平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)及噴墨打印機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)，更確切地說，是一種用于噴墨打印技術(shù)的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)，以及應(yīng)用所述平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)的噴墨打印機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前業(yè)界傳統(tǒng)實(shí)現(xiàn)壓力腔的結(jié)構(gòu)有兩種:
如圖1所示的一種現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，其主要特點(diǎn)為頂部材質(zhì)與墻體材質(zhì)不同，其實(shí)現(xiàn)工藝較復(fù)雜，很難用常規(guī)的MEMS方法進(jìn)行批量制造。此結(jié)構(gòu)首先通過光刻的方式形成壓力腔的外形，再將已進(jìn)行激光打孔形成噴孔的聚酰亞胺(polyimide)薄膜通過對(duì)位的方式粘貼到墻體的頂部。此結(jié)構(gòu)的缺點(diǎn)是:
1、聚酰亞胺(polyimide)薄膜在對(duì)位粘貼時(shí)存在對(duì)位誤差，噴孔偏離目標(biāo)位置。
[0003]2、聚酰亞胺(polyimide)薄膜貼附于墻體頂部時(shí)，聚酰亞胺(polyimide)薄膜的黏附均勻性以及粘著力的大小會(huì)存在偏差。
[0004]如圖2所示的另一種現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，其主要特點(diǎn)為頂部材質(zhì)與墻體材質(zhì)相同，但是噴孔層的上表面不平整，相鄰噴孔之間易造成油墨和其他污染物的累積，并且在噴孔擦洗過程中造成噴孔污染或堵塞。此結(jié)構(gòu)采用MEMS集成的方法，首先用有機(jī)犧牲材料形成壓力腔的外形，然后通過沉積的方式(PECVD )將無(wú)機(jī)材料(s 1 2)覆蓋在有機(jī)犧牲材料壓力腔外形的四周，形成壓力腔的墻體和頂部，之后再用光刻及干法刻蝕的方法在壓力腔頂部形成噴孔，最后通過干法刻蝕(氧洗)的方式將有機(jī)犧牲材料去除，形成壓力腔。此結(jié)構(gòu)的缺點(diǎn)是:
1、壓力腔之間會(huì)形成凹槽，容易造成油墨和其他污染物的累積，在噴孔擦洗過程中會(huì)造成噴孔污染或堵塞。
[0005]2、此種結(jié)構(gòu)的壓力腔墻體很薄，此結(jié)構(gòu)在噴頭擦洗過程中易受損傷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明提供一種表面平整不會(huì)累積污染物、堅(jiān)固且易批量制造的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)，從而解決業(yè)界傳統(tǒng)壓力腔形成技術(shù)所存在的的技術(shù)問題。
[0007]本發(fā)明的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的:
一種平整噴孔薄膜層結(jié)構(gòu)，包含一基底，所述的基底上設(shè)有若干進(jìn)墨通道，所述的基底的表面平整地覆蓋一薄膜層，在所述薄膜層的內(nèi)部設(shè)有若干壓力腔，所述的壓力腔與進(jìn)墨通道一一對(duì)應(yīng)并相互連通，所述薄膜層的表面還設(shè)有若干噴孔，所述噴孔與壓力腔一一對(duì)應(yīng)并相互連通。
[0008]作為本發(fā)明較佳的實(shí)施例，所述的壓力腔之間設(shè)有隔層。
[0009]作為本發(fā)明較佳的實(shí)施例，所述的薄膜層由有機(jī)材料制成。
[0010]作為本發(fā)明較佳的實(shí)施例，所述的薄膜層由高分子化合物或氟化物制成。
[0011]本發(fā)明還提供一種噴墨打印機(jī)，所述噴墨打印機(jī)包括平整噴孔薄膜層結(jié)構(gòu)，所述平整噴孔薄膜層結(jié)構(gòu)包括基底，所述的基底上設(shè)有若干進(jìn)墨通道，所述的基底的表面平整地覆蓋一薄膜層，在所述薄膜層的內(nèi)部設(shè)有若干壓力腔，所述的壓力腔與進(jìn)墨通道一一對(duì)應(yīng)并相互連通，所述薄膜層的表面還設(shè)有若干噴孔，所述噴孔與壓力腔一一對(duì)應(yīng)并相互連通。
[0012]由于本發(fā)明的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)的薄膜層整體由有機(jī)材料形成，易于制造且在表面不會(huì)形成凹槽，不會(huì)造成油墨和其他污染物的累積;壓力腔墻體堅(jiān)固不易損壞。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1為目前業(yè)界傳統(tǒng)實(shí)現(xiàn)壓力腔的一種結(jié)構(gòu)；
圖2為目前業(yè)界傳統(tǒng)實(shí)現(xiàn)壓力腔的另一種結(jié)構(gòu)；
圖3為本發(fā)明平整噴孔薄膜層結(jié)構(gòu)不帶隔層的示意圖；
圖4為本發(fā)明平整噴孔薄膜層結(jié)構(gòu)帶隔層的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0016]如圖3所示，一種平整噴孔薄膜層結(jié)構(gòu)I，包含一基底2，所述的基底2上設(shè)有若干進(jìn)墨通道3，所述的基底2的表面平整地覆蓋一薄膜層5，在所述薄膜層5的內(nèi)部設(shè)有若干壓力腔4，所述的壓力腔4與進(jìn)墨通道3—一對(duì)應(yīng)并相互連通，所述薄膜層5的表面還設(shè)有若干噴孔6，所述噴孔6與壓力腔4一一對(duì)應(yīng)并相互連通。
[0017]如圖4所示，所述的壓力腔4之間還可以設(shè)有隔層7。
[0018]薄膜層5由有機(jī)材料制成，優(yōu)選的有機(jī)材料為高分子化合物或氟化物制成。
[0019]本發(fā)明還提供一種噴墨打印機(jī)，所述噴墨打印機(jī)包括平整噴孔薄膜層結(jié)構(gòu)，所述平整噴孔薄膜層結(jié)構(gòu)包括基底，所述的基底上設(shè)有若干進(jìn)墨通道，所述的基底的表面平整地覆蓋一薄膜層，在所述薄膜層的內(nèi)部設(shè)有若干壓力腔，所述的壓力腔與進(jìn)墨通道一一對(duì)應(yīng)并相互連通，所述薄膜層的表面還設(shè)有若干噴孔，所述噴孔與壓力腔一一對(duì)應(yīng)并相互連通。
[0020]由于本發(fā)明的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)的薄膜層整體由有機(jī)材料形成，易于制造且在表面不會(huì)形成凹槽，不會(huì)造成油墨和其他污染物的累積;壓力腔墻體堅(jiān)固不易損壞。
[0021]以上僅僅以一個(gè)實(shí)施方式來說明本發(fā)明的設(shè)計(jì)思路，在系統(tǒng)允許的情況下，本發(fā)明可以擴(kuò)展為同時(shí)外接更多的功能模塊，從而最大限度擴(kuò)展其功能。
[0022]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動(dòng)想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書所限定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)，包含一薄膜層，一基底;所述薄膜層含一上表面和一下表面，所述基底含一上表面和一下表面，所屬薄膜層的下表面與所述基底的上表面連接，其特征在于，所述薄膜層中包含至少一個(gè)噴孔和一個(gè)壓力腔，所述噴孔貫穿所述薄膜層的上表面，所述壓力腔貫穿所述薄膜層的下表面，所述噴孔與壓力腔一一對(duì)應(yīng)并相互連通，所述基底包含至少一個(gè)進(jìn)墨通道，所述進(jìn)墨通道貫穿所述基底的上下表面，所述進(jìn)墨通道與所述壓力腔一一對(duì)應(yīng)且相互連通，所述噴孔之間的薄膜層上表面平整。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)，所述噴孔中心與所述壓力腔中心基本對(duì)齊。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)，所述壓力腔四周的薄膜層之間設(shè)有隔層材料。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)，所述的薄膜層由有機(jī)材料制成。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)，所述的薄膜層由高分子化合物或氟化物制成。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述的隔層材料由無(wú)機(jī)材料制成。7.—種噴墨打印機(jī)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-6任一所述的平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)及應(yīng)用所述平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)的噴墨打印機(jī)，該平整薄膜層噴孔結(jié)構(gòu)包含一基底，基底上設(shè)有若干進(jìn)墨通道，基底的表面平整地覆蓋一薄膜層，在薄膜層的內(nèi)部設(shè)有若干壓力腔，壓力腔與進(jìn)墨通道一一對(duì)應(yīng)并相互連通，薄膜層的表面還設(shè)有若干噴孔，噴孔與壓力腔一一對(duì)應(yīng)并相互連通，壓力腔之間還可以設(shè)有隔層，薄膜層由有機(jī)材料制成。由于本發(fā)明的平整噴孔薄膜層結(jié)構(gòu)的薄膜層整體由有機(jī)材料形成，易于制造且在表面不會(huì)形成凹槽，不會(huì)造成油墨和其他污染物的累積；壓力腔墻體堅(jiān)固不易損壞，更利于批量化生產(chǎn)。
【IPC分類】B41J2/01, B32B3/26, B41J2/14
【公開號(hào)】CN105667090
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610120027
【發(fā)明人】李令英, 宋佳麗, 謝永林
【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所, 蘇州銳發(fā)打印技術(shù)有限公司
【公開日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2016年3月3日