專利名稱：噴墨噴頭的檢查方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具備有噴墨記錄噴頭(以下稱為“噴墨噴頭”)的噴墨涂布裝置的清洗方法、噴嘴檢查方法、涂布控制方法、及成膜方法，特別涉及一種用以將在噴墨噴頭的噴嘴面及其周邊所附著的臟污、碎屑、雜質(zhì)等去除的清洗方法、噴嘴檢查方法、涂布控制方法、及成膜方法。另外，本說(shuō)明書中的噴墨噴頭，沒(méi)有特別的限定，是具備有單一或多個(gè)噴嘴的噴墨嗔頭。
背景技術(shù)：
噴墨記錄裝置中，為了維持高品質(zhì)的記錄質(zhì)量，便必須將在噴墨記錄噴頭的油墨吐出面所殘留油墨、雜質(zhì)等予以去除。專利文獻(xiàn)I中揭示有，使擦拭刮板相對(duì)向于噴頭的油墨吐出面，通過(guò)進(jìn)行擦拭動(dòng)作來(lái)清洗的方法中，為了提升清洗性能，便關(guān)于擦拭刮板的材質(zhì)、角度、接觸方式等進(jìn)行研究。專利文獻(xiàn)2中揭示有，相對(duì)吐出口在所述刮板清洗的回復(fù)操作方向的下游側(cè)設(shè)置油墨吸收用狹縫，將經(jīng)所述刮板刮取的油墨利用具有平行于多個(gè)吐出口且狹縫狀設(shè)置的抽吸口的油墨吸收用狹縫，吸取所述油墨以提升性能的方法等。在專利文獻(xiàn)3中揭示有，從噴霧器噴嘴朝噴墨噴頭的噴嘴及其周邊吹出而施行所述噴嘴面的洗凈之后，將附著于噴墨噴頭的噴嘴及其周邊的洗凈液利用刮板進(jìn)行刮除等。專利文獻(xiàn)4中揭示有，配向膜的液滴吐出方法，使具有以既定間距排列的多個(gè)噴嘴的噴墨噴頭，對(duì)襯底進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，而從所述噴嘴將配向膜的液滴吐出于所述襯底上的方法，其中，所述噴墨噴頭對(duì)所述襯底相對(duì)移動(dòng)的方向，是對(duì)所述襯底中構(gòu)成格子狀的像素排列方向，呈既定角度傾斜。專利文獻(xiàn)5中揭示有，薄膜形成裝置，包括有分別具有以一定間隔排列的多個(gè)噴嘴，具備有單一或多個(gè)噴墨噴頭的噴頭支撐構(gòu)造體；以及具有在這些多個(gè)噴嘴排列方向的正交方向上，可在這些多個(gè)噴嘴之間進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的襯底搬送平臺(tái)的襯底搬送機(jī)構(gòu)；而從所述多個(gè)噴嘴將薄膜形成用溶液噴射于在所述襯底搬送平臺(tái)上所搭載的襯底表面上，而施行涂布并形成薄膜的非接觸式薄膜形成裝置；其特征在于具備有至少內(nèi)部設(shè)有所述襯底搬送平臺(tái)、噴墨噴頭、及將所述噴頭支撐構(gòu)造體包含于內(nèi)部的作為噴射涂布成膜室的真空糟；以及為了能在減壓環(huán)境下施行噴射涂布成膜，而將所述真空槽內(nèi)部施行減壓的減壓手段。專利文獻(xiàn)6中揭示有，配向膜形成方法，具備有使用噴墨噴嘴將配向膜材料以液滴進(jìn)行滴落，通過(guò)該滴落的液滴圖案，檢查所述噴墨噴嘴異常的檢查步驟；以及當(dāng)在該檢查步驟判斷液滴圖案在既定范圍內(nèi)時(shí)，便使所述噴墨與襯底相對(duì)向，并使用所述噴墨噴嘴將配向膜材料以液滴滴落在該襯底上而成的配向膜的成膜步驟。專利文獻(xiàn)7中揭示有，裝置的制造方法，包括有對(duì)襯底的圖案形成區(qū)域，從液滴吐出噴頭吐出液體材料的步驟的裝置的制造方法；其特征在于包括有對(duì)除所述圖案形成區(qū)域以外的既定區(qū)域吐出所述液體材料的沖洗步驟。專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2004-291364號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2004-42571號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)2002-19132號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)4 :日本特開(kāi)2006-320839號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5 :日本特開(kāi)2006-289355號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6 日本特開(kāi)2006-058772號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)7 :日本特開(kāi)2003-282245號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明所欲解決的問(wèn)題)本發(fā)明的目的在于提供一種可解決后述技術(shù)問(wèn)題的噴墨涂布裝置的清洗方法、噴嘴檢查方法、涂布控制方法、及成膜方法。(解決問(wèn)題的手段)第I發(fā)明是噴墨噴頭的清洗方法，其特征在于，將噴墨噴頭的洗凈區(qū)域，利用具有洗凈液供應(yīng)口與抽吸口的單元構(gòu)件覆蓋，并通過(guò)從抽吸口作用抽吸力，從與抽吸口相對(duì)向的洗凈液供應(yīng)口，朝洗凈區(qū)域噴射洗凈液來(lái)加以洗凈。第2發(fā)明是，在第I發(fā)明中，在所述洗凈后，使噴墨噴頭與單元構(gòu)件僅稍微離開(kāi)，通過(guò)對(duì)單元構(gòu)件作用抽吸力，來(lái)使噴墨噴頭的洗凈區(qū)域干燥。第3發(fā)明是，在第I或2發(fā)明中，洗凈液是使用由具有使液材溶解的因子的溶劑所構(gòu)成的液體。第4發(fā)明是噴墨噴頭的檢查方法，使從噴墨噴頭具有的噴嘴所噴射出的液材，滴落于檢查用構(gòu)件，并根據(jù)滴落的液滴圖案檢查所述噴嘴異常；所述噴墨噴頭的檢查方法的特征在于，所述檢查用構(gòu)件是由液材滴落處與非滴落處的反射率不同的材料來(lái)構(gòu)成。第5發(fā)明是，在第4發(fā)明中，所述檢查用構(gòu)件是由于液材的滴落而溶解的薄膜。第6發(fā)明是噴墨涂布控制方法，其特征在于，在從噴墨噴頭的吐出作業(yè)后，將在噴墨噴頭內(nèi)的流路所填充的吐出用液材替換為低揮發(fā)性替換材料，并在剛要開(kāi)始吐出作業(yè)之前，將替換材料再次替換為吐出用液材。第7發(fā)明是，在第6發(fā)明中，替換材料是使用由具備使液材溶解的因子的溶劑所構(gòu)成的液體。第8發(fā)明是噴墨制膜方法，通過(guò)多個(gè)噴射步驟施行制膜；所述方法的特征在于，等待前一步驟所噴射的工件上液滴干燥至不流動(dòng)的程度之后，將液材噴射向與前一步驟滴落的液材液滴接觸或部分重疊的位置。第9發(fā)明是，在第8發(fā)明中，增加噴射步驟的次數(shù)，并減少每一次的噴射量。第10發(fā)明是，在第8或9發(fā)明中，由膜形成布線圖案。
(發(fā)明效果)(I)關(guān)于噴墨噴頭的清洗，因?yàn)楣伟宓裙腆w物不接觸到噴墨噴頭的噴嘴及其周邊，所以可在不發(fā)生磨損粉塵的情況下，清洗噴墨噴頭。另外，因?yàn)槭褂孟磧粢?，所以在油墨等液材已干燥等情況，仍能以強(qiáng)勁洗凈力進(jìn)行清洗。另外，也具有可縮短作業(yè)時(shí)間，可廉價(jià)制作的特征。(2)能夠以高視覺(jué)識(shí)別性檢測(cè)出噴墨噴頭的噴嘴不良情況，特別是透明液材中能明顯地提高視覺(jué)識(shí)別性。 (3)解決噴墨噴頭的涂布控制問(wèn)題，能進(jìn)行穩(wěn)定的吐出動(dòng)作。特別是對(duì)高揮發(fā)性的液材具更高的效果。(4)在由噴墨的成膜中，相比于現(xiàn)有手法，可縮小整體面的厚度差。


圖Ia為具備有實(shí)施例I的清洗機(jī)構(gòu)的裝置的整體概略俯視圖。圖Ib為具備有實(shí)施例I的清洗機(jī)構(gòu)的裝置的整體概略側(cè)視圖。圖2為表示實(shí)施例I的清洗機(jī)構(gòu)一形態(tài)的概要說(shuō)明圖。圖3為表示實(shí)施例I的清洗機(jī)構(gòu)另一形態(tài)的概要構(gòu)造圖。圖4a為表示實(shí)施例I的洗凈單元的構(gòu)造俯視圖。圖4b為表示實(shí)施例I的洗凈單元的概略構(gòu)造側(cè)面剖視圖。圖5為實(shí)施例I的洗凈單元所施行的洗凈步驟與干燥步驟說(shuō)明圖。圖6為實(shí)施例I的噴墨噴頭的洗凈步驟與干燥步驟流程圖。圖7為實(shí)施例I涉及的噴嘴檢查機(jī)構(gòu)說(shuō)明圖。圖8為表示噴墨噴頭的涂布控制實(shí)施順序的流程圖。圖9為用于說(shuō)明噴墨噴頭動(dòng)作的簡(jiǎn)略化概念構(gòu)造圖。圖10為圖9構(gòu)造中的噴墨噴頭的前處理動(dòng)作說(shuō)明圖。圖11為圖9構(gòu)造中的噴墨噴頭的后處理動(dòng)作說(shuō)明圖。圖12為現(xiàn)有的厚膜形成手法與本發(fā)明的厚膜形成手法的對(duì)比說(shuō)明圖。圖13為由本發(fā)明制膜方法能夠形成的布線圖案。圖14為實(shí)施例2涉及的維護(hù)機(jī)構(gòu)構(gòu)造圖。圖15為表示透視實(shí)施例2的吸取/沖洗單元的側(cè)視圖。圖16為從實(shí)施例2的機(jī)器類所輸出的信號(hào)波形。符號(hào)說(shuō)明2液材3洗凈液4使用過(guò)的洗凈液(廢液)5負(fù)壓6噴嘴7開(kāi)閉機(jī)構(gòu)8信號(hào)產(chǎn)生裝置
9連通構(gòu)件10噴墨噴頭11液材吐出面12a、12b 液材瓶13洗凈液瓶14件平臺(tái)15個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)16操作桌19壓力供應(yīng)泵20洗凈單元21受液部22排放閥
23清洗唇24底部抽吸口25洗凈液供應(yīng)口26洗凈液回收口28開(kāi)口3la、3Ib洗凈液噴嘴電磁閥32a,32b側(cè)噴嘴大氣開(kāi)放閥33供應(yīng)閥34a,34b負(fù)壓用電磁閥35洗凈液供應(yīng)閥36材料切換閥37噴射器38調(diào)節(jié)器40廢液罐41手動(dòng)接頭51開(kāi)閉電磁閥52滿量傳感器61抵接構(gòu)件62框架63支撐構(gòu)件64安裝構(gòu)件66接頭71正式液體72檢查用薄膜73板74攝像裝置75反射照明
76穿透照明77攝像裝置的視野78滴落的正式液體81饋送用輥82卷取用輥101噴墨噴頭控制盒102吸取/沖洗單元 103噴頭蓋單元104影像照相機(jī)105液材切換單元106噴墨控制襯底107液材罐108緊急停止開(kāi)關(guān)109底板110橫梁112各種空壓機(jī)器113儀器盒114控制盒121X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)122Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)123Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)124Θ軸轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)125ΗΘ軸轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)151第一閥152第二閥
具體實(shí)施例方式本發(fā)明以噴墨涂布裝置相關(guān)的下述四個(gè)技術(shù)思想為基礎(chǔ)。(I)清洗方法及機(jī)構(gòu)[i]課題第一技術(shù)思想的課題在于改善在噴墨噴頭的射出面上所附著液滴的去除能力較低情形。另外，因?yàn)楝F(xiàn)有清洗機(jī)構(gòu)的尺寸較大，所以更小型化的目標(biāo)也屬于待解決問(wèn)題。還有，如現(xiàn)有不使用堅(jiān)硬刮板施行清洗也屬待解決問(wèn)題。理由是如果使刮板接觸到噴墨噴頭的噴嘴或其周邊部分，則有產(chǎn)生磨損粉塵的問(wèn)題。如果產(chǎn)生磨損粉塵，則成為噴嘴遭堵塞的原因，有導(dǎo)致周邊環(huán)境遭污染的問(wèn)題。此外，如果有磨損粉塵的產(chǎn)生可能性，則需要在無(wú)塵室內(nèi)使用而受到限制。[ii]主旨為將噴墨噴頭射出面上所附著的液材去除，使所附著的液材與溶解液材的洗凈液(洗凈劑)接觸，利用洗凈液將液材溶解較具效果。另外，在所述射出面上形成將液材射出的射出口，而毫無(wú)遺漏地使其周邊接觸到洗凈液是重要的。對(duì)射出面設(shè)有多個(gè)射出口的噴墨噴頭而言，特別重要。第一技術(shù)思想是從噴墨噴頭射出面一端所供應(yīng)的洗凈液，在所述射出面的表面上流動(dòng)，并從距供應(yīng)洗凈液端最遠(yuǎn)的一端進(jìn)行回收。使用洗凈液從射出面端將在射出面上所附著的液材溶解，同時(shí)流動(dòng)至射出面的相對(duì)向端，由此可無(wú)遺漏且效率佳地將射出面進(jìn)行清洗。優(yōu)選為，從射出面的一端的多個(gè)位置將洗凈液供應(yīng)給射出面，并從相對(duì)向端的多個(gè)位置將洗凈液回收。此處對(duì)供應(yīng)洗凈液的位置數(shù)并不需要與將洗凈液回收的位置數(shù)相同。更優(yōu)選的是，從噴墨噴頭射出面的長(zhǎng)邊方向側(cè)的一端供應(yīng)洗凈液，并從相同射出 面長(zhǎng)邊方向側(cè)的相對(duì)向端將洗凈液回收。理由是可縮短在噴墨射出面上的洗凈液流動(dòng)距離，可提升洗凈效率。根據(jù)具有多個(gè)射出口的噴墨噴頭，對(duì)于尺寸變大的單元也有效。另外，經(jīng)洗凈的射出面因洗凈液而濕潤(rùn)，但為了能縮短等待時(shí)間，最好施行干燥。經(jīng)洗凈的射出面的干燥手段優(yōu)選為自然干燥或吹氣干燥，因?yàn)榭煞乐股涑雒嬖馐芪廴?。如上所述，如果在噴墨噴頭射出面上無(wú)液滴的附著，則提升從噴墨噴頭所射出液滴的量精度及液滴在工件上的滴落位置精度。較佳方式的洗凈液是由具備將油墨溶解的因子的無(wú)色溶劑(例如使油墨溶解的主成分的溶劑)構(gòu)成。但是，一般噴墨打印機(jī)所使用的油墨可分類為染料系或顏料系。所謂“染料”是指利用載體介質(zhì)作為分子進(jìn)行分散或溶合的著色劑。載體介質(zhì)在室溫下呈液態(tài)或固態(tài)。通常所使用的載體介質(zhì)是水、或水與有機(jī)共溶劑的混合物。一般以水為主成分，并在其中含有著色劑、以及為了防止堵塞等情況含有諸如甘油等濕潤(rùn)劑。當(dāng)載體介質(zhì)是使用水的情況，一般此種油墨也出現(xiàn)耐水牢固性偏低的缺點(diǎn)。所謂“顏料”是指雖不溶于載體介質(zhì)中，但以小粒子形態(tài)分散或懸浮，平常為了不致發(fā)生凝聚與沉淀現(xiàn)象，利用分散劑而呈安定化的著色劑。此種化合物多數(shù)為已知，例如存在將有機(jī)顏料或碳黑等顏料使用界面活性劑或分散劑予以微粒子化，并通過(guò)分散于水等介質(zhì)中而作為著色劑使用的顏料油墨等。本技術(shù)思想與染料系或顏料系無(wú)關(guān)均可適用。油墨的黏度以數(shù)十cps程度的低黏度者為主流，但是在可進(jìn)行飛散噴出的前提下，也可適用在數(shù)百cps程度的中黏度以上的情況。另外，本技術(shù)思想還可使用于諸如印刷襯底的布線圖案印刷、對(duì)微小零件施行潤(rùn)滑劑的涂布、或戶外耐光性顯示材料印刷、UV硬化油墨印刷等情況所使用的功能性油墨。[iii]實(shí)施順序噴墨噴頭的清洗是依照Al步驟的順序?qū)嵤?參照?qǐng)D6)。另外，“B.洗凈作業(yè)”以圖3所示構(gòu)造的順序例進(jìn)行說(shuō)明。CL噴墨噴頭對(duì)清洗機(jī)構(gòu)的安置)使噴墨噴頭10與清洗機(jī)構(gòu)的洗凈單元20相抵接。即，使噴墨噴頭10下面，以覆蓋在洗凈單元20中央部呈凹狀設(shè)置的受液部21的方式，抵接于洗凈單元20上面。清洗唇23 (cleaner lip)便成為噴墨噴頭10下面與洗凈單元20上面的接觸面。(B.洗凈作業(yè))I)開(kāi)啟洗凈液噴嘴電磁閥3la、31b，而連通于經(jīng)由該電磁閥3la、3Ib相連接的流路。2)利用側(cè)噴嘴大氣開(kāi)放閥32a、32b阻斷與大氣間的連通，而位于與經(jīng)由該開(kāi)放閥32a、32b相連接流路呈連通狀態(tài)的位置處。(利用開(kāi)放閥32a將洗凈單元20與電磁閥31a相連通,而利用開(kāi)放閥32b將電磁閥31b與排放閥22相連通。)

3)利用排放閥22，使噴射器37、與洗凈單元20的受液部21相連通，并開(kāi)啟負(fù)壓用電磁閥34a、34b。4)利用至所述3)為止的步驟，對(duì)洗凈單元20的流路，由噴射器37產(chǎn)生負(fù)壓，將洗凈液瓶13內(nèi)所儲(chǔ)存的洗凈液供應(yīng)至洗凈單元20。5)供應(yīng)至洗凈單元20的洗凈液，從洗凈液供應(yīng)口 25供應(yīng)于噴墨噴頭10。洗凈液供應(yīng)口 25靠近噴墨10的下面外周形成，從洗凈液供應(yīng)口 25所排出的洗凈液，有效率地供應(yīng)于噴墨噴頭10下面的外周端附近。6)對(duì)噴墨噴頭10下面所供應(yīng)的洗凈液，在噴墨噴頭10下面流動(dòng)，并從與噴墨10下面的洗凈液供應(yīng)側(cè)的相對(duì)向端附近所形成的洗凈液回收口 26，再度回收于洗凈單元20中，或在到達(dá)洗凈液回收口 26之前，離開(kāi)噴墨噴頭10下面，而回收于洗凈單元20的受液部21中。受液部21連通于排放閥22，而排放閥22則位于將經(jīng)由排放閥22的其它流路、與受液部21間的連通阻斷的位置處，因而在受液部21中滯留洗凈液。從洗凈液回收口 26流入于洗凈單元20的洗凈液，經(jīng)由排放閥22及噴射器37而回收于廢液罐40中。7)經(jīng)充分施行洗凈之后，將洗凈液噴嘴3la、3Ib關(guān)閉，并將負(fù)壓用電磁閥34a、34b關(guān)閉，而使側(cè)噴嘴大氣開(kāi)放閥32a、32b位于與大氣相連通的位置。由此，停止洗凈液對(duì)洗凈單元20的供應(yīng)，受液部21的壓力從負(fù)壓變?yōu)榇髿鈮骸?C.噴墨噴頭自清洗機(jī)構(gòu)的脫離)使噴墨噴頭10下面離開(kāi)洗凈單元20上面，在噴墨噴頭10下面與洗凈單元20上面之間形成間隙。該間隙基于后續(xù)要施行的干燥作業(yè)，而設(shè)為產(chǎn)生適當(dāng)氣流的距離。(D.干燥作業(yè))I)為將廢液罐40與洗凈單元20相連通，切換排放閥22，將負(fù)壓用電磁閥34a、34b開(kāi)啟。2)由此，洗凈單元20的受液部21與廢液罐40相連通，且對(duì)受液部21作用負(fù)壓，因此受液部21中所儲(chǔ)存的洗凈液便朝廢液罐40流動(dòng)，而成為廢液的洗凈液由廢液罐40回收。3)另外，在噴墨噴頭10下面與洗凈單元20上面之間設(shè)置間隙，并從所述間隙將抵銷受液部21的負(fù)壓的大氣流入于受液部21中。在該間隙中流動(dòng)的大氣作用為使在噴墨噴頭10下面所附著的洗凈液滴下，而滴下的洗凈液滴落于受液部21，并由廢液罐40回收。另外，也可通過(guò)對(duì)噴墨噴頭10下面與洗凈單元20間的距離調(diào)整，來(lái)調(diào)整氣流(負(fù)壓力)。4)在受液部21中所儲(chǔ)存的洗凈液回收至廢液罐40之后，如果也保持該狀態(tài)，則在所述間隙中流動(dòng)的空氣作用為使噴墨噴頭10下面干燥。在噴墨噴頭10下面形成有射出液材的射出口，因?yàn)榭稍谠撓旅娌粫?huì)接觸到其它物質(zhì)的情況進(jìn)行干燥，所以可將所述射出口保持于極潔凈的狀態(tài)。5)將噴墨噴頭10下面充分干燥后，使負(fù)壓用電磁閥34a、34b動(dòng)作而位于封閉位置，停止洗凈單元20對(duì)受液部21的負(fù)壓供應(yīng)。6)然后，使供應(yīng)閥33產(chǎn)生動(dòng)作，而將噴墨噴頭10與液材供應(yīng)瓶12相連通，將液材流路整合成可將液材供應(yīng)于噴墨噴頭10的狀態(tài)。
[iv]效果根據(jù)如所述所說(shuō)明的第一技術(shù)思想，因?yàn)槔孟磧粢菏┬星逑?，所以不?huì)產(chǎn)生磨損粉塵。另外，因?yàn)槭抢秘?fù)壓的作用來(lái)將洗凈液噴射的原理，所以如果噴墨噴頭未密接洗凈單元?jiǎng)t不供應(yīng)洗凈液。所以，即使萬(wàn)一噴墨噴頭與洗凈單元相離開(kāi)，仍可因?yàn)檎婵掌茐亩Ｖ瓜磧粢旱墓?yīng)，可防止將洗凈液噴出于洗凈單元外的情況發(fā)生。另外，因?yàn)楦稍镒鳂I(yè)也是利用負(fù)壓作用實(shí)施，因此可防止洗凈單元的外部遭受洗凈液的污染。(2)噴嘴檢查方法及機(jī)構(gòu)[i]課題現(xiàn)有的噴墨涂布裝置由于屬于噴墨方式，所以因噴嘴故障、噴嘴朝向、噴嘴被液材阻塞等原因，導(dǎo)致發(fā)生有無(wú)法對(duì)必要處適當(dāng)?shù)赝坎急匾恳旱蔚膯?wèn)題。另外，如專利文獻(xiàn)6所揭示，在檢查用薄膜上滴下液材而實(shí)施的檢查方法中，因?yàn)榻?jīng)滴落后，在到達(dá)影像辨識(shí)照相機(jī)為止，液滴的形狀已崩散，所以即使對(duì)液滴形狀施行影像辨識(shí)，仍無(wú)法精度佳地施行檢查。[ii]主旨第二技術(shù)思想如專利文獻(xiàn)6所揭示，屬于通過(guò)將液材滴下于檢查用構(gòu)件(受滴物)而執(zhí)行噴嘴檢查。不同于專利文獻(xiàn)6之處在于并非著眼于所涂布的液材(液滴)，而是受滴物中有液材涂布的部分與其它部分的對(duì)比。較佳方式的本發(fā)明為，受滴物由具溶解性材質(zhì)的檢查用薄膜構(gòu)成。由此，即使對(duì)視覺(jué)識(shí)別性差的透明液材，該液材所滴落處仍會(huì)溶解，使檢查用薄膜產(chǎn)生渾濁(透明度改變、或呈不透明)。所以，滴落處的視覺(jué)識(shí)別性高，可輕易地檢測(cè)出所滴落之處。特別是使用高透明度液體材料時(shí)的效果更為顯著。液材滴落的受滴物對(duì)應(yīng)射出的液材來(lái)適當(dāng)選擇，重點(diǎn)在于液材滴落部分的反射率會(huì)改變。如果受滴物的滴落處被溶解，則會(huì)因漫反射等而改變反射率，因此可利用影像處理來(lái)高精度地?cái)X取滴落處?？梢允怯傻温涓淖兎瓷渎实氖艿挝锱c液材的組合，也可以是液材滲入受滴物中的方式。液材滲入受滴物中的方式，特別有效的是，不以溶劑作為主成分的液體材料，例如以水為溶劑的液體材料。優(yōu)選為，受滴物在液材滴落的瞬間便迅速溶解(或滲透)。理由是如果滴落于受滴物上面的液材的保持時(shí)間較長(zhǎng)，滴落痕跡直徑會(huì)擴(kuò)大。較佳為，不使用溶解時(shí)擴(kuò)散的材質(zhì)，而使用以貫穿下方的方式溶入(或滲透)材質(zhì)的受滴物。例如以甲苯為溶劑的液體材料，較佳為使用聚苯乙烯系薄膜。較佳為，受滴物厚度設(shè)定為不會(huì)因液材的滴落而溶解達(dá)受滴物背面。較佳為受滴物為透明，但未必一定要透明，也可著色。重點(diǎn)在于滴落部分與非滴落部分的識(shí)別性佳。受滴物當(dāng)然是由單一材料構(gòu)成，但也包括表面經(jīng)涂布、多個(gè)薄膜形成層狀的情況。對(duì)受滴物滴落的液材識(shí)別，可使用諸如CCD照相機(jī)等攝像裝置、激光傳感器等感測(cè)裝置。影像處理為，例如對(duì)包含滴落處的攝像視野影像，施行邊緣擷取或二值化，由此來(lái)擷取滴落處。[iii]實(shí)施順序?qū)娮斓臋z查步驟，以圖7的(a)所示構(gòu)造的順序例進(jìn)行說(shuō)明。I)使卷取用輥82旋轉(zhuǎn)，使新的檢查用薄膜72位于噴墨噴頭10下方。此處，位于噴墨噴頭10下方的檢查用薄膜72是由板73定位，正確地保持與噴墨噴頭10間的距離。2)從噴墨噴頭10中吐出正式液體71，并滴落于檢查用薄膜72上面。由滴落使檢查用薄膜72溶解，而留下滴落的痕跡。3)再使卷取用輥82旋轉(zhuǎn)，而使檢查用薄膜72的滴落位置位于攝像裝置74上方。4)利用攝像裝置74拍攝檢查用薄膜72。另外，攝像裝置74的拍攝，可使檢查用薄膜72停止之后再實(shí)施，也可在使檢查用薄膜72移動(dòng)的狀態(tài)下實(shí)施。5)根據(jù)由攝像裝置74所取得的影像數(shù)據(jù)，檢查噴墨噴頭10的狀態(tài)。從滴落痕的 “脫落”及“直徑”便可檢查堵塞事項(xiàng)，而從滴落位置的偏離便可檢查飛散不良情況。(3)涂布控制方法[i]課題課題為通過(guò)防止噴墨噴頭的噴嘴發(fā)生堵塞等不良情況，來(lái)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定油墨吐出動(dòng)作，而具有所需精度。液材吐出動(dòng)作停止時(shí)，噴墨噴頭的射出口附近的流路干燥，因液材的增黏化、從液材中固體成分的析出而發(fā)生堵塞、吐出液材的飛行彎曲情況，導(dǎo)致有無(wú)法進(jìn)行穩(wěn)定吐出動(dòng)作的問(wèn)題。另外，如果液材的吐出穩(wěn)定性惡化，有無(wú)法制造出要求所需精度產(chǎn)品的問(wèn)題，在量產(chǎn)過(guò)程中，從對(duì)一工件進(jìn)行的吐出作業(yè)起至對(duì)下一個(gè)工件施行吐出作業(yè)為止，必須施行工件搬出、下一工件的搬入/定位、對(duì)準(zhǔn)處理等處理。在此期間，噴墨噴頭不進(jìn)行吐出作業(yè)而必須等待，但卻因等待而導(dǎo)致在噴墨噴頭中所填充的液材容易發(fā)生干燥現(xiàn)象的問(wèn)題。[ii]主旨第三技術(shù)思想的特征在于經(jīng)吐出作業(yè)后，將在噴墨噴頭內(nèi)的流路中所填充的吐出用液材，替換為低揮發(fā)性液材(替換材料)，并在正要開(kāi)始吐出作業(yè)之前，將替換材料再次替換為吐出用液材。此處，替換材料較佳為對(duì)液材具溶解作用的液體、或具洗凈作用的液體。較佳為，在將替換材料填充于噴墨噴頭內(nèi)的流路之后，追加對(duì)形成射出液材的射出口的噴墨噴頭下面施行洗凈的洗凈步驟。經(jīng)過(guò)所述替換材料填充與洗凈步驟的噴墨噴頭，不會(huì)有液材殘留，即便在吐出作業(yè)等待中，仍無(wú)液材增黏化、從液材中析出固體成分的顧慮。所以，可徹底地排除所述問(wèn)題的發(fā)生。根據(jù)本技術(shù)思想，即使因意外的故障等因素導(dǎo)致長(zhǎng)時(shí)間處于吐出作業(yè)等待時(shí)間，仍不致發(fā)生固體成分的析出/固化、噴嘴堵塞情形。還有，因?yàn)橐翰脑谡M(jìn)行吐出作業(yè)之前被填充于噴墨噴頭內(nèi)，因此能夠?qū)⑿迈r液材使用于工件上。[iii]實(shí)施順序涂布作業(yè)以如下順序?qū)嵤?。首先，將在噴墨噴頭下面所裝接的噴頭蓋單元脫離。噴頭蓋單元為可使形成于噴墨噴頭下面的射出口保持潔凈，并防止在與所述射出口相連通的噴墨噴頭內(nèi)的流路中所填充的流體(替換材料)發(fā)生不必要蒸發(fā)，而在涂布作業(yè)等待時(shí)進(jìn)行裝接。在噴頭蓋單元脫離后，便在噴墨噴頭內(nèi)填充射出的液材。該液材填充前的噴墨噴 頭內(nèi)的流路，填充有稱為替換材料的不同于液材的流體物。替換材料如前所說(shuō)明，較佳為具有將液材溶解的作用。這樣，液材填充作業(yè)以吸取/沖洗單元將噴墨噴頭的所述射出口覆蓋,并施加負(fù)壓而抽吸噴墨噴頭內(nèi)的替換材料并排出后,再同樣地利用抽吸動(dòng)作進(jìn)行油墨填充。S卩，所實(shí)施的噴墨噴頭的維護(hù)方法，是以單元構(gòu)件將噴墨噴頭所具有的噴嘴覆蓋，并產(chǎn)生負(fù)壓而抽吸液體的維護(hù)方法；其中設(shè)有將單元構(gòu)件與負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)相連通的廢液罐；與噴墨噴頭連通的低黏性液體儲(chǔ)存部；與噴墨噴頭連通的油墨儲(chǔ)存部；以及使噴墨噴頭擇一地與低黏性液體儲(chǔ)存部或油墨儲(chǔ)存部相連通的液體切換機(jī)構(gòu)；使低黏性液體儲(chǔ)存部與噴墨噴頭相連通，并使單元構(gòu)件產(chǎn)生負(fù)壓，并在噴墨噴頭中填充低黏性液體，后續(xù)使油墨儲(chǔ)存部與噴墨噴頭相連通，并在噴墨噴頭中填充油墨。在噴墨噴頭中填充射出液材之后，將液材射出于工件之外的其它既定位置處，并確認(rèn)是否有確實(shí)射出(虛擬噴射動(dòng)作)。特別是當(dāng)噴墨噴頭設(shè)有多個(gè)射出口的情況，必須確認(rèn)是否從所有的射出口射出液材。在該確認(rèn)作業(yè)中，在沒(méi)有從所有射出口射出液材的情況下，則將在噴墨噴頭中所填充的液材全部排出，并再度填充。以將替換材料替換為液材的方法來(lái)實(shí)施。經(jīng)再填充后，再度施行虛擬噴射動(dòng)作，并確認(rèn)是否從所有的射出口射出液材。如果確認(rèn)已從所有射出口射出液材，則使噴墨噴頭與載置有工件的平臺(tái)進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，并將噴墨噴頭配置于工件上的涂布位置處，實(shí)施涂布作業(yè)。如果既定涂布作業(yè)完成，工件則被排出于通稱卸載機(jī)的工件收納裝置中。在執(zhí)行該工件排出的期間，針對(duì)噴墨噴頭依照所述要領(lǐng)，將在噴墨內(nèi)的流路中所填充的液材排出，并施行填充替換材料的作業(yè)。通過(guò)該項(xiàng)作業(yè),噴墨噴頭的流路內(nèi)的液材被替換為替換材料。當(dāng)替換材料具有將液材溶解作用的情況，即使如果在流路內(nèi)還稍微殘留液材，也會(huì)由于溶解于該填充的替換材料，所以在噴墨噴頭的流路內(nèi)不會(huì)發(fā)生液材固化。替換材料的填充，將噴墨噴頭內(nèi)的流路施行靜態(tài)溶解洗凈。替換材料填充作業(yè)完成后，將噴墨噴頭下面施行清洗。較佳為，清洗利用在所述第一技術(shù)思想中所說(shuō)明的使用洗凈液的手法實(shí)施。如果已完成至噴嘴清洗，則噴墨噴頭內(nèi)部外部均被洗凈，而成為無(wú)液材附著的潔凈狀態(tài)。待清洗已完成后，在噴嘴單元下面裝接噴頭蓋單元，從而防止替換材料的揮發(fā)。對(duì)每個(gè)工件重復(fù)實(shí)施以上的步驟。⑷成膜方法
[i]課題現(xiàn)有使用噴墨的成膜法有下述兩個(gè)問(wèn)題。其一是高度方向(膜厚)的問(wèn)題，另一是水平方向的問(wèn)題。前者是無(wú)法解決成膜面的端部周邊出現(xiàn)壟起的咖啡潰現(xiàn)象(coffeestain phenomenon)，導(dǎo)致無(wú)法成膜為均勻膜厚的問(wèn)題。后者是在成膜面的端部(邊緣)發(fā)生滲散情形，導(dǎo)致無(wú)法形成清晰邊緣線的問(wèn)題。專利文獻(xiàn)4中揭示有為解決液滴間相連而形成一體導(dǎo)致配向膜膜厚形成不均勻的問(wèn)題，使襯底呈既定角度傾斜，但是還沒(méi)有徹底解決膜厚不均勻的問(wèn)題。另外，咖啡潰現(xiàn)象是在低黏度的溶液出現(xiàn)的現(xiàn)象，成為液晶顯示組件的配向膜致命問(wèn)題。配向膜的情況下，因?yàn)橹鞒煞旨淳埘啺份^不易溶解，所以大量使用溶解材料的Y-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯啶酮或丁基賽珞蘇等，并以低黏度施行噴射涂布，因而將容易發(fā)生咖啡潰現(xiàn)象。 [ii]主旨發(fā)明者發(fā)現(xiàn)如果以不會(huì)發(fā)生液體流動(dòng)的方式施行涂布，則可進(jìn)行整體均勻膜厚的成膜；以及發(fā)現(xiàn)如果從噴墨噴頭吐出并滴落于工件表面上的多個(gè)液滴間相結(jié)合，邊緣線將出現(xiàn)滲漏情形，由此創(chuàng)作出第四技術(shù)思想。第四技術(shù)思想的特征在于利用噴墨噴頭的第一射出動(dòng)作射出于工件上之后，當(dāng)對(duì)經(jīng)該射出所滴落的液材液滴的接觸位置或重疊位置進(jìn)行射出時(shí)，等待直到工件上的液滴呈不流動(dòng)程度的干燥狀態(tài)(包括物質(zhì)停止移動(dòng)的半干燥狀態(tài)在內(nèi))，然后才施行射出。如此，如果在利用第一射出動(dòng)作朝工件上所射出的第一液滴的干燥后，在第二射出動(dòng)作以后的也朝第一液滴的接觸位置或重疊位置射出時(shí)，第二射出動(dòng)作以后的液滴在工件上仍不會(huì)出現(xiàn)流體性結(jié)合情形。即，因?yàn)橛傻谝簧涑鰟?dòng)作所射出的液滴(第一液滴)呈干燥狀態(tài)，所以不會(huì)出現(xiàn)因第二射出動(dòng)作以后所射出液滴(第二液滴)的接觸，而發(fā)生所謂液滴間結(jié)合而形成為一液滴現(xiàn)象的流體結(jié)合情形。另一方面，當(dāng)如現(xiàn)有在第一液滴與第二液滴出現(xiàn)流體性結(jié)合的情況下，因?yàn)楦黠@地出現(xiàn)咖啡潰現(xiàn)象，因而相比于中央處的膜厚，膜邊緣部的膜厚增厚。即，相比于結(jié)合前的一液滴中央處膜厚、與邊緣處膜厚間的厚度差，由液滴間相結(jié)合而形成的液滴中央處膜厚與邊緣處膜厚間的厚度差變?yōu)楦?。但是，?dāng)液滴間相結(jié)合并形成單一液滴的情況，因?yàn)橐蛞翰牡牧鲃?dòng)而形成高度均勻化，因而經(jīng)結(jié)合后，不可能視覺(jué)識(shí)別該接觸區(qū)域或重疊區(qū)域。針對(duì)此點(diǎn)，本技術(shù)思想中，因?yàn)樵诿恳淮紊涑鰟?dòng)作時(shí)均干燥且形成膜，所以相比于現(xiàn)有產(chǎn)生流體結(jié)合的手法，面的整體厚度差可縮小。圖12是膜形成中現(xiàn)有射出方法與本發(fā)明方法的比較圖。圖12中，上圖(a)表示朝工件上射出的液材相結(jié)合而呈一樣的現(xiàn)有方法，下圖(b)表示在工件上由第一射出所射出第一液滴群的各液滴，與相鄰接的其它液滴離開(kāi)而配置，然后再以埋藏各液滴間隙的方式射出的具體的膜形成方法例。下圖(b)中，施行相對(duì)第一液滴群的射出位置朝右側(cè)射出的第二射出、相對(duì)第一液滴群的射出位置朝下側(cè)射出的第三射出、相對(duì)第一液滴群的射出位置朝右斜下側(cè)射出的第四射出。此處，在第二射出、第三射出、第四射出以后的射出中，當(dāng)然也是分別在干燥至由前一步驟射出所形成液滴的流動(dòng)受抑制的程度的狀態(tài)之后，才施行下一步驟的射出。而且，本技術(shù)思想當(dāng)然并不僅局限于圖12所例示的射出位置順序。只要是利用多次射出步驟(噴射步驟)，在工件整面上施行均勻涂布的具規(guī)則性射出位置即可。由此，射出步驟的次數(shù)也可在三次以下，也可達(dá)五次以上。如果增加射出步驟的次數(shù)，并減少每單次射出步驟的涂布量，則可縮小工件表面的凹凸。理由是工件表面的凹凸、與涂布量具有相關(guān)聯(lián)關(guān)系。此外，如果減少涂布量，也有縮短干燥時(shí)間的效果。另外，當(dāng)噴墨單元具有多個(gè)射出口的情況，由第一射出動(dòng)作所射出的多個(gè)液滴(第一液滴群)間，在工件上滴落于相離開(kāi)的位置處，液滴間并未相接觸。此情況下，由第二射出動(dòng)作所射出的多個(gè)液滴(第二液滴群)，在第一液滴群干燥至不會(huì)流動(dòng)程度之后才實(shí)施，當(dāng)然也可獲得同樣的效果。工件上的液滴干燥可為自然干燥，但是通過(guò)使載置工件的平臺(tái)溫度上升，則可更迅速地加以干燥。使液滴干燥的溫度根據(jù)液材種類、間距、射出量等條件而適當(dāng)調(diào)整，例如設(shè)定為從實(shí)驗(yàn)環(huán)境溫度(例如15 25°C)至150°C的范圍內(nèi)，較佳為實(shí)驗(yàn)環(huán)境溫度至100°C的范圍內(nèi)，更佳為實(shí)驗(yàn)環(huán)境溫度至50°C的范圍內(nèi)。 另外，關(guān)于使液滴干燥至不會(huì)流動(dòng)程度的干燥時(shí)間，也是根據(jù)平臺(tái)溫度、液材種類、間距、射出量等條件而適當(dāng)調(diào)整，例如最好設(shè)定為從滴落起2(Γ100秒左右。如以上所說(shuō)明的本發(fā)明成膜方法，相比于現(xiàn)有成膜方法，因?yàn)榭蓽p少邊緣部的滲出量，所以可適用于諸如液晶顯示組件的配向膜形成等各種用途。本發(fā)明的成膜方法也適用于如圖13所示在襯底上形成細(xì)微布線圖案。即，現(xiàn)有的成膜方法因?yàn)闈B出量較多，恐將導(dǎo)致布線間出現(xiàn)相連接情況，所以將無(wú)法高密度形成細(xì)微圖案，但是依照本發(fā)明的成膜方法，則能高密度的形成細(xì)微布線。理由是本發(fā)明的成膜方法可大幅減少橫向(水平方向)的擴(kuò)散量(后述實(shí)施例3中，擴(kuò)散量為現(xiàn)有成膜方法的約1/10)。本發(fā)明成膜方法特別適用于膜厚為數(shù)ηπΓ數(shù)十μ m的薄膜形成。另外，本發(fā)明的成膜方法也可輕易地控制膜厚?，F(xiàn)有的成膜方法中，經(jīng)滴落后的液材與下一次射出的液材相結(jié)合，而形成一樣的液滴，并朝橫向(水平方向)擴(kuò)散，所以較難控制膜厚。就此點(diǎn)而言，本發(fā)明的成膜方法是對(duì)經(jīng)滴落后呈不流動(dòng)狀態(tài)的液材，射出下一液材并堆疊，由此增加膜厚，因此通過(guò)控制堆疊次數(shù)便可輕易地控制膜厚。以下，針對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)內(nèi)容利用實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，但是本發(fā)明并不受實(shí)施例的任何限制。[實(shí)施例I]本實(shí)施例的清洗機(jī)構(gòu)具備有洗凈部2，該洗凈部2具有對(duì)噴墨噴頭I噴射出洗凈液12的功能、及噴射出空氣的功能。圖Ia是表示具備本實(shí)施例清洗機(jī)構(gòu)的裝置的整體概略俯視圖，圖Ib是表示該裝置的整體概略側(cè)視圖。本實(shí)施例的裝置是，使噴墨噴頭10、與位于其下方的工件平臺(tái)14進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)施行涂布的噴墨涂布裝置。噴墨噴頭10經(jīng)由Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)123與H Θ軸轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)125而安裝于橫梁110。工件平臺(tái)14是真空吸附式工件平臺(tái)。在工件平臺(tái)14也可附加溫調(diào)操控器。噴墨噴頭10與工件平臺(tái)14的相對(duì)移動(dòng)、以及噴墨噴頭10的清洗等動(dòng)作控制，可由在涂布裝置旁邊所設(shè)置的操作桌16上的個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC) 15執(zhí)行。
圖2是表示本實(shí)施例清洗機(jī)構(gòu)一形態(tài)的概要說(shuō)明圖。圖2中，組件符號(hào)42是來(lái)自CDA (潔凈干燥空氣)的壓縮空氣，組件符號(hào)43是CDA吸入口開(kāi)閉球閥，組件符號(hào)4 4是排氣空氣開(kāi)閉球閥，組件符號(hào)45是排氣過(guò)濾器(操控器)。圖3是表示本實(shí)施例清洗機(jī)構(gòu)另一形態(tài)的概要構(gòu)造圖。洗凈單元20是用以在噴墨噴頭10洗凈時(shí)，防止洗凈液飛散于周邊用的零件。洗凈單元20是構(gòu)成將噴墨噴頭10的噴嘴面及其周邊從下方覆蓋的開(kāi)口箱型等形狀。洗凈單元20，由于必須使用考慮到洗凈液等耐藥性的材質(zhì)，因而使用例如不銹鋼、鐵氟龍(注冊(cè)商標(biāo))等構(gòu)成。洗凈液用于將在噴墨噴頭10的噴嘴面與其周邊所附著的油墨完全沖洗掉，因而使用具備將油墨溶解的因子的無(wú)色溶劑(使油墨溶解的主成分的溶劑)。圖4a是表示洗凈單元20的構(gòu)造俯視圖，圖4b是表示洗凈單元20的概略構(gòu)造側(cè)面剖視圖。洗凈單元20，在抵接于噴墨噴頭10的清洗唇23中央處設(shè)置開(kāi)口 28，并在長(zhǎng)邊的緣部將多個(gè)洗凈液供應(yīng)口 25與多個(gè)洗凈液回收口 26相對(duì)向設(shè)置。圖5的(a)是清洗時(shí)的說(shuō)明圖。如該圖所示，洗凈單元20抵接于噴墨噴頭10，洗凈液從洗凈液供應(yīng)口 25朝噴墨噴頭10下面的外周端附近噴射，并從洗凈液回收口 26及受液部21進(jìn)行回收，由此施行清洗。圖5的(b)是干燥時(shí)的說(shuō)明圖。如該圖所示，待清洗結(jié)束后，使噴墨噴頭10與洗凈單元20稍微(例如3mm)離開(kāi),利用在這些間隙中流動(dòng)的大氣,將在噴墨噴頭10上所附著的洗凈液吹飛，而使噴墨噴頭10及洗凈單元20干燥。洗凈單元20設(shè)有底部抽吸口 24，而所抽吸的廢液儲(chǔ)存于廢液罐40中。以上所概略說(shuō)明的本實(shí)施例噴墨噴頭10的洗凈步驟及干燥步驟的流程圖，如圖6所示。但是，當(dāng)使洗凈單元20內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓情況時(shí)，噴墨噴頭10下面(噴頭面)與洗凈單元20間的密接性就很重要。此處，當(dāng)洗凈單元20對(duì)噴頭面的傾斜較大，則有產(chǎn)生間隙的問(wèn)題。因此，本實(shí)施例中，通過(guò)可追蹤噴頭面傾斜的構(gòu)造，能夠確保洗凈單元20的密接性與密封性。即，通過(guò)將支撐洗凈單元20的支撐構(gòu)件以軟化彈性體構(gòu)成，就具有可追蹤噴頭面傾斜的自由度，可維持密封性。另外，洗凈單元20設(shè)有使其抵接或不抵接于噴墨噴頭10的開(kāi)閉機(jī)構(gòu)。開(kāi)閉機(jī)構(gòu)可采用一般使用作為升降用的諸如手動(dòng)式、滾珠螺桿式、線性式等移動(dòng)平臺(tái)而構(gòu)成，例如公知的移動(dòng)平臺(tái)制造商有駿河精機(jī)公司制、THK公司制。(噴嘴檢查機(jī)構(gòu))本實(shí)施例的噴嘴檢查機(jī)構(gòu)如圖7所示構(gòu)成。首先，使噴墨噴頭10朝配置檢查用薄膜的檢查區(qū)域移動(dòng)。在檢查區(qū)域中，對(duì)噴墨噴頭10所具有的各噴墨噴嘴狀態(tài)進(jìn)行檢查。在檢查區(qū)域中，設(shè)置有以橫切噴墨噴頭10下方的方式進(jìn)行移動(dòng)的透明檢查用薄膜72。檢查用薄膜72是對(duì)正式液體71具溶解性的薄膜。檢查用薄膜72是由饋送用輥卷取呈卷筒狀，通過(guò)卷取用輥的卷取，能夠經(jīng)常將新的檢查用薄膜72用于檢查。來(lái)自噴墨噴頭10的滴落液滴由攝像裝置74進(jìn)行攝像。攝像裝置74可由一般現(xiàn)有的CCD照相機(jī)等構(gòu)成。圖7的(a)表示攝像裝置由兩臺(tái)影像辨識(shí)照相機(jī)(區(qū)域傳感器)構(gòu)成的方式，圖7的(b)表示攝像裝置74由線傳感器構(gòu)成的方式。圖7的(b)中，通過(guò)合并使用反射照明75與穿透照明76來(lái)提高辨識(shí)性。不管選擇何種方式均屬于設(shè)計(jì)事項(xiàng)，根據(jù)檢查用薄膜72的寬度、檢測(cè)精度等要素來(lái)決定。檢查用薄膜72中，在沒(méi)有正式液體71的滴落的情況、或滴落位置發(fā)生偏離既定位置的情況下，噴嘴檢查機(jī)構(gòu)則視為出現(xiàn)噴嘴堵塞等故障，并顯示出錯(cuò)誤信息。圖9是表示噴墨噴頭10的動(dòng)作說(shuō)明的簡(jiǎn)略化概念構(gòu)造圖。如圖9所示，噴墨噴頭10經(jīng)由液材切換單元105，能夠選擇性地連通正式液體(射出的液材)與洗凈液。在工件平臺(tái)側(cè)面內(nèi)側(cè)配置三個(gè)單元。所配置的三個(gè)單元，在圖9中從左側(cè)朝右側(cè)依序?qū)娔珖婎^流路內(nèi)的液材替換為替換材料、或是產(chǎn)生用以將替換材料替換為液材用負(fù)壓的吸取/沖洗單元102、將噴嘴下面施行洗凈的洗凈單元20、將噴嘴下面進(jìn)行封蓋的噴頭 蓋單元103。圖10是圖9構(gòu)造的噴墨噴頭10的前處理動(dòng)作說(shuō)明圖。針對(duì)圖10所示六個(gè)分圖進(jìn)行說(shuō)明。而且，切換單元105中，實(shí)線表示連通狀態(tài)，虛線表示阻斷狀態(tài)。[10-1]表示在噴墨噴頭10下面安裝噴頭蓋單元103，且利用切換單元與洗凈液相連通狀態(tài)的圖。屬于涂布作業(yè)等待時(shí)的狀態(tài)。[10-2]表示為進(jìn)行涂布作業(yè)，而從噴墨噴頭10將噴頭蓋單元103脫離的狀態(tài)的圖。切換單元105位于將噴墨噴頭10與洗凈液相連通的位置。[10-3]表示噴墨噴頭10安置于吸取/沖洗單元102的狀態(tài)的圖。[10-4]將噴墨噴頭10安置于吸取/沖洗單元102之后，利用切換單元105切換成液材與噴墨噴頭10相連通的位置。然后，通過(guò)對(duì)吸取/沖洗單元102作用負(fù)壓，而進(jìn)行噴墨噴頭10內(nèi)的液體替換動(dòng)作(填充動(dòng)作)。[10-5]表示將液材填充于噴墨噴頭10流路內(nèi)之后，在吸取/沖洗單元102上施行虛擬噴射動(dòng)作的圖。該虛擬噴射并非利用諸如攝像裝置或感測(cè)裝置，確認(rèn)是否有從噴墨噴頭10確實(shí)射出液材的作業(yè)，而是在將噴墨噴頭10流路內(nèi)的液材進(jìn)行正式射出作業(yè)前所施行的預(yù)備流動(dòng)作業(yè)。當(dāng)施行用以進(jìn)行噴嘴檢查的確認(rèn)作業(yè)時(shí)，較佳為事先施行預(yù)備流動(dòng)作業(yè)。當(dāng)然，通過(guò)確認(rèn)作業(yè)中的射出，也可兼具預(yù)備流動(dòng)作業(yè)。[10-6]表示在使噴墨噴頭10進(jìn)行移動(dòng)的情況下，施行涂布作業(yè)的狀態(tài)的圖。圖11是圖9構(gòu)造的噴墨噴頭10的后處理動(dòng)作說(shuō)明圖。針對(duì)圖11所示的六個(gè)分圖進(jìn)行說(shuō)明。[11-1]表示待涂布作業(yè)結(jié)束后噴墨噴頭10移動(dòng)至吸取/沖洗單元102上的狀態(tài)的圖。[11-2]表示將噴墨噴頭10安置于吸取/沖洗單元102，液材切換單元105切換成噴墨噴頭10與洗凈液相連通位置的狀態(tài)的圖。[11-3]表示待噴墨噴頭10內(nèi)的液體替換作業(yè)結(jié)束，噴墨噴頭10脫離吸取/沖洗單元102的狀態(tài)的圖。[11-4]表示將噴墨噴頭10安置于洗凈單元20，并施行洗凈作業(yè)的圖。液材切換單元105保持于將噴墨噴頭10與洗凈液相連通的位置處。[11-5]表示在洗凈步驟后，噴墨噴頭10移至噴頭蓋單元103上的圖。
[11-6]表示在噴墨噴頭10下面裝接有噴頭蓋單元103的圖。通過(guò)噴頭蓋單元103的裝接，射出口保持潔凈，且可防止在噴墨噴頭10內(nèi)的流路中所填充的替換材料發(fā)生不必要的蒸發(fā)。[實(shí)施例2]圖14表示本實(shí)施例噴墨涂布裝置的維護(hù)機(jī)構(gòu)構(gòu)造圖。噴墨噴頭10，具有多個(gè)噴嘴6，將由連通構(gòu)件9連通的第一罐12中所儲(chǔ)存的油墨2吐出來(lái)施行打印等。噴墨噴頭10的維護(hù)是將噴嘴6利用吸取/沖洗單元102覆蓋，并使吸取/沖洗單元102內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓，并將所抽吸的油墨等，排放于由連通構(gòu)件9來(lái)與吸取/沖洗單元102連通的廢液罐40中。吸取/沖洗單元102與噴墨噴頭10間的抵接，由開(kāi)閉機(jī)構(gòu)7自動(dòng)地實(shí)施。開(kāi)閉機(jī)構(gòu)7可以是使噴墨噴頭10進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，也可以是使吸取/沖洗單元102進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。另外，依照產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，也可構(gòu)成以手動(dòng)進(jìn)行吸取/沖洗單元102開(kāi)閉。
本實(shí)施例的維護(hù)機(jī)構(gòu)在所述現(xiàn)有構(gòu)造追加，利用連通構(gòu)件9來(lái)與噴墨噴頭10而相連通的第二罐13、以及擇一地切換噴墨噴頭10與第一罐12或第二罐13間的連通的液體切換單元105。在第二罐13中儲(chǔ)存有在開(kāi)始維護(hù)時(shí)最先流入的低黏性液體的洗凈液3。本實(shí)施例中，洗凈液3使用將油墨2溶解的溶劑。由此，即使油墨2在流路內(nèi)出現(xiàn)凝固的情況也可溶解。另外，如圖15所示，本實(shí)施例的吸取/沖洗單元102構(gòu)成具有可追蹤噴頭面傾斜的自由度。抵接于噴頭面的抵接構(gòu)件21，是由硬化彈性體的蕭氏A硬度4(Γ80度(較佳為5(Γ70度)(JIS Κ6253規(guī)格)的橡膠構(gòu)成，利用黏接或螺固等方式裝接于框架62上面?？蚣?2是由以黏接或螺固等方式固接且以軟化彈性構(gòu)件(例如橡膠或彈簧)構(gòu)成的支撐構(gòu)件63支撐。支撐構(gòu)件63為了可追蹤噴墨噴頭I的噴嘴面安裝誤差(三維的傾斜)，也可穿透深度達(dá)40 80 (較佳50 70度)。支撐構(gòu)件63固接于板狀安裝構(gòu)件64。在框架62的底面部配設(shè)可將至少一個(gè)以上的抽吸用貫穿孔即底部抽吸口 24、與連通構(gòu)件9相連接的接頭66。根據(jù)所述所構(gòu)成的本實(shí)施例吸取/沖洗單元102，可在不受噴嘴面傾斜影響下，確保完全的密接性與密封性。本實(shí)施例的負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)由信號(hào)產(chǎn)生裝置8、壓力供應(yīng)泵19、調(diào)節(jié)器38、及噴射器37構(gòu)成，并經(jīng)由廢液罐40連通于吸取/沖洗單元102。另外，負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)中也可附加可吸收空氣聲的消音器。信號(hào)產(chǎn)生裝置8能夠設(shè)定并登錄多個(gè)圖案時(shí)間與電壓信號(hào)波形，且從多個(gè)登錄的圖案中僅選擇、輸出任一圖案。調(diào)節(jié)器38可對(duì)應(yīng)信號(hào)產(chǎn)生裝置8的信號(hào)波形電壓，進(jìn)行壓力供應(yīng)。信號(hào)產(chǎn)生裝置8也可由例如脈沖產(chǎn)生器、PC等構(gòu)成。噴射器37可對(duì)應(yīng)從調(diào)節(jié)器38所供應(yīng)的壓力來(lái)產(chǎn)生負(fù)壓。調(diào)節(jié)器38與噴射器37可由市售空壓機(jī)器構(gòu)成。即使不對(duì)由調(diào)節(jié)器38與由噴射器37所產(chǎn)生的負(fù)壓進(jìn)行控制，也可以是在從調(diào)節(jié)器38保持一定壓力的情況下，通過(guò)對(duì)在噴射器37的廢棄側(cè)所設(shè)置節(jié)流閥的節(jié)流量進(jìn)行調(diào)整，來(lái)進(jìn)行負(fù)壓的控制。
本實(shí)施例的負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，特征在于使吸取/沖洗單元102內(nèi)所產(chǎn)生的負(fù)壓緩和地回復(fù)至大氣壓。即，本實(shí)施例通過(guò)發(fā)出預(yù)設(shè)信號(hào)波形的信號(hào)產(chǎn)生裝置8，使吸取/沖洗單元102內(nèi)的負(fù)壓緩和地產(chǎn)生變化，由此可防止氣泡的再混入。設(shè)定的信號(hào)波形在使吸取/沖洗單元102內(nèi)的負(fù)壓緩和變化的前提下，可為直線性、也可為曲線性、也可為細(xì)微階段性變化的信號(hào)波形。曲線性波形有如圖16所示的Sin波形。如圖16的(a)所示，如果將從信號(hào)產(chǎn)生裝置8所輸出的信號(hào)波形設(shè)為Sin波形，則從調(diào)節(jié)器38所供應(yīng)的壓力如圖16的(b)所示變化，而噴射器37的負(fù)壓如圖16的(c)所示，可防止對(duì)噴墨噴頭10的噴嘴6前端的半月板施加振動(dòng)。本實(shí)施例的涂布控制方法，依照?qǐng)D8中左圖流程圖所示的順序?qū)嵤?。首先，將液材涂布裝置的電源開(kāi)啟(開(kāi)始)，液材涂布裝置執(zhí)行 起始化動(dòng)作(初期動(dòng)作)。然后，設(shè)定所生產(chǎn)產(chǎn)品(品種)的相關(guān)裝置參數(shù)(數(shù)據(jù)設(shè)定)。該裝置參數(shù)是諸如工件尺寸、涂布區(qū)域、射出條件等。如果這些設(shè)定完成，則完成執(zhí)行生產(chǎn)的準(zhǔn)備。接著，將工件從通稱裝載機(jī)的工件供應(yīng)裝置中，供應(yīng)于液材涂布裝置的平臺(tái)。在平臺(tái)上所載置的工件，在定位于平臺(tái)上后，確認(rèn)工件上的涂布位置，并對(duì)液材涂布裝置與工件上的涂布位置的相對(duì)位置偏差進(jìn)行校正(對(duì)準(zhǔn))。該項(xiàng)校正是實(shí)施，對(duì)工件位置利用CCD照相機(jī)等攝像裝置、及對(duì)所拍攝影像施行影像處理。此時(shí)，除進(jìn)行使平臺(tái)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的物理校正夕卜，也進(jìn)行機(jī)器人移動(dòng)相關(guān)程序的坐標(biāo)位置校正的程序校正。通過(guò)施行至此的處理，就完成了為了對(duì)在裝置平臺(tái)上已定位的工件上的既定涂布位置正確地施行涂布的準(zhǔn)備。如果以上的校正處理結(jié)束，則開(kāi)始進(jìn)行涂布作業(yè)。[實(shí)施例3]本實(shí)施例的成膜方法是，經(jīng)干燥至所滴落的液滴不流動(dòng)程度之后，才射出下一個(gè)液滴，并通過(guò)滴落而形成膜的噴墨涂布方法。液材使用聚酰亞胺溶液，襯底使用玻璃襯底。聚酰亞胺溶液用以形成半導(dǎo)體絕緣層、液晶面板絕緣膜。玻璃襯底為了干燥所滴落液材至不會(huì)流動(dòng)程度，而載置于可進(jìn)行溫度調(diào)整的平臺(tái)上。[比較例]利用現(xiàn)有噴墨涂布方法，對(duì)25mm角的涂布區(qū)域，以30pl/滴、70微米間距施行涂布后，出現(xiàn)下述狀況。(A)橫向(水平方向)相對(duì)于規(guī)定的涂布區(qū)域，外圍擴(kuò)散O. 5^1. Omm程度。(B)縱向(高度方向)涂布區(qū)域中央部為8(T85nm，邊緣部則為IOOOnm左右的高度。[實(shí)施例3]由本實(shí)施例的噴墨涂布方法，同樣地對(duì)25mm方塊的涂布區(qū)域，以8pl/滴、四次噴射、70微米間距施行涂布后，出現(xiàn)如下述狀況。(A)橫向(水平方向)相對(duì)于規(guī)定的涂布區(qū)域，外圍擴(kuò)散O. 05、· Imm程度。(B)縱向(高度方向)涂布區(qū)域中央部為80nnTl00nm，邊緣部則為80nnTl00nm左
右的高度。如上所述，可確認(rèn)到本實(shí)施例的成膜方法相比于比較例所示現(xiàn)有成膜方法，實(shí)現(xiàn)有益的效果。更具體而言，可確認(rèn)到本實(shí)施例的方法可實(shí)現(xiàn)減少在膜上所形成的凹凸，減少膜整面的高低差，還實(shí)現(xiàn)邊緣部滲出量也減少的效果。
(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)本發(fā)明并不僅局限于噴墨打印機(jī)，還可適用于精密噴霧/注入裝置(包括涂布裝置在內(nèi))、精密涂布裝置等各種噴墨記錄。也可適用于噴墨式圖案化，例如有機(jī)EL顯示面板、大型彩色面板的印刷、工業(yè)用標(biāo)記圖等用途的涂布裝置/描繪裝置/印刷裝置。關(guān)于噴墨記錄方法也是不論壓電式等機(jī)械轉(zhuǎn)換方式、或電阻熱噴射式等氣泡產(chǎn)生方式均可適用。另外，也可利用于透鏡制造業(yè)界的透鏡著色步驟、或大型印刷產(chǎn)業(yè)的海報(bào)與建材裝飾方面。權(quán)利要求
1.一種噴墨噴頭的檢查方法，使從噴墨噴頭具有的噴嘴所噴射出的液材，滴落于檢查用構(gòu)件，并根據(jù)滴落的液滴圖案檢查所述噴嘴的異常；所述噴墨噴頭的檢查方法特征在于， 所述檢查用構(gòu)件是由液材的滴落處的反射率變化的材質(zhì)所構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的噴墨噴頭的檢查方法，其特征在于，所述檢查用構(gòu)件是由由于液材的滴落而溶解的材質(zhì)構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴墨噴頭的檢查方法，其特征在于，所述檢查用構(gòu)件是由滴落的液材滲入的材質(zhì)構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴墨噴頭的檢查方法，其特征在于，所述檢查用構(gòu)件是薄膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴墨噴頭的檢查方法，其特征在于，所述檢查用構(gòu)件是薄膜?！?br> 6.一種噴墨噴頭的檢查裝置，使從噴墨噴頭具有的噴嘴所噴射出的液材，滴落于檢查用構(gòu)件，并根據(jù)滴落的液滴圖案檢查所述噴嘴的異常；所述噴墨噴頭的檢查裝置的特征在于， 由如下構(gòu)成檢查用構(gòu)件；對(duì)向檢查用構(gòu)件滴落的液材進(jìn)行識(shí)別的攝像裝置或感測(cè)裝置；從包含滴落處的攝像視野影像中擷取滴落處的影像處理裝置， 所述檢查用構(gòu)件由液材滴落處的反射率變化的材質(zhì)構(gòu)成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴墨噴頭的檢查裝置，其特征在于，進(jìn)一步具備檢查用構(gòu)件卷取用輥。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的噴墨噴頭的檢查裝置，其特征在于，所述檢查用構(gòu)件是由由于液材的滴落而溶解的材質(zhì)構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的噴墨噴頭的檢查裝置，其特征在于，所述檢查用構(gòu)件是由滴落的液材滲入的材質(zhì)構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的噴墨噴頭的檢查裝置，其特征在于，所述檢查用構(gòu)件是薄膜。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴墨噴頭的檢查裝置，其特征在于，所述檢查用構(gòu)件是薄膜。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的噴墨噴頭的檢查裝置，其特征在于，所述檢查用構(gòu)件是薄膜。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種噴墨噴頭的檢查方法及裝置。所述噴墨噴頭的檢查方法，使從噴墨噴頭具有的噴嘴所噴射出的液材，滴落于檢查用構(gòu)件，并根據(jù)滴落的液滴圖案檢查所述噴嘴的異常；所述噴墨噴頭的檢查方法特征在于，所述檢查用構(gòu)件是由液材的滴落處的反射率變化的材質(zhì)所構(gòu)成。所述噴墨噴頭的檢查裝置，使從噴墨噴頭具有的噴嘴所噴射出的液材，滴落于檢查用構(gòu)件，并根據(jù)滴落的液滴圖案檢查所述噴嘴的異常；所述噴墨噴頭的檢查裝置的特征在于由如下構(gòu)成檢查用構(gòu)件；對(duì)向檢查用構(gòu)件滴落的液材進(jìn)行識(shí)別的攝像裝置或感測(cè)裝置；從包含滴落處的攝像視野影像中擷取滴落處的影像處理裝置，所述檢查用構(gòu)件由液材滴落處的反射率變化的材質(zhì)構(gòu)成。
文檔編號(hào)B41J2/01GK102717597SQ20121018
公開(kāi)日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2008年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月21日
發(fā)明者生島和正 申請(qǐng)人:武藏工業(yè)株式會(huì)社