專利名稱:聚合性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領域:
本發(fā)明涉及一種聚合性樹脂組合物。
背景技術(shù):
提出了在構(gòu)成液晶顯示裝置或觸摸面板等顯示裝置的濾色片與陣列
(array)基板之間,利用使用感光性樹脂的光刻法(photo—lithography) 形成間隙材(spacer)(光學間隙材(photospacer))的方法。如果利用該 方法,則可以在任意場所形成間隙材。
不過,從在光刻法的光源中使用的汞燈發(fā)射的光通常在436nm附近、 408nm附近、365nm附近、315nm附近、313nm附近等具有高強度的光譜
(spectre )。
在實際的光學間隙材的形成過程中使用的曝光機大多使用的是近接 式曝光機或步進式,在近年來的近接式曝光機中,大多切斷(cut)不到 350nm的短波長的光進而使用。另外,在步進式中,使用的是408nm附 近或365nm附近的波長的光。
提出了即使在使用這樣的不發(fā)射不到350nm的短波長的光的曝光機 的情況下,也可以得到充分的固化性的組合物,即對436nm附近、408nm 附近、365nm附近的波長的光具有足夠的感度的組合物。作為這樣的組合 物,在專利文獻l中記載了含有4, 4'一雙二乙基氨基二苯甲酮的組合物。 另外,在專利文獻2中記載了含有蒽的組合物。
專利文獻l:特開2005—208360號公報
專利文獻2:特開2003 — 50459號公報
過去的組合物盡管對436nm附近、408nm附近、365nm附近的波長 的光具有足夠的感度,但有時不能充分地得到由該組合物得到的涂膜或圖 案的透過率。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明人等對所述課題進行了探討,結(jié)果發(fā)現(xiàn)含有某種化合物的聚合
性樹脂組合物對350 450nrn的范圍的光具有充分的感度,而且由該組合 物得到的涂膜或圖案的透過率足夠高。 艮P,本發(fā)明提供以下[1] [8]。所述的聚合性樹脂組合物,其中,
引發(fā)劑(C)為含有從聯(lián)二咪唑系化合物、苯乙酮系化合物、三嗪系 化合物、?;趸?acylphosphine oxide)系化合物以及肟系化合物構(gòu) 成的組中選擇的至少一種化合物的化合物。根據(jù)[1]或[2]所述的聚合性樹脂組合物,其中,
堿可溶性樹脂(A)為具有從環(huán)氧基及氧雜環(huán)丁烷基構(gòu)成的組中選擇 的至少一種基團的樹脂。根據(jù)[1] [3]中任意一項所述的聚合性樹脂組合物,其中,
堿可溶性樹脂(A)為具有反應性雙鍵的樹脂。根據(jù)[1] [4]中任意一項所述的聚合性樹脂組合物,其中,引發(fā)助劑(D)為還含有多官能硫醇化合物(T)的化合物?!N涂膜,其是使用[1] [5]中任意一項所述的聚合性樹脂組合物
形成的?!N圖案(pattern),其是使用[1] [5]中任意一項所述的聚合性 樹脂組合物形成的?!N顯示裝置,其中,
含有從[6]所述的涂膜及[7]所述的圖案構(gòu)成的組中選擇的至少一種。
具體實施例方式
以下詳細說明本發(fā)明。
本發(fā)明的聚合性樹脂組合物含有堿可溶性樹脂(A)、聚合性化合物 (B)、引發(fā)劑(C)、引發(fā)助劑(D)及溶劑(E),引發(fā)助劑(D)為含有 由從式(I一l)及式(I一2)構(gòu)成的組中選擇的至少一種表示的化合物的 化合物。
引發(fā)助劑(D)優(yōu)選為含有由式(1—2)表示的化合物的化合物。 作為在本發(fā)明的聚合性樹脂組合物中使用的堿可溶性樹脂(A),可 以例示堿可溶性樹脂(Al)或堿可溶性樹脂(A2)。堿可溶性樹脂(Al) 顯示出堿溶解性,堿可溶性樹脂(A2)顯示出堿溶解性以及利用光及熱 的至少任意一方的作用的反應性。作為堿可溶性樹脂(Al),可以例示聚合由不飽和羧酸及不飽和羧酸
酐構(gòu)成的組中選擇的至少一種化合物(a)(以下有時稱為"(a)")和可與 (a)共聚合的單體(b)(不過,與(a)不同。)(以下有時稱為"(b)") 而成的共聚物等。
作為(a),具體而言,例如可以舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等 不飽和一元羧酸類;
馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸等不飽和二元羧酸類; 所述不飽和二元羧酸類的酸酐;
琥珀酸單[2— (甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、鄰苯二甲酸單[2— (甲基) 丙烯酰氧基乙基]酯等的2元以上的多元羧酸的不飽和單〔(甲基)丙烯酰 氧基垸基)酯類;
(x— (羥甲基)丙烯酸等在同一分子中含有羥基及羧基的不飽和丙烯 酸鹽類等。
其中,從共聚合反應性的點或堿溶解性的點出發(fā),優(yōu)選使用丙烯酸、 甲基丙烯酸或馬來酐等。它們可以單獨或組合使用。
作為(b),可以舉出(甲基)丙烯酸甲基、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲 基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等(甲 基)丙烯酸垸基酯類;
(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2—甲基環(huán)己酯、(甲基)丙 烯酸三環(huán)[5.2丄02勺癸垸一8 —基酯(在該技術(shù)領域,作為慣用名,被稱為 (甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯。)、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基氧乙基酯、(甲基) 丙烯酸異佛爾酮(isoboronyl)基酯等(甲基)丙烯酸環(huán)狀垸基酯類;
丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2—甲基環(huán)己酯、丙烯酸三環(huán)[5.2丄026]癸烷一 8 —基酯(在該技術(shù)領域,作為慣用名,被稱為丙烯酸二環(huán)戊基酯。)、丙 烯酸二環(huán)戊基氧乙基酯、丙烯酸異佛爾酮基酯等丙烯酸環(huán)狀烷基酯類;
(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐基酯等(甲基)丙烯酸芳基
酯類;
丙烯酸苯酯、丙烯酸芐基酯等丙烯酸芳基酯類; 馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二元羧酸二酯類; (甲基)丙烯酸2—羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2—羥基丙酯等羥基烷基酯類;
二環(huán)[2.2.1]庚一2 —烯、5—甲基二環(huán)[2.2.1]庚一2 —烯、5—乙基二環(huán) [2.2.1]庚一2—烯、5 —羥基二環(huán)[2.2.1]庚一2 —烯、5 —羧基二環(huán)[2.2.1]庚一 2 —烯、5 —羥甲基二環(huán)[2.2.1]庚一2 —烯、5— (2' —羥乙基)二環(huán)[2丄1] 庚一2—烯、5—甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5 —乙氧基二環(huán)[2,2.1]庚一2 一烯、5, 6—二羥基二環(huán)[2.2.1]庚一2 —烯、5, 6—二羧基二環(huán)[2.2.1]庚一 2 —烯、5, 6 —二 (羥甲基)二環(huán)[2,2.1]庚一2 —烯、5, 6—二 (2,一羥乙 基)二環(huán)[2,2.1]庚一2 —烯、5, 6 — 二甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5, 6 —二乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—羥基一5—甲基二環(huán)[2.2.1]庚一2 — 烯、5 —羥基一5—乙基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5—羧基一5 —甲基二環(huán)[2.2.1] 庚一2 —烯、5—羥基—5 —乙基二環(huán)[2.2.1]庚—2-烯、5—羥基甲基—5 — 甲基二環(huán)[2.2.1]庚一2 —烯、5 —羧基一6—甲基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯、5 — 羧基一6—乙基二環(huán)[2,2.1]庚一2—烯、5, 6—二羧基二環(huán)[2.2.1]庚一2—烯 無水物(降冰片烯二酸酐(Himic anhydride))、5 —叔丁氧基羰基二環(huán)[2.2.1] 庚一2 —烯、5 —環(huán)己基氧羰基二環(huán)[2.2.1]庚一2 —烯、5 —苯氧羰基二環(huán) [2.2.1]庚一2 —烯、5, 6 — 二 (叔丁氧羰基)二環(huán)[2.2.1]庚一2 —烯、5, 6 一二 (環(huán)己基氧羰基)二環(huán)[2.2.1]庚一2 —烯等二環(huán)不飽和化合物類;
N—苯基馬來酰亞胺、N—環(huán)己基馬來酰亞胺、N—芐基馬來酰亞胺、 N—丁二酸琥珀酰亞胺基一3 —馬來酰亞胺苯甲酸酯、N—琥珀酰亞胺基一 4一馬來酰亞胺丁酸酯、N—琥珀酰亞胺基一6—馬來酰亞胺己酸酯、N— 琥珀酰亞胺基一3 —馬來酰亞胺丙酸酯、N— (9一吖啶基(acridinyl))馬
來酰亞胺等二羰基酰亞胺衍生物類;
苯乙烯、a—甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲 苯、對甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏氯乙烯、丙烯酰 胺、甲基丙烯酰胺、醋酸乙烯酯、1, 3 — 丁二烯、異戊二烯、2, 3 —二甲 基一l, 3 —丁二烯等。
其中,從共聚合反應性及堿溶解性的點出發(fā),優(yōu)選苯乙烯、N—苯基 馬來酰亞胺、N—環(huán)己基馬來酰亞胺、N—芐基馬來酰亞胺、二環(huán)[2.2.1] 庚一2—烯等。
它們可以單獨或組合使用。在共聚合(a)及(b)得到的共聚物中,在將構(gòu)成所述的共聚物的構(gòu) 成成分的總摩爾數(shù)設為100摩爾%時,以摩爾分數(shù)計算,分別從所述共聚 物中導出的構(gòu)成成分的比率優(yōu)選處于以下范圍。
從(a)導出的構(gòu)成單元;2 40摩爾%
從(b)導出的構(gòu)成單元;60 98摩爾%
另外,如果所述的構(gòu)成成分的比率在以下范圍,則更優(yōu)選。
從(a)導出的構(gòu)成單元;5 35摩爾%
從(b)導出的構(gòu)成單元;65 95摩爾%
如果所述構(gòu)成比率處于所述的范圍,則具有貯存穩(wěn)定性、顯影性及耐 溶劑性變好的趨勢。
堿可溶性樹脂(Al)可以將例如在文獻"高分子合成的實驗法"(大 津隆行著發(fā)行所(株)化學同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā) 行)中記載的方法及在該文獻中記載的引用文獻作為參考制造。
具體而言,向反應容器中加入構(gòu)成共聚物的單元(a)及(b)的規(guī)定 量、聚合引發(fā)劑及溶劑,通過用氮置換氧,在不存在氧的條件下,通過攪 拌、加熱、保溫,得到聚合物。此外,得到的共聚物可以直接使用反應后 的溶液,也可以使用濃縮或稀釋的溶液,也可以使用利用再沉淀等方法取 出的固體(粉體)。
堿可溶性樹脂(Al)的聚苯乙烯換算的重均分子量優(yōu)選為3,000 100,000,更優(yōu)選為5,000 50,000。具有堿溶解性的樹脂(Al)的重均分 子量如果在所述范圍內(nèi),則具有涂布性變好的趨勢,另外,還具有在顯影 時難以產(chǎn)生減膜,進而在顯影時非像素部分的脫落性良好的趨勢,所以優(yōu) 選。
堿可溶性樹脂(Al)的分子量分布[重均分子量(Mw) /數(shù)均分子量 (Mn)]優(yōu)選為1.1 6.0,更優(yōu)選為1.2 4.0。分子量分布如果在所述范 圍內(nèi),則具有顯影性出色的趨勢,所以優(yōu)選。
能夠在本發(fā)明的聚合性樹脂組合物中使用的堿可溶性樹脂(Al)的 含量相對聚合性樹脂組合物中的固體成分,以質(zhì)量分數(shù)計算,優(yōu)選為5 卯質(zhì)量%,更優(yōu)選為10 70質(zhì)量%。如果堿可溶性樹脂(Al)的含量在 所述范圍內(nèi),則向顯影液的溶解性充分,難以在非像素部分的基板上發(fā)生顯影殘余物,另外,還具有在顯影時難以發(fā)生曝光部的像素部分的減膜, 非曝光部分的脫落性良好的趨勢,所以優(yōu)選。
作為顯示出堿溶解性以及利用光及熱的至少任意一方的作用的反應
性的堿可溶性樹脂(A2),可以例示(A21) (A23)。
堿可溶性樹脂(A21)為具有從環(huán)氧基及氧雜環(huán)丁烷基構(gòu)成的組中選 擇的至少一種基團而且具有反應性雙鍵的化合物(c)(以下有時稱為 "(c)")、 (a)和(b)的共聚物。
具有環(huán)氧基的化合物是指具有從例如脂肪族環(huán)氧基及脂環(huán)式環(huán)氧基 構(gòu)成的組中選擇的至少一種基團的化合物。具有氧雜環(huán)丁烷基的化合物是 指具有從例如脂肪族氧雜環(huán)丁垸基及脂環(huán)式氧雜環(huán)丁垸基構(gòu)成的組中選 擇的至少一種基團的化合物。具有反應性雙鍵的化合物是指具有不飽和鍵 的化合物。
堿可溶性樹脂(A22)是(a)與(b)的共聚物,是通過使來源于(a) 的羧基的一部分與來源于(c)的環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁垸基反應得到的共聚 物。
堿可溶性樹脂(A23)是(a)與(c)的共聚物。
作為在具有環(huán)氧基而且具有反應性雙鍵的化合物(cl)中的具有脂肪 族環(huán)氧基的化合物,具體而言,可以舉出(甲基)丙烯酸縮水甘油基酯、 (甲基)丙烯酸P—甲基縮水甘油基酯、(甲基)丙烯酸P—乙基縮水甘油 酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、對乙烯基芐基 縮水甘油醚或縮水甘油基乙烯醚等。
作為在具有環(huán)氧基而且具有反應性雙鍵的化合物(cl)中的具有脂環(huán) 式環(huán)氧基的化合物,可以舉出從乙烯基環(huán)己烯單氧化物l, 2 —環(huán)氧基一4 一乙烯基環(huán)己烷(例如西羅其賽多(七口年廿^ K) 2000; Daicel化學 工業(yè)(株)制)、丙烯酸3, 4一環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯(例如賽庫羅馬(f" ^夕口^一) A400; Daicel化學工業(yè)(株)制)、甲基丙烯酸3, 4—環(huán) 氧基環(huán)己基甲基酯(例如賽庫羅馬(廿一夕口7 —) M100; Daicel化學 工業(yè)(株)制)、式(II)表示的化合物及式(III)表示的化合物構(gòu)成的 組中選擇的至少一種化合物。<formula>formula see original document page 11</formula>
作為R及R',具體而言,可以舉出氫原子、甲基、乙基、正丙基、 異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等垸基;
羥甲基、1—羥乙基、2—羥乙基、l一羥基正丙基、2—羥基正丙基、 3 —羥基正丙基、l一羥基異丙基、2 —羥基異丙基、l一羥基正丁基、2 — 羥基正丁基、3—羥基正丁基、4一羥基正丁基等含羥基烷基。可以優(yōu)選舉 出氫原子、甲基、羥甲基、l一羥乙基或2—羥乙基,可以更優(yōu)選舉出氫 原子或甲基。
作為X及X,,可以舉出單鍵或亞甲基、亞乙基、亞丙基等亞烷基; 氧亞甲基、氧亞乙基、氧亞丙基、硫代亞甲基、硫代亞乙基、硫代亞 丙基、氨基亞甲基、氨基亞乙基、氨基亞丙基等含雜原子亞垸基等??梢?優(yōu)選舉出單鍵、亞甲基、亞乙基、氧亞甲基或氧亞乙基,可以更優(yōu)選舉出 單鍵或氧亞乙基。
作為式(II)表示的化合物,可以舉出式(II一l) 式(n—15)表 示的化合物等,可以優(yōu)選舉出式(11—1)、式(n—3)、式(11—5)、式(II
一7)、式(n—9)、式(n—ii) 式(n—i5),可以更優(yōu)選舉出式(n
一l)、式(II—7)、式(11—9)、式(11—15)。<formula>formula see original document page 12</formula>0 II
H2C=CH—C—O
0 II
H2C=CH—C-0—CH
0 II
H2C=CH—C—0—C2H.
O II
H2C=CH—C—0-C2H4—0
CH30 I II H2C=C—C—O
CH3 O I II
H2C=C—C—0—CH2
CH3 O I II
H2C=C_C—O—C2H
CH30
n
(ni-5)
(m-7)
(ni-ii)
(in-13)
'o
o
ii
H2C=CH-C—0—C2H4—S
O II
H2C=CH-C—0—C2H4—N H
CH30 I II
H2C=C_C—0—C2H4—S
CH30 I II
H2C=C—C—O—C2H4—N
H
C2HsO H2C=C—C—O
CH2OH 0 I II H2C=C-C—O
(m-2)
(m-6)
o
(II-8)
H"—g-O—C2H4—0~|^J^(ni-15)
C2H4OH g
°加:
(ra-i4)
從由式(II)表示的化合物及式(III)表示的化合物構(gòu)成的組中選擇 的至少一種化合物可以分別單獨使用,也可以以任意比率混合?;旌系那?br>
況下,該混合比率以摩爾比計算,優(yōu)選[式(II)表示的化合物]:[式(III) 表示的化合物]為5: 95 95: 5,更優(yōu)選為10: 90 卯10,進而優(yōu)選為
20: 80 80: 20。
作為具有氧雜環(huán)丁烷基而且具有反應性雙鍵的化合物(c2),例如可 以舉出3 —甲基一3—甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3—甲基一3 —丙 烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3 —乙基一3 —甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁 烷、3 —乙基一3 —丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3—甲基一3—甲基丙烯酰 氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3 —甲基一3 —丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3 —乙 基一3—甲基丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁垸或3 —乙基一3 —丙烯酰氧基乙基 氧雜環(huán)丁垸等。
它們可以單獨或組合使用。在堿可溶性樹脂(A21)中,相對將構(gòu)成堿溶性樹脂(A21)的構(gòu)成 成分的總摩爾數(shù),以摩爾分數(shù)計算,分別從所述樹脂中導出的構(gòu)成成分的 比率優(yōu)選處于以下范圍。
從(a)導出的構(gòu)成單元;2 40摩爾%
從(b)導出的構(gòu)成單元;1 65摩爾%
從(c)導出的構(gòu)成單元;2 95摩爾%
另外,如果所述的構(gòu)成成分的比率在以下范圍,則更優(yōu)選。
從(a)導出的構(gòu)成單元;5 35摩爾%
從(b)導出的構(gòu)成單元;1 60摩爾%
從(c)導出的構(gòu)成單元;5 80摩爾%
如果所述構(gòu)成比率處于所述的范圍,則具有忙存穩(wěn)定性、顯影性、耐 溶劑性、耐熱性及機械強度變好的趨勢。
堿可溶性樹脂(A21)可以將例如在"高分子合成的實驗法"(大津 隆行著發(fā)行所(株)化學同人第l版第l次印刷1972年3月1日發(fā)行) 中記載的方法及在該文獻中記載的引用文獻作為參考制造。
具體而言,向反應容器中加入引出構(gòu)成共聚物的單元(a)、 (b)及(c)
的化合物的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑及溶劑,通過用氮置換氧,在不存在氧的 條件下,通過攪拌、加熱、保溫,得到聚合物。此外,得到的共聚物可以 直接使用反應后的溶液,也可以使用濃縮或稀釋的溶液,也可以使用利用 再沉淀等方法取出的固體(粉體)。
在制造堿可溶性樹脂(A22)時,首先共聚合(a)及(b)制造共聚 物。相對構(gòu)成所述的共聚物的構(gòu)成成分的總摩爾數(shù),以摩爾分數(shù)計算,分 別從所述共聚物導出的構(gòu)成成分的比率優(yōu)選處于以下范圍。
從(a)導出的構(gòu)成單元;5 50摩爾%
從(b)導出的構(gòu)成單元;50 95摩爾%
另外,如果所述的構(gòu)成成分的比率在以下范圍,則更優(yōu)選。
從(a)導出的構(gòu)成單元;10 45摩爾%
從(b)導出的構(gòu)成單元;55 90摩爾%
接著,為了使其具有利用光或熱的作用的反應性,使來源于共聚合(a) 及(b)得到的共聚物的(a)的羧酸及羧酸酐的一部分與來源于(c)的環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁垸基反應。
相對(a)的摩爾數(shù),(c)的摩爾數(shù)為5 80摩爾%,優(yōu)選為10 75 摩爾%,更優(yōu)選為15 70摩爾Q^。
如果構(gòu)成比率在所述的范圍內(nèi),則具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑 性、耐熱性、機械強度及感度的平衡(balance)變好的趨勢。
堿可溶性樹脂(A22)可以經(jīng)歷兩個階段制造。例如可以將在文獻"高 分子合成的實驗法"(大津隆行著發(fā)行所(株)化學同人第1版第1次 印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法及在特開2001— 89533號公報 中記載的方法作為參考制造。
具體而言,首先,對第一階段的工序進行敘述。向反應容器中加入導 出構(gòu)成共聚合(a)及(b)得到的共聚物(g卩,堿可溶性樹脂)的單元(a) 及(b)的化合物的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑及溶劑,通過用氮置換氧,在不 存在氧的條件下,通過攪拌、加熱、保溫,得到堿可溶性樹脂。此外,得 到的樹脂可以直接使用反應后的溶液,也可以使用濃縮或稀釋的溶液,也 可以使用利用再沉淀等方法取出的固體(粉體)。所述樹脂的聚苯乙烯換 算的重均分子量優(yōu)選為3,000 100,000,更優(yōu)選為5,000 50,000。樹脂的
重均分子量如果在所述范圍內(nèi),則具有涂布性變好的趨勢,另外,還具有 在顯影時難以產(chǎn)生減膜,進而在顯影時非像素部分的脫落性良好的趨勢, 所以優(yōu)選。
所述樹脂的分子量分布[重均分子量(Mw) /數(shù)均分子量(Mn)]優(yōu)選 為1.1 6.0,更優(yōu)選為1.2 4.0。分子量分布如果在所述范圍內(nèi),則具有 涂布性或顯影性出色的趨勢,所以優(yōu)選。
接著,對第二階段的工序進行敘述。接著,將燒瓶內(nèi)氣氛從氮置換成 空氣,向燒瓶內(nèi)加入相對構(gòu)成成分(a)的摩爾數(shù)為5 80摩爾%的構(gòu) 成成分(c);作為羧基與環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的反應催化劑的例如三二 甲基氨基甲基苯酚,相對單體(a) (c)的總量,以質(zhì)量基準,為0.001 5%;以及作為聚合抑制劑的例如氫醌,相對單體(a) (c)的總量, 以質(zhì)量基準,為0.001 5%??梢酝ㄟ^在60 130'C下持續(xù)反應1 10小 時,使所述樹脂與構(gòu)成成分(c)反應。其中,與聚合條件同樣,可以考 慮制造設備或聚合的發(fā)熱量等來適當?shù)卣{(diào)整加入方法或反應溫度。在堿可溶性樹脂(A23)中,相對構(gòu)成堿可溶性樹脂(A23)的構(gòu)成 成分的總摩爾數(shù),以摩爾分數(shù)計算,分別從所述樹脂導出的構(gòu)成成分的比 率優(yōu)選處于以下范圍。
從(a)導出的構(gòu)成單元;5 95摩爾%
從(c)導出的構(gòu)成單元;5 95摩爾%
另外,如果所述的構(gòu)成成分的比率在以下范圍,則更優(yōu)選。
從(a)導出的構(gòu)成單元;10 90摩爾%
從(c)導出的構(gòu)成單元;10 90摩爾%
如果所述構(gòu)成比率處于所述的范圍,則具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐 溶劑性、耐熱性及機械強度變好的趨勢。
堿可溶性樹脂(A23)可以將例如在文獻"高分子合成的實驗法"(大 津隆行著發(fā)行所(株)化學同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā) 行)中記載的方法及在該文獻中記載的引用文獻作為參考制造。
具體而言,向反應容器中加入導出構(gòu)成共聚物的單元(a)及(c)的 化合物的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑及溶劑,通過用氮置換氧,在不存在氧的條 件下,通過攪拌、加熱、保溫,得到聚合物。此外,得到的共聚物可以直 接使用反應后的溶液,也可以使用濃縮或稀釋的溶液,也可以使用利用再 沉淀等方法取出的固體(粉體)。
作為本發(fā)明的聚合性樹脂組合物中含有的聚合性化合物(B),可以 舉出單官能單體、2官能單體或其他3官能以上的多官能單體。
作為單官能單體的具體例,可以舉出(甲基)丙烯酸壬基苯基卡必醇 酯、(甲基)丙烯酸2—羥基一3 —苯氧基丙基酯、(甲基)丙烯酸2—乙基 己基卡必醇酯、(甲基)丙烯酸2—羥乙酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲 基)丙烯酸硬脂?;?、(甲基)丙烯酸2— (2 —乙氧基乙氧基)乙基酯、 (甲基)丙烯酸四氫糠基酯、己內(nèi)酯(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化壬基苯 酚(甲基)丙烯酸酯、苯氧基化壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯或N—乙烯吡 咯垸酮等。
另外,作為2官能單體的具體例,可以舉出1, 3 — 丁二醇二 (甲基) 丙烯酸酯、1, 3 —丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1, 6—己二醇二 (甲基)丙 烯酸酯、乙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、二甘醇二 (甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二 (甲基)丙烯酸酯、三甘醇二 (甲基)丙烯酸酯、四甘醇二 (甲基) 丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、雙酚A的雙(丙烯酰氧基乙基)醚、 乙氧基化雙酚A 二 (甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二 (甲基)丙 烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二 (甲基)丙烯酸酯或3—甲基戊二醇二 (甲 基)丙烯酸酯等。
作為其他3官能以上的多官能單體的具體例,可以舉出三羥甲基丙烷 三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(2 —羥乙基)
三聚異氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙 烯酸酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基) 丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯 酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、 三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季 戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應 物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、三季戊四醇七(甲 基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、己內(nèi)酯改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯
酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三(2—羥 乙基)三聚異氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇四(甲基) 丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二季 戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、 己內(nèi)酯改性三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇六(甲 基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性 三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸
酯與酸酐的反應物、己內(nèi)酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的 反應物、或己內(nèi)酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物等。 特別優(yōu)選使用2官能以上的多官能單體。這些聚合性化合物(B)可 以單獨使用或并用兩種以上使用。
聚合性化合物(B)的含量相對堿可溶性樹脂(A)及聚合性化合物 (B)的總量,以質(zhì)量分數(shù)計算,優(yōu)選為1 70質(zhì)量%,更優(yōu)選為5 60 質(zhì)量%。如果聚合性化合物(B)的含量在所述范圍內(nèi),則具有感度、涂 膜及圖案的強度、平滑性、可靠性及機械強度變好的趨勢,所以優(yōu)選。作為本發(fā)明的聚合性樹脂組合物中含有的引發(fā)劑(C),為在光或熱 的作用下引發(fā)聚合的化合物,優(yōu)選聯(lián)二咪唑系化合物、苯乙酮系化合物、 三嗪系化合物、?;趸⑾祷衔锘螂肯祷衔铮捎诟卸瘸錾?,所以 更優(yōu)選聯(lián)二咪唑系化合物。
作為所述的聯(lián)二咪唑化合物,可以舉出2, 2'—雙(2 —氯苯基)一4, 4,, 5, 5,一四苯基聯(lián)二咪唑、2, 2,一雙(2, 3 — 二氯苯基)一4, 4,, 5, 5' —四苯基聯(lián)二咪唑(例如參照特開平6 — 75372號公報、特開平6—75373 號公報等。)、2, 2'—雙(2 —氯苯基)一4, 4,, 5, 5,一四苯基聯(lián)二咪唑、 2, 2'—雙(2 —氯苯基)一4, 4,, 5, 5' —四(垸氧基苯基)聯(lián)二咪唑、2, 2' —雙(2 —氯苯基)一4, 4', 5, 5' —四(二烷氧基苯基)聯(lián)二咪唑、2, 2' —雙(2 —氯苯基)一4, 4,, 5, 5,—四(三垸氧基苯基)聯(lián)二咪唑(例 如參照特公昭48 — 38403號公報、特開昭62—174204號公報等。)、利用 烷氧羰基取代4, 4', 5, 5'—位的苯基而成的聯(lián)二咪唑化合物(例如參照 特開平7—10913號公報等。)等,可以優(yōu)選舉出2, 2' —雙(2—氯苯基) 一4, 4,, 5, 5,一四苯基聯(lián)二咪唑、2, 2'—雙(2, 3 —二氯苯基)一4, 4,, 5, 5' —四苯基聯(lián)二咪唑、2, 2' —雙(2, 4—二氯苯基)一4, 4,, 5, 5, 一四苯基聯(lián)二咪唑。
作為所述苯乙酮系化合物,可以舉出二乙氧基苯乙酮、2 —羥基一2 一甲基一l一苯基丙烷一l一酮、芐基二甲基縮酮、2 —羥基一1一[4一 (2 一羥基乙氧基)苯基]一2—甲基丙垸一l一酮、2—羥基一1一{4一[4— (2 一羥基一2—甲基一丙?;?—芐基]一苯基}一2—甲基一丙烷一l一酮、1 一羥基環(huán)己基苯基甲酮、2—甲基一l一 (4一甲基硫代苯基)一2—嗎啉代
丙垸--1-酮、2一芐基一2--二甲基氨基一l一 (4一嗎啉代苯基)丁烷—1一酮、2 —(2—甲基芐基)一2 —二甲基氨基一l一(4國-嗎啉代苯基)一
丁酮、2—(3 —甲基節(jié)基)一2—二甲基氨基一l一(4國-嗎啉代苯基)—
丁酮、2—(4一甲基節(jié)基)—2—二甲基氨基一l一(4--嗎啉代苯基)一
丁酮、2—(2—乙基節(jié)基)一2 —二甲基氨基一l一(4--嗎啉代苯基)一
丁酮、2-(2 —丙基節(jié)基)一2—二甲基氨基一l一(4--嗎啉代苯基)一
丁酮、2 —(2 —丁基節(jié)基)一2—二甲基氨基一l一(4--嗎啉代苯基)一
丁酮、2 —(2, 3一二甲基芐基)_-2—二甲基氨基一1 —(4一嗎啉代苯基)一丁酮、2— (2, 4一二甲基芐基)一2—二甲基氨基一1一 (4 —嗎啉代苯 基)一丁酮、2— (2 —氯芐基)一2 — 二甲基氨基一1一 (4—嗎啉代苯基) 一丁酮、2— (2 —溴芐基)一2 — 二甲基氨基一1一 (4一嗎啉代苯基)一 丁酮、2— (3 —氯芐基)一2—二甲基氨基一1一 (4一嗎啉代苯基)—丁 酮、2— (4一氯芐基)一2 — 二甲基氨基一1一 (4一嗎啉代苯基)一丁酮、 2— (3 —溴節(jié)基)一2 — 二甲基氨基一1— (4一嗎啉代苯基)一丁酮、2 一 (4一溴節(jié)基)一2 — 二甲基氨基一1一 (4一嗎啉代苯基)一丁酮、2 — (2—甲氧基芐基)一2 — 二甲基氨基一1一 (4一嗎啉代苯基)一丁酮、2 一 (3—甲氧基芐基)一2—二甲基氨基一1一 (4—嗎啉代苯基)一丁酮、 2— (4一甲氧基節(jié)基)一2—二甲基氨基一1一 (4一嗎啉代苯基)一丁酮、 2— (2—甲基一4一甲氧基節(jié)基)一2 — 二甲基氨基一1— (4一嗎啉代苯基) 一丁酮、2— (2—甲基一4一溴芐基)一2 — 二甲基氨基一1一 (4一嗎啉代 苯基)一丁酮、2— (2 —溴一4一甲氧基芐基)一2 —二甲基氨基一l一 (4 一嗎啉代苯基)一丁酮、2—羥基一2—甲基一1 —[4— (l一甲基乙烯基)
苯基]丙烷一l一酮的寡聚物等。
作為所述三嗪系化合物,可以舉出2, 4一雙(三氯甲基)一6— (4 一甲氧基苯基)一1, 3, 5—三嗪、2, 4一雙(三氯甲基)一6— (4—甲 氧基萘基)一l, 3, 5—三嗪、2, 4一雙(三氯甲基)一6—胡椒(piperonyl) 基一l, 3, 5—三嗪、2, 4_雙(三氯甲基)一6— (4一甲氧基苯乙烯基) 一l, 3, 5 —三嗪、2, 4—雙(三氯甲基)一6—[2— (5—甲基呋喃一2— 基)乙烯基]—1, 3, 5 —三嗪、2, 4一雙(三氯甲基)一6 —[2—(呋喃 —2—基)乙烯基]一l, 3, 5—三嗪、2, 4一雙(三氯甲基)一6—[2— (4, 4一二乙氧基苯基)乙烯基]一1, 3, 5 —三嗪等、2, 4一雙(三氯甲基) —6 —[2— (3, 4—二甲氧基苯基)乙烯基]—1, 3, 5—三嗪等。
作為所述酰基氧化膦系引發(fā)劑,可以舉出2, 4, 6—三甲基苯甲?;?二苯基氧化膦等。
作為所述肟化合物,可以舉出O—乙氧羰基一oc—氧亞氨基一1—苯基 丙垸一1一酮、式(IV)表示的化合物、式(V)表示的化合物等。本發(fā)明的聚合性樹脂組合物中含有的引發(fā)助劑(D)為含有從式(I 一l)及式(I一2)構(gòu)成的組中選擇的至少一種所示化合物的化合物。
作為鹵原子,可以舉出氟原子、氯原子、溴原子等。
作為碳原子數(shù)6 12的芳香環(huán),可以舉出苯環(huán)、甲基苯環(huán)、二甲基苯 環(huán)、乙基苯環(huán)、丙基苯環(huán)、丁基苯環(huán)、戊基苯環(huán)、己基苯環(huán)、環(huán)己基苯環(huán)、 氯苯環(huán)、二氯苯環(huán)、溴苯環(huán)、二溴苯環(huán)、苯基苯環(huán)、氯苯基苯環(huán)、溴苯基 苯環(huán)、萘環(huán)、氯萘環(huán)、溴萘環(huán)、菲環(huán)、苗(chrysene)環(huán)、熒蒽(fluoranthene) 環(huán)、苯并[a〗芘(benzopyrene)環(huán)、苯并[e]芘(benzopyrene)環(huán)、二萘嵌 苯(perylene)環(huán)及它們的衍生物等。
作為碳原子數(shù)1 12的烷基,可以舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、 正丁基、l一甲基正丙基、2—甲基正丙基、叔丁基、正戊基、l一甲基正 丁基、2—甲基正丁基、3 —甲基正丁基、1, l一二甲基正丙基、1, 2—二 甲基正丙基、2, 2 — 二甲基正丙基、正己基、環(huán)己基、l一氯正丁基、2一氯正丁基、3 —氯正丁基等。
作為碳原子數(shù)6 12的芳基,可以舉出苯基、氯苯基、二氯苯基、溴 苯基、二溴苯基、氯溴苯基、羥基苯基、烷氧基苯基、聯(lián)苯基、氯聯(lián)苯基、 二氯聯(lián)苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二 溴萘基、羥基萘基等。
作為由從式(I一l)及式(I一2)構(gòu)成的組中選擇的至少一種表示的 化合物,具體而言,可以舉出二甲氧基萘、二乙氧基萘、二丙氧基萘、二 異丙氧基萘、二丁氧基萘等二烷氧基萘類
二甲氧基蒽、二乙氧基蒽、二丙氧基蒽、二異丙氧基蒽、二丁氧基蒽、 二戊氧基蒽、二己氧基蒽、甲氧基乙氧基蒽、甲氧基丙氧基蒽、甲氧基異 丙氧基蒽、甲氧基丁氧基蒽、乙氧基丙氧基蒽、乙氧基異丙氧基蒽、乙氧 基丁氧基蒽、丙氧基異丙氧基蒽、丙氧基丁氧基蒽、異丙氧基丁氧基蒽等 二垸氧基蒽類
二甲氧基丁省、二乙氧基丁省、二丙氧基丁省、二異丙氧基丁省、二 丁氧基丁省等二烷氧基丁省類等,但不限于此。
引發(fā)劑(C)的含量相對堿可溶性樹脂(A)及聚合性化合物(B)的 總量,以質(zhì)量分數(shù)計算,優(yōu)選為0.1 40質(zhì)量%,更優(yōu)選為1 30質(zhì)量%。
引發(fā)助劑(D)的含量相對堿可溶性樹脂(A)及聚合性化合物(B) 的總量,以質(zhì)量分數(shù)計算,優(yōu)選為0.01 20質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.1 10質(zhì)
、由從式(I一l)及式(I一2)構(gòu)成的組中選擇的至少一種表示的化合 物的含量相對引發(fā)助劑(D)的含量,優(yōu)選為50 100%,更優(yōu)選為60 100%,進而優(yōu)選為65 100%。由從式(I一l)及式(1—2)構(gòu)成的組中 選擇的至少一種表示的化合物的含量如果在所述范圍內(nèi),則在使用含有其 的聚合性樹脂組合物形成涂膜時,涂膜的透明性變好,所以優(yōu)選。
如果引發(fā)劑(C)的總量在所述范圍內(nèi),則聚合性樹脂組合物變成高 感度,具有使用所述聚合性樹脂組合物形成的涂膜或圖案的強度或者所述 涂膜或圖案的表面的平滑性變好的趨勢,所以優(yōu)選。除了所述以外,如果 引發(fā)助劑(D)的量在所述范圍內(nèi),則得到的聚合性樹脂組合物的感度進 一步變高,具有使用所述的聚合性樹脂組合物形成的圖案的生產(chǎn)率提高的趨勢,所以優(yōu)選。
在不破壞本發(fā)明的效果的程度內(nèi),也可以進一步使用胺化合物、下述 羧酸化合物及多官能硫醇化合物(T)。尤其優(yōu)選使用多官能硫醇化合物 (T)。
作為胺化合物的具體例,可以舉出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙 醇胺等脂肪族胺化合物,4一二甲基氨基苯甲酸甲酯、4一二甲基氨基苯甲
酸乙酯、4一二甲基氨基苯甲酸異戊酯、4一二甲基氨基苯甲酸2—乙基己 基酯、苯甲酸2 — 二甲基氨基乙基酯、N, N—二甲基對甲苯胺、4, 4,一 雙(二甲基氨基)二苯甲酮(通稱米蚩酮(Michler,sketone))或4, 4, —雙(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族胺化合物。
作為所述的羧酸化合物,可以舉出苯基硫代乙酸、甲基苯基硫代乙酸、 乙基苯基硫代乙酸、甲基乙基苯基硫代乙酸、二甲基苯基硫代乙酸、甲氧 基苯基硫代乙酸、二甲氧基苯基硫代乙酸、氯苯基硫代乙酸、二氯苯基硫 代乙酸、N—苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、萘基硫代乙酸、N—萘基甘氨酸 或萘氧基乙酸等芳香族雜(hetem)乙酸類。
多官能硫醇化合物(T)是在分子內(nèi)具有兩個以上硫醇基的化合物。 其中,具有兩個以上脂肪族硫醇基的化合物會使本發(fā)明的聚合性樹脂組合 物的感度變高,所以更優(yōu)選。
作為多官能硫醇化合物(T),具體而言,可以舉出己二硫醇、癸二硫 醇、1, 4一二甲基巰基苯、丁二醇雙硫代丙酸酯、丁二醇雙硫代乙醇酸酯、 乙二醇雙硫代乙醇酸酯、三羥甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、丁二醇雙硫代丙 酸酯、三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、季戊 四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代乙醇酸酯、三羥基乙基三硫代丙酸酯、 季戊四醇四(3 —巰基丁酸酯)或l, 4一雙(3 —巰基丁?;?丁烷等。
多官能硫醇化合物(T)的含量相對堿可溶性樹脂(A)及聚合性化 合物(B)的總量,以質(zhì)量分數(shù)計算,優(yōu)選為0.5 20質(zhì)量%,更優(yōu)選為 1 15質(zhì)量%。如果多官能硫醇化合物(T)的含量在所述范圍內(nèi),則感 度變高,另外還有顯影性變好的趨勢,所以優(yōu)選。
只要在不破壞本發(fā)明的效果的程度,就可以進一步并用光聚合引發(fā)劑 等,作為該光聚合引發(fā)劑,例如可以舉出苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物或噻噸酮系化合物等。
更具體而言,可以舉出如下所述的化合物,它們可以分別單獨或組合 使用2種以上。
作為所述的苯偶姻系化合物,例如可以舉出苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯 偶姻異乙醚、苯偶姻異丙醚或苯偶姻異丁醚等。
作為所述二苯甲酮系化合物,例如可以舉出二苯甲酮、鄰苯甲?;?br>
甲酸甲酯、4一苯基二苯甲酮、4一苯甲?;?' 一甲基二苯基硫化物、3, 3, , 4, 4,一四(叔丁基過氧化羰基)二苯甲酮或2, 4, 6—三甲基二
苯甲酮等。
作為所述噻噸酮系化合物,例如可以舉出2 —異丙基噻噸酮、4一異 丙基噻噸酮、2, 4一二乙基噻噸酮、2, 4一二氯噻噸酮或l一氯一4一丙 氧基噻噸酮等。
此外,作為光聚合引發(fā)劑,還可以例示10 — 丁基一2 —氯吖啶酮、2 —乙基蒽醌、芐基、9, 10 —菲醌(phenanthrenequinone )、樟腦醌 (camphorquinone)、苯基乙醛酸甲酯或二茂f太(titanocene)等。
另外,作為具有能夠發(fā)生鏈轉(zhuǎn)移的基團的光聚合引發(fā)劑,可以使用在 特表2002 — 544205號公報中記載的光聚合引發(fā)劑。
作為所述的具有能夠發(fā)生鏈轉(zhuǎn)移的基團的光聚合引發(fā)劑,例如可以舉 出下述式(5) 下述式(10)的光聚合引發(fā)劑。<formula>formula see original document page 24</formula>在本發(fā)明的聚合性樹脂組合物中使用的溶劑(E)可以具體舉出乙二 醇單甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇一丁基醚等乙二醇單烷
二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇二丙醚及二甘醇二丁基醚、二 甘醇乙基甲醚等二甘醇二垸基醚類;
甲基溶纖劑乙酸酯及乙基溶纖劑乙酸酯(ethyl cellosolve acetate)等
乙二醇垸基醚乙酸酯類;
丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、 甲氧基丁基乙酸酯及甲氧基戊基乙酸酯等亞烷基二醇垸基醚乙酸酯類;
苯、甲苯、二甲苯及均三甲基苯等芳香族烴類;<formula>formula see original document page 24</formula>甲基乙基甲酮、丙酮、甲基戊基甲酮、甲基異丁基甲酮及環(huán)己酮、環(huán) 戊酮等酮類;
乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、甲氧基丁醇、乙氧基丁
醇及甘油等醇類;
3—乙氧基丙酸乙酯及3—甲氧基丙酸甲酯等酯類; Y—丁內(nèi)酯等環(huán)狀酯類等。
在所述溶劑中,從涂布性、干燥性的點出發(fā),在所述溶劑中,可以優(yōu) 選舉出沸點為100 200'C的有機溶劑。作為沸點為100 200'C的有機溶 劑,具體而言,可以舉出亞垸基二醇烷基醚乙酸酯類、甲氧基丁醇及乙氧 基丁醇等二醇類、環(huán)己酮等酮類、3 —乙氧基丙酸乙酯及3 —甲氧基丙酸
甲酯等酯類,進而優(yōu)選丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、環(huán)己 酮、甲氧基丁醇、甲氧基丁基乙酸酯、3 —乙氧基丙酸乙酯及3 —甲氧基 丙酸甲酯。
這些溶劑(E)可以分別單獨使用,也可以混合2種以上使用。 本發(fā)明的聚合性樹脂組合物中的溶劑(E)的含量相對聚合性樹脂組
合物,以質(zhì)量分數(shù)計算,優(yōu)選為60 90質(zhì)量%,更優(yōu)選為65 85質(zhì)量%。
如果溶劑(E)的含量在所述范圍內(nèi),則在用旋涂機(spin coater)、狹縫
和旋涂機(slit & spin coater)、狹縫涂敷機(slitcoater)(有時也被稱為金
屬型涂料機(diecoater)、簾式流動涂漆機(curtain flow coater)。)、噴墨 (inkjet)、浸膠輥(rollcoater)、浸涂機(dipcoater)等涂布裝置涂布時,
可以估計涂布性會變好,所以優(yōu)選。
根據(jù)需要,也可以在本發(fā)明的聚合性樹脂組合物中并用填充劑、其他
高分子化合物、著色材料、顏料分散劑、密接促進劑、抗氧化劑、紫外線
吸收劑、光穩(wěn)定劑、鏈轉(zhuǎn)移劑等添加劑。
作為填充劑,具體而言,可以例示玻璃、二氧化硅或氧化鋁等。 作為其他高分子化合物,具體而言,可以使用環(huán)氧樹脂或馬來酰亞胺
樹脂等固化性樹脂或聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇單烷基醚、聚氟垸基
丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等熱塑性樹脂等。
作為著色材料,可以舉出在彩色索引(Color Index)(染色員和配色
師社會(The Society of Dyers and Colourists)出版)中分類為顏料(Pigment)的化合物。
具體而言,可以舉出C. I.顏料黃1、 3、 12、 13、 14、 15、 16、 17、 20、 24、 31、 53、 83、 86、 93、 94、 109、 110、 117、 125、 128、 137、 138、 139、 147、 148、 150、 153、 154、 166、 173、 194、 214等黃色顏料;
C. I . 顏料橙13、 31、 36、 38、 40、 42、 43、 51、 55、 59、 61、 64、 65、 71、 73等橙色顏料;
C. I.顏料紅9、 97、 105、 122、 123、 144、 149、 166、 168、 176、 177、 180、 192、 209、 215、 216、 224、 242、 254、 255、 264、 265等紅 色顏料;
C.I.顏料藍15、 15: 3、 15: 4、 15: 6、 60等藍色顏料;
C. I.顏料紫I、 19、 23、 29、 32、 36、 38等紫色顏料; C.I.顏料綠7、 36等綠色顏料; C.I.顏料褐23、 25等褐色顏料; C.I.顏料黑1、 7等黑色顏料等。
作為顏料分散劑,可以使用市售的表面活性劑,例如可以舉出硅酮系、 氟系、酯系、陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性等表面活性劑等,可 以分別單獨使用或組合使用2種以上。作為所述的表面活性劑的例子,除 了聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、山梨糖 醇酐脂肪酸酯類、脂肪酸改性聚酯類、叔胺改性聚氨酯類、聚亞乙基亞胺 類等以外,還可以舉出商品名KP (信越化學工業(yè)(株)制)、迫里忽絡(求 U7口一)(共榮化學(株)制)、艾拓普(工7卜、y:/)(道卡穆普羅達 庫慈(卜_亇厶7°口夕'夕少)公司制)、MEGAFAC (大日本油墨化學工 業(yè)公司制)、FLUORAD (住友3M (株)制)、阿撒亥嘎度(7寸h力'一 K、)、 SURFRON (以上為旭硝子(株)制)、索魯斯帕斯(y々7八。一7) (在奈卡(if才、力)(株)制)、EFKA (EFKA CHEMICALS公司制)或 PB821 (味之素(株)制)等。
作為密接促進劑,具體而言,可以舉出乙烯基三甲氧基硅垸、乙烯基 三乙氧基硅垸、乙烯基三(2—甲氧基乙氧基)硅垸、N— (2—氨基乙基) 一3 —氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N— (2—氨基乙基)一3 —氨基丙基 甲基三甲氧基硅烷、3—氨基丙基三乙氧基硅烷、3 —環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3 —環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2— (3, 4一環(huán)氧基環(huán)
己基)乙基三甲氧基硅垸、3 —氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3 —氯丙基三甲 氧基硅垸、3—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷或3 —巰基丙基三甲氧 基硅烷等。
作為抗氧化劑,具體而言,可以舉出2—叔丁基一6— (3 —叔丁基一 2 —羥基一5—甲基芐基)—4一甲基苯基丙烯酸酯、2 —[l— (2—羥基一3, 5 — 二叔戊基苯基)乙基]一4, 6—二叔戊基苯基丙烯酸酯、6—[3— (3 — 叔丁基一4一羥基一5 —甲基苯基)丙氧基]一2, 4, 8, IO—四叔丁基二苯 并[d,fj[l, 3, 2]二氧雜磷雜環(huán)庚烯(P才年廿:7才7:7工匕。y)、 3, 9一 雙[2—(3— (3 —叔丁基一4—羥基一5—甲基苯基)丙酰氧基} —1, l一二 甲基乙基]一2, 4, 8, 10—四氧雜螺[5, 5H^—烷、2, 2'—亞甲基雙(6 一叔丁基一4一甲基苯酚)、4, 4'一亞丁基雙(6—叔丁基一3—甲基苯酚)、 4, 4'一硫代雙(2—叔丁基一5—甲基苯酚)、2, 2' —硫代雙(6 —叔丁基 一4—甲基苯酚)、二月桂基3, 3'—硫代二丙酸酯、二肉豆蔻基3, 3,一 硫代二丙酸酯、二硬脂?;?, 3'—硫代二丙酸酯、季戊四醇四(3 —月桂 基硫代丙酸酯)、1, 3, 5 —三(3, 5 — 二叔丁基一4一羥基芐基)一1, 3, 5 —三嗪一2, 4, 6_ (1H, 3H, 5H) —三酮、3, 3,, 3", 5, 5,, 5,,一 六叔丁基一a, a,, a"— (均三甲基苯一2, 4, 6—三基)三對甲酚、季戊 四醇四[3— (3, 5 — 二叔丁基—4—羥基苯基)丙酸酯]或2, 6—二叔丁基 一4一甲基苯酚等。
作為紫外線吸收劑,具體而言,可以舉出2— (2 —羥基一5 —叔丁基 苯基)一2H—苯并三唑、辛基一3 — [3—叔丁基一4一羥基一5— (5 —氯一 2H—苯并三唑一2—基)苯基]丙酸酯、2 —[4 — [ (2—羥基一3 —十二烷基 氧丙基)氧]一2—羥基苯基]一4, 6—雙(2,, 4—二甲基苯基)一l, 3, 5 —三嗪、2 — [4一[ (2 —羥基—3— (2,—乙基)己基)氧]一2 —羥基苯基] 一4, 6—雙(2, 4一二甲基苯基)一1, 3, 5—三嗪、2, 4一雙(2—羥基 一4 —丁基氧苯基)—6— (2, 4 —雙丁基氧苯基)一1, 3, 5 —三嗪、2 —(2 —羥基一4一[1一辛基氧羰基乙氧基]苯基)一4, 6—雙(4一苯基苯 基)一l, 3, 5 —三嗪、2— (2H—苯并三唑一2 —基)一4, 6 —雙(1 — 甲基一l一苯基乙基)苯酚、2— (2H—苯并三唑一2 —基)一6— (l一甲基一l一苯基乙基)一4— (1, 1, 3, 3—四甲基丁基)苯酚、2— (3 —叔 丁基一2 —羥基一5—甲基苯基)一5 —氯苯并三唑或垸氧基二苯甲酮等。
作為光穩(wěn)定劑,具體而言,可以舉出琥珀酸與(4一羥基一2, 2, 6, 6—四甲基哌啶一1一基)乙醇構(gòu)成的高分子、N, N,, N", N",一四(4, 6 —雙(丁基一 (N—甲基一2, 2, 6, 6, 一四甲基哌啶一4一基)氨基) 三嗪一2—基)一4, 7—二氮(diaza)癸烷一1, IO—二胺、癸烷二酸(dioic acid)與雙(2, 2, 6, 6—四甲基一1—(辛基氧)—4 —哌啶(piperidinyl) 基)酯與l, l一二甲基乙基氫過氧化物的反應物、雙(1, 2, 2, 6, 6 — 五甲基一4一哌啶基)一[[3, 5 —雙(1, 1 —二甲基乙基)一4—羥基苯基] 甲基]丁基丙二酸酯、2, 4—雙[N—丁基一N— (l一環(huán)己基氧一2, 2, 6, 6—四甲基哌啶一4一基)氨基]_6— (2—羥基乙基胺)一1, 3, 5 —三嗪、 雙(1, 2, 2, 6, 6 —五甲基一4一哌啶基)癸二酸酯或甲基(1, 2, 2, 6, 6 —五甲基一4一哌啶基)癸二酸酯等。
作為鏈轉(zhuǎn)移劑,可以舉出十二烷基硫醇(dodecyl mercaptan)、 2, 4 一二苯基一4一甲基一1一戊烯等。
聚合性樹脂組合物例如可以如下所述地進行,在玻璃基板或薄膜基 板、形成有濾色片或驅(qū)動電路的基材上涂布,進行光固化及顯影,形成涂 膜或圖案。首先,向基板(通常為玻璃)或預先形成的聚合性樹脂組合物 的固體成分構(gòu)成的層上涂布所述聚合性樹脂組合物,通過預烘焙 (prebake)從涂布的聚合性樹脂組合物層除去溶劑等揮發(fā)成分,得到平 滑的未固化涂膜。此時的未固化涂膜的厚度大致為1 6^m。借助用于形 成目的圖案的掩模(mask),向這樣地進行得到的未固化涂膜照射從汞燈 或發(fā)光二極管(diode)產(chǎn)生的紫外線。
另外,在圖案形成時,其線寬可以利用掩模尺寸適當?shù)乜刂啤?br>
近年來的曝光機使用切斷(cut)該波長區(qū)域的濾波器(filter)切斷 不到350nrn的光,或者使用取出該波長區(qū)域的帶通濾波器(band—pass filter)選擇性地取出436nm附近、408nrn附近、365nrn附近的波長的光, 向曝光部整體均一地照射平行光線。此時,優(yōu)選使用掩模套準器(mask aligner)或步進曝光裝置(stepper)等裝置進行掩模與基板的正確的對位。 進而,之后,通過使光照射結(jié)束后的涂膜接觸堿水溶液溶解非曝光部,進行顯影,得到目的涂膜或圖案。顯影方法可以為注液法、浸漬(dipping) 法或噴射(spmy)法等任意一種。進而,也可以在顯影時將基板傾斜成 任意角度。
在形成圖案曝光后的顯影中使用的顯影液通常為含有堿性化合物和
表面活性劑的水溶液。
堿性化合物可以為無機或有機的堿性化合物的任意一種。 作為無機堿性化合物的具體例,可以舉出氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸
氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、硅酸鈉、
硅酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀或氨水等。
另外,作為有機堿性化合物的具體例,可以舉出四甲基氫氧化銨、2 一羥乙基三甲基氫氧化銨、單甲胺、二甲胺、三甲胺、 一乙胺、二乙胺、 三乙胺、單異丙胺、二異丙基胺或乙醇胺等。這些無機及有機堿性化合物 可以分別獨立地使用或組合2種以上使用。堿顯影液中的堿性化合物的濃 度優(yōu)選為0.01 10質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.03 5質(zhì)量%。
另外,堿顯影液中的表面活性劑可以為非離子系表面活性劑或陰離子 系表面活性劑或陽離子系表面活性劑的任意一種。
作為非離子系表面活性劑的具體例,可以舉出聚氧乙烯烷基醚、聚氧 乙烯芳基醚、聚氧乙烯垸基芳基醚、其他聚氧乙烯衍生物、環(huán)氧乙烷/環(huán) 氧丙垸嵌段共聚物、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯、 聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙 烯垸基胺等。
作為陰離子系表面活性劑的具體例,可以舉出月桂醇硫酸酯鈉或油醇 硫酸酯鈉等高級醇硫酸酯鹽類、月桂基硫酸鈉或月桂基硫酸銨等烷基硫酸 鹽類、十二垸基苯磺酸鈉或十二垸基萘磺酸鈉等垸基芳基磺酸鹽類等。
作為陽離子系表面活性劑的具體例,可以舉出硬脂酰胺鹽酸鹽或月桂 基三甲基氯化銨等胺鹽或者季銨鹽等。
這些表面活性劑可以分別單獨使用,也可以組合使用2種以上。
堿顯影液中的表面活性劑的濃度優(yōu)選為0.01 10質(zhì)量。/^的范圍,更 優(yōu)選為0.05 8質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.1 5質(zhì)量%。顯影后,進行水洗,進而也可以根據(jù)需要,在150 230'C下實施10 180分鐘的后烘焙(postbake)。
可以使用本發(fā)明的聚合性樹脂組合物,經(jīng)歷如上所述的各工序,在基 板上或在濾色片基板上,形成圖案。該圖案可以用作在液晶顯示裝置中使 用的光學間隙材或可形成圖案的外涂層(overcoat)。另外,在向未固化涂 膜進行形成圖案曝光時,如果使用孔(hole)形成用光掩模(photomask), 則可以形成孔,可以用作層間絕緣膜。進而,在向未固化涂膜進行曝光時, 可以不使用光掩模而進行全面曝光及加熱固化或者只利用加熱固化形成 透明膜,該透明膜可以用作外涂層,另外,也可以用于觸摸面板。
可以通過將這樣地進行得到的涂膜或圖案組裝到液晶顯示裝置等顯 示裝置中來以高成品率制造出色質(zhì)量的顯示裝置。
如果利用本發(fā)明,則可以形成在曝光時對436nm附近、408nm附近、 365nm附近的波長的光具有充分的感度而且透過率高的涂膜或圖案。
實施例
以下基于實施例詳細地說明本發(fā)明,但當然,本發(fā)明不被實施例所限 定。例中,只要沒有預先說明,表示含量或使用量的%及份為質(zhì)量基準。 (樹脂Aa的合成例)
以0.02L/分向具備回流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機的1L燒瓶內(nèi)流入 氮氣,成為氮氣氛,加入3 —甲氧基一1一丁醇200份及3—甲氧基丁基乙 酸酯105份,邊攪拌邊加熱至7(TC。接著,將60份甲基丙烯酸、240份 3, 4一乙氧基三環(huán)[5.2丄026]癸基丙烯酸酯(以摩爾比50: 50混合式(II 一l)表示的化合物及式(III—1)表示的化合物。)溶解于140份的3 — 甲氧基丁基乙酸酯,配制溶液,使用滴液漏斗,用4小時,將該溶解液向 保溫于7(TC的燒瓶內(nèi)滴注。另一方面,將30份聚合引發(fā)劑2, 2' —偶氮 雙(2, 4 —二甲基戊腈)溶解于225份3—甲氧基丁基乙酸酯中,用另一 個滴液漏斗,用4小時,將所得溶液滴注于燒瓶內(nèi)。在聚合引發(fā)劑的溶液 的滴注結(jié)束后,在7(TC下保持4小時,然后冷卻至室溫,得到固體成分 32.6%、酸值110mg—KOH/g (固體成分換算)的共聚物(樹脂Aa)的溶 液。得到的樹脂Aa的重均分子量Mw為1.3X104、分散度為2.50。(樹脂Ab的合成例)
以0.02L/分向具備回流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機的1L燒瓶內(nèi)流入 氮氣,成為氮氣氛,加入3 —甲氧基一1一丁醇200份及3—甲氧基丁基乙 酸酯105份,邊攪拌邊加熱至7(TC。接著,將55份甲基丙烯酸、175份 3, 4一乙氧基三環(huán)[5.2丄026]癸基丙烯酸酯(以摩爾比50: 50混合式(II 一l)表示的化合物及式(III一l)表示的化合物。)及70份N—環(huán)己基馬 來酰亞胺溶解于140份3—甲氧基丁基乙酸酯,配制溶液,使用滴液漏斗, 用4小時,將該溶解液向保溫于7(TC的燒瓶內(nèi)滴注。
另一方面,將30份聚合引發(fā)劑2, 2'—偶氮雙(2, 4一二甲基戊腈) 溶解于225份3 —甲氧基丁基乙酸酯中,用另一個滴液泵(bump),用5 小時,將所得溶液滴注于燒瓶內(nèi)。在聚合引發(fā)劑的溶液的滴注結(jié)束后,在 7(TC下保持4小時,然后冷卻至室溫,得到固體成分32.6%、酸值34.3mg —KOH/g的共聚物(樹脂Ab)的溶液。得到的樹脂Ab的重均分子量(Mw) 為1.4X104、數(shù)均分子量(Mn)為5.4X103,分散度為2.5。 (樹脂Ac的合成例)
以0.02L/分向具備回流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機的1L燒瓶內(nèi)流入 氮氣,成為氮氣氛,加入丙二醇單甲醚乙酸酯250份,邊攪拌邊加熱至 70°C。接著,將52.6份甲基丙烯酸、105.2份甲基丙烯酸甲酯、29.9份甲 基丙烯酸芐基酯及29.9份N—芐基馬來酰亞胺溶解于丙二醇單甲醚乙酸 酯中,配制溶液,使用滴注泵,用4小時,將該溶解液向保溫于7(TC的 燒瓶內(nèi)滴注。
另一方面,將30份聚合引發(fā)劑2, 2' —偶氮雙(2, 4一二甲基戊腈) 溶解于164份丙二醇單甲醚乙酸酯中,用另一個滴注泵,用5小時,將所 得溶液滴注于燒瓶內(nèi)。在聚合引發(fā)劑的溶液的滴注結(jié)束后,在70'C下保 持4小時,然后冷卻至室溫。
接著,向該反應液中追加37.4份甲基丙烯酸縮水甘油酯、0.5份可以 用作催化劑的胺(1, 8 — 二氮雙環(huán)[5.4.0]十一烯一7)、 0.2份作為聚合抑制劑的2, 2, 一亞甲基雙(4一甲基一6—叔丁基苯酚),以200ml/分的流 量對調(diào)整成5%氧濃度的空氣、氮混合氣體進行鼓泡(bubbling),同時在 IO(TC下保溫4小時,然后冷卻,得到固體成分42.0%、酸值28.9mg— KOH/g的共聚物(樹脂Ac)的溶液。得到的樹脂Ac的重均分子量(Mw) 為8.2X103、數(shù)均分子量(Mn)為4.7X103,分散度為1.8。 (分子量的測定)
使用GPC法,在以下條件下,測定樹脂Aa 樹脂Ac的重均分子量 (Mw)及數(shù)均分子量(Mn)。
裝置;K2479 ((株)島津制造所制)
柱;SHIMADZU Shim—pack GPC — 80M
柱溫度;40 °C
溶劑;THF (四氫呋喃)
流速;1.0mL/min
檢測器;RI
將在所述中得到的聚苯乙烯換算的重均分子量及數(shù)均分子量的比作 為分散度(Mw/Mn)。 [實施例1]
混合153份樹脂Aa的溶液(固體成分換算50份)、50份二季戊四醇 六丙烯酸酯(KAYARADDPHA;日本化藥(株)制)(B)、 4份2, 2, 一雙(2 —氯苯基)一4, 4, , 5, 5'—四苯基一l, 2,一聯(lián)二咪唑(B —CIM;保土谷化學(株)制)(C)、 1份9, 10—二丁氧基蒽(DBA; 川崎化成(株)制)(D)、 3份季戊四醇四硫代丙酸酯(PEMP;堺化學工 業(yè)(株)制)(T)、 88份3 —乙氧基乙基丙酸酯(D)、 5份3—甲氧基一1 —丁醇(D)、 65份3—甲氧基丁基乙酸酯(D),得到聚合性樹脂組合物
依次用中性洗滌劑、水及酒精洗滌2英寸方形的玻璃基板(#1737; Coming公司制),然后干燥。在該玻璃基板上,以200mJ/cm2的曝光量 (405nm)對聚合性樹脂組合物1進行曝光、顯影、水洗,旋涂(spin coat)至后烘焙后的膜厚成為3.(Him,接著,在潔凈烘箱(clean oven)中,在 10(TC下預烘焙3分鐘。冷卻后,將涂布有該聚合性樹脂組合物1的基板 和石英玻璃制光掩模的間隔設為10pm,使用曝光機(TME—150RSK;道 普昆(卜7°〕>0(株)制,光源< 超高壓汞燈),在大氣氣氛下,以200mJ/cm2 的曝光量(405nm基準)進行光照射。其中,此時的對聚合性樹脂組合物 1的照射使用的是從超高壓汞燈發(fā)射光,使其通過光學濾波器(LU0400; 朝曰分光(株)制),切斷400nm以下的光所成的光。使用具有1邊為10拜 的正方形的透光部且該正方形的間隔為10(Him的光掩模,進行曝光。
光照射之后,在25'C下將所述涂膜在含有0.12%非離子表面活性劑 和0.04%氫氧化鉀的水系顯影液中浸漬100秒,顯影,水洗,然后在烘箱 中,在22(TC下后烘焙20分鐘,得到圖案l。
實實實比比比比比比比比比
施施施較較較較較較較較較
例例例例例例例例例例例例
123123456789
聚合性樹脂組合物123456789101112溶解性〇〇〇O〇〇〇〇〇X〇〇
感度98.496.998.195.385.0
圖案形狀〇〇〇O〇
透過率96.596.095.082.874.4
從表2所示的實施例1 3的結(jié)果可知,如果使用含有特定結(jié)構(gòu)的引 發(fā)助劑的本發(fā)明的聚合性樹脂組合物,則圖案良好,可以得到感度與透過 率的平衡出色的圖案及涂膜。相反,比較例l盡管感度良好,但透過低, 比較例9的感度、透過率均低,比較例2 8產(chǎn)生圖案的剝離,殘膜感度 和透過率的雙方不能獲得高值。
本發(fā)明的聚合性樹脂組合物的圖案良好,可以形成感度和透過率的平 衡出色的涂膜及圖案,可以優(yōu)選用于外涂層、光學間隙材、絕緣膜、液晶 取向控制用突起、用于調(diào)合著色圖案的膜厚的涂敷層等在顯示裝置中使用 的膜的形成。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
如果利用本發(fā)明的聚合性樹脂組合物,可以形成在曝光時對436nm 附近、408nm附近、365nm附近的波長的光具有充分的感度而且透過率高 的涂膜或圖案。
權(quán)利要求
1. 一種聚合性樹脂組合物,其中,含有堿可溶性樹脂(A)、聚合性化合物(B)、引發(fā)劑(C)、引發(fā)助劑(D)及溶劑(E),引發(fā)助劑(D)是含有由選自式(I—1)及式(I—2)中的至少一種表示的化合物的化合物,式(I—1)及式(I—2)中,環(huán)X1、環(huán)X2及環(huán)X3分別獨立地表示碳原子數(shù)6~12的芳香環(huán),Y1~Y4分別獨立地表示氧原子或硫原子,R1~R4分別獨立地表示碳原子數(shù)1~12的烷基或碳原子數(shù)6~12的芳基,該芳香環(huán)、該烷基及該芳基中含有的亞甲基也可以取代成氧原子、—NH—或硫原子,在該芳香環(huán)、該烷基及該芳基中含有的氫原子也可以取代成鹵原子。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚合性樹脂組合物,其中,引發(fā)劑(C)是含有從聯(lián)二咪唑系化合物、苯乙酮系化合物、三嗪系 化合物、?;趸⑾祷衔镆约半肯祷衔镏羞x擇的至少一種化合物的 化合物。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的聚合性樹脂組合物,其中, 堿可溶性樹脂(A)是具有從環(huán)氧基及氧雜環(huán)丁垸基中選擇的至少一種基團的樹脂。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項所述的聚合性樹脂組合物,其中, 堿可溶性樹脂(A)是具有反應性雙鍵的樹脂。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項所述的聚合性樹脂組合物,其中, 引發(fā)助劑(D)是還含有多官能硫醇化合物(T)的化合物。
6. —種涂膜,其中,所述涂膜是使用權(quán)利要求1 5中任意一項所述的聚合性樹脂組合物形成的。
7. —種圖案,其中,所述圖案是使用權(quán)利要求1 5中任意一項所述的聚合性樹脂組合物 形成的。
8. —種顯示裝置,其中,含有從權(quán)利要求6所述的涂膜及權(quán)利要求7所述的圖案中選擇的至少一種。
全文摘要
本發(fā)明提供一種聚合性樹脂組合物,其中,含有堿可溶性樹脂(A)、聚合性化合物(B)、引發(fā)劑(C)、引發(fā)助劑(D)及溶劑(E),引發(fā)助劑(D)為含有由從式(I-1)及式(I-2)構(gòu)成的組中選擇的至少一種表示的化合物的化合物。[式(I-1)及式(I-2)中,環(huán)X<sup>1</sup>、環(huán)X<sup>2</sup>及環(huán)X<sup>3</sup>分別獨立地表示碳原子數(shù)6~12的芳香環(huán)。Y<sup>1</sup>~Y<sup>4</sup>分別獨立地表示氧原子或硫原子。R<sup>1</sup>~R<sup>4</sup>分別獨立地表示碳原子數(shù)1~12的烷基或碳原子數(shù)6~12的芳基。該芳香環(huán)、該烷基及該芳基中含有的亞甲基也可以取代成氧原子、-NH-或硫原子,在該芳香環(huán)、該烷基及該芳基中含有的氫原子也可以取代成鹵原子。]
文檔編號G03F7/028GK101434682SQ20081017348
公開日2009年5月20日 申請日期2008年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月16日
發(fā)明者井上勝治, 武部和男 申請人:住友化學株式會社