1.一種用于微電子封裝外殼的激光標刻方法,其特征是包括如下步驟:
1)用AutoCAD或設(shè)備自帶軟件對激光標刻的內(nèi)容進行編輯和儲存;
2)依據(jù)基材的類型選擇合適的激光器,完成開機、設(shè)備校準、工裝夾具和耗材的準備;
3)設(shè)置工藝參數(shù);
4)用激光器所發(fā)射激光在基材上切割出步驟1)中所編輯的內(nèi)容;
5)鍍覆形成中間防護性鍍層;
7)將基材進行組裝,形成外殼;
8)在外殼上鍍覆功能性鍍層,形成成品;
9)進行成品的性能指標檢測。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于微電子封裝外殼的激光標刻方法,其特征是所述激光標刻的內(nèi)容為圖形和/或字符和/或條碼。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于微電子封裝外殼的激光標刻方法,其特征是所述的基材可以是氧化鈹、氮化鋁、銅、鉬、鎢、鋼、可伐合金、銅鎢合金、銅鉬合金、陶瓷中的一種。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于微電子封裝外殼的激光標刻方法,其特征是所述的激光器是光纖激光器、半導(dǎo)體激光器、CO2激光器中的一種;所述激光器的輸出功率為0.5 W~1000W,激光器所發(fā)射激光的中心波長為100nm~2μm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于微電子封裝外殼的激光標刻方法,其特征是
所述的工藝參數(shù)包括額定輸出功率、切割圈數(shù)、切割速度 、延時;其中額定輸出功率為0.5 W~1000W、切割圈數(shù)為1~100、切割速度為10 mm~1000mm/s、延時為10~1000μs。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于微電子封裝外殼的激光標刻方法,其特征是所述成品上圖形和/或字符和/或條碼的深度為0.1μm~100μm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于微電子封裝外殼的激光標刻方法,其特征是所述中間防護性鍍層是銀層、銅層、錫層、鎳層、鉻層、金層中的一種,鍍層厚度為0.1μm~20μm,功能性鍍層是銀層、銅層、錫層、鎳層、鉻層、金層中的一種,鍍層厚度為0.1μm~20μm。