;所述的控制系 統(tǒng)包括主控箱1,所述的主控箱1上裝設(shè)有控制臺7,控制臺7上裝設(shè)有觸摸屏2和總開關(guān)3 ;總開關(guān)3位于觸摸屏2的下方;總開關(guān)3與主控箱1和控制臺7 內(nèi)部電路相連接;所述的顯影裝置設(shè)有多個方形空腔裝置8,設(shè)于控制系統(tǒng)的一側(cè)邊;所述的空腔裝置8內(nèi)部設(shè)有數(shù)個顯影槽4。所述的空腔裝置8的上端設(shè)有保護(hù)蓋6。所述的顯影槽4可更換槽體,安裝液位、溫度等監(jiān)控裝置。該裝置機體采用透明的塑料構(gòu)成。本實用新型設(shè)計結(jié)構(gòu)簡單合理,本裝置通過數(shù)個可更換槽體,安裝液位,溫度等監(jiān)控裝置,不僅起到保護(hù)作用,還解決了多塊顯影物同時進(jìn)行顯影功能的作用。本實用新型主要由主控箱1內(nèi)的PLC可編程控制器實現(xiàn)本機各項功能控制,開啟總開關(guān)3后,通過觸摸屏2進(jìn)行通訊,實現(xiàn)本機的溫度,液位等功能,依次開啟顯影槽4,當(dāng)溫度和液位正常時,開啟內(nèi)部攪拌裝置,通過各個顯影槽實現(xiàn)顯影功能,同時加裝了保護(hù)蓋6, 防止了外界物件的掉入或人為碰觸。并且,完成時可同時實現(xiàn)顯影槽4槽里的物件顯影。
權(quán)利要求1.一種同時可實現(xiàn)多槽顯影的裝置,其特征在于主要包括有控制系統(tǒng)和顯影裝置; 控制系統(tǒng)與顯影裝置通過連接設(shè)備相連接;所述的控制系統(tǒng)包括主控箱(1),所述的主控箱(1)上裝設(shè)有控制臺(7),控制臺(7) 上裝設(shè)有觸摸屏(2)和總開關(guān)(3);總開關(guān)(3)位于觸摸屏O)的下方;總開關(guān)(3)與主控箱(1)和控制臺(7)內(nèi)部電路相連接;所述的顯影裝置設(shè)有多個方形空腔裝置(8),設(shè)于控制系統(tǒng)的一側(cè)邊;所述的空腔裝置(8)內(nèi)部設(shè)有數(shù)個顯影槽G)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種同時可實現(xiàn)多槽顯影的裝置,其特征在于所述的空腔裝置(8)的上端設(shè)有保護(hù)蓋(6)。
專利摘要本實用新型公開一種同時可實現(xiàn)多槽顯影的裝置,其特征在于包括控制系統(tǒng)和顯影裝置;所述的控制系統(tǒng)包括主控箱,所述的主控箱上裝設(shè)有控制臺,控制臺上裝設(shè)有觸摸屏和總開關(guān);所述的顯影裝置設(shè)有多個方形空腔裝置,設(shè)于控制系統(tǒng)的一側(cè)邊;所述的空腔裝置內(nèi)部設(shè)有數(shù)個顯影槽,空腔裝置的上端設(shè)有保護(hù)蓋。本裝置通過四個可更換槽體,安裝液位,溫度等監(jiān)控裝置,不僅起到保護(hù)作用,還解決了多塊顯影物同時進(jìn)行顯影功能的作用。
文檔編號G03F7/30GK201955621SQ20102069070
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者吳海斌 申請人:福州時創(chuàng)電子科技有限公司