專利名稱：熱固性組合物、固體攝像元件的防暈影膜及其形成方法、和固體攝像元件的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及一種熱固性組合物、固體攝像元件的防暈影膜及其形成方法、以及固體攝像元件。
背景技術(shù)：
固體攝像元件包括MOS(Metal Oxide Semiconductor，金屬氧化物半導體)型、CCD(Charge Coupled Device，電感耦合器)型等，分別使用一維固體攝像元件及二維固體攝像元件。作為前者的具體例，例如可以舉出傳真機等。另外，作為后者的具體例，可以舉出攝像機等。
近年來，上述固體攝像元件開始向數(shù)字化發(fā)展，為適應使用者對高品質(zhì)需求，進一步要求其具有高畫質(zhì)。增加攝像機的像素數(shù)等手段為其中之一例。
固體攝像元件包括黑白用元件和彩色用元件二種，其中，彩色用固體攝像元件是在形成固體攝像元件的基板上形成3種顏色的彩色濾色片而制成的。固體攝像元件可以直接使用，也可以在對應于各種固體攝像元件的表面上安裝凸透鏡(顯微透鏡)，提高感光度(聚光能力)(參見特開平3-223702號公報)。
為了在固體攝像元件上安裝彩色濾色片及/或顯微透鏡，采用使用感光性材料的光刻技術(shù)形成細微圖案。
顯微透鏡如下形成形成固體攝像元件，根據(jù)需要，進一步再在形成了彩色濾色片的基板上涂布透明樹脂，將表面平坦化后，涂布由感光性樹脂形成的顯微透鏡材料，曝光透鏡圖案，進行顯影、洗滌處理后，加熱殘留的透明樹脂結(jié)塊，微量熔融后使其收縮，從而使各結(jié)塊形成凸透鏡形狀。
在上述彩色濾色片或顯微透鏡的形成過程中，存在以下問題，即、將感光性材料曝光、形成圖案時，底層基板產(chǎn)生的漫反射光使不希望曝光的部分曝光，導致實際的圖案尺寸與目標尺寸不同，此現(xiàn)象即所謂的“暈影”。
在使用顯微透鏡的情況下，如果出現(xiàn)上述現(xiàn)象，則透鏡的形狀變得不整齊，發(fā)生閃光等情況，對畫質(zhì)產(chǎn)生不良影響。目前，隨著固體攝像元件的單元尺寸縮小，上述情況逐漸成為更嚴重的問題。
針對上述問題，已知有在固體攝像元件基板上形成吸收在光刻法中使用的放射線的防反射膜，以抑制反射、防止暈影發(fā)生的方法。在此例中，可以在以聚甲基丙烯酸縮水甘油酯為主成分、使用偏苯三酸作為固化劑的CCD用保護膜中配合染料(參見專利第2956210號說明書)。但是，上述防反射膜存在以下缺點，即、在為了使涂布后的材料交聯(lián)固化而進行的焙燒工序中，染料的一部分從防反射膜中升華，使防暈影效果顯著降低，或在使用非揮發(fā)性染料時，染料浮現(xiàn)于保護膜上，無法使防暈影膜上形成的顯微透鏡形成所希望的形狀等。
另外，已經(jīng)公開了一種含有由不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐、與含有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物、與單烯烴和/或二烯烴類不飽和化合物形成的共聚物、以及放射線吸收性化合物的防暈影膜(參見特開平6-289201號公報)。該防暈影膜在形成后的溫度滯后推定為150℃以下的過程，未對超過150℃的溫度下的耐熱性進行驗證。
但是，對于彩色用固體攝像元件，由于采用使用現(xiàn)有染料基質(zhì)的彩色濾色片用材料，因此，彩色濾色片可能在150℃左右的較低溫度下發(fā)生固化。但是，由于隨著近年來對高精度的要求而開始廣泛使用顏料類材料，因此在該成形工序中，必須要求180℃以上的固化溫度(參見特開平11-211911號公報、特開平11-258415號公報以及特開2000-111722號公報)。因此，對于彩色用固體攝像元件，先于彩色濾色片形成的防暈影膜曝光將暴露于高于現(xiàn)有溫度的高溫下暈影。
另外，近年來，開始研發(fā)將CCD照相機裝載在汽車上輔助行駛的技術(shù)，但是，由于用于該用途的CCD照相機被用于比現(xiàn)有條件更嚴酷的使用條件下，因此，需要進行更加高溫的成形工序，要求得到能夠耐受230℃以上高溫的防暈影膜。
目前已知的防暈影膜用材料如果在上述高溫下曝光，將喪失作為防暈影膜的功能。推測出現(xiàn)上述現(xiàn)象的原因為在超過150℃的高溫區(qū)域內(nèi)，由于配合在防暈影膜用材料中的放射線吸收劑升華而逸出，因此使放射線吸收能力顯著降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于以上情況而完成的，其目的在于提供一種熱固性組合物、使用該熱固性組合物形成防暈影膜的方法以及由該方法形成的防暈影膜、及具有該防暈影膜的固體攝像元件，上述熱固性組合物適用于形成可有效地抑制在形成固體攝像元件中的彩色濾色片或顯微透鏡時的曝光工序中，由底層基板產(chǎn)生的漫反射光、且具有高耐熱性的防暈影膜。
本發(fā)明的其他目的及優(yōu)點如下所述。
根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的第一個目的為提供一種熱固性組合物，其特征為，含有(1)環(huán)氧基、(2)放射線吸收性基團及(3)具有選自羧基、羧酸的縮醛酯結(jié)構(gòu)、羧酸的酮縮醇酯結(jié)構(gòu)、羧酸的叔丁酯結(jié)構(gòu)及羧酸的硫縮醛酯結(jié)構(gòu)中的至少1種結(jié)構(gòu)的聚合物。
另外，本發(fā)明的第二個目的為提供一種固體攝像元件的防暈影膜形成方法，其特征為所述方法包括以下工序(1)及工序(2)(1)在基板上形成上述熱固性組合物的涂膜的工序；(2)加熱處理該涂膜的工序。
另外，本發(fā)明的第三個目的為提供一種由上述方法形成的固體攝像元件的防暈影膜；而本發(fā)明的第四個目的為提供一種具有上述防暈影膜的固體攝像元件。


圖1為顯微透鏡圖案的形狀的模式說明圖。
具體實施例方式
下面，對本發(fā)明進行說明。首先，詳細說明本發(fā)明的熱固性組合物的各成分。
共聚物(A)本發(fā)明中使用的聚合物具有下述結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)為選自(1)環(huán)氧基、(2)放射線吸收性基團及(3)從羧基、羧酸的縮醛酯結(jié)構(gòu)、羧酸的酮縮醇酯結(jié)構(gòu)、羧酸的叔丁酯結(jié)構(gòu)及羧酸的硫縮醛酯結(jié)構(gòu)中的至少1種結(jié)構(gòu)。
上述聚合物優(yōu)選為(A)含有以下化合物的單體混合物的共聚物(以下記為“共聚物(A)”)，所述化合物為(a1)含有環(huán)氧基的不飽和化合物(以下記為“化合物(a1)”)、(a2)放射線吸收性自由基聚合性化合物(以下記為“化合物(a2)”)、以及(a3)(a3-1)聚合性不飽和羧酸和/或聚合性不飽和多元羧酸酐、或(a3-2)具有選自羧酸的縮醛酯結(jié)構(gòu)、羧酸的酮縮醇酯結(jié)構(gòu)及羧酸的叔丁酯結(jié)構(gòu)中的至少1種結(jié)構(gòu)的聚合性不飽和化合物(以下記為“化合物(a3)”))；或(B)在含有(a1)含有環(huán)氧基的不飽和化合物、(a2)放射線吸收性自由基聚合性化合物以及(a3-1)聚合性不飽和多元羧酸酐的單體混合物的共聚物(A)的酸酐基中，加成乙烯基醚化合物或乙烯基硫醚化合物得到的具有羧酸的縮醛結(jié)構(gòu)或硫縮醛結(jié)構(gòu)的加聚物(下面記為“加聚物(B)”)。
共聚物(A)中由化合物(a1)衍生的結(jié)構(gòu)單元含量優(yōu)選為10～70重量％，特別優(yōu)選為20～60重量％。該結(jié)構(gòu)單元的含量不足10重量％的共聚物具有降低得到的防暈影膜的耐濕熱性的傾向。另一方面，含量超過70重量％時，固化性組合物的保存穩(wěn)定性有降低的傾向。
上述化合物(a1)為在一分子中具有環(huán)氧基與聚合性碳-碳雙鍵的化合物，具體而言，例如，可以舉出丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸甲基縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-3，4-乙氧基丁酯、甲基丙烯酸-3，4-乙氧基丁酯、丙烯酸-6，7-乙氧基庚酯、甲基丙烯酸-6，7-乙氧基庚酯、α-乙基丙烯酸-6，7-乙氧基庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚、對乙烯基芐基縮水甘油基醚等。
其中，從提高共聚反應性以及得到的防暈影膜的耐熱性、硬度方面考慮，優(yōu)選甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-6，7-環(huán)氧基庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚、對乙烯基芐基縮水甘油基醚等。上述(a1)含有環(huán)氧基的不飽和化合物可以單獨使用，也可以組合使用。
本發(fā)明中使用的共聚物(A)中由化合物(a2)衍生的結(jié)構(gòu)單元的含量優(yōu)選為1～40重量％，特別優(yōu)選為3～30重量％。該結(jié)構(gòu)單元不足1重量％時，有時防暈影能力變得不充分。另一方面，該結(jié)構(gòu)單元如果超過40重量％，則涂膜的成膜性有降低的傾向。
作為化合物(a2)具有的放射線吸收性結(jié)構(gòu)，優(yōu)選能夠吸收400nm以下的波長、特別是365nm波長的光線、且實質(zhì)上不吸收可見光區(qū)域的光線的結(jié)構(gòu)。作為該放射線吸收性結(jié)構(gòu)，更優(yōu)選例如苯并三唑結(jié)構(gòu)、水楊酸鹽結(jié)構(gòu)、苯甲酮結(jié)構(gòu)、取代丙烯腈結(jié)構(gòu)、噸結(jié)構(gòu)、香豆素結(jié)構(gòu)、黃酮結(jié)構(gòu)、查耳酮結(jié)構(gòu)。其中，特別優(yōu)選苯并三唑結(jié)構(gòu)。
作為具有苯并三唑結(jié)構(gòu)的骨架，特別優(yōu)選例如由下式(1)表示的骨架。
作為具有上述放射線吸收性結(jié)構(gòu)的自由基聚合性化合物，例如可以舉出分別由下式(2)、(3)及(4)表示的化合物。
其中，R1及R2可以相同或不同，表示氫原子、碳原子數(shù)為1～8的烷基、碳原子數(shù)為1～8的烷氧基、氰基、羥基、鹵原子、羧基或烷氧基羰基，R3表示碳原子數(shù)為2～10的亞烷基，R4表示氫原子或甲基。

其中，R4的定義與上述相同，R5表示氫原子或碳原子數(shù)為1～8的烷基。
其中，R3、R4及R5的定義與上述相同，R6表示可以被羥基取代的碳原子數(shù)為1～4的亞烷基。
上式(2)中，作為R1及R2表示的碳原子數(shù)為1～8的烷基，例如，可以舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基、正戊基、叔戊基(戊基)、正己基、叔己基、正庚基、叔庚基、正辛基、二叔辛基之類碳原子數(shù)為1～8的直鏈或支鏈烷基。其中，優(yōu)選甲基或叔丁基、叔戊基、叔庚基、二叔辛基等碳原子數(shù)為4～8的叔烷基。
作為R1及R2表示的碳原子數(shù)為1～8的烷氧基，例如可以舉出甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基之類碳原子數(shù)為1～8的直鏈或支鏈烷氧基。
作為R1及R2表示的鹵原子，例如，可以舉出氯原子、溴原子、氟原子、碘原子等。其中，優(yōu)選氯原子。
作為R3表示的碳原子數(shù)為2～10的亞烷基，例如，可以舉出亞乙基、三亞甲基、亞丙基、四亞甲基、1，1-二甲基四亞甲基、亞丁基、八亞甲基、亞辛基、十亞甲基、亞癸基之類碳原子數(shù)為1～10的直鏈或支鏈亞烷基。其中，優(yōu)選亞乙基、亞丙基等。
上式(3)及(4)中，作為R5表示的碳原子數(shù)為1～8的烷基，可以為與上式(2)中的R1及R2表示的碳原子數(shù)為1～8的烷基相同的基團，另外，優(yōu)選基團也相同。
上式(4)中，作為R6表示的也可以被羥基取代的碳原子數(shù)為1～4的亞烷基，例如可以舉出亞甲基、亞乙基、三亞甲基、2-羥基三亞甲基、1-甲基亞乙基、四亞甲基、1-甲基三亞甲基、1，1-二甲基亞乙基之類碳原子數(shù)為1～4的直鏈或支鏈的亞烷基及被羥基取代的上述基團。其中，優(yōu)選亞乙基、三亞甲基、2-羥基三亞甲基之類碳原子數(shù)為2～3的基團。
本發(fā)明中，上式(2)～(4)表示的放射線吸收性自由基聚合性化合物中，特別優(yōu)選使用式(2)表示的放射線吸收性自由基聚合性化合物。
而且，式(2)表示的放射線吸收性自由基聚合性化合物中，特別優(yōu)選下述放射線吸收性自由基聚合性化合物，即式中R1為氫原子或氯原子，為氯原子的情況下，取代苯并三唑環(huán)的5位，R2為氫原子、甲基或碳原子數(shù)為4～8的叔烷基、更優(yōu)選氫原子、甲基或叔丁基，R3為碳原子數(shù)2～10、更優(yōu)選為2～3的亞烷基，R4為氫原子或甲基。作為該放射線吸收性自由基聚合性化合物的具體例，例如可以舉出2-(2’-羥基-5’-丙烯酰氧基乙基苯基)-2H-苯并三唑、2-(2’-羥基-5’-甲基丙烯酰氧基乙基苯基)-2H-苯并三唑、2-(2’-羥基-5’-甲基丙烯酰氧基丙基苯基)-2H-苯并三唑、2-(2’-羥基-5’-甲基丙烯酰氧基乙基苯基)-5-氯-2H-苯并三唑、2-(2’-羥基-3’-叔丁基-5’-甲基丙烯酰氧基乙基苯基)-5-氯-2H-苯并三唑、2-(2’-羥基-3’-叔丁基-5’-丙烯酰氧基乙基苯基)-2H-苯并三唑、2-(2’-羥基-5’-甲基丙烯酰氧基己基苯基)-2H-苯并三唑、2-(2’-羥基-3’-叔丁基-5’-甲基丙烯酰氧基乙基苯基)-2H-苯并三唑等。
其中，特別優(yōu)選使用下式(5)表示的2-(2’-羥基-5’-甲基丙烯酰氧基乙基苯基)-2H-苯并三唑(以下記為單體(a2-1))及下式(6)表示的2-(2’-羥基-3’-叔丁基-5’-甲基丙烯酰氧基乙基苯基)-2H-苯并三唑(以下記為單體(a2-2))。本發(fā)明中，放射線吸收性自由基聚合性化合物可以單獨使用1種，也可以將2種或2種以上混合使用。

本發(fā)明中使用的共聚物(A)中由化合物(a3)衍生的結(jié)構(gòu)單元的含量優(yōu)選為5～60重量％，特別優(yōu)選為10～50重量％。由該結(jié)構(gòu)單元不足5重量％的共聚物得到的防暈影膜的耐濕熱性有降低的傾向。另一方面，超過60重量％時，固化性組合物的保存穩(wěn)定性有降低的傾向。
上述化合物(a3)為(a3-1)聚合性不飽和羧酸或聚合性不飽和多元羧酸酐、或(a3-2)含有選自羧酸的縮醛酯結(jié)構(gòu)、羧酸的酮縮醇酯結(jié)構(gòu)及羧酸的叔丁酯結(jié)構(gòu)的至少一種結(jié)構(gòu)的聚合性不飽和化合物。
作為(a3-1)，例如可以舉出(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-乙基丙烯酸、α-正丙基丙烯酸、α-正丁基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸之類不飽和羧酸；馬來酸酐、衣康酸酐、檸康酸酐、順-1，2，3，4-四羥基鄰苯二甲酸酐之類不飽和多元羧酸酐；(甲基)丙烯酸2-羧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-羧基丙酯之類含有羧基的不飽和羧酸酯等。
上述(a3-1)中，作為不飽和羧酸，特別優(yōu)選丙烯酸、甲基丙烯酸；作為不飽和多元羧酸酐，特別優(yōu)選馬來酸酐。上述優(yōu)選的不飽和羧酸、不飽和多元羧酸酐的共聚反應性高，另外能夠有效地提高得到的保護膜的耐熱性或表面硬度。
上述物質(zhì)可以單獨使用，也可以將2種以上混合使用。
作為聚合性不飽和化合物(a3-2)，例如，可以舉出具有羧酸的縮醛酯結(jié)構(gòu)或羧酸的酮縮醇酯結(jié)構(gòu)的降冰片烯化合物、具有羧酸的縮醛或酮縮醇酯結(jié)構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯化合物、叔丁基(甲基)丙烯酸酯。
作為具有上述縮醛酯結(jié)構(gòu)或酮縮醇酯結(jié)構(gòu)的降冰片烯化合物的具體例，例如可以舉出2，3-二-四氫吡喃-2-基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-三甲基硅烷基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-三乙基硅烷基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-叔丁基二甲基硅烷基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-三甲基甲鍺烷基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-三乙基甲鍺烷基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-叔丁基二甲基甲鍺烷基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-叔丁基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-芐基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-四氫呋喃-2-基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-四氫吡喃-2-基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-環(huán)丁基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-環(huán)戊基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-環(huán)己基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-環(huán)庚基氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-1-甲氧基乙氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-1-叔丁氧基乙氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-1-芐基氧基乙氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-(環(huán)己基)(乙氧基)甲氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-1-甲基-1-甲氧基乙氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-1-甲基-1-異丁氧基乙氧基羰基-5-降冰片烯、2，3-二-(芐基)(乙氧基)甲氧基羰基-5-降冰片烯等。
作為具有上述縮醛酯結(jié)構(gòu)或酮縮醇酯結(jié)構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯化合物的具體例，例如可以舉出1-乙氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯、1-(環(huán)己基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、1-(2-甲基丙氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、1-(1，1-二甲基-乙氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、1-(環(huán)己基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯等。
其中，優(yōu)選具有羧酸的縮醛酯結(jié)構(gòu)或酮縮醇酯結(jié)構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯化合物及叔丁基(甲基)丙烯酸酯，特別優(yōu)選1-乙氧基乙基甲基丙烯酸酯、四氫-2H-吡喃-2-基甲基丙烯酸酯、1-(環(huán)己基氧基)乙基甲基丙烯酸酯、1-(2-甲基丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯、1-(1，1-二甲基-乙氧基)乙基甲基丙烯酸酯、1-(環(huán)己基氧基)乙基甲基丙烯酸酯、叔丁基甲基丙烯酸酯。
上述物質(zhì)可以單獨使用，也可以組合使用。
如上所述，本發(fā)明中使用的共聚物(A)為以化合物(a1)、化合物(a2)以及化合物(a3)為必需成分的單體混合物的共聚物，根據(jù)需要，該單體混合物還可以含有除(a1)、(a2)以及(a3)以外的(a4)烯烴類不飽和化合物(以下記為“化合物(a4)”)。
通過將該化合物(a4)與化合物(a1)、化合物(a2)及化合物(a3)一同作為共聚成分使用，能夠得到提高熱固性組合物的保存穩(wěn)定性及所得防暈影膜的耐熱性等優(yōu)點。
本發(fā)明的共聚物(A)中由化合物(a4)衍生的結(jié)構(gòu)單元含量優(yōu)選為50重量％以下、更優(yōu)選為40重量％以下。
該結(jié)構(gòu)單元如果超過50重量％，則得到的防暈影膜的防暈影功能或耐試劑性可能不充分。
上述(a4)的烯烴類不飽和化合物為不具有環(huán)氧基及放射線吸收性基團、且具有聚合性碳-碳雙鍵的化合物，作為其具體例，可以舉出甲基丙烯酸烷基酯、丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸環(huán)烷基酯、丙烯酸環(huán)烷基酯、甲基丙烯酸芳基酯、丙烯酸芳基酯、二羧酸二酯、茚衍生物、二羰基酰亞胺衍生物、羥基烷基酯、芳香族不飽和化合物、共軛二烯、其他不飽和化合物。
對于其具體例，作為甲基丙烯酸烷基酯，例如可以舉出甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯等；作為丙烯酸烷基酯，例如可以舉出丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯等；作為甲基丙烯酸環(huán)烷基酯，例如可以舉出甲基丙烯酸環(huán)己基酯、2-甲基環(huán)己基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸環(huán)己基酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯(本領域內(nèi)的常用名為甲基丙烯酸二環(huán)戊烷基酯)、甲基丙烯酸二環(huán)戊烷基氧基乙基酯、甲基丙烯酸異硼基酯等；作為丙烯酸環(huán)烷基酯，例如可以舉出丙烯酸環(huán)己基酯、2-甲基環(huán)己基丙烯酸酯、丙烯酸環(huán)己基酯、丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯(本領域內(nèi)的常用名為丙烯酸二環(huán)戊烷基酯)、丙烯酸二環(huán)戊烷基氧基乙基酯、甲基丙烯酸異硼基酯等；作為甲基丙烯酸芳基酯，例如，可以舉出甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸芐基酯等；作為丙烯酸芳基酯，例如可以舉出丙烯酸苯酯、丙烯酸芐基酯等；作為二羧酸二酯，例如，可以舉出馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等；作為茚衍生物，例如，可以舉出茚、1-甲基茚等；作為二羰基酰亞胺衍生物，例如，可以舉出苯基馬來酰亞胺、芐基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯酯、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸酯、N-琥珀酰亞胺基-6-馬來酰亞胺己酸酯、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)馬來酰亞胺等；作為羥基烷基酯，例如可以舉出2-羥基乙基甲基丙烯酸酯、2-羥基丙基甲基丙烯酸酯等；作為芳香族不飽和化合物，例如，可以舉出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯等；作為共軛二烯，例如，可以舉出1，3-丁二烯、異戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯等；作為其他不飽和化合物，例如，可以舉出丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯等。
其中，優(yōu)選使用甲基丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸環(huán)烷基酯、丙烯酸環(huán)烷基酯、芳香族不飽和化合物、共軛二烯、二羰基酰亞胺衍生物。其中，從共聚反應性及得到的防暈影膜的耐熱性方面考慮，特別優(yōu)選使用苯乙烯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊基酯、對甲氧基苯乙烯、2-甲基環(huán)己基丙烯酸酯、1，3-丁二烯、苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺。
上述化合物(a4)可以單獨使用，也可以組合使用。
本發(fā)明中使用的共聚物(A)優(yōu)選將含有上述化合物(a1)、化合物(a2)以及化合物(a3)、及根據(jù)需要加入的化合物(a4)的單體混合物，在溶劑中及聚合引發(fā)劑的存在下進行自由基聚合而合成。
作為共聚物(A)制造中使用的溶劑，例如，可以舉出醇、醚、甘醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇單烷基醚、二甘醇二烷基醚、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇烷基醚丙酸酯、芳烴、酮、酯等。
對于其具體例，作為醇，例如，可以舉出甲醇、乙醇、芐基醇、2-苯基乙醇、3-苯基-1-丙醇等；作為醚，例如，可以舉出四氫呋喃等；作為甘醇醚，例如，可以舉出乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚等；作為乙二醇烷基醚乙酸酯，例如，可以舉出乙酸甲基溶纖劑、乙酸乙基溶纖劑、乙二醇單丁基醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚乙酸酯等；作為二甘醇單烷基醚，例如，可以舉出二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙基醚等；作為二甘醇二烷基醚，例如，可以舉出二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二甘醇乙基甲基醚等；作為丙二醇單烷基醚，例如，可以舉出丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚等；作為丙二醇烷基醚乙酸酯，例如，可以舉出丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇丁基醚乙酸酯等；作為丙二醇烷基醚丙酸酯，例如，可以舉出丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、丙二醇丁基醚丙酸酯等；作為芳烴，例如，可以舉出甲苯、二甲苯等；作為酮類，例如，可以舉出甲基乙基酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、甲基異戊基酮等；作為酯，例如，可以舉出乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酮類。
其中，優(yōu)選醇、乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇二烷基醚、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯；特別優(yōu)選芐基醇、二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二甘醇乙基甲基醚、丙二醇甲基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、乙二醇單丁基醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚乙酸酯。
共聚物(A)的制造中使用的聚合引發(fā)劑，可以使用已知的自由基聚合引發(fā)劑。例如，可以舉出2，2’-偶氮二異丁腈、2，2’-偶氮二-(2，4-二甲基戊腈)、2，2’-偶氮二-(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)等偶氮化合物；苯甲酰過氧化物、月桂酰過氧化物、叔丁基新戊酸酯過氧化物、1，1’-二-(叔丁基過氧化)環(huán)己烷等有機過氧化物；以及過氧化氫。在使用過氧化物作為自由基聚合引發(fā)劑的情況下，也可以將過氧化物與還原劑一同用作氧化還原型引發(fā)劑。
在共聚物(A)的制造中，為了調(diào)整分子量，可以使用分子量調(diào)節(jié)劑。作為其具體例，可以舉出氯仿、四氯化碳等鹵代烴；正己基硫醇、正辛基硫醇、正十二烷基硫醇、叔十二烷基硫醇、巰基乙酸、之類硫醇；硫化二甲基黃原酸酯、二硫化二異丙基黃原酸酯之類黃原酸酯；萜品油烯、α-甲基苯乙烯二聚物等。
作為本發(fā)明中使用的共聚物(A)的優(yōu)選具體例，例如，可以舉出苯乙烯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/(甲基)丙烯酸/苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/(甲基)丙烯酸/環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸-6，7-乙氧基庚基酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸-6，7-乙氧基庚基酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、叔丁基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸-6，7-乙氧基庚基酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、對甲氧基苯乙烯/(甲基)丙烯酸/環(huán)己基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/1-(環(huán)己基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/2，3-二-四氫吡喃-2-基氧基羰基-5-降冰片烯/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/1-(環(huán)己基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯/環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/2，3-二-四氫吡喃-2-基氧基羰基-5-降冰片烯/環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、丁二烯/苯乙烯/1-(環(huán)己基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、丁二烯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、叔丁基(甲基)丙烯酸酯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸-6，7-乙氧基庚基酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、對甲氧基苯乙烯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/環(huán)己基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物等、叔丁基(甲基)丙烯酸酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/環(huán)己基馬來酰亞胺/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/叔丁基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸-6，7-乙氧基庚基酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/叔丁基(甲基)丙烯酸酯/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸-6，7-乙氧基庚基酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/叔丁基(甲基)丙烯酸酯/苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物等。
其中，優(yōu)選苯乙烯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/(甲基)丙烯酸/苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/(甲基)丙烯酸/環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/2，3-二-四氫吡喃-2-基氧基羰基-5-降冰片烯/(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]十-8-基酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/1-(環(huán)己基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯/環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/四氫-2H-吡喃-2-基(甲基)丙烯酸酯/環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、苯乙烯/2，3-二-四氫吡喃-2-基氧基羰基-5-降冰片烯/環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物、叔丁基甲基丙烯酸酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/環(huán)己基馬來酰亞胺/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物。
加聚物(B)另外，在本發(fā)明中，可以將如下制成的加聚物(B)作為上述共聚物(A)的等價物使用，即在不存在酸催化劑的條件下，于室溫～100℃左右的溫度下，在不飽和多元羧酸酐共聚而成的共聚物(A)中的酸酐基團中加成乙烯基醚化合物或乙烯基硫醚化合物得到加聚物(B)。
作為乙烯基醚化合物，例如，可以舉出甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、異丙基乙烯基醚、正丙基乙烯基醚、正丁基乙烯基醚、異丁基乙烯基醚、叔丁基乙烯基醚、正戊基乙烯基醚、2-戊基乙烯基醚、3-戊基乙烯基醚、異戊基乙烯基醚、新戊基乙烯基醚、3，4-二氫-2H-吡喃、3，4-二氫-2-甲氧基-2H-吡喃等，優(yōu)選乙基乙烯基醚、異丙基乙烯基醚、正丙基乙烯基醚、正丁基乙烯基醚、異丁基乙烯基醚、叔丁基乙烯基醚、3，4-二氫-2H-吡喃等。
作為乙烯基硫醚化合物，例如可以舉出甲基乙烯基硫醚、乙基乙烯基硫醚、異丙基乙烯基硫醚、正丙基乙烯基硫醚、正丁基乙烯基硫醚、異丁基乙烯基硫醚、叔丁基乙烯基硫醚、正戊基乙烯基硫醚、2-戊基乙烯基硫醚、3-戊基乙烯基硫醚、異戊基乙烯基硫醚、新戊基乙烯基硫醚、3，4-二氫-2H-硫代吡喃、3，4-二氫-2-甲氧基-2H-硫代吡喃等，優(yōu)選乙基乙烯基硫醚、異丙基乙烯基硫醚、正丙基乙烯基硫醚、正丁基乙烯基硫醚、異丁基乙烯基硫醚、叔丁基乙烯基硫醚、3，4-二氫-2H-硫代吡喃等。
作為添加的乙烯基醚或乙烯基硫醚的比例，相對于酸酐基為1.8倍摩爾以上2.5倍摩爾以下，優(yōu)選為1.9倍摩爾以上2.4倍摩爾以下，特別優(yōu)選為2.0倍摩爾以上2.4倍摩爾以下。如果乙烯基醚或乙烯基硫醚的量不足1.8倍摩爾，則保存穩(wěn)定性變差；另外，如果超過2.5倍摩爾，則得到的組合物的硬度變低。
由于該加聚物(B)具有羧酸的縮醛結(jié)構(gòu)或硫縮醛結(jié)構(gòu)，因此沒有游離的羧基或既便有也極少，例如，上述共聚物(A)中的酸酐基優(yōu)選為20摩爾％以下。
作為該加聚物(B)，例如，可以舉出在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的乙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的正丙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的異丙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的正丁基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的異丁基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的叔丁基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的3，4-二氫-2H-吡喃得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/衣康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的乙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/衣康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的異丙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/衣康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的3，4-二氫-2H-吡喃得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/檸康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的乙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/檸康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的異丙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/檸康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的3，4-二氫-2H-吡喃得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/順-1，2，3，4-四羥基鄰苯二甲酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的乙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/順-1，2，3，4-四羥基鄰苯二甲酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的異丙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/順-1，2，3，4-四羥基鄰苯二甲酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2摩爾倍于酸酐基的3，4-二氫-2H-吡喃得到的共聚物、或?qū)⑸鲜龉簿畚镏械母饕蚁┗逊謩e替換為對應的硫醚得到的共聚物；上述加聚物(B)中，更優(yōu)選在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的乙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的正丙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的異丙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的正丁基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/馬來酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2摩爾倍于酸酐基的3，4-二氫-2H-吡喃得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/衣康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的乙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/衣康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的異丙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/衣康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的3，4-二氫-2H-吡喃得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/檸康酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的3，4-二氫-2H-吡喃得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/順-1，2，3，4-四羥基鄰苯二甲酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的乙基乙烯基醚得到的共聚物、在(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/順-1，2，3，4-四羥基鄰苯二甲酸酐/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(單體a2-1或單體a2-2)共聚物中加成2倍摩爾于酸酐基的異丙基乙烯基醚得到的共聚物等。
本發(fā)明中使用的共聚物(A)及(B)按聚苯乙烯換算的重均分子量(以下記為“Mw”)優(yōu)選為2×103～5×105，更優(yōu)選為5×103～1×105。如果Mw不足2×103，則得到的防暈影膜的耐熱性、表面硬度可能不足。而如果超過5×105，則膜表面的平坦性可能不足。
<其他成分>
本發(fā)明的固化性組合物以上述共聚物(A)或加聚物(B)為必需成分，可以根據(jù)需要含有其他成分。作為其他成分，例如可以舉出粘合助劑、固化促進劑、表面活性劑、紫外線吸收劑等。
粘合助劑為了提高形成的防暈影膜與基板的密合性，可以添加粘合助劑。
作為該粘合助劑，優(yōu)選使用例如含有羧基、甲基丙烯?；?、異氰酸酯基、環(huán)氧基等反應性取代基的官能性硅烷偶合劑。具體而言，可以舉出三甲氧基甲硅烷基苯甲酸、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、γ-異氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷、γ-縮水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、β-(3，4-乙氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷等。
粘合助劑的使用比例相對于100重量份共聚物(A)或加聚物(B)優(yōu)選為30重量份以下，更優(yōu)選為0.1～25重量份，特別優(yōu)選為1～20重量份。粘合助劑的使用比例如果超過100重量份，則得到的防暈影膜的耐熱性可能變得不充分。
固化促進劑為了促進共聚物(A)或加聚物(B)的反應，可以添加固化促進劑。作為該固化促進劑，例如，可以舉出具有含有仲氮原子或叔氮原子的雜環(huán)結(jié)構(gòu)的化合物。
作為該化合物的具體例，可以舉出吡咯、咪唑、吡唑、吡啶、吡嗪、嘧啶、吲哚、吲唑、苯并咪唑或異氰酸或上述物質(zhì)的衍生物等。其中，優(yōu)選2-甲基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-十七烷基咪唑、4-甲基-2-苯基咪唑、1-芐基-2-甲基咪唑、2-乙基-4-甲基-1-(2’-氰基乙基)咪唑、2-乙基-4-甲基-1-[2’-(3”，5”-二氨基三吖嗪基)乙基]咪唑、苯并咪唑等咪唑衍生物，最優(yōu)選2-乙基-4-甲基咪唑、4-甲基-2-苯基咪唑、1-芐基-2-甲基咪唑等。
上述化合物可以單獨或?qū)?種以上組合用作固化促進劑。
固化促進劑的使用量相對于100重量份共聚物(A)或加聚物(B)優(yōu)選為5重量份以下，更優(yōu)選為1重量份以下。
表面活性劑為了提高組合物的涂布性，可以添加表面活性劑。
作為該表面活性劑，例如，可以舉出氟類表面活性劑、硅類表面活性劑、非離子性表面活性劑等。
作為上述非離子性表面活性劑，例如，可以舉出聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯二烷基醚等。
作為其具體例，例如，作為聚氧乙烯烷基醚，可以舉出聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等；作為聚氧乙烯芳基醚，可以舉出聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚；作為聚氧乙烯二烷基醚，可以舉出聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等。
作為該表面活性劑的市售品，作為氟類表面活性劑，可以舉出BM CHIMIE社制商品名BM-1000、BM-1100，大日本油墨化學工業(yè)(株)社制商品名MEGAFACE F142D、同F(xiàn)172、同F(xiàn)173、同F(xiàn)183，住友3M(株)社制商品名FRORARD FC-135、同F(xiàn)C-170C、同F(xiàn)C-430、同F(xiàn)C-431、FC4430、FC4432，旭硝子(株)社制商品名SARFRON S-112、同S-113、同S-131、同S-141、同S-145、同S-382、同SC-101、同SC-102、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC-106等，(株)NEOS社制商品名FTX-216D、FTX-218、FTX-20D等。
作為硅類表面活性劑，可以舉出TORAY·DOW CORNING·SILICONE(株)社制商品名SH-28PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8428、DC-57、DC-190，信越化學工業(yè)(株)社制商品名KP341，新秋田化成(株)社制商品名F-TOP EF301、同EF303、同EF352等。
作為非離子性表面活性劑，可以舉出共榮社化學(株)社制商品名(甲基)丙烯酸類共聚物POLYFLOW No.57、同No.90、同No.95等。
上述表面活性劑可以單獨使用，也可以將2種以上組合使用。
表面活性劑的使用比例根據(jù)其種類或構(gòu)成固化性組合物的各成分種類或比例等不同而不同，相對于共聚物(A)或加聚物(B)100重量份優(yōu)選為5重量份以下，更優(yōu)選為0.0001～2重量份，進一步優(yōu)選為0.001～0.5重量份的范圍。
熱固性組合物的制備本發(fā)明的熱固性組合物可以在溶于適當?shù)娜軇┲行纬傻娜芤籂顟B(tài)下使用。例如，將共聚物(A)或加聚物(B)以及根據(jù)需要添加的其他成分按規(guī)定比例混合，可以制備溶液狀態(tài)的熱固性組合物。
本發(fā)明的熱固性組合物優(yōu)選通過將各成分均勻溶解或分散在適當溶劑中而制備。作為使用的溶劑，可以使用能夠溶解或分散組合物的各成分、但不與各成分反應的溶劑。
作為上述溶劑，可以使用作為制造上述共聚物(A)時使用的溶劑而列舉的溶劑。溶劑的使用量為能夠使本發(fā)明的熱固性組合物中全部固體成分(共聚物(A)、以及根據(jù)需要添加的其他成分的總量)的含量優(yōu)選為1～50重量份、更優(yōu)選在5～40重量份的范圍內(nèi)。
另外，可以將高沸點溶劑與上述溶劑并用。能夠并用的高沸點溶劑，例如，可以舉出N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰苯胺、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亞砜、芐基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、乙酸芐基酯、苯甲酸乙酯、乙二酸二乙酯、馬來酸二乙酯、γ-丁內(nèi)酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、苯基乙酸溶纖劑等。
作為并用高沸點溶劑時的使用量，相對于總?cè)軇┝績?yōu)選為90重量份以下，更優(yōu)選為80重量份以下。
如上所述地制備的熱固性組合物的溶液使用例如孔徑為0.2～3.0μm、優(yōu)選為孔徑0.2～0.5μm左右的微孔濾器等過濾后進行使用。
固體攝像元件的防暈影膜的形成方法下面，說明使用本發(fā)明的熱固性組合物形成本發(fā)明的固體攝像元件的防暈影膜的方法。
本發(fā)明的固體攝像元件的防暈影膜形成方法至少包含以下工序(1)及(2)。
(1)在基板上形成上述熱固性組合物的涂膜的工序。
(2)加熱處理該涂膜的工序。
下面依次進行說明。
(1)在基板上形成上述熱固性組合物的涂膜的工序?qū)τ诒景l(fā)明的固體攝像元件的防暈影膜的形成方法，首先進行在基板上形成本發(fā)明的熱固性組合物的涂膜的工序。通過在基板上涂布本發(fā)明的熱固性組合物，由此在基板上形成涂膜本發(fā)明中，作為基板，例如，可以使用玻璃、石英、硅、樹脂等基板。作為樹脂，例如，可以舉出聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚砜、聚碳酸酯、聚酰亞胺、以及環(huán)狀烯烴的開環(huán)聚合物及其氫化物等樹脂。
作為涂布方法，例如，可以采用噴涂法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法(旋涂法)、狹縫模具涂布法、棒涂法、噴墨法等適當方法，特別優(yōu)選旋涂法、狹縫模具涂布法。
然后，除去溶劑，從而在基板上形成涂膜。本發(fā)明中，不必單獨設置溶劑除去工序，工序中，溶劑可為自然揮發(fā)的狀態(tài)，也可將溶劑除去工序與隨后的“(2)加熱處理涂膜的工序”合并。另外，也可以采用其它的溶劑除去工序。另外實施溶劑除去工序時，可以在室溫～150℃左右的溫度下保持適當?shù)臅r間來除去溶劑。
此時，涂膜的厚度優(yōu)選為0.1～5μm，更優(yōu)選為0.3～3μm。另外，該值應當理解為除去溶劑后的膜厚。
(2)加熱處理涂膜的工序?qū)τ纱嗽诨迳闲纬傻耐磕嵤┤缦录訜崽幚砉ば?，從而可以形成本發(fā)明的固體攝像元件的防暈影膜。
作為加熱溫度，優(yōu)選為150～250℃。加熱時間可根據(jù)所使用的加熱機器種類等不同而進行適當?shù)脑O定，例如在使用電熱鈑作為加熱機器時，加熱3～15分鐘左右；使用無塵式烤箱時，加熱15～30分鐘左右。
該加熱處理工序可以為1步工序，也可以組合2步以上的工序進行。
固體攝像元件的防暈影膜由此形成的本發(fā)明的固體元件的防暈影膜，能夠有效地抑制在該防暈影膜上形成彩色濾色片或顯微透鏡時的曝光工序中由底層基板產(chǎn)生的漫反射光，且具有高耐熱性。因此，形成在本發(fā)明的固體攝像元件的防暈影膜上的彩色濾色片或顯微透鏡可以制成所希望的形狀、尺寸。
另外，固體攝像元件的防暈影膜的厚度優(yōu)選為0.1～5μm，更優(yōu)選為0.3～3μm。
該值不足0.1μm時，抑制底層基板產(chǎn)生的漫反射光的效果不明顯；而沒有將膜厚增至5μm以上的必要。
固體攝像元件本發(fā)明的固體攝像元件具有上述防暈影膜。
形成在該防暈影膜上的彩色濾色片或顯微透鏡具有規(guī)定的形狀、尺寸，因此本發(fā)明的固體攝像元件的可信性優(yōu)良。
實施例下面，通過合成例、實施例，更具體地說明本發(fā)明，但是本發(fā)明并不局限于以下實施例。
合成例1在安裝了冷凝管和攪拌機的燒瓶內(nèi)放入2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)6重量份及二甘醇乙基甲基醚200重量份。然后，加入苯乙烯13重量份、四氫-2H-吡喃-2-基甲基丙烯酸酯20重量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯40重量份及環(huán)己基馬來酰亞胺22重量份、單體(a2-1)(大 化學(株)制，商品名“RUVA-93”)5重量份，進行氮氣取代后，開始緩慢攪拌。將溶液溫度升至70℃，在該溫度下保持5小時，得到含共聚物(A-1)的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度為33.0重量％。另外，共聚物(A-1)的重均分子量(Mw)為6000。
合成例2在安裝了冷凝管和攪拌機的燒瓶內(nèi)放入2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)3重量份及二甘醇乙基甲基醚200重量份，然后，加入甲基丙烯酸縮水甘油酯45重量份、馬來酸酐15重量份、N-環(huán)己基馬來酰亞胺15重量份及苯乙烯15重量份、單體(a2-1)(大 化學(株)制，商品名“RUVA-93”)10重量份，進行氮氣取代后，緩慢攪拌，將反應溶液溫度升至70℃，在該溫度下保持5小時進行聚合。然后，滴加異丙基乙烯基醚30重量份，繼續(xù)攪拌，反應2小時，得到含共聚物(A-2)的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度為33.2重量％。另外，共聚物(A-2)的重均分子量(Mw)為15000。
合成例3在安裝了冷凝管和攪拌機的燒瓶內(nèi)放入2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)8重量份及二甘醇乙基甲基醚200重量份，然后，加入甲基丙烯酸縮水甘油基甲酯45重量份、甲基丙烯酸15重量份、N-環(huán)己基馬來酰亞胺15重量份及苯乙烯15重量份、單體(a2-2)10重量份，進行氮氣取代后，緩慢攪拌，將反應溶液溫度升至70℃，在該溫度下保持5小時，進行聚合，得到含共聚物(A-3)的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度為33.2重量％。另外，共聚物(A-3)的重均分子量(Mw)為4000。
合成例4在安裝了冷凝管和攪拌機的燒瓶內(nèi)放入2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)4重量份及二甘醇乙基甲基醚200重量份，然后，加入甲基丙烯酸甲基縮水甘油酯45重量份、馬來酸酐15重量份、N-環(huán)己基馬來酰亞胺12.5重量份及苯乙烯12.5重量份、單體(a2-2)15重量份，進行氮氣取代后，緩慢攪拌，將反應溶液溫度升至70℃，在該溫度下保持5小時。然后，滴加異丙基乙烯基醚30重量份，繼續(xù)攪拌，反應2小時，得到含共聚物(A-4)的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度為33.1重量％。另外，共聚物(A-4)的重均分子量(Mw)為10000。
比較合成例1在安裝了冷凝管和攪拌機的燒瓶內(nèi)放入2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)6重量份及二甘醇乙基甲基醚200重量份，然后，加入甲基丙烯酸縮水甘油酯45重量份、丙烯酸15重量份、N-環(huán)己基馬來酰亞胺15重量份及苯乙烯25重量份，進行氮氣取代后，緩慢攪拌，將反應溶液溫度升至70℃，在該溫度下保持5小時，進行聚合，得到含共聚物(R-1)的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度為33.2重量％。另外，共聚物(R-1)的重均分子量(Mw)為6000。
實施例1將相當于含有上述合成例1中合成的共聚物(A-1)的聚合物溶液中的共聚物(A-1)100重量份(固體成分)的量，用二甘醇乙基甲基醚100重量份稀釋后，添加作為粘合助劑的γ-縮水甘油氧基丙基乙氧基硅烷5重量份、及作為表面活性劑的SH28PA(硅類表面活性劑，TORAY·DOW CORNING·SILICONE(株)制)0.075重量份，經(jīng)充分攪拌得到熱固性組合物(S-1)。
防暈影膜的形成使用旋涂器將以上制備的熱固性組合物(S-1)涂布在玻璃基板上，用電熱鈑，在230℃下進行6分鐘加熱處理，形成膜厚為1.6μm的防暈影膜。
防暈影膜的評價(1)透光率使用150-20型雙光束分光光度計(日立制作所(株)制)，測定具有如上形成的防暈影膜的基板在365nm及400nm處的透光率。然后，用電熱鈑，在180℃、230℃及250℃下追加加熱20分鐘后，同樣地測定365nm及400nm處的透光率。其值示于表1。365nm處的透光率為70％以下時，防暈影性能、即抑制在形成彩色濾色片或顯微透鏡時的曝光工序中由底層基板產(chǎn)生的漫反射光線的效果優(yōu)良。另外，400nm處的透光率為95％以上時，可見光線的透光率良好。
對于實施例1中形成的防暈影膜，追加加熱前及追加加熱后均具有優(yōu)良的防暈影性能及可見光線透光率。
(2)顯微透鏡材料的圖案形成使用旋涂器，在具有由此形成的防暈影膜的基板上涂布顯微透鏡材料(JSR(株)制，商品名“MFR-380”)后，在100℃下，于電熱鈑上預焙90秒，形成膜厚為2.5μm的涂膜。經(jīng)由具有4.0μm點·2.0μm空間圖案的圖案掩模，在得到的涂膜上，用NIKON(株)制NSR1755i7A縮小投影曝光機(NA＝0.50、λ＝365nm)，以2200J/m2的曝光量進行曝光，用1重量％的氫氧化四甲銨水溶液，在23℃下?lián)u動浸漬1分鐘，將其顯影。然后，在23℃下用超純水進行30秒流水漂洗，經(jīng)干燥，在基板上的防暈影膜上形成圖案。
使用掃描型電子顯微鏡((株)日立計測器Service制，型號“S-4200”)觀察此處形成的顯微透鏡圖案。圖案的形狀如表1所示。此時，如果防暈影膜的防暈影性能(抑制底層基板產(chǎn)生的漫反射光的功能)充分，則如圖1(a)的模式說明圖所示，圖案側(cè)面形成在平面上。但是，如果防暈影性能不充分，則曝光時在暈影產(chǎn)生的駐波的影響下，圖案側(cè)面形成圖1(b)所示的波形。
另外，將具有如上所述地形成的防暈影膜的基板再在電熱鈑上以230℃下追加加熱20分鐘后，在經(jīng)該追加加熱處理的防暈影膜上，與上述同樣地形成顯微透鏡圖案。同樣地用電子顯微鏡觀察圖案形狀，觀察結(jié)果示于表1。
實施例2～4作為共聚物(A)，添加按固體成分換算為100重量份的含有表1記載的共聚物的溶液以代替實施例1中含有共聚物(A-1)的溶液，作為表面活性劑的SH28PA(硅類表面活性劑，TORAY·DOWCORNING·SILICONE(株)制)及作為粘合助劑的γ-縮水甘油氧基丙基乙氧基硅烷的添加量分別如表1所示，除此之外，與實施例1同樣地實施處理。
另外，各實施例中形成的防暈影膜的膜厚如表1所示。
評價結(jié)果如表1所示。
比較例1添加按固體成分換算為100重量份的含有上述比較合成例1中合成的共聚物(R-1)的溶液以代替實施例1中含有共聚物(A-1)的溶液，另外，添加作為放射線吸收劑的TINUVIN234(Ciba-Geigy(株)制)10重量份，除此之外，與實施例1同樣地實施處理。另外，此處形成的防暈影膜的膜厚為1.6μm。
評價結(jié)果如表1所示。
比較例1的防暈影膜在追加加熱前的防暈影性能良好，在追加加熱后的防暈影性能顯著降低，可知耐熱性劣化。
表1

如上所述，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種熱固性組合物、使用該熱固性組合物形成防暈影膜的方法及由該方法形成的防暈影膜、以及具有該防暈影膜的固體攝像元件，該熱固性組合物適于形成能夠有效地抑制在形成固體攝像元件上的彩色濾色片或顯微透鏡時的曝光工序中由底層基板產(chǎn)生的漫反射光、另外可見光線透光率高、且具有高耐熱性的防暈影膜。
本發(fā)明的防暈影膜在該防暈影膜上形成彩色濾色片或顯微透鏡時的曝光工序中，能夠有效地抑制底層基板產(chǎn)生的漫反射光，且具有高耐熱性。因此，形成在本發(fā)明的固體攝像元件的防暈影膜上的彩色濾色片或顯微透鏡能夠具有所希望的形狀、尺寸。
而且，由于本發(fā)明的固體攝像元件具有上述防暈影膜，形成在該防暈影膜上的彩色濾色片或顯微透鏡具有所希望的形狀、尺寸，因此本發(fā)明的固體攝像元件具有優(yōu)良的可信性。
權(quán)利要求
1.一種熱固性組合物，其特征為含有具有下述結(jié)構(gòu)的聚合物，所述結(jié)構(gòu)為(1)環(huán)氧基、(2)放射線吸收性基團及(3)選自羧基、羧酸的縮醛酯結(jié)構(gòu)、羧酸的酮縮醇酯結(jié)構(gòu)、羧酸的叔丁酯結(jié)構(gòu)及羧酸的硫縮醛酯結(jié)構(gòu)中的至少1種結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的熱固性組合物，其中，聚合物為含有如下化合物的單體混合物的共聚物，所述化合物為(a1)含有環(huán)氧基的不飽和化合物、(a2)放射線吸收性自由基聚合性化合物、以及(a3)(a3-1)聚合性不飽和羧酸和/或聚合性不飽和多元羧酸酐、或(a3-2)具有選自羧酸的縮醛酯結(jié)構(gòu)、羧酸的酮縮醇酯結(jié)構(gòu)及羧酸的叔丁酯結(jié)構(gòu)中的至少1種結(jié)構(gòu)的聚合性不飽和化合物。
3.如權(quán)利要求1所述的熱固性組合物，其中，聚合物為一種加聚物，該加聚物含有(a1)含有環(huán)氧基的不飽和化合物、(a2)放射線吸收性自由基聚合性化合物、以及(a3-1)在含有聚合性不飽和多元羧酸酐的單體混合物的共聚物(A)的酸酐基上，加成乙烯基醚化合物或乙烯基硫醚化合物得到的具有羧酸的縮醛結(jié)構(gòu)或硫縮醛結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求2或3所述的熱固性組合物，其中，(a2)放射線吸收性自由基聚合性化合物具有下式(1)表示的放射線吸收性結(jié)構(gòu)，
5.如權(quán)利要求2或3所述的熱固性組合物，其中，(a2)放射線吸收性自由基聚合性化合物為選自下式(2).(3)及(4)分別表示的化合物中的至少1種， 其中，R1及R2可以相同或不同，表示氫原子、碳原子數(shù)為1～8的烷基、碳原子數(shù)為1～8的烷氧基、氰基、羥基、鹵原子、羧基或烷氧基羰基，R3表示碳原子數(shù)為2～10的亞烷基，R4表示氫原子或甲基； 其中，R4的定義與上述相同，R5表示氫原子或碳原子數(shù)為1～8的烷基； 其中，R3、R4及R5的定義與上述相同，R6表示可以被羥基取代的碳原子數(shù)為1～4的亞烷基。
6.如權(quán)利要求1～5任一項所述的熱固性組合物，其用于形成固體攝像元件的防暈影膜。
7.一種固體攝像元件的防暈影膜形成方法，其特征為至少包括以下工序(1)及工序(2)(1)在基板上形成權(quán)利要求6所述的熱固性組合物的涂膜的工序；(2)加熱處理該涂膜的工序。
8.一種采用權(quán)利要求7所述的方法形成的固體攝像元件的防暈影膜。
9.一種具有權(quán)利要求8所述的防暈影膜的固體攝像元件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種含有單體混合物的共聚物的熱固性組合物，上述單體混合物含有(a1)含有環(huán)氧基的不飽和化合物、(a2)放射線吸收性自由基聚合性化合物、以及(a3)具有選自聚合性不飽和羧酸和/或聚合性不飽和多元羧酸酐、或含有選自羧酸的縮醛酯結(jié)構(gòu)、羧酸的酮縮醇酯結(jié)構(gòu)及羧酸的叔丁酯結(jié)構(gòu)中的至少1種結(jié)構(gòu)的聚合性不飽和化合物。以及一種在含有(a1)成分、(a2)成分以及聚合性不飽和多元羧酸酐的單體混合物的共聚物的酸酐基中，加成乙烯基醚化合物或乙烯基硫醚化合物得到的具有羧酸的縮醛結(jié)構(gòu)或硫縮醛結(jié)構(gòu)的加聚物的熱固性組合物。上述熱固性組合物適于形成一種防暈影膜，該防暈影膜能夠有效地抑制在形成固體攝像元件的彩色濾色片或顯微透鏡時的曝光工序中，由底層基板產(chǎn)生的漫反射光線，另外可見光線的透光率高且具有高耐熱性。
文檔編號G02B1/11GK1676549SQ20051005956
公開日2005年10月5日 申請日期2005年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月29日
發(fā)明者加藤嘉文, 馬場厚, 梶田徹 申請人:Jsr株式會社