專利名稱：濾色器陣列及其制造方法、顯示裝置、投影型顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是涉及干涉型濾色器及其制造方法和具備該濾色器的直視型或者投影型的顯示裝置。
背景技術(shù)：
在以往，我們知道作為用于液晶等的濾色器有只透射預(yù)定的色光而吸收其他的色光的吸收型濾色器和只透射預(yù)定的色光而反射其他的色光的反射型濾色器(例如，參照特許文獻(xiàn)1)。這種反射型的濾色器的其中一種為采用了電介質(zhì)多層膜的干涉型濾色器。
上述的干涉型濾色器是通過電介質(zhì)多層膜的層結(jié)構(gòu)來改變透射光的波長，并將多個透射波長例如為R(紅色)、G(綠色)、B(藍(lán)色)的3種濾色器并列配置，從而可以形成濾色器陣列。
這種干涉型濾色器具有以下的特征，(1)色純度非常高。
(2)因?yàn)橛蔁o機(jī)材料構(gòu)成，所以沒有由于光和熱等帶來的劣化。
(3)由于不需要的光被反射，所以可以通過光學(xué)系統(tǒng)下工夫進(jìn)行該反射光的再利用。
專利文獻(xiàn)1特開平9-325312號公報(bào)然而，在這樣的干涉型濾色器中，由于例如紅和綠等的不同顏色之間的膜材料沒有太大的差別，因而在實(shí)際的圖形化中無法確?？涛g選擇比。為此，在以往只能采用剝離法或者掩膜蒸鍍法等的方法進(jìn)行圖形化。
但是，在采用剝離法或者掩膜蒸鍍法任何一種方法時，很難形成間距為幾十微米的圖形，例如制造需要20μm以下間距的投影機(jī)用的光閥，或者移動電話以及PDA用等的高精密面板是很困難的。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述的課題，本發(fā)明以提供可微細(xì)化的干涉型濾色器的制造方法以及用該方法制造的濾色器陣列，和具備該濾色器陣列的直視型或者投影型的顯示裝置為目的。
如上所述，在以往的干涉型濾色器的圖形化的刻蝕中所未使用的是，在透射波長不同的多種的濾色層之間沒有獲得充分的刻蝕選擇比，當(dāng)進(jìn)行其中的一種濾色層的圖形化時，會刻蝕到圖形化完了的其他的濾色層。也可以從反面來講，如果可以分別形成互相不影響的各個濾色層的話，通過通常的刻蝕就可以制造微細(xì)的濾色器陣列。
為此，本發(fā)明者構(gòu)想通過將以往在同一層內(nèi)并列配置的多種的濾色層間隔層間膜進(jìn)行層疊，就可以解除如此的制造上的問題。
也就是說，為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的濾色器陣列是通過將透射不同的色光的多種干涉型濾色層間隔透光性的層間膜按順序?qū)盈B而構(gòu)成，其特征在于俯視為不同種類的干涉型濾色層是相互鄰接地配置的。
例如可以通過以下的方法制造這樣的濾色器陣列。首先，通過層疊不同折射率的多個電介質(zhì)層，在基板上形成反射預(yù)定的色光而透射除此之外的色光的干涉型濾色層(濾色層形成工序)。接著，按預(yù)定的形狀進(jìn)行上述的干涉型濾色層的圖形化(圖形化工序)，接著，在基板上形成覆蓋上述的干涉型濾色層的透光性層間膜(層間膜形成工序)。然后，通過按順序反復(fù)進(jìn)行上述的濾色層形成工序、圖形化工序、層間膜形成工序，而在基板上依次地層疊形成透射不同色光的多種的干涉型濾色層。其中，在圖形化工序中，是使得這些多種的干涉型濾色層俯視為相互鄰接(具體是，透射不同色光的濾色層配置成矩陣狀)配置地進(jìn)行各個濾色層的圖形化。
這樣根據(jù)本發(fā)明，由于多種的干涉型濾色層是間隔層間膜而分別地配置在各個層，所以在進(jìn)行各個濾色層的圖形化時，作為襯底的層間膜發(fā)揮了刻蝕阻擋層或者刻蝕緩沖層的功能，而防止了對下層一側(cè)的濾色層的影響。因此，濾色層的圖形化工序可以采用干法刻蝕進(jìn)行，而可以實(shí)現(xiàn)濾色器的微細(xì)化。
另外，在本發(fā)明中，由于不同種類的濾色層是在厚度方向?qū)盈B配置的，所以通過將這些濾色層中的一部分進(jìn)行平面重疊可以很容易地形成遮光區(qū)域(黑色矩陣)。也就是說，在將透射不同色光的干涉型濾色層疊層的情況下，由于透射一個濾色層的色光被其他的濾色層反射，其結(jié)果在2種濾色層的平面重疊位置上呈現(xiàn)黑顯示。由于采用這樣的結(jié)構(gòu)不用增加特別的層就可以形成遮光區(qū)域，從而可以減少工序而降低制造費(fèi)用。
另外，為了提高各個濾色層的透射光的色純度，在層間膜形成工序中，在形成了層間膜之后，優(yōu)選通過CMP(化學(xué)機(jī)械研磨法)等進(jìn)行該表面的平坦化。
這樣的濾色器可以應(yīng)用于直視型或者投影型的顯示裝置。即，本發(fā)明的顯示裝置的特征在于，具備光源、調(diào)制從上述光源射出的光的光調(diào)制裝置、和配置在上述光源和光調(diào)制裝置之間或者上述光調(diào)制裝置的光射出側(cè)的上述濾色器陣列?；蛘撸景l(fā)明的投影型顯示裝置的特征在于，具備光源、調(diào)制從上述光源射出的光的光調(diào)制裝置、投影由上述光調(diào)制裝置調(diào)制的光的投影部件、和配置在上述光源和光調(diào)制裝置之間或者上述光調(diào)制裝置和投影部件之間的上述濾色器陣列。由此，可以提供光的利用效率高的高精密的直視型或者投影型的顯示裝置。
另外，構(gòu)成濾色器陣列的濾色層的數(shù)量根據(jù)用于顯示的光的原色的數(shù)量可以設(shè)為3種或者4種以上。具體說，可以最佳地選用紅色用、綠色用、藍(lán)色用的3種濾色層構(gòu)成濾色器陣列。在這種情況下，為了提高視感度高的(即，對于亮度來說貢獻(xiàn)率最高)綠色光的返回性，優(yōu)選將從光源一側(cè)開始按順序配置的3個濾色層之中，透射綠色光的濾色層配置在距離光源最遠(yuǎn)的一側(cè)。這是因?yàn)橛膳渲迷诰嚯x光源最遠(yuǎn)一側(cè)的濾色層反射的光通過在光源一側(cè)配置的2個層間膜被返回到光源，而在其通過這些層間膜的過程中就產(chǎn)生了光損耗。因此，將反射綠色光的2個濾色層配置在靠近光源一側(cè)而使得綠色光的損耗降到最小，從而獲得明亮的照明。


圖1是表示本發(fā)明的一個實(shí)施方案的投影型顯示裝置的概要圖。
圖2是表示配備于同一投影型顯示裝置的濾色器陣列以及液晶裝置的概要圖。
圖3是表示同一濾色器陣列以及液晶裝置的擴(kuò)大剖面圖。
圖4是說明同一濾色器陣列的制造方法的工序圖。
圖5是接續(xù)圖4的工序圖。
圖6是接續(xù)圖5的工序圖。
符號說明10投影型顯示裝置，11光源，16液晶裝置(光調(diào)制裝置)，17投影透鏡，31藍(lán)色用濾色層，32紅色用濾色層，33綠色用濾色層，35、36、37層間膜具體實(shí)施方式
下面參照圖1-圖6對本發(fā)明的一個實(shí)施方案的投影型顯示裝置進(jìn)行說明。本實(shí)施方案的投影型顯示裝置10為在作為光閥的液晶裝置16內(nèi)具備濾色器陣列的單板式投影型彩色液晶顯示裝置。圖1是表示該投影型顯示裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖，圖中的符號11為光源，12為棒式積分器，13為聚光透鏡系統(tǒng)，16為液晶裝置，17為投影透鏡。
如圖1所示，本實(shí)施方案的投影型顯示裝置10由射出白色光的光源11、使得從光源11射出的白色光的亮度均勻分布的棒式積分器12、將亮度均勻分布了的白色光變換為平行光的聚光透鏡系統(tǒng)13、將變換的平行的白色光分解為RGB的色光并對分解的各色光進(jìn)行調(diào)制的液晶裝置16、將調(diào)制了的各色光投影到屏幕S的投影透鏡17構(gòu)成。
如圖1所示，光源11具備射出白色光的金屬鹵化物等的燈21、反射射出的白色光的反射器22。
作為棒式積分器12是采用了透光性棒狀導(dǎo)光體(例如，玻璃棒)，或者其內(nèi)表面作為反射面的管狀的導(dǎo)光體等。
聚光透鏡系統(tǒng)13具備聚光透鏡25a以及聚光透鏡25b，它們將來自棒式積分器12的入射光變換為平行光向液晶裝置16入射。
圖2是本實(shí)施方案的液晶裝置16的概要圖，圖3是表示其主要部分的擴(kuò)大剖面圖。
本實(shí)施方案的液晶顯示裝置16具備TFT陣列基板40、對向基板30、夾持在基板30與40之間作為光調(diào)制層的液晶層43。
在TFT陣列基板40中，在玻璃或石英等構(gòu)成的基板主體40A上，呈矩陣狀排列形成了多個由ITO等構(gòu)成的透光性的像素電極41。在基板40A上，分別并列地配置了進(jìn)行紅色顯示、綠色顯示、藍(lán)色顯示的紅色用像素電極41r、綠色用像素電極41g、藍(lán)色用像素電極41b，由3個像素電極41r、41g、41b構(gòu)成一個像素。另外，覆蓋該像素電極41(41r、41g、41b)還設(shè)置了由聚酰亞胺等構(gòu)成的取向膜42。另外，在圖2、圖3中，省略了對像素電極進(jìn)行通電控制的開關(guān)元件、掃描線、信號線等的圖示。
對向基板30則作為濾色器陣列基板構(gòu)成，在基板30中，在由玻璃或者塑料等透光性基板構(gòu)成的基板主體30A上，設(shè)置了透射不同的色光的多種(本實(shí)施方案為3種)濾色層31、32、33。
各個濾色層31-33為由電介質(zhì)多層膜構(gòu)成的干涉型濾色層，例如濾色層31為透射藍(lán)色光(B)而反射除此之外的色光的藍(lán)色用濾色層，濾色層32為透射紅色光(R)而反射除此之外的色光的紅色用濾色層，濾色層33為透射綠色光(G)而反射除此之外的色光的綠色用濾色層。
這樣可以將高折射率的電介質(zhì)材料和低折射率的電介質(zhì)材料，通過調(diào)節(jié)層厚使得由折射率和層厚決定的光學(xué)厚度成為目的波長區(qū)域的中心波長的1/4波長的厚度，并通過蒸鍍等的方法相互層疊數(shù)層或數(shù)十層來制造反射特定波長區(qū)域的光的電介質(zhì)多層膜。也可以同時采用通過在層的中間等設(shè)置防反射層、1/2波長層等的間隔層、調(diào)整層來抑制反射透射特性的波動等周知的方法。另外，作為上述電介質(zhì)材料，高折射率的可以采用ZnS、TiO2等，低折射率的可以采用MgF2、SiO2、Na3AlF6等周知的材料。還有，因?yàn)橐淖兡康牟ㄩL只要調(diào)節(jié)電介質(zhì)層的層厚就可以，所以沒有必須改變電介質(zhì)材料的必要。
在本實(shí)施方案中，這些干涉型濾色層31-33間隔層間膜層疊在基板30上。即，在基板30上形成藍(lán)色用濾色層31的圖形，并且覆蓋該濾色層31層疊透光性的第1層間膜35。然后，在該第1層間膜35上形成紅色用濾色層32的圖形，并且覆蓋該濾色層32層疊透光性的第2層間膜36。進(jìn)而，在該第2層間膜36上形成綠色用濾色層33的圖形，并且覆蓋該濾色層33層疊透光性的第3層間膜37。
這些濾色層31、32、33分別與TFT陣列基板40上的藍(lán)色用像素電極43b、紅色用像素電極43r、綠色用像素電極43g相對應(yīng)地設(shè)置著，俯視為這些濾色層31-33呈矩陣狀鄰接配置，圖形化形成島狀圖形。
然后，在基板30A上覆蓋層間膜37全面地形成由ITO等構(gòu)成的透光性共用電極38，并且，覆蓋該共用電極38設(shè)置了由聚酰亞胺等構(gòu)成的取向膜39。
該基板30是通過下面的方法進(jìn)行制造的。
首先，如圖4(a)所示，在由玻璃等構(gòu)成的透光性基板主體30A上層疊折射率不同的15-25層電介質(zhì)層而形成透射色為藍(lán)色的藍(lán)色用濾色層310(濾色層形成工序)。
接著，如圖4(b)、圖4(c)所示，在該濾色層310上形成抗蝕劑50，并通過干法刻蝕按預(yù)定的形狀進(jìn)行濾色層310的圖形化(圖形化工序)。在圖4(c)中的符號31表示通過圖形化而獲得的各個藍(lán)色用濾色層。在該圖形化工序中，各個藍(lán)色用濾色層31與TFT陣列基板40的各個藍(lán)色用像素電極41b是對向配置的，并將各個濾色層31的尺寸制成為包含對應(yīng)的藍(lán)色用像素電極41b及其周圍的非像素區(qū)域S的尺寸。
接著，如圖4(d)所示，覆蓋濾色層31在基板30A上形成了由SiO2等構(gòu)成的透光性的第1層間膜35(層間膜形成工序)。該層間膜35在后述的紅色用濾色層的圖形化工序中發(fā)揮刻蝕阻擋層或者刻蝕緩沖層的功能。為此，該層間膜35的層厚制成為可以確保在紅色用濾色層的圖形化中具有足夠刻蝕余量的厚度。
之后，根據(jù)需要通過CMP(化學(xué)機(jī)械研磨法)等進(jìn)行層間膜35的表面平坦化。通過實(shí)施層間膜35的表面平坦化處理可以提高濾色層31的透射光的純度。
接著，如圖5(a)所示，在層間膜35上改變與上述的藍(lán)色用濾色層同樣的電介質(zhì)材料的層厚層疊15-25層電介質(zhì)層，形成透射色為紅色的紅色用濾色層320。然后，在該濾色層320上形成抗蝕劑51(參照圖5(b))，通過干法刻蝕按預(yù)定的形狀進(jìn)行濾色層320的圖形化(參照圖5(c))。這時的刻蝕條件與上述的藍(lán)色用濾色層的圖形化工序一樣。圖5(c)中符號32表示通過圖形化獲得的各個紅色用濾色層。在該圖形化工序中，各個紅色用濾色層32與TFT陣列基板40的各個紅色用像素電極41r是對向配置的，并將各個濾色層32的尺寸制成為包含對應(yīng)的紅色用像素電極41r及其周圍的非像素區(qū)域S的尺寸。
另外，在紅色用濾色層320的圖形化工序中，第1層間膜35發(fā)揮刻蝕阻擋層或者刻蝕緩沖層的功能，使得處于下層一側(cè)的藍(lán)色用濾色層31不會受到該圖形化工序的影響。
接著，如圖5(d)所示，覆蓋濾色層32在基板30A上形成了由SiO2等構(gòu)成的透光性的第2層間膜36。該層間膜36在后述的綠色用濾色層的圖形化工序中發(fā)揮刻蝕阻擋層或者刻蝕緩沖層的功能。為此，該層間膜36的層厚制成為可以確保在綠色用濾色層的圖形化中具有足夠刻蝕余量的厚度。之后，根據(jù)需要通過CMP等進(jìn)行層間膜36的表面平坦化。
接著，如圖6(a)所示，在層間膜36上改變與上述的藍(lán)色用濾色層、紅色用濾色層同樣的電介質(zhì)材料的層厚層疊27-40層電介質(zhì)層，形成透射色為綠色的綠色用濾色層330。然后，在該濾色層330上形成抗蝕劑52(參照圖6(b))，通過干法刻蝕按預(yù)定的形狀進(jìn)行濾色層330的圖形化(參照圖6(c))。這時的刻蝕條件與上述的藍(lán)色用濾色層以及紅色用濾色層的圖形化工序一樣。圖6(c)中符號33表示通過圖形化獲得的各個綠色用濾色層。在該圖形化工序中，各個綠色用濾色層33與TFT陣列基板40的各個綠色用像素電極41g是對向配置的，并將各個濾色層33的尺寸制成為包含對應(yīng)的綠色用像素電極41g及其周圍的非像素區(qū)域S的尺寸。
另外，在綠色用濾色層330的圖形化工序中，第2層間膜36發(fā)揮刻蝕阻擋層或者刻蝕緩沖層的功能，使得處于下層一側(cè)的紅色用濾色層32不會受到該圖形化工序的影響。
接著，如圖6(d)所示，覆蓋濾色層33在基板30A上形成了由SiO2等構(gòu)成的透光性的第3層間膜37。之后，根據(jù)需要通過CMP方法等進(jìn)行層間膜37的表面平坦化。然后，覆蓋該層間膜37在基板30A上全面地形成由ITO等構(gòu)成的透光性的共用電極，并覆蓋該共用電極形成由聚酰亞胺等構(gòu)成的取向膜。另外，該層間膜37為確保共用電極38的密合性以及可靠性的層，沒有必要必須形成。還有，也可以在形成層間膜37之前形成共用電極38，這時層間膜37發(fā)揮共用電極38的保護(hù)膜的功能。
然后，通過襯墊(省略圖示)使得如上所述構(gòu)成的基板30、40相互保持一定的間距，并且通過在基板的邊緣部呈框狀涂布的密封材料(省略圖示)粘接。然后，在通過基板30、40以及密封材料密封的空間中封入液晶而形成液晶層(光調(diào)制層)43。
這樣根據(jù)本實(shí)施方案，分別間隔層間膜在各個層配置多種的干涉型濾色層，使得在進(jìn)行各個濾色層的圖形化時，作為襯底的層間膜發(fā)揮了刻蝕阻擋層或者刻蝕緩沖層的功能而防止了對處于下層一側(cè)的濾色層的影響。為此，可以采用干法刻蝕來實(shí)施濾色層的圖形化工序，例如，可以對應(yīng)于光閥的像素間距為20μm以下的微細(xì)的圖形。
另外，在本實(shí)施方案中，由于濾色層31-33是在厚度方向?qū)盈B配置的，所以通過將這些濾色層的一部分進(jìn)行平面重疊可以很容易地形成遮光區(qū)域(黑色矩陣)。例如，在本實(shí)施方案中，因?yàn)楦鱾€濾色層俯視為其尺寸為包含像素電極41及其周圍的非像素區(qū)域S的尺寸，所以對應(yīng)于相互鄰接的濾色層(濾色層31與濾色層32，濾色層32與濾色層33，濾色層33與濾色層31)的非像素區(qū)域S的部分是平面相互重疊地配置的。在這樣層疊透射不同色光的濾色層的情況下，由于透射一個濾色層的色光被其他的濾色層反射，其結(jié)果在2種濾色層的平面重疊位置(非像素區(qū)域S)上呈現(xiàn)黑顯示。在這樣的本實(shí)施方案中，不用增加特別的層就可以形成遮光區(qū)域，從而可以減少工序而降低制造費(fèi)用。
另外，在本實(shí)施方案中，由于將從光源11一側(cè)開始按順序配置的3個濾色層之中，透射綠色光的濾色層33作為距離光源11最遠(yuǎn)的層而提高了綠色光的返回性，從而使得視感度高的(即，對亮度的貢獻(xiàn)率最大)綠色光的損耗變小。即，這是因?yàn)橛膳渲迷诰嚯x光源最遠(yuǎn)一側(cè)的濾色層反射的光通過在光源一側(cè)配置的2個層間膜被返回到光源，而在其通過這些層間膜的過程中產(chǎn)生了光損耗。因此，將反射綠色光的2個濾色層配置在靠近光源一側(cè)而使得綠色光的損耗降到最小，從而獲得明亮的照明。
另外，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述的實(shí)施方案，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更。
例如，在上述的實(shí)施方案中，濾色層的種類數(shù)量為3種，該數(shù)量也可以對應(yīng)于顯示原色的數(shù)量設(shè)為4種以上，對應(yīng)于此，一個像素由4個以上的像素電極構(gòu)成。
另外，在上述的實(shí)施方案中作為投影型顯示裝置是將透射型的液晶裝置作為光調(diào)制裝置使用為例。但本發(fā)明的技術(shù)范圍并不局限于這樣的透射型的液晶裝置，例如，采用了LCOS等的反射型的投影型顯示裝置，或者采用了基于MEMS技術(shù)的反射鏡方式的空間光調(diào)制器的投影型顯示裝置也可以應(yīng)用本發(fā)明的濾色器陣列。
而且，雖然在上述的實(shí)施方案中是將本發(fā)明的濾色器陣列應(yīng)用于投影型顯示裝置的光閥(液晶裝置)的例子，本發(fā)明的濾色器陣列不僅可以應(yīng)用于投影型顯示裝置，而且還可以應(yīng)用于直視型的顯示裝置。
權(quán)利要求
1.一種濾色器陣列，其特征在于間隔透光性的層間膜地依次層疊有透射相互不同的色光的多種干涉型濾色層，上述不同種類的干涉型濾色層俯視為相互鄰接地配置。
2.如權(quán)利要求1所述的濾色器陣列，其特征在于上述不同種類的干涉型濾色層，其鄰接的端部彼此平面重疊地配置。
3.一種濾色器陣列的制造方法，其特征在于具備通過層疊折射率不同的多個電介質(zhì)層，在基板上形成反射預(yù)定的色光而透射除此之外的色光的干涉型濾色層的濾色層形成工序；按預(yù)定的形狀進(jìn)行上述干涉型濾色層的圖形化的圖形化工序；在基板上形成覆蓋上述干涉型濾色層的透光性的層間膜的層間膜形成工序；通過依次地反復(fù)進(jìn)行上述的濾色層形成工序、圖形化工序、層間膜形成工序，使得透射相互不同的色光的多種干涉型濾色層俯視為相互鄰接配置地在基板上依次地層疊形成這些多種的干涉型濾色層。
4.如權(quán)利要求3所述的濾色器陣列的制造方法，其特征在于上述層間膜形成工序包括進(jìn)行上述層間膜的表面平坦化的工序。
5.如權(quán)利要求3或者4所述的濾色器陣列的制造方法，其特征在于上述不同種類的干涉型濾色層，其鄰接的端部彼此平面重疊地配置。
6.一種顯示裝置，其特征在于具備光源、對從上述的光源射出的光進(jìn)行調(diào)制的光調(diào)制裝置、和在上述光源和光調(diào)制裝置之間或者上述光調(diào)制裝置的光射出一側(cè)配置的如權(quán)利要求1或者2所述的濾色器陣列。
7.如權(quán)利要求6所述的顯示裝置，其特征在于上述多種的干涉型濾色層由透射紅色光的紅色用濾色層、透射綠色光的綠色用濾色層、透射藍(lán)色光的藍(lán)色用濾色層構(gòu)成；在上述3種濾色層之中上述綠色用濾色層配置在距離光源最遠(yuǎn)的一側(cè)。
8.一種投影型顯示裝置，其特征在于具備光源、對從上述光源射出的光進(jìn)行調(diào)制的光調(diào)制裝置、投影由上述光調(diào)制裝置調(diào)制的光的投影透鏡、和在上述光源和光調(diào)制裝置之間或者上述光調(diào)制裝置和投影部件之間配置的如權(quán)利要求1或者2所述的濾色器陣列。
9.如權(quán)利要求8所述的投影型顯示裝置，其特征在于上述多種的干涉型濾色層由透射紅色光的紅色用濾色層、透射綠色光的綠色用濾色層、透射藍(lán)色光的藍(lán)色用濾色層構(gòu)成；在上述3種濾色層之中上述綠色用濾色層配置在距離光源最遠(yuǎn)的一側(cè)。
全文摘要
分別對應(yīng)于(B)用的像素電極(41b)、(R)用的像素電極(41r)、(G)用的像素電極(41g)，形成(B)、(R)、(G)用的干涉型濾色層(31)、(32)、(33)的圖形，并分別間隔層間膜(35)、(36)、(37)層疊配置這些濾色層，從而可以實(shí)現(xiàn)干涉型濾色器陣列的微細(xì)化。
文檔編號G03B21/14GK1573466SQ20041003164
公開日2005年2月2日 申請日期2004年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月17日
發(fā)明者飯坂英仁 申請人:精工愛普生株式會社