技術(shù)總結(jié)
一種光刻膠清洗劑,其含有:季銨氫氧化物、水、烷基二醇芳基醚、二甲基亞砜、聚羧酸類緩蝕劑和氨基唑類緩蝕劑。光刻膠清洗劑組合物可有效去除金屬、金屬合金或電介質(zhì)基材上的光刻膠和其他刻蝕殘留物,同時(shí)對鋁和銅等金屬,以及二氧化硅等非金屬材料具有很低的腐蝕性,還可防止金屬表面氧化物的產(chǎn)生。
技術(shù)研發(fā)人員:史永濤;彭洪修;曹惠英
受保護(hù)的技術(shù)使用者:安集微電子(上海)有限公司
文檔號碼:200880109166
技術(shù)研發(fā)日:2008.10.06
技術(shù)公布日:2017.09.15