專利名稱：電極布線基板及顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電極布線基板及顯示裝置。作為電極布線基板可列舉出例如薄膜晶體管(TFT)基板，至于顯示裝置可列舉出例如液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
近年來，作為人機介面的顯示裝置，自先前所使用的陰極射線管(CRT)顯示器，急速推進置換為具有薄型、省空間、輕重量、低耗電等優(yōu)點的平板顯示器。特別是，即使認(rèn)為數(shù)碼照相機、手機(移動電話)、個人數(shù)碼助理(Personal Digital Assistance＝PDA)等移動用途的監(jiān)視器全部為平板顯示器，亦并非言過其實。
作為使用于上述用途的平板顯示器，主要有以下三種電場發(fā)射型顯示器(FED)、液晶顯示器(LCD)以及電致發(fā)光顯示器(EL)。三種顯示器分別是像素單位中具有驅(qū)動用薄膜晶體管的主動式，以及未具有驅(qū)動用元件的被動式，但由于主動式畫質(zhì)優(yōu)良，故而國內(nèi)主動式成為主流。
上述移動用途的平板顯示器的普及性較為顯著，作為最近的市場需求，存在有向面板畫面顯示的大型化并且面板周圍部的狹框緣化推進的傾向。因此，期待著面板外形尺寸與畫面有效尺寸無限接近。又，亦存在有高精細化的需求，期待著形成多數(shù)條電極布線。
進而，作為最近對于平板顯示器、特別是手機(移動電話)顯示器的市場需求，期待將顯示畫面配置于外形中央。但是，通常顯示畫面的周圍四邊中，將柵電極端子與源電極端子分別設(shè)置于一邊周緣中，從而將合計兩邊周緣設(shè)為端子區(qū)域。因此，將上述兩邊周緣設(shè)為端子區(qū)域的情形時，因顯示畫面中央偏向于左右的任一邊，故而無需占有左右周緣區(qū)域，而是僅于上下任一邊周緣中并置有柵電極端子與源電極端子，由此實現(xiàn)畫面中央配置。
對應(yīng)于此種情形，為制造一種顯示裝置，其將多數(shù)條形成的電極布線引導(dǎo)至配置于顯示畫面的一邊周緣的輸入信號端子且制造成品率較高，由于必需固定尺寸的周圍區(qū)域，因此縮小該周圍區(qū)域的尺寸成為重要課題。但是，若縮小多數(shù)條電極布線的區(qū)域，則由于布線間的間距變窄，因此存在有成品率降低的問題。特別是，于玻璃封裝晶片(Chip On Glass＝COG)機種中，由于用以降低成本的晶片小型化而必須進一步縮小安裝部的布線間距，因此成品率會進一步惡化。再者，周圍區(qū)域中存在有用以制作驅(qū)動器的驅(qū)動器單一集成電路的情形時，因無需將端子集中于顯示畫面的一邊周緣，故而不會產(chǎn)生如此問題。
一種用以解決該問題點的液晶顯示裝置，其揭示于例如專利第3276557號公報(日本)中。專利第3276557號公報(日本)所揭示的液晶顯示裝置是兩層或者更多層的多層布線，其以導(dǎo)電圖案的一部分通過接觸孔變換為不同層的導(dǎo)電圖案，且通過層間絕緣膜與其他導(dǎo)電圖案重疊的方式而配置。具體的是，作為連接?xùn)烹姌O布線與柵電極端子的導(dǎo)電圖案，不僅將包含柵極材料的通常的第一導(dǎo)電圖案，而且通過層間絕緣層將包含源極材料的第二導(dǎo)電圖案形成于第一導(dǎo)電圖案上，從而將導(dǎo)電圖案設(shè)為二層構(gòu)造。進而通過接觸孔，將柵電極布線及柵電極端子與第二導(dǎo)電圖案相互導(dǎo)通，從而相互變換第一及第二導(dǎo)電圖案。
參照圖7、圖8以及圖9，更具體地說明專利第3276557號公報(日本)的液晶顯示裝置。圖7是表示揭示于專利第3276557號公報(日本)中的導(dǎo)電圖案的部分平面圖，圖8是圖7的A-B線剖面圖，圖9是導(dǎo)電圖案變換部的剖面圖。
圖7中，201是圖像顯示部，202是柵極(掃描電極)側(cè)端子，203是源極(信號電極)側(cè)端子，204是導(dǎo)電圖案變換部，205是柵電極布線，206是源電極布線。圖8中，207是玻璃基板，208是柵極金屬導(dǎo)電圖案，209是層間絕緣層，210是源極金屬導(dǎo)電圖案，又柵極金屬導(dǎo)電圖案208與源極金屬導(dǎo)電圖案210是通過層間絕緣層209配置為二層構(gòu)造。柵極金屬導(dǎo)電圖案208是于薄膜晶體管(Thin Film Transistor＝TFT)陣列基板的柵極布線形成過程時，與柵電極布線205同時進行圖案化，源極金屬導(dǎo)電圖案210是于薄膜晶體管陣列基板的源極布線形成過程時，與源電極布線206同時進行圖案化。
圖9中，211是表示接觸孔(導(dǎo)電圖案變換部204)。由于設(shè)置接觸孔211而可重疊配置柵極金屬導(dǎo)電圖案208與源極金屬導(dǎo)電圖案210，因此可將兩個導(dǎo)電圖案配置于一個導(dǎo)電圖案所用的空間中。該情形時，自柵電極布線引導(dǎo)至柵極側(cè)端子的引導(dǎo)布線部中，由于源極金屬導(dǎo)電圖案210通過層間絕緣層209疊層于柵極金屬導(dǎo)電圖案208上，因此若與通常僅配置柵極金屬導(dǎo)電圖案的情形相比較，則可將引導(dǎo)布線部(周圍區(qū)域該部)縮小至約1/2。即，可大幅度縮小周圍區(qū)域該部的尺寸。
另一方面，作為最近的上述移動用途的監(jiān)視器，反射型液晶顯示裝置或可以反射模式與透過模式兩者顯示的兩用型液晶顯示裝置已經(jīng)成為主流。特別是，可以反射模式與透過模式兩者顯示的兩用型液晶顯示裝置兼具兩種特性，其于周圍光線明亮的環(huán)境下可由反射模式提高顯示識別以及于周圍光線黑暗的環(huán)境下可由透過模式提高顯示識別，從而不論周圍光線如何明亮，亦可鮮明地顯示圖像，故而成為市場上最有需求的顯示裝置的一。至于上述兩用型液晶顯示裝置，可列舉出例如揭示于專利第3377447號公報(日本)中的液晶顯示面板。該液晶顯示面板的像素電極是于相同像素區(qū)域內(nèi)具有相互電性連接的光透過效率較高的第一導(dǎo)電層(透明導(dǎo)電膜)與光反射效率較高的第二導(dǎo)電層(反射導(dǎo)電膜)，又第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層是通過例如包含有機樹脂的絕緣層，相互設(shè)置于不同層中。
專利第3276557號公報(日本)的液晶顯示裝置的構(gòu)造為，引導(dǎo)布線部于柵極金屬導(dǎo)電圖案208的直接上方通過層間絕緣層209疊層有源極金屬導(dǎo)電圖案210，故而產(chǎn)生以下三個制造成品率上的問題。第一，考慮到由于兩個導(dǎo)電圖案208、210夾持有層間絕緣層209，因此產(chǎn)生與由兩個導(dǎo)電圖案208、210所夾持的層間絕緣層209電容(以下亦可稱為相互電容)相關(guān)的問題，從而對顯示質(zhì)量造成壞影響。例如，受到層間絕緣層209電容的影響，故而造成信號延遲從而顯示質(zhì)量成為不良。又，由于阻抗增加，因此移動用途中認(rèn)為至關(guān)重要的消耗電力將會惡化。
第二，存在有可能產(chǎn)生靜電破壞層間絕緣層209的不良。產(chǎn)生靜電破壞不良的布線會產(chǎn)生圖像顯示部的柵電極線不良從而成品率降低。
第三，柵極金屬導(dǎo)電圖案208/層間絕緣層209/源極金屬導(dǎo)電圖案210疊層部，與夾持于相互鄰接的疊層部間的層間絕緣層209a的階差會變大。專利第3377447號公報(日本)的液晶顯示面板具有的絕緣層是于涂敷有機樹脂后，為將膜厚分布均勻化，從而于自旋式涂敷機上進行旋轉(zhuǎn)而形成。但是，將引導(dǎo)布線部的階差設(shè)為起點，會產(chǎn)生樹脂膜成不均一放射狀的不良。由于引導(dǎo)布線部的階差變大，故而造成該不良產(chǎn)生率提高，結(jié)果造成制造成品率降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的之一于顯示裝置中實現(xiàn)畫面中央配置以及縮小周圍區(qū)域尺寸，并且謀求提高制造成品率。
本發(fā)明的電極布線基板，并非通過層間絕緣層209于柵極金屬導(dǎo)電圖案208的直接上方疊層有源極金屬導(dǎo)電圖案210，而是從平面角度來看，柵極金屬導(dǎo)電圖案與源極金屬導(dǎo)電圖案交替配置，因此可消除兩個導(dǎo)電圖案的相互影響。由此，與專利第3276557號公報(日本)相同，可實現(xiàn)畫面中央配置與縮小周圍區(qū)域尺寸。進而，根據(jù)本發(fā)明，可提高制造成品率。
本發(fā)明的電極布線基板，其包含有形成于絕緣性基板上的復(fù)數(shù)條柵電極布線，分別與上述復(fù)數(shù)條柵電極布線交叉的復(fù)數(shù)條源電極布線，將上述復(fù)數(shù)條柵電極布線與上述復(fù)數(shù)條源電極布線進行電性絕緣的絕緣層，設(shè)置于上述復(fù)數(shù)條柵電極布線以及上述復(fù)數(shù)條源電極布線的各交叉點附近的復(fù)數(shù)個開關(guān)元件，具有分別連接于上述復(fù)數(shù)個開關(guān)元件的復(fù)數(shù)個像素電極的圖像顯示部，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的復(fù)數(shù)個柵電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條源電極布線的復(fù)數(shù)個源電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條柵電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個柵電極端子的復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線，以及設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條源電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個源電極端子的復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線；上述復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線及/或上述復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線，包含由上述柵電極布線的柵極材料所形成的第一引導(dǎo)布線，以及由上述絕緣層與上述第一引導(dǎo)布線電性絕緣且由上述源電極布線的源極材料所形成的第二引導(dǎo)布線，從平面角度來看，上述第一引導(dǎo)布線以及上述第二引導(dǎo)布線并非相互重疊而是交替配置；上述絕緣層至少具有如下一組連接孔用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線或上述第二引導(dǎo)布線與上述柵電極布線或上述源電極布線的第一連接孔，以及用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線或上述第二引導(dǎo)布線與上述柵電極端子或上述源電極端子的第二連接孔。
本發(fā)明的電極布線基板，不僅包含于半導(dǎo)體層(活性層)下配置有柵電極之下柵極型(相反交錯型)薄膜晶體管陣列基板，而且包含于半導(dǎo)體層(活性層)上配置有柵電極之上柵極型(交錯型)薄膜晶體管陣列基板。又，采用上述交替布線的圖案不僅對于柵極引導(dǎo)布線是有效的，對于源極引導(dǎo)布線亦為有效。因此，本發(fā)明的電極布線基板包含下述(1)～(4)四個形式。再者，(1)以及(2)是下柵極型薄膜晶體管陣列基板的形式，(3)以及(4)是上柵極型薄膜晶體管陣列基板的形式。
(1)一種電極布線基板，其包含形成于絕緣性基板上的復(fù)數(shù)條柵電極布線，覆蓋上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的絕緣層，形成于上述絕緣層上且分別與上述復(fù)數(shù)條柵電極布線交叉的復(fù)數(shù)條源電極布線，設(shè)置于上述復(fù)數(shù)條柵電極布線以及上述復(fù)數(shù)條源電極布線的各交叉點附近的復(fù)數(shù)個開關(guān)元件，具有分別連接于上述復(fù)數(shù)個開關(guān)元件的復(fù)數(shù)個像素電極的圖像顯示部，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的復(fù)數(shù)個柵電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條源電極布線的復(fù)數(shù)個源電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條柵電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個柵電極端子的復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線，以及設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條源電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個源電極端子的復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線；上述復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線包含由上述柵電極布線的柵極材料所形成的第一引導(dǎo)布線，以及由上述源電極布線的源極材料形成于覆蓋上述第一引導(dǎo)布線的上述絕緣層上的第二引導(dǎo)布線，從平面角度來看，上述第一引導(dǎo)布線以及上述第二引導(dǎo)布線并非相互重疊(并非疊層)而是交替配置。上述柵電極端子由上述柵極材料所形成的情形時，上述絕緣層至少具有如下一組連接孔用以電性連接上述第二引導(dǎo)布線與上述柵電極布線的第一連接孔，以及用以電性連接上述第二引導(dǎo)布線與上述柵電極端子的第二連接孔。對此，上述柵電極端子由上述源極材料所形成的情形時，上述絕緣層至少具有如下一組連接孔用以電性連接上述第二引導(dǎo)布線與上述柵電極布線的第一連接孔，以及用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線與上述柵電極端子的第二連接孔。
(2)一種電極布線基板，其包含有形成于絕緣性基板上的復(fù)數(shù)條柵電極布線，覆蓋上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的絕緣層，形成于上述絕緣層上且分別與上述復(fù)數(shù)條柵電極布線交叉的復(fù)數(shù)條源電極布線，設(shè)置于上述復(fù)數(shù)條柵電極布線以及上述復(fù)數(shù)條源電極布線的各交叉點附近的復(fù)數(shù)個開關(guān)元件，具有分別連接于上述復(fù)數(shù)個開關(guān)元件的復(fù)數(shù)個像素電極的圖像顯示部，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的復(fù)數(shù)個柵電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條源電極布線的復(fù)數(shù)個源電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條柵電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個柵電極端子的復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線，以及設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條源電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個源電極端子的復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線；上述復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線包含由上述柵電極布線的柵極材料所形成的第一引導(dǎo)布線，以及由上述源電極布線的源極材料形成于覆蓋上述第一引導(dǎo)布線的上述絕緣層上的第二引導(dǎo)布線，從平面角度來看，上述第一引導(dǎo)布線以及上述第二引導(dǎo)布線并非相互重疊(并非疊層)而是交替配置。上述源電極端子由上述源極材料所形成的情形時，上述絕緣層至少具有如下一組連接孔用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線與上述源電極布線的第一連接孔，以及用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線與上述源電極端子的第二連接孔。對此，上述源電極端子由上述柵極材料所形成的情形時，上述絕緣層至少具有如下一組連接孔用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線與上述源電極布線的第一連接孔，以及用以電性連接上述第二引導(dǎo)布線與上述源電極端子的第二連接孔。
(3)一種電極布線基板，其包含有形成于絕緣性基板上的復(fù)數(shù)條源電極布線，覆蓋上述復(fù)數(shù)條源電極布線的絕緣層，形成于上述絕緣層上且分別與上述復(fù)數(shù)條源電極布線交叉的復(fù)數(shù)條柵電極布線，設(shè)置于上述復(fù)數(shù)條源電極布線以及上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的各交叉點附近的復(fù)數(shù)個開關(guān)元件，具有分別連接于上述復(fù)數(shù)個開關(guān)元件的復(fù)數(shù)個像素電極的圖像顯示部，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條源電極布線的復(fù)數(shù)個源電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的復(fù)數(shù)個柵電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條源電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個源電極端子的復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線，以及設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條柵電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個柵電極端子的復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線；上述復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線包含由上述源電極布線的源極材料所形成的第一引導(dǎo)布線，以及由上述柵電極布線的柵極材料形成于覆蓋上述第一引導(dǎo)布線的上述絕緣層上的第二引導(dǎo)布線，從平面角度來看，上述第一引導(dǎo)布線以及上述第二引導(dǎo)布線并非相互重疊(并非疊層)而是交替配置。上述柵電極端子由上述柵極材料所形成的情形時，上述絕緣層至少具有如下一組連接孔用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線與上述柵電極布線的第一連接孔，以及用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線與上述柵電極端子的第二連接孔。對此，上述柵電極端子由上述源極材料所形成的情形時，上述絕緣層至少具有如下一組連接孔用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線與上述柵電極布線的第一連接孔，以及用以電性連接上述第二引導(dǎo)布線與上述柵電極端子的第二連接孔。
(4)一種電極布線基板，其包含有形成于絕緣性基板上的復(fù)數(shù)條源電極布線，覆蓋上述復(fù)數(shù)條源電極布線的絕緣層，形成于上述絕緣層上且分別與上述復(fù)數(shù)條源電極布線交叉的復(fù)數(shù)條柵電極布線，設(shè)置于上述復(fù)數(shù)條源電極布線以及上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的各交叉點附近的復(fù)數(shù)個開關(guān)元件，具有分別連接于上述復(fù)數(shù)個開關(guān)元件的復(fù)數(shù)個像素電極的圖像顯示部，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條源電極布線的復(fù)數(shù)個源電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的復(fù)數(shù)個柵電極端子，設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條源電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個源電極端子的復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線，以及設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍且將上述復(fù)數(shù)條柵電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個柵電極端子的復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線；上述復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線包含由上述源電極布線的源極材料所形成的第一引導(dǎo)布線，以及由上述柵電極布線的柵極材料形成于覆蓋上述第一引導(dǎo)布線的上述絕緣層上的第二引導(dǎo)布線，從平面角度來看，上述第一引導(dǎo)布線以及上述第二引導(dǎo)布線并非相互重疊(并非疊層)而是交替配置。上述源電極端子由上述源極材料所形成的情形時，上述絕緣層至少具有如下一組連接孔用以電性連接上述第二引導(dǎo)布線與上述源電極布線的第一連接孔，以及用以電性連接上述第二引導(dǎo)布線與上述源電極端子的第二連接孔。對此，上述源電極端子由上述柵極材料所形成的情形時，上述絕緣層至少具有如下一組連接孔用以電性連接上述第二引導(dǎo)布線與上述源電極布線的第一連接孔，以及用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線與上述源電極端子的第二連接孔。
將柵極材料與源極材料變替布線的導(dǎo)電圖案，是通過形成于上述絕緣層的連接孔(接觸孔)，由導(dǎo)通柵極材料與源極材料，可作為柵極引導(dǎo)布線及/或源極引導(dǎo)布線而加以利用。進而，將柵極材料與源極材料交替布線的導(dǎo)電圖案可例如于薄膜晶體管陣列基板的柵電極布線形成過程或源電極布線形成過程中形成。
上述圖像顯示部是矩形狀，上述柵電極端子以及上述源電極端子亦可排列于上述圖像顯示部的任一邊附近。于圖像顯示部的任一邊附近并置有柵電極端子以及源電極端子，使信號輸入集中于圖像顯示部周圍一邊的畫面中央配置且期待縮小周圍區(qū)域尺寸的設(shè)計中，最好的是采用上述交替布線。
根據(jù)本發(fā)明，于集中信號輸入至圖像顯示部的一邊的面板畫面中央配置設(shè)計中，由于可縮小圖像顯示部周圍的布線區(qū)域，因此可實現(xiàn)面板尺寸縮小，并且提高制造成品率。具體的是，于具有復(fù)數(shù)條形成于圖像顯示部的柵極布線以及與該柵極布線相互交叉的復(fù)數(shù)條源極布線的電極布線基板中，為縮小周圍部的柵極端子引導(dǎo)布線區(qū)域，由將柵極材料與源極材料交替布線的處理可實現(xiàn)空間縮小化。又，由于可充分確保柵極金屬間空間與源極金屬間空間，因此可防止成品率降低。進而，上述柵極材料與源極材料是通過形成于絕緣層的接觸孔相互連接，從而可將柵極材料與源極材料作為柵極端子引導(dǎo)布線而使用。
于上述(1)或(4)中，上述復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線包含上述第一引導(dǎo)布線與上述第二引導(dǎo)布線，上述第一引導(dǎo)布線通過上述絕緣層，進而包含由上述柵極材料所形成的布線，上述復(fù)數(shù)條柵電極布線亦可通過形成于上述絕緣層的相相同數(shù)量量連接孔，分別與上述柵電極端子相互連接。又，上述復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線包含上述第一引導(dǎo)布線與上述第二引導(dǎo)布線，上述第二引導(dǎo)布線通過上述絕緣層，進而包含由上述柵極材料所形成的布線，上述復(fù)數(shù)條柵電極布線亦可通過形成于上述絕緣層的相同數(shù)量的連接孔，分別與上述柵電極端子相互連接。由此，于柵電極布線與柵電極端子間，分別產(chǎn)生于復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線的接觸電阻大致相同。因此，由于可齊聚各柵極引導(dǎo)布線的接觸電阻，故而可抑制產(chǎn)生顯示不均一，從而顯示質(zhì)量成為良好。
于上述(2)或(3)中，上述復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線包含上述第一引導(dǎo)布線與上述第二引導(dǎo)布線，上述第一引導(dǎo)布線通過上述絕緣層，進而包含由上述源極材料所形成的布線，上述復(fù)數(shù)條源電極布線亦可通過形成于上述絕緣層的相同數(shù)量的連接孔，分別與上述源電極端子相互連接。又，上述復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線包含上述第一引導(dǎo)布線與上述第二引導(dǎo)布線，上述第二引導(dǎo)布線通過上述絕緣層，進而包含由上述柵極材料所形成的布線，上述復(fù)數(shù)條源電極布線亦可通過形成于上述絕緣層的相同數(shù)量的連接孔，分別與上述源電極端子相互連接。由此，于源電極布線與源電極端子間，分別產(chǎn)生于復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線的接觸電阻大致相同。因此，由于可齊聚各源極引導(dǎo)布線的接觸電阻，故而可抑制產(chǎn)生顯示不均一，從而顯示質(zhì)量成為良好。
本發(fā)明的顯示裝置，包含具有采用上述交替布線的圖案的電極布線基板，以及相對于上述電極布線基板的電極。于電極布線基板與對向電極間介在有顯示媒體層。所謂“顯示媒體層”是由相互對向的電極間的電位差而光透過率得以調(diào)變的層，或由流過相互對向的電極間的電流而進行自發(fā)光的層。顯示媒體層是例如液晶層、無機或有機電致發(fā)光層、發(fā)光氣體層、電泳層以及電致變色層等。至于包含電極布線基板以及與其對向配置的對向基板(或?qū)ο螂姌O)的顯示裝置，具有挾持于兩基板間的液晶層的液晶顯示裝置成為主流。但是，本發(fā)明的顯示裝置并非限定于液晶顯示裝置，亦可適用于場發(fā)射顯示器(FED＝Field Emission Display)、電漿顯示器面板(PDP＝Plasma Display Panel)、有機電場發(fā)光二極管(organic light emitting di-ode)、無機電致發(fā)光(inorganic electro luminescence)以及電致變色顯示裝置。
本發(fā)明的電極布線基板的開關(guān)元件最好的是薄膜晶體管(TFT)，但并非限定于此，亦可為雙端子二極管(MIM＝Metal Insulator Metal)等的雙端子元件。又，上述交替布線亦可適用于電極布線基板中，該電極布線基板是使用于未具有開關(guān)元件的被動型顯示裝置中。
上述像素電極最好的是包含透過型透明導(dǎo)電膜、反射型反射導(dǎo)電膜，或包含可以透過模式與反射模式兩者進行顯示的兩用型透明導(dǎo)電膜與反射導(dǎo)電膜。


圖1，是模式化表示實施方式1的薄膜晶體管基板的部分平面圖。
圖2，是圖1中的A-B線剖面圖。
圖3，是模式化表示第一接觸孔111附近的剖面圖。
圖4(a)、圖4(b)以及圖4(c)，是模式化表示圖1中的A-B線的制造步驟的剖面圖。
圖5(a)、圖5(b)以及圖5(c)，是模式化表示圖1中的導(dǎo)電圖案變換部111的制造步驟的剖面圖。
圖6，是模式化表示實施方式3的薄膜晶體管基板的部分平面圖。
圖7，是表示揭示于專利第3276557號公報(日本)的導(dǎo)電圖案的部分平面圖。
圖8，是圖7的A-B線剖面圖。
圖9，是揭示于日本專利第3276557號公報的導(dǎo)電圖案變換部的剖面圖。
(符號說明)100 圖像顯示部101 像素電極102 柵電極端子103 源電極端子105 柵電極布線106 源電極布線
107 玻璃基板108 第一引導(dǎo)布線(柵極引導(dǎo)布線、柵極金屬導(dǎo)電圖案)109 絕緣層110 第二引導(dǎo)布線(源極引導(dǎo)布線、源極金屬導(dǎo)電圖案)111 第一接觸孔112 源極引導(dǎo)布線113 第二接觸孔120 布線121 接觸孔122 接觸孔具體實施方式
以下，一面參照附圖一面說明本發(fā)明的實施方式。以下實施方式中，用‘下柵極型薄膜晶體管陣列基板’為例作為電極布線基板，就于柵極引導(dǎo)布線采用變替布線的情形加以說明，但本發(fā)明并非限定于以下實施方式。
(實施方式1)圖1是模式顯示實施方式1的薄膜晶體管基板的部分平面圖，圖2是圖1中的A-B線剖面圖。本實施方式的薄膜晶體管基板包含有形成于透明絕緣性基板107上的復(fù)數(shù)條柵電極布線105，覆蓋復(fù)數(shù)條柵電極布線105的絕緣層109，形成于絕緣層109上且分別與復(fù)數(shù)條柵電極布線105交叉的復(fù)數(shù)條源電極布線106，設(shè)置于復(fù)數(shù)條柵電極布線105以及復(fù)數(shù)條源電極布線106的各交叉點附近的復(fù)數(shù)個薄膜晶體管(未圖示)，包含連接于復(fù)數(shù)個薄膜晶體管的各個的復(fù)數(shù)個像素電極101的圖像顯示部100，設(shè)置于圖像顯示部100的周圍(圖1中是圖像顯示部100的下方)且用以分別輸入信號至復(fù)數(shù)條柵電極布線105的復(fù)數(shù)個柵電極端子102，設(shè)置于圖像顯示部100的周圍且用以分別輸入信號至復(fù)數(shù)條源電極布線106的復(fù)數(shù)個源電極端子103(圖1中是圖像顯示部100的下方)，設(shè)置于圖像顯示部100的周圍(圖1中是圖像顯示部100的左側(cè)以及下方)且將復(fù)數(shù)條柵電極布線105分別引導(dǎo)至復(fù)數(shù)個柵電極端子102的復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線108、110，以及設(shè)置于圖像顯示部100的周圍(圖1中是圖像顯示部100的下方)且將復(fù)數(shù)條源電極布線106分別引導(dǎo)至復(fù)數(shù)個源電極端子103的復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線112。
包含復(fù)數(shù)個像素電極101的圖像顯示部100是矩形狀，柵電極端子102以及源電極端子103是排列于圖像顯示部100的任一邊(本實施方式中是下方邊)附近。如此，由于圖像顯示部100的任一邊附近排列有兩個端子102、103，圖像顯示部100的左右周緣區(qū)域未被兩個端子102、103占有，可防止顯示畫面中央偏向左右任一側(cè)的情形。即，可實現(xiàn)畫面中央配置。
復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線108、110包含由柵電極布線105的柵極材料所形成的第一引導(dǎo)布線108，以及由源電極布線106的源極材料形成于覆蓋第一引導(dǎo)布線108的絕緣層109上的第二引導(dǎo)布線110。又，如圖2所示，從平面角度來看，第一引導(dǎo)布線108以及第二引導(dǎo)布線110并非相互重疊而是交替配置。形成于絕緣層109上的第二引導(dǎo)布線110通過形成于絕緣層109的第一以及第二接觸孔111、113，分別與柵電極布線105以及柵電極端子102導(dǎo)通。圖3是模式顯示第一接觸孔111附近的剖面圖。如圖3所示，由于柵電極布線105是通過第一接觸孔111而變換為不同層的導(dǎo)電圖案110，因此以下亦可將接觸孔111、113稱為導(dǎo)電圖案變換部。
其次，參照圖4以及圖5說明本實施方式的薄膜晶體管基板的制造步驟。圖4(a)、圖4(b)以及圖4(c)是模式化表示圖1中的A-B線的制造步驟的剖面圖，圖5(a)、圖5(b)以及圖5(c)是模式化表示圖1中的導(dǎo)電圖案變換部111的制造步驟的剖面圖。
首先，于透明玻璃基板107上使用濺鍍裝置，形成鉭膜(Ta)作為柵極材料。通過光刻步驟以及蝕刻步驟，形成作為柵極圖案的柵電極端子102、柵電極布線105以及柵電極圖案(第一引導(dǎo)布線)108(參照圖4(a)以及圖5(a))。再者，若柵極材料是可獲得所期望的匯流線電阻，且與下述作為透明電極的銦錫氧化物(Indium Tin Oxide；ITO，氧化銦錫)的接觸電阻的歐姆特性良好的材料即可。例如，可列舉Ta、Al、Cr、Ti或該等的氮化物積層膜等。又，并非限定于單金屬層，亦可使用包含合金層或復(fù)數(shù)個金屬層的積層膜。
將成為絕緣層109的氮化硅膜(SiNx)、成為半導(dǎo)體層的a-Si層以及n+層進行成膜。其后，通過半導(dǎo)體層的光刻步驟以及蝕刻步驟，形成成為薄膜晶體管晶體管的核心部的島狀圖案。將圖像顯示部100以外區(qū)域中的半導(dǎo)體層全部進行蝕刻。其后，通過光刻步驟以及蝕刻步驟，于絕緣層109上形成第一以及第二接觸孔111、113(參照圖5(b))。
使用濺鍍裝置，以成為源極冗余構(gòu)造的方式，將銦錫氧化物(Indium TinOxide；ITO)進行成膜后，再成膜鉭膜(Ta)。其后，通過源極Ta的光刻步驟以及蝕刻步驟，進而通過ITO的光刻步驟以及蝕刻步驟，從而形成作為源極圖案的源電極端子103、源電極布線106以及源電極圖案(第二引導(dǎo)布線)110(參照圖4C以及圖5C)。又，形成源電極、汲電極圖案以及透明像素電極101。再者，若源極材料是可獲得所期望的匯流線電阻的材料即可。例如可列舉Ta、Al、Mo、Ti或該等的氮化物積層膜等。又，并非限定于源極/ITO冗余構(gòu)造，亦可為源極單層。
將源極抗蝕劑或源極金屬圖案作為遮罩，使用干式蝕刻裝置，從而形成圖像顯示部100的島狀圖案的源極·漏極分離部。進而，形成保護用絕緣膜圖案(未圖示)，從而完成本實施方式的薄膜晶體管基板。
再者，以高開口率作為目標(biāo)，形成保護用絕緣膜圖案后，形成有機樹脂膜圖案，亦可于該有機樹脂膜上形成上層像素電極圖案，該上層像素電極圖案是將像素電極-像素電極的間隔狹小化至界限為止。又，薄膜晶體管的制造方法亦并非限定于上述方法，亦可使用其他方法，例如非晶硅薄膜晶體管的制造方法或多晶硅薄膜晶體管的制造方法等。
如此，柵電極圖案(第一引導(dǎo)布線)108是于透明玻璃基板107上，與柵電極端子102以及柵電極布線105同時形成圖案。絕緣層109是以覆蓋柵電極圖案108的方式形成，且于導(dǎo)電圖案變換部中形成第一接觸孔111。源電極圖案110(第二引導(dǎo)布線)是形成于絕緣層109上，且與源電極端子103以及源電極布線106同時形成圖案。此時，如圖5(c)所示，源電極圖案110通過第一接觸孔111與柵電極布線105相互導(dǎo)通。再者，雖然未有圖示，但源電極圖案110亦通過第二接觸孔113與柵電極端子102相互導(dǎo)通。
如圖4(c)所示，作為連接?xùn)烹姌O布線105與柵電極端子102的柵極引導(dǎo)布線，從平面角度來看，并非將柵電極圖案108與源電極圖案110相互重疊而是交替布線。由此，可縮小圖像顯示部100的周圍區(qū)域。又，導(dǎo)電圖案的線/空間中，由于即使縮小柵電極圖案108與源電極圖案110的空間，亦可充分確保柵極金屬間空間與源極金屬間空間，因此可實現(xiàn)制造成品率提高。其結(jié)果為，可縮小每一個導(dǎo)電圖案的線和空間(滿足線幅與線間空間的長度)。
近年來，手機(移動電話)用途的監(jiān)視器中，期待可實現(xiàn)畫面中央配置以及周圍區(qū)域的尺寸縮小。因此，作為實施例，使用本實施方式的薄膜晶體管基板而作成2.2英寸透過型QCIF(Quarter Common Intermediate For-mat，四分之一通用中間格式)液晶顯示裝置。液晶顯示裝置亦可依據(jù)眾所周知的技術(shù)所作成。例如，于形成于透明絕緣基板的彩色濾光器上形成透明電極與定向膜，從而作成彩色濾光器基板。同樣將形成有定向膜的薄膜晶體管基板與彩色濾光器基板進行貼合后，進行液晶注入以及密封。貼付偏光板，安裝驅(qū)動用IC以及信號輸入用可撓性纜線。但是，液晶顯示裝置的作成方法并非限定于此，若使用本實施方式中所作成的薄膜晶體管基板，則當(dāng)然亦可使用例如無需偏光板的模式、無需定向膜的模式以及無需彩色濾光器等。作成2.2英寸透過型QCIF液晶顯示裝置的情形時，由于布線區(qū)域的寬度(其是自圖像顯示部100至基板端部為止的最短距離，于圖1中是圖像顯示部100左側(cè)區(qū)域的寬度)為1.8mm，因此設(shè)計為每一條柵極引導(dǎo)布線的線和空間是8μm的狹小間距間隔。
為實現(xiàn)上述狹小間距間隔設(shè)計，以三種圖案即A僅一般性柵極材料的布線、B揭示于專利第3276557號公報(日本)的柵極/源極二層疊層構(gòu)造布線、C本實施方式的柵極/源極交替布線，形成柵極引導(dǎo)布線，從而作成液晶面板模組。該等液晶面板模組的顯示質(zhì)量結(jié)果如表1所示。
(表-1)

A圖案(僅柵極材料的布線)中，隨著縮小周圍區(qū)域的尺寸，結(jié)果為線和空間縮小至界限以上。由將空間極端狹小化的處理，于柵極金屬-柵極金屬間進行泄漏的短路不良增大至其他圖案的14倍，從而成品率大幅度惡化。
B圖案(揭示于專利第3276557號公報(日本)的柵極/源極二層疊層構(gòu)造布線)中，從平面角度來看，由于柵極/源極相互重疊，因此相互電容的影響會變大。因此，產(chǎn)生信號延遲，沿著圖像顯示部100的柵電極布線105，產(chǎn)生呈現(xiàn)條紋狀的不均一，顯示質(zhì)量上產(chǎn)生問題。又，隨著電容增大，阻抗會增加，從而消耗電力增大40％。進而，由于是柵極/源極的二層疊層構(gòu)造，因此較多產(chǎn)生靜電破壞絕緣層109的不良。
C圖案(本實施方式的柵極/源極交替布線)中，與上述A的情形不同，無需縮小空間即可確保足夠間隔。并且，與上述B的情形不同，由于未疊層為二層，因此不會產(chǎn)生如上述A或B所出現(xiàn)的問題。又，亦未發(fā)現(xiàn)特有的問題，從而可提供一種透過型液晶顯示裝置，其是可獲得良好的顯示質(zhì)量且制造成品率較高。
作為對于柵極引導(dǎo)布線的柵極/源極交替布線的制造方面的擔(dān)心事項，可列舉柵極與源極的薄膜電阻于生產(chǎn)不均一性上不同的情形，以及柵極導(dǎo)電圖案108與源極導(dǎo)電圖案110的加工線幅于生產(chǎn)不均一性上不同的情形。因此，于柵極/源極交替中布線電阻不同，且隨著柵極布線電阻與源極布線電阻的電阻差變大，充電率差變大，因此有可能產(chǎn)生顯示質(zhì)量不良。又，由于柵極與源極的光對準(zhǔn)生產(chǎn)不均一性，可能柵極導(dǎo)電圖案108與源極導(dǎo)電圖案110形成于相互重疊(接近)方向，故而與相互電容相關(guān)，亦有可能產(chǎn)生顯示質(zhì)量不良。
因此，為明確該等擔(dān)心事項，于考慮到薄膜電阻與線幅生產(chǎn)不均一性的條件下，且將柵極導(dǎo)電圖案108與源極導(dǎo)電圖案110相互接近的條件下，作成液晶面板模組。液晶面板模組的顯示質(zhì)量結(jié)果是如表2～表4所示。再者，下述柵極-源極間隔從平面角度來看，是柵極導(dǎo)電圖案108與源極導(dǎo)電圖案110的間隔。
(a)柵極-源極間隔1μm(表-2)

(b)柵極-源極間隔0μm(柵極與源極的間隔消失的狀態(tài))(表-3)

(c)柵極-源極間隔-1μm(柵極與源極重疊1μm的狀態(tài))(表-4)

如表2以及表3所示，若將柵極-源極間隔確保為0μm以上，則即使產(chǎn)生薄膜電阻以及線幅的生產(chǎn)不均一性，顯示質(zhì)量亦無問題。如表2以及表3所示，將柵極以及源極布線電阻的生產(chǎn)不均一性控制為5KΩ-30KΩ的處理于制造上是十分可行的。
但是，若柵極-源極重疊1μm，則如表4所示，于柵極與源極布線電阻差較少的條件下，雖然顯示質(zhì)量上無問題，但產(chǎn)生布線電阻的生產(chǎn)不均一性，若柵極與源極的布線電阻差變大，則沿著圖像顯示部100的柵電極布線105產(chǎn)生呈現(xiàn)條紋狀的不均一，從而顯示質(zhì)量中產(chǎn)生問題。因此，若由于生產(chǎn)不均一性而使柵極-源極稍微重疊，則顯示質(zhì)量中產(chǎn)生問題從而惡化成品率。
再者，條紋狀不均一是于上述B圖案(揭示于專利第3276557號公報(日本)的柵極/源極二層疊層構(gòu)造布線)中，與沿著圖像顯示部100的柵電極布線105呈現(xiàn)條紋狀的不均一相同的現(xiàn)象。并且，若柵極-源極于剖面上重疊，則會產(chǎn)生靜電破壞絕緣層109的不良。
因此，即使考慮到生產(chǎn)不均一性，亦必須設(shè)為柵極-源極未重疊的構(gòu)造。于本實施例的線和空間為8μm的狹小間距間隔設(shè)計中，若采用C圖案(柵極/源極交替布線)，則即使考慮到生產(chǎn)不均一性，設(shè)為柵極-源極未重疊的構(gòu)造，亦可具有充分的生產(chǎn)余量。
(實施方式2)實施方式1中表示透過型液晶顯示裝置。本實施方式中，就近年來作為移動用途的監(jiān)視器，市場上最有需求的顯示裝置的一的兩用型液晶顯示裝置，即可以反射模式與透過模式兩者進行顯示的顯示裝置，加以說明。
兩用型液晶顯示裝置是通過與實施方式1的透過型液晶顯示裝置大致相同的制造步驟所制造。但是，形成保護用絕緣膜圖案后，直至完成薄膜晶體管步驟為止與實施方式1的情形不同。首先，形成保護用絕緣膜圖案后，為于光刻步驟中將膜厚分布均勻化，從而使用自旋式涂敷機將有機樹脂膜涂敷于透明像素電極上，且于成為反射區(qū)域的部分中形成平滑的凹凸形狀，于成為透過區(qū)域的部分中去除有機樹脂膜，使透明像素電極露出。
濺鍍裝置中連續(xù)成膜鉬(Mo)以及鋁(Al)后，通過光刻步驟以及蝕刻步驟，從而于凹凸形狀圖案上形成反射電極圖案。于本實施方式中使用鋁作為反射電極，但并非限定于此，亦可使用Al是合金材料或光反射效率較高的導(dǎo)電性材料。又，成膜于Al底層的Mo是用以防止Al與漏極ITO電觸的障礙金屬層。若是可防止電觸的導(dǎo)電性材料，則并非限定于Mo，又若使用于反射電極或透明電極上不會引起電觸的材料，則亦可僅為反射膜的一層。
以與實施方式1的透過型液晶顯示裝置相同的方式，作成2.2英寸QCIF(Quarter Common Intermediate Format)兩用型液晶顯示裝置。與實施方式1相同，采用每一條柵極引導(dǎo)布線的線和空間是8μm的狹小間距間隔設(shè)計。
與實施方式1相同，為實現(xiàn)上述狹小間距間隔設(shè)計，以三種圖案即A僅一般性柵極材料的布線、B揭示于專利第3276557號公報(日本)的柵極/源極二層疊層構(gòu)造布線、C本實施方式的柵極/源極交替布線，形成柵極引導(dǎo)布線從而作成液晶面板模組。該等液晶面板模組的顯示質(zhì)量結(jié)果是如表5所示。
(表-5)

A圖案(僅柵極材料的布線)中與實施方式1相同，由于空間極端狹小，由此于柵極金屬-柵極金屬間進行泄漏的短路不良增大至其他圖案的14倍，從而成品率會大幅度惡化。
B圖案(揭示于專利第3276557號公報(日本)的柵極/源極二層疊層構(gòu)造布線)中從平面角度來看，由于柵極/源極重疊，因此與實施方式1相同，產(chǎn)生橫紋或條紋狀不均一，消耗電力增大40％，并且較多產(chǎn)生靜電破壞不良。進而，由于二層疊層，絕緣層與源極的階差會變大，因此有機樹脂膜較多產(chǎn)生成為放射狀不均一的不良，進一步惡化成品率。
C圖案(本實施方式的柵極/源極交替布線)中與上述A的情形不同，無需縮小空間即可確保足夠的間隔。并且，與上述B的情形不同，由于未疊層為二層，因此不會產(chǎn)生如上述A或B所出現(xiàn)的問題。又，未發(fā)現(xiàn)特有的問題，即可提供一種兩用型液晶顯示裝置，其是可獲得良好的顯示質(zhì)量，并且制造成品率較高者。
實施方式1以及2中，柵極引導(dǎo)布線108、110是柵極/源極交替布線，但源極引導(dǎo)布線112亦可取代柵極引導(dǎo)布線成為柵極/源極交替布線，或與柵極引導(dǎo)布線一并成為柵極/源極交替布線。又，像素電極101不僅是實施方式1所示的透過型或?qū)嵤┓绞?所示的兩用型，亦可是反射型。
根據(jù)本發(fā)明的交替布線，是考慮到柵極金屬導(dǎo)電圖案與源極金屬導(dǎo)電圖案交替布線且生產(chǎn)不均一性，于柵極金屬導(dǎo)電圖案的直接上方通過絕緣層而未疊層有源極金屬導(dǎo)電圖案。采用根據(jù)本發(fā)明的交替布線，可實現(xiàn)圖像顯示部周圍的布線區(qū)域的尺寸縮小，并且可獲得如下所述的效果。第一，未產(chǎn)生相互電容的影響而可獲得良好的顯示質(zhì)量。又，于上述實施例的交替布線中，已經(jīng)確認(rèn)與疊層布線相比而可實現(xiàn)降低40％消耗電力的情形。
第二，不會產(chǎn)生靜電破壞絕緣層的不良。其結(jié)果為，可實現(xiàn)制造成品率的提高。第三，由于柵極金屬導(dǎo)電圖案/絕緣層/源極金屬導(dǎo)電圖案疊層所造成的階差與疊層布線相比，可大幅度得以改善。其結(jié)果為，于反射型機種以及反射/透過兩用型機種中，未產(chǎn)生以引導(dǎo)布線作為起點的放射狀不均一的不良，可實現(xiàn)制造成品率的提高。第四，若設(shè)為柵極/源極交替布線，則可充分確保柵極金屬間空間與源極金屬間空間，因此可大幅度降低短路不成品率，可實現(xiàn)制造成品率的提高。
進而，并非限定于最近要求有上述實施例所示的畫面中央配置以及周圍區(qū)域尺寸縮小的手機(移動電話)用途，即使對于沒有要求周圍區(qū)域尺寸縮小，換言的即可確保較寬范圍的周圍區(qū)域的先前的移動機器或其他監(jiān)視器，若采用本發(fā)明的柵極/源極交替布線，則進而可大幅度降低短路不成品率，可進一步實現(xiàn)制造成品率的提高。
(實施方式3)圖6是模式化表示實施方式3的薄膜晶體管基板的部分平面圖。再者，圖6中，以相同參照符號表示具有與實施方式1的薄膜晶體管基板的構(gòu)成要素實質(zhì)上相同功能的構(gòu)成要素，省略其說明。
圖1所示的薄膜晶體管基板中，由于第二引導(dǎo)布線(源電極圖案)110是通過第一接觸孔111與柵電極布線105相互導(dǎo)通，且通過第二接觸孔113與柵電極端子102相互導(dǎo)通，因此于柵電極布線105與柵電極端子102間，兩處導(dǎo)電圖案變換部111、113中產(chǎn)生接觸電阻。對此，由于第一引導(dǎo)布線(柵電極圖案)108是未與源極金屬相接觸，因此于柵電極布線105與柵電極端子102間未產(chǎn)生接觸電阻。因此，于第一引導(dǎo)布線108與第二引導(dǎo)布線110間產(chǎn)生電阻差，故而可能產(chǎn)生條紋狀不均一等的顯示質(zhì)量不良。
本實施方式中，第一引導(dǎo)布線108是通過絕緣層109，進而包含由源極材料所形成的布線120。布線120形成于覆蓋第一引導(dǎo)布線108、柵電極布線105以及柵電極端子102的絕緣層109上，因此通過形成于絕緣層109上的接觸孔121、122，從而與第一引導(dǎo)布線108以及柵電極布線105相互導(dǎo)通。即，于通過柵電極布線105與柵電極端子102的第一引導(dǎo)布線108的連接中，兩處導(dǎo)電圖案變換部121、122中產(chǎn)生接觸電阻。
如此，由于復(fù)數(shù)條柵電極布線105分別通過形成于絕緣層109上的相同數(shù)量(兩處)的接觸孔，與柵電極端子102連接，因此可縮小產(chǎn)生于第一引導(dǎo)布線108與第二引導(dǎo)布線110間的電阻差。因此，可抑制產(chǎn)生條紋狀不均一等的顯示質(zhì)量不良。
再者，布線120是形成于柵電極布線105側(cè)，但亦可形成于柵電極端子102側(cè)。但是，為防止與所鄰接的第二引導(dǎo)布線110的短路不良，最好的是確保足夠的線間間距后配置布線120。
根據(jù)本發(fā)明，于顯示裝置中可實現(xiàn)畫面中央配置以及周圍區(qū)域的尺寸縮小，并且可實現(xiàn)制造成品率的提高。
以上，就本發(fā)明的實施方式加以說明，但本發(fā)明的技術(shù)性范圍并非限定于上述實施方式中所揭示的范圍內(nèi)。希望業(yè)者了解，上述實施方式僅為例示，亦可為將該等各構(gòu)成要素進行各種變更的變更例，又該等變更例亦屬于本發(fā)明的技術(shù)性范圍內(nèi)。
2003年9月19日申請的專利的特別申請2003-327181(日本)的說明書、附圖以及權(quán)利要求范圍中所揭示的內(nèi)容是由參照將其全部編入本申請案說明書中。
(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)本發(fā)明的電極布線基板可適用于液晶顯示器、電場發(fā)射型顯示器、有機或無機電致發(fā)光顯示器、電致變色顯示器以及電漿顯示器等。
權(quán)利要求
1.一種電極布線基板，其包括復(fù)數(shù)條柵電極布線，其形成于絕緣性基板上；復(fù)數(shù)條源電極布線，其分別與上述復(fù)數(shù)條柵電極布線交叉；絕緣層，其使上述復(fù)數(shù)條柵電極布線與上述復(fù)數(shù)條源電極布線電性絕緣；復(fù)數(shù)個開關(guān)元件，其設(shè)置于上述復(fù)數(shù)條柵電極布線以及上述復(fù)數(shù)條源電極布線的各交叉點附近；圖像顯示部，其包含連接于上述復(fù)數(shù)個開關(guān)元件的各個復(fù)數(shù)個像素電極；復(fù)數(shù)個柵電極端子，其設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍，用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條柵電極布線；復(fù)數(shù)個源電極端子，其設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍，用以分別輸入信號至上述復(fù)數(shù)條源電極布線；復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線，其設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍，將上述復(fù)數(shù)條柵電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個柵電極端子；及復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線，其設(shè)置于上述圖像顯示部的周圍，將上述復(fù)數(shù)條源電極布線分別引導(dǎo)至上述復(fù)數(shù)個源電極端子；其特征為上述復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線及/或上述復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線包含由上述柵電極布線的柵極材料所形成的第一引導(dǎo)布線，以及由上述絕緣層與上述第一引導(dǎo)布線電性絕緣且由上述源電極布線的源極材料所形成的第二引導(dǎo)布線，從平面角度來看，上述第一引導(dǎo)布線以及上述第二引導(dǎo)布線并非相互重疊而是交替配置；上述絕緣層至少具有一組第一連接孔，其用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線或上述第二引導(dǎo)布線與上述柵電極布線或上述源電極布線；及第二連接孔，其用以電性連接上述第一引導(dǎo)布線或上述第二引導(dǎo)布線與上述柵電極端子或上述源電極端子。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極布線基板，其特征為上述圖像顯示部是矩形狀，且上述柵電極端子以及上述源電極端子排列于上述圖像顯示部的任一邊附近。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極布線基板，其特征為上述開關(guān)元件是薄膜晶體管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極布線基板，其特征為上述復(fù)數(shù)條柵極引導(dǎo)布線包含上述第一引導(dǎo)布線以及上述第二引導(dǎo)布線，上述第一引導(dǎo)布線或上述第二引導(dǎo)布線是通過上述絕緣層，進而包含由上述源極材料所形成的布線或由上述柵極材料所形成的布線，上述復(fù)數(shù)條柵電極布線的各個通過形成于上述絕緣層的相同數(shù)量的連接孔，與上述柵電極端子連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極布線基板，其特征為上述復(fù)數(shù)條源極引導(dǎo)布線包含上述第一引導(dǎo)布線以及上述第二引導(dǎo)布線，上述第一引導(dǎo)布線或上述第二引導(dǎo)布線是通過上述絕緣層，進而包含由上述源極材料所形成的布線或由上述柵極材料所形成的布線，上述復(fù)數(shù)條源電極布線的各個通過形成于上述絕緣層的相同數(shù)量的連接孔，與上述源電極端子連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極布線基板，其特征為上述像素電極包含透過型透明導(dǎo)電膜；反射型反射導(dǎo)電膜；或可以透過模式與反射模式雙方顯示的兩用型透明導(dǎo)電膜與反射導(dǎo)電膜。
7.一種顯示裝置，其特征為包含權(quán)利要求1所述的電極布線基板；相對于上述電極布線基板的電極。
8.一種液晶顯示裝置，其特征為包含權(quán)利要求1所述的電極布線基板；相對于上述電極布線基板的對向基板；由上述電極布線基板與上述對向基板所挾持的液晶層。
全文摘要
一種電極布線基板及顯示裝置，于顯示裝置中實現(xiàn)畫面中央配置以及縮小周圍區(qū)域尺寸，并且謀求提高制造成品率。電極布線基板，包含由柵電極布線(105)的柵極材料所形成的第一引導(dǎo)布線(108)，以及由源電極布線(106)的源極材料所形成的第二引導(dǎo)布線(110)。從平面角度來看，第一引導(dǎo)布線(108)以及第二引導(dǎo)布線(110)并非相互重疊而是交替配置。第二引導(dǎo)布線(110)是通過第一接觸孔(111)與柵電極布線(105)導(dǎo)通，且通過第二接觸孔(113)與柵電極端子(102)導(dǎo)通。
文檔編號G02F1/1345GK1717710SQ20048000152
公開日2006年1月4日 申請日期2004年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月19日
發(fā)明者安部隆男, 田中尚幸, 澤田康一 申請人:夏普株式會社