專利名稱：膜體形成裝置、鏡片的制造方法、彩色濾光片的制造方法以及有機el裝置的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種采用功能液滴噴頭在工件表面上形成功能材料的膜體(薄膜)的膜體形成裝置、鏡片的制造方法、彩色濾光片的制造方法以及有機EL裝置的制造方法。
在這樣的膜體形成裝置中，為了在工件表面的整個區(qū)域形成均勻的功能材料的膜體(薄膜)，需要從工件的邊緣部使功能液多少溢出一些那樣進行噴吐。這時，雖然溢出的功能液優(yōu)選采用功能液吸收部件吸收，但在作為功能液的膜體形成裝置中，由于噴出大量的功能液，吸收材料將無法吸收功能液，可以想象需要頻繁更換吸收材料。為此，采用吸收材料的膜體形成裝置的維護性比較差，效率不高。
本發(fā)明提供一種膜體形成裝置，由通過在工件和導入了功能液的功能液滴噴頭之間進行相對掃描越過工件邊緣噴吐功能液滴的第1裝置、接收越過工件邊緣噴出的功能液的第2裝置、貯存從上述第2裝置排出的廢功能液的第3裝置構成。
又，本發(fā)明提供一種膜體形成裝置，是在工件表面上形成膜體的膜體形狀裝置，由通過在工件和導入了功能液的功能液滴噴頭之間越過工件邊緣進行相對掃描第1裝置、在上述第1裝置進行掃描的期間從上述功能液滴噴頭選擇性噴吐功能液滴的第2裝置、接收越過工件邊緣噴出的功能液的第3裝置、貯存從上述第3裝置排出的廢功能液的第4裝置構成。
又，本發(fā)明，是一種通過伴著導入了功能液的功能液滴噴頭的掃描、使功能液溢出到工件的邊緣部地對工件進行液滴噴吐、在工件表面上形成膜體的膜體形成裝置，其特征在于包括接收從功能液滴噴頭噴出的、從工件溢出的功能液的桶狀容器部件、通過配管連接在桶狀容器部件的下流端、貯存從桶狀容器部件排出的功能液的廢功能液貯留部件。
依據(jù)該構成，利用桶狀容器部件，由于從工件溢出的功能液不會污染裝置內部，即使在工件的邊緣部也可以和工件中央部同樣進行功能液的噴吐，進行功能液涂敷。其結果，可以不會遺漏在工件表面整體上均勻噴吐功能液，使在工件表面上形成的膜體的厚度均勻。又，桶狀容器部件滴下的功能液可以流入到廢功能液貯留部件中。然后，功能液在廢功能液貯留部件中貯存，當廢功能液貯留部件中的功能液處于滿液狀態(tài)時，只要更換廢功能液貯留部件，或者將貯存的功能液廢棄即可，容易并且可以有效進行維護作業(yè)。進一步，由于從工件溢出的功能液集中貯存在廢功能液貯留部件中，貯存在廢功能液貯留部件中的功能液可以再利用。此外，由于從工件邊緣部溢出那樣進行功能液的噴吐，并且從工件邊緣部溢出的功能液由桶狀容器部件接收，只要工件位于桶狀容器部件的內側，可以對工件整體進行適當?shù)墓δ芤旱耐糠螅恍枰獓栏駥ぜ妮d置位置進行定位。因此，不需要嚴格對工件的載置位置進行定位的定位裝置，可以簡化裝置，并且可以減少工件定位所需要的時間，提高生產(chǎn)效率。
這時，桶狀容器部件優(yōu)選其剖面形成為U字形。
依據(jù)該構成，由桶狀容器部件接收的功能液由于快速流入到桶狀容器部件的凹狀的底部，桶狀容器部件的功能液可以快速向廢功能液貯留部件排出。
這時，桶狀容器部件優(yōu)選使工件的周緣部位臨其上端開放部，形成為環(huán)狀。
依據(jù)該構成，由于使工件邊緣部位臨那樣環(huán)狀形成桶狀容器部件，與工件的平面形狀相吻合，可以節(jié)省空間，并且有效接收從工件溢出的功能液。
這時，桶狀容器部件優(yōu)選向下流端具有給定排水斜度。
依據(jù)該構成，通過在桶狀容器部件上設置的排水斜度，桶狀容器部件的功能液可以更加快速向廢功能液貯留部件排出。此外，作為排水斜度，優(yōu)選在1/50～1/100的范圍內。
這時，桶狀容器部件優(yōu)選固定在載置工件的工件臺上。
依據(jù)該構成，伴隨功能液滴噴頭的液滴噴吐即使工件移動時，始終可以利用桶狀容器部件，有效接收從工件溢出的功能液。
這時，優(yōu)選進一步設置清洗桶狀容器部件的槽內的清洗裝置。
依據(jù)該構成，即使由于所接收的功能液干燥等原因，造成桶狀容器部件的槽內污染，也可以用清洗裝置進行清洗。為此，干燥后的功能液不會粘附在桶狀容器部件的槽內，可以使功能液圓滑流向廢功能液貯留部件中。
這時，清洗裝置優(yōu)選具有貯存清洗液并且通過配管連接桶狀容器部件的上流端的清洗液貯箱。
依據(jù)該構成，可以將清洗桶狀容器部件的清洗液貯存在清洗液貯箱中。又，由于清洗液貯箱配置在桶狀容器部件的上流端，可以直接向桶狀容器部件傳送，并且從桶狀容器部件的上流端可以有效將清洗液傳送給桶狀容器部件整體。
這時，優(yōu)選清洗裝置具有清洗液貯箱、和通過配管與清洗液貯箱連接并且配置在桶狀容器部件的上部槽內的清洗液射出管，在清洗液射出管上形成有射出清洗液的多個射出孔。
依據(jù)該構成，由清洗液射出管將清洗液貯箱的清洗液傳送給桶狀容器部件，可以從清洗液射出管的射出孔向成為清洗對象的桶狀容器部件的槽內射出清洗液。即，可以向桶狀容器部件的整體區(qū)域供給清洗液，可以良好進行桶狀容器部件的清洗。
這時，清洗液射出管優(yōu)選沿桶狀容器部件的上部槽內的外側周面配置。
依據(jù)該構成，由于清洗液射出管沿桶狀容器部件的上部槽內的外側周面配置，可以有效對功能液容易滴下的桶狀容器部件的槽內的外側周面進行清洗。
這時，清洗液射出管的各射出孔優(yōu)選向桶狀容器部件的上部槽內的外側周面射出清洗液。
依據(jù)該構成，由于由清洗液射出管的各射出孔將清洗液向桶狀容器部件的上部槽內的外側周面射出，可以對桶狀容器部件接收功能液最易污染的部位的、桶狀容器部件外周面的大致整體射出清洗液，可以用清洗液有效清洗功能液。
這時，包括檢測廢功能液貯留部件的滿液狀態(tài)的功能液滿液檢測裝置、控制功能液滴噴頭的噴吐動作的控制裝置，控制裝置，在功能液滿液檢測裝置檢測到廢功能液貯留部件處于滿液狀態(tài)時，使功能液滴噴頭的噴出動作停止。
依據(jù)該構成，由于在功能液滿液檢測裝置檢測到廢功能液貯留部件處于滿液狀態(tài)時，使功能液滴噴頭的噴出動作停止，可以防止貯存在廢功能液貯留部件中的廢功能液從廢功能液貯留部件溢出。此外，優(yōu)選不是在功能液滿液檢測裝置檢測到廢功能液貯留部件處于滿液狀態(tài)后立即使功能液滴噴頭的噴出動作停止，而是使薄膜形成中途的工件在薄膜形成結束之后才使功能液噴出動作停止。
本發(fā)明的鏡片的制造方法，是采用上述膜體形成裝置、在述工件的鏡片表面上形成涂敷膜的鏡片的制造方法，優(yōu)選在功能液滴噴頭中導入功能液的透光性涂敷材料，使功能液滴噴頭相對于鏡片的表面作相對掃描，噴出涂敷材料后形成涂敷膜。
依據(jù)該構成，不需采用浸漬法，可以在鏡片的表面簡單形成涂敷膜。為此，可以抑制在浸漬法中涂敷材料的浪費(使用后廢棄)現(xiàn)象。又，可以在鏡片表面整個區(qū)域形成均勻的涂敷膜(硬膜)。
又，優(yōu)選鏡片是設置在托盤上的2片為1組的眼鏡鏡片。這樣，可以避免操作者和構成裝置直接接觸眼鏡鏡片，并且以2片為1組進行銷售的眼鏡鏡片的涂敷，可以完全在相同條件下進行。
本發(fā)明的彩色濾光片的制造方法，是使用上述膜體形成裝置、制造在工件的基板上排列配置濾光片元件所構成的彩色濾光片的彩色濾光片的制造方法，其特征在于在形成濾光片元件之后，通過在功能液滴噴頭中導入功能液的透光性涂敷材料，使功能液滴噴頭相對于基板作相對掃描，噴出涂敷材料，形成覆蓋涂敷膜。
同樣，有機EL裝置的制造方法，是使用上述膜體形成裝置、在工件的基板上配置包含EL發(fā)光層的像素的有機EL裝置的制造方法，其特征在于在形成EL發(fā)光層之后，通過在功能液滴噴頭中導入功能液的液狀電極材料，使功能液滴噴頭相對于上述基板作相對掃描，選擇性噴出液狀電極材料，形成對向電極膜。
依據(jù)這些構成，通過將上述膜體形成裝置，在彩色濾光片的制造方法、有機EL(Electro-Luminescence)裝置的制造方法中適用，可以有效形成其覆蓋涂敷膜和對向電極膜。
圖2表示有關實施方案的液滴噴出裝置的廢功能液貯留部件周圍的縱剖面圖。
圖3表示有關實施方案的液滴噴出裝置的廢功能液貯留部件的外觀立體圖。
圖4表示本發(fā)明第2實施方案的液滴噴出裝置的的基本構成的示意圖。
圖5表示托盤的說明圖，5A表示托盤的外觀立體圖，5B表示在托盤上設置了工件時的A-A剖面圖。
圖6表示廢功能液貯留部件周圍的示意圖，6A表示本發(fā)明第3實施方案的廢功能液貯留部件周圍的示意圖，6B表示本發(fā)明第4實施方案的廢功能液貯留部件周圍的示意圖，6C表示本發(fā)明第3實施方案的廢功能液貯留部件周圍的示意剖面圖。
圖7表示實施方案的彩色濾光片的制造方法以及所制造的液晶顯示裝置的剖面圖。
圖8表示實施方案的制造方法以及所制造的有機EL裝置的剖面圖。
圖中1-液滴噴出裝置、2-功能液噴出裝置、3-載置裝置、4-廢功能液貯留部件、5-清洗裝置、6-控制器、11-噴頭單元、21-功能液滴噴頭、32-工件臺、33-θ臺、34-吸附臺、41-功能液容器、43-廢功能液貯箱、44-排出管、51-排出口、53-連接口、61-清洗液貯箱、62-清洗液射出管、65-清洗液供給管、71-托盤、400-彩色濾光片、422-覆蓋涂敷層、466-基板、500-有機EL裝置、501-基板、503-對向電極、W-工件(眼鏡鏡片)。


圖1表示有關實施方案的液滴噴出裝置的基本構成的示意圖。如圖1所示，該液滴噴出裝置1包括為了將功能液噴吐到成為功能液噴吐對象的工件W的功能液噴出裝置2、為了將工件W設置在裝置上的載置裝置3、貯留從工件溢出的功能液的廢功能液貯留部件4、后述的將廢功能液貯留部件(裝置)4的功能液引起的污物清洗的清洗裝置5。然后，各裝置分別連接在控制器6上，控制器6使各裝置相互之間關聯(lián)進行控制。
又，圖中雖然未畫出，該液滴噴出裝置1還設置有對工件W進行圖像識別的工件識別相機、噴頭單元11(噴嘴23)進行圖像識別的頭識別相機、各種指示燈等的附屬裝置，這些也與控制器連接。
該液滴噴出裝置1，通過對設置在載置裝置3上的工件W，使功能液噴出裝置2的噴頭單元11一邊掃描，一邊向工件W的表面噴出含有功能材料的功能液，在工件W的表面上形成功能材料的膜體，由功能材料覆蓋工件W。然后，在該液滴噴出裝置1中，為了用功能材料均勻覆蓋工件W的表面，噴頭單元11對于工件W的任何部分都均噴出功能液，即即使針對工件W的邊緣部，也和工件W的中央部同樣噴出功能液。然后，如果這樣在工件W的邊緣部也和工件W的中央部同樣噴出功能液，從工件W多少會溢出一些功能液，為此設置了接收并貯留所溢出的功能液的廢功能液貯留部件4。又，由于可以使功能液從工件W溢出那樣進行噴出，因此不需要對工件W的載置位置進行嚴密定位。
功能液噴出裝置2，如圖1所示，包括搭載功能液滴噴頭21的噴頭單元11、吊掛噴頭單元11進行支撐的主滑架13、通過載置裝置3使工件W在主掃描方向(X軸方向)上移動、并且使噴頭單元11在副掃描方向(Y軸方向)上自由移動的XY移動機構14。
噴頭單元11由多個功能液滴噴頭21、搭載該噴頭的子滑架12所構成。功能液滴噴頭21由具有噴頭基板和功能液導入部的子滑架安裝部(圖中未畫出)和具有噴吐功能液的噴嘴23的噴頭本體所構成。然后，在噴頭本體的噴嘴面24上形成分別由多個噴嘴23構成的2列的噴嘴列，使該噴嘴面24向下方凸出，將功能液滴噴頭21安裝(固定)在子滑架12上。
在子滑架12上，為安裝功能液滴噴頭21，設置了2列安裝開口(圖中未畫出)，每列有6個安裝開口。即，在每列的安裝開口上分別安裝6個功能液滴噴頭21，在子滑架12上供給安裝12個功能液滴噴頭21。此外，安裝開口定位各功能液滴噴頭21的安裝位置，為了在確保對工件W有足夠的涂敷密度的情況下配置各功能液滴噴頭21，相對于主掃描方向傾斜給定角度后形成各安裝開口。此外，功能液滴噴頭12的個數(shù)和配置可以是任意的，根據(jù)工件W的種類，按照實際情況進行設定。例如，功能液滴噴頭21也可以配置成鋸齒狀或者階梯狀。
主滑架13由吊掛支撐噴頭單元11的滑架本體(圖中未畫出)、支撐滑架本體同時在后述的Y軸臺16上在副掃描方向(Y軸方向)上可以自由滑動被支撐的噴頭支架(圖中未畫出)所構成。滑架本體可以在θ軸方向上自由轉動，通過使滑架本體在θ方向上轉動，可以將在θ方向上噴頭本體的噴嘴面24的位置調整到適當位置上。此外，θ軸方向的調整可以根據(jù)噴頭識別相機(圖中未畫出)的識別圖像進行。
XY移動機構14由支撐載置工件W的載置裝置的X軸臺15、與X軸臺15垂直同時通過噴頭支架支撐噴頭單元11的Y軸臺16所構成。XY移動機構14，為了在工件W的表面上適當噴出功能液，與功能液滴噴頭21的驅動同步，使噴頭單元11以及工件W交互移動。即，在該液滴噴出裝置1中，重復進行由X軸臺15在主掃描方向(X軸方向)使工件W的移動、和由Y軸臺16在副掃描方向(Y軸方向)使噴頭單元11的移動，當工件W在主掃描方向上移動時噴出功能液，在工件W表面的整個區(qū)域上形成功能材料的膜體。
此外，在本實施方案中，雖然是使工件W在主掃描方向移動，而使噴頭單元11在副掃描方向上移動，只要是使噴頭單元11相對于工件W相對掃描的構成即可，也可以使噴頭單元11在主掃描方向上移動。又，也可以使工件W固定，使噴頭單元11在主掃描方向以及副掃描方向上移動。
以下說明載置裝置3。如圖2所示，載置裝置3包括固定在X軸臺15上的基板31、在該基板31上支撐成為一體的為進行工件W在θ軸方向上的校正的θ臺33、和為設置工件W的吸附臺34。即，有θ臺33以及吸附臺34構成工件臺32?；?1支撐θ臺33并可以在θ軸方向上自由轉動，同時通過θ臺33支撐吸附臺34。θ臺33根據(jù)工件識別相機(圖中未畫出)的識別圖像，可以使通過吸附臺34設置的工件W在θ軸方向上轉動，這樣，可以進行θ軸方向的校正，將工件W相當于噴頭單元11設置在適當?shù)奈恢蒙稀Ｔ谖脚_34上形成多個吸引孔35，從吸引孔35吸引工件W，將工件W吸附固定在吸附臺34上。
此外，使θ臺33的水平面比工件W小一圈，吸附臺34的水平面可以與工件W相同大小，或者比工件W小一圈，這樣，從工件W溢出的功能液不會污染工件臺32。此外，在本實施方案中圖中示出的雖然是直方體狀的工件臺32，也可以采用圓柱狀的工件臺32。
以下參照圖2以及圖3說明成為本發(fā)明主要部分的廢功能液貯留部件4。廢功能液貯留部件4由接收從工件W溢出的功能液的功能液容器41、支撐功能液容器41的多個支撐支架42、為貯留從功能液容器41排出的功能液的廢功能液貯箱43、連接功能液容器41和廢功能液貯箱43的排出管44。
功能液容器41形成為剖面大致為U字形的桶狀，其外周面上部向內側彎折。然后，為了有效接收從工件W溢出的功能液，功能液容器41，與工件W的平面形狀相吻合，形成為環(huán)狀。又，功能液容器41在底部具有為排出功能液的排出口51，在排出口51上安裝為連接排出管44的排出口接具52。又，在功能液容器41外周面的上端部上設置為連接后述的清洗液放出管62和清洗液供給管65的連接口53。
如圖2所示，支撐支架42固定在載置裝置3的θ臺33的側面上，使形成為環(huán)狀的功能液容器41始終位臨所設置的工件W的周緣部，即使工件W的周緣部與功能液容器41的一部分重合那樣，支撐功能液容器41。然后，多個支撐支架42在θ臺33的外周方向上均勻配置。又，支撐支架42，為了將由功能液容器41所接收的功能液以及來自后述的清洗裝置5的清洗液能盡快排出，可以使功能液容器41向排出口51向下傾斜。該下排水斜度優(yōu)選在1/50到1/100之間。
廢功能液貯箱43，通過排出管(硅膠管)44與功能液容器41管道連接，貯存從工件W溢出的由功能液容器41接收的功能液。又，廢功能液貯箱43，當裝滿功能液時，可以進行更換。此外，在廢功能液貯箱43中設置為檢測廢功能液貯箱43是否處于滿液狀態(tài)的功能液滿液檢測器54，控制器6控制功能液滴噴頭21，不使功能液從廢功能液貯箱43溢出。此外，廢功能液貯箱43可以采用不銹鋼、樹脂、玻璃等制成。
排出管44，其一端部連接在功能液容器41的排出口接具52上，另一端部連接在廢功能液貯箱43上，將功能液容器41和廢功能液貯箱43之間管道連接。在排出管44上設置關閉從功能液容器41相廢功能液貯箱43流出功能液的功能液關閉閥55。
清洗裝置5，如圖2以及圖3所示，用于清洗功能液容器41，由貯存溶解功能液的清洗液貯箱61、將清洗液射出到功能液容器41中的清洗液射出管62、將清洗液貯箱61和清洗液射出管61管道連接的清洗液供給管65所構成。此外，在清洗液貯箱61中設置為檢測清洗液的液體減少狀態(tài)的清洗液減液檢測器67，可以檢測出清洗液貯箱61的液體減少狀態(tài)。
清洗液射出管62與設置在功能液容器41的外周面上端部上的連接口53連接，同時沿功能液容器41的彎折部分的內側環(huán)狀配置。然后，清洗液射出管62，通過連接口53與清洗液供給管65(硅膠管)連接，通過清洗液供給管65與清洗液貯箱61連接。在清洗液射出管62上按照大致等間隔設置多個清洗液射出孔63，各清洗液射出孔63面向功能液容器41的內壁側，可以將清洗液向功能液容器41的內壁有效射出。
清洗液供給管65，其一端部連接在清洗液貯箱61上，而另一端部連接在功能液容器41的連接口53上，通過連接口53，將清洗液貯箱61和清洗液射出管62管道連接。然后，為了每隔給定時間進行功能液容器41的清洗，清洗液供給管65的上流端上設置與控制器6連接的電磁閥66，每隔給定時間定時控制電磁閥66的開閉。但是，電磁閥66的開閉也可以不是定時控制，而是手動控制。
以上所述的液滴噴出裝置1的各裝置，由控制器6進行控制，控制器6對液滴噴出裝置1整體進行控制，按照給定條件向工件W噴出功能液。
例如，當功能液貯存到廢功能液貯箱43處于滿液狀態(tài)時，功能液滿液檢測器54檢測出廢功能液貯箱43的滿液狀態(tài)，向控制器6傳送滿液信號。于是，控制器6使表示廢功能液貯箱43處于滿液狀態(tài)的指示燈(圖中未畫出)點亮，告知廢功能液貯箱43處于滿液狀態(tài)。然后，為了不使從廢功能液貯箱43溢出功能液，立即，或者在薄膜形成中途的工件W的薄膜形成結束之后，使功能液噴出裝置2停止工作。然后，更換處于滿液狀態(tài)的廢功能液貯箱43，當沒有檢測到滿液信號時，控制器6使表示廢功能液貯箱43處于滿液狀態(tài)的指示燈熄滅，同時重新使功能液噴出裝置2工作。此外，在本實施方案中，并不限定于通過用指示燈表示廢功能液貯箱43處于滿液狀態(tài)進行報知，也可以采用聲音燈進行報知。
又，與此相同，當檢測到清洗液貯箱61的清洗液減少到給定量時，根據(jù)來自清洗液減液檢測器67發(fā)出的減液信號，控制器6使清洗液減液指示燈(圖中未畫出)點亮。
以下參照圖4以及圖5說明液滴噴出裝置的第2實施方案。此外，在以下的說明中，基本上是以不同部分為中心進行說明。在該實施方案中，可以將彎曲的眼鏡鏡片容易設置在工件臺32上，通過托盤71將工件W設置在工件臺32上。
如圖5A、5B所示，在托盤71上，形成設置工件W的設置部的2個凹部72，可以處理以2片為1組的眼鏡鏡片，可以對1組2片的工件W進行定位載置(設置)。由于工件W的眼鏡鏡片在平面視圖中為圓形，并且具有彎曲的形狀，與此相對應，凹部72的平面視圖大致為圓形，同時具有從底面到開口部擴展的傾斜面的形狀。又，托盤71的平面視圖為長方形，短邊的長度比工件W的直徑要短，使工件W的邊緣部分別從托盤71的四方伸出那樣，設置2片工件W。這樣，通過采用使工件W從托盤71伸出的構成，可以容易將工件W設置在托盤71上，容易處理所設置的工件W。
此外，在本實施方案中采用的托盤71，雖然可以設置2片成1組的工件W，也可以采用在1個托盤71上只設置1片工件W的構成。又，在本實施方案中，雖然是在從底面向開口部傾斜的凹部72的斜面部上支撐工件W的構成，也可以是在凹部72的底部設置至少3根相同長度的支柱，用支柱定位支撐工件W的構成。
本實施方案的載置裝置3，雖然是和第1實施方案相同的構成，但不是直接在工件臺32(吸附臺34)上設置(載置)工件W，而是通過托盤71載置2片工件，在這一點上和第1實施方案不同。又，在第1實施方案中，工件臺32(θ臺33以及吸附臺34)的水平面不使從工件W伸出，而在本實施方案中，采用的是不使工件臺32(θ臺33以及吸附臺34)從載置的托盤71伸出的構成。即，工件臺32，其水平面比托盤71的水平面要小。
廢功能液貯留部件4雖然也采用和第1實施方案相同的構成，如圖4所示，功能液容器41，不是與工件W相吻合，而是與托盤71的平面形狀相吻合，形成環(huán)狀。然后，使功能液容器41的一部分與設置在工件臺32(吸附臺34)上的托盤71周緣部以及從所設置的托盤71伸出的2片工件W的周緣部重合那樣，對功能液容器41進行支撐。因此，即使從工件W溢出那樣進行功能液滴噴頭21的噴吐驅動，從工件W溢出的功能液會由功能液容器41接收，功能液不會污染裝置內部。
又，和第1實施方案同樣，在功能液容器41上形成排出口，功能液容器41向排出口51向下傾斜進行支撐。因此，由功能液容器41接收的功能液以及向功能液容器41射出的清洗液可以快速從排出口51排出。此外，當從工件W溢出那樣噴吐功能液時，載置工件W的托盤71會被功能液污染，污染后的托盤71，在向工件W的涂敷結束后，用清洗液清洗，然后可以再次使用。
以下，根據(jù)圖6A～6B說明本發(fā)明的第3實施方案。本實施方案和第2實施方案大體相同，第2實施方案是設置1片載置工件W的托盤71，對載置在1片托盤71上的1組工件進行涂敷處理，而在本實施方案中設置多片(3片)托盤71，可以同時對多組(3組)的工件W進行處理，在這一點上不相同。
如圖6C所示，載置裝置3具有固定在X軸臺15上的基板31，在基板31上配置由θ臺33以及吸附臺34構成的多個(3個)工件臺32。各工件臺32的水平面為了不使從托盤71伸出，比托盤71要小1圈。
廢功能液貯留部件4雖然也采用和第2實施方案相同的構成，本實施方案的功能液容器41，與托盤71的平面形狀以及各工件臺32的配置相吻合形成。具體講，如圖6A所示，功能液容器41不單只形成為環(huán)狀，為了也能接收在工件臺32和工件臺32之間噴出的功能液，包圍整個工件臺32那樣形成。即，在工件臺32之間也配置功能液容器41，從工件W溢出的功能液可以全部由功能液容器41接收。
又，功能液容器41，其剖面大致為U字形，同時其上端部雙方均向內側彎折。然后，使固定在工件臺32一側的彎折部分位于設置在工件臺32上的托盤71的內側，用支撐支架42支撐功能液容器41，從工件W溢出的功能液不能達到彎折部。
清洗裝置5也采用和第1實施方案以及第2實施方案相同的構成；如圖6A所示，清洗液射出管62不僅只配置在功能液容器41的環(huán)狀部分上，在配置在各工件臺32之間的功能液容器41上也配置，在這一點上不同。在功能液容器41的環(huán)狀部分上和上述實施方案同樣配置清洗液射出管62，而在各工件臺32之間的功能液容器41上，沿兩彎折部內側配置清洗液射出管62。此外，圖中雖然未畫出，在本實施方案中，在清洗液射出管62上設置的各清洗液射出孔63也是面向功能液容器41的壁面，可以有效將粘附在功能液容器41上的功能液清洗。
以下說明第4實施方案。本實施方案也和第3實施方案大體相同構成，設置多片(3片)托盤71，可以同時對多組(3組)的工件W進行涂敷處理。在本實施方案中所采用的托盤71，雖然和上述托盤大致相同，但在第2以及第3實施方案中所采用的托盤71，是使工件W從平面視圖為長方形的托盤71的四邊伸出的構成，而本實施方案的托盤71是使工件W只從1組的長邊部分伸出的構成(參見圖6B)。
如圖6B所示，廢功能液貯留部件4的功能液容器41，為了可以接收從托盤71以及工件W溢出的功能液，沿工件W伸出的托盤71的長邊部分配置。功能液容器41，由與托盤71的長邊部分的長度對應形成的、其剖面大致為U字形的4個桶狀部件41a所構成。各桶狀部件41a，由支撐支架42沿托盤71的長邊部分支撐，傾斜配置。各桶狀部件41a，在其下端部的附近的底部上形成排出口51，在上端部上形成為連接清洗液射出管62和清洗液供給管65的連接口53。此外，連接在廢功能液貯箱43上的排出管44分支后與各排出口51連接。
清洗裝置5的構成也和上述實施方案相同，在各桶狀部件41a的連接口53上連接其一端的清洗液射出管62，在連接口53附近分支成2路，沿桶狀部件41a的內壁面配置在桶狀部件的上端部上。即，在本實施方案的功能液容器41上，配置共計8根清洗液射出管。又，連接在清洗液貯箱61上的清洗液供給管65分支成4路，連接在各連接口53上，將清洗液貯箱61和清洗液射出管62連接。
這樣，依據(jù)第2實施方案到第4實施方案的液滴噴出裝置1，由功能液容器41接收從托盤71溢出的功能液，功能液不會污染裝置內部。即，噴頭單元11可以從位臨工件W體前一側驅動功能液滴噴頭21，即使在工件W的邊緣部也和工件W中央部同樣噴吐功能液，進行功能液的涂敷，不會遺漏，可以對工件W表面整體均勻形成膜體。
本發(fā)明的液滴噴出裝置1，不僅可以對眼鏡鏡片進行涂敷，也可以對各種光學鏡片進行涂敷，并且也可以適用于各種平板顯示器的制造方法等中。在此，以液晶顯示裝置的制造方法以及有機EL裝置的制造方法為例，對采用該液滴噴出裝置的制造方法簡單進行說明。
圖7表示液晶顯示裝置的剖面圖。如該圖所示，液晶顯示裝置(彩色)450，通過在上下偏光板462、467之間組合彩色濾光片400和對向基板466，在這兩者之間封入液晶組成物465后構成。又，在彩色濾光片400和對向基板466之間構成取向膜461、464，在一方對向基板466的內側面上行列狀形成TFT(薄膜晶體管)元件(圖中未畫出)和像素電極463。
彩色濾光片400包括排列成行列狀的像素(濾光片元件)，像素與像素之間的邊界，由隔壁(堤岸)413所區(qū)分。在每個像素中導入紅(R)、綠(G)、藍(B)的任一種液狀材料(濾光片材料)。即，彩色濾光片400包括透光性的基板411、遮光性的隔壁413。沒有形成(除去了)隔壁413的部分構成上述像素。導入到該像素中的各色液狀材料構成成色層421。在隔壁413以及成色層421的上面形成覆蓋涂敷層422以及電極層423。
然后，在本實施方案中，在由隔壁413區(qū)分形成的像素內，采用液滴噴出方式導入上述R、G、B的各液狀材料。即，由功能液滴噴頭9(液滴噴出頭)，將R、G、B各色的液滴選擇性噴吐到每個成色層形成區(qū)域。然后，使涂敷的液狀材料干燥后，獲得成色層421。同樣，采用液滴噴出方式，形成覆蓋涂敷層422。
本實施方案，在上述成色層421的形成中，可以適當改變功能液滴噴頭21的傾斜角度，調整成使各噴嘴23的間距和像素的間距一致，在覆蓋涂敷層422的形成中，可以適當改變功能液滴噴頭21的傾斜角度，調整其膜厚。
同樣，參照圖8說明有機EL裝置及其制造方法。如該圖所示，有機EL裝置500，在玻璃基板501上積層電路元件部502，在電路元件部502上積層成為主體的有機EL元件504。又，在有機EL元件504的上側，存在惰性氣體的空間，形成密封用基板505。
有機EL元件504，由無機物堆積層512a和與其重疊的有機物堆積層512b形成堤岸512，由該堤岸512勾畫出行列狀的像素。然后，在各像素內，從下側積層像素電極511、R、G、B的發(fā)光層510b以及空穴注入/傳輸層510a，并且整體由多層積層了Ca或者Al等薄膜的對向電極503所覆蓋。
然后，在本實施方案中，采用液滴噴出方式，形成R、G、B的發(fā)光層510b以及空穴注入/傳輸層510a。又，在形成了空穴注入/傳輸層510a之后，同樣采用液滴噴出方式，利用Ca或者Al等液狀金屬材料，形成對向電極503。此外，在替代密封用基板505，用密封性好的樹脂密封該部分時，也優(yōu)選采用液滴噴出方式進行。
在本實施方案中，在發(fā)光層510b以及空穴注入/傳輸層510a的形成中，可以適當改變功能液滴噴頭21的傾斜角度，調整成使各噴嘴23的間距和像素的間距一致，在對向電極503的形成中，可以適當改變功能液滴噴頭21的傾斜角度，調整其膜厚。
如上所述，依據(jù)本發(fā)明的膜體形成裝置、鏡片的制造方法、彩色濾光片的制造方法以及有機EL裝置的制造方法，利用桶狀容器部件，由于從工件溢出的功能液不會污染裝置內部，即使在工件的邊緣部也和工件中央部同樣進行功能液的噴吐，進行功能液涂敷，不會遺漏，可以在工件表面整體上均勻形成膜體。又，桶狀容器部件滴下的功能液貯存在廢功能液貯留部件中，當廢功能液貯留部件中的功能液處于滿液狀態(tài)時，只要更換廢功能液貯留部件，或者將貯存的功能液廢棄即可，容易并且可以有效進行維護作業(yè)。并且，由于從工件W溢出那樣噴吐功能液，不需要嚴格對工件W的載置位置進行定位，可以簡化裝置，并且可以減少工件W的定位所需要的時間，提高生產(chǎn)效率。
權利要求
1.一種膜體形成裝置，其特征在于由通過在工件和導入了功能液的功能液滴噴頭之間進行相對掃描越過工件邊緣噴吐功能液滴的第1裝置、接收越過工件邊緣噴出的功能液的第2裝置和貯存從所述第2裝置排出的廢功能液的第3裝置構成。
2.一種膜體形成裝置，是在工件表面上形成膜體的膜體形狀裝置，其特征在于由通過在工件和導入了功能液的功能液滴噴頭之間越過工件邊緣進行相對掃描第1裝置、在所述第1裝置進行掃描的期間從所述功能液滴噴頭選擇性噴吐功能液滴的第2裝置、接收越過工件邊緣噴出的功能液的第3裝置和貯存從所述第3裝置排出的廢功能液的第4裝置構成。
3.一種膜體形成裝置，是一種通過隨著導入了功能液的功能液滴噴頭的掃描、使功能液從所述工件的邊緣部溢出地對工件進行液滴噴吐、在所述工件表面上形成膜體的膜體形成裝置，其特征在于包括接收從所述功能液滴噴頭噴出的、從所述工件溢出的所述功能液的桶狀容器部件、通過配管連接在所述桶狀容器部件的下流端、貯存從所述桶狀容器部件排出的功能液的廢功能液貯留部件。
4.根據(jù)權利要求3所述的膜體形成裝置，其特征在于所述桶狀容器部件，其剖面形成為U字形。
5.根據(jù)權利要求3所述的膜體形成裝置，其特征在于所述桶狀容器部件，使所述工件的周緣部位臨其上端開放部，形成為環(huán)狀。
6.根據(jù)權利要求3所述的膜體形成裝置，其特征在于所述桶狀容器部件，向下流端具有給定的排水斜度。
7.根據(jù)權利要求6所述的膜體形成裝置，其特征在于所述排水斜度大致在1/50到1/100的范圍內。
8.根據(jù)權利要求3所述的膜體形成裝置，其特征在于所述桶狀容器部件被固定在載置所述工件的工件臺上。
9.根據(jù)權利要求3所述的膜體形成裝置，其特征在于進一步設置清洗所述桶狀容器部件的槽內的清洗裝置。
10.根據(jù)權利要求9所述的膜體形成裝置，其特征在于所述清洗裝置具有貯存清洗液并且通過配管連接所述桶狀容器部件的上流端的清洗液貯箱。
11.根據(jù)權利要求9所述的膜體形成裝置，其特征在于所述清洗裝置具有通過配管與所述清洗液貯箱連接并且配置在所述桶狀容器部件的上部槽內的清洗液射出管，在所述清洗液射出管上形成有射出清洗液的多個射出孔。
12.根據(jù)權利要求11所述的膜體形成裝置，其特征在于所述清洗液射出管沿所述桶狀容器部件的上部槽內的外側周面配置。
13.根據(jù)權利要求11所述的膜體形成裝置，其特征在于所述清洗液射出管的各射出孔向所述桶狀容器部件的上部槽內的外側周面射出所述清洗液。
14.根據(jù)權利要求3所述的膜體形成裝置，其特征在于進一步包括檢測所述廢功能液貯留部件的滿液狀態(tài)的功能液滿液檢測裝置、控制所述功能液滴噴頭的噴吐動作的控制裝置，所述控制裝置，在所述功能液滿液檢測裝置檢測到所述廢功能液貯留部件處于滿液狀態(tài)時，使所述功能液滴噴頭的噴出動作停止。
15.根據(jù)權利要求14所述的膜體形成裝置，其特征在于所述控制裝置，在薄膜形成中途時，在薄膜形成結束之后才使功能液噴出動作停止。
16.一種鏡片的制造方法，是采用權利要求3所述的膜體形成裝置、在所述工件的鏡片表面上形成涂敷膜的鏡片的制造方法，其特征在于通過在所述功能液滴噴頭中導入功能液的透光性涂敷材料，使所述功能液滴噴頭相對于所述鏡片的表面作相對掃描，噴出所述涂敷材料，形成所述涂敷膜。
17.根據(jù)權利要求16所述的鏡片的制造方法，其特征在于所述鏡片是眼鏡鏡片。
18.根據(jù)權利要求16所述的鏡片的制造方法，其特征在于所述鏡片是設置在托盤上的2片為1組的眼鏡鏡片。
19.一種彩色濾光片的制造方法，是采用權利要求3所述的膜體形成裝置、制造通過在所述工件的基板上排列配置濾光片元件而構成的彩色濾光片的彩色濾光片制造方法，其特征在于在形成所述濾光片元件之后，通過在所述功能液滴噴頭中導入功能液的透光性涂敷材料，使所述功能液滴噴頭相對于所述基板作相對掃描，噴出所述涂敷材料，形成所述覆蓋涂敷膜。
20.一種有機EL裝置的制造方法，是采用權利要求3所述的膜體形成裝置、在所述工件的基板上排列配置包含EL發(fā)光層的像素的有機EL裝置的制造方法，其特征在于在形成所述EL發(fā)光層之后，通過在所述功能液滴噴頭中導入功能液的液狀電極材料，使所述功能液滴噴頭相對于所述基板作相對掃描，選擇性噴出所述液狀電極材料，形成對向電極膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種膜體形成裝置、鏡片的制造方法、彩色濾光片的制造方法以及有機EL裝置的制造方法。在工件表面形成膜體的膜體形成裝置中，在工件和導入了功能液的功能液滴噴頭之間進行相對掃描，使功能液從上述工件的邊緣部溢出地對工件進行液滴噴吐。該裝置包括接收從上述功能液滴噴頭噴出的、從上述工件溢出的上述功能液的桶狀容器部件、通過管道連接在上述桶狀容器部件的下流端的、貯存從上述桶狀容器部件排出的功能液的廢功能液貯留部件。
文檔編號G02B3/00GK1453075SQ0311068
公開日2003年11月5日 申請日期2003年4月22日 優(yōu)先權日2002年4月26日
發(fā)明者小山實 申請人:精工愛普生株式會社