專利名稱：圖像處理裝置的制作方法
圖像處理裝置
技術(shù)區(qū)域
本發(fā)明涉及圖像處理裝置，特別是涉及與在基板上直接描繪描繪 用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的描繪裝置連接，進(jìn)行把表示輸入了的 布線圖形的矢量形式的圖像數(shù)據(jù)展開(kāi)為描繪用柵格數(shù)據(jù)的RIP處理的 圖像處理裝置。
背景技術(shù)：
作為作成印刷布線基板(PWB: Print Wired Board)、平板顯示器 (FPD)的基板等時(shí)的描繪模式，以前是把在基板上應(yīng)該形成的布線圖形 一次在薄膜上曝光，從而作成掩膜，之后，用該掩膜在基板上對(duì)上述 布線圖形進(jìn)行面曝光，從而進(jìn)行描繪，這種方式(稱為模擬描繪模式) 是一般的，而近幾年興起的是不作成掩膜，基于表示布線圖形的數(shù)字 數(shù)據(jù)(描繪用柵格數(shù)據(jù))而在基板上直接描繪布線圖形的所謂數(shù)字描繪 模式(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
在以數(shù)字描繪模式進(jìn)行描繪的描繪系統(tǒng)中，設(shè)有對(duì)基板進(jìn)行描繪 的描繪裝置和與該描繪裝置連接的圖像處理裝置，圖像處理裝置具有 以下功能輸入利用CAD(Computer Aided Design)/CAM(Computer Aided Manufacturing)而作成的圖像數(shù)據(jù)(表示在基板上應(yīng)該形成的布線 圖形的矢量形式且是一定格式的數(shù)據(jù))，進(jìn)行把輸入了的圖像數(shù)據(jù)向描 繪用柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)的RIP(Raster Image Processor)處理，把通過(guò)RIP處 理而獲得的描繪用柵格數(shù)據(jù)供給到描繪裝置。
專利文獻(xiàn)l:特開(kāi)2004—184921號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明打算解決的課題
在基板上描繪布線圖形時(shí)，為了避免由于描繪了的布線圖形有某 種問(wèn)題而浪費(fèi)基板，最好在描繪裝置在基板上描繪布線圖形之前，事 前目測(cè)檢查該布線圖形的情況。在現(xiàn)有模擬描繪模式中，是用在薄膜 上按布線圖形進(jìn)行曝光而作成的掩膜進(jìn)行上述目測(cè)檢査，而在數(shù)字描 繪模式中不作成掩膜，因而上述目測(cè)檢查是在顯示單元上顯示描繪用 柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形來(lái)進(jìn)行的。
但是，描繪用柵格數(shù)據(jù)與顯示單元相比，分辯率極高，顯示單元 上可顯示的布線圖形只限于描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形中的一 部分。因此，在描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的目測(cè)檢查中，需 要一邊適當(dāng)?shù)貪L動(dòng)該布線圖形中的讓顯示單元顯示的部分一邊反復(fù)進(jìn) 行檢查，操作繁雜，并且難以把握顯示單元上現(xiàn)在顯示的部分是描繪 用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形整體中的哪個(gè)部分，這是存在的問(wèn)題。
還有，描繪用柵格數(shù)據(jù)是以與描繪裝置所涉及的描繪相同的高分 辨率來(lái)表示在基板上應(yīng)該形成的布線圖形的數(shù)據(jù)，因而數(shù)據(jù)量龐大， RIP處理要花費(fèi)長(zhǎng)的時(shí)間，在通過(guò)目測(cè)檢查而檢測(cè)到布線圖形有問(wèn)題的 場(chǎng)合，為消除檢測(cè)到的問(wèn)題而修正圖像數(shù)據(jù)之后，需要再次進(jìn)行花費(fèi)
時(shí)間的RIP處理，因而對(duì)基板制造等作業(yè)的進(jìn)展帶來(lái)很大的不良影響，
這是存在的問(wèn)題。
本發(fā)明是考慮到上述事實(shí)而形成的，其目的在于獲得能實(shí)現(xiàn)對(duì)描 繪用柵格數(shù)據(jù)的目測(cè)檢查的省力化的圖像處理裝置。
用于解決課題的方案
為了達(dá)成上述目的，權(quán)利要求1記載的發(fā)明所涉及的圖像處理裝 置，與在基板上直接描繪描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的描繪裝 置連接，進(jìn)行把表示輸入了的上述布線圖形的矢量形式的圖像數(shù)據(jù)向
上述描繪用柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)的RIP處理，其特征在于，還具備低分辯 率圖像顯示控制單元，基于上述圖像數(shù)據(jù)，生成以低分辯率表示上述 布線圖形的低分辯率布線圖形圖像，在顯示單元上顯示生成了的低分 辯率布線圖形圖像；展開(kāi)單元，在由上述低分辯率顯示控制單元在上 述顯示單元上顯示了的低分辯率布線圖形圖像上通過(guò)指定單元而指定 了擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域的場(chǎng)合，把上述圖像數(shù)據(jù)中的與上述擴(kuò)大顯示對(duì) 象區(qū)域相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)，從而生成以高分辨率表 示上述擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域內(nèi)的布線圖形的高分辨率布線圖形圖像；以 及高分辨率圖像顯示控制單元，在上述顯示單元上顯示由上述展開(kāi)單 元生成了的高分辨率布線圖形圖像。
權(quán)利要求1記載的發(fā)明所涉及的圖像處理裝置，與在基板上直接 描繪描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的描繪裝置連接，其中輸入表 示上述布線圖形的矢量形式的圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行把輸入了的圖像數(shù)據(jù)向 描繪用柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)的RIP處理。在這里，在權(quán)利要求1記載的發(fā)明 中，由低分辯率圖像顯示控制單元基于圖像數(shù)據(jù)來(lái)生成以低分辯率表 示布線圖形的低分辯率布線圖形圖像，把生成了的低分辯率布線圖形 圖像顯示在顯示單元上。還有，展開(kāi)單元，在由低分辯率顯示控制單 元在顯示單元上顯示了的低分辯率布線圖形圖像上通過(guò)指定單元而指 定了擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域的場(chǎng)合，把圖像數(shù)據(jù)中的與擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域 相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)，從而生成以高分辨率表示擴(kuò)大 顯示對(duì)象區(qū)域內(nèi)的布線圖形的高分辨率布線圖形圖像。并且高分辨率 圖像顯示控制單元在顯示單元上顯示由展開(kāi)單元生成了的高分辨率布 線圖形圖像。
這樣，在權(quán)利要求1記載的發(fā)明中，在顯示單元所顯示的低分辯 率布線圖形圖像上通過(guò)指定單元來(lái)指定擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域，從而能把 圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形中的希望的部分作為高分辨率布線圖形圖 像而顯示在顯示單元上，能一邊把握該部分在布線圖形整體上的位置， 一邊進(jìn)行目測(cè)檢查，因而與一邊使顯示單元所顯示的部分適當(dāng)?shù)貪L動(dòng) 一邊進(jìn)行目測(cè)檢查的場(chǎng)合比較，操作變得簡(jiǎn)單，并且能效率很好地進(jìn)
行目測(cè)檢查。因此，根據(jù)權(quán)利要求1記載的發(fā)明，能實(shí)現(xiàn)對(duì)描繪用柵 格數(shù)據(jù)的目測(cè)檢査的省力化。
還有，在權(quán)利要求1記載的發(fā)明中，是把圖像數(shù)據(jù)中的與指定了 的擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)(高分辨率布線圖 形圖像)展開(kāi)而顯示在顯示單元上，因而在高分辨率布線圖形圖像的顯 示之前不必進(jìn)行RIP處理。這樣，在目測(cè)檢查中檢測(cè)到布線圖形有問(wèn) 題的場(chǎng)合，也不必多次進(jìn)行花費(fèi)時(shí)間的RIP處理數(shù)，因而能避免對(duì)基 板制造等作業(yè)的進(jìn)展帶來(lái)不良影響。
另外，在權(quán)利要求1記載的發(fā)明中，如果由上述描繪裝置在基板 上描繪的布線圖形是配置多個(gè)片材而構(gòu)成的，該片材是排列多個(gè)與單 一電路圖形相當(dāng)?shù)南嗤瑔挝徊季€圖形而成的，則例如權(quán)利要求2記載 的，低分辯率圖像顯示控制單元生成、顯示以低分辯率表示布線圖形 整體的圖像，將其作為低分辯率布線圖形圖像，展開(kāi)單元，在表示布 線圖形整體的低分辯率布線圖形圖像上作為上述擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域而 指定了特定的片材的場(chǎng)合，只把圖像數(shù)據(jù)中的與特定的片材內(nèi)的單一 特定單位布線圖形相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)，只對(duì)上述特 定單位生成顯示布線圖形的圖像作為特定片材的高分辨率布線圖形圖 像，這是優(yōu)選的構(gòu)成。
如果由描繪裝置在基板上描繪的布線圖形(布線圖形整體)是配置 多個(gè)片材而構(gòu)成的，該片材是排列多個(gè)與單一電路圖形相當(dāng)?shù)南嗤瑔?位布線圖形而成的，則目測(cè)檢査通常只對(duì)布線圖形整體內(nèi)的各單位布
線圖形中的l個(gè)進(jìn)行?；诖?，在權(quán)利要求2記載的發(fā)明中，在相同
單位布線圖形被排列多個(gè)而成的特定的片材被指定作為擴(kuò)大顯示對(duì)象 區(qū)域的場(chǎng)合，只把特定的片材內(nèi)的與單一特定單位布線圖形相當(dāng)?shù)臄?shù) 據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)，生成只顯示特定單位布線圖形的圖像作 為特定片材的高分辨率布線圖形圖像，因而能在短時(shí)間生成 顯示作 為擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域而指定了的特定的片材的高分辨率布線圖形圖
像。
還有，在權(quán)利要求1記載的發(fā)明中，如果由上述描繪裝置在基板 上描繪的布線圖形是配置多個(gè)片材而構(gòu)成的，該片材是排列多個(gè)與單
一電路圖形相當(dāng)?shù)南嗤瑔挝徊季€圖形而成的，則例如權(quán)利要求3記載 的，低分辯率圖像顯示控制單元生成、顯示以低分辯率表示布線圖形 整體的圖像，將其作為低分辯率布線圖形圖像，展開(kāi)單元，在表示布 線圖形整體的低分辯率布線圖形圖像上作為上述擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域而 指定了特定的片材的場(chǎng)合，把圖像數(shù)據(jù)中的與特定的片材內(nèi)的單一特 定單位布線圖形以外的其他單位布線圖形相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)從向高分辨率柵 格數(shù)據(jù)的展開(kāi)對(duì)象中除外，對(duì)于這些特定單位布線圖形以外的其他單 位布線圖形，生成只顯示表示外緣的框線的特定片材的高分辨率布線 圖形圖像，這是優(yōu)選的構(gòu)成。這樣，與權(quán)利要求2記載的發(fā)明一樣， 能在短時(shí)間生成 顯示作為擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域而指定了的特定的片材 的高分辨率布線圖形圖像。
還有，在權(quán)利要求1記載的發(fā)明中，例如權(quán)利要求4記載了的， 優(yōu)選的是還具備距離運(yùn)算 顯示單元，該距離運(yùn)算 顯示單元在由高 分辨率圖像顯示控制單元在顯示單元上顯示了的高分辨率布線圖形圖 像上，通過(guò)指定單元指定了距離測(cè)量對(duì)象的2點(diǎn)的場(chǎng)合，運(yùn)算指定了 的2點(diǎn)間的距離，將其顯示在顯示單元上。
在數(shù)字描繪模式中，描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形以某分辯 率被描繪在基板上，因而描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形、在基板 上實(shí)際被描繪的布線圖形中的各部分的位置，由于化整誤差的影響， 相對(duì)于圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形，會(huì)以描繪時(shí)的分辯率上鄰接的像 素的距離為最大而變動(dòng)。因此，優(yōu)選的是，對(duì)于在布線圖形中面積不 滿給定值的針孔區(qū)域是不是存在，布線圖形中鄰接的圖形互相重疊的 區(qū)域的幅度不滿給定值的圖形是不是存在，布線圖形中鄰接的圖形的 間隙不滿給定值的圖形是不是存在等，是在展開(kāi)圖像數(shù)據(jù)而獲得的高
分辨率柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形上最終進(jìn)行檢査。
在權(quán)利要求4記載的發(fā)明中，在高分辨率布線圖形圖像上距離測(cè) 量對(duì)象的2點(diǎn)被指定的話，則運(yùn)算指定了的2點(diǎn)間的距離，將其顯示
在顯示單元上，因而在以高分辨率布線圖形圖像為基礎(chǔ)的布線圖形的 目測(cè)檢查中，對(duì)于最終檢查面積不滿給定值的針孔區(qū)域的有無(wú)，鄰接 的圖形互相重疊的區(qū)域的幅度不滿給定值的圖形的有無(wú)，鄰接的圖形 的間隙不滿給定值的圖形的有無(wú)等，能正確且容易地進(jìn)行，能實(shí)現(xiàn)目 測(cè)檢查的省力化。
然而，在采用通過(guò)RIP處理而獲得的描繪用柵格數(shù)據(jù)，實(shí)際在基
板上描繪布線圖形而作成基板時(shí)，例如在鄰接的圖形的間隙不足等布 線圖形的問(wèn)題發(fā)生了的場(chǎng)合，為使得在基板上實(shí)際形成的布線圖形中
不發(fā)生問(wèn)題而修正圖像數(shù)據(jù)之后，需要再次進(jìn)行花費(fèi)時(shí)間的RIP處理、 對(duì)基板的描繪等后工序，所以對(duì)基板制造等作業(yè)的進(jìn)展帶來(lái)很大的不 良影響，并且浪費(fèi)基板，這是存在的問(wèn)題?？紤]到上述情況，在權(quán)利 要求1全權(quán)利要求4中的任意一項(xiàng)記載的發(fā)明中，優(yōu)選的是例如權(quán)利 要求5記載的，還具備檢查單元，該檢查單元在對(duì)輸入了的圖像數(shù)據(jù) 進(jìn)行RIP處理之前，檢查圖像數(shù)據(jù)中是不是有在經(jīng)過(guò)描繪裝置所涉及 的描繪工序而作成的基板上發(fā)生問(wèn)題的缺陷的檢査單元。
根據(jù)權(quán)利要求5記載的發(fā)明，即使輸入了的圖像數(shù)據(jù)中有使經(jīng)過(guò) 描繪裝置所涉及的描繪工序而作成的基板發(fā)生問(wèn)題的缺陷，該缺陷也 會(huì)在對(duì)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP處理之前由檢查單元檢測(cè)到，基于檢測(cè)到的 缺陷而修正圖像數(shù)據(jù)之后進(jìn)行RIP處理，從而能防止因?yàn)閳D像數(shù)據(jù)而 使基板發(fā)生問(wèn)題。并且，能在進(jìn)行RIP處理之前檢測(cè)成為上述錯(cuò)誤、 問(wèn)題的原因的圖像數(shù)據(jù)的缺陷，因而不必?zé)o用地重復(fù)RIP處理、描繪 裝置所涉及的描繪等工序，能防止輸入了的圖像數(shù)據(jù)的缺陷對(duì)基板制 造等作業(yè)的進(jìn)展帶來(lái)很大的不良影響，或者由于上述缺陷而浪費(fèi)基板。
另外，經(jīng)過(guò)描繪裝置所涉及的描繪工序而作成的基板是不是因?yàn)?圖像數(shù)據(jù)而發(fā)生問(wèn)題，還依賴于描繪裝置在基板上描繪布線圖形時(shí)所 適用的描繪條件?？紤]到這一點(diǎn)，在權(quán)利要求5記載的發(fā)明中，檢查 單元優(yōu)選的是例如權(quán)利要求6記載的，在檢査圖像數(shù)據(jù)中是不是有缺 陷時(shí)，取得描繪裝置在基板上描繪布線圖形時(shí)適用的描繪條件，按照 取得的描繪條件來(lái)設(shè)定在上述檢查中用于判斷缺陷的閾值，采用設(shè)定 的閾值進(jìn)行檢查。
在由CAD/CAM系統(tǒng)作成 生成圖像數(shù)據(jù)的時(shí)點(diǎn)，描繪裝置在基 板上描繪布線圖形時(shí)的描繪條件是不定的，因而即使由該工序檢査了 圖像數(shù)據(jù)的缺陷的有無(wú)，也難以有效地降低上述問(wèn)題。相比之下，RIP 處理是把圖像數(shù)據(jù)向與描繪裝置在基板上描繪布線圖形時(shí)的描繪條件 (例如分辯率等)對(duì)應(yīng)的描繪用柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)的處理，因而在進(jìn)行RIP處 理的時(shí)點(diǎn)，上述描繪條件是確定的。在權(quán)利要求6記載的發(fā)明中利用 這一點(diǎn)，取得上述描繪條件，按照取得的描繪條件來(lái)設(shè)定在檢查中用 于判斷缺陷的閾值，采用設(shè)定的閾值進(jìn)行檢查，因而能高精度地判斷 在圖像數(shù)據(jù)中是不是有在經(jīng)過(guò)描繪裝置所涉及的描繪工序而作成的基 板上由于圖像數(shù)據(jù)而發(fā)生問(wèn)題的缺陷，能提高檢查單元所涉及的檢查 精度。
還有，在權(quán)利要求5記載的發(fā)明中，檢查單元進(jìn)行的處理是檢查 在作成的基板上是不是有發(fā)生問(wèn)題的缺陷，具體可以是例如權(quán)利要求7 記載的，檢査以下至少1種在圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形中是不是 包含圓周長(zhǎng)不滿第1給定值的圓弧部；在布線圖形中是不是包含起點(diǎn) 位置處的半徑和終點(diǎn)位置處的半徑的差為第2給定值以上的圓弧部； 在布線圖形中是不是包含半徑為第3給定值以上的圓弧部；在布線圖 形中是不是包含采用了圓以外的孔形狀的線；在布線圖形中是不是包 含起點(diǎn)位置和終點(diǎn)位置形成同一閉合曲線且在從起點(diǎn)位置至終點(diǎn)位置 的途中與自線交叉的自我交叉線；布線圖形是不是存在于離原點(diǎn)為第4 給定值以上的坐標(biāo)處；在圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形中是不是存在面
積不滿第5給定值的針孔區(qū)域；在布線圖形中是不是存在鄰接的圖形 互相重疊的區(qū)域的幅度不滿第6給定值的圖形；以及在上述布線圖形 中是不是存在鄰接的圖形的間隙不滿第7給定值的圖形。
還有，在權(quán)利要求7記載的發(fā)明中，檢査單元優(yōu)選的是例如權(quán)利 要求8記載的，在檢查圖像數(shù)據(jù)中是不是有在作成的基板上發(fā)生問(wèn)題 的缺陷時(shí)，取得作為描繪裝置在基板上描繪布線圖形時(shí)適用的描繪條 件之一的分辯率，按照取得的分辯率來(lái)設(shè)定第1給定值、第2給定值、 第5給定值 第7給定值中的與所執(zhí)行的檢査對(duì)應(yīng)的給定值，采用設(shè)
定的給定值進(jìn)行檢查。這樣，檢査單元在進(jìn)行檢查作成的基板上是不
是有發(fā)生問(wèn)題的缺陷的處理，即以下至少1種檢査在圖像數(shù)據(jù)所表 示的布線圖形中是不是包含圓周長(zhǎng)不滿第1給定值的圓弧部的處理；
檢查在布線圖形中是不是包含起點(diǎn)位置處的半徑和終點(diǎn)位置處的半徑
的差為第2給定值以上的圓弧部的處理；檢査在圖像數(shù)據(jù)所表示的布 線圖形中是不是存在面積不滿第5給定值的針孔區(qū)域的處理；檢查在 布線圖形中是不是存在鄰接的圖形互相重疊的區(qū)域的幅度不滿第6給 定值的圖形的處理；以及檢查在上述布線圖形中是不是存在鄰接的圖 形的間隙不滿第7給定值的圖形的處理的場(chǎng)合，能基于描繪裝置在基 板上描繪布線圖形時(shí)的分辯率，提高這些檢查處理的精度。
還有，在權(quán)利要求7記載的發(fā)明中，檢査單元優(yōu)選的是例如權(quán)利 要求9記載的，在檢査圖像數(shù)據(jù)中是不是有在作成的基板上發(fā)生問(wèn)題 的缺陷時(shí)，取得作為描繪裝置在基板上描繪布線圖形時(shí)適用的描繪條 件之一的設(shè)置在基板上的感光材料的種類，按照取得的感光材料的種 類來(lái)設(shè)定第5及第7給定值中的與所執(zhí)行的檢査對(duì)應(yīng)的給定值，采用 設(shè)定的給定值進(jìn)行檢查。這樣，檢査單元在進(jìn)行檢査作成的基板上是 不是有發(fā)生問(wèn)題的缺陷的處理，即以下至少1種檢查在布線圖形中 是不是存在面積不滿第5給定值的針孔區(qū)域的處理；以及檢査在布線 圖形中是不是存在與鄰接的圖形的間隙不滿第7給定值的圖形的處理 的場(chǎng)合，能基于設(shè)置在由描繪裝置描繪布線圖形的基板上的感光材料
的種類，提高這些檢查處理的精度。
還有，在權(quán)利要求5記載的發(fā)明中，檢査單元優(yōu)選的是例如權(quán)利 要求10記載的，還檢查在圖像數(shù)據(jù)中是不是有在RIP處理中發(fā)生錯(cuò)誤 的缺陷。這樣就能預(yù)防由于圖像數(shù)據(jù)而在RIP處理中發(fā)生錯(cuò)誤而必須
使RIP處理停止，修正圖像數(shù)據(jù)之后再次進(jìn)行RIP處理。另外，作為 檢查在圖像數(shù)據(jù)中是不是有在RIP處理中發(fā)生錯(cuò)誤的缺陷的處理，具 體是例如權(quán)利要求11記載的，可以列舉檢查圖像數(shù)據(jù)中是不是包含在 RIP處理中可處置的文字種類以外的文字、布線圖形的頂點(diǎn)的數(shù)是不是 第8給定值以上、構(gòu)成圖像數(shù)據(jù)的層的數(shù)是不是第9給定值以上中的 至少1種的處理。
還有，在權(quán)利要求5記載的發(fā)明中，優(yōu)選的是例如權(quán)利要求12記 載的，還具備數(shù)據(jù)生成單元，該數(shù)據(jù)生成單元在由檢查單元判斷為在 圖像數(shù)據(jù)中有缺陷的場(chǎng)合，取得判斷為有缺陷的地方在布線圖形上的 坐標(biāo)，基于取得的坐標(biāo)，以在圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形上可重疊顯 示的狀態(tài)，生成在布線圖形上的上述地方標(biāo)明給定的記號(hào)的缺陷地方 標(biāo)明數(shù)據(jù)。這樣，基于由檢查單元判斷為在圖像數(shù)據(jù)中有缺陷這一點(diǎn)， 在信息處理裝置(例如CAM系統(tǒng)的信息處理裝置)的顯示單元上顯示上 述圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形時(shí)，能由數(shù)據(jù)生成單元在所顯示的布線 圖形中的判斷為有缺陷的地方容易地標(biāo)明(重疊顯示)給定的記號(hào)，能容 易地進(jìn)行指明、修正圖像數(shù)據(jù)中的與缺陷相當(dāng)?shù)牟糠值淖鳂I(yè)。
還有，在權(quán)利要求1至權(quán)利要求10中任意一項(xiàng)記載的發(fā)明中，優(yōu) 選的是例如權(quán)利要求13記載的，還具備運(yùn)算單元，取得描繪裝置在 基板上描繪布線圖形時(shí)適用的描繪條件，基于取得的描繪條件和圖像 數(shù)據(jù)，運(yùn)算描繪裝置在現(xiàn)在的描繪條件下描繪了圖像數(shù)據(jù)所表示的布 線圖形的場(chǎng)合的基板上的布線圖形的描繪范圍；以及位置關(guān)系顯示控 制單元，把基于由運(yùn)算單元運(yùn)算所得的描繪范圍，描繪裝置在現(xiàn)在的 描繪條件下描繪了圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的場(chǎng)合的基板和在基板
上的布線圖形的描繪范圍的位置關(guān)系顯示在顯示單元上。
描繪裝置在基板上描繪布線圖形時(shí)的描繪條件中包含規(guī)定在基板 上的布線圖形的描繪范圍的信息，但是在該信息的內(nèi)容不適當(dāng)?shù)膱?chǎng)合， 在描繪裝置所涉及的布線圖形的描繪中，有可能出現(xiàn)描繪范圍從基板 上越出，從而浪費(fèi)基板等不良情況。對(duì)此，在權(quán)利要求13記載的發(fā)明 中，基于描繪條件和圖像數(shù)據(jù)來(lái)運(yùn)算在基板上的布線圖形的描繪范圍， 在顯示單元上顯示基板和基板上的布線圖形的描繪范圍的位置關(guān)系， 從而能在描繪裝置在基板上實(shí)際描繪布線圖形之前檢査描繪條件中的 規(guī)定基板上的布線圖形的描繪范圍的信息的內(nèi)容是不是適當(dāng)，能避免 出現(xiàn)浪費(fèi)基板等不良情況。
發(fā)明效果
如以上說(shuō)明了的，本發(fā)明是基于表示布線圖形的矢量形式的圖像 數(shù)據(jù)，生成以低分辯率表示布線圖形的低分辯率布線圖形圖像，將其 顯示在顯示單元上，并且在低分辯率布線圖形圖像上通過(guò)指定單元指 定了擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域的場(chǎng)合，把圖像數(shù)據(jù)中的與擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域 相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)，從而生成以高分辨率表示擴(kuò)大 顯示對(duì)象區(qū)域內(nèi)的布線圖形的高分辨率布線圖形圖像，將其顯示在顯 示單元上，因而能實(shí)現(xiàn)對(duì)描繪用柵格數(shù)據(jù)的目測(cè)檢查的省力化，這是 其出色效果。


圖1是本實(shí)施方式所涉及的基板描繪系統(tǒng)的概略構(gòu)成圖。 圖2是一并記載了圖像處理裝置中的數(shù)據(jù)流向的功能框圖。
圖3是表示數(shù)據(jù)檢查處理的內(nèi)容的流程圖。
圖4是用于說(shuō)明數(shù)據(jù)檢査處理中的各種檢查的形象圖。
圖5是用于說(shuō)明數(shù)據(jù)檢査處理中的各種檢查的形象圖。
圖6是表示戈博數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的形象圖。
圖7是表示錯(cuò)誤地方顯示的一個(gè)例子的形象圖。
圖8是表示布設(shè)確認(rèn)處理的內(nèi)容的流程圖。
圖9是表示布設(shè)顯示畫(huà)面的一個(gè)例子的形象圖。
圖IO是表示布設(shè)顯示畫(huà)面上的布線圖形的旋轉(zhuǎn)的形象圖。
圖11是表示布設(shè)顯示畫(huà)面上的布線圖形的鏡像顯示的形象圖。
圖12是表示柵格顯示處理的內(nèi)容的流程圖。
圖13是表示描繪單位(布線圖形整體)內(nèi)的單件的配置的一個(gè)例子 的形象圖。
圖14是表示柵格顯示畫(huà)面的一個(gè)例子的形象圖。 圖15是表示在柵格顯示畫(huà)面上顯示單件的狀態(tài)的形象圖。 圖16是表示對(duì)柵格顯示畫(huà)面的片材進(jìn)行顯示的狀態(tài)的形象圖。 圖17是表示在布線圖形的柵格顯示中顯示指定了的2點(diǎn)間的距離 的狀態(tài)的形象圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的一個(gè)例子。圖1表 示本實(shí)施方式所涉及的基板描繪系統(tǒng)10。基板描繪系統(tǒng)10具備把輸入 了的描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形直接描繪在表面涂布了感光材 料的基板上的作為描繪裝置的曝光裝置12。作為曝光裝置12，例如可 以采用把用數(shù)字微鏡器件(DMD)等空間光調(diào)制元件按照描繪用柵格數(shù) 據(jù)調(diào)制了的光束照射在基板上，從而在基板上描繪布線圖形的構(gòu)成。 由曝光裝置12描繪了布線圖形的基板，經(jīng)過(guò)顯影、蝕刻、清洗、切割、 穿孔等公知的工序，形成布線圖形，整形為可安裝電路元件的印刷布 線基板(PWB)。
曝光裝置12與把描繪用柵格數(shù)據(jù)供給到曝光裝置12的圖像處理 裝置14連接，該圖像處理裝置14通過(guò)LAN等網(wǎng)絡(luò)16分別與作為 CAD/CAM系統(tǒng)起作用的多臺(tái)計(jì)算機(jī)18連接。另外，圖1中作為一個(gè) 例子，示出了 3臺(tái)計(jì)算機(jī)18，不過(guò)，作為CAD/CAM系統(tǒng)起作用的計(jì) 算機(jī)18的臺(tái)數(shù)不受上述限定。CAD系統(tǒng)(作為其起作用的計(jì)算機(jī)18) 進(jìn)行設(shè)計(jì)安裝在印刷布線基板上的電子電路，或者設(shè)計(jì)應(yīng)該在印刷布
線基板上形成的布線圖形(與后述的單件(單位布線圖形)相當(dāng)?shù)牟季€圖 形)等工序，把記述了布線圖形的給定格式的數(shù)據(jù)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)16輸出到作
為CAM系統(tǒng)起作用的另外的計(jì)算機(jī)18(也可以是同一計(jì)算機(jī))。
CAM系統(tǒng)(作為其起作用的計(jì)算機(jī)18)，其中輸入記述了布線圖形 的數(shù)據(jù)的話，就進(jìn)行決定把輸入了的數(shù)據(jù)所表示的布線圖形描繪到基 板上時(shí)怎么配置，或者決定在穿孔工序中在基板上的哪個(gè)位置穿孔， 對(duì)布線圖形附加應(yīng)該描繪的評(píng)語(yǔ)等編輯工序。然后，生成以矢量形式(把 圖像作為起點(diǎn)、終點(diǎn)等點(diǎn)的坐標(biāo)和連接其的線、面的方程式等的參數(shù)、 全面涂抹、特殊效果等描繪信息的集合來(lái)表現(xiàn)的數(shù)據(jù)格式)記述了 1次 描繪時(shí)在基板上應(yīng)該描繪的布線圖形整體的圖像數(shù)據(jù)(以下稱為戈博 (力'-一K一亍"一夕)數(shù)據(jù))，把該戈博數(shù)據(jù)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)16傳送到圖像處理裝
置14。另外，把由上述編輯工序決定了的基板上的穿孔位置作為供給 對(duì)基板進(jìn)行穿孔的未圖示的穿孔機(jī)的穿孔數(shù)據(jù)而輸出。
另一方面，圖像處理裝置14與本發(fā)明所涉及的圖像處理裝置對(duì)應(yīng)， 由個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)等組成，包含CPU、存儲(chǔ)器、HDD22(參照?qǐng)D2)、作 為顯示單元的顯示器、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)等而構(gòu)成。在圖像處理裝置14的 HDD中分別安裝使圖像處理裝置14的CPU作為圖2所示的作業(yè)登記 GUI(Graphical User Interface)24、數(shù)據(jù)接受處理部26、數(shù)據(jù)檢査處理部 28、布設(shè)確認(rèn)GUI30、布設(shè)顯示處理部32、柵格顯示GUI34、 RIP處 理部36、作業(yè)顯示GUI38及曝光裝置控制部40起作用的各種應(yīng)用程 序。還有，在HDD22中分別設(shè)有用于收納從CAM系統(tǒng)取得的戈博數(shù) 據(jù)的接收戈博數(shù)據(jù)文件夾44、用于收納經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)檢查處理部28所涉及 的數(shù)據(jù)檢查處理(詳細(xì)情況后述)的戈博數(shù)據(jù)的檢査完畢戈博數(shù)據(jù)文件 夾46、用于收納通過(guò)作業(yè)登記GUI24而輸入了的作業(yè)條件信息的作業(yè) 條件信息文件夾48、用于收納通過(guò)RIP處理部36的RIP處理而獲得的 描繪用柵格數(shù)據(jù)的描繪用柵格數(shù)據(jù)文件夾50。另外，本實(shí)施方式所涉 及的圖像處理裝置14最多可連接2臺(tái)曝光裝置12。 其次，按順序說(shuō)明作為本實(shí)施方式的作用，為了根據(jù)戈博數(shù)據(jù)來(lái) 獲得描繪用柵格數(shù)據(jù)而由圖像處理裝置14進(jìn)行的一連串處理。
在本實(shí)施方式中，把由CAM系統(tǒng)生成了的戈博數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，保管在
可由圖像處理裝置14通過(guò)網(wǎng)絡(luò)訪問(wèn)的存儲(chǔ)介質(zhì)54(例如作為CAM系統(tǒng) 起作用的計(jì)算機(jī)18中內(nèi)置的HDD中設(shè)置的設(shè)定為可由圖像處理裝置 14訪問(wèn)的特定文件夾)中。作業(yè)登記GUI24在圖像處理裝置14的顯示 器可顯示的畫(huà)面中包含用于指示取得來(lái)自存儲(chǔ)介質(zhì)54的戈博數(shù)據(jù)的數(shù) 據(jù)取得指示畫(huà)面，在該數(shù)據(jù)取得指示畫(huà)面顯示在顯示器上的狀態(tài)下， 用戶通過(guò)操作鍵盤(pán)、鼠標(biāo)等而指示從存儲(chǔ)介質(zhì)54取得特定的戈博數(shù)據(jù) 的話，該指示就通過(guò)作業(yè)登記GUI24而輸入到數(shù)據(jù)接受處理部26，數(shù) 據(jù)接受處理部26經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)16而從存儲(chǔ)介質(zhì)54讀出、取得指示了的特 定的戈博數(shù)據(jù)，把取得了的戈博數(shù)據(jù)收納在接收戈博數(shù)據(jù)文件夾44中。
另外，可由計(jì)算機(jī)18實(shí)現(xiàn)的CAD/CAM系統(tǒng)中有各種規(guī)格*功能 的系統(tǒng)，數(shù)據(jù)接受處理部26從存儲(chǔ)介質(zhì)54取得戈博數(shù)據(jù)的話，就檢 査取得了的戈博數(shù)據(jù)的格式，根據(jù)需要進(jìn)行轉(zhuǎn)換到一定格式的戈博數(shù) 據(jù)的處理之后，還進(jìn)行將其收納在接收戈博數(shù)據(jù)文件夾44中的處理。
還有，作業(yè)登記GUI24在圖像處理裝置14的顯示器可顯示的畫(huà) 面中包含用于指示取得檢査接收戈博數(shù)據(jù)文件夾44中收納的戈博數(shù)據(jù) 的檢查指示畫(huà)面。圖示省略了，不過(guò)，該檢査指示畫(huà)面中設(shè)有用于 對(duì)接收戈博數(shù)據(jù)文件夾44中收納的戈博數(shù)據(jù)的文件名等進(jìn)行一覽顯示 的顯示欄；用于對(duì)于從該顯示欄所一覽顯示了的各戈博數(shù)據(jù)中作為處 理對(duì)象被選擇了的戈博數(shù)據(jù)，輸入布線圖形描繪時(shí)的描繪條件(例如分 辯率，布線圖形的描繪所用的曝光裝置12的型號(hào)，描繪模式，描繪布 線圖形的基板的尺寸，戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的旋轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)(鏡像) 的有無(wú)，旋轉(zhuǎn)角度，反轉(zhuǎn)(鏡像)的方向，基板上涂布的感光材料的種類 等)、描繪布線圖形的基板的張數(shù)等作業(yè)條件的輸入欄；以及用于指示 對(duì)從上述顯示欄所一覽顯示了的各戈博數(shù)據(jù)中作為處理對(duì)象被選擇了
的戈博數(shù)據(jù)執(zhí)行數(shù)據(jù)檢查處理的按鈕。
在上述檢查指示畫(huà)面顯示在顯示器上的狀態(tài)下，用戶通過(guò)鍵盤(pán)、 鼠標(biāo)，從檢查指示畫(huà)面內(nèi)的顯示欄所一覽顯示的戈博數(shù)據(jù)中選擇處理 對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)，在檢査指示畫(huà)面內(nèi)的輸入欄中輸入處理對(duì)象的戈博 數(shù)據(jù)的作業(yè)條件的話，表示輸入了的作業(yè)條件的作業(yè)條件信息就作為 處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)的作業(yè)條件被作業(yè)條件信息文件夾48收納。然后， 通過(guò)選擇檢査指示畫(huà)面內(nèi)的按鈕而指示對(duì)處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)執(zhí)行數(shù)
據(jù)檢查處理的話，該指示就通過(guò)作業(yè)登記GUI24而被數(shù)據(jù)檢査處理部 28輸入，由該數(shù)據(jù)檢查處理部28進(jìn)行圖3所示的數(shù)據(jù)檢查處理。另外， 該數(shù)據(jù)檢查處理是與本發(fā)明所涉及的檢査單元相當(dāng)?shù)奶幚?，?zhí)行數(shù)據(jù) 檢查處理的數(shù)據(jù)檢查處理部28與本發(fā)明所涉及的檢查單元對(duì)應(yīng)。
該數(shù)據(jù)檢査處理是對(duì)處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)檢查是不是有在RIP處 理部36所涉及的RIP處理中造成錯(cuò)誤發(fā)生的缺陷、經(jīng)過(guò)曝光裝置12 對(duì)基板描繪布線圖形而作成的印刷布線基板上是不是有成為問(wèn)題發(fā)生 的原因的缺陷的處理，首先，在步驟100中，從檢查完畢戈博數(shù)據(jù)文 件夾46取入處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)，并且從作業(yè)條件信息文件夾48取 入與該戈博數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的作業(yè)條件信息。
在步驟102中，按照由步驟100取入了的作業(yè)條件信息中包含的 描繪時(shí)的分辯率，設(shè)定后述的處理所使用的閾值thl、 th2、 th6。另夕卜， 詳細(xì)情況后述，不過(guò)，閾值thl是檢査圓周長(zhǎng)極小(例如數(shù)wm程度)的 微小圓弧部的有無(wú)時(shí)用的圓周長(zhǎng)的閾值，閾值th2是檢査起、終點(diǎn)處的 半徑上有差的圓弧的有無(wú)時(shí)用的半徑差的閾值，閾值th6是檢查鄰接的 圖形的重疊(重疊區(qū)域)的幅度小的圖形的有無(wú)時(shí)用的幅度的閾值，在步 驟102中，按隨著描繪時(shí)的分辯率變高(即由曝光裝置12在基板上描繪 的布線圖形中的像素的間隔變小)而閾值thl、 th2、 th6都變小的方式， 設(shè)定閾值thl、 th2、 th6。
還有，在步驟104中，按照由步驟100取入了的作業(yè)條件信息中 包含的描繪時(shí)的分辯率和基板上涂布的感光材料的種類，設(shè)定后述的
處理所使用的閾值th5、 th7。詳細(xì)情況后述，不過(guò)，閾值th5是檢査面 積微小的針孔區(qū)域的有無(wú)時(shí)用的面積的閾值，閾值th7是檢査鄰接的圖 形的間隙小的圖形的有無(wú)時(shí)用的間隙的閾值。在曝光裝置12所涉及的 對(duì)基板的布線圖形的描繪中，基板上描繪了的布線圖形上的描繪部分 和非描繪部分的境界(邊沿部分)的清晰度依賴于基板上涂布的感光材 料的曝光量一濃度特性的斜率的大小，經(jīng)過(guò)蝕刻工序在基板上形成的 布線圖形上的邊沿部的位置是向曝光部分和非曝光部分中的由蝕刻工 序除去的一側(cè)的面積變大的方向，按與邊沿部分的清晰度的大小對(duì)應(yīng) 的偏移量而偏移。并且，隨著邊沿部分的位置的偏移，上述針孔區(qū)域 的面積、鄰接的圖形的間隔會(huì)變化。
邊沿部分的清晰度的變化所對(duì)應(yīng)的針孔區(qū)域的面積、鄰接的圖形 的間隔的變化方向隨布線圖形的描繪中的曝光部分是成為蝕刻工序中 殘留的一側(cè)(圖形部)還是成為被除去的一側(cè)(間隙部)而不同，不過(guò)，這 可以根據(jù)感光材料的種類(正或負(fù))來(lái)判斷，還有，感光材料的曝光量一 濃度特性的斜率的大小也可以根據(jù)感光材料的種類來(lái)判斷。在本實(shí)施 方式中，在各種感光材料上描繪布線圖形而作成了印刷布線基板時(shí)， 測(cè)量邊沿部分的實(shí)際的位置相對(duì)于本來(lái)的位置以怎樣的程度偏移，把 測(cè)量結(jié)果作為表格存儲(chǔ)在HDD中，在步驟104中，按照描繪時(shí)的分辯 率而設(shè)定閾值th5、 th7之后，參照上述表格來(lái)取得與基板上涂布的感 光材料的種類對(duì)應(yīng)的邊沿部分的偏移量，按照取得了的偏移量來(lái)修正 閾值th5、 th7，從而設(shè)定與描繪時(shí)的分辯率和感光材料的種類對(duì)應(yīng)的閾 值th5、 th7。
然而，在上述RIP處理部36中，是進(jìn)行把戈博數(shù)據(jù)(具體是檢査 完畢戈博數(shù)據(jù)文件夾46中收納的戈博數(shù)據(jù))向柵格形式(比特圖形式)的 描繪用柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)的RIP處理，不過(guò)，在該RIP處理中，可處置的 文字種類受到限制，在RIP處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含可處置的文字種類以外的文字(例如半角假名文字等)的場(chǎng)合，在檢測(cè)到這種文字的階 段會(huì)出現(xiàn)錯(cuò)誤，RIP處理停止。因此，在下面的步驟106中，從前頭開(kāi) 始按順序參照處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)，進(jìn)行檢查處理，即檢查是不是包 含由RIP處理可處置的文字種類以外的文字。步驟106的檢查處理完 成的話就轉(zhuǎn)移到步驟IOS，在步驟10S的檢查處理中判斷是不是檢測(cè)到 包含相應(yīng)的文字。在判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟112，而在判斷為肯 定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟110，在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示檢測(cè)到錯(cuò)誤(缺陷)是在 處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含由RIP處理可處置的文字種類以外的文字 的錯(cuò)誤的錯(cuò)誤種類信息之后轉(zhuǎn)移到步驟112。
還有，在布線圖形中包含圓周長(zhǎng)極小的(例如數(shù)"m程度)微小圓弧 部的場(chǎng)合，該微小圓弧部成為經(jīng)過(guò)曝光裝置12所涉及的描繪工序而作 成的印刷布線基板的問(wèn)題的原因，因而優(yōu)選的是將其置換為直線。因 此，在下面的步驟112中，進(jìn)行檢査處理，即檢查在處理對(duì)象的戈博 數(shù)據(jù)中是不是包含對(duì)圓周長(zhǎng)不滿閾值thl的微小圓弧部進(jìn)行規(guī)定的數(shù) 據(jù)。另外，在上述步驟102中按照描繪時(shí)的分辯率而設(shè)定了閾值thl， 因而能精度很好地檢查布線圖形中是不是包含成為印刷布線基板的問(wèn) 題的原因的微小圓弧部。步驟112的檢查處理完成的話就轉(zhuǎn)移到步驟 114，在歩驟112的檢查處理中判斷是不是檢測(cè)到相應(yīng)的數(shù)據(jù)。在判斷 為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟118，而在判斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟116， 在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示檢測(cè)到的錯(cuò)誤(缺陷)是在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中 包含規(guī)定微小圓弧部的數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤的錯(cuò)誤種類信息和表示戈博數(shù)據(jù)所 表示的布線圖形上的微小圓弧部的位置的坐標(biāo)信息之后轉(zhuǎn)移到步驟 118。
還有，例如圖4(A)所示，在布線圖形中包含起點(diǎn)處的半徑L1和終 點(diǎn)處的半徑L2的差(IL 1 — L2|)為 一定值(例如數(shù)十"m程度)以上的圓弧 部的場(chǎng)合，該圓弧部也會(huì)成為經(jīng)過(guò)曝光裝置12所涉及的描繪工序而作 成的印刷布線基板的問(wèn)題的原因，因而不是優(yōu)選的。因此，在下面的 步驟118中，進(jìn)行檢查處理，即檢查在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中是不是 包含對(duì)半徑差(IL1一L2I)為閾值th2以上的圓弧部迸行規(guī)定的數(shù)據(jù)。另 外，在上述步驟102也按照描繪時(shí)的分辯率而設(shè)定了閾值th2，因而能 精度很好地檢査布線圖形中是不是包含成為印刷布線基板的問(wèn)題的原 因的有半徑差的圓弧部。步驟118的檢查處理完成的話就轉(zhuǎn)移到步驟 120，在步驟118的檢查處理中判斷是不是檢測(cè)到相應(yīng)的數(shù)據(jù)。在判斷 為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟124，而在判斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟122， 在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示檢測(cè)到的錯(cuò)誤(缺陷)是在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中 包含規(guī)定有半徑差的圓弧部的數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤的錯(cuò)誤種類信息和表示戈博 數(shù)據(jù)所表示的布線圖形上的有半徑差的圓弧部的位置的坐標(biāo)信息之后 轉(zhuǎn)移到步驟124。
還有，一般在布線圖形中不使用半徑過(guò)大(例如一千數(shù)百mm程度) 的圓弧部，因而在布線圖形中包含這樣的半徑過(guò)大圓弧部的場(chǎng)合，該 半徑過(guò)大圓弧部可能成為經(jīng)過(guò)曝光裝置12所涉及的描繪工序而作成的 印刷布線基板的問(wèn)題的原因。因此，在步驟124中，進(jìn)行檢查處理， 即檢查在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中是不是包含對(duì)半徑為閾值th3以上的 圓弧部進(jìn)行規(guī)定的數(shù)據(jù)。步驟124的檢查處理完成的話轉(zhuǎn)移到步驟126; 在步驟124的檢查處理中判斷是不是檢測(cè)到相應(yīng)的數(shù)據(jù)D在判斷為否 定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟130，而在判斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟128，在 存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示檢測(cè)到的錯(cuò)誤(缺陷)是在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包 含規(guī)定半徑過(guò)大圓弧部的數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤的錯(cuò)誤種類信息和表示戈博數(shù)據(jù) 所表示的布線圖形上的半徑過(guò)大圓弧部的位置的坐標(biāo)信息之后轉(zhuǎn)移到 步驟130。
還有，戈博數(shù)據(jù)，例如圖4(B)所示，是指定孔的形狀、起點(diǎn)位置 及終點(diǎn)位置，從而把指定了形狀的孔從起點(diǎn)位置移動(dòng)到終點(diǎn)位置時(shí)的 軌跡描繪成線，如果孔的形狀是圓，則不論孔的移動(dòng)方向如何，線的 幅度都是一定的(-圓的直徑)，而在孔的形狀不是圓的場(chǎng)合，線的幅度 隨孔的移動(dòng)方向而變化。因此，在布線圖形中包含用圓以外的形狀的 孔描繪的線的場(chǎng)合，該線可能成為經(jīng)過(guò)曝光裝置12所涉及的描繪工序
而作成印刷布線基板的問(wèn)題的原因。因此，在步驟130中，進(jìn)行檢査 處理，即檢查在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中是不是包含用圓以外的形狀的
孔描繪的數(shù)據(jù)。步驟130的檢查處理完成的話轉(zhuǎn)移到步驟132，在步驟 130的檢查處理中判斷是不是檢測(cè)到相應(yīng)的數(shù)據(jù)。在判斷為否定的場(chǎng)合 轉(zhuǎn)移到步驟136，而在判斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟134，在存儲(chǔ)器中 存儲(chǔ)表示檢測(cè)到的錯(cuò)誤(缺陷)是在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含用圓以 外的形狀的孔描繪的數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤的錯(cuò)誤種類信息和表示戈博數(shù)據(jù)所表 示的布線圖形上的用圓以外的形狀的孔描繪的線的位置的坐標(biāo)信息之 后轉(zhuǎn)移到步驟136。
還有，例如圖4(C)所示，起點(diǎn)位置和終點(diǎn)位置相同(形成閉合曲線)， 從起點(diǎn)位置至終點(diǎn)位置的途中與自線交叉的自我交叉線一般在布線圖 形中不使用，而在布線圖形中包含這樣的自我交叉線的場(chǎng)合，也會(huì)成 為經(jīng)過(guò)曝光裝置12所涉及的描繪工序而作成的印刷布線基板的問(wèn)題的 原因。因此，在下面的步驟136中，進(jìn)行檢查處理，即檢查在處理對(duì) 象的戈博數(shù)據(jù)中是不是包含對(duì)自我交叉線進(jìn)行規(guī)定的數(shù)據(jù)。步驟136 的檢査處理完成的話轉(zhuǎn)移到步驟138，在步驟136的檢查處理中判斷是 不是檢測(cè)到相應(yīng)的數(shù)據(jù)。在判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟142，而在判 斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟140，在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示檢測(cè)到的錯(cuò)誤 (缺陷)是在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含規(guī)定自我交叉線的數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤 的錯(cuò)誤種類信息和表示戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形上的自我交叉線的 位置的坐標(biāo)信息之后轉(zhuǎn)移到步驟142。
還有，在RIP處理中，在RIP處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含的頂點(diǎn) 的數(shù)有上限(例如2048個(gè))，在RIP處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含超過(guò)上 限的數(shù)的頂點(diǎn)的場(chǎng)合，在檢測(cè)到該上限以上的頂點(diǎn)數(shù)的階段，會(huì)出現(xiàn) 錯(cuò)誤，RIP處理停止。因此，在步驟142中進(jìn)行檢查處理，即檢查在處 理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含的頂點(diǎn)的數(shù)是不是閾值th8—RIP處理的上限) 以上。步驟142的檢查處理完成的話轉(zhuǎn)移到步驟144,在步驟142的檢 查處理中判斷頂點(diǎn)的數(shù)是不是閾值th8以上。在判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟148，而在判斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟146，在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ) 表示檢測(cè)到的錯(cuò)誤(缺陷)是在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含上限以上的
數(shù)的頂點(diǎn)的錯(cuò)誤的錯(cuò)誤種類信息之后轉(zhuǎn)移到步驟148。
還有，戈博數(shù)據(jù)，例如圖4(D)所示，是把目的圖像(布線圖形)分 解為多層圖像來(lái)表示，并且通過(guò)附加指示各層圖像的加或減的數(shù)據(jù)來(lái) 表示目的圖像(布線圖形)的數(shù)據(jù)，在RIP處理中，構(gòu)成RIP處理對(duì)象的 戈博數(shù)據(jù)的層的數(shù)有上限(例如1024個(gè))，在RIP處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù) 由超過(guò)上限的數(shù)的層構(gòu)成的場(chǎng)合，在檢測(cè)到該上限以上的層數(shù)的階段， 會(huì)出現(xiàn)錯(cuò)誤，RIP處理停止。因此，在步驟148中進(jìn)行檢査處理，即檢 查構(gòu)成處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)的層的數(shù)是不是閾值th9^RIP處理的上限) 以上。步驟148的檢査處理完成的話轉(zhuǎn)移到步驟150，在步驟148的檢 查處理中判斷層的數(shù)是不是閾值th9以上。在判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到 步驟154，而在判斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟152，在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表 示檢測(cè)到的錯(cuò)誤(缺陷)是構(gòu)成處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)的層數(shù)超過(guò)上限的 錯(cuò)誤的錯(cuò)誤禾卜類信息之后轉(zhuǎn)移到步驟15 4 。
還有，在布線圖形中有離戈博數(shù)據(jù)的原點(diǎn)的距離過(guò)大(例如一千數(shù) 百mm程度)的部分存在的場(chǎng)合，在曝光裝置12所涉及的描繪工序中， 上述離原點(diǎn)的距離過(guò)大的部分的描繪位置會(huì)從基板越出，很可能作不 成適當(dāng)?shù)挠∷⒉季€基板。因此，在步驟154中進(jìn)行檢査處理，即檢查 在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示布線圖形中是不是包含離戈博數(shù)據(jù)的原 點(diǎn)的距離為閾值th4以上的部分。步驟154的檢査處理完成的話轉(zhuǎn)移到 步驟156，在步驟154的檢查處理中判斷是不是檢測(cè)到相應(yīng)的數(shù)據(jù)。在 判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟160，而在判斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟 158，在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示檢測(cè)到的錯(cuò)誤(缺陷)是在處理對(duì)象的戈博數(shù) 據(jù)所表示布線圖形中包含離戈博數(shù)據(jù)的原點(diǎn)的距離過(guò)大的部分的錯(cuò)誤 的錯(cuò)誤種類信息和表示戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形上的離上述原點(diǎn)的 距離過(guò)大的部分的位置的坐標(biāo)信息之后轉(zhuǎn)移到步驟160。
還有，面積微小的針孔區(qū)域一般在布線圖形中不使用，在布線圖 形中包含這樣的微小面積的針孔區(qū)域的場(chǎng)合，該微小面積的針孔區(qū)域 可能會(huì)成為經(jīng)過(guò)曝光裝置12所涉及的描繪工序而作成的印刷布線基板 的問(wèn)題的原因。因此，在步驟160中進(jìn)行檢査處理，即檢查在處理對(duì) 象的戈博數(shù)據(jù)中是不是包含對(duì)面積不滿閾值th5的針孔區(qū)域進(jìn)行規(guī)定 的數(shù)據(jù)。另外，閾值th5是在上述步驟104中按照描繪時(shí)的分辯率及基
板上的感光材料的種類而設(shè)定的，因而能精度很好地檢査在布線圖形 中是不是包含成為印刷布線基板的問(wèn)題的原因的微小面積的針孔部。
步驟160的檢查處理完成的話轉(zhuǎn)移到步驟162，在步驟160的檢査處理 中判斷是不是檢測(cè)到相應(yīng)的數(shù)據(jù)。在判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟 166，而在判斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟164，在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示檢 測(cè)到的錯(cuò)誤(缺陷)是在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含規(guī)定微小面積的針 孔區(qū)域的數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤的錯(cuò)誤種類信息和表示戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖 形上的微小面積的針孔區(qū)域的位置的坐標(biāo)信息之后轉(zhuǎn)移到步驟166。
還有，在戈博數(shù)據(jù)中，在全面涂抹目的圖像(布線圖形)中的任意區(qū) 域的場(chǎng)合，有時(shí)不采用指示全面涂抹的指令，而是例如圖5(A)所示， 按鄰接的線的一部分重疊(把重疊的部分稱為重疊區(qū)域)的方式指示多 個(gè)線的描繪，從而設(shè)定指示希望的區(qū)域的全面涂抹的數(shù)據(jù)，此時(shí)重疊 區(qū)域的幅度OVL不足的話，經(jīng)過(guò)曝光裝置12所涉及的描繪工序而作 成的印刷布線基板上的布線圖形中的與上述重疊區(qū)域相當(dāng)?shù)牟糠志陀?可能成為與描繪工序中未被曝光的部分相同的狀態(tài)。
因此，在步驟166中進(jìn)行檢査處理，即檢査在處理對(duì)象的戈博數(shù) 據(jù)中是不是包含對(duì)重疊區(qū)域的幅度不滿閾值th6的圖形(線等)進(jìn)行規(guī)定 的數(shù)據(jù)。另外，閾值th6是在上述步驟102中按照描繪時(shí)的分辯率而設(shè) 定的，因而能精度很好地檢査在布線圖形中是不是包含成為印刷布線 基板的問(wèn)題的原因的重疊區(qū)域的幅度不足的圖形。步驟166的檢查處 理完成的話轉(zhuǎn)移到步驟168，在步驟166的檢查處理中判斷是不是檢測(cè) 到相應(yīng)的數(shù)據(jù)。在判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟172，而在判斷為肯定
的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟170，在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示檢測(cè)到的錯(cuò)誤(缺陷)是在 處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含對(duì)重疊區(qū)域的幅度不足的圖形進(jìn)行規(guī)定的 數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤的錯(cuò)誤種類信息和表示戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形上的重 疊區(qū)域的幅度不足的圖形的位置的坐標(biāo)信息之后轉(zhuǎn)移到步驟172。
還有，例如圖5(B)所示，在布線圖形中包含鄰接的圖形的間隙GAP 不足的圖形的場(chǎng)合，該鄰接的圖形的間隙不足的圖形很可能成為經(jīng)過(guò) 曝光裝置12所涉及的描繪工序而作成的印刷布線基板的問(wèn)題的原因。 因此，在步驟172中進(jìn)行檢查處理，即檢查在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中 是不是包含對(duì)鄰接的圖形的間隙GAP不滿閾值th7的圖形進(jìn)行規(guī)定的 數(shù)據(jù)。另外，閾值th7是在上述步驟102中按照描繪時(shí)的分辯率及基板 上的感光材料的種類而設(shè)定的，因而能精度很好地檢査在布線圖形中 是不是包含成為印刷布線基板的問(wèn)題的原因的間隙不足的圖形。步驟 172的檢查處理完成的話轉(zhuǎn)移到步驟174，在步驟172的檢査處理中判 斷是不是檢測(cè)到相應(yīng)的數(shù)據(jù)。在判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟178，而 在判斷為肯定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟176，在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示檢測(cè)到的錯(cuò) 誤(缺陷)是在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含規(guī)定間隙不足的圖形的數(shù)據(jù) 的錯(cuò)誤的錯(cuò)誤種類信息和表示戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形上的間隙不 足的圖形的位置的坐標(biāo)信息之后轉(zhuǎn)移到步驟178。
在步驟178中基于存儲(chǔ)器中是不是存儲(chǔ)了錯(cuò)誤種類信息等錯(cuò)誤信 息，判斷是不是通過(guò)上述各檢査處理而在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中檢測(cè) 到某種錯(cuò)誤(缺陷)。在判斷為否定的場(chǎng)合(完全未檢測(cè)到錯(cuò)誤的場(chǎng)合)轉(zhuǎn) 移到步驟180，在檢查完畢戈博數(shù)據(jù)文件夾46中收納處理對(duì)象的戈博 數(shù)據(jù)，結(jié)束數(shù)據(jù)檢查處理。
另一方面，在步驟178中判斷為肯定的場(chǎng)合(檢測(cè)到1個(gè)以上錯(cuò)誤 的場(chǎng)合)轉(zhuǎn)移到步驟182，首先取入存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的錯(cuò)誤信息，判斷取 入了的錯(cuò)誤信息中是不是包含坐標(biāo)信息。然后，在處理對(duì)象的戈博數(shù) 據(jù)中包含坐標(biāo)信息的場(chǎng)合，即在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖
形上檢測(cè)到可標(biāo)明錯(cuò)誤地方的錯(cuò)誤的場(chǎng)合，基于取入了的錯(cuò)誤信息(錯(cuò) 誤種類信息及坐標(biāo)信息)，生成在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖 形上用于標(biāo)明錯(cuò)誤地方的戈博錯(cuò)誤文件，把生成了的戈博錯(cuò)誤文件附 加于處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)。另外，步驟182是與本發(fā)明所涉及的數(shù)據(jù)
生成單元對(duì)應(yīng)的處理，進(jìn)行步驟182的處理的數(shù)據(jù)檢查處理部28也與
本發(fā)明所涉及的數(shù)據(jù)生成單元對(duì)應(yīng)。
本實(shí)施方式所涉及的戈博錯(cuò)誤文件是可作為戈博數(shù)據(jù)來(lái)處置的數(shù)
據(jù)，例如圖6所示，是在戈博開(kāi)頭部和戈博結(jié)束編碼之間記述了錯(cuò)誤
地方(取入了的錯(cuò)誤信息中包含的坐標(biāo)信息所表示的位置)所標(biāo)明的對(duì)
給定的記號(hào)(孔)的形狀、尺寸進(jìn)行規(guī)定的記號(hào)數(shù)據(jù)(圖6中記作「孔形 狀指定」)和對(duì)布線圖形上的給定的記號(hào)的標(biāo)明位置進(jìn)行規(guī)定的坐標(biāo)數(shù) 據(jù)(圖6中記作「錯(cuò)誤項(xiàng)目n指定x、 y坐標(biāo)」)而構(gòu)成的。在步驟182 中，基于取入了的錯(cuò)誤信息中包含的坐標(biāo)信息來(lái)設(shè)定上述坐標(biāo)數(shù)據(jù)， 并且按在由坐標(biāo)數(shù)據(jù)規(guī)定的各個(gè)錯(cuò)誤地方標(biāo)明與各個(gè)錯(cuò)誤種類對(duì)應(yīng)的 記號(hào)的方式設(shè)定上述記號(hào)數(shù)據(jù)，從而生成戈博錯(cuò)誤文件。
然后，在步驟184中，通過(guò)作業(yè)登記GUI24在顯示器上顯示給定 的消息，從而通知在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中檢測(cè)到錯(cuò)誤，并且通過(guò)作 業(yè)登記GUI24在顯示器上顯示檢測(cè)到的錯(cuò)誤內(nèi)容，結(jié)束數(shù)據(jù)檢查處理。 另外，至于錯(cuò)誤內(nèi)容的顯示，如果檢測(cè)到的錯(cuò)誤例如是構(gòu)成處理對(duì)象 的戈博數(shù)據(jù)的層數(shù)超過(guò)上限等那樣難以標(biāo)明錯(cuò)誤地方的錯(cuò)誤(在錯(cuò)誤檢 測(cè)時(shí)未存儲(chǔ)坐標(biāo)信息的錯(cuò)誤)，則僅在顯示器上顯示通知錯(cuò)誤的內(nèi)容的 消息，而如果檢測(cè)到的錯(cuò)誤是可標(biāo)明錯(cuò)誤地方的的錯(cuò)誤(在錯(cuò)誤檢測(cè)時(shí) 存儲(chǔ)了坐標(biāo)信息的錯(cuò)誤)，則基于由步驟182生成了的戈博錯(cuò)誤文件， 例如圖7所示，在顯示器上顯示在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示的布線 圖形中的戈博錯(cuò)誤文件的坐標(biāo)數(shù)據(jù)所指示的錯(cuò)誤地方，把由記號(hào)數(shù)據(jù) 規(guī)定的記號(hào)一一重疊顯示所得的錯(cuò)誤地方標(biāo)明圖像，從而標(biāo)明錯(cuò)誤內(nèi) 容。另外，在顯示錯(cuò)誤內(nèi)容時(shí)，也可以擴(kuò)大顯示特定的錯(cuò)誤地方，并 且按照來(lái)自用戶的指示，依次切換所擴(kuò)大顯示的錯(cuò)誤地方。
在圖7所示的錯(cuò)誤地方標(biāo)明圖像中，在布線圖形上的各錯(cuò)誤地方，
顯示了尺寸及形狀的至少一方互相不同的記號(hào)60A 60D中的與各錯(cuò)
誤地方的錯(cuò)誤種類對(duì)應(yīng)的記號(hào)，由此，用戶能容易地識(shí)別戈博數(shù)據(jù)所 表示的布線圖形上的錯(cuò)誤地方的位置及各錯(cuò)誤地方的錯(cuò)誤種類。還有， 戈博錯(cuò)誤文件是可作為戈博數(shù)據(jù)來(lái)處置的形式，因而也可以把附加了
戈博錯(cuò)誤文件的處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)向作為CAM系統(tǒng)起作用的計(jì)算 機(jī)18傳送，在該計(jì)算機(jī)18的顯示器上顯示圖7所示的錯(cuò)誤地方標(biāo)明 圖像。由此就能基于通過(guò)錯(cuò)誤檢査處理而檢測(cè)到的錯(cuò)誤，更容易地在 CAM系統(tǒng)上進(jìn)行修正戈博數(shù)據(jù)的作業(yè)。
這樣迸行上述數(shù)據(jù)檢査處理，就能預(yù)防戈博數(shù)據(jù)所引起的經(jīng)過(guò)曝 光裝置12所涉及的描繪工序而作成的印刷布線基板發(fā)生問(wèn)題，并且在 進(jìn)行RIP處理之前就能檢測(cè)成為上述問(wèn)題的原因的戈博數(shù)據(jù)的缺陷， 從而不必浪費(fèi)地重復(fù)RIP處理、曝光裝置12所涉及的描繪等工序，能 防止戈博數(shù)據(jù)的缺陷對(duì)基板制造等作業(yè)的進(jìn)展帶來(lái)很大的不良影響， 或者由于上述缺陷而浪費(fèi)基板。
在此，布設(shè)確認(rèn)GUI30在圖像處理裝置14的顯示器可顯示的畫(huà) 面中，包含用于指示確認(rèn)檢查完畢戈博數(shù)據(jù)文件夾46中收納的戈博數(shù) 據(jù)(經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)檢查處理的戈博數(shù)據(jù))所表示的布線圖形的布設(shè)所用的布 設(shè)確認(rèn)指示畫(huà)面。圖示省略了，不過(guò)，在布設(shè)確認(rèn)指示畫(huà)面上，設(shè)有 用于一覽顯示檢查完畢戈博數(shù)據(jù)文件夾46中收納的戈博數(shù)據(jù)的文件名 等的顯示欄，和用于指示對(duì)從上述顯示欄中一覽顯示的各戈博數(shù)據(jù)中 作為處理對(duì)象而選擇了的戈博數(shù)據(jù)執(zhí)行布設(shè)確認(rèn)處理的按鈕。
在期望對(duì)經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)檢查處理的戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形，確認(rèn) 其布設(shè)(布線圖形相對(duì)于基板的描繪范圍的位置、布線圖形在水平面內(nèi) 的角度、表里的方向)的場(chǎng)合，用戶操作鍵盤(pán)、鼠標(biāo)，指示布設(shè)確認(rèn)GUI30 在顯示器上顯示布設(shè)確認(rèn)指示畫(huà)面，在布設(shè)確認(rèn)指示畫(huà)面顯示在顯示器上的狀態(tài)下，從上述顯示欄中一覽顯示的戈博數(shù)據(jù)中選擇處理對(duì)象 的戈博數(shù)據(jù)，選擇布設(shè)確認(rèn)指示畫(huà)面內(nèi)的按鈕，從而指示對(duì)處理對(duì)象 的戈博數(shù)據(jù)執(zhí)行布設(shè)確認(rèn)處理。該指示通過(guò)布設(shè)確認(rèn)GUI30輸入到布
設(shè)顯示處理部32，由布設(shè)顯示處理部32進(jìn)行圖8所示的布設(shè)確認(rèn)處理。
在布設(shè)確認(rèn)處理中，首先在步驟200中，從檢査完畢戈博數(shù)據(jù)文 件夾46取入指定了的處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)，并且從作業(yè)條件信息文件 夾48取入與處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的作業(yè)條件信息。在步驟202中， 由布設(shè)確認(rèn)GUI30在顯示器上顯示用于顯示可確認(rèn)處理對(duì)象的戈博數(shù) 據(jù)所表示的布線圖形的布設(shè)的圖像的布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面(參照?qǐng)D9)，并且基 于由步驟200取入了的作業(yè)條件信息中包含的基板的尺寸等信息，在 布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域顯示表示基板的外緣的框線(圖9中記 作「基板框」)。
在步驟204中，在顯示器上顯示請(qǐng)求用戶指定基板上的原點(diǎn)的位 置的消息之后，判斷是不是由用戶指定了基板上的原點(diǎn)的位置，反復(fù) 進(jìn)行步驟204，直到判斷為肯定。依照顯示器上顯示的消息，用戶指定 基板上的原點(diǎn)的位置(通常是基板上的中心位置)的話，步驟204判斷為 肯定轉(zhuǎn)而移到步驟206，基于由步驟200取入了的處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)， 生成把該處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形，按照在布設(shè)確認(rèn)畫(huà) 面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域顯示的框線的尺寸而縮小顯示的布線圖形圖像。
還有，在步驟208中，基于處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含的戈博數(shù) 據(jù)的原點(diǎn)和基板上的原點(diǎn)的位置關(guān)系、與處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的 作業(yè)條件信息中包含的戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的旋轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)(鏡像) 的有無(wú)、旋轉(zhuǎn)角度，反轉(zhuǎn)(鏡像)的方向以及由用戶指定了的基板上的原 點(diǎn)的位置，運(yùn)算依照現(xiàn)在的作業(yè)條件信息在基板上描繪了處理對(duì)象的 戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的場(chǎng)合的以基板上的原點(diǎn)為基準(zhǔn)的布線圖 形的描繪范圍的位置、旋轉(zhuǎn)角度、反轉(zhuǎn)的有無(wú)及方向。另外，步驟20S 與上述步驟200 —起是與本發(fā)明所涉及的運(yùn)算單元相當(dāng)?shù)奶幚恚M(jìn)行
步驟200、 208的處理的布設(shè)顯示處理部32與本發(fā)明所涉及的運(yùn)算單 元對(duì)應(yīng)。
在步驟210中，把由步驟206生成了的布線圖形圖像，基于步驟 208的運(yùn)算結(jié)果，根據(jù)需要進(jìn)行水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)、表里的方向的反轉(zhuǎn)之 后，顯示在布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域中的由步驟208運(yùn)算所得 的位置(圖9所示的狀態(tài))。另外，步驟210是與本發(fā)明所涉及的位置關(guān) 系顯示控制單元相當(dāng)?shù)奶幚?，進(jìn)行步驟210處理的布設(shè)顯示處理部32 與本發(fā)明所涉及的位置關(guān)系顯示控制單元對(duì)應(yīng)。
還有，如圖9所示，在布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面中設(shè)有用于指示布線圖形的 旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)指示按鈕、用于指示布線圖形的反轉(zhuǎn)(鏡像)的鏡像指示按 鈕，在下面的步驟212中，基于是不是選擇了布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面內(nèi)的旋轉(zhuǎn) 指示按鈕來(lái)判斷是不是指示了布線圖形的旋轉(zhuǎn)。在判斷為否定的場(chǎng)合 轉(zhuǎn)移到步驟216，基于是不是選擇了布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面內(nèi)的鏡像指示按鈕來(lái) 判斷是不是指示了布線圖形的鏡像(反轉(zhuǎn))。在判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到 步驟220，判斷是不是指示了布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面的顯示結(jié)束。在該判斷也為 否定的場(chǎng)合回到步驟212，反復(fù)進(jìn)行步驟212、 216、 220，直到步驟212、 216、 220中的某個(gè)判斷為肯定。
在布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域顯示布線圖形圖像的話，用戶 就審定顯示了的布線圖形圖像相對(duì)于基板的位置、水平面內(nèi)的角度、 表里的方向相對(duì)于表示基板的外緣的框線是不是合適。在這里，在判 斷為布線圖形圖像相對(duì)于基板的位置不適當(dāng)?shù)膱?chǎng)合，用戶就暫時(shí)結(jié)束 布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面的顯示，然后，修正對(duì)處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中包含的戈 博數(shù)據(jù)的原點(diǎn)和基板上的原點(diǎn)的位置關(guān)系進(jìn)行規(guī)定的數(shù)據(jù)，從而修正 把處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形描繪在基板上的場(chǎng)合的以基 板上的原點(diǎn)為基準(zhǔn)的布線圖形的描繪范圍的位置。
還有，在判斷為布線圖形圖像在水平面內(nèi)的角度不適當(dāng)?shù)膱?chǎng)合，
用戶選擇旋轉(zhuǎn)指示按鈕來(lái)指示布線圖形的旋轉(zhuǎn)。另外，在布設(shè)確認(rèn)畫(huà) 面上，作為旋轉(zhuǎn)指示按鈕，設(shè)有用于按互相不同的旋轉(zhuǎn)角度(例如按90
° 、 180° 、 270° )旋轉(zhuǎn)的多個(gè)按鈕，可以選擇與希望的旋轉(zhuǎn)角度對(duì)應(yīng) 的旋轉(zhuǎn)指示按鈕。選擇了旋轉(zhuǎn)指示按鈕的話，則步驟212的判斷為肯 定而轉(zhuǎn)移到步驟214，使布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域所顯示的布線 圖形圖像按與選擇了的旋轉(zhuǎn)指示按鈕對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度旋轉(zhuǎn)之后轉(zhuǎn)移到 步驟216。例如在對(duì)圖9所示的布線圖形圖像指示了 90°旋轉(zhuǎn)的場(chǎng)合， 把布線圖形圖像如圖IO(A)所示進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，在對(duì)圖9所示的布線圖形圖 像指示了 180°旋轉(zhuǎn)的場(chǎng)合，把布線圖形圖像如圖IO(B)所示進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
還有，在判斷為布線圖形圖像的表里的方向不適當(dāng)?shù)膱?chǎng)合，用戶 就選擇鏡像指示按鈕來(lái)指示布線圖形表里方向的反轉(zhuǎn)(鏡像)。另外，在 布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面上，作為鏡像指示按鈕，設(shè)有用于按互相不同的方向(例 如x方向，y方向)反轉(zhuǎn)的多個(gè)按鈕，可以選擇與希望的反轉(zhuǎn)方向?qū)?yīng) 的鏡像指示按鈕。選擇了鏡像指示按鈕的話，則步驟216的判斷為肯 定而轉(zhuǎn)移到步驟218，使布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域所顯示的布線 圖形圖像的表里方向按與選擇了的鏡像指示按鈕對(duì)應(yīng)的反轉(zhuǎn)方向反轉(zhuǎn) 之后轉(zhuǎn)移到步驟220。例如在對(duì)圖9所示的布線圖形圖像指示了把表里 方向在x方向反轉(zhuǎn)的場(chǎng)合，把布線圖形圖像的表里方向如圖ll(A)所示 進(jìn)行反轉(zhuǎn)，在對(duì)圖9所示的布線圖形圖像指示了把表里方向在y方向 反轉(zhuǎn)的場(chǎng)合，把布線圖形圖像的表里方向如圖ll(B)所示進(jìn)行反轉(zhuǎn)。
還有，指示布設(shè)確認(rèn)畫(huà)面的顯示結(jié)束的話，則步驟220的判斷為 肯定而轉(zhuǎn)移到步驟222，在上述處理中，判斷是不是指示了對(duì)布線圖形 的布設(shè)的變更(水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)或表里方向的反轉(zhuǎn))。在判斷為否定的場(chǎng) 合不進(jìn)行任何處理而結(jié)束布設(shè)確認(rèn)處理，而在步驟222的判斷為肯定 的場(chǎng)合則轉(zhuǎn)移到步驟224，按照對(duì)布線圖形指示了的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)、 表里方向的反轉(zhuǎn)，修正處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)的作業(yè)條件信息中包含的 布線圖形的旋轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)的有無(wú) 旋轉(zhuǎn)角度 反轉(zhuǎn)的方向等數(shù)據(jù)中的對(duì) 應(yīng)的部分，把修正后的作業(yè)條件信息重寫(xiě)、收納在作業(yè)條件信息文件
夾48中之后結(jié)束布設(shè)確認(rèn)處理。
通過(guò)上述布設(shè)確認(rèn)處理，在基板上實(shí)際描繪布線圖形之前就能確 認(rèn)把處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形，按照現(xiàn)在的作業(yè)條件信 息，描繪在基板上的場(chǎng)合的布線圖形的布設(shè)(布線圖形相對(duì)于基板的描 繪范圍的位置、布線圖形在水平面內(nèi)的角度、表里的方向)是不是合適， 能避免浪費(fèi)基板等不良情況出現(xiàn)。
還有，指示柵格顯示GUI34在圖像處理裝置14的顯示器可顯示 的畫(huà)面中，包含用于指示把檢査完畢戈博數(shù)據(jù)文件夾46中收納的特定 的戈博數(shù)據(jù)的一部分展開(kāi)為柵格數(shù)據(jù)而顯示在顯示器上的柵格顯示指 示畫(huà)面。圖示省略了，不過(guò)，在柵格顯示指示畫(huà)面上，設(shè)有用于一覽 顯示檢查完畢戈博數(shù)據(jù)文件夾46中收納的戈博數(shù)據(jù)的文件名等的顯示 欄，和用于指示對(duì)從上述顯示欄中一覽顯示的各戈博數(shù)據(jù)中作為處理 對(duì)象而選擇了的戈博數(shù)據(jù)執(zhí)行柵格顯示的按鈕。
在想對(duì)檢査完畢戈博數(shù)據(jù)文件夾46中收納的戈博數(shù)據(jù)所表示的布 線圖形進(jìn)行目測(cè)檢查的場(chǎng)合，用戶操作鍵盤(pán)、鼠標(biāo)，指示柵格顯示GUI34 在顯示器上顯示柵格顯示指示畫(huà)面，在柵格顯示指示畫(huà)面顯示在顯示 器上的狀態(tài)下，從上述顯示欄中一覽顯示的戈博數(shù)據(jù)中選擇處理對(duì)象 的戈博數(shù)據(jù)，選擇柵格顯示指示畫(huà)面內(nèi)的按鈕，從而指示對(duì)處理對(duì)象 的戈博數(shù)據(jù)執(zhí)行柵格顯示處理。該指示通過(guò)柵格顯示GUI34輸入到RIP 處理部36，由RIP處理部36進(jìn)行圖12所示的柵格顯示處理。
在柵格顯示處理中，首先在步驟230中，從檢査完畢戈博數(shù)據(jù)文 件夾46取入指定了的處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)，并且從作業(yè)條件信息文件 夾48取入與處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的作業(yè)條件信息。在步驟232中， 把處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)整體展開(kāi)為低分辯率的柵格數(shù)據(jù)(整體形象圖 像)。另外，從戈博數(shù)據(jù)向柵格數(shù)據(jù)的展開(kāi)可以通過(guò)重復(fù)進(jìn)行以下處理 來(lái)進(jìn)行，例如在存儲(chǔ)器中確保與所輸出的柵格數(shù)據(jù)的分辯率對(duì)應(yīng)的尺寸的描繪區(qū)域， 一邊從前頭起按順序參照戈博數(shù)據(jù)， 一邊在描繪區(qū)域 描繪線等。由此就能獲得以低分辯率表示處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示 的布線圖形整體的整體形象圖像。
在下面的步驟234中，由柵格顯示GUI34在顯示器上顯示用于顯 示處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的柵格圖像的柵格顯示畫(huà)面 (參照?qǐng)D14)。還有，如圖14所示，在該柵格顯示畫(huà)面上，設(shè)有用于顯 示低分辯率的整體形象圖像的整體形象顯示區(qū)域和用于通過(guò)表示布線 圖形來(lái)顯示高分辨率的詳細(xì)顯示圖像的詳細(xì)顯示區(qū)域，由柵格顯示 GUI34在柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的整體形象顯示區(qū)域顯示由步驟232的處理 獲得的整體形象圖像。另外，步驟232、 234是與本發(fā)明所涉及的低分 辯率圖像顯示控制單元相當(dāng)?shù)奶幚?，進(jìn)行步驟232、 234的處理的RIP 處理部36與本發(fā)明所涉及的低分辯率圖像顯示控制單元對(duì)應(yīng)。
在此，基板上的布線圖形的描繪單位(曝光裝置12通過(guò)1次描繪 而在基板上描繪的布線圖形整體)稱為面板(或工件)，特別是在作為最 終產(chǎn)品的印刷布線基板是手機(jī)、PDA(Personal Digital Assistant)等小型 機(jī)器中安裝的印刷布線基板的場(chǎng)合，其尺寸比面板的尺寸小得多，因 而例如圖13所示，常常在面板內(nèi)排列多個(gè)作為最終產(chǎn)品單位的「單件」。 還有，在單件的尺寸小等的場(chǎng)合，把由表示相同布線圖形的單件排列 多個(gè)而成的片材作為單位而從面板切出基板，在切出的面板內(nèi)的各單 件上安裝電路元件等工序之后，從面板內(nèi)切出各單件。在本實(shí)施方式 所涉及的柵格顯示處理中，作為指定在詳細(xì)顯示區(qū)域作為詳細(xì)顯示圖 像來(lái)顯示的范圍的方法，除了在整體形象顯示區(qū)域中顯示的整體形象 圖像上指定詳細(xì)顯示范圍的方法，還備有在整體形象圖像上把希望的 單件或面板指定為詳細(xì)顯示對(duì)象的方法，如圖14所示，在柵格顯示畫(huà) 面上設(shè)有用于指示單件單位下的詳細(xì)顯示的按鈕64A和用于指示片材 單位下的詳細(xì)顯示的按鈕64B。
在下面的步驟236中，在整體形象顯示區(qū)域中顯示的整體形象圖
像上描繪表示詳細(xì)顯示范圍的框(參照?qǐng)D14)，從而判斷在詳細(xì)顯示區(qū)域 中是不是指定了應(yīng)該作為詳細(xì)顯示圖像而顯示的詳細(xì)顯示范圍。在步
驟236的判斷為否定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟238，判斷是通過(guò)選擇整體形象 圖像內(nèi)的特定的單件、選擇按鈕64A，從而指示了單件單位下的詳細(xì) 顯示，還是通過(guò)選擇整體形象圖像內(nèi)的特定的片材、選擇按鈕64B，從 而指示了片材單位下的詳細(xì)顯示。在步驟238的判斷也為否定的場(chǎng)合 回到步驟236，反復(fù)進(jìn)行步驟236、 238，直到步驟236或步驟238的 判斷為肯定。
由用戶進(jìn)行以上述哪種指定方法來(lái)指示詳細(xì)顯示的操作的話，則 步驟236或步驟238的判斷為肯定而轉(zhuǎn)移到步驟240，識(shí)別由用戶指定 了的詳細(xì)顯示范圍。即，在整體形象圖像上描繪了表示詳細(xì)顯示范圍 的框的場(chǎng)合，如果把描繪了的框內(nèi)識(shí)別為詳細(xì)顯示范圍，指示了單件 單位下的詳細(xì)顯示，則把在整體形象圖像上選擇了的特定的單件整體 識(shí)別為詳細(xì)顯示范圍，如果指示了片材單位下的詳細(xì)顯示，則把在整 體形象圖像上選擇了的特定的片材整體識(shí)別為詳細(xì)顯示范圍。
還有，在下面的步驟242中，判斷在由步驟240識(shí)別了的詳細(xì)顯 示范圍內(nèi)是不是有多個(gè)相同布線圖形(表示相同布線圖形的單件)存在， 基于判斷結(jié)果，設(shè)定詳細(xì)顯示范圍中的進(jìn)行從戈博數(shù)據(jù)向柵格數(shù)據(jù)的 展開(kāi)的范圍。例如在指示了單件單位下的詳細(xì)顯示的場(chǎng)合，因?yàn)樵谠?細(xì)顯示范圍內(nèi)不會(huì)有多個(gè)相同布線圖形存在，所以把由步驟240識(shí)別 了的詳細(xì)顯示范圍原樣設(shè)定為柵格展開(kāi)范圍。另一方面，在指示了片 材單位下的詳細(xì)顯示的場(chǎng)合、指示了在整體形象圖像上描繪了的范圍 的詳細(xì)顯示的場(chǎng)合，在詳細(xì)顯示范圍內(nèi)就可能有多個(gè)表示相同布線圖 形的單件存在。如果在詳細(xì)顯示范圍內(nèi)不存在多個(gè)表示相同布線圖形 的單件，就把詳細(xì)顯示范圍原樣設(shè)定為柵格展開(kāi)范圍，而如果在詳細(xì) 顯示范圍內(nèi)存在多個(gè)表示相同布線圖形的單件，就把某1個(gè)單件以外 的各單件除外的范圍設(shè)定為柵格展開(kāi)范圍。
在下面的步驟244中，從處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)中提取與柵格展開(kāi) 范圍相當(dāng)?shù)母瓴?shù)據(jù)，把提取了的戈博數(shù)據(jù)向高分辨率的柵格數(shù)據(jù)展 開(kāi)。另外，上述柵格數(shù)據(jù)的分辯率，考慮到進(jìn)行后述的距離的運(yùn)算*顯 示的話，優(yōu)選的是與描繪時(shí)的分辯率相同，不過(guò)，也可以按把表示詳 細(xì)顯示范圍內(nèi)的布線圖形的詳細(xì)顯示圖像整體收納在柵格顯示畫(huà)面內(nèi) 的詳細(xì)顯示區(qū)域中的方式來(lái)調(diào)整分辯率。還有，如果由步驟242設(shè)定 了的柵格展開(kāi)范圍與由步驟240識(shí)別了的詳細(xì)顯示范圍相同，則上述 柵格數(shù)據(jù)與表示詳細(xì)顯示范圍內(nèi)的布線圖形的詳細(xì)顯示圖像一致，不 過(guò)，因?yàn)樵谠敿?xì)顯示范圍內(nèi)存在多個(gè)表示相同布線圖形的單件，所以 在把詳細(xì)顯示范圍內(nèi)的一部分區(qū)域設(shè)定為柵格展開(kāi)范圍的場(chǎng)合，對(duì)上 述柵格數(shù)據(jù)追加表示從柵格展開(kāi)范圍除外的單件的外緣的框線數(shù)據(jù)， 從而生成表示詳細(xì)顯示范圍內(nèi)的布線圖形的詳細(xì)顯示圖像。然后在下 面的步驟246中，由柵格顯示GUI34在柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)顯示區(qū) 域顯示通過(guò)步驟244的處理而獲得的詳細(xì)顯示圖像。
另外，步驟242、 244是與本發(fā)明所涉及的展開(kāi)單元相當(dāng)?shù)奶幚恚?步驟246是與本發(fā)明所涉及的高分辨率圖像顯示控制單元相當(dāng)?shù)奶幚恚?進(jìn)行步驟242 246的處理的RIP處理部36分別與本發(fā)明所涉及的展 開(kāi)單元及高分辨率圖像顯示控制單元對(duì)應(yīng)。
這樣，在指示了單件單位下的詳細(xì)顯示的場(chǎng)合，例如圖15所示， 在柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)顯示區(qū)域，只詳細(xì)顯示作為詳細(xì)顯示對(duì)象而 選擇了的單一單件的布線圖形。還有，在指示了片材單位下的詳細(xì)顯
示的場(chǎng)合，例如圖16所示，在柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)顯示區(qū)域詳細(xì)顯 示作為詳細(xì)顯示對(duì)象而選擇了的單一片材的布線圖形，不過(guò)，在選擇 了的片材內(nèi)排列了多個(gè)表示相同布線圖形的單件的場(chǎng)合，如圖16所示， 只對(duì)該多個(gè)單件中的單一單件詳細(xì)顯示其布線圖形，對(duì)于其余的單件 只顯示表示其外緣的框線。
這樣，在柵格顯示處理中，只對(duì)于在處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)所表示
的布線圖形中的柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)顯示區(qū)域中顯示的部分，生成、 顯示高分辨率的柵格數(shù)據(jù)，因而與通過(guò)RIP處理而把處理對(duì)象的戈博 數(shù)據(jù)整體展開(kāi)為描繪用柵格數(shù)據(jù)之后，用該描繪用柵格數(shù)據(jù)對(duì)布線圖 形進(jìn)行柵格顯示的場(chǎng)合相比，能高速進(jìn)行布線圖形的柵格顯示，并且 即使對(duì)以柵格顯示的布線圖形通過(guò)目測(cè)檢査而發(fā)現(xiàn)了問(wèn)題，也不必多 次進(jìn)行花費(fèi)時(shí)間的RIP處理復(fù)。
還有，如上所述，在描繪由多個(gè)表示相同布線圖形的單件排列而 成的面板(布線圖形整體)的場(chǎng)合，戈博數(shù)據(jù)借助于只對(duì)單一單件規(guī)定布 線圖形的數(shù)據(jù)和指示把該數(shù)據(jù)所表示的布線圖形復(fù)寫(xiě)在與各單件相當(dāng) 的位置的數(shù)據(jù)來(lái)規(guī)定上述布線圖形整體的內(nèi)容，因而即使在戈博數(shù)據(jù) 所表示的布線圖形的目測(cè)檢査時(shí)，也不必對(duì)面板內(nèi)排列多個(gè)的所有單 件進(jìn)行目測(cè)檢查，只對(duì)表示相同布線圖形的多個(gè)單件中的某1個(gè)進(jìn)行 目測(cè)檢查。因此，在詳細(xì)顯示范圍內(nèi)有多個(gè)表示相同布線圖形的單件 存在的場(chǎng)合，如上所述，只對(duì)單一單件詳細(xì)顯示布線圖形也不會(huì)妨礙 目測(cè)檢查，只對(duì)單一單件進(jìn)行向高分辨率的柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)的處理，從 而能在短吋間在柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)顯示區(qū)域顯示詳細(xì)顯示圖像。
在此，在柵格數(shù)據(jù)的分辯率與描繪時(shí)的分辯率相同的場(chǎng)合，在柵
格顯示畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)顯示區(qū)域，例如圖17所示，按照曝光裝置12所 涉及的描繪時(shí)的基板上的像素間隔和顯示器上的像素間隔(顯示小點(diǎn)的 間隔)的比來(lái)顯示擴(kuò)大顯示了的布線圖形，不過(guò)，在本實(shí)施方式中，在 該狀態(tài)下，也可以運(yùn)算 顯示在所顯示的布線圖形上指定了的任意2 點(diǎn)間的距離。可以在指定了布線圖形上希望的2點(diǎn)(圖17中記作起點(diǎn)、 終點(diǎn))的位置之后(由此在布線圖形上顯示連接2點(diǎn)間的輔助線)通過(guò)進(jìn) 行給定的操作來(lái)指示運(yùn)算 顯示任意2點(diǎn)間的距離。
在下面的步驟248中，判斷是不是通過(guò)進(jìn)行上述操作而指示了布 線圖形上的任意2點(diǎn)間的距離的運(yùn)算 顯示。在步驟248的判斷為否 定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟252，判斷是不是指示了在柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)
顯示區(qū)域顯示的布線圖形圖像的顯示切換。在步驟252的判斷也為否
定的場(chǎng)合轉(zhuǎn)移到步驟254，判斷是不是指示了柵格顯示畫(huà)面的顯示結(jié) 束。在步驟254的判斷也為否定的場(chǎng)合回到步驟248，反復(fù)進(jìn)行步驟 248、 252、 254，直到步驟248、 252、 254中的某個(gè)判斷為肯定。
在這里，在通過(guò)進(jìn)行上述操作而指示了在布線圖形上指定了的任 意2點(diǎn)間的距離的運(yùn)算 顯示的場(chǎng)合，步驟248的判斷為肯定而轉(zhuǎn)移 到步驟250，運(yùn)算、顯示指定了的2點(diǎn)間的距離。另外，曝光裝置12 所涉及的描繪時(shí)的基板上的像素間隔，根據(jù)描繪時(shí)的分辯率，是已知 的，因而，可以對(duì)指定了的2點(diǎn)間的X方向像素及Y方向像素進(jìn)行計(jì) 數(shù)，對(duì)計(jì)數(shù)所得的像素乘以基板上的像素間隔，從而求出指定了的2 點(diǎn)間的基板上的X方向距離及Y方向距離，根據(jù)該X方向距離及Y方 向距離，通過(guò)運(yùn)算而算出指定了的2點(diǎn)間的距離。圖17表示把對(duì)指定 了的2點(diǎn)間的距離進(jìn)行運(yùn)算所得的結(jié)果與運(yùn)算所得的X方向距離及Y 方向距離一起顯示在顯示欄68中的狀態(tài)。步驟250是與本發(fā)明所涉及 的距離運(yùn)算 顯示單元相當(dāng)?shù)奶幚?，進(jìn)行步驟250的處理的RIP處理 部36與本發(fā)明所涉及的距離運(yùn)算 顯示單元對(duì)應(yīng)。
在數(shù)字描繪模式下，是把描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形以給 定的分辯率描繪在基板上，因而描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形上 的曝光部和未曝光部的境界位置，由于化整誤差的影響，相對(duì)于戈博 數(shù)據(jù)所表示的布線圖形，描繪時(shí)的分辯率上鄰接的像素的距離變動(dòng)最 大，隨著該變動(dòng)，在基板上實(shí)際描繪的布線圖形上的曝光部和未曝光 部的境界位置也會(huì)變動(dòng)。因此，優(yōu)選的是，鄰接的圖形的間隙的大小 等，要相對(duì)于描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形進(jìn)行目測(cè)檢查，最終 進(jìn)行確認(rèn)。在本實(shí)施方式所涉及的柵格顯示處理中，指示在柵格顯示 畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)顯示區(qū)域顯示了的布線圖形(詳細(xì)顯示圖像)上指定了的 任意2點(diǎn)間的距離的運(yùn)算 顯示的話，就運(yùn)算 顯示指定了的2點(diǎn)間 的距離(反映了化整誤差的距離)，因而能正確且容易地進(jìn)行鄰接的圖形 的間隙的大小的確認(rèn)等，能減輕進(jìn)行目測(cè)檢查的用戶的負(fù)擔(dān)。
還有，在指示了柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)顯示區(qū)域顯示的布線圖形 圖像的顯示切換(詳細(xì)顯示范圍的變更等)的場(chǎng)合，步驟252的判斷為肯
定而回到步驟236，按照來(lái)自用戶的指示，反復(fù)進(jìn)行步驟236以后的處 理。還有，在指示了柵格顯示畫(huà)面的顯示結(jié)束的場(chǎng)合，步驟254的判 斷為肯定，結(jié)束柵格顯示處理。在上述柵格顯示處理的執(zhí)行中由用戶 進(jìn)行的目測(cè)檢查中，在布線圖形上，檢測(cè)到例如有鄰接的圖形的間隙 不足等問(wèn)題的場(chǎng)合，在作為CAM系統(tǒng)起作用的計(jì)算機(jī)18等中，為消 除檢測(cè)到的問(wèn)題而進(jìn)行修正處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)的作業(yè)之后，要再次 進(jìn)行上述柵格顯示處理(目測(cè)檢査)。
還有，在目測(cè)檢査中未檢測(cè)到布線圖形的問(wèn)題的場(chǎng)合，用戶指示 對(duì)處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)執(zhí)行RIP處理。這樣，RIP處理部36進(jìn)行從檢 查完畢戈博數(shù)據(jù)文件夾46取入RIP處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)，把取入了的 處理對(duì)象的戈博數(shù)據(jù)整體展開(kāi)成高分辨率的描繪用柵格數(shù)據(jù)的RIP處 理，在描繪用柵格數(shù)據(jù)文件夾50中收納通過(guò)RIP處理而獲得的描繪用 柵格數(shù)據(jù)。RIP處理完成的話，用戶就指示把描繪用柵格數(shù)據(jù)所表不的 布線圖形描繪到基板上。于是，曝光裝置控制部40從作業(yè)條件信息文 件夾48讀出對(duì)應(yīng)的作業(yè)條件信息，將其輸出到曝光裝置12，并且從描 繪用柵格數(shù)據(jù)文件夾50依次讀出描繪用柵格數(shù)據(jù)，將其輸出到曝光裝 置12。這樣，描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形就由曝光裝置12依照 上述作業(yè)條件信息描繪到基板上。
另外，本發(fā)明所涉及的檢查單元所進(jìn)行的檢查處理不限于作為數(shù) 據(jù)檢查處理的圖3所示的各檢查處理，而是可適用于例如檢查粗細(xì)不 滿閾值的線的有無(wú)、檢查是不是包含指示布線圖形整體的倍率變更的 數(shù)據(jù)等不超出本發(fā)明的范圍的其他任意檢查處理，這是不言而喻的。
還有，在本實(shí)施方式中，作為本發(fā)明所涉及的圖像處理裝置所連 接的描繪裝置，以曝光裝置12為例進(jìn)行了說(shuō)明，不過(guò)，本發(fā)明所涉及
的圖像處理裝置可連接的描繪裝置不限于上述裝置，而是可適用利用 噴墨型、液體噴出型的描繪頭，使基板附著金屬粒子、金屬粒子的前 驅(qū)體，從而在基板上描繪布線圖形的描繪裝置。作為這樣的描繪裝置，
例如可以列舉特開(kāi)2005 — 40665號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2005 — 47073號(hào)公報(bào)、 特開(kāi)2005 — 47085號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2005 — 81710號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2005 —81711 號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2005 — 81716號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2005 — 96332號(hào)公報(bào)、特開(kāi) 2005 — 96338號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2005 — 96345號(hào)公報(bào)等記載的描繪裝置。
符號(hào)說(shuō)明
10基板描繪系統(tǒng)
12 曝光裝置
14 圖像處理裝置
18 計(jì)算機(jī)
24 作業(yè)登記GUI
28 數(shù)據(jù)檢查處理部
30 布設(shè)確認(rèn)GUI
32 布設(shè)顯示處理部
34 柵格顯示GUI
36 RIP處理部
權(quán)利要求
1.一種圖像處理裝置，與在基板上直接描繪描繪用柵格數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的描繪裝置連接，進(jìn)行把表示輸入了的上述布線圖形的矢量形式的圖像數(shù)據(jù)向上述描繪用柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)的RIP處理，其特征在于，還具備低分辯率圖像顯示控制單元，基于上述圖像數(shù)據(jù)，生成以低分辯率表示上述布線圖形的低分辯率布線圖形圖像，在顯示單元上顯示生成了的低分辯率布線圖形圖像；展開(kāi)單元，在由上述低分辯率顯示控制單元在上述顯示單元上顯示了的低分辯率布線圖形圖像上通過(guò)指定單元而指定了擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域的場(chǎng)合，把上述圖像數(shù)據(jù)中的與上述擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)，從而生成以高分辨率表示上述擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域內(nèi)的布線圖形的高分辨率布線圖形圖像；以及高分辨率圖像顯示控制單元，在上述顯示單元上顯示由上述展開(kāi)單元生成了的高分辨率布線圖形圖像。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置，其特征在于， 由上述描繪裝置在基板上描繪的布線圖形是配置多個(gè)片材而構(gòu)成的，該片材是排列多個(gè)與單一電路圖形相當(dāng)?shù)南嗤瑔挝徊季€圖形而成 的，上述低分辯率圖像顯示控制單元生成、顯示以低分辯率表示上述 布線圖形整體的圖像，將其作為上述低分辯率布線圖形圖像，上述展開(kāi)單元，在表示上述布線圖形整體的低分辯率布線圖形圖 像上作為上述擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域而指定了特定的片材的場(chǎng)合，只把上 述圖像數(shù)據(jù)中的與上述特定的片材內(nèi)的單一特定單位布線圖形相當(dāng)?shù)?數(shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)，只對(duì)上述特定單位生成顯示布線圖形 的圖像作為上述特定片材的高分辨率布線圖形圖像。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置，其特征在于， 由上述描繪裝置在基板上描繪的布線圖形是配置多個(gè)片材而構(gòu)成 的，該片材是排列多個(gè)與單一電路圖形相當(dāng)?shù)南嗤瑔挝徊季€圖形而成 的，上述低分辯率圖像顯示控制單元生成、顯示以低分辯率表示上述 布線圖形整休的圖像，將其作為上述低分辯率布線圖形圖像，上述展開(kāi)單元，在表示上述布線圖形整體的低分辯率布線圖形圖 像上作為—卜-述擴(kuò)大顯示對(duì)象區(qū)域而指定了特定的片材的場(chǎng)合，把上述圖像數(shù)據(jù)中的與上述特定的片材內(nèi)的單一特定單位布線圖形以外的其 他單位布線圖形相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)從向高分辨率柵格數(shù)據(jù)的展開(kāi)對(duì)象中除外，對(duì)于上述特定單位布線圖形以外的其他單位布線圖形，生成只顯 示表示外緣的框線作為上述特定片材的高分辨率布線圖形圖像。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置，其特征在于，還具備距 離運(yùn)算 顯示單元，該距離運(yùn)算 顯示單元在由上述高分辨率圖像顯 示控制單元在上述顯示單元上顯示了的高分辨率布線圖形圖像上，通 過(guò)指定單元指定了距離測(cè)量對(duì)象的2點(diǎn)的場(chǎng)合，運(yùn)算指定了的2點(diǎn)間 的距離，將其顯示在上述M示單元上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的圖像處理裝置，其特征 在于，還具備檢查單元，該檢査單元在對(duì)輸入了的上述圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行 上述RIP處理之前，檢查上述圖像數(shù)據(jù)中是不是有在經(jīng)過(guò)上述描繪裝 置所涉及的描繪工序而作成的基板上發(fā)生問(wèn)題的缺陷。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像處理裝置，其特征在于，上述檢查 單元在檢查上述圖像數(shù)據(jù)中是不是有缺陷時(shí)，取得上述描繪裝置在上 述基板上描繪上述布線圖形時(shí)適用的描繪條件，按照取得的描繪條件 來(lái)設(shè)定在上述檢查中用于判斷上述缺陷的閾值，采用設(shè)定的閾值進(jìn)行 上述檢查。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像處理裝置，其特征在于，上述檢查 單元進(jìn)行的處理是檢查在上述作成的基板上是不是有發(fā)生問(wèn)題的缺 陷，檢查以下至少1種在上述圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形中是不是 包含圓周長(zhǎng)不滿第1給定值的圓弧部；在上述布線圖形中是不是包含 起點(diǎn)位置處的半徑和終點(diǎn)位置處的半徑的差為第2給定值以上的圓弧 部；在上述布線圖形中是不是包含半徑為第3給定值以上的圓弧部； 在上述布線圖形中是不是包含采用了圓以外的孔形狀的線；在上述布 線圖形中是不是包含起點(diǎn)位置和終點(diǎn)位置形成同一閉合曲線且在從起 點(diǎn)位置至終點(diǎn)位置的途中與自線交叉的自我交叉線；上述布線圖形是 不是存在于離原點(diǎn)為第4給定值以上的坐標(biāo)處；在上述圖像數(shù)據(jù)所表 示的布線圖形中是不是存在面積不滿第5給定值的針孔區(qū)域；在上述 布線圖形中是不是存在鄰接的圖形互相重疊的區(qū)域的幅度不滿第6給 定值的圖形；以及在上述布線圖形中是不是存在鄰接的圖形的間隙不 滿第7給定值的圖形。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖像處理裝置，其特征在于，上述檢査 單元在檢查上述圖像數(shù)據(jù)中是不是有在上述作成的基板上發(fā)生問(wèn)題的 缺陷吋，取得作為上述描繪裝置在上述基板上描繪布線圖形時(shí)適用的 描繪條件之一的分辯率，按照上述取得的分辯率來(lái)設(shè)定上述第1給定 值、上述第2給定值、上述第5給定值 上述第7給定值中的與所執(zhí) 行的檢查對(duì)應(yīng)的給定值，采用設(shè)定的上述給定值進(jìn)行上述檢查。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖像處理裝置，其特征在于，上述檢查 單元在檢查上述圖像數(shù)據(jù)中是不是有在上述作成的基板上發(fā)生問(wèn)題的 缺陷時(shí)，取得作為上述描繪裝置在上述基板上描繪布線圖形時(shí)適用的 描繪條件之一的設(shè)置在上述基板上的感光材料的種類，按照上述取得 的感光材料的種類來(lái)設(shè)定上述第5給定值及上述第7給定值中的與所 執(zhí)行的檢查對(duì)應(yīng)的給定值，采用設(shè)定的上述給定值進(jìn)行上述檢查。
10. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像處理裝置，其特征在于，上述檢 查單元還檢査在上述圖像數(shù)據(jù)中是不是有在上述RIP處理中發(fā)生錯(cuò)誤的缺陷。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的圖像處理裝置，其特征在于，上述檢查單元進(jìn)行的處理是檢査在上述圖像數(shù)據(jù)中是不是有在上述RIP處理中發(fā)生錯(cuò)誤的缺陷，檢查以下至少1種檢查上述圖像數(shù)據(jù)中是不 是包含在上述RIP處理中可處置的文字種類以外的文字、上述布線圖 形的頂點(diǎn)的數(shù)是不是第8給定值以上、構(gòu)成上述圖像數(shù)據(jù)的層的數(shù)是 不是第9給定值以上。
12. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像處理裝置，其特征在于，還具備 數(shù)據(jù)生成單元，該數(shù)據(jù)生成單元在由上述檢查單元判斷為在上述圖像 數(shù)據(jù)中有缺陷的場(chǎng)合，取得判斷為有上述缺陷的地方在上述布線圖形 上的坐標(biāo)，基于取得的坐標(biāo)，以在上述圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形上 可重疊顯示的狀態(tài)，生成在上述布線圖形上的上述地方標(biāo)明給定的記 號(hào)的缺陷地方標(biāo)明數(shù)據(jù)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1至12中任意一項(xiàng)所述的圖像處理裝置，其特 征在于，還具備運(yùn)算單元，取得上述描繪裝置在上述基板上描繪上述布線圖形時(shí) 適用的描繪條件，基于取得的描繪條件和上述圖像數(shù)據(jù)，運(yùn)算上述描 繪裝置在現(xiàn)在的描繪條件下描繪了上述圖像數(shù)據(jù)所表示的布線圖形的 場(chǎng)合的上述基板上的上述布線圖形的描繪范圍；以及位置關(guān)系顯示控制單元，把基于由上述運(yùn)算單元運(yùn)算所得的描繪 范圍，上述描繪裝置在現(xiàn)在的描繪條件下描繪了上述圖像數(shù)據(jù)所表示 的布線圖形的場(chǎng)合的上述基板和在上述基板上的上述布線圖形的描繪 范圍的位置關(guān)系顯示在顯示單元上。
全文摘要
一種圖像處理裝置，能實(shí)現(xiàn)對(duì)描繪用柵格數(shù)據(jù)的目測(cè)檢查的省力化。在通過(guò)RIP處理把表示在基板上直接描繪的布線圖形的矢量形式的圖像數(shù)據(jù)(戈博數(shù)據(jù))展開(kāi)為描繪用柵格數(shù)據(jù)之前，若指示布線圖形的柵格顯示，則把戈博數(shù)據(jù)向低分辯率柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)，把戈博數(shù)據(jù)所表示的布線圖形整體作為低分辯率的整體形象圖像而顯示在柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的整體形象顯示區(qū)域，若在整體形象圖像上指定詳細(xì)顯示對(duì)象的單件或片材或任意詳細(xì)顯示范圍，則只把戈博數(shù)據(jù)中的與指定了的詳細(xì)顯示范圍相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)向高分辨率的柵格數(shù)據(jù)展開(kāi)，將其作為表示詳細(xì)顯示范圍內(nèi)的布線圖形的詳細(xì)顯示圖像而顯示在柵格顯示畫(huà)面內(nèi)的詳細(xì)顯示區(qū)域。還有，若在詳細(xì)顯示圖像上指示指定了的2點(diǎn)間的距離的運(yùn)算·顯示，則運(yùn)算、顯示指定了的2點(diǎn)間的距離。
文檔編號(hào)G03F7/20GK101185032SQ200680018228
公開(kāi)日2008年5月21日 申請(qǐng)日期2006年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月24日
發(fā)明者豐福貴司, 尾崎幸久 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社