專利名稱：曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于光清洗、uv (紫外線)硬化、光化學(xué)反應(yīng)、粘結(jié)等的曝光
裝置。
背景技術(shù)：
以往，用于光清洗、uv硬化、光化學(xué)反應(yīng)、粘結(jié)等的曝光裝置在密閉
容器內(nèi)具有放電燈，該密閉容器在一個(gè)面上具有窗部件，所述曝光裝置將 從所述放電燈發(fā)出的所需波長(zhǎng)區(qū)域的光從窗部件導(dǎo)向被處理物的表面，在 被處理物的表面上通過(guò)光化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行處理。例如，光清洗用曝光裝置是 除去粘附于液晶面板表面的有機(jī)物、無(wú)用的抗蝕劑等雜質(zhì)的裝置，隨著作 為被處理物的液晶面板的大型化，在其制造工序中使用的曝光裝置所具有 的窗部件也大型化。因此，與窗部件構(gòu)成一體的濾波器的面積也大型化。
根據(jù)日本專利特開(kāi)平9一127300號(hào)公報(bào)(參照專利文獻(xiàn)1)的記載，例如在 以紫外線硬化為目的而使用的曝光裝置中，所述濾波器用作熱線切割濾波 器，其材料使用透光性的石英玻璃等，通常由一塊材料制成。 專利文獻(xiàn)l:日本專利特開(kāi)平9一127300號(hào)公報(bào)
然而，即使窗部件的面積大型化，窗部件對(duì)厚度均勻性的要求沒(méi)有變 化。為了實(shí)現(xiàn)大型且厚度均勻的窗部件，必須使該窗部件的面中任意部位 具有相同的光學(xué)特性，這就造成制造技術(shù)難度增大。由于該制造難度的增 大，因此有可能對(duì)制造用于液晶面板制造工藝的制造設(shè)備時(shí)的成品合格率 產(chǎn)生影響。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種具有制造成品合格率良好的窗部件的曝光裝置。
本發(fā)明的曝光裝置，包括電極，其配置在玻璃管內(nèi)的放電空間內(nèi)，在所 述玻璃管內(nèi)封入有稀有氣體、水銀和鹵素金屬；電源，其與所述電極連接，用 于提供點(diǎn)燈所需的電力；以及濾波器，其用于對(duì)所述點(diǎn)燈產(chǎn)生的光僅使特定波 長(zhǎng)帶域透射，其特征在于，所述濾波器由多個(gè)瓦狀濾波器彼此無(wú)間隙地接觸組 合而成。
技術(shù)方案2所述的本發(fā)明是在技術(shù)方案1中，其特征在于，所述瓦狀濾波 器在整周上具有朝垂直下方傾斜延伸的端面，相對(duì)于一方的所述瓦狀濾波器， 相鄰的另一方以背面朝上的形態(tài)配置，以使相鄰的所述端面的斜面彼此接觸。
技術(shù)方案3所述的本發(fā)明是在技術(shù)方案1或2中，其特征在于，所述瓦狀
濾波器為大致板狀，形成為多邊形。
采用本發(fā)明，能提供一種具有制造成品合格率良好的窗部件的曝光裝置。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的曝光裝置的概略結(jié)構(gòu)的剖視圖。 圖2是表示圖1所示的曝光裝置中使用的濾波器的配置例的曝光裝置的主 要部分剖視圖。
圖3是表示圖1所示的曝光裝置中使用的濾波器的配置例的俯視圖。 圖4是表示圖1所示的曝光裝置中使用的濾波器的另一配置例的俯視圖。 (符號(hào)說(shuō)明) 1曝光裝置 2燈
3反射板 4框體 5玻璃板 6濾波器 9接合部 10瓦狀濾波器
具體實(shí)施例方式
圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的曝光裝置的概略結(jié)構(gòu)的剖視圖。該 曝光裝置1包括構(gòu)成該曝光裝置1的本體的框體4、配置在該框體4內(nèi)部
的燈2、反射板3、使從燈2向框體4外部發(fā)出的光透射的玻璃板5、以及 與該玻璃板5的面相對(duì)配置的濾波器6。該圖1所示的曝光裝置1具有用于 將紫外線向?qū)ο笪镎丈涞慕Y(jié)構(gòu)，例如用于液晶面板制造工序中的光清洗工 序，該光清洗工序用于利用紫外線照射處于制造過(guò)程中的液晶面板而除去 雜質(zhì)。
曝光裝置1在其內(nèi)部具有多個(gè)用于產(chǎn)生紫外線的燈2。對(duì)該燈2適用 金屬鹵素?zé)?，其在由玻璃管等形成的中空管?nèi)封入有發(fā)光用稀有氣體、水 銀和鹵素金屬，并配置有用于施加電壓的未圖示的電極。另外，利用電源 對(duì)燈2的電極施加電壓來(lái)發(fā)出紫外線。
從各個(gè)燈2發(fā)出的紫外線到達(dá)配置在燈2背面的反射板3后反射，朝 曝光裝置1的外部方向聚光。反射板3的表面實(shí)施了鏡面精加工，與燈2 等間隔地配置。例如，反射板3配置在與燈2的圓筒面等間隔的圓周位置 上。
從燈2直接發(fā)出的紫外線與經(jīng)反射板3反射而聚光的紫外線一起射入 濾波器6。濾波器6最好具有僅透射波長(zhǎng)為300nm以下的光的特性。具有該 濾波器6，則可切斷從燈2照射出的300nm以上的無(wú)用波長(zhǎng)的光，將對(duì)光清 洗有效的185nm和254nra的光高效地向?qū)ο笪镎丈洹?br> 該濾波器6可使用一般公知的吸收玻璃，作為其組成的一例可從Si02、 B203、 P205、 A1203、 "20、 Na20、 K20、 Rb20、 Cs20、 MgO、 CaO、 ZnO、 BaO、 SrO、 PbO、 Zr02、 La203、 Y203、 Ta203和Gd203中進(jìn)行選擇，并以特定的 比例組合而成。
圖2是用于說(shuō)明圖1所示的曝光裝置中使用的濾波器6的構(gòu)造的剖視圖。
圖2中，濾波器6通過(guò)將多個(gè)瓦狀濾波器10組合后配置在玻璃板5的表面上而構(gòu)成。玻璃板5可透射紫外線，不具有濾波器的功能，由其支撐
多個(gè)瓦狀濾波器IO。玻璃板5的整個(gè)周緣部由支撐肋8支撐，該支撐肋8 與框體4構(gòu)成一體。支撐肋8的開(kāi)口部分構(gòu)成曝光裝置的開(kāi)口部22，從濾 波器6透射后的紫外線從此處向外部照射。
由多個(gè)瓦狀濾波器10組合而成的濾波器6與玻璃板5的表面無(wú)間隙地 彼此接觸配置。濾波器6的整個(gè)周緣部被框體4所具有的按壓肋7保持。
瓦狀濾波器10它們的周端面彼此無(wú)間隙地接觸，且其接觸面9形成為 在與瓦狀濾波器10的表面垂直的方向上相互重疊。為了形成這樣的接觸面 9，例如將瓦狀濾波器10的四個(gè)端面斜向切除以使端面分別形成斜面，從 而用相對(duì)于瓦狀濾波器10的表面垂直的面切斷瓦狀濾波器10后得到的垂 直截面呈大致梯形。對(duì)于這樣的瓦狀濾波器10，將與其相鄰的瓦狀濾波器 IO正背面翻轉(zhuǎn)地配置，將它們組合配置成相鄰的瓦狀濾波器IO彼此之間的 斜面相互重疊。通過(guò)像這樣將瓦狀濾波器IO相鄰配置以使它們的周端面重 疊，能防止紫外線不從瓦狀濾波器10透射而從接合部分的間隙直接向外部 泄漏。
圖3是圖2所示的濾波器6的俯視圖。該濾波器6是通過(guò)將正方形的 瓦狀濾波器10以沒(méi)有間隙的形態(tài)鋪設(shè)在玻璃板5上而構(gòu)成的。
瓦狀濾波器IO形成為正方形，其四個(gè)端面斜向形成。該斜向形成的端 面重疊接觸而形成接觸面9。由于該接觸面9由相鄰的瓦狀濾波器10的兩 個(gè)斜面形成，因而在與瓦狀濾波器10的平面垂直的方向上不會(huì)產(chǎn)生間隙， 也不會(huì)產(chǎn)生紫外線的光泄漏。由于端面斜向形成，因此在配置瓦狀濾波器 10時(shí)，即使配置位置產(chǎn)生稍許偏差，相鄰的瓦狀濾波器IO的緣部斜面的重 疊產(chǎn)生稍許錯(cuò)位，也不會(huì)產(chǎn)生間隙，因而不會(huì)發(fā)生光泄漏。
圖4是用于說(shuō)明濾波器6的變形例的俯視圖。圖3所示的瓦狀濾波器 IO為正方形，但在圖4中，鋪設(shè)了正六邊形的瓦狀濾波器21。通過(guò)該瓦狀 濾波器21的集合構(gòu)成濾波器20。多個(gè)瓦狀濾波器21彼此接觸地組合，配 置在圖2所示的玻璃板5的表面上。
瓦狀濾波器21的六個(gè)端面與瓦狀濾波器IO相同，分別斜向形成。因此，即使產(chǎn)生稍許的配置錯(cuò)位，通過(guò)相鄰的端面彼此的重疊也可預(yù)防光泄漏。
濾波器20的端面因六邊形的瓦狀濾波器21的組合而使邊部形狀不定 形，但通過(guò)將按壓肋7的開(kāi)口部22的開(kāi)口面積做成小于濾波器20，就可防 止該不定形部分的影響。
本實(shí)施形態(tài)中對(duì)瓦狀濾波器10、 21進(jìn)行了說(shuō)明，但其形狀并不局限于 正方形和正六邊形， 一般來(lái)說(shuō)只要是多邊形即可。在使用這樣的多邊形時(shí)， 最好對(duì)多邊形的頂點(diǎn)部分的角實(shí)施倒角加工，這樣可防止角部分沖突時(shí)產(chǎn) 生缺損。
由于能將多個(gè)瓦狀濾波器21組合來(lái)構(gòu)成濾波器6，因而能容易地制造 濾波特性均勻且成品合格率高的瓦狀濾波器6，從而使由它們組合而成的濾 波器6的制造成品合格率也良好。
采用以上說(shuō)明的實(shí)施形態(tài)，能提供一種具有制造成品合格率良好的窗 部件的曝光裝置。
權(quán)利要求
1. 一種曝光裝置，包括電極，該電極配置在玻璃管內(nèi)的放電空間內(nèi)，在所述玻璃管內(nèi)封入有稀有氣體、水銀和鹵素金屬；電源，該電源與所述電極連接，用于提供點(diǎn)燈所需的電力；以及濾波器，該濾波器用于對(duì)所述點(diǎn)燈產(chǎn)生的光僅使特定波長(zhǎng)帶域透射，其特征在于，所述濾波器由多個(gè)瓦狀濾波器彼此無(wú)間隙地接觸組合而成。
2. 如權(quán)利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述瓦狀濾波器在整 周上具有朝垂直下方傾斜延伸的端面，相對(duì)于一方的所述瓦狀濾波器，相 鄰的另一方以背面朝上的形態(tài)配置，以使相鄰的所述端面的斜面彼此接觸。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的曝光裝置，其特征在于，所述瓦狀濾波器 為大致板狀，形成為多邊形。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具有制造成品合格率良好的窗部件的曝光裝置。濾波器(6)通過(guò)將多個(gè)瓦狀濾波器(10)組合后配置在玻璃板(5)的表面上而構(gòu)成。濾波器(6)在玻璃板(5)的表面上無(wú)間隙地彼此接觸配置，其整周端部被框體(4)所具有的按壓肋(7)保持。瓦狀濾波器(10)的端部被斜向切除以使端面分別形成斜面，從而瓦狀濾波器(10)的垂直截面呈大致梯形。將這樣的瓦狀濾波器(10)以端部彼此無(wú)間隙地接觸的形態(tài)鋪設(shè)在玻璃板(10)上，它們的接觸面(9)形成為在上下相互重疊。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101303538SQ20081009920
公開(kāi)日2008年11月12日 申請(qǐng)日期2008年5月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月11日
發(fā)明者鈴木俊也 申請(qǐng)人:哈利盛東芝照明株式會(huì)社