專利名稱：一種光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及光刻機的安裝調(diào)平裝置領域，尤其涉及可用于調(diào)平光刻機投影 物鏡的使用柔性塊的調(diào)平裝置。
背景技術：
對大規(guī)模集成電路的制造工藝過程來說，投影光刻是最為關鍵的工藝，需 要用到投影光刻機，而投影物鏡就是投影光刻機的核心，其性能直接決定了光 刻的圖形傳遞能力。為保證投影物鏡擁有良好的圖形傳遞能力，那么相應對投 影物鏡就會有很高的安裝精度要求。對投影物鏡的安裝要求包括對投影物鏡頂 平面的調(diào)平精度要求。通常對投影物鏡頂平面的調(diào)平采用機械安裝工藝的方法。此方法可以采用 修磨墊片的方法來實現(xiàn)調(diào)平。先通過高分辨力的水平測量儀測出被測量基準面 的水平度，隨后把測量出的水平度與期望值進行比較，確定安裝基準面下相應 的各個墊片的修磨量，經(jīng)過修磨后使水平度達到期望值。采用這種方式可達到 比較高的水平度要求，但是整個調(diào)平過程也比較繁瑣。為實現(xiàn)這些高精密部件 的安裝，機械上也常采用螺紋雙向調(diào)節(jié)的方式，同樣先是通過高分辨力的水平 測量儀測出被測量基準面的水平度，隨后裝配人員根據(jù)測出值與期望值之間的 偏移量來調(diào)節(jié)相應的螺紋結構，以達到期望的水平度要求。這種方式雖然不需 像修磨墊片方法那樣重復加工-安裝-加工-安裝的調(diào)平過程，可以實時在線地調(diào) 出所要求的水平度要求，但是需要提供具有螺紋調(diào)節(jié)裝置的安裝底板，結構設 計上相對比較復雜。上述的兩種投影物鏡的安裝方法，不能為投影物鏡提供抗 外界振動或沖擊的作用。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置，可克服修磨墊 片的調(diào)平裝置存在的繁瑣的調(diào)平過程的問題和螺紋雙向調(diào)節(jié)的調(diào)平裝置存在的鏡面腐蝕雕刻凹版工藝 技術領域本發(fā)明涉及一種印刷凹版的制造工藝，尤其涉及一種鏡面腐蝕雕刻凹 版工藝。
背景技術：
現(xiàn)有的印刷雕刻凹版制造方法通常有傳統(tǒng)手工雕刻、塑料焊拼凹版 制作工藝該工藝耗時達數(shù)月之久，要求有高素質(zhì)的雕刻師，成本高昂。 醇洗版雕刻凹版制作工藝該工藝設備與材料依靠進口，并且還要制作中 間過橋版，再通過電鑄制作上機版。相比本工藝，它們的缺點是工藝流 程復雜，工藝周期長，成本高。應用領域本發(fā)明涉及一種雕刻凹印的制版工藝中，尤其涉及一種f竟面腐t蟲雕亥U 凹版工藝。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是一種印刷凹版的制造工藝，它通過在版材表面進行絲 印感光油墨，再使用腐蝕液腐蝕制造出凹紋，這種工藝在保證凹版質(zhì)量的 前提下可大大縮短雕刻凹版的制造周期并降低制造成本。本發(fā)明是這樣來實現(xiàn)的，其工藝流程為挑選版材后進行表面拋光； 在版材表面絲印感光油墨；通過曬版后再進行顯影及烤版；檢修后進行腐 蝕，產(chǎn)生凹紋；再進行脫膠處理脫去版面所有藥膜和漆片；然后進行凹版 鍍鉻；最后對版材進行檢修及裁切；根據(jù)圖紋的結構層次，可分次套曬腐 蝕；根據(jù)圖紋線條的粗細，進行底部加網(wǎng)處理；曬版及底部加網(wǎng)程序均需 進行設計與出片。絲印感光油墨過程中先利用絲印機將感光油墨滿版印刷在版材表面， 再將涂有感光油墨的版材進行烘烤。曬版即是按照印刷機型要求，確定版 面規(guī)距、咬口位置，軟片的藥膜面與版的墨層相貼合，曬版抽氣，利用紫 外線燈進行曬版。顯影是利用弱堿性水溶液作為顯影劑，并配合羊毛刷輕 輕擦拭，直至未見光部位完全裸露出銅層；用清水沖洗顯好的印版，將版 面的殘膠洗去，擦凈版面水份并吹干；再經(jīng)老化處理，增強感光膠與版基 的結合力，同時提高感光膠的抗腐蝕能力。檢修是在腐蝕前檢査測量版面 規(guī)格、鏡檢版紋還原性、有圖文有無發(fā)悶及多次套曬的吻合情況。檢査版 面圖紋缺損情況，有無斷線、少線、多線，用蟲膠或稀釋后的感光油墨進請參閱

圖1,本發(fā)明的光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置，用于調(diào)平帶有安裝法蘭的投影物鏡2。該調(diào)平裝置包括安裝基板1，柔性塊3、固定件和安裝件。柔 性塊3前端通過固定件與投影物鏡2的安裝法蘭剛性聯(lián)接，柔性塊3底座通過 安裝件安裝在安裝基板1上。柔性塊3詳細的結構圖請參閱圖2。柔性塊3前端 中部軸向開有第一狹長槽21，柔性塊3后端與第一狹長槽31相向方向開有第二 狹長槽32。柔性塊3還包括自柔性塊后端面延伸出的兩個凸出的受力塊33和 34，還有一個可控制柔性塊3前端翹起和壓下的調(diào)節(jié)桿。柔性塊3的調(diào)節(jié)桿安 裝在兩個受力塊33和34上。固定件為若干投影物鏡固定螺釘4，安裝件為若干 柔性塊安裝螺4丁5。柔性塊3上調(diào)節(jié)桿由一雙頭螺柱6， 一對前端翹起調(diào)節(jié)螺母 7， 一對前端壓下調(diào)節(jié)螺母8組成。 一對翹起調(diào)節(jié)螺母7安裝在雙頭螺柱6的兩 端，位于兩個調(diào)節(jié)受力塊33和34的外側(cè)， 一對前端壓下調(diào)節(jié)螺母8安裝在一 對前端翹起螺母7之間，位于兩個受力塊33和34的內(nèi)側(cè)。如上所述柔性塊3 和投影物鏡2以及安裝基板1之間的連接均屬于剛性連接，如果柔性塊前端發(fā) 生變形，不僅會使投影物鏡2安裝法蘭Rx、 Ry發(fā)生變動，同時也會改變投影物 鏡2投影中心的X、 Y位置。在柔性塊3前端上表面縱向開一凹槽9，凹槽9的 橫截面為半圓形，這樣可形成一彈性支點來解決柔性塊3與安裝基板1和投影 物鏡2的安裝法蘭之間剛性連接帶來過約束的弊端。為實現(xiàn)簡單的調(diào)平結構， 采用機械設計中最基本的三點調(diào)平結構。請參閱圖1，這樣該調(diào)平裝置包括三個 柔性塊2，三個柔性塊2等圓周均布地固定在^R影物4竟2的安裝法蘭和安裝基板 l上。在對投影物鏡2頂平面進行調(diào)平時，通過高分辨力的水平測量儀測出投影 物鏡2測量基準面的水平度并與期望的水平度值進行比對后，旋動雙頭螺柱6 兩端的前端翹起調(diào)節(jié)螺母7,使得對受力塊23和24產(chǎn)生壓縮其間距的作用力， 從而柔性塊3前端翹起。由柔性塊3前端的翹起使得投影物鏡2產(chǎn)生相應的Z 方向上正位移；旋動雙頭螺柱6上的前端壓下調(diào)節(jié)螺母8，使得對受力塊23和 24產(chǎn)生增大其間距的作用力，從而使柔性塊3前端壓下。由柔性塊3前端的壓 下使得投影物鏡2產(chǎn)生相應的Z方向上的負位移。為精確控制由受力塊23和24 的受力引起的柔性塊3前端的位移可通過調(diào)節(jié)柔性塊3的四個參數(shù)值Lp L2、 D，、 D2來進行優(yōu)化，請參閱圖3。通過調(diào)節(jié)調(diào)平裝置的三個柔性塊3的調(diào)節(jié)桿使得投影物鏡2的頂平面平面度達到期望值要求。柔性塊3前端開有第一狹長 槽21，柔性塊3后端與第一狹長槽31相向方向開有第二狹長槽32，狹長槽31 和32既可作為受力塊33和34受力時的彈性支點，同時可作為減振結構避免外 界的振動和沖擊干擾給投影物鏡帶來的損害。
權利要求
1、一種光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置，用于調(diào)平帶有安裝法蘭的投影物鏡，其特征在于，所述調(diào)平裝置包括安裝基板，若干柔性塊，安裝件和固定件，所述柔性塊前端通過固定件與所述投影物鏡的安裝法蘭連接，所述柔性塊底座通過安裝件安裝在所述安裝基板上；所述柔性塊前端開有第一狹長槽，所述柔性塊后端與第一狹長槽相向方向開有第二狹長槽；所述柔性塊還包括自所述柔性塊后端面延伸出的兩個凸出的受力塊和一個可控制所述柔性塊前端翹起和壓下的調(diào)節(jié)桿，所述調(diào)節(jié)桿安裝在所述兩個受力塊上。
2、 如權利要求1所述的光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置，其特征在于，它包括三 個柔性塊，所述三個柔性塊等圓周均布地固定在所述投影物鏡的安裝法蘭和所 述安裝基板上。
3、 如權利要求1所述的光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置，其特征在于，所述柔性 塊前端上表面縱向開有一凹槽。
4、 如權利要求3所述的光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置，其特征在于，所述柔性 塊前端上表面縱向開有的凹槽為一橫截面為半圓形的凹槽。
5、 如權利要求1所述的光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié) 桿由一雙頭螺柱， 一對前端翹起調(diào)節(jié)螺母， 一對前端壓下調(diào)節(jié)螺母組成；所述 一對翹起調(diào)節(jié)螺母安裝在所述雙頭螺柱的兩端，位于所述兩個受力塊的外側(cè)， 所述一對前端壓下調(diào)節(jié)螺母安裝在所述一對前端翹起調(diào)節(jié)螺母之間，位于所述 兩個受力塊的內(nèi)側(cè)。
6、 如權利要求1所述的光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置，其特征在于，所述固定 件為若干投影物鏡固定螺釘，所述安裝件為若干柔性塊安裝螺釘。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光刻機投影物鏡安裝調(diào)平裝置，用于調(diào)平帶有安裝法蘭的投影物鏡。它包括安裝基板，三個柔性塊，安裝件和固定件。柔性塊前端通過固定件與投影物鏡的安裝法蘭連接，柔性塊底座通過安裝件安裝在安裝基板；柔性塊前端中部開有第一狹長槽，柔性塊后端與第一狹長槽相向方向開有第二狹長槽，柔性塊后端裝有一調(diào)節(jié)桿。該調(diào)平裝置采用三個等圓周均布的柔性塊，調(diào)節(jié)柔性塊的調(diào)節(jié)桿實現(xiàn)柔性塊前端的翹起和壓下以調(diào)節(jié)投影物鏡水平度，并利用兩狹長槽形成的彈性支點避免外界的振動和沖擊給投影物鏡帶來的損害。
文檔編號G03F7/20GK101226345SQ20081003338
公開日2008年7月23日 申請日期2008年1月31日 優(yōu)先權日2008年1月31日
發(fā)明者唐海明, 朱岳彬 申請人:上海微電子裝備有限公司