專利名稱：一種真空雙面曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及到一種真空雙面曝光裝置。
背景技術(shù)：
由于曝光在半導(dǎo)體行業(yè)中設(shè)備成本高，在教學及科研單位使用時造成成本浪費， 及投資費用較大，本曝光設(shè)備可以達科研單位，IC成像曝光并且在教學中可以提供PCB制作成像功能，減少投入開支，達到科研及教學適用目的。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、方便實用的新型的真空雙面曝光裝置。本實用新型是通過如下方式實現(xiàn)的一種真空雙面曝光裝置，其特征在于主要包括有曝光裝置和真空裝置，所述的曝光裝置由上機蓋1與下機蓋8通過鉸鏈11連接而成；所述的上機蓋1呈箱體狀，其內(nèi)裝設(shè)有上曝光燈管3，上機蓋1內(nèi)表面水平鋪設(shè)有一曝光源擋板4 ；所述的下機蓋8呈箱體狀，其內(nèi)裝設(shè)有下曝光燈管10 ；下機蓋8前端裝設(shè)有控制面板7 ；所述的真空裝置主要包括有真空架5和氣泵12，所述的真空架5是由上真空架與下真空架采用合頁連接，卡扣閉合而成；所述的真空架5設(shè)于下機蓋8的曝光燈管10的上方，所述的氣泵12設(shè)于下機蓋 8內(nèi)部；氣泵12與真空架5內(nèi)部相連通。所述的上機蓋1與下機蓋8通過上卡扣2與下卡扣6相扣合。所述的下機蓋8側(cè)邊裝設(shè)有拉手9。所述的上曝光燈管3呈水平或豎直方向裝設(shè)于上機蓋1箱體內(nèi)部；所述的下曝光燈管10呈水平或豎直方向裝設(shè)于下機蓋8箱體內(nèi)部。所述的上真空架與下真空架呈透明平板狀，四周嵌有金屬護框。本實用新型由控制面板開關(guān)進行控制，成像物體可通過真空架進行真空吸附后吸平拉緊，再將上機蓋關(guān)下，進行上下卡扣后，控制面板控制，最后報警完成結(jié)束，即可完成集成電路，PCB，半導(dǎo)體的成像工藝。綜上所述，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、操作方便實用的一種真空雙面曝光裝置。
圖1本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；圖2本實用新型內(nèi)部單片機控制原理圖；圖3本實用新型控制原理圖。
具體實施方式
現(xiàn)結(jié)合附圖，詳述本實用新型具體實施方式
如圖1、圖2、圖3所示，一種真空雙面曝光裝置，其特征在于主要包括有曝光裝置和真空裝置，所述的曝光裝置由上機蓋1與下機蓋8通過鉸鏈11連接而成；所述的上機蓋1呈箱體狀，其內(nèi)裝設(shè)有上曝光燈管3，上機蓋1內(nèi)表面水平鋪設(shè)有一曝光源擋板4 ；所述的下機蓋8呈箱體狀，其內(nèi)裝設(shè)有下曝光燈管10 ；下機蓋8前端裝設(shè)有控制面板7 ；所述的真空裝置主要包括有真空架5和氣泵12，所述的真空架5是由上真空架與下真空架采用合頁連接，卡扣閉合而成；所述的真空架5設(shè)于下機蓋8的曝光燈管10的上方，所述的氣泵12設(shè)于下機蓋 8內(nèi)部；氣泵12與真空架5內(nèi)部相連通。所述的上機蓋1與下機蓋8通過上卡扣2與下卡扣6相扣合。所述的下機蓋8側(cè)邊裝設(shè)有拉手9。所述的上曝光燈管3呈水平或豎直方向裝設(shè)于上機蓋1箱體內(nèi)部；所述的下曝光燈管10呈水平或豎直方向裝設(shè)于下機蓋8箱體內(nèi)部。所述的上真空架與下真空架呈透明平板狀，四周嵌有金屬護框。本實用新型由控制面板7開關(guān)進行控制，成像物體可通過真空架5進行真空吸附后吸平拉緊，再將上機蓋1關(guān)下，進行上下卡扣2、6后，控制面板7控制，最后報警完成結(jié)束，即可完成集成電路，PCB，半導(dǎo)體的成像工藝。
具體實施方式
連接電源線并開啟主機電源。然后將要曝光成像的物件放入真空架5內(nèi)，并開啟氣泵12進行抽真空，當真空度達到要求時，蓋上上機蓋1。再將開啟曝光電源及設(shè)定曝光時間。曝光時間完成后，報警，此時關(guān)掉曝光電源。打開上機蓋1，取出曝光后的物件。
權(quán)利要求1.一種真空雙面曝光裝置，其特征在于主要包括有曝光裝置和真空裝置，所述的曝光裝置由上機蓋(1)與下機蓋(8)通過鉸鏈(11)連接而成；所述的上機蓋(1)呈箱體狀，其內(nèi)裝設(shè)有上曝光燈管(3)，上機蓋(1)內(nèi)表面水平鋪設(shè)有一曝光源擋板；所述的下機蓋(8)呈箱體狀，其內(nèi)裝設(shè)有下曝光燈管(10)；下機蓋(8)前端裝設(shè)有控制面板(7)；所述的真空裝置主要包括有真空架(5)和氣泵(12)，所述的真空架(5)是由上真空架與下真空架采用合頁連接，卡扣閉合而成；所述的真空架(5)設(shè)于下機蓋(8)的曝光燈管(10)的上方，所述的氣泵(12)設(shè)于下機蓋(8)內(nèi)部；氣泵(12)與真空架(5)內(nèi)部相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空雙面曝光裝置，其特征在于所述的上機蓋(1)與下機蓋(8)通過上卡扣(2)與下卡扣(6)相扣合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空雙面曝光裝置，其特征在于所述的下機蓋(8)側(cè)邊裝設(shè)有拉手(9)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空雙面曝光裝置，其特征在于所述的上曝光燈管(3) 呈水平或豎直方向裝設(shè)于上機蓋(1)箱體內(nèi)部；所述的下曝光燈管(10)呈水平或豎直方向裝設(shè)于下機蓋(8)箱體內(nèi)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空雙面曝光裝置，其特征在于所述的上真空架與下真空架呈透明平板狀，四周嵌有金屬護框。
專利摘要本實用新型公開一種真空雙面曝光裝置，主要包括有曝光裝置和真空裝置，所述的曝光裝置由上機蓋與下機蓋通過鉸鏈連接而成；所述的上機蓋呈箱體狀，其內(nèi)裝設(shè)有上曝光燈管，上機蓋內(nèi)表面水平鋪設(shè)有一曝光源擋板；所述的下機蓋呈箱體狀，其內(nèi)裝設(shè)有下曝光燈管；下機蓋前端裝設(shè)有控制面板；所述的真空裝置主要包括有真空架和氣泵，所述的真空架是由上真空架與下真空架采用合頁連接，卡扣閉合而成；所述的真空架設(shè)于下機蓋的曝光燈管的上方，所述的氣泵設(shè)于下機蓋內(nèi)部；氣泵與真空架內(nèi)部相連通；本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、操作方便實用的一種真空雙面曝光裝置。
文檔編號G03F7/20GK201955620SQ20102069070
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者張震奇 申請人:福州時創(chuàng)電子科技有限公司