專利名稱：：阻焊膜形成方法和感光性組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及如下阻焊膜的形成方法，將感光性組合物涂布到基材上使其干燥后，對(duì)該干燥涂膜照射激光后，通過(guò)堿性水溶液進(jìn)行顯影而形成阻焊膜；還涉及用于本方法的感光性組合物、以及將該組合物涂布到載膜上后進(jìn)行干燥而得到的干膜。
背景技術(shù)：
：印刷電路板的最外層設(shè)有稱為阻悍膜的永久保護(hù)膜。為了形成該阻焊膜，廣泛采用可準(zhǔn)確形成微細(xì)圖案的光刻法。其中，從環(huán)境方面考慮等，主流是堿顯影型的光刻法。作為光刻法中的一個(gè)方法，廣為人知的是使用從產(chǎn)生紫外線的燈發(fā)出的光的一次性曝光法，公開(kāi)于例如日本特開(kāi)平Ol-141904號(hào)。該一次性曝光法是在將感光性組合物涂布到基材上并使之干燥后，隔著光掩模使從產(chǎn)生紫外線的燈發(fā)出的光對(duì)該干燥涂膜進(jìn)行全面曝光。因此，可在非常短的時(shí)間形成圖案潛影。然而，該一次性曝光法需要使光掩模與基材的位置對(duì)齊，該位置對(duì)齊花費(fèi)時(shí)間。另外，基材因其電路形成時(shí)的熱歷程而尺寸發(fā)生變化，容易產(chǎn)生偏離設(shè)計(jì)值的偏差。相對(duì)于此，光掩模不產(chǎn)生上述那樣的尺寸變化，因此不能進(jìn)行與該基材的偏差對(duì)應(yīng)的位置修正。越是微細(xì)的圖案，越較大受到偏差的影響，準(zhǔn)確的圖案潛影形成變得困難。為了形成準(zhǔn)確的圖案潛影，分別測(cè)定各個(gè)基材在電路形成后的尺寸，相應(yīng)地需要對(duì)每個(gè)基材制作掩模，非常繁雜。相對(duì)于此，使用激光的直接描繪法基于來(lái)自電腦的數(shù)據(jù)，使用激光光源發(fā)出的單一波長(zhǎng)的光，對(duì)干燥阻焊涂膜直接描繪圖案潛影(國(guó)際公開(kāi)WO02/096969號(hào))。該直接描繪法中，對(duì)于上述那樣偏離基材尺寸的設(shè)計(jì)值的偏差，通過(guò)測(cè)定電路形成后的基材的尺寸，用計(jì)算機(jī)修正偏離設(shè)計(jì)值的偏差，可形成期望的準(zhǔn)確的圖案潛影。因此，直接描繪法相比于一次性曝光法，可更準(zhǔn)確且容易地形成微細(xì)的圖案潛影。然而，直接描繪法在基材上掃描激光而描繪圖案潛影。因此，用于通過(guò)直接描繪法在1張基材上形成圖案潛影的時(shí)間相比于一次性曝光法更長(zhǎng)，生產(chǎn)率也處于變差傾向。因此，為了提高生產(chǎn)率，要求可用于高速直接描繪的高感光度的感光性組合物。感光性組合物的感光度低的話，則不能以高速直接描繪、即用短時(shí)間的激光照射充分形成圖案潛影。通常的紫外線固化型感光性組合物具有200mJ600mJ的感光度。對(duì)于用直接描繪法曝光厚膜干燥阻焊涂膜并使其充分固化來(lái)說(shuō)，該感光度范圍是較低的。另外，激光直接描繪法使用單一波長(zhǎng)。通常，使用更短的短波長(zhǎng)的激光時(shí)，光線的能量高，因而，具有可以迅速進(jìn)行固化的優(yōu)點(diǎn)，另一方面，由于存在光難以透過(guò)到深部的傾向，因而，具有阻焊膜的固化深度降低的傾向。使用更長(zhǎng)的長(zhǎng)波長(zhǎng)的激光時(shí)，具有光到達(dá)感光性組合物干燥涂膜的深部，固化深度變高的優(yōu)點(diǎn)，另一方面，由于光線的能量變低，因而效率變差且固化花費(fèi)時(shí)間。另外，在這期間，涂膜表面容易受到氧氣的固化阻礙，因而，具有不能獲得充分的表面固化的傾向。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供阻焊膜的形成方法，該方法具有更短的短波長(zhǎng)激光和更長(zhǎng)的長(zhǎng)波長(zhǎng)激光各自的優(yōu)點(diǎn)，并且，彌補(bǔ)各自的不足，可使由感光性組合物形成的涂膜從表面到深部充分地固化；以及可適用于該方法的高感光度的感光性組合物。為了解決上述目的，根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供阻焊膜的形成方法，其特征在于，將感光性組合物涂布到基材上使其干燥后，對(duì)該干燥涂膜照射彼此波長(zhǎng)不同的2種以上激光，形成所述2種以上激光分別照射得到的圖案潛影，然后，通過(guò)堿性水溶液進(jìn)行顯影。根據(jù)本發(fā)明的其他方面，提供阻焊膜的形成方法，其特征在于，將感光性組合物涂布到基材上使其干燥后，對(duì)該干燥涂膜照射第l激光和與所述第l激光波長(zhǎng)不同的第2激光，形成所述第1激光和第2激光雙方照射得到的圖案潛影，然后，通過(guò)堿性水溶液進(jìn)行顯影。根據(jù)本發(fā)明的其他方面，提供感光性組合物，其特征在于，該感光性組合物用于權(quán)利要求2所述的阻焊膜的形成方法，其中，其曝光前的干燥涂膜每25[im厚度，在355~380nm的波長(zhǎng)范圍顯示0.6~1.2的吸光度，并且，在405nm的波長(zhǎng)下顯示0.3~0.6的吸光度。另外，根據(jù)本發(fā)明的其他方面，提供干膜，其是將上述感光性組合物涂布到載膜上后進(jìn)行干燥而得到的。圖l是對(duì)感光性組合物的干燥涂膜進(jìn)行曝光，對(duì)其顯影后得到的阻焊膜的截面形狀的示意圖。具體實(shí)施例方式下面，進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明。本發(fā)明的阻焊膜的形成方法是將感光'性組合物涂布到基材上使其干燥后，對(duì)該干燥涂膜照射彼此波長(zhǎng)不同的2種以上激光，形成所述2種以上激光分別照射得到的圖案潛影，然后，通過(guò)堿性水溶液進(jìn)行顯影。尤其是，本發(fā)明的阻焊膜的形成方法是將感光性組合物涂布到基材上使其干燥后，對(duì)該干燥涂膜照射第l激光和與所述第1激光波長(zhǎng)不同的第2激光，形成所述第1激光和第2激光雙方照射得到的圖案潛影，然后，通過(guò)堿性水溶液進(jìn)行顯影。通過(guò)對(duì)感光性組合物的干燥涂膜照射彼此波長(zhǎng)不同的2種以上激光，例如，照射第1激光和與第1激光波長(zhǎng)不同的第2激光，兩激光照射得到的干燥涂膜部分可充分固化，并準(zhǔn)確形成圖案潛影(兩激光照射的部分)。2種以上波長(zhǎng)不同的激光照射中，先照射哪個(gè)激光都可以，不論順序。另外，也可同時(shí)照射2種以上的波長(zhǎng)不同的激光。以下，對(duì)于使用第l激光和第2激光的形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。用于本發(fā)明的阻焊膜的形成方法的第l激光和第2激光可使用半導(dǎo)體激光和固體激光。特別是第l激光和第2激光中的一方優(yōu)選藍(lán)紫激光(例如405nm)。另一激光通常是紫外激光。該第1激光和第2激光的光源可設(shè)置在1臺(tái)激光照射裝置內(nèi)。上述本發(fā)明的阻焊膜的形成方法中，可適宜使用如下所述的本發(fā)明的感光性組合物，該感光性組合物其曝光前的干燥涂膜每25(im厚度，在355~380nm的波長(zhǎng)范圍顯示0.6~1.2的吸光度，并且在405nm的波長(zhǎng)下顯示0.3~0.6的吸光度。更詳細(xì)地說(shuō)，通過(guò)曝光前的干燥涂膜在短波長(zhǎng)側(cè)的355~380nm的波長(zhǎng)范圍顯示0.6~1.2的吸光度，在干燥涂膜的表層部大量吸收入射的光，使表面發(fā)生固化，并且，通過(guò)在405nm的波長(zhǎng)下顯示0.3~0.6的吸光度，使光透過(guò)到干燥涂膜的底部，得到充分的固化深度，由此，實(shí)現(xiàn)高感光度。在此，在本發(fā)明中，所謂的"曝光前的干燥涂膜每25pm厚度，在355~380nm的波長(zhǎng)范圍顯示0.61.2的吸光度，并且在405nm的波長(zhǎng)下顯示0.3~0.6的吸光度"是指對(duì)于涂布并干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個(gè)不同的厚度與各干燥涂膜厚度時(shí)在波長(zhǎng)355~380nm下的吸光度的圖表，從其近似式算出膜厚25|am的干燥涂膜的吸光度，所得到的吸光度在0.6~1.2的范圍，并且，對(duì)于涂布并干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個(gè)不同的厚度與各干燥涂膜厚度時(shí)在波長(zhǎng)405nm下的吸光度的圖表，從其近似式算出膜厚25pm的干燥涂膜的吸光度，所得到的吸光度在0.3~0.6的范圍。這將在后述的實(shí)施例中詳細(xì)描述。另外，本發(fā)明中，所謂的"曝光前的干燥涂膜每25pm厚度，在355~380nm的波長(zhǎng)范圍的最大吸光度與在405nm的波長(zhǎng)下的吸光度之差為0.3以上且不足0.6"是指對(duì)于涂布并干燥感光性組合物糊劑而得到的千燥涂膜，制作4個(gè)不同的厚度與各千燥涂膜厚度時(shí)在波長(zhǎng)355~380nm下的吸光度的圖表，從其近似式算出膜厚2511m的干燥涂膜的吸光度而得到最大吸光度，對(duì)于涂布并干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個(gè)不同的厚度與各干燥涂膜厚度時(shí)在波長(zhǎng)405nm下的吸光度的圖表，從其近似式算出膜厚25jim的干燥涂膜的吸光度，由上述兩個(gè)吸光度得到的吸光度之差為0.3以上且不足0.6。這將在后述的實(shí)施例中詳細(xì)描述。另外，本發(fā)明中，所謂的"曝光前的干燥涂膜每25nm厚度，在355nm的波長(zhǎng)下顯示0.6l.O的吸光度，以及在405nm的波長(zhǎng)下顯示0.3~0.5的吸光度，并且在355nm的波長(zhǎng)下的吸光度與在405nm的波長(zhǎng)下的吸光度之差為0.3以上且不足0.5"是指對(duì)于涂布并干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個(gè)不同的厚度與各千燥涂膜厚度時(shí)在波長(zhǎng)355nm下的吸光度的圖表，從其近似式算出膜厚25pm的干燥涂膜的吸光度，所得到的吸光度在0.6~l.O的范圍，以及對(duì)于涂布并干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個(gè)不同的厚度與各干燥涂膜厚度時(shí)在波長(zhǎng)405nm下的吸光度的圖表，從其近似式算出膜厚25iim的干燥涂膜的吸光度，所得到的吸光度在0.3~0.5的范圍，并且，算出與上述同樣得到的波長(zhǎng)355nm和405nm下的膜厚25(im的干燥涂膜的吸光度而得到的吸光度之差為0，3以上且不足0.5。這將在后述的實(shí)施例中詳細(xì)描述。本發(fā)明的感光性組合物的曝光前的干燥涂膜在355~380nm的波長(zhǎng)范圍顯示不足0.6的吸光度的情況下，具有在表層部的光吸收不充分、表面固化不充分的傾向。顯示超過(guò)1.2的吸光度的情況下，具有表面固化過(guò)度進(jìn)行，阻礙光向底部透過(guò)的傾向，故不優(yōu)選。另外，曝光前的干燥涂膜在405nm的波長(zhǎng)下顯示不足0.3的吸光度的情況下，具有不被干燥涂膜吸收的光由例如基板上的銅箔反射，阻焊劑形狀變化的傾向，故不優(yōu)選。另外，在顯示超過(guò)0.6的吸光度的情況下，具有不能使光充分透過(guò)到千燥涂膜的底部的傾向，這是不優(yōu)選的。另外，本發(fā)明的感光性組合物優(yōu)選曝光前的其干燥涂膜每25lam厚度，在355~380nm的波長(zhǎng)范圍的最大吸光度與在405nm的波長(zhǎng)下的吸光度之差為0.3以上且不足0.6。通過(guò)吸光度之差在該范圍，可有效得到上述表面固化和固化深度，可使本發(fā)明的感光性組合物的感光度更高。該吸光度之差不足0.3時(shí)，具有為了得到充分的表面固化和固化深度，需要更長(zhǎng)的曝光時(shí)間的傾向。另外，當(dāng)超過(guò)0.6時(shí)，具有難以同時(shí)得到充分的表面固化和固化深度的傾向，這是不優(yōu)選的。另外，本發(fā)明的感光性組合物優(yōu)選曝光前的其干燥涂膜每25pm厚度，在355nm的波長(zhǎng)下顯示0.6l.O的吸光度，以及在405nm的波長(zhǎng)下顯示0.3~0.5的吸光度，并且在355nm的波長(zhǎng)下的吸光度與在405nm的波長(zhǎng)下的吸光度之差為0.3以上且不足0.5。作為本發(fā)明的感光性組合物，可使用包含(A)含羧酸樹(shù)脂、(B)光聚合引發(fā)劑、以及(C)顏料的感光性組合物。作為含羧酸樹(shù)脂(A),可使用分子中含有羧基的公知常用的樹(shù)脂化合物。另外，從光固化性、耐顯影性方面出發(fā)，更優(yōu)選在分子中具有烯屬不飽和雙鍵的含羧酸感光性樹(shù)脂。具體來(lái)說(shuō)，可列舉出下面列舉的樹(shù)脂。(1)通過(guò)共聚(曱基)丙烯酸等不飽和羧酸和除此之外的1種以上具有不飽和雙鍵的化合物，從而得到含羧酸樹(shù)脂；(2)通過(guò)使(甲基)丙烯酸等不飽和羧酸和除此之外的l種以上具有不飽和雙鍵的化合物的共聚物與(曱基)丙烯酸縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基曱酯等具有環(huán)氧基和不飽和雙鍵的化合物、(曱基)烯丙酰氯等反應(yīng)，對(duì)該共聚物加成烯屬不飽和基團(tuán)作為側(cè)基，從而得到的含羧酸感光性樹(shù)脂；(3)使(曱基)丙烯酸縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯等具有環(huán)氧基和不飽和雙鍵的化合物與除此之外的具有不飽和雙鍵的化合物的共聚物與(甲基)丙烯酸等不飽和羧酸反應(yīng)，使所生成的仲羥基與多元酸酐反應(yīng)，從而得到的含羧酸感光性樹(shù)脂；(4)使馬來(lái)酸酐等具有不飽和雙4建的酸酐與除此之外的具有不飽和雙鍵的化合物的共聚物與(甲基)丙烯酸2-羥乙酯等具有羥基和不飽和雙鍵的化合物反應(yīng)，從而得到的含羧酸感光性樹(shù)脂；(5)使多官能環(huán)氧化合物與(甲基)丙烯酸等不飽和單羧酸反應(yīng)，將所生成的羥基與飽和或不飽和多元酸酐反應(yīng)，從而得到的含羧酸感光性樹(shù)脂；(6)使聚乙烯醇衍生物等含羥基聚合物與飽和或不飽和多元酸酐反應(yīng)后，將所生成的羧酸與一分子中具有環(huán)氧基和不飽和雙鍵的化合物反應(yīng)，從而得到含有羥基的含羧酸感光性樹(shù)脂；(7)使多官能環(huán)氧化合物、(甲基)丙烯酸等不飽和單羧酸、一分子中具有至少l個(gè)醇性羥基和l個(gè)除醇性羥基以外的與環(huán)氧基反應(yīng)的反應(yīng)性基團(tuán)的化合物(例如，二羥甲基丙酸等)反應(yīng)，使反應(yīng)產(chǎn)物與飽和或不飽和多元酸酐反應(yīng)，從而得到含羧酸感光性樹(shù)脂；(8)使一分子中具有至少2個(gè)氧雜環(huán)丁烷環(huán)的多官能氧雜環(huán)丁烷化合物與(甲基)丙烯酸等不飽和單羧酸反應(yīng)，將所得到的改性氧雜環(huán)丁烷樹(shù)脂中的伯羥基與飽和或不飽和多元酸酐反應(yīng)，從而得到的含羧酸感光性樹(shù)脂；以及(9)使多官能環(huán)氧樹(shù)脂(例如，甲醛酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂等)與不飽和單羧酸(例如，(曱基)丙烯酸等)反應(yīng)后，再與多元酸酐(例如，四氫鄰苯二曱酸酐)反應(yīng)，將由此得到的含羧酸樹(shù)脂進(jìn)一步與分子中具有l(wèi)個(gè)環(huán)氧乙烷環(huán)和l個(gè)以上烯屬不飽和基團(tuán)的化合物(例如，(甲基)丙烯酸縮水甘油酯等)反應(yīng)，從而得到含羧酸感光性樹(shù)脂等，但并不限定于這些。作為這些樹(shù)脂中優(yōu)選的是上述(2)、(5)、(7)、(9)的含羧酸感光性樹(shù)脂，特別是從光固化性、固化涂膜性的方面出發(fā)，優(yōu)選上述(9)的含羧酸感光性樹(shù)脂。另外，在本說(shuō)明書(shū)中，(曱基)丙烯酸酯是指總稱丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯的術(shù)語(yǔ)，其它類似的表達(dá)也同樣。這些丙烯酸酯化合物和曱基丙烯酸酯化合物可單獨(dú)使用也可混合2種以上使用。上述那樣的含羧酸樹(shù)脂(A)由于在主鏈聚合物的側(cè)鏈上具有羧基，因而可通過(guò)堿性水溶液顯影。另外，上述含羧酸樹(shù)脂(A)的酸價(jià)優(yōu)選在40~200mgKOH/g的范圍，更優(yōu)選在45~120mgKOH/g的范圍。含羧酸樹(shù)脂的酸價(jià)不足40mgKOH/g時(shí)，堿顯影變得困難，這是不優(yōu)選的。另一方面，當(dāng)超過(guò)200mgKOH/g時(shí)，顯影液對(duì)曝光部的溶解過(guò)度進(jìn)行，因而使線比所需的寬度更細(xì)，有時(shí)曝光部與未曝光部沒(méi)有區(qū)別地被顯影液溶解剝離，難以進(jìn)行正常的抗蝕劑圖案的描繪，故不優(yōu)選。另外，上述含羧酸樹(shù)脂(A)的重均分子量因樹(shù)脂骨架而不同，但通常優(yōu)選在2000~150000的范圍、更優(yōu)選在5000~100000的范圍。重均分子量不足2000時(shí)，指觸千燥性能會(huì)變差，另外，曝光后的涂膜的耐濕性變差，顯影時(shí)產(chǎn)生膜減少，分辨率大大變差。另一方面，當(dāng)重均分子量超過(guò)150000時(shí)，顯影性會(huì)顯著變差，另外，貯藏穩(wěn)定性變差。這樣的含羧酸樹(shù)脂(A)的混合量可基于本發(fā)明的感光性組合物的總質(zhì)量，從20~60質(zhì)量％、優(yōu)選/人30~50質(zhì)量％的范圍中選擇。當(dāng)混合量不足20質(zhì)量％時(shí)，具有涂膜強(qiáng)度降低的傾向，故不優(yōu)選。另一方面，當(dāng)混合量超過(guò)60質(zhì)量％時(shí)，粘性變高，涂布性等降低，故不優(yōu)選。作為光聚合引發(fā)劑(B)，優(yōu)選使用選自具有下述通式(I)所示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑、具有下述通式(II)所示的基團(tuán)的a-氨基苯乙酮系光聚合引發(fā)劑、以及具有下述式(III)所示的基團(tuán)的?；趸⑾倒饩酆弦l(fā)劑所組成的組中的l種以上光聚合引發(fā)劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>式中，W表示氫原子，可被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代的苯基，可被1個(gè)以上羥基取代且也可在烷基鏈的中間具有l(wèi)個(gè)以上氧原子的碳原子數(shù)l~20的烷基，碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基，可被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代的碳原子數(shù)220的烷?；虮郊柞；?，W表示可被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代的苯基，可被l個(gè)以上羥基取代且也可在烷基鏈的中間具有l(wèi)個(gè)以上氧原子的碳原子數(shù)l~20的烷基，碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基，可被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代的碳原子數(shù)220的烷?；虮綍貂；?，113和114各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~12的烷基或芳烷基，115和116各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)16的烷基、或兩者結(jié)合而成的環(huán)狀烷基醚基，!^和rS各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~IO的直鏈狀或支鏈狀烷基、環(huán)己基、環(huán)戊基、芳基、或者可被囟原子、烷基或烷氧基取代的芳基，其中，R7和RS中的一方也可表示R-C(=0)-基，這里，R是碳原子數(shù)l~20的烴基。作為具有通式(I)所示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選可列舉出下述式(IV)所示的2-(乙酰氧基亞氨甲基)瘞噸-9-酮、下述通式(V)所示的化合物、以及下述通式(VI)所示的化合物。《V》式中，R^表示氫原子、卣原子、碳原子數(shù)l~12的烷基、環(huán)戊基、環(huán)己基、苯基、千基、苯曱?；?、碳原子數(shù)212的烷?；?、碳原子數(shù)2~12的烷氧羰基、或苯氧羰基，其中，構(gòu)成烷氧基的烷基的碳原子數(shù)為2個(gè)以上時(shí)，烷基可被l個(gè)以上羥基取代，也可在烷基鏈的中間具有l(wèi)個(gè)以上氧原子，R"和R"各自獨(dú)立地表示可被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代的苯基，可被1個(gè)以上羥基取代且也可在烷基鏈的中間具有l(wèi)個(gè)以上氧原子的碳原子數(shù)l~20的烷基，碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基，可被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代的碳原子數(shù)2~20的烷酰基或苯曱?；琑u表示氫原子，可被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代的苯基，可被l個(gè)以上羥基取代且也可在烷基鏈的中間具有l(wèi)個(gè)以上氧原子的碳原子數(shù)l~20的烷基，碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基，可被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代的碳原子數(shù)220的烷?；虮郊柞；?。式中，R"和R"各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~12的烷基，R15、R16、R17、R"和R"各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)l~6的烷基，M表示O、S、NH,并且m和n表示0~5的整凄史。這些當(dāng)中，更優(yōu)選式(IV)所示的2-(乙酰氧基亞氨曱基)噻噸-9-酮和式(V)所示的化合物。作為市售品有CibaSpecialtyChemicals7^司制造的CGI—325、IRGACUREOXEOl、IRGACUREOXE02等。這些將酯系光聚合引發(fā)劑可單獨(dú)或組合2種以上使用。作為前述具有通式(II)所示的基團(tuán)的a-氨基苯乙酮系光聚合引發(fā)劑，可列舉出2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-千基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁烷-l-酮、2-(二甲基氨基)-2-[(4-曱基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]-1-丁酮、N,N-二甲基氨基苯乙酮等。作為市售品，可列舉出CibaSpecialtyChemicals公司制造的IRGACURE907、IRGACURE369、IRGACURE379等。作為具有通式(III)所示的基團(tuán)的?；趸⑾倒饩酆弦l(fā)劑，可列舉出2,4,6-三曱基苯甲酰基二苯基氧化膦、雙(2,4，6-三曱基苯曱?；?苯基氧化膦、雙(2,6-二曱氧基苯曱?；?-2,4，4-三曱基-戊基氧化膦等。作為市售品，可列舉出BASF公司制造的LucirinTPO、CibaSpecialtyChemicals乂厶司制造的IRGACURE819等。這樣的光聚合引發(fā)劑(B)的混合量可以相對(duì)于100質(zhì)量份前述含羧酸樹(shù)脂(A)從O.Ol~30質(zhì)量份的范圍、優(yōu)選0.5~15質(zhì)量份的范圍中選擇。當(dāng)不足0.01質(zhì)量份時(shí)，銅上的光固化性不足，涂膜剝離，或者耐化學(xué)藥品性等涂膜特性降低，故不優(yōu)選。另一方面，當(dāng)超過(guò)30質(zhì)量份時(shí)，具有光聚合引發(fā)劑(B)在阻焊涂膜表面的光吸收變劇烈，深部固化性降低的傾向，故不優(yōu)選。另外，前述具有式(I)所示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑的情況下，其混合量期望相對(duì)于1OO質(zhì)量份前述含羧酸樹(shù)脂(A)優(yōu)選從O.Ol~20質(zhì)量份的范圍、更優(yōu)選O.Ol~5的范圍中選擇。這樣的肟酯系光聚合引發(fā)劑(I)由于在和銅箔的界面與銅原子反應(yīng)，有時(shí)光聚合引發(fā)劑的功能失活，因而，優(yōu)選與a-氨基苯乙酮系光聚合引發(fā)劑(II)等組合使用。系顏料。本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)，對(duì)于405nm的單一波長(zhǎng)的光(激光)，添加酞菁藍(lán)系顏料的感光性組合物時(shí)，以更低的低曝光量得到表面固化性。該酞菁藍(lán)系顏料的敏化效果的理由并不明確，但酞菁藍(lán)而使吸光度在0.3以上，這樣就可以以低曝光量同時(shí)得到充分的表面固化性和固化深度。另外，該敏化效果，對(duì)表面的反應(yīng)性(光澤改善)有效果，而固化深度反而變差。即，起到反射曝光的光的作用。該作用也對(duì)阻焊膜形狀的穩(wěn)定化有效。作為酞菁藍(lán)系顏料，可列舉出a型銅酞菁藍(lán)、a型單氯銅酞菁藍(lán)、卩型銅酞菁藍(lán)、S型銅酞菁藍(lán)、鈷酞菁藍(lán)、無(wú)金屬酞菁藍(lán)等。這樣的顏料(C)的適合的添加量是，只要感光性組合物的干燥涂膜在405nm的波長(zhǎng)下的吸光度是每25nm為0.3~0.6的范圍，就可任意添加，例如，相對(duì)于100質(zhì)量份含羧酸樹(shù)脂(A)為O.Ol~5質(zhì)量份的范圍。引發(fā)劑、光引發(fā)助劑和敏化劑，可列舉出苯偶姻化合物、苯乙酮化合物、蒽醌化合物、噻噸酮化合物、縮酮化合物、二苯甲酮化合物、沾噸酮、以及叔胺化合物等。列舉苯偶姻化合物的具體例子的話，有例如，苯偶姻、苯偶姻曱基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚。列舉苯乙酮化合物的具體例子的話，有例如，苯乙酮、2,2-二曱氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、1,1-二氯苯乙酮。列舉蒽醌化合物的具體例子的話，有例如，2-曱基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-4又丁基蒽醌、l-氯蒽醌。列舉逸噸酮化合物的具體例子的話，有例如，2,4-二曱基p塞噸酮、2,4-二乙基p塞p屯酮、2-氯漆p屯酮、2,4-二異丙基pj:p屯酉同。列舉縮酮化合物的具體例子的話，有例如，苯乙酮二曱基縮酮、苯偶酰二曱基縮酮。列舉二苯甲酮化合物的具體例子的話，有例如，二苯曱酮、4-苯曱酰基二苯硫醚、4-苯甲?；?4，-甲基二苯硫醚、4-苯曱?；?4，-乙基二苯硫醚、4-苯曱?；?4，-丙基二苯硫醚。列舉叔胺化合物的具體例子的話，有例如，乙醇胺化合物、具有二烷基氨基苯結(jié)構(gòu)的化合物，例如，4，4，-二甲基氨基二苯曱酮(日本曹達(dá)公司制NISSOCUREMABP)、4，4，-二乙基氨基二苯甲酮(HodogayaChemicalCo.，LTD.制EAB)等二烷基氨基二苯曱酮、7-(二乙基氨基)-4-甲基-2H-l-苯并吡喃-2-酮(7-(二乙基氨基)-4-曱基香豆素)等含二烷基氨基的香豆素化合物、4-二曱基氨基安息香酸乙酯(曰本化藥公司KAYACUREEPA)、2-二曱基氨基安息香酸乙酯(InternationalBio-Synthetics公司制造的QuantacureDMB)、4-二曱基氨基安息香酸(正丁氧基)乙酉旨(InternationalBio-Synthetics公司制造的QuantacureBEA)、對(duì)二甲基氨基安息香酸異戊基乙酯(日本化藥公司制KAYACUREDMBI)、4-二曱基氨基安息香酸-2-乙基己酯(VanDyk公司制Esolol507)、4,4，-二乙基氨基二苯曱酮(HodogayaChemicalCo.,LTD.制EAB)等。上述當(dāng)中，優(yōu)選瘞噸酮化合物和叔胺化合物。從深部固化性的方面出發(fā)，本發(fā)明的組合物中優(yōu)選包含噻噸酮化合物，其中，優(yōu)選2,4-二曱基瘞噸酮、2,4-二乙基瘞p屯酮、2-氯遂噸酮、2,4-二異丙基噻噸酮等噻噸酮化合物。作為這樣的噻噸酮化合物的混合量，相對(duì)于100質(zhì)量份上述含羧酸樹(shù)脂(A),優(yōu)選為20質(zhì)量份以下，更優(yōu)選為10質(zhì)量份以下的比例。當(dāng)噻噸酮化合物的混合量過(guò)多時(shí)，厚膜固化性降低，以致產(chǎn)品的成本提高，故不優(yōu)選。作為叔胺化合物，優(yōu)選具有二烷基氨基苯結(jié)構(gòu)的化合物，其中，特別優(yōu)選二烷基氨基二苯甲酮化合物、最大吸收波長(zhǎng)在350nm~410nm的含二烷基氨基的香豆素化合物。作為二烷基氨基二苯曱酮化合物，優(yōu)選毒性低的4,4'-二乙基氨基二苯曱酮。最大吸收波長(zhǎng)在350nm410nm的含二烷基氨基的香豆素化合物由于最大吸收波長(zhǎng)在紫外線區(qū)域，因而除了可提供著色少且無(wú)色透明的阻焊劑感光性組合物，還可以使用著色顏料，提供反映出著色顏料本身的顏色的著色阻焊膜。特別是7-(二乙基氨基)-4-甲基-2H-1-苯并吡喃-2-酮對(duì)于波長(zhǎng)400-410nm的激光顯示出優(yōu)異的敏化效果，故優(yōu)選。作為這樣的叔胺化合物的混合量，相對(duì)于IOO質(zhì)量份前述含羧酸感光性樹(shù)脂(A)優(yōu)選為O.l~20質(zhì)量份、更優(yōu)選為O.l~10質(zhì)量份的比例。當(dāng)叔胺化合物的混合量為0.1質(zhì)量份以下時(shí)，處于不能得到充分的敏化效果的傾向。當(dāng)叔胺化合物的混合量超過(guò)20質(zhì)量份時(shí)，叔胺化合物導(dǎo)致的在干燥阻焊涂膜表面的光吸收變得劇烈，具有深部固化性降低的傾向。這些光聚合引發(fā)劑、光引發(fā)助劑和敏化劑可單獨(dú)或作為2種以上的混合物使用。這些光聚合引發(fā)劑、光引發(fā)助劑、以及敏化劑的總量相對(duì)于100質(zhì)量分前述含羧酸樹(shù)脂(A)優(yōu)選在35質(zhì)量份以下的范圍。當(dāng)超過(guò)35質(zhì)量份時(shí)，具有它們的光吸收導(dǎo)致深部固化性降低的傾向。為了賦予耐熱性，本發(fā)明的感光性組合物中可配合分子中具有2個(gè)以上環(huán)狀醚基和/或環(huán)狀硫醚基(下面，簡(jiǎn)稱為環(huán)狀(硫)醚基)的熱固化性成分(D)。這樣的1分子中具有2個(gè)以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固化性成分(D)是分子中具有2個(gè)以上三元環(huán)、四元環(huán)或五元環(huán)的環(huán)狀醚基或環(huán)狀硫醚基中的任意一種或者兩種基團(tuán)的化合物，可以列舉例如分子內(nèi)具有至少2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物即多官能團(tuán)環(huán)氧化合物(D-1)、l分子內(nèi)具有至少2個(gè)以上氧雜環(huán)丁烷基的化合物即多官能團(tuán)氧雜環(huán)丁烷化合物(D-2)、l分子內(nèi)具有2個(gè)以上硫醚基的化合物即環(huán)硫化物樹(shù)脂(D-3)等。作為上述多官能團(tuán)環(huán)氧化合物(D-1),可以列舉出例如，雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂，如日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的EPIKOTE828、EPIKOTE834、EPIKOTE1001、EPIKOTE1004，大日本油墨4匕學(xué)工業(yè)公司制造的EPICLON840、EPICLON850、EPICLON1050、EPICLON2055,東都化成公司制造的EPOTOTEYD—011、YD—013、YD—127、YD—128，陶氏化學(xué)公司制造的D.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664,西巴特殊化學(xué)品公司制造的Araldite6071、Araldite6084、AralditeGY250、AralditeGY260,住友化學(xué)工業(yè)公司制造的Sumi—EpoxyESA—011、ESA—014、ELA_115、ELA—128,旭化成工業(yè)公司制造的A.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等(全部是商品名)；溴化環(huán)氧樹(shù)脂，如日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的EPIKOTEYL903,大曰本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的EPICLON152、EPICLON165,東都化成公司制造的EPOTOTEYDB-400、YDB-500,陶氏化學(xué)公司制造的D.E.R.542,西巴特殊化學(xué)品公司制造的Araldite8011,住友化學(xué)工業(yè)公司制造的Sumi—EpoxyESB—400、ESB—700，旭化成工業(yè)7>司制造的A.E.R.711、A.E.R.714等(全部是商品名)；酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂，如日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的EPIKOTE152、EPIKOTE154，陶氏化學(xué)公司制造的D.E.N.431、D.E.N.438,大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的EPICLONN-730、EPICLONN-770、EPICLONN-865,東都化成/>司制造的EPOTOTEYDCN—701、YDCN—704,西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditeECN1235、AralditeECN1273、AralditeECN1299、AralditeXPY307，日本化藥公司制造的EPPN-201、EOCN-1025、EOCN-1020、EOCN-104S、RE-306,住友化學(xué)工業(yè)公司制造的Sumi—EpoxyESCN—195X、ESCN—220,旭化成工業(yè)公司制造的A.E.R.ECN-235、ECN-299等(全部是商品名)；雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂，如大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的EPICLON830，日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的EPIKOTE807,東都化成公司制造的EPOTOTEYDF-170、YDF-175、YDF-2004,西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditeXPY306等(全部是商品名)；氫化雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂，如東都化成公司制造的EPOTOTEST—2004、ST_2007、ST—3000(商品名)等；縮水甘油胺型環(huán)氧樹(shù)脂，如日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的EPIKOTE604,東都化成公司制造的EPOTOTEYH—434,西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditeMY720,住友化學(xué)工業(yè)公司制造的Sumi_EpoxyELM—120等(全部是商品名>，西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditeCY-350(商品名)等乙內(nèi)酰脲型環(huán)氧樹(shù)脂；大賽璐化學(xué)工業(yè)公司制造的Celloxide2021,西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditeCY175、CY179等(全部是商品名)脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂；日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的YL-933，陶氏化學(xué)公司制造的T.E.N.EPPN-501、EPPN502等(全部是商品名)三羥苯基曱烷型環(huán)氧樹(shù)脂；日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的YL-6056、YX-4000、YL-6121等(全部是商品名)聯(lián)二曱苯酚型或聯(lián)苯酚型環(huán)氧樹(shù)脂或者它們的混合物；日本化藥公司制造的EBPS-200,旭電化工業(yè)公司制造的EPX-30、大日本油墨化學(xué)工業(yè)乂>司制造的EXA-1514(商品名)等雙酚S型環(huán)氧樹(shù)脂；日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的EPIKOTE157S(商品名)等雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂；曰本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的EPIKOTEYL-931、西巴特殊化學(xué)品公司制造的Araldite163等(全部是商品名)四酚羥基乙烷型環(huán)氧樹(shù)脂；西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditePT810、日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)公司制造的TEPIC等(全部是商品名)雜環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂；日本油脂公司制造的BLEMMERDGT等鄰苯二曱酸二縮水甘油酯樹(shù)脂；東都化成公司制造的ZX-1063等四縮水甘油基二甲苯酚乙烷樹(shù)脂；新日鐵化學(xué)公司制造的ESN-190、ESN-360,大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的HP-4032、EXA—4750、EXA-4700等含萘基的環(huán)氧樹(shù)脂；大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的HP-7200、HP-7200H等具有二環(huán)戊二烯骨架的環(huán)氧樹(shù)脂；日本油脂公司制造的CP-50S、CP-50M等曱基丙烯酸縮水甘油酯共聚系環(huán)氧樹(shù)脂；進(jìn)一步可以列舉環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺與甲基丙烯酸縮水甘油酯的共聚環(huán)氧樹(shù)脂；環(huán)氧改性的聚丁二烯橡膠衍生物(例如大賽璐化學(xué)工業(yè)制造的PB-3600等)、CTBN改性的環(huán)氧樹(shù)脂(例如東都化成公司制造的YR-102、YR-450等)等，但并不限于這些物質(zhì)。這些環(huán)氧樹(shù)脂可以單獨(dú)使用或組合2種以上使用。這些當(dāng)中特別優(yōu)選酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂或它們的混合物。作為前述多官能團(tuán)氧雜環(huán)丁烷化合物(D-2),可列舉出雙[(3-曱基-3-氧雜環(huán)丁烷基曱氧基)曱基]醚、雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基曱氧基)曱基]醚、1，4-雙[(3-曱基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、1，4-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、丙烯酸(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基)曱酯、丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯、甲基丙烯酸(3-曱基-3-氧雜環(huán)丁烷基)曱酯、甲基丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基)曱酯、它們的低聚物或共聚物等多官能團(tuán)氧雜環(huán)丁烷類，除此之外，還有氧雜環(huán)丁烷與酚醛清漆樹(shù)脂、聚(對(duì)羥基苯乙烯)、cardo型雙酚類、杯芳烴類、間苯二酚杯芳烴(calixresorcinarene)類、或倍半硅氧烷(silsesquioxane)等具有羥基的樹(shù)脂形成的醚化物等。其它的例子還可以列舉具有氧雜環(huán)丁烷環(huán)的不飽和單體與(甲基)丙烯酸烷基酯的共聚物等。作為前述分子中具有2個(gè)以上環(huán)狀硫醚基的化合物(D-3)，可以列舉例如，日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制造的雙酚A型環(huán)硫化物樹(shù)脂YL7000等。另外，也可以使用以同樣的合成方法將酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂中的環(huán)氧基的氧原子代替成硫原子的環(huán)硫化物樹(shù)脂等。前述分子中具有2個(gè)以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固化性成分(D)的混合量，相對(duì)于前述含羧酸樹(shù)脂的1當(dāng)量羧基優(yōu)選為0.6-2.0當(dāng)量、更優(yōu)選為0.8~1.5當(dāng)量的范圍。分子中具有2個(gè)以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固化性成分(D)的混合量不足0.6當(dāng)量的情況下，在阻焊膜中會(huì)殘留羧基，使耐熱性、耐堿性、電絕緣性等下降，故不優(yōu)選。另一方面，在超過(guò)2.0當(dāng)量的情況下，由于低分子量的環(huán)狀(硫)醚基會(huì)殘留在干燥涂膜中，導(dǎo)致涂膜的強(qiáng)度等降低，故不優(yōu)選。使用上述分子中具有2個(gè)以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固化性成分(D)的情況下，優(yōu)選含有熱固化催化劑。作為這樣的熱固化催化劑，例如有咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-曱基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、1-氰乙基-2-苯基咪唑、1-(2-氰乙基)-2-乙基-4-甲基咪唑等咪唑衍生物；雙氰胺、節(jié)基二曱基胺、4-(二曱基氨基)-N,N-二甲基千基胺、4-甲氧基-N，N-二曱基千基胺、4-甲基-N,N-二甲基千基胺等胺化合物；己二酸酰肼、癸二酸酰肼等酰肼化合物；三苯基膦等磷化合物等；以及市售的熱固化催化劑有例如四國(guó)化成工業(yè)公司制造的2MZ-A、2MZ-OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(全部都是咪唑系化合物的商品名)，SAN-APRO公司制造的U-CAT3503N、U-CAT3502T(全部都是二甲基胺的嵌段異氰酸酯化合物的商品名)，DBU、DBN、U-CATSA102、U-CAT5002(全部都是二環(huán)式脒化合物及其鹽)等。并不特別限定于上述化合物，只要是環(huán)氧樹(shù)脂或氧雜環(huán)丁烷化合物的熱固化催化劑、或可以促進(jìn)環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基與羧基的反應(yīng)的物質(zhì)就可以，可以單獨(dú)使用或混合2種以上使用。另外，也可以使用三聚氰二胺、乙酰三聚氰二胺、苯并三聚氰二胺、三聚氰胺、2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基均三嗪、2-乙烯基-2,4-二氨基均三嗪、2-乙烯基-4，6-二氨基均三溱.異氰脲酸加成物、2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基均三"秦.異氰脲酸加成物等均三。秦衍生物，優(yōu)選將這些還起到賦粘劑作用的化合物與前述熱固化催化劑結(jié)合使用。這些熱固化催化劑的混合量以通常的量的比例就足夠，例如相對(duì)于100質(zhì)量份含羧酸樹(shù)脂(A)或分子中具有2個(gè)以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固化性成分(D)優(yōu)選為O.l~20質(zhì)量份、更優(yōu)選為0.5~15.0質(zhì)量<分。本發(fā)明的感光性組合物為了提高其涂膜的物理強(qiáng)度等，還可根據(jù)需要配合無(wú)機(jī)填充材料。作為這樣的填料可使用公知常用的無(wú)機(jī)或有機(jī)填充劑，特別優(yōu)選使用硫酸鋇、球狀硅石和滑石。另外，還可使用在具有l(wèi)個(gè)以上烯屬不飽和基團(tuán)的化合物、前述多官能環(huán)氧樹(shù)脂(D-l)中分散有納米硅石的Hanse-Chemie公司制造的NANOCRYL(商品名)XP0396、XP0596、XP0733、XP0746、XP0765、XP0768、XP0953、XP0954、XP1045(均是商品型號(hào)名)、Hanse-Chemie公司制造的NANOPOX(商品名)XP0516、XP0525、XP0314(均是商品型號(hào)名)。這些可單獨(dú)或者組合兩種以上使用。這些填料的混合量相對(duì)于100質(zhì)量份前述含羧酸樹(shù)脂(A)優(yōu)選為300質(zhì)量份以下，更優(yōu)選為O.l~300質(zhì)量份，特別優(yōu)選為0.1~150質(zhì)量份。前述填料的混合量超過(guò)300質(zhì)量份時(shí)，感光性組合物的粘度變高，印刷性降低，或者固化物變脆，故不優(yōu)選。另外，本發(fā)明的感光性組合物為了合成前述含羧酸樹(shù)脂(A)、調(diào)制組合物，或者為了調(diào)整用于涂布到基板或載體膜上的粘度，可使用有機(jī)溶劑。作為這樣的有機(jī)溶劑，可列舉出酮類、芳香族烴類、二醇醚類、二醇醚醋酸酯類、酯類、醇類、脂肪族烴、石油系溶劑等。具體來(lái)說(shuō)，可列舉出甲乙酮、環(huán)己酮等酮類；甲苯、二甲苯、四曱基苯等芳香族烴類；溶纖劑、曱基溶纖劑、丁基溶纖劑、卡必醇、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇單甲醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇二乙醚、三乙二醇單乙醚等二醇醚類；乙酸乙酯、乙酸丁酯、二丙二醇曱醚乙酸酯、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丁醚乙酸酯等醚類；乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇等醇類；辛烷、癸烷等脂肪族烴；石油醚、石腦油、加氫石腦油、溶劑石腦油等石油系溶劑。這些有機(jī)溶劑可單獨(dú)或組合使用2種以上。本發(fā)明的感光性組合物還可根據(jù)需要混合氫醌、氳醌單曱醚、叔丁基鄰苯二酚、連苯三酚、吩噻溱等公知常用的熱阻聚劑，微粉二氧化硅、有機(jī)膨潤(rùn)土、蒙脫石等公知常用的增稠劑，硅酮系、氟系、高分子系等的消泡劑和/或流平劑，咪唑系、噻唑系、三唑系等的硅烷偶聯(lián)劑，抗氧化劑，防銹劑等這樣的公知常用的添加劑類。例如用前述有機(jī)溶劑將本發(fā)明的感光性組合物調(diào)整到適合于涂布方法的粘度，通過(guò)浸涂法、流涂法、輥涂法、棒涂法、絲網(wǎng)印刷法、幕式淋涂法等方法涂布到形成有電路的基板上，在約60~100°C的溫度下使組合物中所含的有機(jī)溶劑揮發(fā)干燥(暫時(shí)干燥)，由此可以形成不粘手的涂膜。該本發(fā)明的感光性組合物的干燥涂膜優(yōu)選具有15~100(am的厚度。另外，通過(guò)將本發(fā)明的感光性組合物涂布到載體膜上，使其干燥，可得到干膜。將作為薄膜巻繞得到的物質(zhì)貼合到基板上，剝離載體膜，由此，可在形成有電路的基板上形成阻焊膜。然后，用直接描繪裝置(激光直接成像裝置)，描繪圖案潛影后，通過(guò)堿性水溶液(例如，0.3~3%碳酸鈉水溶液)，對(duì)未曝光部進(jìn)行顯影，形成阻焊圖案。進(jìn)而，在含有熱固化性成分的情況下，通過(guò)加熱到例如約140~180°C的溫度而使其熱固化，從而前述含羧酸樹(shù)脂(A)的羧基與分子中具有2個(gè)以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固化性成分(D)的環(huán)狀(硫)醚基反應(yīng)，可得到耐熱性、耐化學(xué)藥品性、耐吸濕性、密合性、電特性等各個(gè)特性優(yōu)異的固化涂膜。作為用于上述基板的基材，可以列舉使用紙酚醛樹(shù)脂、紙環(huán)氧樹(shù)脂、玻璃布環(huán)氧樹(shù)脂、玻璃聚酰亞胺、玻璃布/無(wú)紡布環(huán)氧樹(shù)脂、玻璃布/紙環(huán)氧樹(shù)脂、合成纖維環(huán)氧樹(shù)脂、氟-聚乙烯-PPO-氰酸酯等的高頻電路用覆銅層壓板等材質(zhì)的所有型號(hào)(FR-4等)的覆銅層壓板，以及聚酰亞胺膜、PET膜、玻璃基板、陶資基板、晶圓板等。熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐、IR爐、熱板、對(duì)流加熱爐等(使用具有利用蒸氣的空氣加熱方式的熱源的裝置并使干燥機(jī)內(nèi)的熱風(fēng)對(duì)流接觸的方法，和通過(guò)噴嘴將干燥機(jī)內(nèi)的熱風(fēng)噴出到支撐體的方式)進(jìn)行。作為用于本發(fā)明的感光性組合物的曝光裝置中的光源，可使用半導(dǎo)體激光、固體激光。另外，其曝光量因本發(fā)明的感光性組合物的干燥涂膜厚等而不同，通常為5~100mJ/cm2、優(yōu)選為560mJ/cm2、進(jìn)一步優(yōu)選在為5~30mJ/cm2的范圍。作為直接描繪裝置，可使用PENTAXCompany制造、HitachiViaMechanics,Ltd.制造、BallSemiconductorInc.制造的裝置。作為前述顯影方法，可利用浸漬法、噴淋法、噴射法、涂刷法等，作為顯影液，可使用氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸鈉、碳酸鉀、磷酸鈉、硅酸鈉、氨、四甲基氫氧化銨等的堿性水溶液。實(shí)施例下面，例示實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明，但本發(fā)明并不限定于下述實(shí)施例。<含羧酸樹(shù)脂的合成〉在具有攪拌機(jī)、溫度計(jì)、回流冷凝器、滴液漏斗和氮?dú)鈱?dǎo)入管的2升的可拆分式燒瓶中加入660g曱醛酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂(日本化藥(林)制造、EOCN-104S、軟化點(diǎn)92。C、環(huán)氧當(dāng)量=220g/當(dāng)量)、421.3g作為溶劑的卡必醇乙酸酯和180.6g溶劑石腦油，加熱到90。C并攪拌，溶解。接著，暫時(shí)冷卻到60。C，加入216g丙烯酸、4.0g作為反應(yīng)催化劑的三苯基膦、1.3g作為阻聚劑的甲基氫醌，在100°C下使其反應(yīng)12小時(shí)，得到酸值為0.2mgKOH/g的反應(yīng)產(chǎn)物。向其中加入241.7g四氫鄰苯二甲酸酐，力口熱到90。C并使其反應(yīng)6小時(shí)。由此，得到不揮發(fā)成分=65質(zhì)量％、固體成分酸值=77mgKOH/g、雙4建當(dāng)量(每1摩爾不飽和基團(tuán)的樹(shù)脂的g重量)=40(^/當(dāng)量、重均分子量=7000的含羧酸樹(shù)脂的溶液。下面，將該含羧酸樹(shù)脂的溶液稱為A-l清漆。<感光性組合物1~7的調(diào)制>用表l所示的量(質(zhì)量份)配合表l所示的成分，并攪拌，用三輥輥磨機(jī)使其分散，分別得到感光性組合物。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>*1:2-(乙酰氧基亞氨曱基)多噸-9_酮(肟酯系光聚合引發(fā)劑(I))*2:1-[9-乙基-6-(2-曱基苯曱?；?-9H-呻。坐-3_基]_1-(0-乙酰肟)乙酮(CibaSpecialtyChemicals公司制造的IRGACUREOXE02)(肝酯系光聚合引發(fā)劑(I))*3:2-曱基-1-[4-(曱硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮(氨基苯乙酮系光聚合引發(fā)劑(II))*4:(2,4,6-三甲基苯曱酰基)二苯基氧化膦(?；趸⑾倒饩酆弦l(fā)劑(III))*5:2,4-二乙基p塞p屯酮*6:4,4'——雙二乙基氨基二苯曱酮*7:7-(二乙基氨基)-4-曱基-2H-1_苯并吡喃-2-酉同*8:六丙烯酸二季戊四醇酯*9:硫酸鋇(轎化學(xué)工業(yè)公司制造的B-30)*10:苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂(日本化藥公司制造的EPPN-201)*11:聯(lián)二甲苯酚型環(huán)氧樹(shù)脂(JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制造的YX-4000)*12:蒽醌系黃色顏料*13:二丙二醇甲醚乙酸酯|*14:出光石油化學(xué)公司制造芳香族系有機(jī)溶劑商品名Ipsol#150調(diào)查使用感光性組合物l~7形成的阻焊膜的吸光度。即，將各個(gè)感光性組合物用涂布機(jī)涂布到玻璃板上后，使用熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐，在80。C下干燥30分鐘，在玻璃板上制作其干燥涂膜。對(duì)于該玻璃板上的各個(gè)感光性組合物的干燥涂膜，使用紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)(日本分光抹式會(huì)社制造、Ubest-V-570DS)和積分球裝置(日本分光抹式會(huì)社制造、ISN-470),測(cè)定吸光度。另外，對(duì)于與涂布有各個(gè)感光性組合物的玻璃板同樣的玻璃板，測(cè)定300~500nm的波長(zhǎng)范圍的吸光度基線。從所制作的帶干燥涂膜的玻璃板的吸光度減去基線，從而算出干燥涂膜的吸光度。將涂布機(jī)涂布的涂膜厚度分4個(gè)階段改變而進(jìn)行該操作，從該圖表，求出干燥阻焊膜厚為25jim時(shí)的吸光度。結(jié)果示于表2。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>接著，對(duì)于感光性組合物l,通過(guò)表3所示的實(shí)施例1和實(shí)施例2、以及比較例l~4的曝光方法，對(duì)該干燥涂膜進(jìn)行曝光。表3曝光方法實(shí)施例1用具有發(fā)出355nm的波長(zhǎng)的紫外激光的光源的直接描繪機(jī)進(jìn)行曝光，形成圖案潛影后，用具有發(fā)出405nm的藍(lán)紫激光的藍(lán)紫光源的直接描繪機(jī)在該圖案潛影上進(jìn)行曝光。實(shí)施例2用具有發(fā)出405nm的波長(zhǎng)的藍(lán)紫激光的藍(lán)紫光源的直接描繪機(jī)進(jìn)行曝光，形成圖案潛影后，用具有發(fā)出355nm的波長(zhǎng)的紫外激光的光源的直接描繪機(jī)在該圖案潛影上進(jìn)行曝光。比4交例1用具有發(fā)出355nm的波長(zhǎng)的藍(lán)紫激光的藍(lán)紫光源的直接描繪機(jī)進(jìn)行曝光，形成圖案潛影比專支例2用具有發(fā)出355nm的波長(zhǎng)的紫外激光的光源的直接描繪機(jī)進(jìn)行曝光，形成圖案潛影后，用具有同樣光源的直接描繪機(jī)在該圖案潛影上進(jìn)行曝光比較例3用具有發(fā)出405nm的波長(zhǎng)的藍(lán)紫激光的光源的直接描繪機(jī)進(jìn)行曝光，形成圖案潛影比專交例4用具有發(fā)出405nm的波長(zhǎng)的藍(lán)紫激光的藍(lán)紫激光光源的直接描繪機(jī)進(jìn)行曝光，形成圖案潛影后，用具有同樣光源的直接描繪機(jī)在該圖案潛影上進(jìn)行曝光在此，為了調(diào)查所形成的阻焊膜的諸性質(zhì)，進(jìn)行如下試驗(yàn),進(jìn)行評(píng)價(jià)。(1)表面固化性對(duì)銅厚355(im的覆銅基板進(jìn)行拋光輥研磨后，水洗，使其干燥。然后，通過(guò)絲網(wǎng)印刷法將感光性組合物l涂布到該基板上，用80°C的熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐干燥60分鐘。干燥后，通過(guò)實(shí)施例l和2、以及比較例1~4的曝光方法，對(duì)該干燥阻焊涂膜進(jìn)行曝光。曝光圖案使用全面曝光圖案。曝光后，使用1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液作為顯影液，在30。C、0.2MPa下進(jìn)行60秒鐘顯影，接著，在15(TC下進(jìn)行60分鐘熱固化。使用光澤度計(jì)micro-tri-gloss(BYKGardner公司制造)對(duì)這樣得到的固化涂膜的表面固化性進(jìn)行入射角60°時(shí)的光澤度的評(píng)價(jià)。以光澤度50作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)，該數(shù)值以上為良好，不足該數(shù)值為不良。該評(píng)價(jià)結(jié)果示于表4。(2)固化深度和截面形狀將線/間隔=300nm/300^im的寬度且銅厚為70jim的電路圖案基板分別進(jìn)行拋光輥研磨后，進(jìn)行水洗，干燥。通過(guò)絲網(wǎng)印刷法將感光性組合物l涂布到該電路圖案基板上，用80°C的熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐干燥30分鐘。干燥后，通過(guò)實(shí)施例1和2、以及比較例14的曝光方法，對(duì)該干燥涂膜進(jìn)行曝光。曝光圖案使用在上述間隔部分別依次描繪30/40/50/60/70/80/90/100nm的寬度的線的圖案。曝光后，使用1.0質(zhì)量％碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影，從而得到阻焊圖案。接著，用高壓汞燈以1000mJ/cm"的曝光量照射紫外光后，使其熱固化60分鐘。此時(shí)，將殘留的最小線寬作為固化深度的評(píng)價(jià)。另外，通過(guò)觀察固化涂膜的線寬的設(shè)計(jì)值為100jim的線部的截面，進(jìn)行截面形狀的評(píng)價(jià)。在此，銅厚為70(im時(shí)的阻焊膜的厚度為65nm。根據(jù)圖l的示意圖，以AE五個(gè)等級(jí)對(duì)截面形狀進(jìn)行評(píng)價(jià)。圖中，la表示線寬的設(shè)計(jì)值，lb表示曝光顯影后的阻焊膜的形狀，1C表示基板。各個(gè)評(píng)價(jià)的狀態(tài)如下，即，A評(píng)價(jià)按設(shè)計(jì)寬度的理想狀態(tài)B評(píng)價(jià)產(chǎn)生耐顯影性不足等導(dǎo)致的表面層的腐蝕C評(píng)價(jià)底切狀態(tài)D評(píng)價(jià)產(chǎn)生暈影等導(dǎo)致的線變粗E評(píng)價(jià)產(chǎn)生表面層的線變粗和底切在此，底切和暈影都是表示偏離設(shè)計(jì)值的偏差的術(shù)語(yǔ)。底切特別是表示下部比設(shè)計(jì)值更細(xì)，暈影表示上部、下部中的任一個(gè)或兩者比設(shè)計(jì)值粗。特別是在A評(píng)價(jià)中，偏離設(shè)計(jì)值的偏差在線的上部和下部都在5nm以內(nèi)。不光是A評(píng)價(jià)，C評(píng)價(jià)、D評(píng)價(jià)都是可用作阻焊劑的水平。相對(duì)于此，B評(píng)價(jià)、E評(píng)價(jià)中，線、底切部容易剝離，是難以用作阻焊劑的水平，特別是E評(píng)價(jià)為不可使用的水平。評(píng)價(jià)結(jié)果一并示于表4。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>從表4可清楚知道，使用本發(fā)明的曝光方法的實(shí)施例l和2的曝光方法的情況下，以低曝光量和短曝光時(shí)間，得到優(yōu)異的截面形狀、固化深度和表面固化性。另一方面，在使用比較例1~4的曝光方法的情況下，為了使組合物固化，需要更高曝光量和更長(zhǎng)的曝光時(shí)間，另外，所得到的阻焊膜的截面形狀、固化深度和表面固化性不充分。另外，對(duì)于感光性組合物2~7也對(duì)其干燥涂膜進(jìn)行曝光，形成阻焊膜。為了調(diào)查所形成的阻焊膜的諸性質(zhì)，作為曝光方法，使用實(shí)施例1和2的方法與上述同樣地試驗(yàn)，進(jìn)行評(píng)價(jià)。將對(duì)于這些試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果和表4中對(duì)于配合例l的評(píng)價(jià)結(jié)果一起示于表5。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table>從表5的結(jié)果可知，在本發(fā)明的阻焊膜的形成方法中，更優(yōu)選使用顯示如下吸光度的感光性組合物(1~5):其曝光前的干燥涂膜每25(im厚度，在355~380nm的波長(zhǎng)范圍下顯示出0.6~1.2的范圍的吸光度，且在405nm下顯示出0.3~0.6的范圍的吸光度。實(shí)施例3用甲乙酮稀釋表l所示的感光性組合物l,涂布到載體膜上，用80°C的熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐干燥30分鐘，形成厚度為25pm的光固化性熱固化性樹(shù)脂組合物層，在其上貼合上膜(coverfilm)而得到干膜。然后，剝離上膜，在形成有圖案的銅箔基板上熱層壓所得干膜。然后，在表3所示的實(shí)施例1和2的條件下實(shí)施曝光，除去載體膜后，用lwt。/。的碳酸鈉水溶液顯影60秒鐘，得到圖像。再用150。C的熱風(fēng)循環(huán)式千燥爐進(jìn)行60分鐘的熱固化，制作試驗(yàn)基板。對(duì)于所得到的具有固化覆膜的試驗(yàn)基板，以前述試驗(yàn)方法和評(píng)價(jià)方法，對(duì)各個(gè)特性進(jìn)行評(píng)價(jià)試驗(yàn)。結(jié)果與表5的感光性組合物l的結(jié)果相同。權(quán)利要求1.阻焊膜的形成方法，其特征在于，將感光性組合物涂布到基材上使其干燥后，對(duì)該干燥涂膜照射彼此波長(zhǎng)不同的2種以上激光，形成所述2種以上激光分別照射得到的圖案潛影，然后，通過(guò)堿性水溶液進(jìn)行顯影。2.阻焊膜的形成方法，其特征在于，將感光性組合物涂布到基材上使其干燥后，對(duì)該干燥涂膜照射第1激光和與所述第1激光波長(zhǎng)不同的第2激光，形成所述第l激光和第2激光雙方照射得到的圖案潛影，然后，通過(guò)堿性水溶液進(jìn)行顯影。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的阻焊膜的形成方法，其特征在于，所述第l激光和所述第2激光中的一方是藍(lán)紫激光。4.感光性組合物，其特征在于，該感光性組合物用于權(quán)利要求2所述的阻焊膜的形成方法，其中，其曝光前的干燥涂膜每25)im厚度，在355~380nm的波長(zhǎng)范圍顯示0.6~1.2的吸光度，并且，在405nm的波長(zhǎng)下顯示0.3~0.6的吸光度。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光性組合物，其特征在于，曝光前的所述干燥涂膜每25nm厚度，在355~380nm的波長(zhǎng)范圍的最大吸光度與在405nm的波長(zhǎng)下的吸光度之差為0.3以上且不足0.6。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光性組合物，其特征在于，曝光前的干燥涂膜每25jimi厚度，在355nm的波長(zhǎng)下顯示0.6~1.0的吸光度，以及在405nm的波長(zhǎng)下顯示0.3~0.5的吸光度，并且，在355nm的波長(zhǎng)下的吸光度與在405nm的波長(zhǎng)下的吸光度之差為0.3以上且不足0.5。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光性組合物，其特征在于，所述感光性組合物包含(A)含羧酸樹(shù)脂、(B)光聚合引發(fā)劑、以及(C)顏料。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性組合物，其特征在于，所述光聚合引發(fā)劑(B)是選自具有式(I)所示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑、具有式(II)所示的基團(tuán)的a-氨基苯乙酮系光聚合引發(fā)劑、以及具有式(III)所示的基團(tuán)的酰基氧化膦系光聚合引發(fā)劑所組成的組中的1種以上光聚合引發(fā)劑，<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(I)<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(II)<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(III)式中，Ri表示氫原子，可被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代的苯基，可被1個(gè)以上羥基取代且也可在烷基鏈的中間具有l(wèi)個(gè)以上氧原子的碳原子數(shù)l~20的烷基，碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基，可被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代的碳原子數(shù)220的烷?；虮郊柞；?，R表示可被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代的苯基，可被l個(gè)以上羥基取代且也可在烷基鏈的中間具有l(wèi)個(gè)以上氧原子的碳原子數(shù)l~20的烷基，碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基，可被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代的碳原子數(shù)2~20的烷?；虮綍貂；?，RS和R"各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~12的烷基或芳烷基，115和116各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)16的烷基、或兩者結(jié)合而成的環(huán)狀烷基醚基，R7和RS各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~IO的直鏈狀或支鏈狀烷基、環(huán)己基、環(huán)戊基、芳基、或者可被面原子、烷基或烷氧基取代的芳基，其中，117和118中的一方也可表示R-C(=0)-基，這里，R是碳原子數(shù)l~20的烴基。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的感光性組合物，其特征在于，所述具有式(I)所示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑包含式(IV)的化合物。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage4</formula>10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的感光性組合物，其特征在于，所述具有式(I)所示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑包含式(V)的化合物，<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage4</formula>式中，W表示氫原子、囟原子、碳原子數(shù)112的烷基、環(huán)戊基、環(huán)己基、苯基、千基、苯甲?；?、碳原子數(shù)212的烷?；⑻荚訑?shù)2~12的烷氧羰基、或苯氧羰基，其中，構(gòu)成烷氧基的烷基的碳原子數(shù)為2個(gè)以上時(shí)，烷基可被1個(gè)以上羥基取代,也可在烷基鏈的中間具有l(wèi)個(gè)以上氧原子，R"和R"各自獨(dú)立地表示可被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代的苯基，可被1個(gè)以上羥基取代且也可在烷基鏈的中間具有1個(gè)以上氧原子的碳原子數(shù)1~20的烷基，碳原子數(shù)8的環(huán)烷基，可被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代的碳原子數(shù)2~20的烷酰基或苯曱?；?，Ru表示氫原子，可被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代的苯基，可被l個(gè)以上羥基取代且也可在烷基鏈的中間具有l(wèi)個(gè)以上氧原子的碳原子數(shù)l~20的烷基，碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基，可被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代的碳原子數(shù)220的烷?；虮綍貂；?。11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性組合物，其特征在于，所述顏料(C)包括酞菁藍(lán)系顏料。12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性組合物，其特征在于，還包括分子中具有2個(gè)以上環(huán)狀醚基和/或環(huán)狀硫醚基的熱固化性成分(D)。13.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光性組合物，其特征在于，適合用作厚度為15100pm的干燥涂膜。14.干膜，其是將權(quán)利要求4所述的感光性組合物涂布到載膜上后進(jìn)行干燥而得到的。全文摘要本發(fā)明的阻焊膜的形成方法如下，將感光性組合物涂布到基材上使其干燥后，對(duì)該干燥涂膜照射第1激光和與所述第1激光波長(zhǎng)不同的第2激光，形成所述第1激光和第2激光雙方照射得到的圖案潛影，然后，通過(guò)堿性水溶液進(jìn)行顯影。另外，用于本發(fā)明的阻焊膜形成方法的感光性組合物如下，其曝光前的干燥涂膜每25μm厚度，在355～380nm的波長(zhǎng)范圍顯示0.6～1.2的吸光度，并且，在405nm的波長(zhǎng)下顯示0.3～0.6的吸光度。文檔編號(hào)G03F7/00GK101192001SQ20071018725公開(kāi)日2008年6月4日申請(qǐng)日期2007年11月15日優(yōu)先權(quán)日2006年11月15日發(fā)明者加藤賢治,有馬圣夫,柴崎陽(yáng)子申請(qǐng)人:太陽(yáng)油墨制造株式會(huì)社