技術(shù)編號：2739149
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光刻機的安裝調(diào)平裝置領(lǐng)域，尤其涉及可用于調(diào)平光刻機投影 物鏡的使用柔性塊的調(diào)平裝置。背景技術(shù)對大規(guī)模集成電路的制造工藝過程來說，投影光刻是最為關(guān)鍵的工藝，需 要用到投影光刻機，而投影物鏡就是投影光刻機的核心，其性能直接決定了光 刻的圖形傳遞能力。為保證投影物鏡擁有良好的圖形傳遞能力，那么相應(yīng)對投 影物鏡就會有很高的安裝精度要求。對投影物鏡的安裝要求包括對投影物鏡頂 平面的調(diào)平精度要求。通常對投影物鏡頂平面的調(diào)平采用機械安裝工藝的方法。此方法可以采...
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