專(zhuān)利名稱：：光聚合性樹(shù)脂層壓體及帶黑矩陣圖案的基板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及對(duì)于液晶顯示器用帶黑矩陣的基板以及使用其的濾色器的制造有用的制造方法。
背景技術(shù)：
：液晶顯示器中具有一般被稱作濾色器的將背照光著色的部件。濾色器由基板、和存在于基板上的紅、綠、藍(lán)的彩色像素以及將它們隔開(kāi)的黑矩陣構(gòu)成。黑矩陣通常為為了防止TFT的誤操作、提高對(duì)比度、或防止混色等目的，而在各彩色像素間配置成格子狀。以下簡(jiǎn)單說(shuō)明濾色器的通常的制造方法。首先，利用液態(tài)或膜狀的材料在由玻璃基材構(gòu)成的基板上形成黑矩陣形成用材料層。接著，利用光刻法圖案形成為所需形狀。然后涂布彩色光阻用液態(tài)材料，利用光刻法按照紅、藍(lán)、綠各像素分別進(jìn)行曝光、顯影，從而制造濾色器。但是，該方法由于需要按照彩色光阻層的每種顏色重復(fù)3次光刻法，因此耗費(fèi)成本。另外，由于工序變長(zhǎng)，因此具有制造效率降低的問(wèn)題。為了彌補(bǔ)這些缺點(diǎn)，提出了利用噴墨方式印刷彩色光阻層的方法(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)l)。通過(guò)該方式，可以減少光刻的工序，且可以一次性地形成各種顏色，因而能夠大幅度降低制造成本。將該方法的一例示于圖l。圖l(a)表示在玻璃基板4上形成黑矩陣層3，利用噴墨頭l賦予彩色光阻油墨2的工序。對(duì)各基質(zhì)賦予彩色光阻油墨(以下也稱作"油墨")(圖l(b))后，根據(jù)需要進(jìn)行干燥處理，通過(guò)光照射或熱處理或兩者的并用，使抗蝕劑油墨固化(圖1(C))。該方法中，黑矩陣層的上面(與基板的接觸面相對(duì)的面)為了防止油墨的混色，尋求排斥油墨、所謂的疏油墨性。另一方面，側(cè)面優(yōu)選與油墨的潤(rùn)濕性良好者。其原因在于，如果側(cè)面排斥油墨，則油墨與黑矩陣的界面處產(chǎn)生空隙，成為脫色的原因。出于與這些相反的目的，專(zhuān)利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了在玻璃基板上涂布干燥黑色抗蝕劑，在黑色抗蝕劑層上利用旋涂法再次涂布干燥疏油墨處理劑的方法。專(zhuān)利文獻(xiàn)3中公開(kāi)了在作為黑色樹(shù)脂層的遮光層上層壓含有特定氟化合物的光透過(guò)性樹(shù)脂層的方法。但是，由于在經(jīng)旋涂的表面上再次進(jìn)行旋涂有必要調(diào)整2次膜厚、難以應(yīng)對(duì)近年來(lái)的大型基板化，因此強(qiáng)烈需求通過(guò)更簡(jiǎn)便的方法在黑矩陣層的上面表現(xiàn)疏油墨性的方法。專(zhuān)利文獻(xiàn)4中記載了制作在由光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的轉(zhuǎn)印層與基底膜的界面含有有機(jī)硅成分的轉(zhuǎn)印膜，并層壓在玻璃基板上的方法。但是，在轉(zhuǎn)印層和基底膜的界面含有有機(jī)硅成分的轉(zhuǎn)印膜的制造工序中，需要在涂布了有機(jī)硅成分的膜上成膜光聚合性樹(shù)脂組合物層的工序。成膜光聚合性樹(shù)脂組合物層時(shí)，必須在有機(jī)硅成分上涂布溶劑中溶解有光聚合性樹(shù)脂組合物的光聚合性樹(shù)脂組合物的溶液。因此，當(dāng)有機(jī)硅成分和光聚合性樹(shù)脂組合物的溶液的相容性差時(shí)，難以無(wú)缺陷地在涂布了有機(jī)硅成分的膜上成膜光聚合性樹(shù)脂組合物層。另外，利用有機(jī)硅成分對(duì)黑矩陣層上面賦予疏油墨性時(shí)，由于油墨的成分，疏油墨性并不充分。另一方面，作為膜表面層壓有含氟化合物的膜，專(zhuān)利文獻(xiàn)5記載了干式光致抗蝕劑用膜。但是，由于利用熱將含氟化合物固定在膜上，因此難以將該膜的氟化合物轉(zhuǎn)印于其它材料上并賦予疏油墨性。另外，并未具體記載含氟化合物的膜厚與對(duì)膜上的薄膜抗蝕劑的成膜性的相關(guān)性。作為層壓了含氟化合物的膜的使用例，較多已知脫模膜、表面保護(hù)膜、電子部件用脫模片材、防反射用膜、干膜用保護(hù)膜等膜本身的使用。作為轉(zhuǎn)印含氟化合物的層并用于濾色器制造例的例子，例如專(zhuān)利文獻(xiàn)6~8記載了轉(zhuǎn)印由具有疏油墨性的第l層和具有親油墨性的第2層構(gòu)成的轉(zhuǎn)印層來(lái)制作噴墨用隔壁的例子。這些文獻(xiàn)中公開(kāi)了氟化合物添加于感光性纟對(duì)脂組合物中并作為具有疏油墨性的第1層使用，并且優(yōu)選的膜厚為0.1^iml(im。為了通過(guò)顯影除去該具有疏油墨性的層，必須制成考慮顯影性的配方。因此，第l層表面的疏油墨性并不充分。另外，作為在具有疏油墨性的第1層上形成具有親油墨性的第2層的方法，記載了所謂的公知涂布法。但是，具有疏油墨性的層具有易于排斥該具有親油墨性的材料的性質(zhì)。因而，事實(shí)上難以在具有疏油墨性的層上直接涂布具有親油墨性的層。專(zhuān)利文獻(xiàn)1專(zhuān)利文獻(xiàn)2專(zhuān)利文獻(xiàn)3專(zhuān)利文獻(xiàn)4專(zhuān)利文獻(xiàn)5專(zhuān)利文獻(xiàn)6專(zhuān)利文獻(xiàn)7專(zhuān)利文獻(xiàn)8日本國(guó)特開(kāi)昭59-75205號(hào)^>凈艮日本國(guó)特開(kāi)平09-203803號(hào)7>凈艮日本國(guó)特開(kāi)平07-035916號(hào)公報(bào)日本國(guó)特開(kāi)2002-131525號(hào)公報(bào)曰本國(guó)特開(kāi)2004-53897號(hào)公報(bào)日本國(guó)特開(kāi)2002-139612號(hào)公報(bào)日本國(guó)特開(kāi)2002-139613號(hào)公報(bào)日本國(guó)特開(kāi)2002-139614號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問(wèn)題本發(fā)明的目的在于，以簡(jiǎn)便的方法形成圖案形成性優(yōu)異、僅黑矩陣上面的疏油墨性優(yōu)異的黑矩陣圖案。用于解決問(wèn)題的方案為了解決上述課題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)在支撐膜上按順序?qū)訅河刑囟ǖ暮衔飳?、光聚合性?shù)脂層的光聚合性樹(shù)脂層壓體以及使用其的帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，進(jìn)而完成本發(fā)明。即，本發(fā)明如下所述。(1)一種光聚合性樹(shù)脂層壓體，，其為在支撐膜上按順序?qū)訅河泻衔飳印⒐饩酆闲詷?shù)脂層的光聚合性樹(shù)脂層壓體，其特征在于，該含氟化合物層由每lm2支撐膜上涂布l~60mm3的含有30100質(zhì)量％含氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成，且相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上，該光聚合性樹(shù)脂層由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成。(2)上述(1)所述的光聚合性樹(shù)脂層壓體，其特征在于，上述含氟化合物為選自由無(wú)定形氟樹(shù)脂、含有含全氟烷基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的共聚寡聚物、氟系涂布劑、氟系表面活性劑、含有通過(guò)電子射線或紫外線固化的固化成分的氟系表面處理劑以及含有熱固化成分的氟系表面處理劑所組成的組中的至少1種。(3)上述(1)所述的光聚合性樹(shù)脂層壓體的制造方法，其特征在于，包含以下工序第一層壓工序，在支撐膜上層壓由每ln^支撐膜上涂布160mm3的含有30100質(zhì)量％含氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成、且相對(duì)于二曱苯的接觸角為20度以上的含氟化合物層；第二層壓工序，在該含氟化合物層上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層。(4)上述(l)所述的光聚合性樹(shù)脂層壓體的制造方法，其特征在于，包含以下工序第一層壓工序，在第一支撐膜上層壓由每11112第一支撐膜上涂布160mm3的含有30100質(zhì)量。/o含氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成、且相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上的含氟化合物層；第二層壓工序，在第二支撐膜上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層；第三層壓工序，貼合該光聚合性樹(shù)脂層面和該含氟化合物層面。(5)—種帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其至少具有以下工序?qū)訅汗ば?，將上?1)或(2)所述光聚合性樹(shù)脂層壓體層壓到基板上以使光聚合性樹(shù)脂層與基板相接觸；曝光工序，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線；顯影工序，將未曝光的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去。(6)—種帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其至少具有以下工序第一層壓工序，在支撐膜上層壓由每1!112支撐膜上涂布160mm3的含有30~100質(zhì)量％含氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成、且相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上的含氟化合物層；第二層壓工序，在基板上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層；第三層壓工序，通過(guò)貼合該光聚合性樹(shù)脂層面和該含氟化合物層面，獲得在基板上層壓有上述(1)所述的光聚合性樹(shù)脂層壓體的基板；曝光工序，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線；顯影工序，將未曝光的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去。(7)上述(6)所述的帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其特征在于，含氟化合物為選自由無(wú)定形氟樹(shù)脂、含有含全氟烷基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的共聚寡聚物、氟系涂布劑、氟系表面活性劑、含有通過(guò)電子射線或紫外線固化的固化成分的氟系表面處理劑以及含有熱固化成分的氟系表面處理劑所組成的組中的至少l種。(8)—種帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其至少具有以下工序第一層壓工序，在基板上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層；曝光工序，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線；顯影工序，將未曝光部的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去；第二層壓工序，在帶黑矩陣圖案的基板的黑矩陣圖案面上層壓設(shè)置了由在支撐膜上每lii^支撐膜上涂布l60mmS的含有301OO質(zhì)量％含氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成、且相對(duì)于二曱苯的接觸角為20度以上的含氟化合物層的層壓體的該含氟化合物層側(cè)。(9)如上述(8)所述的帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其特征在于，含氟化合物為選自由無(wú)定形氟樹(shù)脂、含有含全氟烷基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的共聚寡聚物、氟系涂布劑、氟系表面活性劑、含有通過(guò)電子射線或紫外線固化的固化成分的氟系表面處理劑以及含有熱固化成分的氟系表面處理劑所組成的組中的至少l種。(10)—種濾色器的制造方法，其特征在于，包含以下工序利用上述(5)(9)任一項(xiàng)所述的制造方法制造帶黑矩陣圖案的基板的工序；和，利用噴墨方式在該帶黑矩陣圖案的基板的至少未被黑矩陣圖案覆蓋的部分的一部分上印刷熱敏性或光聚合性的彩色油墨的印刷工序。發(fā)明的效果本發(fā)明能夠以簡(jiǎn)單的方法形成對(duì)于利用噴墨法制造濾色器所需要的圖案形成性優(yōu)異、黑矩陣圖案的上面顯示疏油墨性的帶黑矩陣圖案的基板。通過(guò)使用本發(fā)明中制造的帶黑矩陣圖案的基板，可以防止彩色光阻油墨的混色，可以合格率高地制造濾、色"^S"。圖1為說(shuō)明利用噴墨方式印刷彩色光阻層的方法的概略圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明.1噴墨頭2彩色光阻油墨3黑矩陣層4玻璃基板具體實(shí)施方式以下具體地說(shuō)明本發(fā)明。(1)光聚合性樹(shù)脂層壓體光聚合性樹(shù)脂層壓體為在支撐膜上依次含有含氟化合物層、光聚合性樹(shù)脂層的光聚合性樹(shù)脂層壓體，該含氟化合物層為由含有30100質(zhì)量。/。含氟化合物的組合物構(gòu)成，相對(duì)于二曱苯的接觸角為20度以上，層壓量是每lm2為160mm3,該光聚合性樹(shù)脂層由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成。(a)含氟化合物層含氟化合物層的層壓量是每11112支撐膜為160mm3。層壓量少于lmn^時(shí)，無(wú)法充分地獲得黑矩陣圖案表面的疏油墨性，因此不優(yōu)選。從疏油墨性和光聚合性樹(shù)脂的顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，在基板上的光聚合性樹(shù)脂層上形成含氟化合物層壓膜后進(jìn)行顯影而制作帶含氟化合物層的黑矩陣圖案時(shí)，有必要為60mm3"下。另外，從對(duì)曝光顯影所獲得的帶含氟化合物層的黑矩陣圖案進(jìn)行后烘焙時(shí)的對(duì)玻璃基板的影響的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選為40mmS以下、進(jìn)一步優(yōu)選為12mm3以下。對(duì)上述玻璃基板的影響是指，后烘焙時(shí)黑矩陣表面的含氟化合物成分由于熱在玻璃基板上稍微引起疏油墨性，通過(guò)測(cè)定相對(duì)于.玻璃基板上的油墨的接觸角可以求得。接觸角是指由微量注射器在樣品上滴加1微升液滴，2秒鐘后利用接觸角測(cè)定裝置(協(xié)和界面科學(xué)(林)制CA-VE型)測(cè)定的值。另外，從在含氟化合物層壓膜上直接涂敷光聚合性樹(shù)脂層時(shí)的成膜性觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選為4mn^以下。含氟化合物層的層壓量每11112為l~60mm3。每lm2的體積可以通過(guò)測(cè)定含氟化合物層的厚度T(mm)、計(jì)算"含氟化合物層的厚度T(mm)xIOOO(mm)xlOOO(mm)，，而求得。含氟化合物層的厚度在含氟化合物層厚達(dá)30nm左右時(shí)，例如可以利用r>3—A777乂b乂>7/>司制的一妻觸式高度計(jì)7A777r'7:/等測(cè)定在平坦的玻璃基才反上層壓含氟化合物層時(shí)的高度。含氟化合物層的厚度非常薄時(shí)，從上述接觸式高度計(jì)的精確度或基板的平坦性理由出發(fā)，難以簡(jiǎn)單地測(cè)量。含氟化合物層的厚度非常薄時(shí)，可以另外預(yù)先求得含氟化合物層的厚度較厚時(shí)的、具有含氟化合物的組合物的溶液的固態(tài)成分重量分率與含氟化合物層的厚度的關(guān)系，由具有目標(biāo)含氟化合物的組合物的溶液的固態(tài)成分重量分率求得。另外，含氟化合物層只要相對(duì)于后述二甲苯的接觸角為20度以上，則沒(méi)有必要是均一的層，可以存在《斂細(xì)的孔穴、可以是篩網(wǎng)狀、也可以是具有含氟化合物的組合物分布成島狀等。因此，特別在含氟化合物層的層壓量少時(shí)，一般不會(huì)由含氟化合物層的厚度直接定量含氟化合物層的量。含氟化合物層有必要相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上。相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上時(shí)，則由于黑矩陣表面的疏油墨性增高，因此優(yōu)選。更優(yōu)選為35度以上、進(jìn)一步優(yōu)選為50度以上。另外，從含氟化合物層與光聚合性樹(shù)脂層的相容性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選相對(duì)于二甲苯的接觸角為90度以下、更優(yōu)選為80度以下。相對(duì)于二甲苯的接觸角越高，則使含有含氟化合物的有機(jī)物層附著于黑矩陣表面時(shí)的黑矩陣表面的疏油墨性越高，所以更優(yōu)選。含有含氟化合物的有機(jī)物層相對(duì)于二曱苯的接觸角可以使用上述接觸角測(cè)定裝置(協(xié)和界面科學(xué)(株)制CA-VE型)測(cè)定。二甲苯在20。C下的表面張力為28.330mN/m,由于噴墨的油墨液滴所用的普通劑的表面張力為50mN/m以下(參照日本國(guó)特開(kāi)2005-352105號(hào)公報(bào))，因此本發(fā)明中將二曱苯假定為噴墨用的溶劑。噴墨的油墨液滴所用的溶劑為水時(shí)，則相對(duì)于水的接觸角優(yōu)選為90~130度、更優(yōu)選為100120度。含氟化合物層由含有30~100質(zhì)量％含氟化合物的組合物構(gòu)成。含氟化合物層中的含氟化合物的比例為30質(zhì)量％以上時(shí)，含氟化合物層相對(duì)于二曱苯的接觸角增高而優(yōu)選，使含氟化合物層附著在黑矩陣表面時(shí)的黑矩陣表面的疏油墨性增高，故更為優(yōu)選。更優(yōu)選為50100質(zhì)量％、進(jìn)一步優(yōu)選為70100質(zhì)量％。優(yōu)選如上所述含氟化合物層相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上的含氟化合物的含量。形成含氟化合物層的組合物中除了含氟化合物外，為了使涂布性良好，可以添加增塑劑或添加劑等。形成含氟化合物層的組合物中可以添加通過(guò)電子射線或紫外線固化的固化成分或者通過(guò)熱固化的固化成分。這里所說(shuō)的固化是指通過(guò)利用電子射線、紫外線或熱的反應(yīng)，形成含氟化合物層的組合物中的分子的分子量較反應(yīng)前有所增大；或者通過(guò)利用電子射線、紫外線或熱的反應(yīng)，含氟化合物與光聚合性樹(shù)脂層的反應(yīng)基團(tuán)相結(jié)合。上述含氟化合物優(yōu)選無(wú)定形氟樹(shù)脂、含有含全氟烷基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的共聚寡聚物、氟系涂布劑、氟系表面活性劑、含有電子射線或紫外線固化成分的氟系表面處理劑以及含有熱固化成分的氟系表面處理劑等。作為含有含全氟烷基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的共聚寡聚物的其它的共聚成分，優(yōu)選丙烯酸烷基酯或曱基丙烯酸烷基酯。以下舉出具體例子。作為無(wú)定形氟樹(shù)脂，可以舉出旭賄子公司制A、；7口>(注冊(cè)商標(biāo))、旭硝子公司制的廿4卜77°(注冊(cè)商標(biāo))等。作為以含全氟烷基的(甲基)丙烯酸酯和(曱基)丙烯酸烷基酯為主成分的共聚寡聚物，可以舉出日本油脂公司制乇于、、YA—(注冊(cè)商標(biāo))F系列、夕、、>f《乂工業(yè)/>司制-二夕、、4>(注冊(cè)商標(biāo))、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制>辦、777夕(注冊(cè)商標(biāo))F470系列、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制乂力'77、7夕(注冊(cè)商標(biāo))F480系列、大日本油墨化學(xué)工業(yè)/^司制乂力'77'7夕(注冊(cè)商標(biāo))F110系列等，共聚更優(yōu)選為嵌段共聚。氟系涂布劑可以舉出住友3M7>司制乂《夕(注冊(cè)商標(biāo))EGC1700。作為氟系表面活性劑，可以舉出大日本油墨化學(xué)工業(yè)7>司制>力'77:y夕(注冊(cè)商標(biāo))F114、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制>方、777夕(注冊(cè)商標(biāo))F410系列、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制乂方、77少夕(注冊(cè)商標(biāo))F440系列、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制乂力'77-夕(注冊(cè)商標(biāo))F450、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制>方、77*夕(注冊(cè)商標(biāo))F490系列等。作為含有電子射線或紫外線固化成分的氟系表面活性劑可以舉出才厶乂々、、7廿卩工一,〉3歹司制求！i7才少夕XPF國(guó)3320、工-7r'7夕公司制少《乂7夕X(注冊(cè)商標(biāo))FAMAC-8等。作為含有熱固化成分的氟系表面活性劑，可以舉出住友3M公司制乂《'7夕(注冊(cè)商標(biāo))EGC1720、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制f4、少夕力'一卜、、(注冊(cè)商標(biāo))NH-IO、NH-15等。含氟化合物層的含氟化合物還可以是多種含氟化合物的混合。從含氟化合物層的光透過(guò)性的觀點(diǎn)出發(fā)，由于無(wú)定形氟樹(shù)脂具有其非晶質(zhì)所導(dǎo)致的高的紫外線透過(guò)性(參照文獻(xiàn)旭硝子研究報(bào)告55，2005)，因此優(yōu)選。當(dāng)在光聚合性樹(shù)脂表面層壓疏油墨層時(shí)，從利用曝光光聚合性樹(shù)脂與疏油墨劑易于結(jié)合的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含有烯屬不飽和鍵的含氟化合物。(b)支撐膜支撐膜在剝離支撐膜進(jìn)行曝光工序時(shí)，雖然支撐膜的厚度、透明性沒(méi)有關(guān)系，但更優(yōu)選平坦的。通過(guò)支撐膜進(jìn)行照射活性光線的曝光工序時(shí)，支撐膜優(yōu)選為厚度540pm的透明膜。作為透明的支撐膜，優(yōu)選實(shí)質(zhì)上透過(guò)活性光線的透明有機(jī)聚合物膜，可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯醇膜、聚氯乙烯膜、氯乙烯共聚物膜、聚偏氯乙烯膜、偏氯乙烯共聚物膜、甲基丙烯酸甲酯共聚物膜、聚苯乙烯膜、聚丙棒腈膜、苯乙烯共聚物膜、聚酰胺膜、纖維素衍生物膜、三醋酸纖維素膜、聚丙烯膜等。這些膜還可以使用根據(jù)需要經(jīng)拉伸的膜。有機(jī)聚合物膜的霧度值優(yōu)選為5.0以下。這里所說(shuō)的霧度值(Haze)是表示濁度的值。利用經(jīng)燈照射透過(guò)試樣中的總透過(guò)率T、在試樣中擴(kuò)散散射的光的透過(guò)率D,作為霧度值H二D/Txl00而求得。這些由JIS-1^-7105規(guī)定，利用市售的濁度計(jì)可以容易地測(cè)定。(c)含氟化合物層在支撐膜上的形成方法作為含氟化合物層在支撐膜上的形成方法可以舉出利用浸涂法、邁耶棒涂布法(mayercoating)、凹版涂布法、刮刀涂布法、氣刀涂布法、棒涂法、逗點(diǎn)涂布法、口模涂布法等公知的涂布方法在支撐膜上涂布具有含氟化合物的組合物后，利用加熱處理或紫外線照射等適于含氟化合物的公知方法進(jìn)行干燥或固化的方法。另外，含氟化合物層只要相對(duì)于上述二甲苯的接觸角為20度以上，則沒(méi)有必要是均一的層，可以具有微細(xì)的孔穴、含氟化合物層可以是篩網(wǎng)狀、也可以是具有含氟化合物的組合物分布成島狀。以下，將在支撐膜上形成有含氟化合物層者稱作含氟化合物層壓膜。還可在支撐膜和含氟化合物層之間具有阻氧效果高的層或緩沖層等功能層。作為阻氧效果高的層，可以使用氧透過(guò)性低的乂>知層，例如可以舉出在日本特開(kāi)平10-039133號(hào)乂^報(bào)的(0033)中作為中間層記載的層，優(yōu)選聚乙烯醇或其衍生物、聚乙烯基吡咯烷酮及其衍生物或它們的混合物，厚度優(yōu)選為0.15pm。另外，作為緩沖層，例如可以舉出在日本特開(kāi)平10-039133號(hào)7>凈艮的(0032)中作為石威可;容性熱塑性樹(shù)脂記載的層，特別優(yōu)選軟化點(diǎn)為8(TC以下的堿可溶性熱塑性樹(shù)脂，厚度優(yōu)選為5jim30jim。(d)光聚合性樹(shù)脂層光聚合性樹(shù)脂層可以通過(guò)在支撐膜上或者形成于支撐膜的含氟化合物層上涂布液態(tài)光聚合性樹(shù)脂組合物進(jìn)行干燥而制作。液態(tài)的光聚合性樹(shù)脂組合物可以是含有堿可溶性高分子、具有乙烯性不飽鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑和黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物，還可以使用市售的/'，？夕義卜或黑色抗蝕劑。液態(tài)的光聚合性樹(shù)脂組合物優(yōu)選在制成光聚合性樹(shù)脂層時(shí)不產(chǎn)生疏油墨性的組合物。作為市售的文，少夕k^只卜或黑色抗蝕劑，可以舉出東京應(yīng)化工業(yè)牙土的7、、，夕k^X卜CFPR-BK5000系列、東京應(yīng)化工業(yè)社的7、，？夕kv義卜CFPR-BK8300系列、東京應(yīng)化工業(yè)社的7、，、7夕kS、義卜CFPR-BK8400系列、東京應(yīng)化工業(yè)社的，7夕k、-7卜CFPR-BK8800系列、新日鐵化學(xué)社的石咸顯影型7、、，7夕k5、只卜油墨NSBK系歹'J或V-259BK和V-259BKIS系列、富士膠片工4夕卜口-夕只"Tr卩7/"X"制的力，一乇f4夕(注冊(cè)商標(biāo))CK系列等。作為光聚合性樹(shù)脂組合物，以下說(shuō)明混合堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性單體、黑色顏料、光聚合引發(fā)劑和溶劑及各種添加劑制作時(shí)的光聚合性樹(shù)脂組合物。堿可溶性高分子優(yōu)選共聚有在側(cè)鏈具有羧基的單體和(曱基)丙烯酸系單體。這里(曱基)丙烯酸是指丙烯酸、曱基丙烯酸。側(cè)鏈具有羧基的單體例如可以舉出(甲基)丙烯酸、富馬酸、桂皮酸、巴豆酸、衣康酸、焦檸檬酸、馬來(lái)酸酐、馬來(lái)酸半酯等。堿可溶性高分子中，從顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，共聚側(cè)鏈具有羧基的單體的比例優(yōu)選為5質(zhì)量％以上，從黑色顏料的分散性、抑制顯影后黑色顏料在基板上附著的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為30質(zhì)量％以下。該單體更優(yōu)選共聚5質(zhì)量％20質(zhì)量％。(甲基)丙烯酸系單體可以舉出(甲基)丙烯酸千基酯、(甲基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙蹄酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(曱基)丙烯酸叔丁酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸千酯等(曱基)丙烯酸烷基酯，(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(曱基)丙烯酸2-羥丙酯、單(曱基)丙烯酸縮水甘油酯等側(cè)鏈具有羥基的(曱基)丙烯酸酯，氣曱基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸異冰片酯、(曱基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(曱基)丙烯酸二環(huán)戊二烯酯、(曱基)丙烯酸金剛烷酯等具有脂環(huán)式側(cè)鏈的(曱基)丙烯酸酯，(甲基)丙烯酰胺，(甲基)丙烯腈、(曱基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯等。這里，(曱基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯。上述共聚成分以外，作為單體共聚苯乙烯是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。從耐熱性、黑矩陣圖案的平坦性觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為苯乙烯、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸的共聚物，其中，苯乙烯為2030質(zhì)量％、曱基丙烯酸甲酯為40~60質(zhì)量％、甲基丙烯酸為2030質(zhì)量％的聚合物。從光聚合性樹(shù)脂層的顯影性觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為甲基丙烯酸節(jié)酯與曱基丙烯酸的共聚物，其中，曱基丙烯酸芐酯為7585質(zhì)量％、甲基丙烯酸為15~25質(zhì)量％的共聚物。堿可溶性高分子的重均分子量?jī)?yōu)選為300050000。從顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，分子量?jī)?yōu)選為50000以下，從密合性的觀點(diǎn)出發(fā)，分子量?jī)?yōu)選為3000以上。其重均分子量更優(yōu)選為1000040000。該分子量的測(cè)定使用日本分光(抹)制凝膠滲透色譜法(GPC)(泵Gulliver、PU-1580型；色語(yǔ)柱昭和電工公司制Shodex(注冊(cè)商才示)(KF-807、KF-806M、KF-806M、KF-802.5)4才艮串聯(lián)；流動(dòng)相溶劑四氫呋喃；使用利用聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)樣品(昭和電工司制標(biāo)準(zhǔn)試樣ShodexSTANDARD、SM-105聚苯乙烯))的標(biāo)準(zhǔn)曲線)作為重均分子量(聚苯乙烯換算)求得。堿可溶性高分子優(yōu)選羧基的量以酸當(dāng)量計(jì)為2002000。酸當(dāng)量是指具有1當(dāng)量羧基的線狀聚合物的質(zhì)量。從顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，酸當(dāng)量?jī)?yōu)選為2000以下，從抑制顯影后黑色顏料在基板上附著的觀點(diǎn)出發(fā)，酸當(dāng)量?jī)?yōu)選為200以上。該酸當(dāng)量更優(yōu)選為400900、進(jìn)一步優(yōu)選為500800。予以^兌明，酸當(dāng)量的測(cè)定4吏用平沼產(chǎn)業(yè)(抹)制平沼自動(dòng)滴定裝置(COM-555)，且使用0.1mol/L的氫氧化鈉利用電位差滴定法測(cè)定。堿可溶性高分子優(yōu)選如下合成在利用丙酮、甲乙酮、異丙醇等溶劑稀釋了上述各種單體的混合物的溶液中適量添加苯甲酰過(guò)氧化物、偶氮雙異丁腈等自由基聚合引發(fā)劑，進(jìn)行加熱攪拌，乂人而合成。也有一邊向反應(yīng)液中滴加混合物的一部分、一邊進(jìn)行合成的情況。也有在反應(yīng)結(jié)束后進(jìn)一步加入溶劑、調(diào)整至所需濃度的情況。作為合成方法，除了溶液聚合之外，還可以使用本體聚合、懸浮聚合和乳液聚合。另夕卜，石咸可溶性高分子還可以使用如日本專(zhuān)利3754065號(hào)說(shuō)明書(shū)所記載的在環(huán)氧樹(shù)脂上加成在a，(3-不飽和單羧酸或酯部分具有羧基的a,j3-不飽和單羧酸酯，進(jìn)而與多元酸酐反應(yīng)而合成的環(huán)氧基丙烯酸酯樹(shù)脂；日本專(zhuān)利3268771號(hào)權(quán)利要求l所記載的使苯二曱酸酐與雙酚芴型環(huán)氧丙烯酸酯和四羧酸二酐的反應(yīng)物反應(yīng)的光聚合性不飽和化合物。作為具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物，可以舉出琥珀酸改性季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、苯二甲酸改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、間苯二甲酸改性季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、對(duì)苯二甲酸改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、雙酚A的兩端分別加成有平均2摩爾環(huán)氧丙烷和平均6摩爾環(huán)氧乙烷的聚烷二醇的二甲基丙烯酸酯、雙酚A的兩端分別加成有平均5摩爾環(huán)氧乙烷的聚乙二醇的二曱基丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)(抹)制NK酯BPE-500)、1,6-己二醇二(曱基)丙烯酸酯、1,4-環(huán)己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-二(對(duì)羥苯基)丙烷二(曱基)丙烯酸酯、甘油基三(曱基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、聚氧丙基三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、聚氧乙基三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(曱基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三縮水甘油醚三(甲基)丙烯酸酯、雙酚A二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯和P-羥丙基-p，-(丙烯酰氧基)丙基苯二甲酸酯、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚烷二醇(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(曱基)丙烯酸酯等。光聚合引發(fā)劑優(yōu)選為肟酯化合物。例如可以舉出1-苯基-1,2-丙二酮-2-0-苯甲?；绿?、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟等肟酯類(lèi)，日本國(guó)特表2004-534797號(hào)公報(bào)所記載的化合物。其中，優(yōu)選1-[9-乙基-6-(2-甲基苯曱?；?-9.11,卡唑-3-基]-乙烷-l-肝-O-乙酸酯(西巴特殊化學(xué)品公司制IRGACUREOXE-02)。光聚合性樹(shù)脂組合物中還可以含有將酯化合物以外的光聚合引發(fā)劑、增敏劑、鏈轉(zhuǎn)移劑。光聚合引發(fā)劑例如可以舉出噻噸酮、2,4-二乙基p塞p屯酮、異丙基瘞噸酮、2-氯噻噸酮、2-(鄰氯苯基)-4,5-二笨基咪唑二聚體、2-(鄰氯苯基)-4,5-雙-(間甲氧基苯基)咪唑二聚體、2-(對(duì)曱氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體等2，4，5-三芳基咪唑二聚體類(lèi)。另外，還可以舉出對(duì)氨基二苯甲酮、對(duì)丁基氨基苯曱酮、對(duì)二曱基氨基苯乙酮、對(duì)二曱基氨基二苯曱酮、p,p，-雙(乙基氨基)二苯甲酮、p,p，-雙(二甲基氨基)二苯曱酮[米斯勒酮]、p,p，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、p，p，-雙(二丁基氨基)二苯曱酮等對(duì)氨基苯基酮類(lèi)。另外，還可以舉出2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌等醌類(lèi)，二苯曱酮等芳香族酮類(lèi)，苯偶姻、苯偶姻曱醚、苯偶姻乙醚等苯偶姻醚類(lèi)，9-苯基吖啶等吖啶化合物，2，4,6-三氯-均三喚、2-苯基-4，6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(對(duì)甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯曱基)-均三嗪、2-(對(duì)-曱苯基)-4,6-雙(三氯曱基)-均三嗪、2-胡椒基-4,6-雙(三氯曱基)-均三嗪、2，4-雙(三氯曱基)-6-苯乙烯基-均三嗪、2-(萘-l-基)-4，6-雙(三氯甲基)-均三溱、2-(4-曱氧基-萘-l-基)-4，6-雙(三氯曱基)-均三嗪、2，4-三氯曱基-(胡椒基)-6-三嗪、2,4-三氯甲基(4，-曱氧基苯乙烯基)_6_三嗪等三嗪系化合物，芐基二甲基縮醛、千基二乙基縮醛、2-芐基-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-l、雙(2,4，6-三甲基苯甲?；?-苯基氧化膦、2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-(甲硫基苯基)-丙烷-l-酮等公知的各種化合物。作為增敏劑、鏈轉(zhuǎn)移劑例如可以舉出N-芳基甘氨酸、巰基三噁哇衍生物、巰基四唑衍生物、巰基瘞二唑衍生物、己二硫醇、癸二硫醇、1，4-丁二醇雙硫代丙酸酯、1,4-丁二醇雙硫代乙醇酸酯、乙二醇雙石克代乙醇酸酯、乙二醇雙硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、三羥曱基丙烷三疏代丙酸酯、三羥甲基丙烷三(3-巰基丁酸酯)、季戊四醇四碌L代乙醇酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、三巰基丙酸三(2-羥基乙基)異氰脲酸酯、1，4-二曱基巰基苯、2,4,6-三巰基-均三嗪、2-(N，N-二丁基氨基)-4,6-二巰基-均三。秦等多官能硫醇等公知的各種化合物。作為黑可以4吏用有才幾顏津+和無(wú)才幾顏津+的任一種，可以利用公知的各種顏料，有機(jī)顏料可以舉出C丄顏料黑1、C丄顏料黑7、C丄顏料黑31等，無(wú)機(jī)顏料可以舉出炭黑類(lèi)、鈦黑、4太氮fU匕物、黑色寸氐維氧^f匕4太(blacklow-dimensionaltitaniumoxide)、石墨粉末、鐵黑、氧化銅等。另外，還可以使用Cu、Fe、Mn、Cr、Co、Ni、V、Zn、Se、Mg、Ca、Sr、Ba、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Hg、Pb、Bi、Si和Al等的各種金屬氧化物、復(fù)合氧化物、金屬硫化物、金屬硫酸鉛或金屬碳酸鹽等無(wú)機(jī)顏料。從對(duì)遮光性和作為黑矩陣的感光度、分辨率、密合性的影響的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選炭黑。從黑矩陣的絕緣性觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選鈦黑。從紫外線的透過(guò)率和顏料分散性的觀點(diǎn)出發(fā)，炭黑的一次粒徑優(yōu)選為2060nm、更優(yōu)選為3045nm。從紫外線的透過(guò)率和顏料分散性的觀點(diǎn)出發(fā)，分散粒徑優(yōu)選為100250nm、更優(yōu)選為150200nm。光聚合性樹(shù)脂組合物還可通過(guò)混合紅、藍(lán)、綠等多種顏色的顏料，實(shí)質(zhì)上制成黑色。光聚合性樹(shù)脂組合物中的堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的各自優(yōu)選含量如下所述。堿可溶性高分子的含量?jī)?yōu)選為5質(zhì)量％50質(zhì)量％、更優(yōu)選為10質(zhì)量％40質(zhì)量％。具有烯屬不飽和雙^t的光聚合性化合物的含量?jī)?yōu)選為5質(zhì)量％50質(zhì)量％、更優(yōu)選為10質(zhì)量％40質(zhì)量％。光聚合性引發(fā)劑的含量?jī)?yōu)選為0.1質(zhì)量％20質(zhì)量％、更優(yōu)選為1質(zhì)量％10質(zhì)量％。黑色顏料的含量?jī)?yōu)選為IO質(zhì)量％70質(zhì)量％、更優(yōu)選為20質(zhì)量％60質(zhì)量％。光聚合性樹(shù)脂組合物中可以含有分散劑等。還可以預(yù)先利用分散劑等使黑色顏料分散在溶劑中。作為分散劑例如可以舉出聚氨酯、聚丙烯酸酯等羧酸酯、不飽和聚酰胺、聚羧酸(部分)胺鹽、聚羧酸銨鹽、聚羧酸烷基胺鹽、聚硅氧烷、含羥基的聚羧酸酯、它們的改性物、通過(guò)聚(低級(jí)亞烷基亞胺)與具有游離羧酸基的聚酯的反應(yīng)所形成的酰胺或其鹽等，本發(fā)明中使用的堿可溶性高分子、共聚上述(甲基)丙烯酸千基酯的堿可溶性高分子及其他堿可溶性高分子也可作為顏料分散劑使用。進(jìn)而，聚羧酸型高分子活性劑、聚磺酸型高分子活性劑等陰離子性的活性劑，聚氧乙烯、聚氧化嵌段聚合物等非離子系活性劑等也可與分散劑一起作為分散助劑使用。另外，黑色顏料尤其炭黑考慮到分散性、絕緣性等，可以用樹(shù)脂包覆表面、或用樹(shù)脂或低分子化合物修飾表面。表面修飾所使用的樹(shù)脂可以舉出聚碳二亞胺、環(huán)氧樹(shù)脂等具有可與炭黑表面的羧基反應(yīng)的官能團(tuán)的高分子。同樣，作為低分子化合物，可以舉出取代苯重氮鐵鹽化合物等。另外，利用樹(shù)脂的包覆、修飾的方法可以使用日本國(guó)特開(kāi)2004-219978號(hào)/>才艮、日本國(guó)特開(kāi)2004-217885號(hào)公報(bào)、日本國(guó)特開(kāi)2003-201381號(hào)^^才艮、曰本國(guó)#爭(zhēng)開(kāi)2004-292672號(hào)/>才艮、曰本國(guó)凈爭(zhēng)開(kāi)2004-29745號(hào)報(bào)、日本國(guó)特開(kāi)2004-4762號(hào)公報(bào)、美國(guó)專(zhuān)利5554739號(hào)、美國(guó)專(zhuān)利5922118號(hào)所記載的分散劑、方法等。光聚合性樹(shù)脂組合物中還可根據(jù)需要含有增塑劑。這種增塑劑例如可以舉出苯二曱酸二乙酯等苯二甲酸酯類(lèi)、對(duì)甲苯磺酰胺、聚丙二醇、聚乙二醇單烷基醚、雙酚A的環(huán)氧乙烷加成物、環(huán)氧烷加成物等聚氧化烯改性雙酚A衍生物等。光聚合性樹(shù)脂組合物中可以根據(jù)需要含有硅烷偶聯(lián)劑、鈦偶聯(lián)劑等偶聯(lián)成分。(e)光聚合性樹(shù)脂層在含氟化合物層上的形成方法使光聚合性樹(shù)脂組合物為液態(tài)的光聚合性樹(shù)脂組合物，在涂敷于形成在支撐膜上的含氟化合物層上時(shí)適當(dāng)加入溶劑，調(diào)整成適于涂敷的最佳狀態(tài)。溶劑可以舉出乙二醇單曱醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇二丙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚、丙二醇二曱醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、乙二醇單曱醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、2-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、4-曱氧基丁基乙酸酯、2-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-曱基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-乙基-3-甲氧基丁基乙酸酯、2-乙氧基丁基乙酸酯、4-乙氧基丁基乙酸酯、4-丙氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲氧基戊基乙酸酯、4-甲氧基戊基乙酸酯、2-曱基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-3-曱氧基戊基乙酸酯、3-甲基-4-曱氧基戊基乙酸酯、4-甲基-4-甲氧基戊基乙酸酯、丙酮、甲乙酮、二乙酮、甲基異丁酮、乙基異丁酮、碳酸甲酯、碳酸乙酯、碳酸丙酯、碳酸丁酯、苯、甲苯、二甲苯、環(huán)己酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、二乙二醇、甘油等。從毒性、涂敷于含氟化合物層壓膜或支撐膜時(shí)的干燥性觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選曱乙酮或曱基異丁酮，從著色含量、特別是黑色顏料的分散穩(wěn)定性或堿可溶性高分子的溶解性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)。為了兼顧上述性能，還可以以適當(dāng)比例將甲乙酮或曱基異丁酮等與PGMEA混合來(lái)使用。例如，可以預(yù)先將黑色顏料分散于PGMEA中，預(yù)先使堿可溶性高分子溶解于PGMEA中，將它們分別與共聚有(曱基)丙烯酸千基酯的堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和雙鍵的光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、其它各種添加物混合，利用甲乙酮或PGMEA等溶劑適當(dāng)稀釋?zhuān)鳛樵诤衔飳由系耐坎夹愿稍镄粤己玫墓饩酆闲詷?shù)脂組合物溶液而調(diào)合。作為將液態(tài)光聚合性樹(shù)脂組合物涂布在支撐膜上或者含氟化合物層上的方法，可以舉出邁耶棒涂布法、凹版涂布法、刮刀涂布法、氣刀涂布法、棒涂法、逗點(diǎn)涂布法、口模涂布法等公知的涂布方法，干燥方法可以舉出加熱板或烘箱等的方法。這些方法并無(wú)特別限定。(f)保護(hù)層光聚合性樹(shù)脂層壓體還可以根據(jù)需要在與支撐膜相反一側(cè)的光聚合性樹(shù)脂層表面上層壓保護(hù)層。優(yōu)選保護(hù)層與光聚合性樹(shù)脂層的密合力與支撐膜與光聚合性樹(shù)脂層的密合力相比充分地小，可以容易地剝離。這種保護(hù)層例如可舉出聚乙烯膜、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚丙烯膜、拉伸聚丙烯膜(例如王子制紙(株)制E-200C等)、經(jīng)脫模處理的聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯膜等。保護(hù)層的厚度優(yōu)選為538jim、從處理性的觀點(diǎn)出發(fā)更優(yōu)選為1025fim。(g)光聚合性樹(shù)脂層壓體的制造方法光聚合性樹(shù)脂層壓體優(yōu)選通過(guò)以下任一方法制造。<直接涂敷法>第一層壓工序，該制造方法包括在支撐膜上層壓含氟化合物層；第二層壓工序，在該含氟化合物層上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑和黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層。<貼合法>該制造方法包括'.第一層壓工序，包括在第l支撐膜上層壓含氟化合物；第二層壓工序，在第二支撐膜上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑和黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層；第三層壓工序，貼合該光聚合性樹(shù)脂層面和該含氟化合物層面。光聚合性樹(shù)脂層壓體可以通過(guò)以下方法制作。作為光聚合性樹(shù)脂組合物，混合堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑、黑色顏料和溶劑，制作液態(tài)的光聚合性樹(shù)脂組合物。在含氟化合物層壓膜上涂布上述液態(tài)的光聚合性樹(shù)脂組合物進(jìn)行干燥，形成光聚合性樹(shù)脂層。之后，貼合成為保護(hù)層的聚乙棒膜進(jìn)行層壓。從黑矩陣的遮光性和涂布時(shí)的膜厚精度出發(fā)，優(yōu)選光聚合性樹(shù)脂層的厚度為0.3[im以上，從防止利用噴墨制作彩色像素時(shí)油墨向相鄰像素的混色的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選為l.Ojam以上。另外，從用于濾色器時(shí)的平坦性出發(fā)，優(yōu)選為4.5pm以下。使用樹(shù)脂黑矩陣制作濾色器時(shí)，由于黑矩陣的高度較高時(shí)則濾色器的表面凹凸會(huì)擾亂了液晶的取向，因此有設(shè)置被稱作蓋涂層的平坦化膜、或?yàn)榱耸贡砻嫫教惯M(jìn)^f亍研磨的情況。由于可以減小對(duì)液晶耳又向的影響、或者減薄蓋涂層、減薄濾色器整體的厚度，因此優(yōu)選黑矩陣的高度為4.5pm以下。從利用噴墨形成彩色像素時(shí)的油墨固態(tài)成分含量和彩色像素的光透過(guò)性的關(guān)系所推測(cè)的最佳彩色像素膜厚的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選為1.03.0|am、進(jìn)一步優(yōu)選為1.52.5|Lim。(2)帶黑矩陣圖案的基板的制造方法對(duì)于帶黑矩陣圖案的基板而言，基板優(yōu)選透明。作為透明基板只要是用于液晶顯示器的濾色器的基板則無(wú)限定，具體地可舉出無(wú)堿玻璃基板、透明塑料基板、透明塑料薄膜等?；宓暮穸葟囊壕э@示器的強(qiáng)度觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為1001000pm。帶黑矩陣圖案的基板優(yōu)選利用以下任何方法制造。<光聚合性樹(shù)脂層壓體法〉該帶黑矩陣圖案的基板的制造方法包括層壓工序，包括層壓上述光聚合性樹(shù)脂層壓體使得光聚合性樹(shù)脂層與基板相接觸；剝離工序，根據(jù)需要?jiǎng)冸x支撐膜；曝光工序，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線；剝離工序，在帶有支撐膜的情況下將其剝離；顯影工序，將未曝光部的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去。<后粘貼法〉該帶黑矩陣圖案的基板的制造方法包括第一層壓工序，在支撐膜上層壓含氟化合物層；第二層壓工序，在基板上層壓光聚合性樹(shù)脂層；第三層壓工序，通過(guò)貼合該光聚合性樹(shù)脂層面和該含氟化合物層面獲得在基板上層壓有光聚合性樹(shù)脂層壓體的產(chǎn)物；剝離工序，根據(jù)情況剝離支撐膜；曝光工序，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線；剝離工序，在帶有支撐膜的情況下將其剝離；顯影工序，將未曝光部的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去。<貼付于圖案的方法>該帶黑矩陣圖案的基板的制造方法包括第一層壓工序，在基板上層壓光聚合性樹(shù)脂層；曝光工序，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線；顯影工序，將未曝光部的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去制作帶黑矩陣圖案的基板；第二層壓工序，在帶黑矩陣圖案的基板的黑矩陣圖案面上層壓在支撐膜上設(shè)有含氟化合物層的層壓體的該含氟化合物層側(cè)；剝離工序，剝離支撐膜。第一，說(shuō)明通過(guò)上述<直接涂敷法>制作光聚合性樹(shù)脂層壓體，通過(guò)上述<光聚合性樹(shù)脂層壓體法>制造帶黑矩陣圖案的基板的方法。首先剝離保護(hù)層后，在玻璃基板上層壓(熱壓接)上述光聚合性樹(shù)脂層壓體。此時(shí)，優(yōu)選將玻璃基板預(yù)熱。從層壓性和抑制層壓時(shí)巻入的空氣、確保充分的密合性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為100。C以上，從支撐膜的耐熱性觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選為15(TC以下。更優(yōu)選為11(TC以上140。C以下。接著，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線。從與基板相反一側(cè)的照射分為通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模、進(jìn)而通過(guò)支撐膜曝光光聚合性樹(shù)脂層的情況，和除去支撐膜、通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模曝光光聚合性樹(shù)脂層的情況。提高曝光量進(jìn)行曝光時(shí)，可以在曝光前剝離支撐膜。但是，剝離支撐膜進(jìn)行曝光時(shí)，優(yōu)選適當(dāng)調(diào)整引發(fā)劑的配合量或光聚合性單體的配合量等，設(shè)計(jì)成高感光度。與對(duì)感光度的支撐膜影響大、借助支撐膜進(jìn)行曝光的情況相比，優(yōu)選設(shè)計(jì)成非常高的感光度。接著，當(dāng)具有支撐膜時(shí)，根據(jù)需要將其除去，接著使用堿行水溶液將未曝光部分的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去。堿性水溶液4吏用碳酸鈉水溶液、-友酸鉀水溶液、氬氧化鉀水溶液、石灰酸氬鈉和碳酸鈉的混合水溶液、四甲基氳氧化銨等有機(jī)胺水溶液等。這些堿行水溶液適應(yīng)光聚合性樹(shù)脂層的特性而進(jìn)行選擇，一般使用0.13質(zhì)量％的^_酸鈉水溶液、0.030.1質(zhì)量％的氫氧化鉀水溶液。根據(jù)需要，為了除去顯影不完全而殘留的光聚合性樹(shù)脂層，還可以在其它的顯影液中進(jìn)一步進(jìn)行顯影。所謂的其它的顯影液是指與最初顯影光聚合性樹(shù)脂層時(shí)所用顯影液的堿性不同的堿行水溶液，或可以是酸性顯影液、或可以是含有有機(jī)溶劑的顯影液，可以根據(jù)適當(dāng)選擇與顯影液相適應(yīng)的光聚合性樹(shù)脂層的組成。另外，還可以利用高壓水洗等方法將顯影不完全而殘留的未曝光部分的光聚合性樹(shù)脂層、著色顏料、黑色顏灃+物理地除去。有效的是0.2MPa以上的水洗壓。顯影工序后優(yōu)選根據(jù)需要進(jìn)行后烘焙工序。后烘焙工序是通過(guò)將顯影后的帶黑矩陣圖案的基板加熱或進(jìn)行紅外線照射，進(jìn)一步進(jìn)行在曝光工序中未完全固化的光聚合性樹(shù)脂層的固化的工序。后烘焙工序的溫度或時(shí)間也取決于光聚合性樹(shù)脂層的厚度或組成，從充分的耐化學(xué)藥品性、耐油墨性、耐堿性、收縮導(dǎo)致的單位膜厚的光學(xué)濃度的提高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選150。C250。C、優(yōu)選590分鐘?？梢源缋粲酶稍锖嫦?、電爐、紅外爐等公知的裝置。另外，還可在后烘焙工序之前進(jìn)一步加入曝光工序(后曝光工序)。后曝光工序?yàn)橥ㄟ^(guò)從光聚合性樹(shù)脂層面或玻璃基板面對(duì)顯影后的表面疏水性帶黑矩陣圖案的基板實(shí)施曝光，進(jìn)一步進(jìn)行光聚合性樹(shù)脂層的固化的工序。從生產(chǎn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，曝光量?jī)?yōu)選為1005000mJ/cm2。第二，對(duì)通過(guò)上述<貼合法〉制作光聚合性樹(shù)脂層壓體、通過(guò)上述<光聚合性樹(shù)脂層壓體法>制造帶黑矩陣圖案的基板的方法進(jìn)4亍i兌明。本方法中，與<直接涂敷法>相比，在制造光聚合性樹(shù)脂層壓體的方法中，以下方面與<直接涂敷法>不同通過(guò)貼合并非在支撐膜上的含氟化合物層面上涂布液態(tài)光聚合性樹(shù)脂組合物進(jìn)行干燥、而是在其它支撐膜2上涂布光聚合性樹(shù)脂組合物進(jìn)行干燥所獲得的光聚合性樹(shù)脂層與支撐膜上的含氟化合物層，制作光聚合性樹(shù)脂層壓體。使用該光聚合性樹(shù)脂層壓體制造帶黑矩陣圖案的基板時(shí)，通過(guò)將光聚合性樹(shù)脂層側(cè)的支撐膜2看作<直接涂布法>的保護(hù)層，將其剝離使用，從而可以與<直接涂敷法〉同樣地制造帶黑矩陣圖案的基板。對(duì)于本發(fā)明的支撐膜2而言，優(yōu)選更加平坦。另外，可使用與制作上述含氟化合物層壓膜時(shí)所用支撐膜相同的支撐膜。利用<貼合法〉的帶黑矩陣圖案的基板的制造方法作為在支撐膜2上層壓光聚合性樹(shù)脂層的方法，除了層壓的膜并非含氟化合物層壓膜、而是支撐膜2之外，可以與<直接涂布法>同樣地制造。作為貼合光聚合性樹(shù)脂層面與含氟化合物層面的方法，可以舉出常溫層壓或邊加熱邊層壓、真空層壓。層壓速度從生產(chǎn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為1100m/分鐘。另外，由于將光聚合性樹(shù)脂層側(cè)的支撐膜2看作保護(hù)層進(jìn)行剝離使用，因此優(yōu)選光聚合性樹(shù)脂層與支撐膜2的剝離力小于含氟化合物層壓膜的含氟化合物層與支撐膜的剝離力。這里所說(shuō)的剝離力可以通過(guò)根據(jù)JISZ0237的180度剝離方法進(jìn)行測(cè)定。兩者的剝離力沒(méi)有差別時(shí)，對(duì)于支撐膜2和光聚合性樹(shù)脂層壓體的剝離角而言，只要將支撐膜側(cè)保持在90度以上、將光聚合性樹(shù)脂層壓體保持在接近0度的狀態(tài)，則可以容易地剝離。<貼合法>的光聚合性樹(shù)脂層壓體除了上述之外，可以與<直接涂布法〉同樣地制造。<貼合法>的帶黑矩陣基板可以使用上述光聚合性樹(shù)脂層壓體，與上述<直接涂敷法>同樣地制造。第三，對(duì)通過(guò)上述<后粘貼法>制造帶黑矩陣圖案的基板的方法進(jìn)4亍i兌明。本發(fā)明中，與<光聚合性樹(shù)脂層壓體法>相比，以下方面與<光聚合性樹(shù)脂層壓體法>不同層壓工序并非制作在含氟化合物層上層壓光聚合性樹(shù)脂層而成的光聚合性樹(shù)脂層壓體、層壓該光聚合性樹(shù)脂層壓體和玻璃基材，而是預(yù)先在基板上形成光聚合性樹(shù)脂層后，將光聚合性樹(shù)脂層面與含氟化合物層面貼合。本發(fā)明層壓于基板上的光聚合性樹(shù)脂層可以通過(guò)在基板上涂布液態(tài)的光聚合性樹(shù)脂組合物進(jìn)行干燥的方法；或者<貼合法>中所記載的、利用層壓機(jī)將另外制作于支撐膜2上的光聚合性樹(shù)脂層熱轉(zhuǎn)印于基板的方法形成。作為液態(tài)的光聚合性樹(shù)脂組合物，可以使用與<直接涂敷法>記載的相同的物質(zhì)。作為將上述液態(tài)的光聚合性樹(shù)脂涂布在基板上的方法，可以舉出旋涂法、輥涂法、才奉涂法、浸涂法、噴涂法等方法，并無(wú)特別限定。作為千燥基板上的光聚合性樹(shù)脂組合物溶液進(jìn)行成膜的方法，可以舉出加熱板或烘箱等的方法，并無(wú)特別限定。帶黑矩陣圖案的基板的制造方法包括貼合上述支撐膜上的含氟化合物層面與形成于基板上的光聚合性樹(shù)脂層面的工序。貼合工序通過(guò)層壓(熱壓接)來(lái)進(jìn)行。此時(shí)，從提高光聚合性樹(shù)脂層面與含氟化合物的密合性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選將上述基板預(yù)先加熱至60120。C。加熱方法可以舉出利用熱^反的加熱、利用熱風(fēng)干燥;機(jī)的加熱、利用紅外線的加熱、利用超聲波的加熱、利用電磁誘導(dǎo)的加熱、壓力烘箱內(nèi)的加溫、真空容器內(nèi)的加溫、利用熱輥的層壓等，其中，優(yōu)選選自利用熱板的加熱、利用熱風(fēng)干燥機(jī)的加熱、利用紅外線的加熱、利用熱輥的層壓中的一個(gè)以上的方法。層壓(熱壓接)時(shí)的層壓輥溫度優(yōu)選為40130°C、基^反搬送速度優(yōu)選為0.2m4m、層壓輥壓力優(yōu)選為0.05MPalMPa。另夕卜，層壓時(shí)<吏用真空層壓才幾或濕式層壓具有趕出含氟化合物層與形成于基板的光聚合性樹(shù)脂層之間的空氣、提高光聚合性樹(shù)脂層的感光度的效果，故優(yōu)選。層壓工序后通過(guò)分別與<直接涂敷法>同樣地進(jìn)行加熱工序、曝光工序、顯影工序、后曝光工序、后烘焙工序，可以制作帶黑矩陣圖案的基板。第四，說(shuō)明通過(guò)上述<貼付于圖案的方法>制造帶黑矩陣圖案的基板的方法。本制造方法中，與<后粘貼法>相比，以下方面與<后粘貼法>不同并非是貼合預(yù)先形成于基板上的光聚合性樹(shù)脂層壓體的光聚合性樹(shù)脂層面與該含氟化合物層面，進(jìn)行曝光、顯影以形成圖案，而是在已經(jīng)形成于基板上的黑矩陣圖案面上層壓含氟化合物層。帶黑矩陣圖案的基板至少按順序經(jīng)過(guò)以下工序獲得在基板上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑和黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層的工序；從與基板相反的一側(cè)通過(guò)光掩模照射活性光線的曝光工序；將未曝光的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去的顯影工序。曝光工序前還可經(jīng)過(guò)加熱工序，顯影工序后還可經(jīng)過(guò)后曝光工序、后烘焙工序。形成帶黑矩陣圖案的基板后，在帶黑矩陣圖案的基板的黑矩陣圖案面上層壓含氟化合物的層壓工序優(yōu)選通過(guò)層壓(熱壓接)進(jìn)行。層壓(熱壓接)時(shí)的層壓溫度優(yōu)選為4013(TC、基板一般送速度優(yōu)選為分速0.2m4m、層壓輥壓力優(yōu)選為0.05MPalMPa。層壓工序后，通過(guò)剝離支撐膜，可以形成帶黑矩陣圖案的基板。另外，制造方法的層壓工序只要在顯影工序之后，則可以是曝光工序之前、也可以是后烘焙工序之前。本發(fā)明的帶黑矩陣圖案的基板的制造方法與在形成于基板上的光聚合性樹(shù)脂層上直接涂布含氟化合物層進(jìn)行干燥、通過(guò)光掩模進(jìn)行曝光和顯影的制造方法相比，是在不使用干燥工序、不產(chǎn)生涂布于玻璃時(shí)的膜厚不均、因透明支撐膜防止含氟化合物層與光掩模的接觸而光掩模難以污染等方面優(yōu)選的方法。本發(fā)明中，通過(guò)將含氟化合物層連續(xù)地涂敷在膜上、且同樣連續(xù)地層壓到基板上，從而與將含氟化合物層單片狀直接涂布于基板上的情況相比，生產(chǎn)率大幅度提高。而且，認(rèn)為在曝光后剝離含氟化合物層壓膜或支撐膜時(shí)，曝光時(shí)光聚合性樹(shù)脂處于含氟化合物層壓膜或支撐膜與基板之間，不與空氣接觸，因此難以受到氧氣阻礙的影響，即便是高濃度地含有著色物質(zhì)，對(duì)光的感光度也高，對(duì)玻璃基板的密合性或分辨率優(yōu)異，因此是優(yōu)選的方法。本發(fā)明的帶黑矩陣圖案的基板的制造方法通過(guò)利用含氟化合物層壓膜的層壓工序，含氟化合物層的一部分或全部轉(zhuǎn)印于黑矩陣層側(cè)，由此，黑矩陣圖案表面的疏水性提高、表現(xiàn)疏油墨性、能夠形成適于噴墨方式的彩色光阻油墨涂布的黑矩陣圖案。本發(fā)明中，通過(guò)將含氟化合物層連續(xù)地涂布在膜上、同樣連續(xù)地層壓于基板上，從而與將含氟化合物層單片狀直接涂布于基板上的情況相比，生產(chǎn)性大幅度提高。(3)濾色器的制造方法接著，對(duì)本發(fā)明的濾色器的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的濾色器的制造方法為形成上述帶黑矩陣圖案的基板后，利用熱敏性或光聚合性的彩色油墨在該帶黑矩陣圖案的基板的至少未被黑矩陣圖案覆蓋的部分的一部分上形成紅/藍(lán)/綠的像素圖案。黑矩陣圖案的形狀一般為圍繞像素的格子狀。另外，一般來(lái)說(shuō)格子的各邊圖案寬度為5^im50pm、才各子點(diǎn)間隔為30jum500)Lim。紅/藍(lán)/綠的像素圖案通過(guò)使用了彩色油墨的噴墨法制作。噴墨法從無(wú)需將昂貴的掩模作為必需的曝光工序、無(wú)需顯影工序、可以與凹凸無(wú)關(guān)地形成像素圖案的合格率提高等方面出發(fā)，由于能夠以低成本簡(jiǎn)單地形成像素圖案，因此相比較于通過(guò)使用了液態(tài)抗蝕劑或干膜抗蝕劑等彩色光阻的光刻法制作的方法更為優(yōu)選。作為熱敏性或光聚合性的彩色油墨可以使用公知的物質(zhì)。另外，本發(fā)明中，還可以使用具有作為著色物質(zhì)示例的顏料和染料、具有烯屬不飽和雙鍵的單體、熱或光聚合性引發(fā)劑，利用溶劑適當(dāng)調(diào)整了粘度的組合物。例如可以使用日本國(guó)特開(kāi)2004-213033號(hào)公報(bào)的實(shí)施例1所記載的著色油墨等。通過(guò)本發(fā)明的表面疏油墨性的性質(zhì)，由于油墨的著落精度問(wèn)題而落到黑矩陣上的彩色油墨也可以滑落堤壩而填滿彩色像素用的空間，另外，即便將著色油墨注入到像素內(nèi)達(dá)到高于黑矩陣圖案的厚度，也不會(huì)落入到相鄰像素內(nèi)，而可以保持油墨。本發(fā)明的帶黑矩陣圖案的基板的制造方法可以在基板與黑矩陣層之間具有油墨接收層。油墨接收層是指利用噴墨法制作濾色器時(shí)，通過(guò)預(yù)先在基板上的被黑矩陣圖案包圍的框內(nèi)形成易與油墨相容的層，具有彩色油墨易著落于黑矩陣圖案內(nèi)的效果。例如，使用日本國(guó)專(zhuān)利公開(kāi)2000-075127號(hào)公報(bào)的實(shí)施例1所記載的方法，可以通過(guò)在基板上成膜易與油墨相容的樹(shù)脂、進(jìn)而在油墨接收層上層壓光聚合性樹(shù)脂層壓體來(lái)制作。實(shí)施例根據(jù)實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明。<接觸角>接觸角是指由微型注射器向樣品上滴加l微升液滴，2秒后使用接觸角測(cè)定裝置(協(xié)和界面科學(xué)(林)制CA-VE型)進(jìn)行測(cè)定的值。測(cè)定相對(duì)于二曱苯的接觸角和相對(duì)于純凈水的接觸角。予以說(shuō)明，本發(fā)明中，使用液滴的接觸角測(cè)定進(jìn)行疏油墨性的評(píng)價(jià)，但即便使用同樣的含氟化合物層壓膜，當(dāng)<直接涂敷法>、<貼合法>、<后粘貼法>、<貼付于圖案的方法>、形成各個(gè)帶黑矩陣的基板的方法不同時(shí)，由于附著在黑矩陣上的含氟化合物層的量、黑矩陣表面的表面粗糙度不同，因此接觸角的測(cè)定值也未必相同。<光聚合性樹(shù)脂層壓體法直接涂敷法>〇含氟化合物層在支撐膜上的層壓(層壓含氟化合物層壓膜的制作)使用作為氟系溶劑的甲基九氟丁基醚/曱基九氟異丁基醚(住友只卩工一厶/>司制乂《、_y夕HFE7100)稀釋氟系涂布劑(住友只卩工一厶公司制乂《7夕EGC-1700:氟系樹(shù)脂的固態(tài)成分重量分率2質(zhì)量％)，用棒涂機(jī)涂敷在厚度16i^m的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(林)制R340G16)上，在80。C下加熱2分鐘，獲得具有含100質(zhì)量％含氟化合物的含氟化合物層的支撐膜(含氟化合物層壓膜)。此時(shí)，通過(guò)適當(dāng)改變氟系涂布劑的固態(tài)成分重量分率，制作每lm、莫的含氟化合物層的層壓量不同的含氟化合物層壓膜17。每1012支撐膜的含氟化合物層的層壓量由于用接觸式高度差計(jì)測(cè)定使用將EGC-1700稀釋10倍的固態(tài)成分重量分率0.2質(zhì)量％的溶液制作的膜的氟系涂布層高度時(shí)為60nm,因此計(jì)算出每lm2支撐膜為60腿xl000mmxl000mm:60mm3。另夕卜，使固態(tài)成分重量分率A(。/。)與所得膜的含氟化合物層的層壓量B(mm3)之比8=(A/0.2)x60,通過(guò)適當(dāng)改變固態(tài)成分重量分率，粗略計(jì)算為表l所示的值。在含氟化合物層壓膜17的涂敷面上滴加1^L二甲苯液滴，使用接觸角測(cè)定裝置對(duì)接觸角進(jìn)行液滴測(cè)定。結(jié)果示于表l。含氟化合物層壓膜26的層壓量是每11112為1601111113范圍內(nèi)、含氟化合物層壓膜1和7的層壓量為每11112為160mn^范圍外。〇光聚合性樹(shù)脂溶液的制作以以下所示比例混合石威可溶性高分子、具有烯屬不飽和4建的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑和黑色顏料，獲得固態(tài)成分量為10質(zhì)量％的光聚合性樹(shù)脂組合物甲乙酮溶液(A)。A-l:甲基丙烯酸節(jié)酯/甲基丙烯酸二8/2(質(zhì)量比)的共聚物、重均分子量20000、酸當(dāng)量430、固態(tài)成分濃度50%的粘合劑的甲乙酮溶液B-l:季戊四醇四丙歸酸酯B-2:琥珀酸改性季戊四醇三丙烯酸酯(東亞合成7>司制7口二'少夕只TO-756)C-l:l-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9.圧-呼唑-3-基]-乙烷-1-酮月虧O-乙酸酯(西巴特殊化學(xué)品7>司制IRGACUREOXE-02)D-l:三乙二醇-雙-[3-(3-叔丁基-5-甲基-4-羥基苯基)丙酸酯](西巴特殊化學(xué)品7>司制IRGANOX245)E-l:炭黑混合100質(zhì)量份A-1、15質(zhì)量份B-1、5質(zhì)量4分B-2、5質(zhì)量份C-1、0.3質(zhì)量4分D-1、45質(zhì)量份E-1，獲得固態(tài)成分量為10質(zhì)量％的光聚合性樹(shù)脂組合物曱乙酮溶液(A)。O光聚合性樹(shù)脂層壓體的制作使用棒涂機(jī)將上述光聚合性樹(shù)脂組合物曱乙酮溶液(A)均勻地涂布在表1的含氟化合物層壓膜2、3、5的含氟化合物層上，在95。C的干燥機(jī)中干燥5分鐘，形成厚度lpm的光聚合性樹(shù)脂層。接著，在所得光聚合性樹(shù)脂層上貼合厚度20nm的聚丙烯制保護(hù)膜(王子特殊紙(抹)制7Vk77乂E-200A),獲得光聚合性樹(shù)脂層壓體2、3、5。此時(shí)，作為光聚合樹(shù)脂層壓體的膜質(zhì)，如表2所示將沒(méi)有缺陷者評(píng)價(jià)為"◎"、將每ln^可見(jiàn)5處以下光聚合性樹(shù)脂層的小凹陷或欠缺者評(píng)價(jià)為"O"、將每11112可見(jiàn)6處以上凹陷或欠缺或者缺陷很大達(dá)到光聚合性樹(shù)脂層壓體面積的10%以上無(wú)法使用者評(píng)價(jià)為"x"。〇帶黑矩陣圖案的基板的形成分別剝離上述光聚合性樹(shù)脂層壓體2、3、5的保護(hù)膜，在95。C下以每分鐘lm的速度層壓于厚度為0.7mm的10cm見(jiàn)方的無(wú)i咸玻璃基板上后，剝離支撐膜，在基板上形成光聚合性樹(shù)脂層和含氟化合物層。通過(guò)線寬/間隔寬為10pm/90pm的黑矩陣圖案和滿圖案的玻璃制掩模，利用超高壓汞燈((抹)才一夕制作所制HMW-801)以500mJ/cm2從含氟化合物層側(cè)進(jìn)行曝光。在25。C下噴霧0.2質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液，溶解除去未固化部分的光聚合性樹(shù)脂層，進(jìn)行顯影。此時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)顯影時(shí)間為未固化部分的光聚合性樹(shù)脂層從玻璃基板上恰巧除去時(shí)的時(shí)間(定義為"斷點(diǎn)(breakpoint)，，)的1.5倍。之后，在240。C下后烘焙60分鐘，形成實(shí)施例l、2、3的帶含氟化合物層附著黑矩陣的玻璃基板。為了在玻璃基板上層壓光聚合性樹(shù)脂層壓體、形成含氟化合物層附著黑矩陣層，每l張基板需要l分鐘的層壓時(shí)間。〇帶黑矩陣圖案的基板的評(píng)價(jià)(1)圖案形成利用光學(xué)顯微鏡目視觀察是否可以形成線寬/間隔寬=10pm/90^im的黑矩陣圖案。(2)疏油墨性使用接觸角測(cè)定裝置對(duì)滿圖案的黑矩陣表面(BM面)和玻璃基板上的純凈水與二甲苯的各個(gè)接觸角進(jìn)行液滴測(cè)定。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表2。[比較例1]除了使用表1的含氟化合物層壓膜l之外，與實(shí)施例1同樣地制作表2的光聚合性樹(shù)脂層壓體1。除了使用上述光聚合性樹(shù)脂層壓體l之外，與實(shí)施例l同樣地形成帶含氟化合物層附著黑矩陣的玻璃基板。進(jìn)行疏油墨性的評(píng)價(jià)時(shí)，黑矩陣表面的水的接觸角為72度、黑矩陣表面的二甲苯的接觸角為2度，疏油墨性不充分。[比較例2]使用棒涂機(jī)將上述光聚合性樹(shù)脂組合物甲乙酮溶液(A)均勻地涂布在表1的含氟化合物層壓膜7上，在95"的干燥機(jī)中干燥5分鐘，在膜上的光聚合性樹(shù)脂層上產(chǎn)生10處以上欠缺或凹陷，無(wú)法形成合適膜質(zhì)的光聚合性樹(shù)脂層。<光聚合性樹(shù)脂層壓體貼合法〉〇光聚合性樹(shù)脂層壓體的制作用棒涂機(jī)將上述光聚合性樹(shù)脂組合物甲乙酮溶液(A)涂布在厚度16pm的聚對(duì)笨二甲酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(林)制R340G16)上，在95。C下干燥5分鐘，形成厚度lpm的光聚合性樹(shù)脂層。接著，在所得光聚合性樹(shù)脂層上重疊上述含氟化合物層壓膜2、3、5,使得光聚合性樹(shù)脂層與含氟化合物層相接觸，在95。C下以每分鐘lm的速度進(jìn)行層壓、貼合，獲得光聚合性樹(shù)脂層壓體12、13、15。O帶黑矩陣圖案的玻璃基板.的形成在支撐膜與光聚合性樹(shù)脂層之間剝離上述光聚合性樹(shù)脂層壓體12、13、15的光聚合性樹(shù)脂層側(cè)的支撐膜，在95。C下以每分鐘lm的速度層壓光聚合性樹(shù)脂層與厚度為0.7mm的10cm見(jiàn)方的無(wú)堿玻璃基板，在基板上形成光聚合性樹(shù)脂層和含氟化合物層。通過(guò)線寬/間隔寬為10(im/90nm的圖案的玻璃制掩模，利用超高壓汞燈((林)才一夕制作所制HMW-801)以100mJ/cm2從支撐膜側(cè)進(jìn)行曝光。剝離支撐膜后，在25匸下噴霧0.2質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液，將未固化部分的光聚合'性樹(shù)脂層溶解除去并進(jìn)行顯影。此時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)顯影時(shí)間為斷點(diǎn)的1.5倍。之后，在24(TC下后烘焙60分鐘，形成實(shí)施例4、5、6的帶黑矩陣圖案的玻璃基為了在玻璃基板上層壓光聚合性樹(shù)脂層壓體、并形成含氟化合物層附著的黑矩陣層，每l張基板需要l分鐘的層壓時(shí)間。〇帶黑矩陣圖案的玻璃基板的評(píng)價(jià)與實(shí)施例l同樣地進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表3。[比專(zhuān)交例3]除了使用表l的含氟化合物層壓膜l之外，與實(shí)施例4同樣地制作表3的光聚合性樹(shù)脂層壓體11。除了使用上述光聚合性樹(shù)脂層壓體ll之外，與實(shí)施例4同樣地形成帶含氟化合物層附著黑矩陣的玻璃基板。進(jìn)行疏油墨性的評(píng)價(jià)時(shí)，黑矩陣表面的水的接觸角為72度、黑矩陣表面的二甲苯的接觸角為2度，疏油墨性不充分。除了使用表1的含氟化合物層壓膜7之外，與實(shí)施例4同樣地制作表3的光聚合性樹(shù)脂層壓體17。除了使用上述光聚合性樹(shù)脂層壓體17之外，與實(shí)施例14同樣地嘗試形成帶含氟化合物層附著黑矩陣的玻璃基板。途中，即便將顯影時(shí)間延長(zhǎng)至2分鐘，也不能顯影未固化部分的光聚合性樹(shù)脂層。<后粘貼法>用棒涂機(jī)將所述光聚合性樹(shù)脂組合物甲乙酮溶液(A)涂敷在厚度16pm的聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(株)制R340G16)上，在95。C下干燥5分鐘，形成厚度lpm的光聚合性樹(shù)脂層，獲得光聚合性樹(shù)脂層壓體。接著，在95。C下以每分鐘lm的速度層壓所得光聚合性樹(shù)脂層壓體的光聚合性樹(shù)脂層與厚度為0.7mm的10cm見(jiàn)方的無(wú)石咸玻璃基板后，剝離支撐膜，在玻璃基板上形成光聚合性樹(shù)脂層。重疊上述形成有光聚合性樹(shù)脂層的基板和上述含氟化合物層壓膜2、3、4、5、6,使得光聚合性樹(shù)脂層與含氟化合物層相接觸，分別以軋輥溫度120。C、每分鐘lm的速度進(jìn)行層壓。通過(guò)線寬/間隔寬為10pm/90nm的圖案的玻璃制掩模，利用超高壓汞燈((林)才一夕制作所制HMW-801)以100mJ/cm2從支撐膜側(cè)進(jìn)行曝光。剝離支撐膜后，在25"下噴霧0.2質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液，將未固化部分的光聚合性樹(shù)脂層溶解除去進(jìn)行顯影。此時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)顯影時(shí)間為斷點(diǎn)的1.5倍。之后，在240。C下后烘焙60分鐘，形成實(shí)施例7、8、9、10、ll的帶黑矩陣圖案的玻璃基板。在玻璃基板上層壓光聚合性樹(shù)脂層壓體，形成黑矩陣層，之后層壓光聚合性樹(shù)脂層壓體和含氟化合物層壓膜，為了在玻璃基板上形成含氟化合物層附著的黑矩陣層，需要進(jìn)行2次層壓，從而包括基板移動(dòng)時(shí)間在內(nèi)每1張基板需要3分鐘的層壓時(shí)間。〇帶黑矩陣圖案的玻璃基板的評(píng)價(jià)與實(shí)施例l同樣地進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表4。使用作為氟系溶劑的甲基九氟丁基醚/甲基九氟異丁基醚(住友^卩工一厶公司制乂《7夕HFE7100)稀釋含有熱固化成分作為含氟化合物層壓膜的氟系表面處理劑(住友Xij工一厶公司制乂《、少夕EGC-1720:氟系聚合物的固態(tài)成分重量分率O.l質(zhì)量％),用棒涂機(jī)涂敷在厚度16(im的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(抹)制R340G16)上，在95。C下加熱5分鐘，獲得具有含100質(zhì)量％含氟化合物的含氟化合物層的支撐膜(含氟化合物層壓膜)。此時(shí)，通過(guò)適當(dāng)改變氟系表面處理劑的固態(tài)成分分率，制作如表l所示每lm^莫的含氟化合物層的層壓量不同的含氟化合物層壓膜8、9。每11112支撐膜的含氟化合物層的層壓量由于用接觸式高度差計(jì)測(cè)定^f吏用上述固態(tài)成分重量分率為0.1質(zhì)量％的上述氟系表面處理劑溶液而制作的膜的氟系表面處理劑層高度時(shí)為30nm，因t匕i十算;/尋30nmxl000mmxl000mm二30mm3。另夕卜，{吏固態(tài)成分重量分率A(%)與所得膜的含氟化合物層的層壓量B(mm3)之比B二(A/0.1)x30,通過(guò)適當(dāng)改變固態(tài)成分重量分率，粗略計(jì)算為表l所示的值。使用曱乙酮稀釋以含全氟烷基的丙烯酸酯或曱基丙烯酸酯為主成分的共聚寡聚物(日本油脂公司制乇r^一(注冊(cè)商標(biāo))F200:氟系嵌段共聚物的固態(tài)成分重量分率為30質(zhì)量％),用棒涂機(jī)涂敷在厚度16pm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(抹)制R340G16)上，在95。C下加熱5分鐘，形成具有含100質(zhì)量％含氟化合物的含氟化合物層的支撐膜(含氟化合物層壓膜)。此時(shí)，通過(guò)適當(dāng)改變以含全氟烷基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯為主成分的共聚寡聚物的固態(tài)成分分率，制作如表l所示的、每lm^莫的含有含氟化合物的有機(jī)物量不同的含氟化合物層壓膜IO、11。每11112膜的含氟化合物層的層壓量由于用接觸式高度差計(jì)測(cè)定使用將乇fY川一(注冊(cè)商標(biāo))F200稀釋150倍使固態(tài)成分重量分率達(dá)到0.2質(zhì)量％的曱乙酮溶液制作的膜的氟系涂布層高度時(shí)為60nm,因^匕計(jì)算《尋60nmxl000mmxl000mm^60mm3,使固態(tài)成分重量分率A(%)與所得膜的含氟化合物層的層壓量B(mm3)之比B二(A/0.2)x60,通過(guò)適當(dāng)改變固態(tài)成分重量分率，粗略計(jì)算為表l所示的值。在含氟化合物層壓膜811的涂敷面上滴加1^L的二甲苯液滴，使用接觸角測(cè)定裝置對(duì)接觸角進(jìn)行液滴測(cè)定，結(jié)果示于表l。用棒涂機(jī)將上述光聚合性樹(shù)脂組合物甲乙酮溶液(A)涂敷在厚度16pm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(抹)制R340G16)上，在95。C下干燥5分鐘，得到光聚合性樹(shù)脂層的厚度為lpm的光聚合性樹(shù)脂層壓體。接著，在95。C下以每分鐘lm的速度層壓所得的光聚合性樹(shù)脂層壓體的光聚合性樹(shù)脂面與厚度為0.7mm的1Ocm見(jiàn)方的無(wú);威玻璃基板后，剝離支撐膜，在玻璃基板上形成光聚合性樹(shù)脂層。重疊上述形成有光聚合性樹(shù)脂層的基板和上述含氟化合物層壓膜8、9、10、11，使得光聚合性樹(shù)脂層與含氟化合物層相接觸，分別以軋輥溫度120。C、每分鐘lm的速度進(jìn)行層壓。通過(guò)線寬/間隔寬為10iLim/90i^m的圖案的玻璃制掩模，利用超高壓汞燈((林)才一夕制作所制HMW-801)以100mJ/cm2從支撐膜側(cè)進(jìn)行曝光。剝離支撐膜后，在25。C下噴霧0.2質(zhì)量。/。的碳酸鈉水溶液，將未固化部分的光聚合性樹(shù)脂層溶解除去并進(jìn)行顯影。此時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)顯影時(shí)間為斷點(diǎn)的1.5倍。之后，在240。C下后烘焙60分鐘，形成實(shí)施例12、13、14、15的帶黑矩陣圖案的玻璃基在玻璃基板上層壓光聚合性樹(shù)脂層壓體，形成黑矩陣層，之后層壓光聚合性樹(shù)脂層壓體和含氟化合物層壓膜，為了在玻璃基板上形成含氟化合物層附著黑矩陣層，需要進(jìn)行2次層壓，從而包括基板移動(dòng)時(shí)間在內(nèi)每1張基板需要3分鐘的層壓時(shí)間。O帶黑矩陣圖案的玻璃基板的評(píng)價(jià)與實(shí)施例l同樣地進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表4。[比較例5]除了使用表l的含氟化合物層壓膜l之外，與實(shí)施例7同樣地形成帶含氟化合物層附著的黑矩陣的玻璃基板。進(jìn)行疏油墨性的評(píng)價(jià)時(shí)，黑矩陣表面的水的接觸角為72度、黑矩陣表面的二甲苯的接觸角為2度，疏油墨性不充分。除了代替含氟化合物層壓膜使用下述膜之外，與實(shí)施例7同樣地進(jìn)行。予以說(shuō)明，在層壓中進(jìn)行重疊，以使光聚合性樹(shù)脂層與。涂布了有機(jī)硅系剝離劑的面相接觸。比較例7:<j>r夕公司制PET25GS(在厚度為25jim的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜的單面上涂布有機(jī)硅系剝離劑的膜)比較例8:y>亍？夕公司制PET38-2010(在厚度為38jnm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜的單面上涂布有機(jī)硅系剝離劑的膜)評(píng)價(jià)結(jié)果示于表4。二曱苯的接觸角均為10度以下，疏油墨性不充分。<貼付于圖案的方法>用棒涂機(jī)將上述光聚合性樹(shù)脂組合物甲乙酮溶液(A)涂敷在厚度16pm的聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(抹)制R340G16)上，在95。C下干燥5分鐘，形成光聚合性樹(shù)脂層的厚度為lpm的光聚合性樹(shù)脂層壓體。接著，在95。C下以每分鐘lm的速度層壓所得光聚合性樹(shù)脂層壓體的光聚合性樹(shù)脂面與厚度為0.7mm的10cm見(jiàn)方的無(wú);威玻璃基板后，通過(guò)線寬/間隔寬為10(im/90(am的圖案的玻璃制掩才莫，利用超高壓汞燈((抹)才一夕制作所制HMW-801)以100mJ/cm2從支撐膜側(cè)進(jìn)行曝光。剝離支撐膜后，在25。C下噴霧0.2質(zhì)量。/。的碳酸鈉水溶液，將未固化部分的光聚合性樹(shù)脂層溶解除去并進(jìn)行顯影。此時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)顯影時(shí)間為斷點(diǎn)的1.5^f咅。在120。C下以每分鐘lm的速度層壓該玻璃基板和表1的含氟化合物層壓膜4，使得黑矩陣圖案與含氟化合物層相接觸。剝離支撐膜，形成帶黑矩陣圖案的玻璃基板。之后，在240。C下后烘焙60分鐘。為了層壓帶黑矩陣圖案的基板和含氟化合物層壓膜、并形成帶黑矩陣圖案的基板，每l張基板需要l分鐘的層壓時(shí)間。〇帶黑矩陣圖案的玻璃基板的評(píng)價(jià)進(jìn)行疏油墨性的評(píng)價(jià)時(shí)，黑矩陣表面的水的接觸角為89度、黑矩陣表面的二曱苯的接觸角為44度，可見(jiàn)充分的疏油墨性。[實(shí)施例17]用棒涂機(jī)將上述光聚合性樹(shù)脂組合物曱乙酮溶液(A)涂敷在厚度16^n的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(林)制R340G16)上，在95。C下干燥5分鐘，形成光聚合性樹(shù)脂層的厚度為lpm的光聚合性樹(shù)脂層壓體。接著，在95。C下以每分鐘lm的速度層壓所得的光聚合性樹(shù)脂層壓體的光聚合性樹(shù)脂面與厚度為0.7mm的1Ocm見(jiàn)方的無(wú)石成玻璃基板后，通過(guò)線寬/間隔寬為10(im/90pm的圖案的玻璃制掩模，利用超高壓汞燈((抹)才一夕制作所制HMW-801)以100mJ/cm2從支撐膜側(cè)進(jìn)行曝光。剝離支撐膜后，在25匸下噴霧0.2質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液，將未固化部分的光聚合性樹(shù)脂層溶解除去并進(jìn)行顯影。此時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)顯影時(shí)間為斷點(diǎn)的1.5倍。之后，在240。C下后烘焙60分鐘，形成帶黑矩陣圖案的玻璃基板。在12CTC下以每分鐘lm的速度層壓上述帶黑矩陣圖案的玻璃基板和表1的含氟化合物層壓膜4,使得黑矩陣圖案與含氟化合物層相接觸。剝離支撐膜，形成帶黑矩陣圖案的玻璃基板。為了層壓帶黑矩陣圖案的玻璃基板和含氟化合物層壓膜、形成帶黑矩陣圖案的基板，每l張基板需要l分鐘的層壓時(shí)間。O帶黑矩陣圖案的基板的評(píng)價(jià)進(jìn)行疏油墨性的評(píng)價(jià)時(shí)，黑矩陣表面的水的接觸角為119度、黑矩陣表面的二曱苯的接觸角為58度，可見(jiàn)充分的疏油墨性。<后粘貼法>[實(shí)施例1822]0含氟化合物層壓膜12、13的制作分別使用甲乙酮稀釋作為含氟化合物層壓膜含有熱固化成分的氟系表面處理劑的大曰本油墨化學(xué)工學(xué)公司制f,、7夕#一卜、、NH-15(固態(tài)成分重量分率15質(zhì)量％)和大日本油墨化學(xué)工業(yè)/>司制rY7夕方、一KNH-10(固態(tài)成分重量分率10質(zhì)量％),用棒涂機(jī)涂敷在厚度16pm的聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(抹)制R340G16)上，在95。C下加熱5分鐘后，在50。C下加熱12小時(shí)，形成具有含100質(zhì)量％含氟化合物的含氟化合物層的支撐膜(含氟化合物層壓膜)12、13。每11112膜的含有含氟化合物的有機(jī)物的量由于用接觸式高度差計(jì)測(cè)定使用固態(tài)成分重量分率為0.2質(zhì)量％的上述氟系表面處理劑溶液制作的氟系表面處理劑層的高度時(shí)為60nm,因此計(jì)算得60腿xl000mmxl000mm:60mm3，使固態(tài)成分重量分率A(%)與所得膜的含有含氟化合物的有機(jī)物量B(mm3)之比B二(A/0.2)x60,通過(guò)適當(dāng)改變固態(tài)成分重量分率，粗略計(jì)算為表5所示的值。〇含氟化合物層壓膜1418的制作A-l:甲基丙烯酸千酯/曱基丙烯酸=8/2(質(zhì)量比)的共聚物、重均分子量20000、酸當(dāng)量430、固態(tài)成分濃度50%的粘合劑的甲乙酮溶液B-l:季戊四醇四丙烯酸酯B-2:琥珀酸改性季戊四醇三丙烯酸酯(東亞合成7>司制7口-少夕^TO國(guó)756)C-l:1-[9-乙基-6-(2-曱基苯甲?；?-9.H,。f唑-3-基]-乙烷-l-酮月f-O誦乙酸酉旨(西巴特殊化學(xué)品/>司制IRGACUREOXE-02)D-l:三乙二醇-雙-[3-(3-叔丁基-5-甲基-4-羥基苯基)丙酸酯](西巴特殊化學(xué)品/>司制IRGANOX245)其中，混合40質(zhì)量份的A-1、2質(zhì)量份的B-1、4質(zhì)量份的B-2、3質(zhì)量份的C-1、0.2質(zhì)量份的D-1，使用曱乙酮稀釋?zhuān)@得固態(tài)成分分量為10質(zhì)量％的光聚合性樹(shù)脂組合物曱乙酮溶液(B)。以表6所示各比例混合以含全氟烷基的丙烯酸酯或曱基丙烯酸酯為主成分的共聚寡聚物(日本油脂公司制乇r<^一(注冊(cè)商標(biāo))F200:氟系嵌段寡聚物的固態(tài)成分重量分率30質(zhì)量％)和上述光聚合性樹(shù)脂組合物甲乙酮溶液(B)，使用甲乙酮稀釋?zhuān)冒敉繖C(jī)涂敷在厚度16pm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(林)制R340G16)上，在95。C下加熱5分鐘，形成含氟化合物層壓膜1418。此時(shí)，通過(guò)如表6所示適當(dāng)改變以含全氟烷基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯為主成分的共聚寡聚物的固態(tài)成分的比例，如表6所示，制作有機(jī)物層的含氟化合物量不同的含氟化合物層壓膜1418。含氟化合物層壓膜1618是本發(fā)明的膜，含氟化合物層壓膜14和15與本發(fā)明的含氟化合物層的含氟化合物量不同。每lm^莫的含有含氟化合物層的層壓量由于用接觸式高度差計(jì)測(cè)定使用混合乇f一^一(注冊(cè)商標(biāo))F200和上述光聚合性樹(shù)脂組合物曱乙酮溶液(B)使固態(tài)成分重量分率達(dá)到0.2質(zhì)量％的甲乙酮溶液制作的膜的含氟化合物層的高度時(shí)為60nm，因此計(jì)算60腿xl000mmxl000mm:60mm3,使固態(tài)成分重量分率A(%)與所得膜的含氟化合物層的層壓量B(mm3)之比B二(A/0.2)x60,通過(guò)適當(dāng)改變含有含氟化合物的組合物的固態(tài)成分重量分率，粗略計(jì)算為表6所示的值。在含氟化合物層壓膜1418的涂敷面上滴加lpL的二甲苯液滴，-使用4妄觸角測(cè)定裝置對(duì)4妾觸角進(jìn)4亍液滴測(cè)定。結(jié)果示于表6。〇光聚合性樹(shù)脂層壓體的制作用棒涂機(jī)將上述光聚合性樹(shù)脂組合物甲乙酮溶液(A)涂布在厚度16為iim的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制支撐膜(三菱化學(xué)聚酯膜(株)制R340G16)上，在95X:下干燥5分鐘，形成厚度lMm的光聚合性樹(shù)脂層。接著，在所得光聚合性樹(shù)脂層上重疊上述含氟化合物層壓膜1218，使得光聚合性樹(shù)脂層與含氟化合物層相接觸，在95。C下以每分鐘lm的速度進(jìn)行層壓、貼合，獲得光聚合性樹(shù)脂層壓體2228。光聚合性樹(shù)脂層壓體22、23、26、27、28是本發(fā)明的光聚合性樹(shù)脂層壓體，光聚合性樹(shù)脂層壓體24、25與本發(fā)明的含氟化合物層的含氟化合物含量不同d〇帶黑矩陣圖案的玻璃基板的形成在支撐膜與光聚合性樹(shù)脂層之間剝離上述光聚合性樹(shù)脂層壓體22、23、26、27、28的光聚合性樹(shù)脂層側(cè)的支撐膜，在95。C下以每分鐘lm的速度層壓光聚合性樹(shù)脂層和厚度為0.7mm的10cm見(jiàn)方的無(wú)堿玻璃基板上后，在基板上形成光聚合性樹(shù)脂層和含氟化合物層。通過(guò)線寬/間隔寬為10nm/90fxm的圖案的玻璃制掩模，利用超高壓汞燈((林)才一夕制作所制HMW-801)以100mJ/cn^從支撐膜側(cè)進(jìn)行曝光。剝離支撐膜后，在25。C下噴霧0.2質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液，溶解除去未固化部分的光聚合性樹(shù)脂層并進(jìn)行顯影。此時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)顯影時(shí)間為斷點(diǎn)的1.5倍。之后，在240。C下后烘焙60分鐘，形成實(shí)施例1822的帶黑矩陣圖案的玻璃基板。為了在玻璃基板上層壓光聚合性樹(shù)脂層壓體、形成含氟化合物層附著的黑矩陣層，每1張基板需要1分鐘的時(shí)間。〇帶黑矩陣圖案的玻璃基板的評(píng)價(jià)與實(shí)施例l同樣地評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表7。[比4交例9、10〗除了使用表6的含氟化合物層壓膜14、15之外，與實(shí)施例20同樣地制作光聚合性樹(shù)脂層壓體24、25。除了使用上述光聚合性樹(shù)脂層壓體24、25之外，與實(shí)施例20同樣地形成帶含氟化合物層附著的黑矩陣的玻璃基板，作為比較例9、10。進(jìn)行疏油墨性評(píng)價(jià)時(shí)，二曱苯的接觸角是比較例9為9度、比較例10為16度，疏油墨性均不充分。使用本發(fā)明的光聚合性樹(shù)脂層壓體以及含氟化合物層壓膜時(shí)，能夠以簡(jiǎn)單的方法，在不提高玻璃基板的疏油墨性的情況下，僅賦予黑矩陣圖案表面高的疏油墨性。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>表4<table>tableseeoriginaldocumentpage51</column></row><table>表6<table>tableseeoriginaldocumentpage52</column></row><table>表7<table>tableseeoriginaldocumentpage52</column></row><table>產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明在液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器、等離子顯示器等平板顯示器或上述液晶顯示器或有機(jī)EL顯示器所用的濾色器領(lǐng)域中，在利用噴墨法的濾色器用黑矩陣的制造等中優(yōu)選使用。權(quán)利要求1.一種光聚合性樹(shù)脂層壓體，其為在支撐膜上依次層壓有含氟化合物層、光聚合性樹(shù)脂層的光聚合性樹(shù)脂層壓體，其特征在于，該含氟化合物層由每1m2支撐膜上涂布1～60mm3的含有30～100質(zhì)量％含氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成，相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上，該光聚合性樹(shù)脂層由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的光聚合性樹(shù)脂層壓體，其特征在于，上述含氟化合物為選自由無(wú)定形氟樹(shù)脂、含有含全氟烷基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的共聚寡聚物、氟系涂布劑、氟系表面活性劑、含有通過(guò)電子射線或紫外線固化的固化成分的氟系表面處理劑以及含有熱固化成分的氟系表面處理劑所組成的組中的至少1種。3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的光聚合性樹(shù)脂層壓體的制造方法，其特征在于，包含以下工序第一層壓工序，在支撐膜上層壓由每11112支撐膜上涂布16Omm3的含有301OO質(zhì)量％食氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成、相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上的含氟化合物層；第二層壓工序，在該含氟化合物層上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光聚合性樹(shù)脂層壓體的制造方法，其特征在于，包含以下工序第一層壓工序，在第一支撐膜上層壓由每ln^第一支撐膜上涂布l60mm3的含有30100質(zhì)量。/。含氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成、相對(duì)于二曱苯的接觸角為20度以上的含氟化合物層；第二層壓工序，在第二支撐膜上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層；第三層壓工序，貼合該光聚合性樹(shù)脂層面與該含氟化合物層面。5.—種帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其至少具有以下工序?qū)訅汗ば?，將?quán)利要求1或2所述的光聚合性樹(shù)脂層壓體層壓到基板上以使光聚合性樹(shù)脂層與基板相接觸；曝光工序，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線；顯影工序，將未曝光的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去。6.—種帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其至少具有以下工序第一層壓工序，在支撐膜上層壓由每11112支撐膜上涂布160mm3的含有30100質(zhì)量。/o含氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成、相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上的含氟化合物層；第二層壓工序，在基板上層壓由含有石威可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合'性樹(shù)脂層；第三層壓工序，通過(guò)貼合該光聚合性樹(shù)脂層面與該含氟化合物層面，獲得在基板上層壓有權(quán)利要求l所述的光聚合性樹(shù)脂層壓體的基板；曝光工序，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線；顯影工序，將未曝光的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其特征在于，含氟化合物為選自由無(wú)定形氟樹(shù)脂、含有含全氟烷基的丙烯酸酯或曱基丙烯酸酯的共聚寡聚物、氟系涂布劑、氟系表面活性劑、含有通過(guò)電子射線或紫外線固化的固化成分的氟系表面處理劑以及含有熱固化成分的氟系表面處理劑所組成的組中的至少l種。8.—種帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其至少具有以下工序..第一層壓工序，在基板上層壓由含有堿可溶性高分子、具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合性引發(fā)劑及黑色顏料的光聚合性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的光聚合性樹(shù)脂層；曝光工序，從與基板相反的一側(cè)通過(guò)具有黑矩陣圖案的光掩模照射活性光線；顯影工序，將未曝光的光聚合性樹(shù)脂層顯影除去以制成帶黑矩陣圖案的基板；第二層壓工序，在帶黑矩陣圖案的基板的黑矩陣圖案面上層壓設(shè)置了含氟化合物層的層壓體的該含氟化合物層側(cè)，該含氟化合物層由在支撐膜上每lm2支撐膜上涂布l~60mm3的含30100質(zhì)量％含氟化合物的組合物而成的層所構(gòu)成，相對(duì)于二曱笨的接觸角為20度以上。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的帶黑矩陣圖案的基板的制造方法，其特征在于，含氟化合物為選自由無(wú)定形氟樹(shù)脂、含有含全氟烷基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的共聚寡聚物、氟系涂布劑、氟系表面活性劑、含有通過(guò)電子射線或紫外線固化的固化成分的氟系表面處理劑以及含有熱固化成分的氟系表面處理劑所組成的組中的至少l種。10.—種濾色器的制造方法，其特征在于，包含以下工序利用權(quán)利要求59任一項(xiàng)所述的制造方法制造帶黑矩陣圖案的基板的工序；和，利用噴墨方式在該帶黑矩陣圖案的基板的至少未被黑矩陣圖案覆蓋的部分的一部分上印刷熱敏性或光聚合性的彩色油墨的印刷工序。全文摘要本發(fā)明的目的在于，以簡(jiǎn)單的方法形成表面的疏油墨性優(yōu)異的帶黑矩陣的基板。使用如下的含氟化合物層壓膜每1m²支撐膜上層壓1～60mm³的含30～100質(zhì)量％含氟化合物的有機(jī)物層，上述有機(jī)物層相對(duì)于二甲苯的接觸角為20度以上。文檔編號(hào)G02B5/20GK101568431SQ200780048260公開(kāi)日2009年10月28日申請(qǐng)日期2007年12月21日優(yōu)先權(quán)日2006年12月26日發(fā)明者松田英樹(shù),栗田英徹申請(qǐng)人:旭化成電子材料株式會(huì)社