專利名稱：一種用于掩膜版的定位確認(rèn)裝置及該裝置的操作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于定位確認(rèn)裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜版定位確認(rèn)裝置，本發(fā) 明還涉及該裝置的操作方法。
背景技術(shù)：
在對(duì)掩膜版進(jìn)行加工的過程中需要將掩膜版裝在光刻機(jī)的工作平臺(tái)上， 由光刻機(jī)對(duì)掩膜版進(jìn)行后續(xù)光刻操作，但是，目前沒有一種工具在對(duì)裝在光刻 機(jī)工作平臺(tái)的掩膜版時(shí)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)確認(rèn)，以使其掩膜版放置的位置符合設(shè)計(jì)要求。 在實(shí)踐操作中，如果掩膜版放置的位置不符合要求會(huì)使光刻機(jī)在掩膜版光刻位 置不符合設(shè)計(jì)要求，對(duì)位不準(zhǔn)而光刻出的掩膜版若繼續(xù)進(jìn)行后段工序的加工， 會(huì)導(dǎo)致廢品或次品的產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種掩膜版定位確認(rèn)裝置及該裝置的操作方法，旨 在解決掩膜版定位隨意性較大，定位不準(zhǔn)確的問題。
本發(fā)明一種掩膜版定位確認(rèn)裝置是這樣實(shí)現(xiàn)的， 一種用于掩膜版對(duì)位確認(rèn) 裝置，包括定位工具和測(cè)量工具，所述定位工具與測(cè)量工具活動(dòng)連接。
本發(fā)明一種掩膜版定位確認(rèn)裝置的實(shí)施方法是①、將掩膜版手動(dòng)放于工 作平臺(tái)上,并吸氣固定；②、將定位工具緊貼工作平臺(tái)設(shè)有的基準(zhǔn)面；③、用手 輕移測(cè)量工具，使測(cè)量工具輕抵掩膜版的邊緣，記下測(cè)量數(shù)據(jù)；④、更換不同位 置進(jìn)行測(cè)量，每邊測(cè)量?jī)蓚€(gè)位置，記出每邊的數(shù)據(jù)；⑤、將數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，與 理論值或標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，就可得到實(shí)際掩模版的偏移數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的技術(shù)效果是它提供了 一種掩膜版對(duì)位確認(rèn)裝置及該裝置的操作 方法，使用掩膜版對(duì)位確認(rèn)裝置并運(yùn)用該裝置的操作方法能夠準(zhǔn)確的測(cè)量出掩 膜版在工作平臺(tái)放置的位置是否符合要求，從而為調(diào)整掩膜版的位置提供科學(xué) 的依據(jù)。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的用于掩膜版的定位確認(rèn)裝置的俯視示意圖。
圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的用于掩膜版的定位確認(rèn)裝置的主視示意圖。
具體實(shí)施例方式
為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí) 施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)4亍進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例^f又 僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
請(qǐng)參閱圖1和圖2， 一種用于掩膜版對(duì)位確認(rèn)裝置，包括定位工具10和測(cè) 量工具20,所述定位工具10和測(cè)量工具20活動(dòng)連接。本發(fā)明一種用于掩膜版 對(duì)位確認(rèn)裝置主要用于掩膜版的對(duì)位確認(rèn)，也可用于其他形狀和類型的零件的 對(duì)位確認(rèn)。在本實(shí)施例中，本發(fā)明一種用于掩膜版對(duì)位確認(rèn)裝置用于掩膜版在 MP80+光刻機(jī)上的對(duì)位和確認(rèn)；本發(fā)明一種用于掩膜版對(duì)位確認(rèn)裝置和掩膜版 4均置于MP80+光刻機(jī)的工作臺(tái)30上。
請(qǐng)參閱圖1和圖2，定位工具10包括一定位塊11和一連接塊12,所述定 位塊11與連接塊12垂直連接，在本發(fā)明一種用于掩膜版對(duì)位確認(rèn)裝置時(shí)定位 工具10的定位塊11可緊貼著工作臺(tái)30的基準(zhǔn)面31移動(dòng)。所述連接塊12上設(shè) 有一用于安裝測(cè)量工具的階梯形凹槽(圖中未示出)。
請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明中設(shè)有的測(cè)量工具可為普通卡尺、位移變送器測(cè)量裝 置或者數(shù)字顯示游標(biāo)卡尺等測(cè)量工具；在本實(shí)施例中，測(cè)量工具采用數(shù)字顯示 游標(biāo)卡尺20。所述數(shù)字顯示游標(biāo)卡尺20包括一數(shù)字顯示器22和游標(biāo)卡尺21, 所述數(shù)字顯示器22置于連接塊12與游標(biāo)卡尺21的結(jié)合處，其用于將游標(biāo)卡尺 21的位移轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)并顯示出來(lái)；所述游標(biāo)卡尺21的大小和形狀與凹槽 相對(duì)應(yīng)，游標(biāo)卡尺21置于定位工具10的凹槽中并可在凹槽內(nèi)滑動(dòng)。游標(biāo)卡尺 21和凹槽采用上述結(jié)構(gòu)可使游標(biāo)卡尺21與連接快12的配合更加緊密，當(dāng)游標(biāo) 卡尺21在連接快12內(nèi)移動(dòng)時(shí)不至于產(chǎn)生晃動(dòng)，從而保證測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確無(wú)誤。 本發(fā)明操作時(shí)采用以下步驟
① 、將掩膜版4手動(dòng)放于工作平臺(tái)30上，并吸氣固定；
② 、將定位工具10的定位塊11緊貼工作平臺(tái)30設(shè)有的基準(zhǔn)面上；
③ 、用手輕移游標(biāo)卡尺21,使游標(biāo)卡21尺輕抵掩膜版4的邊緣，記下數(shù)字 顯示器顯示的測(cè)量數(shù)據(jù)；
④ 、更換不同位置進(jìn)行測(cè)量，每邊測(cè)量?jī)蓚€(gè)位置，記出每邊的數(shù)據(jù)；
、將數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，與理論值或標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，就可得到實(shí)際掩模版 的偏移數(shù)據(jù)。
由于本發(fā)明的測(cè)量工具是采用數(shù)字顯示游標(biāo)卡尺，其測(cè)量精度可精確到 O.lmm,完全可以滿足掩模版的定位確認(rèn)需要。
在生產(chǎn)加工掩膜板的過程中如果掩膜板定位不準(zhǔn)會(huì)導(dǎo)致掩膜板的廢品率增 高，由于掩膜板價(jià)格昂貴，所以較高掩膜板的廢品率會(huì)引起較大的損失。本領(lǐng) 域的技術(shù)人員一直想解決這個(gè)技術(shù)問題，但效果都不理想。本發(fā)明一種用于掩 膜版的定位確認(rèn)裝置及該裝置的操作方法首次成功的解決這一本領(lǐng)域的技術(shù)人 員 一直想解決卻未能解決的技術(shù)難題，極大的減少掩膜板在生產(chǎn)加工過程中由 于定位不準(zhǔn)而產(chǎn)生的廢品，節(jié)約了生產(chǎn)成本，取得了較好的經(jīng)濟(jì)效益。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā) 明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明 的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種用于掩膜版的對(duì)位確認(rèn)裝置，其特征在于:包括定位工具和測(cè)量工具，所述定位工具與測(cè)量工具活動(dòng)連接。
2、 如權(quán)利要求1所述的用于掩膜版的對(duì)位確認(rèn)工具，其特征在于所述的 測(cè)量工具為數(shù)字顯示游標(biāo)卡尺，所述的數(shù)字顯示游標(biāo)卡尺包括數(shù)字顯示器和游 標(biāo)卡尺，所述數(shù)字顯示器置于定位工具上，所述游標(biāo)卡尺與定位工具活動(dòng)連接。
3、 如權(quán)利要求2所述的用于掩膜版的對(duì)位確認(rèn)工具，其特征在于所述定 位工具上設(shè)有凹槽，所述游標(biāo)卡尺設(shè)有與凹槽相對(duì)應(yīng)，該游標(biāo)卡尺置于定位工 具所設(shè)有的凹槽之中并于所述凹槽內(nèi)滑動(dòng)。
4、 如權(quán)利要求1所述的用于掩膜版的對(duì)位確認(rèn)工具的操作方法，其特征在 于包括以下步驟① 、將掩膜版手動(dòng)放于工作平臺(tái)上,并吸氣固定；② 、將定位工具緊貼工作平臺(tái)設(shè)有的基準(zhǔn)面；③ 、用手輕移測(cè)量工具，使測(cè)量工具輕抵掩膜版的邊緣，記下測(cè)量數(shù)據(jù)；④ 、更換不同位置進(jìn)行測(cè)量，每邊測(cè)量?jī)蓚€(gè)位置，記出每邊的數(shù)據(jù)； 、將數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，與理論值或標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，就可得到實(shí)際掩模版 的偏移數(shù)據(jù)。
5、 如權(quán)利要求4所述的用于掩膜版的對(duì)位確認(rèn)工具的操作方法，其特征在 于所述步驟④中測(cè)量工具為數(shù)字顯示移游標(biāo)卡尺。
全文摘要
本發(fā)明適用于零件對(duì)位確認(rèn)裝置領(lǐng)域，提供了一種用于掩膜版的對(duì)位確認(rèn)裝置及該裝置的操作方法，該裝置包括定位工具和測(cè)量工具，所述定位工具和測(cè)量工具活動(dòng)連接。其中，所述測(cè)量工具為數(shù)字顯示游標(biāo)卡尺，所述的數(shù)字顯示游標(biāo)卡尺包括數(shù)字顯示器和游標(biāo)卡尺，所述數(shù)字顯示器置于定位工具上，所述游標(biāo)卡尺與定位工具活動(dòng)連接。這種用于掩膜版的對(duì)位確認(rèn)裝置可精確測(cè)量掩膜版在工作平臺(tái)上的位置是否符合設(shè)計(jì)要求，為調(diào)整掩膜版的位置提供科學(xué)的依據(jù)，能大大降低由于掩模版位置偏移產(chǎn)生的廢品數(shù)量，可廣泛應(yīng)用于掩膜版的定位確認(rèn)領(lǐng)域之中。
文檔編號(hào)G03F9/00GK101382744SQ20081021708
公開日2009年3月11日 申請(qǐng)日期2008年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月27日
發(fā)明者郝明毅 申請(qǐng)人:清溢精密光電(深圳)有限公司