專利名稱：一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡和F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種利用光學透鏡的掃描系統(tǒng)，具體涉及一種應用于激光外差干涉儀 的基于雙軸MEMS反射振鏡和F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)。
背景技術：
激光外差干涉儀以其測量精度高、速度快、對待測樣品無損害、靈敏度高等優(yōu)點， 在半導體硅片檢測，光學玻璃生產(chǎn)監(jiān)測，超光滑表面檢測過程越來越受到廣泛的應用。然 而，傳統(tǒng)的激光外差干涉儀中的對待測樣品的掃描測量是通過樣品的運動來達到掃描的目 的，這種掃描方式簡單且易實現(xiàn)，但在精度上不能滿足要求。相比之下，快速光掃描技術就 顯得優(yōu)勢明顯。光掃描技術是上世紀70年代中期以后出現(xiàn)的一種動態(tài)測試技術，它主要利用白 光或激光形成對被測對象的掃描運動，配合光電器件，電子技術與計算機，構成各種精密測 試方法，這種技術適合于精密測試方法。目前，從高精度的自動定位，面型檢測，三維尺寸計 量，表面瑕疵檢查一直到超級市場的自動收貨都已經(jīng)應用了光掃描技術。自從MEMS振鏡問 世以來，就受到廣大科研人員的青睞。它具有振動精度高，體積小，成本低，振動頻率高等特 點。目前世界上比較著名的幾家公司，比如MARADIN，HIPERSCAN, FRAUH0FER等公司研發(fā) 生產(chǎn)的MEMS振鏡，可以實現(xiàn)在空間的1維和2維掃描，其在空間的掃描角度可以達到20°。 雖然MEMS振鏡具有上述多種優(yōu)點，但是MEMS的振動原理是通過對相應的轉軸施加驅動信 號，使得在相應的軸上產(chǎn)生不同的扭矩，從而達到在空間振動的目的。這種振動原理使空間 掃描角度和時間是一種正弦形式的關系，給線性勻速的掃描的方式帶來一定的困難。目前在國內(nèi)外市場上，F(xiàn)-Theta透鏡已經(jīng)取得了廣泛的應用，如激光掃描系統(tǒng)，激 光打標，刻印，光學精細加工，激光防偽和生物掃描儀等精密設備中常采用F-Theta透鏡實 現(xiàn)掃描功能。然而，以上這些應用僅僅局限在光束的單方向傳播上。換句話說，光束只是一 個方向從F-Theta透鏡出射，在空間的像平面上掃描出一系列光斑。另外，F(xiàn)-Theta透鏡所 采用的光源都是針對于可見光波段來實現(xiàn)研究和生產(chǎn)的。第三，目前的F-Theta掃描透鏡 僅僅考慮光束在像平面上的掃描成像質量，對于掃描光束的方向性問題并沒有過多考慮。總之，現(xiàn)有的MEMS振鏡的空間掃描角度和掃描時間是非線性的關系。而F-Theta 掃描透鏡具有以下三個方面的不足，一，掃描透鏡的適用波長單一，停留在可見光波段。二， 掃描光束單方向傳播掃描。三，掃描光束和成像面不垂直。以上這些問題給應用在近紅外 外差干涉儀中的混合光學掃描帶來很大的困難。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有的光學掃描系統(tǒng)適用波長單一且無法實現(xiàn)線性勻速掃描的問題，本 發(fā)明提供一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡和F-Theta透鏡的線性掃 描系統(tǒng)。
4
本發(fā)明的一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反 射振鏡和F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，所述掃描系統(tǒng)包括 Im激光器、偏振分束棱鏡、1/4波片、雙軸MEMS反射振鏡、三片式F-Theta透鏡組、高反射 鏡和光電探測器，所述高反射鏡的反射率為969Γ100%，所述雙軸MEMS反射振鏡位于所述三 片式F-Theta透鏡組的系統(tǒng)焦距處，
所述2私《激光器輸出波長為2// 的線偏振光至偏振分束棱鏡的一個信號接收端，所
述偏振分束棱鏡將所接受的線偏振光透過輸出，所述經(jīng)偏振分束棱鏡透過輸出的線偏振光 通過1/4波片變換為圓偏振光后輸入至雙軸MEMS反射振鏡的有效反射單元，所述雙軸MEMS 反射振鏡將輸入的圓偏振光反射輸出至三片式F-Theta透鏡組的信號通訊端面，所述三片 式F-Theta透鏡組輸出圓偏振平行光至待掃描物體，經(jīng)所述待掃描物體透射的圓偏振平行 光輸入至高反射鏡的反射端面，所述高反射鏡將輸入的圓偏振平行光反射輸出偏振方向 旋轉90°的圓偏振平行光，所述偏振方向旋轉90°的圓偏振平行光按原光路返回至雙軸 MEMS反射振鏡的有效反射單元，經(jīng)所述雙軸MEMS反射振鏡反射回的偏振方向旋轉90°的 反射圓偏振光通過1/4波片后輸出偏振方向旋轉90°的反射線偏振光至線偏振分束棱鏡， 所述偏振方向旋轉90°的反射線偏振光經(jīng)所述偏振分束棱鏡反射輸入至光電探測器的信 號接收端。本發(fā)明的有益效果為本發(fā)明提供了一種近紅外波段(一)的線性掃描系統(tǒng)， 該線性掃描系統(tǒng)利用MEMS振鏡和F-theta透鏡相結合的方式實現(xiàn)了對待掃描物體的線 性均勻掃描，可以被應用在近紅外外差干涉儀系統(tǒng)當中作為掃描系統(tǒng)；本發(fā)明的線性掃描 系統(tǒng)適用波長從傳統(tǒng)的可見光波段拓寬到了紅外波段；本發(fā)明的線性掃描系統(tǒng)采用雙軸 MEMS反射振鏡可以縮小應用線性掃描系統(tǒng)的整個外差干涉儀系統(tǒng)的結構；本發(fā)明中的三 片式F-Theta透鏡組的掃描光束和待掃描物體完全平行，彌補了傳統(tǒng)的F-Theta透鏡的不 足，提高了測量待掃描物體的橫向分辨率精度。
圖1是本發(fā)明的一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡和 F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)的結構示意圖；圖2是現(xiàn)有的雙軸MEMS反射振鏡的原理示意 圖；圖3是本發(fā)明中具體實施方式
七中雙軸MEMS反射振鏡4的方波驅動信號和空間掃描 角度的關系曲線示意圖，其中，曲線I表示雙軸MEMS反射振鏡4的方波驅動信號，曲線II 表示雙軸MEMS反射振鏡4的空間掃描角度的振動軌跡；圖4是圖3中方波驅動信號的驅動 頻率和空間掃描角度的關系曲線示意圖；圖5是本發(fā)明中材料為BK7的透鏡的光學透射曲 線示意圖；圖6是本發(fā)明中材料為SFll的透鏡的光學透射曲線示意圖；圖7是本發(fā)明中三 片式F-theta透鏡組5的結構示意圖；圖8是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5中第一透 鏡5-1的尺寸示意圖；圖9是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5中第二的尺寸5_2的尺寸 示意圖；圖10是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5中第三透鏡5-3的尺寸示意圖；圖11 是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5的系統(tǒng)場曲隨視場的變化示意圖；圖12是本發(fā)明中三 片式F-Theta透鏡組5的系統(tǒng)畸變隨視場的變化示意圖；圖13是本發(fā)明中三片式F-Theta 透鏡組5在視場角為0度時在待掃描物體U上的點陣分布示意圖；圖14是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5在視場角為-5度時在待掃描物體U上的點陣分布示意圖；圖15是本發(fā) 明中三片式F-Theta透鏡組5在視場角為_10度時在待掃描物體U上的點陣分布示意圖； 圖16是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5在視場角為-15度時在待掃描物體U上的點陣 分布示意圖；圖17是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5在視場角為-17度時在待掃描物體 U上的點陣分布示意圖；圖18是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5在視場角為-20度時在 待掃描物體U上的點陣分布示意圖；圖19是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5在視場角為 20度時在待掃描物體U上的點陣分布示意圖；圖20是本發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5在 視場角為17度時在待掃描物體U上的點陣分布示意圖；圖21是本發(fā)明中三片式F-Theta 透鏡組5在視場角為15度時在待掃描物體U上的點陣分布示意圖；圖22是本發(fā)明中三片 式F-Theta透鏡組5在視場角為10度時在待掃描物體U上的點陣分布示意圖；圖23是本 發(fā)明中三片式F-Theta透鏡組5在視場角為5度時在待掃描物體U上的點陣分布示意圖。
具體實施例方式具體實施方式
一根據(jù)說明書附圖1和2具體說明本實施方式，本實施方式所述的 一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡和F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，所 述掃描系統(tǒng)包括2私《激光器1、偏振分束棱鏡2、1/4波片3、雙軸MEMS反射振鏡4、三片式 F-Theta透鏡組5、高反射鏡6和光電探測器7，所述高反射鏡6的反射率為96°/Γ 00%，所述 雙軸MEMS反射振鏡4位于所述三片式F-Theta透鏡組5的系統(tǒng)焦距處，
所述2/i 激光器1輸出波長為2μ·的線偏振光至偏振分束棱鏡2的一個信號接收端， 所述偏振分束棱鏡2將所接受的線偏振光透過輸出，所述經(jīng)偏振分束棱鏡2透過輸出的線 偏振光通過1/4波片3變換為圓偏振光后輸入至雙軸MEMS反射振鏡4的有效反射單元，所 述雙軸MEMS反射振鏡4將輸入的圓偏振光反射輸出至三片式F-Theta透鏡組5的信號通 訊端面，所述三片式F-Theta透鏡組5輸出圓偏振平行光至待掃描物體U,經(jīng)所述待掃描物 體U透射的圓偏振平行光輸入至高反射鏡6的反射端面，所述高反射鏡6將輸入的圓偏振 平行光反射輸出偏振方向旋轉90°的圓偏振平行光，所述偏振方向旋轉90°的圓偏振平 行光按原光路返回至雙軸MEMS反射振鏡4的有效反射單元，經(jīng)所述雙軸MEMS反射振鏡4 反射回的偏振方向旋轉90°的反射圓偏振光通過1/4波片3后輸出偏振方向旋轉90°的 反射線偏振光至線偏振分束棱鏡2，所述偏振方向旋轉90°的反射線偏振光經(jīng)所述偏振分 束棱鏡2反射輸入至光電探測器7的信號接收端。
具體實施方式
二 本實施方式是對具體實施方式
一的進一步說明，具體實施方式
一中2μΜ激光器1輸出的波長為2“m的線偏振光的激光束直徑為Imm2，雙軸MEMS反射振
鏡4的有效反射單元的面積為Imm2。
具體實施方式
三根據(jù)說明書附圖7具體說明本實施方式，本實施方式是對具體 實施方式一或二的進一步說明，具體實施方式
一或二所述線性掃描系統(tǒng)中，三片式F-Theta 透鏡組5由共軸排列的三片透鏡組合而成，所述三片透鏡依次為材料為SFll的第一透鏡 5-1、材料為SFll的第二透鏡5-2和材料為BK7的第三透鏡5_3，所述三片式F-Theta透 鏡組5的系統(tǒng)焦距為430mm，其筒長為280mm，其前工作距離為242. 24mm，其后工作距離為 328. 50mm，所述前工作距離為雙軸MEMS反射振鏡4的有效反射單元與材料為SFll的第一透鏡5-1之間的距離，所述后工作距離為材料為BK7的第三透鏡5-3與待掃描物體U之間 的距離。
具體實施方式
四根據(jù)說明書附圖8、9和10具體說明本實施方式，本實施方式是 對具體實施方式
一、二或三的進一步說明，具體實施方式
一、二或三的三片式F-Theta透鏡 組5中三個透鏡的具體參數(shù)為具體實施方式
五本實施方式是對具體實施方式
一至四中任意一個實施方式的進 一步說明，具體實施方式
一至四中雙軸MEMS反射振鏡4在驅動信號下工作，通過調(diào)節(jié)所述 雙軸MEMS反射振鏡4的慢軸和快軸的相應驅動信號的驅動頻率調(diào)整所述雙軸MEMS反射振 鏡4的最大空間掃描角度。
具體實施方式
六本實施方式是對具體實施方式
五的進一步說明，具體實施方式
五中慢軸的驅動信號為方波驅動信號，其驅動頻率為2527Hz，與所述驅動頻率相應的慢軸 的最大空間掃描角度為30° ；快軸的驅動信號為方波驅動信號，其驅動頻率為41580Hz，與 所述驅動頻率相應的快軸的最大空間掃描角度為40°。
具體實施方式
七本實施方式是對具體實施方式
五的進一步說明，具體實施方式
五中慢軸的驅動信號為方波驅動信號，其驅動頻率為2600Hz，與所述驅動頻率相應的慢軸 的最大空間掃描角度為40° ；快軸的驅動信號為方波驅動信號，其驅動頻率為2527Hz，與所 述驅動頻率相應的快軸的最大空間掃描角度為50°。
具體實施方式
八本實施方式與具體實施方式
一至七中任意一個實施方式的不同 之處在于高反射鏡6的反射率為98%。本實施方式中，通過施加給雙軸MEMS反射振鏡的兩個軸的驅動信號，這樣從雙軸 MEMS反射振鏡4反射出的光束在空間就形成了一個空間點陣分布?，F(xiàn)有的雙軸MEMS反射振鏡4的原理如圖2所示，本實施方式中，通過給雙軸MEMS 反射振鏡4施加方波驅動信號，方波驅動信號和空間掃描角度的關系如圖3所示，空間掃描 角度是以正弦形式曰=4皿(2^#)振動，式中〃代表的是在固定驅動頻率的驅動信號下，雙軸 MEMS反射振鏡4的空間掃描角度和時間的關系，/代表的是方波驅動信號的驅動頻率， 是在給定方波驅動信號的驅動頻率情況下，雙軸MEMS反射振鏡4在空間的最大空間掃描角度。雙軸MEMS反射振鏡4在空間的兩個軸上所對應的不同驅動頻率和空間掃描角度的關 系曲線如圖4所示，方波驅動信號的驅動頻率和空間掃描角度成反指數(shù)形式變化。可以看 出，當給快軸施加的驅動信號的驅動頻率等于2527Hz，所對應的最大空間掃描角度等于40 度，當給慢軸施加的方波驅動信號的驅動頻率等于2600Hz，所對應的最大空間掃描角度等 于50度。BK7材料對于可見光和近紅外波段的透射系數(shù)曲線如圖5所示，SFll材料對于可 見光和近紅外波段的透射系數(shù)曲線如圖6所示。由于本掃描系統(tǒng)所用的波長為2 μ m，由圖 5和圖6可以看出，這兩種材料在2 μ m波段附近的透過率分別是85%和92%，完全滿足對于 波長的要求。本實施方式中，在選擇三片式F-Theta透鏡組5具體參數(shù)前，進行了前期設計，在 前期設計三片式F-Theta透鏡組5的過程中，引入了桶形畸變，使得像高滿足J = ,對
該式中的振動角度求導，得出= f，該式已經(jīng)滿足了 “當雙軸MEMS反射振鏡4的兩
個軸同時振動時，掃描光束在待掃描物體上是勻速運動的”要求。然后再對:F = f-θ的時
間變量求導，其中沒=%,得出 dyidt = f-({fyidi) = Znf cos(pm)，式中
/代表的是三片式F-Theta透鏡組5的系統(tǒng)焦距，ρ代表的是施加給雙軸MEMS反射振鏡
4的驅動信號的驅動頻率。由上述求導公式可以看出，在待掃描物體上的像高隨時間變化是 一個余弦的形式，因此在采用ZEMAX軟件設計三片式F-Theta透鏡組5的過程中，我們采用 添加優(yōu)化函數(shù)的方法來達到像高隨時間的變化是一個常數(shù)，而不是上述按余弦形式變化。具體設計優(yōu)化的過程為對于掃描光束和帶掃描物體垂直，我們是通過添加RAIN 操作數(shù)來保證從三片式F-Theta透鏡組5出射的掃描光束和待掃描物體盡量垂直。RAIN指 的是實際光線和指定表面的法線的夾角，因此在優(yōu)化時保證此操作數(shù)的目標值為0。第二建 立三片式F-Theta透鏡組5發(fā)光源的視場角度函數(shù)，這里的視場角度函數(shù)對應于雙軸MEMS 反射振鏡4的空間掃描角度隨掃描時間的函數(shù)關系，這里我們所選擇的操作數(shù)是RAIN和 SINEjSINE的含義是對所應用的操作數(shù)取正弦。我們的目的是在歸一化視場里建立振鏡的 掃描角度函數(shù)，然后再針對于像平面添加操作數(shù)REAZ，該操作數(shù)代表的是實際光線在指定 面上的像高，建立這個操作數(shù)和上述建立振鏡掃描角度函數(shù)的操作數(shù)是一一對應的。最后 要添加的操作數(shù)是DISC，這個操作數(shù)表示的是歸一化畸變參數(shù)，它是對整個可見視場計算 標準化畸變，得到對于F-Theta條件下的最大非線形度值的絕對值，該操作數(shù)對于F-Theta 鏡頭的設計十分有用。DISC也是對歸一化視場里面的每一個值的目標值都是以0為目標值 優(yōu)化的，圖11和圖12表示了三片式F-Theta透鏡組5得系統(tǒng)像差曲線分布?？梢钥闯鱿?統(tǒng)的最大畸變像差小于0. 5%，這符合對于三片式F-Theta透鏡組5的系統(tǒng)要求。為了使優(yōu) 化結果更加合理，默認的優(yōu)化函數(shù)里還有關于待掃描物體上的點陣光斑大小的優(yōu)化，如圖 13所示，由圖13-圖23可以看出，在各個角度的視場內(nèi)所成的點陣光斑都在艾利斑以內(nèi)。本實施方式為近紅外外差干涉儀系統(tǒng)提供了一套基于MEMS振鏡和F-Theta透鏡 相混合的光學掃描系統(tǒng)。該光學掃描系統(tǒng)可以對空間直徑為300mm的樣品進行勻速均勻 性的掃描，有效的把MEMS振鏡和F-Theta透鏡組相結合，MEMS振鏡在空間的二維空間掃描 角度為40度。F-Theta透鏡組的最大特點是把使用波長從可見光波段擴展到近紅外波段，
8近紅外波段具有人眼安全性，這點對于裝調(diào)操作是非常有吸引力的。另外，F(xiàn)-Theta透鏡的 掃描光束和成像面完全平行，彌補了傳統(tǒng)的F-Theta透鏡的不足，設計的系統(tǒng)畸變參數(shù)在 0. 5%以內(nèi)，滿足了一般的F-Theta透鏡組對畸變參數(shù)的要求。該混合式掃描系統(tǒng)可以為近 紅外外差干涉儀系統(tǒng)的高精度測量帶來廣泛的應用前景。
權利要求
一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡和F Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，其特征在于所述掃描系統(tǒng)包括激光器(1)、偏振分束棱鏡(2)、1/4波片(3)、雙軸MEMS反射振鏡(4)、三片式F Theta透鏡組(5)、高反射鏡(6)和光電探測器(7)，所述高反射鏡(6)的反射率為96%~100%，所述雙軸MEMS反射振鏡(4)位于所述三片式F Theta透鏡組(5)的系統(tǒng)焦距處，所述激光器(1)輸出波長為的線偏振光至偏振分束棱鏡(2)的一個信號接收端，所述偏振分束棱鏡(2)將所接受的線偏振光透過輸出，所述經(jīng)偏振分束棱鏡(2)透過輸出的線偏振光通過1/4波片(3)變換為圓偏振光后輸入至雙軸MEMS反射振鏡(4)的有效反射單元，所述雙軸MEMS反射振鏡(4)將輸入的圓偏振光反射輸出至三片式F Theta透鏡組(5)的信號通訊端面，所述三片式F Theta透鏡組(5)輸出圓偏振平行光至待掃描物體(U)，經(jīng)所述待掃描物體(U)透射的圓偏振平行光輸入至高反射鏡(6)的反射端面，所述高反射鏡(6)將輸入的圓偏振平行光反射輸出偏振方向旋轉90°的圓偏振平行光，所述偏振方向旋轉90°的圓偏振平行光按原光路返回至雙軸MEMS反射振鏡(4)的有效反射單元，經(jīng)所述雙軸MEMS反射振鏡(4)反射回的偏振方向旋轉90°的反射圓偏振光通過1/4波片(3)后輸出偏振方向旋轉90°的反射線偏振光至線偏振分束棱鏡(2)，所述偏振方向旋轉90°的反射線偏振光經(jīng)所述偏振分束棱鏡(2)反射輸入至光電探測器(7)的信號接收端。290294dest_path_image001.jpg,319561dest_path_image001.jpg,202066dest_path_image001.jpg
2.根據(jù)權利要求1所述的一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡和 F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，其特征在于激光器(1)輸出的波長為2私《的線偏振光 的激光束直徑為I—2，雙軸MEMS反射振鏡(4)的有效反射單元的面積為1_2。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡 和F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，其特征在于所述線性掃描系統(tǒng)中，三片式F-Theta透鏡 組(5)由共軸排列的三片透鏡組合而成，所述三片透鏡依次為材料為SFll的第一透鏡 (5-1)、材料為SFll的第二透鏡(5-2)和材料為ΒΚ7的第三透鏡(5_3)，所述三片式F-Theta 透鏡組(5)的系統(tǒng)焦距為430mm，其筒長為280mm，其前工作距離為242. 24mm,其后工作距離 為328. 50mm，所述前工作距離為雙軸MEMS反射振鏡(4)的有效反射單元與材料為SFll的 第一透鏡(5-1)之間的距離，所述后工作距離為材料為BK7的第三透鏡(5-3)與待掃描物 體(U)之間的距離。
4.根據(jù)權利要求1、2或3所述的一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振 鏡和F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，其特征在于三片式F-Theta透鏡組(5)中三個透鏡的 具體參數(shù)為
5.根據(jù)權利要求1、2或3所述的一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振 鏡和F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，其特征在于雙軸MEMS反射振鏡(4)在驅動信號下工 作，通過調(diào)節(jié)所述雙軸MEMS反射振鏡(4)的慢軸和快軸的相應驅動信號的驅動頻率調(diào)整所 述雙軸MEMS反射振鏡(4)的最大空間掃描角度。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡和 F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，其特征在于慢軸的驅動信號為方波驅動信號，其驅動頻率 為2527Hz，與所述驅動頻率相應的慢軸的最大空間掃描角度為30° ；快軸的驅動信號為方 波驅動信號，其驅動頻率為41580Hz，與所述驅動頻率相應的快軸的最大空間掃描角度為 40°。
7.根據(jù)權利要求5所述的一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡和 F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，其特征在于慢軸的驅動信號為方波驅動信號，其驅動頻率 為2600Hz，與所述驅動頻率相應的慢軸的最大空間掃描角度為40° ；快軸的驅動信號為 方波驅動信號，其驅動頻率為2527Hz，與所述驅動頻率相應的快軸的最大空間掃描角度為 50°。
8.根據(jù)權利要求1、2、3、6或7所述的一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反 射振鏡和F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，其特征在于高反射鏡(6)的反射率為98%。
全文摘要
一種應用于激光外差干涉儀的基于雙軸MEMS反射振鏡和F-Theta透鏡的線性掃描系統(tǒng)，它涉及一種利用光學透鏡的掃描系統(tǒng)。它解決了現(xiàn)有的光學掃描系統(tǒng)適用波長單一且無法實現(xiàn)線性勻速掃描的問題，本發(fā)明包括激光器、偏振分束棱鏡、1/4波片、雙軸MEMS反射振鏡、三片式F-Theta透鏡組、高反射鏡和光電探測器，所述雙軸MEMS反射振鏡位于所述三片式F-Theta透鏡組的系統(tǒng)焦距處。本發(fā)明適用于激光外差干涉儀的掃描系統(tǒng)。
文檔編號G02B13/00GK101915542SQ20101024604
公開日2010年12月15日 申請日期2010年8月5日 優(yōu)先權日2010年8月5日
發(fā)明者叢海芳, 曲楊, 李彥超, 王春暉, 高龍 申請人:哈爾濱工業(yè)大學