專利名稱：墨路徑結(jié)構(gòu)和包括該墨路徑結(jié)構(gòu)的噴墨頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種墨路徑結(jié)構(gòu)和包括該墨路徑結(jié)構(gòu)的噴墨頭，更具體地講，涉及這樣一種墨路徑結(jié)構(gòu)和包括該墨路徑結(jié)構(gòu)的噴墨頭，在所述墨路徑結(jié)構(gòu)中，構(gòu)成歧管 (manifold)的路徑結(jié)構(gòu)發(fā)生改變，以使墨排出之后所殘留的殘余壓力波衰減。
背景技術(shù)：
通常，噴墨頭具有將電力轉(zhuǎn)換成物理力(physical force)從而通過小噴嘴以液滴形式將墨排出的結(jié)構(gòu)。根據(jù)墨排放類型，噴墨頭主要可分為兩種類型。一種類型是利用熱源來產(chǎn)生氣泡并通過所述氣泡的膨脹力將墨排出的熱驅(qū)動式噴墨頭，而另一種類型是利用壓電材料根據(jù)由于所述壓電材料的變形而施加到墨的壓力將墨排出的壓電式噴墨頭。具體地講，壓電式噴墨頭近來已被廣泛應(yīng)用于工業(yè)噴墨打印機中。例如，噴墨頭已被用于通過將由熔融金屬(例如，金、銀等)制成的墨噴射在柔性印刷電路板(FPCB)上而直接形成電路圖案或用于制造工業(yè)圖形、液晶顯示器(LCD)、有機發(fā)光二極管(OLED)、太陽能電池等。壓電式噴墨頭包括由壓電材料制成的致動器，以通過噴嘴將壓力室中的墨排放到外部。在這種情況下，由致動器所產(chǎn)生的壓力波被傳播到噴嘴而將墨排出。然而，即使在液滴被排出之后，所產(chǎn)生的壓力波也未完全消散。因此，在排放液滴時，壓力波與隨后的壓力波重疊，從而導致液滴的異常排放。換句話說，在用于排出液滴的壓力波將墨排出之后，該壓力波仍然殘留在儲存墨的壓力室中，從而影響隨后的液滴的排放。具體地講，當排放頻率經(jīng)由致動器而上升到預(yù)定頻率或預(yù)定頻率以上時，殘余壓力波的影響更為嚴重，從而使液滴排放速率不穩(wěn)定。因此，迫切需要研究如何在液滴排出之后的短時間內(nèi)去除殘留在壓力室中的殘余壓力波以將墨穩(wěn)定地排出。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一方面提供一種墨路徑結(jié)構(gòu)和包括該墨路徑結(jié)構(gòu)的噴墨頭，所述墨路徑結(jié)構(gòu)能夠通過在短時間內(nèi)使殘留在壓力室中的殘余壓力波衰減來提高墨排放特性。根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種墨路徑結(jié)構(gòu)，所述墨路徑結(jié)構(gòu)包括壓力室，儲存被引入到其中的墨以將該墨排放到噴嘴；路徑，通過在壓力室內(nèi)產(chǎn)生的壓力而將所述墨排出，然后將墨供應(yīng)到壓力室，所述路徑沿著朝向壓力室的方向重復(fù)地擴大和縮小，以使殘留在壓力室中的殘余壓力波衰減。
所述路徑可被形成為具有與所述壓力室對應(yīng)的多條線路，以將墨供應(yīng)到所述壓力室。所述路徑可通過使多個路徑單元互相連通而形成，所述路徑單元包括截面積擴大部分，其截面積沿著朝向壓力室的方向逐漸擴大；截面積縮小部分，其截面積在截面積擴大部分的擴大的一端逐漸縮小。截面積擴大部分和截面積縮小部分可被布置成基于截面積擴大部分和截面積縮小部分之間的分界線彼此對稱。所述路徑可通過沿著路徑方向串聯(lián)地布置所述路徑單元并使所述路徑單元互相連通而形成。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種噴墨頭，所述噴墨頭包括壓力室，儲存被引入到其中的墨以將該墨排放到噴嘴；致動器，位于與壓力室對應(yīng)的外表面上，以將墨的排放驅(qū)動力提供給壓力室；歧管，包括路徑，所述路徑通過由致動器在壓力室內(nèi)產(chǎn)生的壓力而將所述墨排出，然后將墨供應(yīng)到壓力室，所述路徑沿著朝向壓力室的方向重復(fù)地擴大和縮小，以使殘留在壓力室中的殘余壓力波衰減。所述路徑可被形成為具有與所述壓力室對應(yīng)的多條線路，以將墨供應(yīng)到所述壓力室。所述路徑可通過使多個路徑單元互相連通而形成，所述路徑單元包括截面積擴大部分，其截面積沿著朝向壓力室的方向逐漸擴大；截面積縮小部分，其截面積在截面積擴大部分的擴大的一端逐漸縮小。截面積擴大部分和截面積縮小部分可被布置成基于截面積擴大部分和截面積縮小部分之間的分界線彼此對稱。所述路徑可通過沿著路徑方向串聯(lián)地布置所述路徑單元并使所述路徑單元互相連通而形成。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種噴墨頭，所述噴墨頭包括上基底，形成有壓力室，所述壓力室儲存被引入到其中的墨以將該墨排放到噴嘴；致動器，位于上基底的與所述壓力室對應(yīng)的一個表面上，以將墨的排放驅(qū)動力提供給壓力室；下基底，包括噴嘴，所述噴嘴與所述壓力室連通并被形成為用于將墨排出；歧管，形成在上基底上并包括路徑，所述路徑通過由致動器在壓力室內(nèi)產(chǎn)生的壓力而將所述墨排出，然后將墨供應(yīng)到壓力室，所述路徑沿著朝向壓力室的方向重復(fù)地擴大和縮小，以使殘留在壓力室中的殘余壓力波衰減。所述路徑可被形成為具有與所述壓力室對應(yīng)的多條線路，以將墨供應(yīng)到所述壓力室。所述路徑可通過使多個路徑單元互相連通而形成，所述路徑單元包括截面積擴大部分，其截面積沿著朝向壓力室的方向逐漸擴大；截面積縮小部分，其截面積在截面積擴大部分的擴大的一端逐漸縮小。截面積擴大部分和截面積縮小部分可被布置成基于截面積擴大部分和截面積縮小部分之間的分界線彼此對稱。所述路徑可通過沿著路徑方向串聯(lián)地布置所述路徑單元并使所述路徑單元互相連通而形成。


通過下面結(jié)合附圖進行的詳細描述，本發(fā)明的上述和其他方面、特點和其他優(yōu)點將會被更加清楚地理解，其中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的局部剖開的噴墨頭的分解立體圖；圖2是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的一個單元的立體圖；圖3是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的一個單元的分解立體圖；圖4是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的一個單元的剖視圖，具體為沿著圖1的A-A線截取的剖視圖；圖5是示意性地示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的墨路徑結(jié)構(gòu)的分解立體圖；圖6是示意性地示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的墨路徑結(jié)構(gòu)的俯視圖；圖7是示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的墨路徑結(jié)構(gòu)的壓力室內(nèi)的殘余壓力波的變化的曲線圖；圖8A至圖8C是示意性地示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的墨路徑結(jié)構(gòu)中的路徑的俯視圖。
具體實施例方式現(xiàn)在將參照附圖來詳細描述本發(fā)明的示例性實施例。然而，應(yīng)該理解的是，本發(fā)明的精神不限于在此闡述的示例性實施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員以及理解本發(fā)明的技術(shù)人員在本發(fā)明的精神內(nèi)通過部件的添加、變型和刪除能夠容易地實現(xiàn)包括在相同精神內(nèi)的其他示例性實施例或已有的發(fā)明，但是它們被解釋為包括在本發(fā)明的精神之內(nèi)。此外，貫穿每個示例性實施例的附圖，相同的標號始終表示功能相同的組件。圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的局部剖開的噴墨頭的分解立體圖，圖2 是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的一個單元的立體圖，圖3是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的一個單元的分解立體圖，圖4是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的一個單元的剖視圖，具體為沿著圖1的 A-A線截取的剖視圖。參照圖1至圖4，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭400可包括上基底100、下基底200、形成在上基底100中的墨路徑結(jié)構(gòu)350以及致動器300。上基底100規(guī)則地設(shè)置有多個壓力室210以及墨被引入到其中的墨入口觀0。在該構(gòu)造中，墨入口 280被構(gòu)造成被直接連接到歧管270，歧管270用于將墨經(jīng)限流器220供應(yīng)到壓力室210。墨入口 280用于將從儲墨器(未示出)引入的墨供應(yīng)到歧管270。在此，盡管墨入口 280可對應(yīng)于多個歧管270而形成為多個，但是可形成與多個歧管270連通的單個墨入 Π 280。在這種情況下，當墨入口 280形成為與多個歧管270 —一對應(yīng)時，形成在每個歧管270中的墨入口 280可由直徑很小的許多孔觀5的組件形成。通過以直徑很小的孔觀5來形成墨入口觀0，墨入口觀0可用作防止雜質(zhì)被引入到噴墨頭400中的過濾器。此外，壓力室210可設(shè)置在安裝致動器300的位置之下。在該構(gòu)造中，在上基底 100中形成壓力室210的頂?shù)牟糠钟米髂?。因此，當為了排出墨而將?qū)動信號施加到致動器300時，致動器300以及致動器 300之下的膜發(fā)生變形同時壓力室210的體積減小。因此，通過壓力室210內(nèi)壓力的增加，壓力室210中的墨通過構(gòu)成噴嘴部分250的噴嘴和阻尼器被排放到外部。為了準確地設(shè)置壓力室210的高度，上基底100可使用其上形成有用作蝕刻終止層的中間氧化層的絕緣體上硅(SOI)基底。在該構(gòu)造中，歧管270可包括儲墨器M0，供應(yīng)來自墨入口 280的墨并儲存該墨； 路徑230，連接到限流器220。換句話說，為了將墨供應(yīng)到壓力室210，墨應(yīng)當通過構(gòu)成歧管270的路徑230。在經(jīng)過路徑230的墨經(jīng)過限流器220并到達壓力室210之后，墨可通過致動器300 的驅(qū)動力被排放到外部。然而，作為非必要組件的連接部分260可設(shè)置在路徑230和限流器220之間。噴嘴部分250接收通過致動器300從壓力室210排出的墨并將其排放到外部。換句話說，墨通過構(gòu)成噴嘴部分250的噴嘴和阻尼器被排放到外部。在該構(gòu)造中，當通過濕蝕刻來制造構(gòu)成噴嘴部分250的阻尼器時，阻尼器可被制成梯形形式，當將下基底200制造為絕緣體上硅(SOI)基底時，還可制造通過干蝕刻制成的圓柱形阻尼器。然而，阻尼器的形狀不限于上述形狀并可被本領(lǐng)域技術(shù)人員以及理解本發(fā)明精神的技術(shù)人員改變。在該構(gòu)造中，噴嘴部分250形成在下基底200上，從而將運動穿過形成在噴墨頭 400內(nèi)的路徑的墨以液滴的形式噴出。在該構(gòu)造中，下基底200可使用廣泛應(yīng)用于半導體集成電路的硅基底，但不必限于硅基底。因此，下基底200可使用各種材料。致動器300可包含壓電材料，由于壓電材料的變形而使墨可通過形成在下基底 200上的噴嘴部分250被排放到外部。換句話說，壓電材料使壓力室210的上表面(即，膜)發(fā)生變形，從而產(chǎn)生用于排放墨的驅(qū)動力。當將電壓施加到壓電材料時，由于膜的豎向變形而使所述驅(qū)動力沿豎直方向傳遞。壓力室內(nèi)的墨可借助于所述驅(qū)動力通過噴嘴部分250被排放到外部。在該構(gòu)造中，壓電材料是一種能夠?qū)㈦娔苻D(zhuǎn)換成機械能或者將機械能轉(zhuǎn)換成電能的元件。所述壓電材料的示例可包括鋯鈦酸鉛(Pb(&，Ti)03 :PZT)、陶瓷等。此外，除利用壓電材料來排出墨的壓電式噴墨頭之外，還可使用氣泡噴射式噴墨頭和熱噴射式噴墨頭。圖5是示意性地示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的墨路徑結(jié)構(gòu)的分解立體圖，圖6是示意性地示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的墨路徑結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖7是示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的墨路徑結(jié)構(gòu)的壓力室內(nèi)的殘余壓力波的變化的曲線圖。參照圖5和圖6，設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭中的墨路徑結(jié)構(gòu)350 可包括壓力室210、限流器220以及歧管270。在該構(gòu)造中，壓力室210用于通過壓力室210內(nèi)的壓力變化而將墨排放到外部，壓力室210與示例性實施例具有相同的組件和作用，因此，將省略對其的描述。歧管270可包括儲墨器M0，供應(yīng)有來自墨入口 280的墨并儲存該墨；路徑230， 連接到限流器220。路徑230是一種將墨經(jīng)限流器220供應(yīng)到壓力室210的管路，路徑230可包括沿著朝向壓力室210的方向重復(fù)地擴大和縮小的內(nèi)部空間。換句話說，路徑250可包括沿著朝向壓力室210的方向重復(fù)地擴大和縮小的截面積。換句話說，可通過使多個路徑單元235互相連接來形成路徑230，其中，路徑單元 235包括截面積擴大部分23 ，其截面積沿著朝向壓力室210的方向逐漸擴大；截面積縮小部分23 ，其截面積在截面積擴大部分23 的擴大的一端逐漸縮小。在該構(gòu)造中，路徑單元235沿著路徑方向串聯(lián)地布置并互相連通以構(gòu)成路徑230， 并且路徑單元2；35可互相等距離地連通。如上所述構(gòu)造的路徑230形成為具有將墨供應(yīng)到壓力室210的多條線路。 然而，路徑230最好形成為具有兩條線路，但不必限于此，因此，路徑230可被本領(lǐng)域技術(shù)人員改變。通常，當通過致動器300施加高頻時，噴墨頭400的性能成為一個問題。換句話說， 噴墨頭400的高頻排放特性是決定噴墨頭的性能的一個非常重要的因素。在由致動器300產(chǎn)生的壓力波被傳播到噴嘴部分250之后，噴墨頭400通過在壓力波的正壓力時從噴嘴部分250排出液滴的頭部并在壓力波的負壓力時切割液滴的尾部而將所述液滴排出。然而，產(chǎn)生的壓力波不會通過包括壓力室210的墨路徑結(jié)構(gòu)350立即消散和傳播并從墨路徑結(jié)構(gòu)350反射出去。即，只有在預(yù)定時間過去之后，壓力波才能通過消散而完全消失。在這種情況下，殘留在包括壓力室210的墨路徑結(jié)構(gòu)350中的壓力波被定義為殘余壓力波。殘余壓力波的消散是決定噴墨頭400的性能的重要因素。S卩，殘余壓力波的消散決定噴墨頭400的高頻驅(qū)動穩(wěn)定性。換句話說，通過壓力波來排出液滴，所述壓力波通過允許從用于排出液滴的外部電源施加的脈沖來驅(qū)動致動器300的壓電材料而產(chǎn)生，所述壓力波在用于排出下一液滴的隨后的脈沖被施加之前完全消散，從而實現(xiàn)了高性能的噴墨頭400。然而，如果殘余壓力波在隨后的脈沖被施加之前并未完全消散，則所述殘余壓力波與隨后的脈沖的壓力波重疊，從而導致液滴的異常排放。盡管在整個波形中，大多數(shù)殘余壓力波在低頻區(qū)(5kHz或5kHz以下的范圍內(nèi))消散從而表現(xiàn)出穩(wěn)定的排放特性，但是殘余壓力波與隨后施加的壓力波在高頻區(qū)重疊，從而導致墨排放問題。
具體地講，當由于殘余壓力波而使噴嘴部分250中的墨的分界面不穩(wěn)定時，會進一步導致液滴排放特性不穩(wěn)定。然而，設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的噴墨頭400中的墨路徑結(jié)構(gòu)350包括其截面積重復(fù)地擴大和縮小的路徑230，從而可使殘余壓力波在隨后的脈沖的壓力波被施加之前消散。圖7無量綱地示出了隨時間變化的壓力室210中的壓力。細實線示出了未設(shè)置有路徑單元235時的壓力變化，粗實線(本發(fā)明的墨路徑結(jié)構(gòu)350)示出了設(shè)置有路徑單元 235時的壓力變化。實驗結(jié)果通過利用熱流體分析程序Fluent進行分析。應(yīng)該理解的是，根據(jù)本發(fā)明的墨路徑結(jié)構(gòu)350施加有用于排出墨的脈沖360，并在隨后的脈沖被施加之前使由上一脈沖360所產(chǎn)生的殘余壓力波完全消散370。S卩，當以20kHz排出墨時，脈沖之間的時間間隔為50 μ S。在這種情況下，由首先在 20 μ s處施加的脈沖360所產(chǎn)生的殘余壓力波在70 μ s處完全消散370，從而可實現(xiàn)高性能的噴墨頭400。此外，墨路徑結(jié)構(gòu)350可包括位于構(gòu)成歧管270的路徑與壓力室210之間的限流器 220 ο限流器220的截面積可比壓力室210的截面積小，墨排放性能可根據(jù)限流器220 的路徑的長度和寬度而改變。然而，當限流器220的路徑的寬度大大減小時，殘余壓力波可有效地減弱，但流動阻力增大，從而在高頻區(qū)墨從歧管270到壓力室210的供應(yīng)非常緩慢。因此，應(yīng)當控制限流器220的路徑的寬度，以將墨從歧管270供應(yīng)到壓力室210并使上述殘余壓力波衰減。以下，將參照圖8Α至圖8C來描述路徑230。圖8Α至圖8C是示意性地示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的墨路徑結(jié)構(gòu)中的路徑的俯視圖。 參照圖8Α至圖8C，設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的墨路徑結(jié)構(gòu)350中的路徑 230可包括多個路徑單元235。路徑單元235是構(gòu)成路徑230的單元，路徑單元235包括截面積擴大部分23 和截面積縮小部分23 ，其中，截面積擴大部分23 是截面積沿著從儲墨器240到壓力室 210的方向增大的部分，截面積縮小部分23 是截面積從截面積擴大部分23 的擴大的一端減小的部分。如圖8A中所示，路徑單元235可被形成為兩條線路，但不必限于此，如圖8B和圖 8C中所示，路徑單元235可被形成為一條線路。因此，通過等距離地布置路徑單元235并使其互相連通來形成路徑230。路徑單元 235最好形成為大約13個，但不必限于此，路徑單元235可被本領(lǐng)域技術(shù)人員改變。此外，如圖8A和圖8B所示，路徑單元235的截面積擴大部分23 和截面積縮小部分23 可被形成為基于截面積擴大部分23 和截面積縮小部分23 之間的分界線彼此對稱，但是路徑單元235的截面積擴大部分23 和截面積縮小部分23 可被形成為如圖8C中所示地彼此不對稱。在這種情況下，由路徑單元235形成的路徑230在聲學上用作使低頻信號通過而使高頻信號衰減和截止的低通濾波器。換句話說，所述路徑結(jié)構(gòu)用于快速地去除壓力瞬間劇增的高頻成分(例如，壓力峰值)并將其轉(zhuǎn)換成平滑形式的低頻成分。因此，所述路徑結(jié)構(gòu)使高頻區(qū)的殘余壓力波在短時間內(nèi)消散，從而可提高噴墨頭 400的高頻排放特性?？赏ㄟ^周期性地擴大和縮小路徑230的空間以及內(nèi)壁表面的圖案而使殘余壓力波快速衰減。此外，由路徑單元235形成的路徑230降低了在引入墨時產(chǎn)生氣泡的可能性，即使產(chǎn)生氣泡，路徑230也能有效地排出墨，同時防止氣泡粘附到路徑230的內(nèi)壁表面。如上所述，墨路徑結(jié)構(gòu)350通過利用路徑230而形成，而路徑230通過連通包括截面積擴大部分23 和截面積縮小部分23 以使殘余壓力波衰減的多個路徑單元235而形成，從而可提高噴墨頭400的高頻排放特性。此外，墨路徑結(jié)構(gòu)350確保了構(gòu)成歧管270的路徑230的截面積，從而可將墨平穩(wěn)地供應(yīng)到壓力室210并可降低在引入墨時氣泡的產(chǎn)生頻率。如上所述，按照根據(jù)本發(fā)明的墨路徑結(jié)構(gòu)和包括該墨路徑結(jié)構(gòu)的噴墨頭，殘留在壓力室中的殘余壓力波在短時間內(nèi)衰減，從而可提高墨排放特性。此外，本發(fā)明確保了歧管路徑的截面積，從而可將墨平穩(wěn)地供應(yīng)到壓力室。此外，本發(fā)明能夠降低在將墨引入到壓力室中時氣泡的產(chǎn)生頻率。盡管已經(jīng)結(jié)合示例性實施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該清楚的是，在不脫離由權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以進行修改和變型。
權(quán)利要求
1.一種墨路徑結(jié)構(gòu)，所述墨路徑結(jié)構(gòu)包括壓力室，儲存被引入到其中的墨以將該墨排放到噴嘴；路徑，通過在壓力室內(nèi)產(chǎn)生的壓力而將所述墨排出，然后將墨供應(yīng)到壓力室，所述路徑沿著朝向壓力室的方向重復(fù)地擴大和縮小，以使殘留在壓力室中的殘余壓力波衰減。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的墨路徑結(jié)構(gòu)，其中，所述路徑被形成為具有與所述壓力室對應(yīng)的多條線路，以將墨供應(yīng)到所述壓力室。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的墨路徑結(jié)構(gòu)，其中，所述路徑通過使多個路徑單元互相連通而形成，所述路徑單元包括截面積擴大部分，其截面積沿著朝向壓力室的方向逐漸擴大； 截面積縮小部分，其截面積在截面積擴大部分的擴大的一端逐漸縮小。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的墨路徑結(jié)構(gòu)，其中，截面積擴大部分和截面積縮小部分被布置成基于截面積擴大部分和截面積縮小部分之間的分界線彼此對稱。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的墨路徑結(jié)構(gòu)，其中，所述路徑通過沿著路徑方向串聯(lián)地布置所述路徑單元并使所述路徑單元互相連通而形成。
6.一種噴墨頭，所述噴墨頭包括壓力室，儲存被引入到其中的墨以將該墨排放到噴嘴；致動器，位于與壓力室對應(yīng)的外表面上，以將墨的排放驅(qū)動力提供給壓力室；歧管，包括路徑，所述路徑通過由致動器在壓力室內(nèi)產(chǎn)生的壓力而將所述墨排出，然后將墨供應(yīng)到壓力室，所述路徑沿著朝向壓力室的方向重復(fù)地擴大和縮小，以使殘留在壓力室中的殘余壓力波衰減。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴墨頭，其中，所述路徑被形成為具有與所述壓力室對應(yīng)的多條線路，以將墨供應(yīng)到所述壓力室。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴墨頭，其中，所述路徑通過使多個路徑單元互相連通而形成，所述路徑單元包括截面積擴大部分，其截面積沿著朝向壓力室的方向逐漸擴大；截面積縮小部分，其截面積在截面積擴大部分的擴大的一端逐漸縮小。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴墨頭，其中，截面積擴大部分和截面積縮小部分被布置成基于截面積擴大部分和截面積縮小部分之間的分界線彼此對稱。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴墨頭，其中，所述路徑通過沿著路徑方向串聯(lián)地布置所述路徑單元并使所述路徑單元互相連通而形成。
11.一種噴墨頭，所述噴墨頭包括上基底，形成有壓力室，所述壓力室儲存被引入到其中的墨以將該墨排放到噴嘴；致動器，位于上基底的與所述壓力室對應(yīng)的一個表面上，以將墨的排放驅(qū)動力提供給壓力室；下基底，包括噴嘴，所述噴嘴與所述壓力室連通并被形成為用于將墨排出；歧管，形成在上基底上并包括路徑，所述路徑通過由致動器在壓力室內(nèi)產(chǎn)生的壓力而將所述墨排出，然后將墨供應(yīng)到壓力室，所述路徑沿著朝向壓力室的方向重復(fù)地擴大和縮小，以使殘留在壓力室中的殘余壓力波衰減。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的噴墨頭，其中，所述路徑被形成為具有與所述壓力室對應(yīng)的多條線路，以將墨供應(yīng)到所述壓力室。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的噴墨頭，其中，所述路徑通過使多個路徑單元互相連通而形成，所述路徑單元包括截面積擴大部分，其截面積沿著朝向壓力室的方向逐漸擴大；截面積縮小部分，其截面積在截面積擴大部分的擴大的一端逐漸縮小。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的噴墨頭，其中，截面積擴大部分和截面積縮小部分被布置成基于截面積擴大部分和截面積縮小部分之間的分界線彼此對稱。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的噴墨頭，其中，所述路徑通過沿著路徑方向串聯(lián)地布置所述路徑單元并使所述路徑單元互相連通而形成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種墨路徑結(jié)構(gòu)和包括該墨路徑結(jié)構(gòu)的噴墨頭，所述墨路徑結(jié)構(gòu)包括壓力室，儲存被引入到其中的墨以將該墨排放到噴嘴；路徑，通過在壓力室內(nèi)產(chǎn)生的壓力而將所述墨排出，然后將墨供應(yīng)到壓力室，所述路徑沿著朝向壓力室的方向重復(fù)地擴大和縮小，以使殘留在壓力室中的殘余壓力波衰減。
文檔編號B41J2/175GK102294898SQ201110036430
公開日2011年12月28日 申請日期2011年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月23日
發(fā)明者姜珌中, 宋碩昊, 樸敞圣, 林承模, 申鉉浩, 金成昱 申請人:三星電機株式會社