專利名稱：電氣布線結(jié)構(gòu)，電光裝置和電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適用于例如液晶顯示裝置等電光裝置的電氣連接結(jié)構(gòu)，電光裝置和電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
將液晶等電光物質(zhì)夾在對向的一對基板之間而成的液晶顯示裝置等電光裝置是公知的。
如果更具體地說明該液晶顯示裝置的構(gòu)成，則液晶顯示裝置具備成為基臺的第1基板，對著該第1基板配置，成為觀察側(cè)的第2基板，和在這些基板間保持間隙地在其內(nèi)部把液晶層區(qū)劃成矩形的密封材料而構(gòu)成。而且，在第1基板上形成透明的第1驅(qū)動電極，在第2基板上形成在與第1驅(qū)動電極基本正交的方向上延伸的透明的第2驅(qū)動電極，靠各電極間交叉的部分的電極與夾在該電極間的液晶，構(gòu)成一個像素。而且，通過信號供給到各驅(qū)動電極，位于各像素的液晶中發(fā)生對應(yīng)于信號的扭曲。此時，對通過各電極間的液晶的光，由該液晶的扭曲施以光調(diào)制。
在這種液晶顯示裝置中，有在第1基板的背面?zhèn)扰渲帽彻庹彰餮b置的透射型，和在第1驅(qū)動電極的下層側(cè)形成光反射膜的反射型。
透射型的液晶顯示裝置，對從背光照明裝置所出射的光，在透射電光物質(zhì)層期間施以光調(diào)制而顯示預(yù)定的圖像，反射型的液晶顯示裝置，從第2基板側(cè)入射的外光被光反射膜反射，在再次從第2基板出射期間施以光調(diào)制而顯示預(yù)定的圖像。
進而，在液晶顯示裝置中，有半透射反射型的液晶顯示裝置。該裝置，在第1基板的背面?zhèn)扰渲帽彻庹彰餮b置，并且在第1驅(qū)動電極的下層側(cè)形成有光透射孔的光反射膜。該半透射反射型的液晶顯示裝置，使來自背光照明裝置的光經(jīng)由光透射孔透射而進行顯示(以下稱為透射模式)，并且在未形成光透射孔的區(qū)域中靠光反射膜反射入射的外光而進行顯示(以下稱為反射模式)。
而且，為了在液晶顯示裝置上顯示圖像，有必要設(shè)置向第1驅(qū)動電極和第2驅(qū)動電極分別供給預(yù)定的信號的驅(qū)動用IC。作為把該驅(qū)動用IC設(shè)在液晶顯示裝置上的方法，有把驅(qū)動用IC分別設(shè)在第1基板和第2基板的雙方上的方法，和僅在一方的基板上設(shè)置驅(qū)動用IC的方法。
因此，為了使液晶顯示裝置的形狀小型化并且至少大大確保圖像顯示區(qū)域，一直以來采用在第1基板上形成從第2基板突出的突出區(qū)域，在該突出區(qū)域上設(shè)置驅(qū)動用IC的方法。
在該突出區(qū)域，直接安裝驅(qū)動用IC，形成驅(qū)動用IC所連接的撓性基板所安裝的安裝端子，為了把第1驅(qū)動電極和第2驅(qū)動電極連接于該安裝端子，在第1基板上形成后述的第1基板間導(dǎo)通端子、第1布線圖形和第2布線圖形，在第2基板上形成第2基板間導(dǎo)通端子。
這里，第1布線圖形是電連安裝端子與第1驅(qū)動電極的布線。第1基板間導(dǎo)通端子在與第2基板重合的區(qū)域上形成，第2布線圖形是連接安裝端子與第1基板間導(dǎo)通端子的布線。第2基板側(cè)的第2基板間導(dǎo)通端子，在對著第1基板間導(dǎo)通端子的位置上形成。
而且，第1基板與第2基板，在靠配有導(dǎo)電粒子的密封材料隔開預(yù)定距離的狀態(tài)下粘貼。該導(dǎo)電粒子電連第1基板間導(dǎo)通端子與第2基板間導(dǎo)通端子。
這樣一來，安裝端子與第1驅(qū)動電極，僅靠第1布線圖形連接。此外，安裝端子與第2驅(qū)動電極，靠第2布線圖形、第1基板間導(dǎo)通端子、和第2基板間導(dǎo)通端子靠導(dǎo)電粒子來連接。
但是，第1布線圖形和第2布線圖形，其材料中用與形成第1驅(qū)動電極的透明導(dǎo)電膜(例如，ITO膜(氧化銦錫膜))同一材料。
這些布線圖形的材料中所用的ITO膜，與金屬材料相比是電氣上電阻的值比較大的材料。因此，第1布線圖形和第2布線圖形，存在著其布線電阻值顯著加大這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于前述情況而作成，本發(fā)明的目的在于提供一種可以減小布線電阻的值的電光裝置和電子設(shè)備。
為了解決上述課題，采用本發(fā)明的電光裝置的構(gòu)成，是具備第1基板，與前述第1基板對向的第2基板，由在第1基板上所形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的第1驅(qū)動電極，由在第2基板上所形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的第2驅(qū)動電極，以及通過在前述第1基板和第2基板間在靠密封材料區(qū)劃成的空間中封入電光物質(zhì)所形成的電光物質(zhì)層的電光裝置，其特征在于，其中，在前述第1基板與前述第1驅(qū)動電極之間，按該順序具備光反射膜，濾色層，覆蓋前述濾色層的用來保護前述濾色層的有機絕緣膜，和覆蓋基本整個前述第1基板的無機絕緣膜，在前述第1基板上，設(shè)置在從前述第2基板突出的突出區(qū)域上所形成的安裝端子，在與前述第2基板重合的區(qū)域上所形成的第1基板間導(dǎo)通端子，和連接前述安裝端子與前述第1基板間導(dǎo)通端子的布線圖形，在前述第2基板上，在經(jīng)由前述密封材料對著前述第1基板間導(dǎo)通端子的位置上，設(shè)置與前述第1基板間導(dǎo)通端子電連的第2基板間導(dǎo)通端子，前述布線圖形，至少在其一部分區(qū)域中，具備由與前述光反射膜同一的金屬材料來形成并有基本垂直豎起的側(cè)面的金屬膜，在該區(qū)域中，具備在前述第1基板上，依次設(shè)置前述金屬膜、前述無機氧化物膜、由與前述第1基板間導(dǎo)通端子同一的材料的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的導(dǎo)電膜的結(jié)構(gòu)，前述金屬膜的側(cè)面從前述無機絕緣膜露出，前述導(dǎo)電膜從該區(qū)域突出接觸于該側(cè)面，前述第1基板間導(dǎo)通端子和前述安裝端子，通過接觸于該側(cè)面的前述導(dǎo)電膜導(dǎo)通于前述金屬膜，經(jīng)由前述金屬膜相互電連。
如上述構(gòu)成，連接第1基板間導(dǎo)通端子與安裝端子的布線圖形，通過金屬膜，和接觸于該金屬膜的側(cè)面的導(dǎo)電膜相互連接。借此，布線圖形可以由金屬膜減小布線的電阻。
為了解決上述課題，采用本發(fā)明的電光裝置，是具備第1基板，與前述第1基板對向的第2基板，由在第1基板上所形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的第1驅(qū)動電極，由在第2基板上所形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的第2驅(qū)動電極，以及通過在前述第1基板和第2基板間在靠密封材料區(qū)劃成的空間中封入電光物質(zhì)所形成的電光物質(zhì)層的電光裝置，其特征在于，其中，在前述第1基板與前述第1驅(qū)動電極之間，按該順序具備光反射膜，濾色層，覆蓋前述濾色層的用來保護前述濾色層的有機絕緣膜，和覆蓋基本整個前述第1基板的無機絕緣膜，在前述第1基板上，設(shè)置在從前述第2基板突出的突出區(qū)域上所形成的安裝端子，和連接前述安裝端子與前述第1驅(qū)動電極的布線圖形，前述布線圖形，至少在其一部分區(qū)域中，具備由與前述光反射膜同一的金屬材料來形成并有基本垂直豎起的側(cè)面的金屬膜，在該區(qū)域中，具備在前述第1基板上，依次設(shè)置前述金屬膜、前述無機氧化物膜、由與前述第1驅(qū)動電極同一的材料的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的導(dǎo)電膜的結(jié)構(gòu)，前述金屬膜的側(cè)面從前述無機絕緣膜露出，前述導(dǎo)電膜從該區(qū)域突出接觸于該側(cè)面，前述第1驅(qū)動電極和前述安裝端子，通過接觸于該側(cè)面的前述導(dǎo)電膜導(dǎo)通于前述金屬膜，經(jīng)由前述金屬膜相互電連。
如上述構(gòu)成，連接第1驅(qū)動電極與安裝端子的布線圖形，通過金屬膜與接觸于該金屬膜的側(cè)面的導(dǎo)電膜相互連接。借此，布線圖形可以由金屬膜減小布線的電阻。
在本發(fā)明中，具備對應(yīng)于前述第1驅(qū)動電極和前述第2驅(qū)動電極相互重合的區(qū)域所設(shè)置的多個像素構(gòu)成的圖像顯示區(qū)域，前述圖像顯示區(qū)域附近的前述布線圖形的一部分，被前述有機絕緣層膜被覆，前述安裝端子和前述第1基板間導(dǎo)通端子，露出到前述有機絕緣膜之外。
在本發(fā)明中，具備對應(yīng)于前述第1驅(qū)動電極和前述第2驅(qū)動電極相互重合的區(qū)域所設(shè)置的多個像素構(gòu)成的圖像顯示區(qū)域，前述圖像顯示區(qū)域附近的前述布線圖形的一部分，被前述有機絕緣層膜被覆，前述安裝端子，露出到前述有機絕緣膜之外。
在本發(fā)明中，為了使第1驅(qū)動電極與安裝端子可靠地導(dǎo)通有必要增加從絕緣膜露出的金屬膜的側(cè)面的面積。
具體地說，在令金屬膜的膜厚為a，令絕緣膜的膜厚為b的場合，最好是a/b＞5。
此外，也可以金屬膜的膜厚a，a＞100nm，絕緣膜的膜厚b，b＜20nm。
在本發(fā)明中，最好是前述布線圖形，前述金屬膜和前述導(dǎo)電膜通過從前述無機絕緣膜所露出的前述金屬膜的前述側(cè)面相互電連的部位有兩個以上。
在本發(fā)明中，最好是前述金屬膜當中通過前述側(cè)面與前述導(dǎo)電膜電連的部分，形成為梳齒狀。借此，通過形成為梳齒狀，可以加寬側(cè)面的面積，加寬前述金屬膜與前述導(dǎo)電膜的電氣上的接觸面積，由此可以減小電阻。
在本發(fā)明中，最好是前述布線圖形，具備在前述金屬膜之下所形成的導(dǎo)電性的基底緊貼膜，前述金屬膜當中通過前述側(cè)面與導(dǎo)電膜電連的部分，形成孤立的島狀的圖形。
在本發(fā)明中，最好是在前述密封材料內(nèi)，分散著電連前述第1基板間端子與前述第2基板間端子的導(dǎo)電顆粒。
為了解決上述課題，采用本發(fā)明的電光裝置的構(gòu)成，是在對向的一對基板之間夾著電光物質(zhì)的電光裝置，其特征在于，其中，在前述基板當中一方的基板上，依次疊層由金屬材料形成為有基本垂直豎起的側(cè)面的形狀的金屬膜，覆蓋前述金屬膜的絕緣膜，以及跨接前述金屬膜的側(cè)面的布線，前述金屬膜的側(cè)面從前述絕緣膜露出，前述金屬膜與前述布線通過該側(cè)面電連。
如上述構(gòu)成，通過從絕緣膜露出的金屬膜的側(cè)面電連前述金屬膜與前述布線，借此，例如，如果考慮布線跨接金屬膜的左右側(cè)面的場合，則成為電流經(jīng)由布線流過的路徑，和電流從金屬膜一方的側(cè)面經(jīng)由金屬膜的內(nèi)部到另一方的側(cè)面流過的路徑兩個系統(tǒng)，可以比路徑僅為布線的電阻的值減小。
在本發(fā)明中，最好是前述金屬材料，由銀合金、鋁合金、鋁中的某種金屬材料形成。
在本發(fā)明中，最好是前述金屬材料，取為在上層有鋁合金或鋁，在下層有鉬膜或鉬合金膜的兩層結(jié)構(gòu)。
運用本發(fā)明的電光裝置，例如，用作電子設(shè)備的顯示部。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的實施形態(tài)的液晶顯示裝置的透視圖。
圖2是根據(jù)本實施形態(tài)的液晶顯示裝置的分解透視圖。
圖3是液晶顯示裝置中所用的第1基板的俯視圖。
圖4(A)是從圖3中的I-I方向看的剖視圖，(B)是從圖3中的II-II方向和III-III方向看的剖視圖。
圖5是表示圖4(A)中的(イ)部的放大剖視圖。
圖6是表示圖4(B)中的(ロ)部的放大剖視圖。
圖7是表示圖3中的(ハ)部的放大剖視圖。
圖8是從圖7中的IV-IV方向看的剖視圖。
圖9是圖1中所示的液晶顯示裝置中用的第1基板和第2基板上所形成的各要素的說明圖。
圖10(A)～(F)分別是對應(yīng)于圖4(A)地表示圖1中所示的液晶顯示裝置中所用的第1基板的制造方法的工序圖。
圖11(A)～(F)分別是對應(yīng)于圖4(B)地表示圖1中所示的液晶顯示裝置中所用的第1基板的制造方法的工序圖。
圖12是表示用運用本發(fā)明的液晶顯示裝置的電子設(shè)備的電氣上的構(gòu)成的方框圖。
標號的說明1……液晶顯示裝置，2……圖像顯示區(qū)域，7R、7G、7B……濾色層，9……背光照明裝置，10……第1基板，11……第1布線圖形，12……第2布線圖形，15……突出區(qū)域，20……第2基板，30……密封材料，35……液晶封入?yún)^(qū)域，36液晶層(電光物質(zhì)層)，50……驅(qū)動用IC，61、62……偏振片，110……基底導(dǎo)電膜，120……光反射膜，121、122、123……基底電極，121A、122A、123A……側(cè)面，122B……齒部，125……光透射孔，130……有機絕緣膜，140……無機絕緣膜，150……第1驅(qū)動電極，151、152……上層布線，160……安裝端子，170……第1基板間導(dǎo)通端子，190……導(dǎo)電性保護膜，250……第2驅(qū)動電極，270……第2基板間導(dǎo)通端子，301……加入導(dǎo)電顆粒的密封材料，303……導(dǎo)電顆粒。
具體實施例方式
下面，參照附圖就本發(fā)明的實施形態(tài)進行說明。
〔實施形態(tài)〕<總體構(gòu)成>
圖1，是作為本發(fā)明的一個實施形態(tài)的電光裝置的液晶顯示裝置1的透視圖，圖2是液晶顯示裝置1的分解透視圖。在這些圖和以下所示的各圖中，因為把各層或各構(gòu)件取為在圖面上能夠辨認的程度的大小，故，為了方便，各層或各構(gòu)件的比例尺或數(shù)目是不同的。
如圖1和圖2中所示，根據(jù)本實施形態(tài)的液晶顯示裝置1，在靠密封材料30隔開預(yù)定間隙的狀態(tài)下，成為由透明材料(例如，玻璃等)形成矩形的一對第1基板10和第2基板20粘貼的形狀。在這些基板10、20之間靠密封材料30區(qū)劃液晶封入?yún)^(qū)域35，在該液晶封入?yún)^(qū)域35內(nèi)封入作為電光物質(zhì)的液晶借此形成液晶層36(電光物質(zhì)層)。
在第1基板10上，在圖像所顯示的圖像顯示區(qū)域2內(nèi)形成在縱向(圖1和圖2中的X方向)上延伸的多列第1驅(qū)動電極150，在第2基板20上，在圖像所顯示的區(qū)域2內(nèi)形成在橫向(圖1和圖2中的Y方向)上延伸的多列第2驅(qū)動電極250。
在第1基板10的外側(cè)表面上粘貼偏振片61，在第2基板20的外側(cè)表面上粘貼偏振片62。進而，在第1基板10的外側(cè)，配置著背光照明裝置9。
在該液晶顯示裝置1中，比較第1基板10與第2基板20，相互寬度尺寸(Y方向)基本相等，長度尺寸(X方向)第1基板10較長。第1基板10，有在粘貼第2基板20的狀態(tài)下，從第2基板20突出的突出區(qū)域15，在該突出區(qū)域15上，成組地以朝X軸方向排列的狀態(tài)形成驅(qū)動用IC50所安裝的安裝端子160。此外，撓性基板8進而安裝于該安裝端子160。
此外，在第1基板10上，從這些安裝端子160當中排列在Y軸方向的中央部附近的安裝端子160朝在X軸方向上延伸的第1驅(qū)動電極150形成第1布線圖形11。
此外，在第1基板10上，如圖3中所示，在圖像顯示區(qū)域2的Y軸方向兩側(cè)，在與第2基板20重合的區(qū)域上以成組地朝Y軸方向排列的狀態(tài)形成第1基板間導(dǎo)通端子170。此外，驅(qū)動用IC 50所安裝的安裝端子160當中排列在Y軸方向兩側(cè)的區(qū)域的安裝端子160，靠通過第1布線圖形11所形成的區(qū)域的外側(cè)的第2布線圖形12連接于第1基板間導(dǎo)通端子170。
與此相對照，在第2基板20處，在圖像顯示區(qū)域2內(nèi)第2驅(qū)動電極250在Y軸方向上延伸，第2驅(qū)動電極250的端部，成為在與第1基板間導(dǎo)通端子170對向的位置上所形成的第2基板間導(dǎo)通端子270(參照圖4)。
<基板上的結(jié)構(gòu)>
基于圖3和圖4(A)、(B)說明像這樣構(gòu)成的液晶顯示裝置1的構(gòu)成。
圖3是示意地表示圖1中所示的電光裝置中用的第1基板10的構(gòu)成的俯視圖。圖4(A)是從圖3的I-I看的剖視圖，圖4(B)是從圖3的II-II和III-III看的剖視圖。
如圖3和圖4(A)、(B)中所示，在第1基板10上，從下層側(cè)到上層側(cè)，依次形成由ITO膜構(gòu)成的基底導(dǎo)電膜110，由銀合金等構(gòu)成的光反射膜120，濾色層7R、7G、7B，作為平坦化膜的有機絕緣膜130，由氧化硅膜等構(gòu)成的無機絕緣膜140，由ITO膜構(gòu)成的第1驅(qū)動電極150和取向膜(未畫出)。
與此相對照，在第2基板20上，依次形成由ITO膜構(gòu)成的第2驅(qū)動電極250和取向膜(未畫出)。
第1基板10與第基板20，靠球狀的襯墊配合于樹脂成分的密封材料30粘貼。這里，密封材料30形成為區(qū)劃成圖像顯示區(qū)域2，其內(nèi)側(cè)封入電光物質(zhì)而成為液晶層36。
在密封材料30中，有球狀的襯墊和導(dǎo)電顆粒配合于樹脂成分的加入導(dǎo)電顆粒的密封材料301，和僅球狀的襯墊配合于樹脂成分的密封材料302。加入導(dǎo)電顆粒的密封材料301在密封材料30的四邊當中，對在X軸方向上延伸的兩邊，和位于突出區(qū)域15側(cè)在Y軸方向上延伸的邊，總共三個邊涂布，在其余一邊上涂布僅配合襯墊的密封材料302。
此外，基底導(dǎo)電膜110，如圖4(A)中所示，不僅在光反射膜120的下層側(cè)，而且在從安裝端子160的下層側(cè)突出區(qū)域15側(cè)延伸到與第2基板20重合的位置。此外，基底導(dǎo)電膜110，如圖4(B)中所示，從安裝端子160的下層側(cè)延伸到第1基板間導(dǎo)通端子170的下層側(cè)。
光反射膜120，如圖4(A)中所示，在第1驅(qū)動電極150與第2驅(qū)動電極250對向的位置(以下稱為像素)處，去掉其一部分而穿設(shè)光透射孔125。
與光反射膜120同時所形成的金屬膜，如圖4(A)中所示，位于安裝端子160的下層側(cè)的部分成為基底電極123，位于與密封材料301重合的區(qū)域的部分成為基底電極121。進而，與光反射膜120同時所形成的金屬膜，如圖4(B)中所示，從與密封材料301重合的位置延伸到第1基板間導(dǎo)通端子170的下層側(cè)的部分成為第2布線圖形12的基底電極122。
在光反射膜的上層側(cè)，形成R(紅)、G(綠)、B(藍)的濾色層7R、7G、7B。該濾色層7R、7G、7B是把色料分散于樹脂者。在各像素處，去掉光反射膜120而形成光透射孔125的區(qū)域，與光反射膜120所形成的區(qū)域相比要厚些。
在濾色層7R、7G、7B的上層，作為平坦化膜形成較厚的有機絕緣膜130。該有機絕緣膜130為了使圖像顯示區(qū)域2內(nèi)的第1基板10上平坦化的目的，躲開安裝端子160、第1基板間導(dǎo)通端子170和密封材料30所設(shè)置的位置而形成。
進而，在有機絕緣膜130的上層上，形成薄的氧化硅膜構(gòu)成的無機絕緣膜140以便覆蓋第1基板10的整個面。
在無機絕緣膜140的上層上，如圖4(A)中所示，在圖像顯示區(qū)域2上形成由ITO膜構(gòu)成的第1驅(qū)動電極150。與第1驅(qū)動電極150同時所形成的ITO膜，如圖4(A)中所示，從安裝端子160到與密封材料301重合的部分成為第1布線圖形11。
進而，與該第1驅(qū)動電極150同時所形成的ITO膜，如圖4(B)中所示，從安裝端子160延伸到密封材料301的部分成為上層布線152，與第2基板間導(dǎo)通端子270對向的部分成為第1基板間導(dǎo)通端子170。
<布線圖形的結(jié)構(gòu)>
接下來，基于圖5至圖8，就成為本發(fā)明的特征的第1布線圖形11和第2布線圖形12進行說明。圖5是圖4(A)中的(イ)部的放大圖，圖6是圖4(B)中的(ロ)部的放大圖。圖7是圖3中的(ハ)部的放大圖。圖8是從圖7中的IV-IV線看的剖視圖。
這里，在基底電極121上形成基本垂直地豎起的側(cè)面121A、121A，在基底電極123上形成基本垂直地豎起的側(cè)面123A。進而，在基底電極122上形成基本垂直地豎起的側(cè)面122A、122A。
此外，成為基底電極121～123的金屬膜的膜厚a約為100nm，無機絕緣膜140的膜厚b約為20nm。因此，在金屬膜上形成無機絕緣膜140的工序中，因為膜厚之差，可以防止在金屬膜的各側(cè)面上附著無機絕緣膜140。
因而，如圖5中所示，在基底電極121的側(cè)面121A上不附著無機絕緣膜140。借此，跨接基底電極121的第1布線圖形11，經(jīng)由各側(cè)面121A電連于基底電極121。在基底電極123的側(cè)面123A上不附著無機絕緣膜140。借此，跨接基底電極123的第1布線圖形11經(jīng)由側(cè)面123A電連于基底電極123。
這里，如果考慮從安裝端子160到第1驅(qū)動電極150的路徑，則成為形成電流流過第1布線圖形11的上層布線151的路徑，與電流流過基底電極121的一方的側(cè)面121A→基底電極121→另一方的側(cè)面121A的路徑的總和兩個路徑。特別是，因為基底電極121由金屬材料形成，故與以上層布線151為路徑的場合的布線電阻的值相比可以大幅度地減小其電阻值。
接著，連接連接于安裝端子160的上層布線152與第1基板間導(dǎo)通端子170的第2布線圖形12，如圖6中所示，具備基底電極122。因為在該基底電極122的側(cè)面122A上未附著無機絕緣膜140，故覆蓋于基底電極122的各側(cè)面122A的上層布線152和第1基板間導(dǎo)通端子170就經(jīng)由各側(cè)面122A與基底電極122電連。
如果考慮從安裝端子160到第1基板間導(dǎo)通端子170的路徑，則形成電流流過上層布線152→基底電極122的一方的側(cè)面122A→基底電極122→另一方的側(cè)面122A→第1基板間導(dǎo)通端子170的路徑。
這樣一來，因為用由金屬膜構(gòu)成的基底電極122作第2布線圖形12，所以可以大幅度地減小布線電阻。
進而，基底電極122的前端，如圖7和圖8中所示，形成為前端成為分支的齒部122B、122B…的梳齒狀。借此，通過將基底電極122的前端形成為梳齒狀，可以擴大側(cè)面122A的面積，可以擴大第1基板間導(dǎo)通端子170與基底電極122的接觸面積。結(jié)果，可以加大從第1基板間導(dǎo)通端子170流入基底電極122的電流值，進而，可以進一步減小布線電阻的值。
再者，該基底電極122的梳齒狀的形狀，當然也可以運用于基底電極121、123。
<制造方法>
接下來，參照圖9、圖10和圖11，就構(gòu)成根據(jù)本實施形態(tài)的液晶顯示裝置1的基板10、20的制造方法進行說明。
圖9(A)～(F)分別是在圖1中所示的液晶顯示裝置1中所用的第1基板和第2基板上所形成的各要素的說明圖。圖10(A)～(F)和圖11(A)～(F)分別是表示圖1中所示的液晶顯示裝置1中用的第1基板和第2基板的制造方法的工序剖視圖。再者，在圖9(B)、(C)、(D)中在圖像顯示區(qū)域內(nèi)，放大地示意地表示矩形框內(nèi)多個像素。
首先，如圖9(A)中所示，為要制造第2基板20，在基板整個面上形成ITO膜后，用光刻技術(shù)形成圖形，在圖像顯示區(qū)域2中形成在橫向(Y軸方向)上延伸的第2驅(qū)動電極250。這里，第2驅(qū)動電極250的端部成為第2基板間導(dǎo)通端子270。
與此相對照，在制造第1基板10時，首先，如圖9(B)、圖10(A)和圖11(A)中所示，在基板整個面上形成ITO膜后，用光刻技術(shù)形成圖形，在圖像顯示區(qū)域2作為矩形區(qū)域形成基底導(dǎo)電膜110(圖9(B))。此外，基底導(dǎo)電膜110，形成從安裝端子160的下層側(cè)到與第2基板20重合的部分，和從安裝端子160的下層側(cè)到第1基板間導(dǎo)通端子170的下層側(cè)的部分。
接著，如圖9(C)、圖10(B)和圖11(B)中所示，在基底導(dǎo)電膜110的上層上形成由銀合金膜構(gòu)成的金屬膜后，用光刻技術(shù)形成圖形，在圖像顯示區(qū)域2內(nèi)形成光反射膜120(圖9(C))。此時，在光反射膜120上，去掉第1驅(qū)動電極150與第2驅(qū)動電極250對向的區(qū)域的一部分而形成光透射孔125。
此外，與光反射膜120同時所形成的金屬膜作為基底電極123留在要形成安裝端子160的區(qū)域的下層側(cè)，并且作為基底電極121留在與第2基板20重合的區(qū)域。此外，與光反射膜120同時所形成的金屬膜，作為成為第2布線圖形12的基底電極122留在從與第2基板20重合的區(qū)域到第1基板間導(dǎo)通端子170間。
這里，因為在構(gòu)成光反射膜120的金屬膜的下層側(cè)形成基底導(dǎo)電膜110，故即使金屬膜與基板的緊貼性低，也不發(fā)生光反射膜120等圖形精度的降低或剝離等問題。
接著，如圖9(D)、圖10(C)和圖11(C)中所示，在光反射膜120的上層側(cè)處，在圖像顯示區(qū)域2的預(yù)定位置上形成R(紅)、G(綠)、B(藍)的濾色層7R、7G、7B。濾色層7R、7G、7B是使色料分散于樹脂者，在各像素處，在去掉光反射膜120而形成光透射孔125的區(qū)域中，形成為與光反射膜120所形成的區(qū)域相比要厚些。
接著，如圖9(E)、圖10(D)和圖11(D)中所示，在濾色層7R、7G、7B的上層上形成較厚的有機絕緣膜130后，用光刻技術(shù)形成圖形，在圖像顯示區(qū)域2中有選擇地留下有機絕緣膜130，在其外周側(cè)不留下。結(jié)果，有機絕緣膜130，成為躲開安裝端子160和第1基板間導(dǎo)通端子170而形成，并且還躲開密封材料30所涂布的區(qū)域而形成的狀態(tài)。
接著，如圖10(E)和圖11(E)中所示，在有機絕緣膜130的上層處，在基板整個面上形成由薄的氧化硅膜構(gòu)成的無機絕緣膜140。
此時，如前所述，在基底電極121～123的側(cè)面上，因為無機絕緣膜140的膜厚的關(guān)系，無機絕緣膜140難以附著。
接著，如圖9(F)、圖10(F)和圖11(F)中所示，在無機絕緣膜140的上層處在基板整個面上形成ITO膜后，用光刻技術(shù)形成圖形，在圖像顯示區(qū)域2中形成第1驅(qū)動電極150。此外，與第1驅(qū)動電極150同時所形成的ITO膜，作為安裝端子160和第1基板間導(dǎo)通端子170留下。
進而，與第1驅(qū)動電極150同時所形成的ITO膜，從安裝端子160到與第2基板20重合的區(qū)域作為第1布線圖形11的上層布線151留下。
在進行蝕刻之際，構(gòu)成光反射膜120的金屬膜，因為不在外部露出，故構(gòu)成光反射膜120的銀合金膜不被對ITO膜的蝕刻液腐蝕。
<IC的安裝結(jié)構(gòu)和基板間導(dǎo)通結(jié)構(gòu)>
在安裝端子160上，如圖4(A)中所示，靠導(dǎo)電顆粒41配合于樹脂成分的各向異性導(dǎo)電膜40安裝驅(qū)動用IC 50。此時，雖然在安裝端子160的下層側(cè)，形成由氧化硅膜構(gòu)成的薄的無機絕緣膜140，但是在其下層側(cè)，形成由與光反射膜120同時所形成的金屬膜構(gòu)成的基底電極123。
因此，經(jīng)由各向異性導(dǎo)電膜40使驅(qū)動用IC 50接觸于第1基板10的安裝端子160的場合，安裝端子160通過基底電極123的側(cè)面123A電連于該基底電極123，該基底電極123電連于基底導(dǎo)電膜110。
此外，如圖4(B)中所示，在第1基板間導(dǎo)通端子170與第2基板間導(dǎo)通端子270之間，夾著混有導(dǎo)電顆粒303的密封材料301，第1基板間導(dǎo)通端子170與第2基板間導(dǎo)通端子270靠該密封材料301電連。而且，因為第1基板間導(dǎo)通端子170經(jīng)由基底電極122連接于安裝端子160，故第2驅(qū)動電極250按第2基板間導(dǎo)通端子270→導(dǎo)電顆粒303(密封材料301)→第1基板間導(dǎo)通端子170→基底電極122(第2布線圖形12)→上層布線12的路徑連接于安裝端子160。
在像這樣構(gòu)成的液晶顯示裝置1中，如果從驅(qū)動用IC 50輸出信號，則經(jīng)由位于Y軸方向中央的各安裝端子160所輸出的信號，經(jīng)由具備上層布線151和基底電極121的第1布線圖形11供給到第1驅(qū)動電極150。
與此相對照，經(jīng)由安裝端子160當中，在Y軸方向兩側(cè)所形成的安裝端子160所輸出的信號，經(jīng)由上層布線152和基底電極122傳遞信號后，在與第2基板20重合的區(qū)域中經(jīng)由第1基板間導(dǎo)通端子170、導(dǎo)電顆粒303和第2基板間導(dǎo)通端子270供給到第2驅(qū)動電極250。
結(jié)果，在第1驅(qū)動電極150與第2驅(qū)動電極250對向的部分處，液晶層36的取向狀態(tài)按每個像素得到控制。因而，從第2基板20側(cè)入射的外光，被光反射膜120反射，再次從第2基板20出射期間受到光調(diào)制而顯示圖像(反射模式)。此外，由于在第1驅(qū)動電極150的下層側(cè)上形成的光反射膜120上形成光透射孔125，所以從配置于第1基板10的背面?zhèn)鹊谋彻庹彰餮b置9出射的光，透過光透射孔125入射于液晶層36，在從第2基板20出射期間受到光調(diào)制而顯示圖像(透射模式)。
此時，在根據(jù)本實施形態(tài)的液晶顯示裝置中，因為在第1基板10上，在與第1驅(qū)動電極150與第2驅(qū)動電極250對向的區(qū)域重合的部分上形成濾色層7R、7G、7B，故顯示彩色圖像成為可能。
<本實施形態(tài)的效果>
如以上詳述的，在連接安裝端子160與第1驅(qū)動電極150的第1布線圖形11的中途，用由金屬膜所形成的基底電極121形成旁通路徑。借此，連接安裝端子160與第1驅(qū)動電極150的第1布線圖形11的布線電阻，與僅靠上層布線151連接的場合相比可以大幅度地減小其值。
此外，因為連接安裝端子160與第2基板間導(dǎo)通端子270的第2布線圖形具備由金屬膜構(gòu)成的基底電極122，所以可以大幅度地減小布線電阻。
這樣一來，通過可以大幅度地減小布線電阻，可以減小布線中的電力消耗，可以大幅度地延長蓄電池或電池的壽命。
〔變形例〕再者，雖然在前述實施形態(tài)中，說明了用銀合金膜、鋁膜作為光反射膜的例子，但是也可以采用鋁合金膜，或者鉬膜或鉬合金膜與鋁膜或鋁合金膜的多層結(jié)構(gòu)。
進而，金屬膜的膜厚a，與絕緣膜的膜厚b的關(guān)系，按滿足膜厚a＞100nm、膜厚b＜20nm的條件，或者膜厚的比率a/b＞5的條件的膜厚來形成就可以了。通過像這樣調(diào)整膜厚，可以積極地防止絕緣膜附著于金屬膜的側(cè)面。
本發(fā)明的電光裝置，除了上述液晶顯示裝置外，還能夠運用于電致發(fā)光裝置，特別是有機電致發(fā)光裝置，無機電致發(fā)光裝置等，或等離子體顯示裝置，F(xiàn)ED(場發(fā)射顯示器)裝置，LED(發(fā)光二極管)顯示裝置，電泳顯示裝置，薄型陰極射線管，用液晶光閥等的小型電視機，用數(shù)字微鏡器件(DMD)的裝置等。
〔對電子設(shè)備的運用〕接下來，參照圖12說明具備運用本發(fā)明的電光裝置的電子設(shè)備之一例。
圖12是表示具備與上述電光裝置同樣構(gòu)成的液晶顯示裝置1的電子設(shè)備的構(gòu)成的方框圖。
在圖12中，電子設(shè)備包括顯示信息輸出源1000，顯示信息處理電路1002，具備用來切換顯示模式的控制電路的驅(qū)動電路1004，液晶顯示裝置1，時鐘脈沖發(fā)生電路1008，以及電源電路1010而構(gòu)成。顯示信息輸出源1000包括ROM(只讀存儲器)、RAM(隨機存取存儲器)、光盤等存儲器，調(diào)諧電視信號的圖像信號而輸出的調(diào)諧電路等而構(gòu)成，基于來自時鐘脈沖發(fā)生電路1008的時鐘脈沖，處理預(yù)定格式的圖像信號輸出到顯示信息處理電路1002。該顯示信息處理電路1002包括例如放大·極性翻轉(zhuǎn)電路、相展開電路、旋轉(zhuǎn)電路、灰度修正電路、或者鉗位電路等公知的各種處理電路而構(gòu)成，基于時鐘脈沖信號從所輸入的顯示信息依次生成數(shù)字信號，與時鐘脈沖信號CLK一起輸出到驅(qū)動電路1004。驅(qū)動電路1004驅(qū)動液晶顯示裝置1。電源電路1010向上述各電路供給預(yù)定的電源。
作為這種構(gòu)成的電子設(shè)備，可以舉出移動式個人計算機、便攜式電話機、多媒體對應(yīng)的個人計算機(PC)、和工程工作站(EWS)、尋呼機、或者便攜式電話、文字處理機、電視機、取景器型或監(jiān)視器型攝像機、電子記事本、電子臺式計算機、汽車駕駛導(dǎo)向裝置、POS終端、觸摸屏等。
像以上說明的這樣，在根據(jù)本發(fā)明的電光裝置中，通過從絕緣膜露出的金屬膜的側(cè)面使金屬膜與布線電連。借此，例如，如果考慮布線跨接金屬膜的左右的側(cè)面的場合，則成為電流經(jīng)由布線流過的路徑，和電流從金屬膜一方的側(cè)面經(jīng)由金屬膜的內(nèi)部到另一方的側(cè)面地流過的路徑兩個系統(tǒng)，可以大幅度地減小路徑僅為布線的布線電阻。
權(quán)利要求
1.一種電光裝置，是具備第1基板，與前述第1基板對向的第2基板，由在第1基板上所形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的第1驅(qū)動電極，由在第2基板上所形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的第2驅(qū)動電極，以及通過在前述第1基板和第2基板間在靠密封材料區(qū)劃成的空間中封入電光物質(zhì)所形成的電光物質(zhì)層的電光裝置，其特征在于，在前述第1基板與前述第1驅(qū)動電極之間，按該順序具備光反射膜，濾色層，覆蓋前述濾色層的用來保護前述濾色層的有機絕緣膜，和覆蓋前述第1基板基本整體的無機絕緣膜，在前述第1基板上，設(shè)置有在比前述第2基板突出的突出區(qū)域上所形成的安裝端子，在與前述第2基板重合的區(qū)域上所形成的第1基板間導(dǎo)通端子，和連接前述安裝端子與前述第1基板間導(dǎo)通端子的布線圖形，在前述第2基板上，在經(jīng)由前述密封材料對向于前述第1基板間導(dǎo)通端子的位置上，設(shè)置有與前述第1基板間導(dǎo)通端子電連的第2基板間導(dǎo)通端子，前述布線圖形，至少在其一部分區(qū)域中，具備由與前述光反射膜同一的金屬材料來形成并有基本垂直豎起的側(cè)面的金屬膜，在該區(qū)域中，具備在前述第1基板上，依次設(shè)置有前述金屬膜、前述無機氧化物膜、由與前述第1基板間導(dǎo)通端子同一的材料的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的導(dǎo)電膜的結(jié)構(gòu)，前述金屬膜的側(cè)面從前述無機絕緣膜露出，前述導(dǎo)電膜從該區(qū)域延伸出接觸于該側(cè)面，前述第1基板間導(dǎo)通端子和前述安裝端子，通過接觸于該側(cè)面的前述導(dǎo)電膜導(dǎo)通于前述金屬膜，經(jīng)由前述金屬膜相互電連。
2.一種電光裝置，是具備第1基板，與前述第1基板對向的第2基板，由在第1基板上所形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的第1驅(qū)動電極，由在第2基板上所形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的第2驅(qū)動電極，以及通過在前述第1基板和第2基板間在靠密封材料區(qū)劃成的空間中封入電光物質(zhì)所形成的電光物質(zhì)層的電光裝置，其特征在于，在前述第1基板與前述第1驅(qū)動電極之間，按該順序具備光反射膜，濾色層，覆蓋前述濾色層的用來保護前述濾色層的有機絕緣膜，和覆蓋前述第1基板的基本整體的無機絕緣膜，在前述第1基板上，設(shè)置有在比前述第2基板突出的突出區(qū)域上所形成的安裝端子，和連接前述安裝端子與前述第1驅(qū)動電極的布線圖形，前述布線圖形，至少在其一部分區(qū)域中，具備由與前述光反射膜同一的金屬材料來形成并有基本垂直豎起的側(cè)面的金屬膜，在該區(qū)域中，具備在前述第1基板上，依次設(shè)置有前述金屬膜、前述無機氧化物膜、由與前述第1驅(qū)動電極同一的材料的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的導(dǎo)電膜的結(jié)構(gòu)，前述金屬膜的側(cè)面從前述無機絕緣膜露出，前述導(dǎo)電膜從該區(qū)域延伸出接觸于該側(cè)面，前述第1驅(qū)動電極和前述安裝端子，通過接觸于該側(cè)面的前述導(dǎo)電膜導(dǎo)通于前述金屬膜，經(jīng)由前述金屬膜相互電連。
3.如權(quán)利要求1中所述的電光裝置，其特征在于，具備對應(yīng)于前述第1驅(qū)動電極和前述第2驅(qū)動電極相互重合的區(qū)域所設(shè)置的多個像素構(gòu)成的圖像顯示區(qū)域，前述圖像顯示區(qū)域附近的前述布線圖形的一部分，被前述有機絕緣膜被覆，前述安裝端子和前述第1基板間導(dǎo)通端子，露出到前述有機絕緣膜之外。
4.如權(quán)利要求2中所述的電光裝置，其特征在于，具備對應(yīng)于前述第1驅(qū)動電極和前述第2驅(qū)動電極相互重合的區(qū)域所設(shè)置的多個像素構(gòu)成的圖像顯示區(qū)域，前述圖像顯示區(qū)域附近的前述布線圖形的一部分，被前述有機絕緣膜被覆，前述安裝端子，露出到前述有機絕緣膜之外。
5.如權(quán)利要求1或2中所述的電光裝置，其特征在于，在令前述金屬膜的膜厚為a，令前述無機絕緣膜的膜厚為b的場合，a/b＞5。
6.如權(quán)利要求1或2中所述的電光裝置，其特征在于，前述金屬膜的膜厚a為，a＞100nm，前述無機絕緣膜的膜厚b為，b＜20nm。
7.如權(quán)利要求1或2中所述的電光裝置，其特征在于，前述布線圖形，前述金屬膜和前述導(dǎo)電膜通過從前述無機絕緣膜所露出的前述金屬膜的前述側(cè)面相互電連的部位有兩個或兩個以上。
8.如權(quán)利要求1或2中所述的電光裝置，其特征在于，前述金屬膜中通過前述側(cè)面與前述導(dǎo)電膜電連的部分，形成為梳齒狀。
9.如權(quán)利要求1或2中所述的電光裝置，其特征在于，前述布線圖形，具備在前述金屬膜之下所形成的導(dǎo)電性的基底緊貼膜，前述金屬膜中通過前述側(cè)面與導(dǎo)電膜電連的部分，形成為孤立的島狀的圖形。
10.如權(quán)利要求1中所述的電光裝置，其特征在于，在前述密封材料內(nèi)，分散有電連前述第1基板間端子與前述第2基板間端子的導(dǎo)電顆粒。
11.一種電光裝置，在對向的一對基板之間夾著電光物質(zhì)的電光裝置中，其特征在于，在前述基板中一方的基板上，依次疊層有由金屬材料形成為有基本垂直豎起的側(cè)面的形狀的金屬膜，覆蓋前述金屬膜的絕緣膜，以及跨接前述金屬膜的側(cè)面的布線，前述金屬膜的側(cè)面從前述絕緣膜露出，前述金屬膜與前述布線通過該側(cè)面電連。
12.如權(quán)利要求1至4中的任何一項所述的電光裝置，其特征在于，前述金屬材料，由銀合金、鋁合金及鋁中的某種金屬材料形成。
13.如權(quán)利要求1至4中的任何一項所述的電光裝置，其特征在于，前述金屬材料，取為在上層有鋁合金或鋁，在下層有鉬膜或鉬合金膜的兩層結(jié)構(gòu)。
14.一種電子設(shè)備，其特征在于，具有如權(quán)利要求1～13中的任何一項所述的電光裝置作為顯示部。
15.一種電氣布線結(jié)構(gòu)，是在基板上所形成的布線圖形的電氣布線結(jié)構(gòu)，其特征在于，前述布線圖形，至少在其一部分區(qū)域中，具備在前述基板上，依次設(shè)置有絕緣膜、由透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的導(dǎo)電膜的結(jié)構(gòu)，在前述區(qū)域外，具備在前述基板上依次設(shè)置有由金屬材料所形成的金屬膜、前述絕緣膜、前述導(dǎo)電膜的結(jié)構(gòu)，前述金屬膜，在前述區(qū)域與前述區(qū)域外的邊界處，有基本垂直豎起的側(cè)面，前述金屬膜的側(cè)面從前述絕緣膜露出，前述導(dǎo)電膜延伸出到前述區(qū)域而接觸于前述側(cè)面，前述區(qū)域外的前述金屬膜，經(jīng)由接觸于前述側(cè)面的前述導(dǎo)電膜相互電連。
全文摘要
提供一種可以減小布線電阻的值的電光裝置和電子設(shè)備。連接連接于安裝端子160的上層布線152與第1基板間導(dǎo)通端子170的第2布線圖形12包括基底電極122。在該基底電極122的側(cè)面122A上不附著無機絕緣膜140。因此，覆蓋于基底電極122的各側(cè)面122A的上層布線152和第1基板間導(dǎo)通端子170經(jīng)由側(cè)面122A電連于基底電極122。從安裝端子160到第1基板間導(dǎo)通端子170的路徑，成為上層布線152→基底電極122的一方的側(cè)面122A→另一方的側(cè)面122A→第1基板間導(dǎo)通端子170。通過在第2布線圖形12的中途用由金屬膜構(gòu)成的基底電極122，可以大幅度地減小布線電阻。
文檔編號G02F1/1345GK1523402SQ20041000483
公開日2004年8月25日 申請日期2004年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月20日
發(fā)明者坂井一喜, 渡邊忠 申請人:精工愛普生株式會社