專利名稱：：一種低溫型水系正膠剝離液的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種低溫型水系正膠剝離液，尤其涉及一種用于FPD面板生產(chǎn)的光阻剝離的低溫型水系正膠剝離液。
背景技術(shù)：
：低溫型水系正膠剝離液，透明易揮發(fā)性液體，易燃，密度(20°C)約為1.Og/ml。低溫型水系正膠剝離液主要用于用于FPD面板生產(chǎn)的光阻剝離，其使用工藝溫度為80°C左右；目前正膠剝離液主要由乙醇胺(MEA)、二甲基亞砜(DMSO)和超純水組成，該產(chǎn)品主要存在以下幾點(diǎn)缺點(diǎn)①用該低溫型水系正膠剝離液進(jìn)行光阻剝離時(shí)容易對光阻保護(hù)的金屬層產(chǎn)生攻擊，導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低；②該低溫型水系正膠剝離液的使用工藝溫度要求較高，需加熱到80°C左右，能耗較大；③乙醇胺(MEA)和二甲基亞砜(DMSO)對環(huán)境污染大且對人體健康有較大傷害。④三、技術(shù)內(nèi)容針對上述缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種進(jìn)行光阻剝離時(shí)不攻擊金屬層、使用工藝溫度低、對環(huán)境無污染小和對人體健康傷害小的低溫型水系剝離液。本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容為，一種低溫型水系正膠剝離液，其特征是它包括以下質(zhì)量百分比的組份N-甲基吡咯烷酮(NMP)2931二甲基乙酰胺(DMAC)23.727.7二乙二醇丁醚(BDG)2426/K1723。本發(fā)明的低溫型水系正膠剝離液的制備方法，為常規(guī)技術(shù)即為(1)、通過自動(dòng)上料系統(tǒng)將原料NMP、DMAC、BDG依次打入一調(diào)配罐中，當(dāng)所需要的重量達(dá)到后自動(dòng)停止上料，再開動(dòng)隔膜泵，經(jīng)過0.5um過濾器循環(huán)過濾2小時(shí)；(2)、將上述制得的混合液經(jīng)0.2μπι的過濾器過濾，以去除混合液中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得低溫型水系正膠剝離液。本發(fā)明在不改變客戶使用效果的前提下，改變配方，提高產(chǎn)品的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了原來使用的正膠剝離液造成的對人體和環(huán)境造成的損害，本方法能適用于大規(guī)模生產(chǎn)。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的優(yōu)點(diǎn)是1、本發(fā)明的低溫型水系正膠剝離液進(jìn)行光阻剝離時(shí)不會(huì)攻擊金屬層。2、本發(fā)明的低溫型水系正膠剝離液工藝溫度條件為60°C，低于原來的工藝溫度80°C，能耗降低。3、本發(fā)明的低溫型水系正膠剝離液中的組份對人體健康危害和環(huán)境污染小。四、具體實(shí)施例下面通過實(shí)施例進(jìn)一步描述本發(fā)明，但未限于所舉的實(shí)施例。含量99%的N-甲基吡咯烷酮(NMP)，電子級，江陰市江化微電子材料有限公司生產(chǎn)；其指標(biāo)如表1<table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>表1含量為99%的二甲基乙酰胺(DMAC)，電子級，韓國三星公司生產(chǎn)；其指標(biāo)如表2<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>表2含量為99%的二乙二醇丁醚(BDG)，電子級，德國巴斯夫生產(chǎn)；其指標(biāo)如表3<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>表3例1、稱取NMP30kg，在攪拌下加入裝有IOkg水的反應(yīng)釜中，充分?jǐn)嚢杈鶆?5分鐘，加入DMAC26kg，BDG24.2kg，加水至100kg，攪拌20分鐘后，將制得的混合物經(jīng)0.2μm的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得低溫型水系正膠剝離液。例2、稱取NMP30kg，在攪拌下加入裝有IOkg水的反應(yīng)釜中，充分?jǐn)嚢杈鶆?5分鐘，加入DMAC26kg，BDG24.5kg，加水至100kg，攪拌20分鐘后，將制得的混合物經(jīng)0.2μm的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得低溫型水系正膠剝離液。例3、稱取NMP30kg，在攪拌下加入裝有IOkg水的反應(yīng)釜中，充分?jǐn)嚢杈鶆?5分鐘，加入DMAC26kg，BDG25kg,加水至100kg，攪拌20分鐘后，將制得的混合物經(jīng)0.2μm的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得低溫型水系正膠剝離液。例4、稱取NMP30kg，在攪拌下加入裝有IOkg水的反應(yīng)釜中，充分?jǐn)嚢杈鶆?5分鐘，加入DMAC26kg，BDG25.5kg，加水至100kg，攪拌20分鐘后，將制得的混合物經(jīng)0.2μm的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得低溫型水系正膠剝離液。例5、稱取NMP30kg，在攪拌下加入裝有IOkg水的反應(yīng)釜中，充分?jǐn)嚢杈鶆?5分鐘，加入DMAC26kg，BDG26kg,加水至100kg，攪拌20分鐘后，將制得的混合物經(jīng)0.2μm的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得低溫型水系正膠剝離液。權(quán)利要求一種低溫型水系正膠剝離液，其特征是它包括以下質(zhì)量百分比的組份N-甲基吡咯烷酮(NMP)29～31二甲基乙酰胺(DMAC)23.7～27.7二乙二醇丁醚(BDG)24～26水17～23。全文摘要本發(fā)明涉及一種低溫型水系正膠剝離液，其特征是它包括以下質(zhì)量百分比的組份N-甲基吡咯烷酮29～31、二甲基乙酰胺23.7～27.7、二乙二醇丁醚24～26、水17～23。本發(fā)明具有進(jìn)行光阻剝離時(shí)不攻擊金屬層、使用工藝溫度低、對環(huán)境無污染小和對人體健康傷害小的優(yōu)點(diǎn)。文檔編號G03F7/42GK101799639SQ20101013907公開日2010年8月11日申請日期2010年4月1日優(yōu)先權(quán)日2010年4月1日發(fā)明者朱龍,欒成,殷福華,邵勇申請人:江陰市江化微電子材料有限公司