本發(fā)明涉及絲網(wǎng)印刷裝置以及絲網(wǎng)印刷方法。

背景技術(shù)：

作為對(duì)一個(gè)基板或者排列的多個(gè)基板即印刷對(duì)象物具有的被印刷圖案(各個(gè)基板具有的電極圖案的組合)印刷焊錫等料漿的裝置，以往大多使用絲網(wǎng)印刷裝置。在利用絲網(wǎng)印刷裝置對(duì)印刷對(duì)象物的被印刷圖案印刷料漿的情況下，預(yù)先制作具有與被印刷圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口圖案的掩模。然后，使搬運(yùn)來(lái)的印刷對(duì)象物與掩模的下表面接觸，并向開(kāi)口圖案壓入料漿，在此基礎(chǔ)上，使印刷對(duì)象物與掩模分離(分版)。由此與開(kāi)口圖案對(duì)應(yīng)地在被印刷圖案上堆積料漿。

在上述那樣的絲網(wǎng)印刷裝置中，印刷對(duì)象物和掩模需要使被印刷圖案與開(kāi)口圖案以上下重合的方式高精度地接觸。因此，預(yù)先在掩模設(shè)置標(biāo)記(掩模側(cè)標(biāo)記)，并且在構(gòu)成印刷對(duì)象物的基板也設(shè)置標(biāo)記(基板側(cè)標(biāo)記)，在使掩模側(cè)標(biāo)記與基板側(cè)標(biāo)記進(jìn)行了對(duì)位的基礎(chǔ)上，使印刷對(duì)象物與掩模接觸。在此，在基板為膜狀基板等而在印刷對(duì)象物產(chǎn)生面內(nèi)的伸縮變形的情況下，被印刷圖案與開(kāi)口圖案不完全重合，但被印刷圖案和開(kāi)口圖案整體(平均的含義)以允許兩者的偏差的允許范圍內(nèi)的精度而重合。在下述的專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)有如下技術(shù)：通過(guò)分別拍攝在基板設(shè)置的三個(gè)以上的標(biāo)記，能夠高精度地識(shí)別被印刷圖案與開(kāi)口圖案之間的偏差。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2006-86515號(hào)公報(bào)

然而，在上述現(xiàn)有的絲網(wǎng)印刷裝置中，在印刷對(duì)象物的伸縮變形的程度較大的情況下，即便高精度地識(shí)別出被印刷圖案與開(kāi)口圖案之間的偏差，也無(wú)法使被印刷圖案和開(kāi)口圖案以允許范圍內(nèi)的精度重合。因此，存在有時(shí)產(chǎn)生料漿相對(duì)于印刷對(duì)象物的印刷不合格這樣的問(wèn)題點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

對(duì)此，本發(fā)明的目的在于，提供一種絲網(wǎng)印刷裝置以及絲網(wǎng)印刷方法，即便在印刷對(duì)象物的伸縮變形的程度較大的情況下，也難以產(chǎn)生印刷不合格。

本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置向一個(gè)基板或者排列的多個(gè)基板即印刷對(duì)象物的被印刷圖案印刷料漿，其特征在于，絲網(wǎng)印刷裝置具備：掩模、搬運(yùn)部、拍攝部、變形度計(jì)算部、選擇部、以及接觸機(jī)構(gòu)。在掩模上設(shè)有尺寸不同的多個(gè)開(kāi)口圖案。搬運(yùn)部向掩模的下方搬運(yùn)印刷對(duì)象物。拍攝部對(duì)構(gòu)成印刷對(duì)象物的一個(gè)基板或者排列的多個(gè)基板中的一個(gè)基板進(jìn)行拍攝。變形度計(jì)算部基于拍攝部的拍攝結(jié)果而計(jì)算印刷對(duì)象物的伸縮變形的程度。選擇部基于由變形度計(jì)算部計(jì)算出的印刷對(duì)象物的伸縮變形的程度而從多個(gè)開(kāi)口圖案之中選擇一個(gè)開(kāi)口圖案。接觸機(jī)構(gòu)使由搬運(yùn)部搬運(yùn)至掩模的下方的印刷對(duì)象物與掩模接觸。而且，利用接觸機(jī)構(gòu)使掩模與基板相對(duì)移動(dòng)，以使由選擇部選擇出的開(kāi)口圖案與被印刷圖案重合。

本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷方法向一個(gè)基板或者排列的多個(gè)基板即印刷對(duì)象物的被印刷圖案印刷料漿，其特征在于，絲網(wǎng)印刷方法包括：搬運(yùn)工序、拍攝工序、變形度計(jì)算工序、選擇工序、以及接觸工序。在搬運(yùn)工序中，向設(shè)有尺寸不同的多個(gè)開(kāi)口圖案的掩模的下方搬運(yùn)印刷對(duì)象物。在拍攝工序中，對(duì)構(gòu)成印刷對(duì)象物的一個(gè)基板或者排列的多個(gè)基板中的一個(gè)基板進(jìn)行拍攝。在變形度計(jì)算工序中，基于拍攝工序中的拍攝結(jié)果而計(jì)算印刷對(duì)象物的伸縮變形的程度。在選擇工序中，基于在變形度計(jì)算工序中計(jì)算出的印刷對(duì)象物的伸縮變形的程度而從多個(gè)開(kāi)口圖案之中選擇一個(gè)開(kāi)口圖案。在接觸工序中，使在搬運(yùn)工序中搬運(yùn)至掩模的下方的印刷對(duì)象物與掩模接觸。而且，在接觸工序中使掩模與基板相對(duì)移動(dòng)，以使在選擇工序中選擇出的開(kāi)口圖案與被印刷圖案重合。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，即便在印刷對(duì)象物的伸縮變形的程度較大的情況下，也難以產(chǎn)生印刷不合格。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的俯視圖。

圖2是在本發(fā)明的一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置中投入的作業(yè)對(duì)象的俯視圖。

圖3a是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的俯視圖。

圖3b是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的主視圖。

圖4是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的側(cè)視圖。

圖5是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置所具備的掩模的俯視圖。

圖6a是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的一部分的側(cè)視圖。

圖6b是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的一部分的側(cè)視圖。

圖6c是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的一部分的側(cè)視圖。

圖7是示出本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的控制系統(tǒng)的框圖。

圖8a是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖8b是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖9a是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖9b是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

1絲網(wǎng)印刷裝置；

2基板；

3印刷對(duì)象物；

3p被印刷圖案；

16掩模；

18拍攝部；

22移動(dòng)機(jī)構(gòu)部(接觸機(jī)構(gòu))；

31搬運(yùn)部；

40開(kāi)口圖案；

80a變形度計(jì)算部；

80b選擇部；

pst料漿。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1示出本發(fā)明的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷裝置1。絲網(wǎng)印刷裝置1是向一個(gè)基板或者排列的多個(gè)基板2即印刷對(duì)象物3的被印刷圖案3p(圖2)絲網(wǎng)印刷焊錫等料漿的裝置。在此，“排列的多個(gè)基板2”是指，多個(gè)基板2由一張基底基板制作并在絲網(wǎng)印刷的階段相互連結(jié)的基板、獨(dú)立制作出的多個(gè)基板2排列安裝于載體上的預(yù)先確定的位置的基板等。在本實(shí)施方式中，如圖2所示，將排列安裝于載體4的兩個(gè)基板2稱(chēng)為印刷對(duì)象物3、將包括兩個(gè)基板2和載體4在內(nèi)的整體稱(chēng)為作業(yè)對(duì)象5而進(jìn)行說(shuō)明。另外，“印刷對(duì)象物3的被印刷圖案3p”是指，構(gòu)成印刷對(duì)象物3的各個(gè)基板2具有的電極圖案2p的組合(圖2)。另外，基板2為膜狀基板。

在圖1、圖3a、圖3b以及圖4中，絲網(wǎng)印刷裝置1在基臺(tái)11具備搬入部12、對(duì)象保持移動(dòng)機(jī)構(gòu)13以及搬出部14。在從作業(yè)者op觀(guān)察到的基臺(tái)11的左右方向(設(shè)為x軸方向)的兩端部設(shè)有沿從作業(yè)者op觀(guān)察到的前后方向(設(shè)為y軸方向)延伸的一對(duì)梁構(gòu)件15。在這一對(duì)梁構(gòu)件15之間，掩模16以水平姿態(tài)設(shè)置。在一對(duì)梁構(gòu)件15上設(shè)有在掩模16的上方進(jìn)行移動(dòng)的刮刀單元17和在掩模16的下方進(jìn)行移動(dòng)的拍攝部18。

搬入部12、對(duì)象保持移動(dòng)機(jī)構(gòu)13以及搬出部14從作業(yè)者op觀(guān)察到的左方依次并排設(shè)置。搬入部12由一對(duì)輸送機(jī)構(gòu)成，并搬入從外部供給來(lái)的作業(yè)對(duì)象5(即印刷對(duì)象物3)。對(duì)象保持移動(dòng)機(jī)構(gòu)13從搬入部12接受作業(yè)對(duì)象5并保持該作業(yè)對(duì)象5，在對(duì)印刷對(duì)象物3的絲網(wǎng)印刷結(jié)束之后，將作業(yè)對(duì)象5交接于搬出部14。搬出部14由一對(duì)輸送機(jī)構(gòu)成，并將從對(duì)象保持移動(dòng)機(jī)構(gòu)13接受的作業(yè)對(duì)象5向外部搬出。

在圖4中，對(duì)象保持移動(dòng)機(jī)構(gòu)13包括對(duì)象保持部21、和使對(duì)象保持部21沿水平面內(nèi)方向以及上下方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22。對(duì)象保持部21具備搬運(yùn)部31、下承接構(gòu)件32、以及一對(duì)夾持器33(也參照?qǐng)D3a以及圖3b)。

搬運(yùn)部31由一對(duì)輸送機(jī)構(gòu)成，且將從搬入部12接受的作業(yè)對(duì)象5沿x軸方向搬運(yùn)并將該作業(yè)對(duì)象5定位于掩模16的下方的規(guī)定的夾持位置。下承接構(gòu)件32對(duì)由搬運(yùn)部31定位于夾持位置的作業(yè)對(duì)象5的下表面進(jìn)行支承。一對(duì)夾持器33從y軸方向夾持并保持下承接構(gòu)件32所支承的作業(yè)對(duì)象5。在本實(shí)施方式中，將一對(duì)夾持器33中的、位于作業(yè)者op的一側(cè)(前方)的夾持器33稱(chēng)作前方夾持器33f，將位于與作業(yè)者op相反的一側(cè)(后方)的夾持器33稱(chēng)作后方夾持器33r(圖3a以及圖4)。

在圖5中，掩模16具有沿xy平面擴(kuò)展延伸的矩形平板形狀。掩模16的外周被框構(gòu)件16w支承。在掩模16設(shè)有與被印刷圖案3p對(duì)應(yīng)的三個(gè)(三種)開(kāi)口圖案40。三個(gè)開(kāi)口圖案40彼此相似且尺寸不同，在y軸方向上并排設(shè)置。

在圖5中，三個(gè)開(kāi)口圖案40包括中央開(kāi)口圖案41、前方開(kāi)口圖案42以及后方開(kāi)口圖案43。中央開(kāi)口圖案41形成于掩模16的y軸方向的中央部。前方開(kāi)口圖案42形成于掩模16的前方，后方開(kāi)口圖案43形成于掩模16的后方。

中央開(kāi)口圖案41設(shè)為，與在印刷對(duì)象物3不產(chǎn)生面內(nèi)的伸縮變形的情況下的被印刷圖案3p對(duì)應(yīng)的尺寸。前方開(kāi)口圖案42設(shè)為，與在印刷對(duì)象物3產(chǎn)生面內(nèi)的伸長(zhǎng)變形的情況下的被印刷圖案3p對(duì)應(yīng)的尺寸。后方開(kāi)口圖案43設(shè)為，與在印刷對(duì)象物3產(chǎn)生面內(nèi)的縮小變形的情況下的印刷圖案3p對(duì)應(yīng)的尺寸。當(dāng)將中央開(kāi)口圖案41尺寸的擴(kuò)大比率(將附圖標(biāo)記設(shè)為h)設(shè)為h＝1時(shí)，前方開(kāi)口圖案42的擴(kuò)大比率h為h＞1，后方開(kāi)口圖案43的擴(kuò)大比率h為h＜1。在本實(shí)施方式中，前方開(kāi)口圖案42的擴(kuò)大比率為h＝1.1，后方開(kāi)口圖案43的擴(kuò)大比率h為h＝0.9。需要說(shuō)明的是，擴(kuò)大比率并不局限于上述數(shù)值，由基板2的材質(zhì)、作業(yè)者的數(shù)值選擇等來(lái)決定。

移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22使對(duì)象保持部21選擇性地位于中央開(kāi)口圖案41的下方的位置(稱(chēng)作第一位置)、前方開(kāi)口圖案42的下方的位置(稱(chēng)作第二位置)、后方開(kāi)口圖案43的下方的位置(稱(chēng)作第三位置)中的任一位置。搬入部12以及搬出部14在與位于第一位置的對(duì)象保持部21的搬運(yùn)部31之間形成沿x方向連續(xù)的作業(yè)對(duì)象5的搬運(yùn)路(圖3a)。

在圖2中，在兩個(gè)基板2的各個(gè)基板設(shè)有一對(duì)(兩個(gè))基板側(cè)標(biāo)記2m。另一方面，在掩模16的各開(kāi)口圖案40的附近位置設(shè)有與兩個(gè)基板2(即印刷對(duì)象物5)所具備的四個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2m對(duì)應(yīng)的四個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記16m(圖5)。

移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22在使對(duì)象保持部21移動(dòng)至第一位置、第二位置以及第三位置中的任一位置之后，使對(duì)象保持部21(即作業(yè)對(duì)象5)上升，由此能夠使印刷對(duì)象物3的上表面與掩模16的下表面抵接。在使印刷對(duì)象物3的上表面與掩模16的下表面抵接的狀態(tài)下，夾持印刷對(duì)象物3的一對(duì)夾持器33各自的上表面也與掩模16的下表面抵接。

圖6a示出移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22使對(duì)象保持部21從第一位置上升而使印刷對(duì)象物3的上表面與掩模16的下表面抵接的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，被印刷圖案3p與中央開(kāi)口圖案41重合，前方夾持器33f與掩模16的下表面的中央開(kāi)口圖案41的前方區(qū)域(前方開(kāi)口圖案42的后方區(qū)域)抵接，后方夾持器33r與掩模16的下表面的中央開(kāi)口圖案41的后方區(qū)域抵接。

圖6b示出移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22使對(duì)象保持部21從第二位置上升而使印刷對(duì)象物3的上表面與掩模16的下表面抵接的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，被印刷圖案3p與前方開(kāi)口圖案42重合，前方夾持器33f與掩模16的下表面的前方開(kāi)口圖案42的前方區(qū)域抵接，后方夾持器33r與掩模16的下表面的前方開(kāi)口圖案42的后方區(qū)域(中央開(kāi)口圖案41的前方區(qū)域)抵接。

圖6c示出移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22使對(duì)象保持部21從第三位置上升而使印刷對(duì)象物3的上表面與掩模16的下表面抵接的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，被印刷圖案3p與后方開(kāi)口圖案43重合，前方夾持器33f與掩模16的下表面的后方開(kāi)口圖案43的前方區(qū)域(中央開(kāi)口圖案41的后方區(qū)域)抵接，后方夾持器33r與掩模16的下表面的后方開(kāi)口圖案43的后方區(qū)域抵接。

在本實(shí)施方式中，在使被印刷圖案3p與中央開(kāi)口圖案41重合的情況下前方夾持器33f的上表面與掩模16的下表面接觸的區(qū)域、和在使被印刷圖案3p與前方開(kāi)口圖案42重合的情況下后方夾持器33r的上表面與掩模16的下表面接觸的區(qū)域是相同的(圖6a以及圖6b)。另外，在使被印刷圖案3p與中央開(kāi)口圖案41重合的情況下后方夾持器33r的上表面與掩模16的下表面接觸的區(qū)域、和在使被印刷圖案3p與后方開(kāi)口圖案43重合的情況下前方夾持器33f的上表面與掩模16的下表面接觸的區(qū)域是相同的(圖6a以及圖6c)。

在圖5以及圖6a中，掩模16的上表面的區(qū)域中的、中央開(kāi)口圖案41的前方的恒定區(qū)域(前方開(kāi)口圖案42的后方的恒定區(qū)域)成為前方料漿供給區(qū)域e1，后方開(kāi)口圖案43的后方的恒定區(qū)域成為后方料漿供給區(qū)域e2。料漿pst被預(yù)先供給至前方料漿供給區(qū)域e1和后方料漿供給區(qū)域e2這兩者。

在圖3a、圖3b以及圖4中，刮刀單元17具備沿x軸方向延伸且兩端被支承于一對(duì)梁構(gòu)件15的上表面?zhèn)鹊墓蔚痘?1。在刮刀基座51的上表面?zhèn)鹊膞軸方向的中央部，兩個(gè)刮刀升降工作缸52在y軸方向上并排配置，在兩個(gè)刮刀升降工作缸52的下方配置有兩個(gè)刮刀53。兩個(gè)刮刀53分別與刮刀升降工作缸52連結(jié)，當(dāng)兩個(gè)刮刀升降工作缸52單獨(dú)進(jìn)行工作時(shí)，與此對(duì)應(yīng)地，兩個(gè)刮刀53獨(dú)立地在刮刀基座51的下方進(jìn)行升降。

兩個(gè)刮刀53分別沿x軸方向延伸，在y軸方向上對(duì)置的兩個(gè)面分別成為料漿pst的聚攏面。在本實(shí)施方式中，將在y軸方向上并排設(shè)置的兩個(gè)刮刀53中的、位于前方(圖4的紙面右側(cè))的刮刀53稱(chēng)作前方刮刀53f、將位于后方(圖4的紙面左側(cè))的刮刀53稱(chēng)作后方刮刀53r。刮刀基座51被設(shè)于一對(duì)梁構(gòu)件15的刮刀基座驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)15a(圖3a)驅(qū)動(dòng)而沿y軸方向移動(dòng)，由此兩個(gè)刮刀53在掩模16的上方沿y軸方向進(jìn)行移動(dòng)。

在圖3a、圖3b以及圖4中，在一對(duì)梁構(gòu)件15的下表面?zhèn)劝惭b有沿x軸方向延伸的x軸梁61的兩端。在x軸梁61設(shè)有移動(dòng)板62，拍攝部18安裝于移動(dòng)板62。拍攝部18具備拍攝視野朝向下方的下方拍攝相機(jī)71和拍攝視野朝向上方的上方拍攝相機(jī)72(圖4)。

x軸梁61被設(shè)于一對(duì)梁構(gòu)件15的x軸梁驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)15b(圖3a)驅(qū)動(dòng)而沿y軸方向移動(dòng)。移動(dòng)板62被設(shè)于x軸梁61的移動(dòng)板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61m(圖3a)驅(qū)動(dòng)而沿x軸方向移動(dòng)。因此，拍攝部18根據(jù)基于x軸梁驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)15b實(shí)現(xiàn)的x軸梁61相對(duì)于一對(duì)梁構(gòu)件15的沿y軸方向的移動(dòng)、和基于移動(dòng)板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61m實(shí)現(xiàn)的移動(dòng)板62相對(duì)于x軸梁61的沿x軸方向的移動(dòng)，在掩模16的下方沿水平方向移動(dòng)。

在圖7中，絲網(wǎng)印刷裝置1所具備的控制裝置80進(jìn)行如下各動(dòng)作的控制：基于搬入部12實(shí)現(xiàn)的作業(yè)對(duì)象5的搬入、基于對(duì)象保持部21的搬運(yùn)部31實(shí)現(xiàn)的作業(yè)對(duì)象5的搬運(yùn)以及基于夾持器33實(shí)現(xiàn)的作業(yè)對(duì)象5的保持、基于移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22實(shí)現(xiàn)的對(duì)象保持部21的移動(dòng)、基于搬出部14實(shí)現(xiàn)的作業(yè)對(duì)象5的搬出。另外，控制裝置80還進(jìn)行如下各控制：基于刮刀基座驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)15a實(shí)現(xiàn)的刮刀基座51的移動(dòng)、基于刮刀升降工作缸52實(shí)現(xiàn)的刮刀53的升降、基于x軸梁驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)15b和移動(dòng)板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61m實(shí)現(xiàn)的拍攝部18的移動(dòng)。

另外，在圖7中，控制裝置80進(jìn)行下方拍攝相機(jī)71的拍攝、上方拍攝相機(jī)72的拍攝的各控制。通過(guò)下方拍攝相機(jī)71的拍攝而得到的圖像信息和通過(guò)上方拍攝相機(jī)72的拍攝而得到的圖像信息分別輸入至控制裝置80。另外，在控制裝置80連接有觸摸面板等輸入輸出裝置81。作業(yè)者op通過(guò)輸入輸出裝置81而向絲網(wǎng)印刷裝置1進(jìn)行所需要的輸入，并且通過(guò)輸入輸出裝置81而得到關(guān)于絲網(wǎng)印刷裝置1的各種信息。

接下來(lái)，對(duì)基于絲網(wǎng)印刷裝置1實(shí)現(xiàn)的絲網(wǎng)印刷作業(yè)的執(zhí)行步驟進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)向絲網(wǎng)印刷裝置1的搬入部12供給作業(yè)對(duì)象5時(shí)，搬入部12搬入作業(yè)對(duì)象5，并將作業(yè)對(duì)象5交接于預(yù)先位于第一位置的對(duì)象保持部21的搬運(yùn)部31。搬運(yùn)部31將作業(yè)對(duì)象5搬運(yùn)至掩模16的下方的夾持位置(搬運(yùn)工序)。搬運(yùn)部31在將作業(yè)對(duì)象5搬運(yùn)至掩模16的下方之后，下承接構(gòu)件32上升而支承位于夾持位置的作業(yè)對(duì)象5的下表面，并且一對(duì)夾持器33夾持并保持作業(yè)對(duì)象5(圖8a中所示的箭頭a)。

在一對(duì)夾持器33保持作業(yè)對(duì)象5之后，x軸梁驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)15b和移動(dòng)板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61m聯(lián)動(dòng)地工作而使拍攝部18移動(dòng)，使下方拍攝相機(jī)71拍攝基板側(cè)標(biāo)記2m(拍攝工序)。此時(shí)，下方拍攝相機(jī)71對(duì)與構(gòu)成印刷對(duì)象物3的兩個(gè)基板2中的、預(yù)先確定的一個(gè)基板2對(duì)應(yīng)的基板側(cè)標(biāo)記2m進(jìn)行拍攝。下方拍攝相機(jī)71所拍攝的基板側(cè)標(biāo)記2m的圖像信息被輸送至控制裝置80。

控制裝置80在從下方拍攝相機(jī)71輸送來(lái)基板側(cè)標(biāo)記2m的圖像信息之后，在變形度計(jì)算部80a(圖7)中，基于從下方拍攝相機(jī)71輸送來(lái)的一個(gè)基板2的基板側(cè)標(biāo)記2m的拍攝結(jié)果(即拍攝部18的拍攝結(jié)果)而計(jì)算印刷對(duì)象物3的變形度(變形度計(jì)算工序)。在此，“印刷對(duì)象物3的變形度”是指，針對(duì)印刷對(duì)象物3的安裝面的設(shè)計(jì)值與實(shí)測(cè)值的偏差情況，是印刷對(duì)象物3的表面積比設(shè)計(jì)值伸長(zhǎng)或者縮小的變形程度。需要說(shuō)明的是，針對(duì)印刷對(duì)象物3的安裝面的設(shè)計(jì)值與實(shí)測(cè)值的偏差情況根據(jù)特定的邊、對(duì)角線(xiàn)、表面積等來(lái)判斷。另外，變形的程度也包括印刷對(duì)象物3扭曲而在拍攝圖像上的表面積縮小的情況。

在印刷對(duì)象物3的變形度的計(jì)算中，控制裝置80首先基于從下方拍攝相機(jī)71輸送來(lái)的一個(gè)基板2具有的基板側(cè)標(biāo)記2m的圖像識(shí)別結(jié)果而計(jì)算該基板2中的一對(duì)基板側(cè)標(biāo)記2m之間的距離(設(shè)為實(shí)測(cè)值m)。然后，將該計(jì)算出的實(shí)測(cè)值m與一對(duì)基板側(cè)標(biāo)記2m之間的距離的設(shè)計(jì)值l的比率設(shè)為印刷對(duì)象物3的變形度p(＝m/l)。

這樣，在本實(shí)施方式中，拍攝部18拍攝一個(gè)基板2具有的一對(duì)基板側(cè)標(biāo)記2m，變形度計(jì)算部80a基于通過(guò)拍攝部18的拍攝而得到的一對(duì)基板側(cè)標(biāo)記2m的距離來(lái)計(jì)算印刷對(duì)象物3的伸縮變形的程度。需要說(shuō)明的是，在此所示的變形度p的計(jì)算方法只不過(guò)是一例，也可以使用其他計(jì)算方法。

在拍攝部18拍攝一個(gè)基板2的基板側(cè)標(biāo)記2m的時(shí)刻，在針對(duì)該基板2的實(shí)測(cè)值m與設(shè)計(jì)值l相等的情況下，變形度p為p＝1，但在基板2伸長(zhǎng)而實(shí)測(cè)值m超過(guò)設(shè)計(jì)值l的情況下，變形度p為p＞1。另外，在各基板2縮小而實(shí)測(cè)值m低于設(shè)計(jì)值l的情況下，變形度p為p＜1。

在變形度計(jì)算部80a計(jì)算出印刷對(duì)象物3的變形度p之后，控制裝置80的選擇部80b(圖7)基于變形度計(jì)算部80a所計(jì)算出的變形度p而從設(shè)于掩模16的三個(gè)開(kāi)口圖案40(中央開(kāi)口圖案41、前方開(kāi)口圖案42以及后方開(kāi)口圖案43)之中選擇一個(gè)開(kāi)口圖案40(選擇工序)。選擇部80b進(jìn)行選擇的基準(zhǔn)為，在使印刷對(duì)象物3的被印刷圖案3p與掩模16所具備的三個(gè)開(kāi)口圖案40中的任一者接觸的情況下，印刷偏差是否為最小。

選擇部80b選擇開(kāi)口圖案40的選擇基準(zhǔn)能夠預(yù)先確定。在本實(shí)施方式中，確定以中央開(kāi)口圖案41的擴(kuò)大比率(h＝1.0)為基準(zhǔn)的變形度的區(qū)域(第一變形度區(qū)域。例如0.95≤p≤1.05)、以前方開(kāi)口圖案42的擴(kuò)大比率(h＝1.1)為基準(zhǔn)的變形度的區(qū)域(第二變形度區(qū)域。例如1.05＜p＜1.15)以及以后方開(kāi)口圖案43的擴(kuò)大比率(h＝0.9)為基準(zhǔn)的變形度的區(qū)域(第三變形度區(qū)域。例如0.85＜p＜0.95)。然后，選擇部80b根據(jù)變形度計(jì)算部80a所計(jì)算出的變形度p的值屬于這三個(gè)變形度區(qū)域中的哪一個(gè)而選擇開(kāi)口圖案40。

在上述的例子中，選擇部80b在所計(jì)算出的印刷對(duì)象物3的變形度p為例如p＝1.02的情況下，判斷該變形度p的值屬于第一變形度區(qū)域，因此選擇擴(kuò)大比率h為h＝1.0的開(kāi)口圖案40，即中央開(kāi)口圖案41。另外，選擇部80b在所計(jì)算出的印刷對(duì)象物3的變形度p為例如p＝1.12的情況下，判斷該變形度p屬于第二變形度區(qū)域，因此選擇擴(kuò)大比率h為h＝1.1的開(kāi)口圖案40，即前方開(kāi)口圖案42。另外，選擇部80b在所計(jì)算出的印刷對(duì)象物3的變形度p為例如p＝0.92的情況下，判斷該變形度p屬于第三變形度區(qū)域，因此選擇擴(kuò)大比率h為h＝0.9的開(kāi)口圖案40，即后方開(kāi)口圖案43。需要說(shuō)明的是，在所計(jì)算出的印刷對(duì)象物3的變形度p不屬于第一變形度區(qū)域～第三變形度區(qū)域中的任一者的情況下，選擇部80b判斷印刷對(duì)象物3產(chǎn)生異常的變形而進(jìn)行錯(cuò)誤判斷。

控制裝置80在如上述那樣選擇開(kāi)口圖案40之后，使移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22移動(dòng)對(duì)象保持部21，以使得作業(yè)對(duì)象5位于該選擇出的開(kāi)口圖案40的下方。具體地說(shuō)，在選擇了中央開(kāi)口圖案41的情況下使對(duì)象保持部21位于第一位置，在選擇了前方開(kāi)口圖案42的情況下使對(duì)象保持部21位于第二位置，在選擇了后方開(kāi)口圖案43的情況下使對(duì)象保持部21位于第三位置。

在對(duì)象保持部21位于所選擇的開(kāi)口圖案40的下方之后，x軸梁驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)15b和移動(dòng)板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61m聯(lián)動(dòng)地工作而使拍攝部18移動(dòng)，并使上方拍攝相機(jī)72拍攝掩模側(cè)標(biāo)記16m。在此，上方拍攝相機(jī)72拍攝的掩模側(cè)標(biāo)記16m為與所選擇的開(kāi)口圖案40對(duì)應(yīng)的多個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記16m(圖5)。具體地說(shuō)，在選擇了中央開(kāi)口圖案41的情況下拍攝與中央開(kāi)口圖案41對(duì)應(yīng)的四個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記16m，在選擇了前方開(kāi)口圖案42的情況下拍攝與前方開(kāi)口圖案42對(duì)應(yīng)的四個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記16m，在選擇了后方開(kāi)口圖案43的情況下拍攝與后方開(kāi)口圖案43對(duì)應(yīng)的四個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記16m。上方拍攝相機(jī)72所拍攝的掩模側(cè)標(biāo)記16m的圖像信息被輸送至控制裝置80。

在上方拍攝相機(jī)72拍攝了掩模側(cè)標(biāo)記16m之后，x軸梁驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)15b和移動(dòng)板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61m聯(lián)動(dòng)地工作而使拍攝部18移動(dòng)，并使下方拍攝相機(jī)71拍攝基板側(cè)標(biāo)記2m。此時(shí)，下方拍攝相機(jī)71拍攝的基板側(cè)標(biāo)記2m為構(gòu)成印刷對(duì)象物3的各基板2的基板側(cè)標(biāo)記2m。

在下方拍攝相機(jī)71拍攝了構(gòu)成印刷對(duì)象物3的各基板2的基板側(cè)標(biāo)記2m之后，控制裝置80基于該拍攝結(jié)果而識(shí)別各掩模側(cè)標(biāo)記16m的位置和各基板側(cè)標(biāo)記2m的位置，在此基礎(chǔ)上，利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22使對(duì)象保持部21沿水平面內(nèi)方向移動(dòng)，以使得多個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記16m和多個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2m在俯視觀(guān)察下一致。此時(shí)，除被印刷圖案3p的尺寸與三個(gè)開(kāi)口圖案40中的任一者的尺寸對(duì)應(yīng)時(shí)以外，多個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記16m和多個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2m在俯視觀(guān)察下不完全一致，但多個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記16m和多個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2m整體(平均的含義)一致即可。

控制裝置80在如上述那樣使多個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記16m和多個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2m在俯視觀(guān)察下一致之后，使移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22工作而使對(duì)象保持部21上升(圖8(b)中所示的箭頭b)，使印刷對(duì)象物3與掩模16的下表面接觸(圖8b。接觸工序)。由此所選擇的開(kāi)口圖案40和被印刷圖案3p成為重合的狀態(tài)。在該接觸工序中，移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22作為使印刷對(duì)象物3與掩模16接觸的接觸機(jī)構(gòu)而發(fā)揮功能。

在本實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置1中，具有設(shè)置了彼此相似且尺寸不同的多個(gè)開(kāi)口圖案40的掩模16，基于所計(jì)算出的印刷對(duì)象物3的變形的程度(變形度p)而使從多個(gè)開(kāi)口圖案40之中選擇的一個(gè)開(kāi)口圖案40與被印刷圖案3p重合。因此，即便在印刷對(duì)象物3的伸縮變形的程度較大的情況下，在上述接觸工序中，能夠使被印刷圖案3p與多個(gè)開(kāi)口圖案40中的一個(gè)以允許范圍內(nèi)的精度重合的概率也變高。

控制裝置80在使印刷對(duì)象物3與掩模16接觸之后，經(jīng)由與印刷對(duì)象物3接觸的掩模16而在被印刷圖案3p上堆積料漿pst(印刷工序)。在該印刷工序中，首先，刮刀升降工作缸52進(jìn)行工作而使刮刀單元17所具備的兩個(gè)刮刀53中的一方相對(duì)于刮刀基座51下降，并使該刮刀53的下端與掩模16抵接。然后，刮刀基座驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)15a使刮刀基座51沿y軸方向移動(dòng)，使刮刀53在與印刷對(duì)象物3接觸的掩模16的開(kāi)口圖案40(所選擇的開(kāi)口圖案40)上滑動(dòng)。由此，刮刀53使向前方料漿供給區(qū)域e1或者后方料漿供給區(qū)域e2供給的料漿pst在掩模16上聚攏，使料漿pst填充于開(kāi)口圖案40。

在料漿pst向中央開(kāi)口圖案41的填充中，首先，前方刮刀53f從前方料漿供給區(qū)域e1向后方移動(dòng)而在中央開(kāi)口圖案41上滑動(dòng)(圖9a中所示的箭頭c1)，使前方料漿供給區(qū)域e1上的料漿pst聚攏至中央開(kāi)口圖案41的后方區(qū)域。然后，這次是后方刮刀53r從中央開(kāi)口圖案41的后方區(qū)域向前方移動(dòng)而在中央開(kāi)口圖案41上滑動(dòng)(圖9b中所示的箭頭c2)，使料漿pst聚攏至前方料漿供給區(qū)域e1。

在料漿pst向前方開(kāi)口圖案42的填充中，首先，后方刮刀53r從前方料漿供給區(qū)域e1向前方移動(dòng)而在前方開(kāi)口圖案42上滑動(dòng)(圖9b中所示的箭頭c2)，使前方料漿供給區(qū)域e1上的料漿pst聚攏至前方開(kāi)口圖案42的前方區(qū)域。然后，這次是前方刮刀53f從前方開(kāi)口圖案42的前方區(qū)域向后方移動(dòng)而在前方開(kāi)口圖案42上滑動(dòng)(圖9a中所示的箭頭c1)，使料漿pst聚攏至前方料漿供給區(qū)域e1。

在料漿pst向后方開(kāi)口圖案43的填充中，首先，前方刮刀53f從后方料漿供給區(qū)域e2向后方移動(dòng)而在后方開(kāi)口圖案43上滑動(dòng)(圖9a中所示的箭頭c1)，使后方料漿供給區(qū)域e2上的料漿pst聚攏至后方開(kāi)口圖案43的后方區(qū)域。然后，這次是后方刮刀53r從后方開(kāi)口圖案43的后方區(qū)域向前方移動(dòng)而在后方開(kāi)口圖案43上滑動(dòng)(圖9b中所示的箭頭c2)，使料漿pst聚攏至后方料漿供給區(qū)域e2。

如上述那樣，在向開(kāi)口圖案40填充料漿pst之后，成為在被印刷圖案3p堆積有料漿pst的狀態(tài)，印刷工序結(jié)束。在該印刷工序中，刮刀單元17作為經(jīng)由與印刷對(duì)象物3接觸的掩模16而使料漿pst堆積于被印刷圖案3p的印刷部發(fā)揮功能。

在印刷工序結(jié)束之后，移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22工作而使對(duì)象保持部21下降，使作業(yè)對(duì)象5(即印刷對(duì)象物3)從掩模16分離(分版)。然后，在一對(duì)夾持器33打開(kāi)而解除了作業(yè)對(duì)象5的保持之后，搬運(yùn)部31和搬出部14聯(lián)動(dòng)地工作，將作業(yè)對(duì)象5向下游工序側(cè)搬出。

如以上說(shuō)明那樣，在本實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置1(絲網(wǎng)印刷方法)中，具有設(shè)置有彼此相似且尺寸不同的多個(gè)開(kāi)口圖案40的掩模16，基于所計(jì)算出的印刷對(duì)象物3的變形的程度(變形度p)而使從多個(gè)開(kāi)口圖案40之中選擇的一個(gè)開(kāi)口圖案40與被印刷圖案3p重合。因此，即便在印刷對(duì)象物3的伸縮變形的程度較大的情況下，能夠?qū)⒈挥∷D案3p與多個(gè)開(kāi)口圖案40之中的一個(gè)以允許范圍內(nèi)的精度重合的概率也較高，難以產(chǎn)生印刷不合格。

至此，雖然對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于上述的實(shí)施方式。例如，在上述的實(shí)施方式中，安裝于載體4的基板2的數(shù)量為兩個(gè)，但這僅是一例，也可以是包含一個(gè)在內(nèi)的任何數(shù)量。另外，在上述的實(shí)施方式中，彼此相似且尺寸不同的多個(gè)開(kāi)口圖案40為三個(gè)(中央開(kāi)口圖案41、前方開(kāi)口圖案42以及后方開(kāi)口圖案43)，但這僅是一例，設(shè)于掩模16的開(kāi)口圖案40的數(shù)量只要是多個(gè)即可，可以是任何數(shù)量。

另外，在上述的實(shí)施方式中，多個(gè)開(kāi)口圖案40是如下組合：一個(gè)設(shè)置為與在印刷對(duì)象物3不產(chǎn)生面內(nèi)的伸縮變形的情況下的被印刷圖案3p對(duì)應(yīng)的尺寸的(擴(kuò)大比率為h＝1的)開(kāi)口圖案、一個(gè)設(shè)置為與在印刷對(duì)象物3產(chǎn)生面內(nèi)的伸長(zhǎng)變形的情況下的被印刷圖案3p對(duì)應(yīng)的尺寸的(擴(kuò)大比率為h＞0的)開(kāi)口圖案、一個(gè)設(shè)置為與在印刷對(duì)象物3產(chǎn)生面內(nèi)的縮小變形的情況下的被印刷圖案3p對(duì)應(yīng)的尺寸的(擴(kuò)大比率為h＜0)開(kāi)口圖案，但這只不過(guò)是一例，多個(gè)開(kāi)口圖案40可以是各種尺寸的組合。

另外，在上述的實(shí)施方式中，在使印刷對(duì)象物3與掩模16接觸的接觸機(jī)構(gòu)(或者接觸工序)中，使印刷對(duì)象物3相對(duì)于掩模16移動(dòng)而使印刷對(duì)象物3與掩模16接觸，但也可以使掩模16相對(duì)于印刷對(duì)象物3移動(dòng)而使印刷對(duì)象物3與掩模16接觸。即，在上述的實(shí)施方式中，以使印刷對(duì)象物3位于所選擇的開(kāi)口圖案40的下方的方式，使移動(dòng)機(jī)構(gòu)部22移動(dòng)對(duì)象保持部21，但也可以還具備使掩模16沿水平方向移動(dòng)的掩模移動(dòng)機(jī)構(gòu)部，以使印刷對(duì)象物3位于所選擇的開(kāi)口圖案40的下方的方式使掩模16移動(dòng)。另外，在作業(yè)者op預(yù)先根據(jù)變形度而選出印刷對(duì)象物3的情況下，也可以向輸入輸出裝置81輸入變形度或者選擇的開(kāi)口圖案40而省略上述的拍攝工序。

另外，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)與構(gòu)成印刷對(duì)象物3的兩個(gè)基板2中的、預(yù)先確定的一個(gè)基板2對(duì)應(yīng)的基板側(cè)標(biāo)記2m進(jìn)行拍攝而選擇了開(kāi)口圖案40，但在由多個(gè)基板2構(gòu)成的情況下，也可以拍攝基板2各自的基板側(cè)標(biāo)記2m而選擇開(kāi)口圖案40。在該情況下，印刷對(duì)象物3的伸縮變形的程度通過(guò)計(jì)算各個(gè)基板2的基板變形度po(＝m/l)而得出。然后，通過(guò)求出多個(gè)基板變形度po的平均值，將所得出的值設(shè)為印刷對(duì)象物3的變形度p，由此能夠與上述實(shí)施方式同樣地選擇開(kāi)口圖案40。

工業(yè)實(shí)用性

本發(fā)明提供一種絲網(wǎng)印刷裝置以及絲網(wǎng)印刷方法，即便在印刷對(duì)象物的伸縮變形的程度較大的情況下，也難以產(chǎn)生印刷不合格。