專利名稱：：光波導(dǎo)薄膜及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及光波導(dǎo)薄膜及其制造方法。
背景技術(shù)：
：以往，已知在光基板上設(shè)置的多個(gè)光學(xué)元件間通過光波導(dǎo)薄膜光學(xué)連接。該光波導(dǎo)薄膜配置于光基板時(shí)，為了確保正確的光路，必須進(jìn)行對(duì)光基板的精密的定位。作為該光波導(dǎo)薄膜，例如提出了在有機(jī)硅基板上介以固化型粘合劑層由多層光配線層形成的光配線薄膜(例如，參照日本專利特開2002-116334號(hào)公報(bào))。該提案中，首先將液狀的固化型粘合劑層(未固化)涂布于光配線薄膜，然后介以液狀的固化型粘合劑層將光配線薄膜相對(duì)于有機(jī)硅基板定位，再通過固化形成具有所希望的粘接力的固化型粘合劑層并同時(shí)將光配線薄膜固定于有機(jī)硅基板。
發(fā)明內(nèi)容但是，日本專利特開2002-116334號(hào)公報(bào)的光配線薄膜對(duì)有機(jī)硅基板的固定中，液狀的固化型粘合劑層流動(dòng)，到達(dá)光配線薄膜和光學(xué)元件的連接部分，可能會(huì)對(duì)光配線層的光路造成不良影響。另一方面，如果預(yù)先釆用具有高粘接力的片狀的粘合劑層，則粘合劑層不易流動(dòng)，因此不存在妨礙光路的可能性，但由于粘合劑層的初始粘接力高，所以如果使粘合劑層與光基板接觸，則光波導(dǎo)薄膜馬上被固定于光基板。因此，在定位時(shí)很難調(diào)整光波導(dǎo)薄膜對(duì)光基板的配置。其結(jié)果是，難以進(jìn)行光波導(dǎo)薄膜對(duì)光基板的精度良好的定位。本發(fā)明的目的是提供定位時(shí)易剝離、可獲得良好的定位精度、定位后可切實(shí)地固定薄膜的連接可靠性高的光波導(dǎo)薄膜及其制造方法。本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜的特征在于，具備薄膜，形成于所述薄膜的至少一面的粘合劑層，形成于所述粘合劑層的表面的、互相隔開間隔而配置的多個(gè)突起部分；所述薄膜具備包層和被所述包層覆蓋的芯層。較好的是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜中，各所述突起部分被排列配置。較好的是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜中，所述粘合劑層由丙烯酸類粘合劑組合物形成。較好的是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜中，所述粘合劑層的25"C的貯藏彈性率為0.01l細(xì)Pa。較好的是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜中，所述粘合劑層的厚度為10wm以上。較好的是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜中，所述粘合劑層的初始粘接力為0.5N/cm以下。較好的是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜中，形成有所述突起部分的粘合劑層的壓接后粘接力為1N/cm以上。較好的是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜中，所述突起部分作為實(shí)質(zhì)上不殘存粘合性的樹脂而形成。較好的是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜中，所述突起部分通過使突起前體固化而形成，所述突起前體由含有固化性樹脂和引發(fā)劑的固化性樹脂組合物形成。這種情況下，所述固化性樹脂優(yōu)選環(huán)氧樹脂。較好的是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜中，所述突起部分形成為近似圓形的形狀。這種情況下，所述突起部分互相隔開間隔配置，其最大厚度為10100"m,其直徑為1001000nm，它們的間隔為210mm。本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜的制造方法的特征在于，具備形成具有包層和被所述包層覆蓋的芯層的薄膜的步驟，在所述薄膜的至少一面形成粘合劑層的步驟，以及在所述粘合劑層的表面形成互相隔開間隔而配置的多個(gè)突起部分的步驟。利用本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜及其制造方法，光波導(dǎo)薄膜在對(duì)被粘附體的初始粘接中，由于使形成有突起部分的粘合劑層的表面與被粘附體接觸，因此可使初始粘接力下降。所以，易于實(shí)施定位時(shí)的剝離，可獲得良好的定位精度。此外，在粘合劑層對(duì)被粘附體的初始粘接后的粘接中，利用從互相隔開間隔配置的多個(gè)突起部分露出的粘合劑層的表面，可確保充分的粘接力，可使薄膜切實(shí)地固定于被粘附體。另外，粘合劑層以其表面可支持突起部分的硬度形成，因此對(duì)被粘附體的初始粘接中的粘合劑層的流動(dòng)被抑制，可防止粘合劑層對(duì)芯層的光路的妨礙。所以，在定位時(shí)可反復(fù)進(jìn)行薄膜對(duì)被粘附體的粘接和剝離，可在調(diào)整薄膜對(duì)被粘附體的配置的同時(shí)以良好的定位精度進(jìn)行定位，另一方面，定位后可將薄膜切實(shí)地固定于被粘附體，能夠進(jìn)一步確保良好的連接可靠性。圖1為本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜的實(shí)施方式之一的沿寬度方向的剖視圖。圖2為圖1所示的光波導(dǎo)薄膜的后視圖。圖3為表示圖1所示的光波導(dǎo)薄膜的制造方法的流程圖，(a)為準(zhǔn)備薄膜的步驟，(b)為在下包層的下表面形成粘合劑層的步驟，(c)為在粘合劑層的表面形成突起前體的步驟，(d)為使突起前體固化形成多個(gè)突起部分的步驟.圖4為表示圖l所示的光波導(dǎo)薄膜的薄膜的制造方法的流程圖，(a)為準(zhǔn)備基材的步驟，(b)為在基材上形成下包層的步驟，(c)為在下包層上形成芯層的步驟，(d)為在下包層上形成覆蓋芯層的上包層的步驟，(e)為除去基材的步驟。具體實(shí)施例方式圖1是本發(fā)明的光波導(dǎo)薄膜的實(shí)施方式之一的沿寬度方向(與長(zhǎng)邊方向正交的方向)的剖視圖，圖2是圖l所示的光波導(dǎo)薄膜的后視圖，圖3是表示圖1所示的光波導(dǎo)薄膜的制造方法的流程圖，圖4是表示圖l所示的光波導(dǎo)薄膜的薄膜的制造方法的流程圖。圖1及圖2中，該光波導(dǎo)薄膜l形成為在長(zhǎng)邊方向延伸的平帶狀，具備薄膜2、粘合劑層3和多個(gè)突起部分4。薄膜2為光波導(dǎo)，且對(duì)應(yīng)光波導(dǎo)薄膜l的外形形狀形成。此外，薄膜2具備作為包層的下包層5和上包層7、被下包層5及上包層7覆蓋的芯層6。更具體來說，薄膜2具備下包層5、形成于下包層5上的芯層6和在下包層5上形成的覆蓋芯層6的上包層7。芯層6在下包層5的上表面設(shè)置多個(gè)(3個(gè))，沿長(zhǎng)邊方向延伸，在寬度方向互相隔開間隔并列配置。此外，芯層6的長(zhǎng)邊方向兩端部形成為與多個(gè)光學(xué)元件光學(xué)連接的連接部分。各芯層6形成為從截面看近似矩形的形狀。粘合劑層3被設(shè)置于薄膜2的一面，更具體為下包層5的下表面。此外，粘合劑層3以可支持突起部分的硬度形成。該粘合劑層3的25"C的貯藏彈性率例如為0.011.0MPa。25。C的貯藏彈性率作為由在頻率1Hz的扭轉(zhuǎn)模式中以5"C/分鐘的速度從—2(TC升溫至20(TC的動(dòng)態(tài)粘彈性測(cè)定獲得的25'C的扭轉(zhuǎn)貯藏彈性率G'求得。各突起部分4在粘合劑層3的表面，更具體是在粘合劑層3的表面(下表面)形成。各突起部分4形成為后視近似圓形的形狀，S卩，形成為從截面看越向下越窄的近似半橢圓的形狀。此外，各突起部分4在后視中互相隔開間隔被排列配置。突起部分4例如作為粘合性(表面粘性)低于粘合劑層3的樹脂而形成，優(yōu)選作為實(shí)質(zhì)上不殘存粘合性的樹脂而形成。接著，參照?qǐng)D3及圖4對(duì)該光波導(dǎo)薄膜1的制造方法進(jìn)行說明。首先，該方法如圖3(a)所示，準(zhǔn)備薄膜2。準(zhǔn)備薄膜2如圖4(a)所示，首先準(zhǔn)備基材12。基材12形成為板狀，作為形成該基材12的材料，可例舉例如有機(jī)硅、玻璃等陶瓷材料，例如銅、鋁、不銹鋼、鐵合金等金屬材料，例如聚酰亞胺、玻璃纖維環(huán)氧樹脂、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)等樹脂材料。從后述的除去難易性考慮，優(yōu)選金屬材料?；?2的厚度例如為1005000um，優(yōu)選101500um。接著，該方法如圖4(b)所示，在基材12上形成下包層5。作為形成下包層5的材料，可例舉例如聚酰亞胺樹脂、聚酰胺樹脂、有機(jī)硅樹脂、環(huán)氧樹脂或它們的氟化樹脂或氘化樹脂，還可例舉芴衍生物樹脂等樹脂材料。這些樹脂材料優(yōu)選摻入感光劑作為感光性樹脂使用。較好的可例舉感光性聚酰亞胺樹脂(其原料為感光性聚酰胺酸樹脂或感光性氟化聚酰胺酸樹脂:及感光性芴衍生物樹脂(其原料為感光性芴衍生物)。在基材12上形成下包層5時(shí)，例如調(diào)制上述樹脂清漆(樹脂溶液)，在基材12上例如通過澆鑄、旋涂等方式涂布該清漆后干燥，再根據(jù)需要加熱。使用感光性樹脂的情況下，在清漆的涂布和干燥后介以光掩模曝光，根據(jù)需要曝光后加熱，然后顯影，再加熱。由此形成的下包層5的厚度例如為5100um。然后，該方法圖4(c)所示，在下包層5上形成芯層6。作為形成芯層6的材料，可例舉折射率比下包層5的樹脂材料高的樹脂材料。作為該樹脂材料，可例舉例如與上述同樣的樹脂材料。形成芯層6時(shí)，例如調(diào)制上述樹脂清漆(樹脂溶液)，在下包層5的表面涂布該清漆后干燥，再根據(jù)需要使其固化。使用感光性樹脂的情況下，在清漆的涂布和干燥后介以光掩模曝光，根據(jù)需要曝光后加熱，然后顯影，再加熱。由此形成的芯層6的厚度例如為5100um，寬度例如為5100ym。接著，該方法如圖4(d)所示，在下包層5上形成覆蓋芯層6的上包層7。作為形成上包層7的材料，可例舉與上述下包層5同樣的樹脂材料。下包層5和上包層7可由同樣的樹脂材料形成，也可由不同的樹脂材料形成。在下包層5上形成上包層7時(shí)，例如調(diào)制上述樹脂清漆(樹脂溶液)，在包含芯層6的下包層5上通過例如澆鑄、旋涂等方式涂布該清漆后干燥，再根據(jù)需要加熱。使用感光性樹脂的情況下，在清漆的涂布和干燥后介以光掩模曝光，根據(jù)需要曝光后加熱，然后顯影，再加熱。由此形成的上包層7的厚度例如為5100um。然后，該方法如圖4(e)所示，除去基材12。除去基材12時(shí)，例如采用蝕刻、剝離等方式。如上所述，準(zhǔn)備具備下包層5和上包層7及被它們覆蓋的芯層6的薄膜2。然后，該方法如圖3(b)所示，在下包層5的下表面形成粘合劑層3。粘合劑層3由粘合劑組合物形成，作為該粘合劑組合物，可例舉例如丙烯酸類粘合劑組合物。丙烯酸類粘合劑組合物含有例如丙烯酸類聚合物。丙烯酸類聚合物由主要含有(甲基)丙烯酸烷基酯，還含有具備反應(yīng)性官能團(tuán)的含反應(yīng)性官能團(tuán)的乙烯基單體的丙烯酸類單體聚合而得。(甲基)丙烯酸烷基酯是指甲基丙烯酸烷基酯及/或丙烯酸烷基酯，可例舉例如(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸新戊酯、(甲基)丙烯酸異戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸異壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸十一垸基酯、(甲基)丙烯酸十二垸基酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(甲基)丙烯酸十五烷基酯、(甲基)丙烯酸十六烷基酯、(甲基)丙烯酸十七垸基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸異十八烷基酯等(甲基)丙烯酸烷基(碳數(shù)418的直鏈或支鏈烷基)酯等。這些(甲基)丙烯酸烷基酯可單獨(dú)使用或2種以上并用。(甲基)丙烯酸垸基酯的摻合比例是相對(duì)于IOO重量份丙烯酸類單體例如為8599.5重量份。作為含反應(yīng)性官能團(tuán)的乙烯基單體，可例舉例如含羧基的乙烯基單體，作為該含羧基的乙烯基單體，可例舉例如(甲基)丙烯酸、富馬酸、馬來酸、衣康酸、巴豆酸、肉桂酸等不飽和羧酸，例如富馬酸酐、馬來酸酐、衣康酸酐等不飽和二羧酸酐，例如衣康酸單甲酯、衣康酸單丁酯、鄰苯二甲酸2-丙烯酰氧基乙酯等不飽和二羧酸單酯，例如偏苯三酸2-甲基丙烯酰氧基乙酯、均苯四甲酸2-甲基丙烯酰氧基乙酯等不飽和三羧酸單酯，例如丙烯酸羧乙酯、丙烯酸羧戊酯等丙烯酸羧基烷基酯等。此外，作為含反應(yīng)性官能團(tuán)的乙烯基單體，除了上述含羧基的乙烯基單體以外，還可例舉例如(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸甲基縮水甘油酯等含環(huán)氧基的乙烯基單體，例如丙烯酸2-羥乙酯、丙烯酸2-羥丙酯、丙烯酸2-羥丁酯、丙烯酸4-羥丁酯等含1價(jià)羥基的乙烯基單體，例如(甲基)丙烯酸乙二醇酯、(甲基)丙烯酸丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基丙二醇酯等含2價(jià)羥基的乙烯基單體，例如(甲基)丙烯酰胺、N,N-二甲基(甲基)丙烯酰胺、N,N-二乙基(甲基)丙烯酰胺、N-異丙基(甲基)丙烯酰胺、N-丁基(甲基)丙烯酰胺、N-甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羥甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羥甲基丙烷(甲基)丙烯酰胺、N-乙烯基羧酸酰胺等含酰胺基的乙烯基單體，例如(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁基氨基乙酯等含氨基的乙烯基單體，例如丙烯腈、甲基丙烯腈等含氰基的乙烯基單體，例如N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-異丙基馬來酰亞胺、N-月桂基馬來酰亞胺、N-苯基馬來酰亞胺等馬來酰亞胺類含亞氨基的乙烯基單體，例如N-甲基衣康酰亞胺、N-乙基衣康酰亞胺、N-丁基衣康酰亞胺、N-辛基衣康酰亞胺、N-2-乙基己基衣康酰亞胺、N-環(huán)己基衣康酰亞胺、N-月桂基衣康酰亞胺等衣康酰亞胺類含亞氨基的乙烯基的單體，例如N-(甲基)丙烯酰氧基亞甲基琥珀酰亞胺、N-(甲基)丙烯?；?6-氧基六亞甲基琥珀酰亞胺、N-(甲基)丙烯?；?8-氧基八亞甲基琥珀酰亞胺等琥珀酰亞胺類含亞氨基的乙烯基單體，例如苯乙烯磺酸、烯丙基磺酸、2-(甲基)丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸、(甲基)丙烯酰胺丙磺酸、(甲基)丙烯酸磺基丙酯、(甲基)丙烯酰氧基萘磺酸等含磺酸基的乙烯基單體，例如2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯等含異氰酸酯基的乙烯基單體等。這些含反應(yīng)性官能團(tuán)的乙烯基單體中，優(yōu)選例舉含羧基的乙烯基單體、含l價(jià)羥基的乙烯基單體。含有反應(yīng)性官能團(tuán)的乙烯基單體的摻合比例是相對(duì)于ioo重量份丙烯酸類單體例如為0.515重量份。為了獲得丙烯酸類粘合劑組合物，在有機(jī)溶劑中，在引發(fā)劑的存在下使上述丙烯酸類單體進(jìn)行溶液聚合。作為有機(jī)溶劑，只要可溶解丙烯酸類單體即可，可例舉例如乙酸乙酯、乙酸丁酯等脂肪族羧酸酯，例如甲苯、二甲苯、苯等芳烴，例如戊烷、己烷、庚烷等脂肪烴等。這些有機(jī)溶劑可單獨(dú)使用或2種以上并用。優(yōu)選例舉脂肪族羧酸酯。有機(jī)溶劑的摻合比例相對(duì)于100重量份丙烯酸類單體例如為200重量份以下。作為引發(fā)劑，可例舉例如熱聚合引發(fā)劑、光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選例舉熱聚合引發(fā)劑。作為該熱聚合引發(fā)劑，可例舉例如過氧化苯甲酰、過氧化月桂酰等過氧化物類引發(fā)劑，例如2，2'-偶氮二異丁腈、偶氮二(2-甲基丁腈)等偶氮類引發(fā)劑等。這些引發(fā)劑可單獨(dú)使用或2種以上并用。引發(fā)劑中優(yōu)選偶氮類引發(fā)劑。引發(fā)劑的摻合比例相對(duì)于100重量份丙烯酸類單體例如為0.051重量份?；旌媳┧犷悊误w、有機(jī)溶劑及引發(fā)劑，根據(jù)需要對(duì)它們進(jìn)行加熱。加熱溫度(聚合溫度)被設(shè)定為例如560°C。此外，聚合時(shí)間被設(shè)定為例如130小時(shí)。通過該溶液聚合，可獲得作為丙烯酸類聚合物溶于有機(jī)溶劑的丙烯酸類聚合物溶液的丙烯酸類粘合劑組合物。此外，也可通過不使用有機(jī)溶劑的本體聚合等使上述丙烯酸類單體聚合，粉碎所得聚合物后使其溶于有機(jī)溶劑，獲得作為丙烯酸類聚合物溶液的丙烯酸類粘合劑組合物。此外，丙烯酸類粘合劑組合物根據(jù)需要含有交聯(lián)劑等添加劑。作為交聯(lián)劑，可例舉例如多異氰酸酯或其衍生物。作為多異氰酸酯的衍生物，可例舉例如多元醇改性體(例如，三羥甲基丙烷改性體等)、碳二亞胺改性體、縮二脲改性體、脲基甲酸酯改性體、聚合物(二聚物以上的多核體)等。作為交聯(lián)劑，優(yōu)選例舉甲苯二異氰酸酯的三羥甲基丙烷改性體(加成體)。這些交聯(lián)劑可單獨(dú)使用或2種以上并用。交聯(lián)劑的摻合比例相對(duì)于100重量份的丙烯酸粘合劑組合物的固形成分例如為0.55重量份。然后，將所得的丙烯酸類聚合物溶液涂布于經(jīng)過有機(jī)硅處理等剝離處理的脫模薄膜的處理面，加熱使其干燥，藉此在脫模薄膜的處理面形成粘合劑層3。加熱條件例如為110分鐘，8015(TC。接著，將形成于脫模薄膜的粘合劑層3轉(zhuǎn)印至下包層5的下表面，將脫模薄膜從粘合劑層3剝離。由此形成的粘合劑層3的厚度例如為10um以上，較好為20um以上，通常在400um以下。接著，該方法如圖3(c)所示，在粘合劑層3的表面(下表面)形成突起前體8。突起前體8例如由含有固化性樹脂和引發(fā)劑的固化性樹脂組合物形成。固化性樹脂為例如通過熱或光等可固化及聚合的樹脂，可例舉例如環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺(熱固性聚酰亞胺)、酚醛樹脂、脲醛樹脂、三聚氰胺樹脂、不飽和聚酯樹脂、鄰苯二甲酸二烯丙酯樹脂、有機(jī)硅樹脂、聚氨酯樹脂(熱固性聚氨酯樹脂)等。優(yōu)選例舉環(huán)氧樹脂。作為環(huán)氧樹脂，可例舉例如脂環(huán)族環(huán)氧樹脂、芳香族環(huán)氧樹脂、含氮環(huán)類環(huán)氧樹脂等，優(yōu)選例舉脂環(huán)族環(huán)氧樹脂。作為脂環(huán)族環(huán)氧樹脂，可例舉例如氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂、3，4-環(huán)氧環(huán)己烯基甲基-3'，4，-環(huán)氧環(huán)己烯羧酸酯等。這些固化性樹脂可單獨(dú)使用或2種以上并用。作為引發(fā)劑，可例舉例如熱聚合引發(fā)劑、光聚合引發(fā)劑等，從固化時(shí)或聚合時(shí)的突起前體8的形狀保持的角度考慮，優(yōu)選例舉光聚合引發(fā)劑。作為該光聚合引發(fā)劑，可例舉例如光致產(chǎn)酸劑，更具體可例舉重氮鹽、锍鹽、碘鏃鹽、錟鹽、硒鹽等鏃鹽。作為它們的抗衡離子，可例舉例如CF3S(V、BF4\PF6\AsF6'、SbF6'等陰離子。作為光致產(chǎn)酸劑中的锍鹽和SbF6'的鹽，更具體可例舉4，4，-雙[二(e-羥基乙氧基)苯基锍基]苯基硫醚-雙-六氟銻酸鹽。這些引發(fā)劑可單獨(dú)使用或2種以上并用。引發(fā)劑的摻合比例相對(duì)于100重量份固化性樹脂，例如為0.110重量份。混合固化性樹脂及引發(fā)劑，調(diào)制出固化性樹脂組合物。也可作為以適當(dāng)?shù)谋壤龘饺肓讼♂寗?例如，碳酸異丙烯酯(7?？谪?。才>力一水冬一卜)等)的固化性樹脂組合物的清漆調(diào)制出固化性樹脂組合物。然后，例如采用自動(dòng)分注裝置涂布調(diào)制出的固化性樹脂組合物(或其清漆)。自動(dòng)分注裝置至少具備注射器、以可移動(dòng)的方式支持注射器的支架和控制來自注射器的分注量的泵，作為該自動(dòng)分注裝置，可例舉例如SHOTMASTER300(全自動(dòng)分配器，武藏工程株式會(huì)社制)等。固化性樹脂組合物(或其清漆)的涂布條件是，例如注射器前端部與粘合劑層3的表面之間的距離例如為10100um，分注壓(吐出壓)例如為0.01lMPa。此外，注射器的內(nèi)徑例如為0.10.3um，分注時(shí)間(對(duì)應(yīng)各突起部分4的涂布時(shí)間)例如為0.050.5秒。如上所述，通過涂布固化性樹脂組合物(或其清漆)，可在粘合劑層3的下表面(使薄膜2上下翻轉(zhuǎn)時(shí)，為粘合劑層3的上表面)，形成互相隔開間隔被排列配置的突起前體8。接著，如圖3(d)所示，使突起前體8固化，形成多個(gè)突起部分4。例如通過熱、光等使突起前體8固化。優(yōu)選通過光使其固化。作為該光線，可例舉例如可視光、紫外線、電子射線(例如，X射線、ct射線、e射線、Y射線等)等，優(yōu)選例舉紫外線。紫外線的照射量例如為1010000mJ/cm2。突起前體8的固化后根據(jù)需要進(jìn)行固化后加熱。固化后加熱的溫度例如為80150°C，加熱時(shí)間例如為10120分鐘。由此形成的各突起部分4的最大厚度(參照?qǐng)Dl)T為10100um，較好為2090um，各突起部分4的直徑(參照?qǐng)Dl)D例如為1001000ym，較好為200800ym，各突起部分4間的間隔(參照?qǐng)Dl)L例如為210mm，較好為38mm。此外，突起部分4以相對(duì)于粘合劑層3的單位面積(cm^例如為0.110%、優(yōu)選0.55%的比例被設(shè)置。由此可獲得光波導(dǎo)薄膜1。該光波導(dǎo)薄膜1中，在下面的實(shí)施例詳述的形成有突起部分4的粘合劑層3的初始粘接力例如為0.5N/cm以下，較好為0.2N/cm以下，通常為0.1N/cm以上，形成有突起部分4的粘合劑層3的壓接后粘接力例如為1N/cm以上，較好為1.2N/cm以上，通常為3N/cm以下。接著，參照?qǐng)D1說明將光波導(dǎo)薄膜1固定于光基板9的方法。該方法中，使光波導(dǎo)薄膜1固定于具備光學(xué)元件(未圖示)的光基板9(以虛線表示)。光波導(dǎo)薄膜1固定于光基板9時(shí)，首先對(duì)光波導(dǎo)薄膜1進(jìn)行定位使其相對(duì)于光基板9從上方與光學(xué)元件鄰接，同時(shí)暫時(shí)使粘合劑層3的下表面(從突起部分4露出的粘合劑層3的下表面)與光基板9的上表面接觸(初始粘接)。然后，如果光波導(dǎo)薄膜1相對(duì)于光基板9定位，則直接使光波導(dǎo)薄膜l向下方壓接，使光波導(dǎo)薄膜1固定于光基板9，實(shí)現(xiàn)芯層6的連接部分和光學(xué)元件的連接部分的光學(xué)連接。另一方面，如果光波導(dǎo)薄膜1相對(duì)于光基板9未定位，則將光波導(dǎo)薄膜l向上方提升，將粘合劑層3從光基板9剝離，在將光波導(dǎo)薄膜l相對(duì)于光基板9定位(位置修正)的同時(shí)使粘合劑層3的下表面與光基板9的上表面接觸。然后，如果光波導(dǎo)薄膜l相對(duì)于光基板9定位完成，則使光波導(dǎo)薄膜l固定于光基板9，實(shí)現(xiàn)芯層6的連接部分和光學(xué)元件的連接部分的光學(xué)連接。如果光波導(dǎo)薄膜1相對(duì)于光基板9未定位，則重復(fù)上述剝離及粘接的操作。該光波導(dǎo)薄膜1在對(duì)光基板9的初始粘接中，由于使形成有突起部分4的粘合劑層3的下表面與光基板9接觸，所以可降低初始粘接力。即，在對(duì)光基板9的初始粘接中，被突起部分4覆蓋的粘合劑層3的表面與光基板9之間存在突起部分4，所以粘合劑層3的初始粘接力被減弱。尤其是由于各突起部分4被排列配置，所以可均勻地使粘合劑層3的初始粘接力降低。因此，能夠使定位時(shí)的剝離變得容易，可獲得良好的定位精度。此外，粘合劑層3在對(duì)光基板9的初始粘接后的粘接中，利用從互相隔開間隔配置的多個(gè)突起部分4露出的粘合劑層3的表面，可確保充分的粘接力。即，在對(duì)光基板9的初始粘接后的粘接中，通過將光波導(dǎo)薄膜1向下側(cè)按壓，突起部分4相對(duì)于光基板9被壓向下方，同時(shí)突起部分4利用其反作用被光基板9壓向上方，因此，突起部分4利用來自光基板9的施力進(jìn)入到粘合劑層3內(nèi)(參照?qǐng)Dl的虛線)。藉此，可與光基板9接觸的粘合劑層3的表面積增加，因此，可確保粘合劑層3的足夠的粘接力。尤其是由于各突起部分4被排列配置，所以可確保粘合劑層3的整個(gè)下表面的充分的粘接力。因此，在初始粘接后的粘接中，可切實(shí)地使薄膜2固定于光基板9。此外，由于粘合劑層3以其表面可支持突起部分4的硬度形成，所以對(duì)光基板9的初始粘接時(shí)的粘合劑層3的流動(dòng)被抑制，可防止粘合劑層3對(duì)芯層6的光路的不良影響。因此，在定位時(shí)可反復(fù)進(jìn)行薄膜2對(duì)光基板9的粘接和剝離，可在調(diào)整薄膜2對(duì)光基板9的配置的同時(shí)以良好的定位精度進(jìn)行定位，另一方面，定位后可將薄膜2切實(shí)地固定于光基板9，能夠進(jìn)一步確保良好的連接可靠性。另外，只要突起部分4在粘合劑層3的表面被排列配置，則對(duì)其排列形態(tài)無特別限定，例如可以圍棋盤格狀、千鳥格(交錯(cuò))狀等合適的形態(tài)排列配置。此外，上述說明中，僅在下包層5的下表面設(shè)置了形成有突起部分4的粘合劑層3，但例如也可以除了下包層5的下表面以外，還在上包層7的上表面設(shè)置粘合劑層3。另外，雖然未圖示，例如也可以不在下包層5的下表面設(shè)置粘合劑層3，而是僅在上包層7的上表面設(shè)置粘合劑層3。以下，例舉實(shí)施例和比較例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更具體的說明。但本發(fā)明不受以下的實(shí)施例及比較例的任何限定。以下的說明中，如無特別明確的限定，"份"及"％"為重量基準(zhǔn)。實(shí)施例1(丙烯酸類粘合劑組合物的調(diào)制)在具備冷凝管、氮導(dǎo)入管、溫度計(jì)和攪拌機(jī)的4口燒瓶中加入丙烯酸丁酯100份、丙烯酸1份、丙烯酸4-羥丁酯0.3份、2，2，-偶氮二異丁腈0.l份和乙酸乙酯200份，慢慢攪拌的同時(shí)導(dǎo)入氮?dú)?小時(shí)。然后，在導(dǎo)入氮?dú)獾耐瑫r(shí)將燒瓶?jī)?nèi)的液溫保持為556(TC進(jìn)行IO小時(shí)的聚合。接著，相對(duì)于IOO份丙烯酸類聚合物溶液的固形成分添加l份甲苯二異氰酸酯的三羥甲基丙烷改性體(-口冬一卜L，日本聚氨酯(水'J々^夕"株式會(huì)社)，在攪拌的同時(shí)混合，藉此調(diào)制出丙烯酸類粘合劑組合物。(粘合劑層的形成)將丙烯酸類粘合劑組合物涂布于經(jīng)過有機(jī)硅處理(剝離處理)的厚38um的脫模薄膜(PET制，日本東麗株式會(huì)社制)的表面后，將其投入13(TC的干燥機(jī)，干燥3分鐘，在脫模薄膜的處理面形成厚100um的粘合劑層。(薄膜的制作)首先，準(zhǔn)備厚25"m的不銹鋼基材(尺寸200X300mra)(參照?qǐng)D4(a))。然后，按照表1的摻合比例調(diào)制芴衍生物清漆A。接著，將該芴衍生物清漆A涂布于不銹鋼基材的表面，于IO(TC加熱15分鐘進(jìn)行干燥。然后，介以光掩模曝光，顯影后于IO(TC加熱20分鐘使其固化，藉此在不銹鋼基材上形成下包層(參照?qǐng)D4(b))。下包層的波長(zhǎng)633nm下的折射率為1.585。此外，下包層的厚度為20um。另外，按照表1的摻合比例調(diào)制芴衍生物清漆B。將該芴衍生物清漆B涂布于下包層的表面，于10(TC加熱30分鐘進(jìn)行干燥。然后，介以光掩模曝光，于10(TC進(jìn)行60分鐘曝光后加熱后再顯影。接著，于IO(TC加熱IO分鐘使其固化，藉此在下包層上形成芯層(參照?qǐng)D4(c))。該芯層的波長(zhǎng)633nm下的折射率為1.615。此外，芯層的厚度為5um、寬度為5um。然后，將荷衍生物清漆A涂布于含芯層的下包層的表面，于10(TC加熱15分鐘使其干燥。接著，介以光掩模曝光，再顯影。然后，于10(TC加熱20分鐘使其固化，藉此在下包層上形成覆蓋芯層的上包層(參照?qǐng)D4(d))。該上包層的波長(zhǎng)633nm下的折射率為1.585。此外，上包層的厚度為20um。然后，通過蝕刻除去不銹鋼基材(參照?qǐng)D4(e))。藉此，獲得具備下包層、芯層和上包層的薄膜。表1(重量份)<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>*1:雙苯氧基乙醇芴二縮水甘油基醚*2:雙苯酚芴二縮水甘油基醚*3:3，4-環(huán)氧環(huán)己烯基甲基-3，，4，-環(huán)氧環(huán)己烯羧酸酯(七口*卄<卜-2021P，戴塞爾化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)*4:4,4-雙[二(p-羥基乙氧基)苯基锍基]苯基硫醚-雙六氟銻酸鹽的50%碳酸異丙烯酯溶液(粘合劑層的形成)使薄膜的下包層的下表面與粘合劑層的上表面(與脫模薄膜接觸的下表面的相反側(cè)的上表面)貼合后，從粘合劑層剝離脫模薄膜(參照?qǐng)D3(b))。(突起前體的形成)在氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂(7于"力樹脂EP-4080、ADEKA公司制)70份和3，4-環(huán)氧環(huán)己烯基甲基-3，，4，-環(huán)氧環(huán)己烯羧酸酯(七口*廿<K2021P，戴塞爾化學(xué)工業(yè)公司制)30份中混合4,4，-雙[二(e-羥基乙氧基)苯基锍基]苯基硫醚-雙-六氟銻酸鹽的50%碳酸異丙烯酯溶液1份，攪拌，藉此調(diào)制出固化性樹脂組合物的清漆。然后，用全自動(dòng)分配器(自動(dòng)分注裝置，SHOTMASTER300，武藏工程株式會(huì)社制)，將固化性樹脂組合物的清漆涂布于上下翻轉(zhuǎn)的光波導(dǎo)薄膜的粘合劑層的表面(上表面)。全自動(dòng)分配器的涂布條件是，注射器前端部和粘合劑層之間的距離設(shè)定為40um，吐出壓設(shè)定為0.08MPa，對(duì)應(yīng)各突起部分的吐出(涂布)時(shí)間(對(duì)應(yīng)各突起部分的涂布時(shí)間)設(shè)定為0.2秒。此外，注射器的內(nèi)徑為0.12ym。藉此，在粘合劑層的表面形成了突起前體(參照?qǐng)D3(c))。(突起部分的形成)以2000mJ/cr^的照射量從上方照射紫外線使形成的突起前體固化。然后，于12(TC進(jìn)行30分鐘固化后加熱，藉此，在粘合劑層的表面形成互相隔開間隔以圍棋盤格狀被排列配置的多個(gè)突起部分。各突起部分的厚度為80um，直徑為740um。此外，各突起部分間的間隔為3.3mm,相對(duì)于粘合劑層的單位面積的突起部分的比例(占有比例)為3.6%。藉此，形成了具備薄膜、粘合劑層和突起部分的光波導(dǎo)薄膜。實(shí)施例2除了用氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂100份替代氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂70份，且未使用3,4-環(huán)氧環(huán)己烯基甲基-3'，4'-環(huán)氧環(huán)己烯羧酸酯以外，與實(shí)施例1同樣，調(diào)制固化性樹脂組合物的清漆，形成突起前體，接著形成突起部分，獲得光波導(dǎo)薄膜。全自動(dòng)分配器的涂布條件是，吐出時(shí)間設(shè)定為0.08秒。此外，各突起部分的厚度為42um，直徑為530um。各突起部分間的間隔為3.4mra，相對(duì)于粘合劑層的單位面積的突起部分的比例為1.8%。實(shí)施例3與實(shí)施例l同樣，調(diào)制固化性樹脂組合物的清漆，形成突起前體，接著形成突起部分，獲得光波導(dǎo)薄膜。全自動(dòng)分配器的涂布條件是，吐出時(shí)間設(shè)定為0.08秒。此外，各突起部分的厚度為28nra，直徑為380um。各突起部分間的間隔為3.6mm，相對(duì)于粘合劑層的單位面積的突起部分的比例為0.9%。比較例1除了未形成實(shí)施例1的突起部分以外，與實(shí)施例1同樣，獲得光波導(dǎo)薄膜。(評(píng)價(jià))1)初始粘接力對(duì)于實(shí)施例13及比較例1的光波導(dǎo)薄膜，以lkPa的壓力使粘合劑層的表面貼合于硅制光基板。然后，將光波導(dǎo)薄膜的一端以50mm/分鐘的速度向相對(duì)于光基板的表面為9(T的方向剝離，測(cè)定其抵抗力。該測(cè)定中，在從光波導(dǎo)薄膜的一端剝離10mm為止的時(shí)間內(nèi)未進(jìn)行測(cè)定，而是從超過10mm時(shí)開始測(cè)定，算出作為初始粘接力的最低抵抗力。其結(jié)果示于表2。2)壓接后粘接力(90。剝離試驗(yàn))對(duì)于實(shí)施例13及比較例1的光波導(dǎo)薄膜，用壓力400kPa、溫度13(TC的壓輥使粘合劑層貼合于硅制光基板。然后，于23'C放置30分鐘，將光波導(dǎo)薄膜的一端以50mm/分鐘的速度向相對(duì)于光基板的表面為9(T的方向剝離，測(cè)定其抵抗力(90。剝離試驗(yàn))。90°剝離試驗(yàn)中，在從光波導(dǎo)薄膜的一端剝離10imn為止的時(shí)間內(nèi)未進(jìn)行測(cè)定，而是從超過lOmm時(shí)開始測(cè)定，算出作為壓接后粘接力的最低抵抗力。其結(jié)果示于表2。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>*1:粘合劑層的單位面積的突起部分的比例3)貯藏彈性率(G')對(duì)于實(shí)施例1中形成的粘合劑層，用動(dòng)態(tài)粘彈性測(cè)定裝置(ARES，TA儀器公司審ij)，在頻率1Hz的扭轉(zhuǎn)模式中以5'C/分鐘的速度使溫度從一2(TC升至200°C，算出25'C的貯藏彈性率。實(shí)施例1的粘合劑層的25'C的貯藏彈性率為0.lMPa。作為本發(fā)明例示的實(shí)施方式提供了上述說明，但這只不過是例示，不應(yīng)解釋為限定。本
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的從業(yè)人員所明了的本發(fā)明的變化例也包括在后述的權(quán)利要求的范圍之內(nèi)。權(quán)利要求1.光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，具備薄膜，形成于所述薄膜的至少一面的粘合劑層，形成于所述粘合劑層的表面的、互相隔開間隔而配置的多個(gè)突起部分；所述薄膜具備包層和被所述包層覆蓋的芯層。2.如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述各突起部分被排列配置。3.如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述粘合劑層由丙烯酸類粘合劑組合物形成。4.如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述粘合劑層的25'C的lt藏彈性率為0.011.0MPa。5.如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述粘合劑層的厚度為10um以上。6.如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述粘合劑層的初始粘接力為0.5N/cm以下。7.如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，形成有所述突起部分的粘合劑層的壓接后粘接力為1N/cm以上。8.如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述突起部分作為實(shí)質(zhì)上不殘存粘合性的樹脂而形成。9.如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述突起部分通過使突起前體固化而形成，所述突起前體由含有固化性樹脂和引發(fā)劑的固化性樹脂組合物形成。10.如權(quán)利要求9所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述固化性樹脂為環(huán)氧樹脂。11.如權(quán)利要求l所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述突起部分形成為近似圓形的形狀。12.如權(quán)利要求11所述的光波導(dǎo)薄膜，其特征在于，所述突起部分互相隔開間隔配置，其最大厚度為10100um，其直徑為1001000um，它們的間隔為210mm。13.光波導(dǎo)薄膜的制造方法，其特征在于，具備形成具有包層和被所述包層覆蓋的芯層的薄膜的步驟，在所述薄膜的至少一面形成粘合劑層的步驟，以及在所述粘合劑層的表面形成互相隔開間隔而配置的多個(gè)突起部分的步驟。全文摘要本發(fā)明提供具備具有包層和被所述包層覆蓋的芯層的薄膜，形成于薄膜的至少一面的粘合劑層，形成于粘合劑層的表面的、互相隔開間隔而配置的多個(gè)突起部分的光波導(dǎo)薄膜。文檔編號(hào)G02B6/13GK101363942SQ20081012970公開日2009年2月11日申請(qǐng)日期2008年8月5日優(yōu)先權(quán)日2007年8月6日發(fā)明者疋田貴巳,程野將行,長(zhǎng)崎國(guó)夫申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社