專利名稱：印刷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及包括對基板進行印刷的印刷部的印刷裝置。
背景技術(shù)：
目前，作為對基板進行印刷的印刷裝置，例如在日本專利公開公報特開2006—281680號中公開有對固定在載臺上的工件(印刷對象)經(jīng)由掩模印刷焊料膏的網(wǎng)版印刷機。該網(wǎng)版印刷機在工件(印刷對象)固定用載臺上表面的至少兩個部位上具有誤差修正用讀取標記。此外，該網(wǎng)版印刷機在工件(印刷對象)固定用載臺上方具有與載臺上表 面平行地移動的攝像機。該網(wǎng)版印刷機讓所述攝像機拍攝所述兩個部位的讀取標記，并且基于該圖像測量讀取標記間的距離而檢測載臺的變形量(該載臺隨著溫度、濕度變化而伸縮，從而出現(xiàn)的變形)，在印刷時針對該載臺進行變形修正。然而，由于上述網(wǎng)版印刷機在工件(印刷對象)固定用載臺上表面設(shè)置有讀取標記，因此依工件的尺寸或外形形狀的不同而導(dǎo)致讀取標記有時會被工件覆蓋。此時，如果從讀取標記上不除去工件，則無法拍攝該標記，從而不能測量標記間距離。另外，由于載臺的變形隨持續(xù)的印刷動作一起產(chǎn)生，因此較為理想的是與印刷動作的進行狀況無關(guān)地以適當時機進行變形修正。但是，如果從上述網(wǎng)版印刷機的載臺上不除去工件，則無法確實拍攝讀取標記，因此可進行變形修正的時機受限，故此存在變形修正的時機顯著受到限制的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種印刷裝置，通過檢測在其機構(gòu)部分產(chǎn)生的變形來對該變形進行修正，其能夠提高變形修正的時機的自由度，從而與以往的印刷裝置相比可在更為適當?shù)臅r機下進行變形修正。本發(fā)明所涉及的印刷裝置包括基座；框體部件，固定設(shè)置在所述基座上；印刷部，由所述框體部件支承且對基板進行印刷；基板搬送部，在包含通過所述印刷部進行印刷的印刷區(qū)域的范圍內(nèi)能夠移動地設(shè)置在所述基座上，用于搬送基板；驅(qū)動機構(gòu)，驅(qū)動所述基板搬送部；控制部，控制所述驅(qū)動機構(gòu)對所述基板搬送部的驅(qū)動；標記，設(shè)置在所述框體部件上；以及攝像部，搭載在所述基板搬送部上，對所述標記進行拍攝，其中，所述控制部使所述基板搬送部移動以使基板位于所述印刷區(qū)域，并且基于所述攝像部拍攝的所述標記的圖像而進行用于糾正所述驅(qū)動機構(gòu)的變形所引起的所述基板搬送部的移動誤差的變形修正。根據(jù)本發(fā)明，能夠提高變形修正的時機的自由度，從而與以往的印刷裝置相比可在更為適當?shù)臅r機下進行變形修正。


圖I是表示本發(fā)明的一實施方式的印刷裝置的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是表示本發(fā)明的一實施方式的印刷裝置的概略布局的俯視圖。
圖3是表示圖I所示的印刷裝置的印刷單元的結(jié)構(gòu)的框圖。圖4是表示印刷裝置的正面?zhèn)鹊挠∷卧膬?nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。圖5是表示圖4所示的印刷單元的基板搬送部的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖6是表示印刷單元中包含搬送帶 部在內(nèi)的下部結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖7是沿Yl方向觀察印刷單元時的側(cè)視圖。圖8是從基座側(cè)(下表面?zhèn)?觀察印刷單元的框架結(jié)構(gòu)體時的俯視圖。圖9是表示設(shè)置在圖8所示的框架結(jié)構(gòu)體的梁部上的標記及其周邊結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖10是用于說明印刷裝置的變形修正方法的概略圖。圖11是表示本發(fā)明的第一變形例的印刷裝置的概略布局的俯視圖。圖12是沿Yl方向觀察本發(fā)明的第二變形例的印刷裝置的印刷單元時的側(cè)視圖。
具體實施例方式下面，隨著

本發(fā)明的實施方式。首先，參照圖I 圖10對本發(fā)明的一實施方式的印刷裝置100的結(jié)構(gòu)進行說明。如圖I所示，本發(fā)明的一實施方式的印刷裝置100是對搬送至裝置主體內(nèi)的印刷基板(布線基板)5的上表面5a掩模印刷焊料膏的印刷機。印刷裝置100放置在地板面I(X — Y平面)上。印刷裝置100包括兩個印刷單元90、91，該印刷裝置100通過分別地驅(qū)動這些印刷單元90、91來對印刷單元90中的印刷基板5和對印刷單元91中的印刷基板5進行掩模印刷。此時，各印刷單元90、91可對互不相同的尺寸的印刷基板5、5進行印刷。另夕卜，印刷基板5為本發(fā)明中的“基板”的一例。如圖2所示，印刷裝置100中，在載置在地板面I (參照圖I)上的基座10上沿Y方向并列設(shè)置有兩個印刷單元90、91。此外，印刷單元90、91使其長度方向(也就是印刷基板5的搬入以及搬出方向)與基座10的X方向大致一致地被設(shè)置。在此，印刷單元90 (和/或91)中的印刷基板5的搬送方向為X方向，焊料2 (參照圖5)向印刷基板5的印刷方向為Y方向。此外，X方向和Y方向在基座10上相互正交。此外，在印刷單元90 (和/或91)中，圖2右側(cè)(X2偵D為印刷基板5的搬入側(cè)，圖2左側(cè)(XI側(cè))為印刷基板5的搬出側(cè)。此外，設(shè)置在圖2右側(cè)的后述框架結(jié)構(gòu)體30 (梁部32)的右側(cè)的基座10上的區(qū)域為印刷前的印刷基板5的等待區(qū)域。此外，設(shè)置在圖2左側(cè)的框架結(jié)構(gòu)體30 (梁部32)的左側(cè)區(qū)域為印刷結(jié)束后的印刷基板5的搬出區(qū)域。此外，夾在左右梁部32之間的區(qū)域?qū)?yīng)于印刷基板5的印刷區(qū)域。另外，兩個印刷單元90、91具有大致相同的結(jié)構(gòu)，因此以下說明中，僅對與近前側(cè)(Y2側(cè)(正面?zhèn)?)的印刷單元90的結(jié)構(gòu)進行說明。圖4表示處于拆卸了多個外罩101 (參照圖I)的狀態(tài)下的印刷單元90，外罩101用于覆蓋印刷裝置100。如該圖所示，印刷單元90包括搬送機構(gòu)部20,搬送印刷基板5 ；框架結(jié)構(gòu)體30，固定設(shè)置在基座10上；印刷機構(gòu)部40 ;以及清潔器部50。另外，在圖4中省略了基座10(參照圖2)的圖示，該基座10用于載置搬送機構(gòu)部20及框架結(jié)構(gòu)體30。此夕卜，如圖3所示，在印刷裝置100中內(nèi)置有用于控制以下說明的各部分的動作的后述的控制裝置80。另外，框架結(jié)構(gòu)體30為本發(fā)明中的“框體部件”的一例，印刷機構(gòu)部40為本發(fā)明中的“印刷部”的一例。搬送機構(gòu)部20具有將搬入至印刷單元90內(nèi)的印刷前的印刷基板5搬送至印刷區(qū)域的功能。在此，印刷區(qū)域是指在印刷時網(wǎng)版掩模6 (參照圖7)載置在印刷基板5的上表面5a上的區(qū)域?？蚣芙Y(jié)構(gòu)體30以沿Y方向跨過搬送機構(gòu)部20上方的方式固定在基座10(參照圖2)的上表面10a。印刷機構(gòu)部40具有對印刷基板5的上表面5a印刷焊料2 (圖5所示的虛線框內(nèi))的功能。此外，印刷機構(gòu)部40以可沿印刷方向(Y方向)在框架結(jié)構(gòu)體30上方移動的狀態(tài)安裝在框架結(jié)構(gòu)體30上。此外，清潔器部50具有擦除印刷結(jié)束后的網(wǎng)版掩模6 (參照圖7)的下表面(Z2側(cè))及掩模開口部上所附著的多余焊料膏的功能。此外，如圖5所示，搬送機構(gòu)部20包括一對基準搬送帶21，沿成為印刷基板5的搬入以及搬出方向的X方向(基板搬送方向)在基座10 (參照圖2)上延伸；以及基板搬送部22，以在一對基準搬送帶21外側(cè)而隔著基準搬送帶21的方式設(shè)置，可相對于基準搬送帶21沿X方向相對地往返移動?；鶞拾崴蛶?1具有通過沿Xl方向移動的搬送皮帶(未圖示)將設(shè)置在印刷單元90的基板搬入側(cè)的印刷基板5搬送至基準搬送帶21上的等待區(qū)域(參照圖2)的功能、及將結(jié)束印刷的印刷基板5從印刷區(qū)域搬送至搬出區(qū)域(參照圖2)的 功能。此外，基板搬送部22具有在保持設(shè)置在等待區(qū)域的印刷基板5的狀態(tài)下將該基板搬送至印刷區(qū)域的功能。此外，一對基準搬送帶21沿與X方向大致正交的Y方向(印刷方向)隔開指定間隔而相向設(shè)置，從基座10上的一側(cè)(XI側(cè))端部延伸至另一側(cè)(X2側(cè))端部?；灏崴筒?2包括基板載臺22a，用于載置印刷基板5 ;以及夾持片22b、22b，設(shè)置在基板載臺22a的側(cè)部(Yl側(cè)及Y2側(cè))，從Y方向(Yl方向及Y2方向)夾持設(shè)置在基板載臺22a上的印刷基板5的側(cè)端面而暫時保持基板。另外，在基板載臺22a上安裝有從上表面(Zl側(cè))向上方延伸的多個銷(未圖示)。即，印刷基板5在下表面由銷支承的狀態(tài)下載置在基板載臺22a上。此夕卜，基板搬送部22中的基板載臺22a和夾持片22b —體地沿基準搬送帶21能夠移動。此外，如圖6所示，在基座10上鋪設(shè)有4根導(dǎo)軌11、11、11、11，這些導(dǎo)軌11、11、
11、11沿X方向隔開指定間隔而設(shè)置且各自沿Y方向延伸，所述搬送機構(gòu)部20以沿基準搬送帶21延伸的X方向跨4根導(dǎo)軌11、11、11、11的狀態(tài)載置在該導(dǎo)軌11、11、11、11上。在此，在基座10的上表面IOa與搬送機構(gòu)部20之間設(shè)置有伺服馬達23及連接于該伺服馬達23的旋轉(zhuǎn)軸(Y軸)的滾珠絲杠軸24。另外，伺服馬達23為本發(fā)明中的“驅(qū)動源”的一例，滾珠絲杠軸24為本發(fā)明中的“進給螺桿軸”的一例。伺服馬達23以使旋轉(zhuǎn)軸與Y方向一致的狀態(tài)固定在搬送機構(gòu)部20 (基準搬送帶21)的底部21a (參照圖7)的下表面?zhèn)?。此外，滾珠絲杠軸24以沿伺服馬達23的旋轉(zhuǎn)軸在Y方向上延伸軸的狀態(tài)可旋轉(zhuǎn)地固定在基座10的上表面IOa上。此外，如圖4及圖6所示，在滾珠絲杠軸24的延長線上的基座10的上表面IOa (參照圖6)安裝有螺母部件25，滾珠絲杠軸24與螺合該螺母部件25而插入在該螺母部件25中。由此，通過伺服馬達23使?jié)L珠絲杠軸24旋轉(zhuǎn)，從而伺服馬達23側(cè)相對于固定在基座10上的螺母部件25而沿Y方向(Yl方向及Y2方向)移動。即，通過所述伺服馬達23的驅(qū)動，固定有該伺服馬達23的搬送機構(gòu)部20沿Y方向在導(dǎo)軌11上往返移動。另外，搬送機構(gòu)部20在Y方向上的活動范圍稍短于滾珠絲杠軸24的長度。另外，伺服馬達23、滾珠絲杠軸24及螺母部件25為本發(fā)明中的“驅(qū)動機構(gòu)”的一例。
此外，如圖6所示，在一對基準搬送帶21沿Y方向相向的區(qū)域設(shè)置有伺服馬達26及連接于伺服馬達26的旋轉(zhuǎn)軸(X軸)的滾珠絲杠軸27。伺服馬達26以使旋轉(zhuǎn)軸與X方向一致的狀態(tài)固定在基準搬送帶21的底部21a。在此，伺服馬達23與伺服馬達26在底部21a上固定在互不相同的位置。此外，滾珠絲杠軸27以沿伺服馬達26的旋轉(zhuǎn)軸在X方向上延伸軸的狀態(tài)可旋轉(zhuǎn)地固定在基準搬送帶21的底部21a下。此外，如圖7所示，在基板搬送部22的底部22c的下表面?zhèn)劝惭b有螺母部件28。另外，伺服馬達26為本發(fā)明中的“驅(qū)動源”的一例，滾珠絲杠軸27為本發(fā)明中的“進給螺桿軸”的一例。此外，伺服馬達26、滾珠絲杠軸27及螺母部件28為本發(fā)明中的“驅(qū)動機構(gòu)”的一例。所述滾珠絲杠軸27與所述螺母部件28螺合而插入在該螺母部件28中，通過伺服馬達26旋轉(zhuǎn)滾珠絲杠軸27，而讓螺母部件28沿X方向(XI方向及X2方向)移動。S卩，通過所述伺服馬達26的驅(qū)動，固定有所述螺母部件28的基板搬送部22相對于基準搬送帶21沿X方向往返移動。另外，基板搬送部22在X方向上的活動范圍為從基準搬送帶21的Xl側(cè)端部區(qū)域至X2側(cè)端部區(qū)域。
根據(jù)上述驅(qū)動機構(gòu)的結(jié)構(gòu)，基板搬送部22如圖2所示地移動至基準搬送帶21的基板搬入側(cè)(X2側(cè))的等待位置之后，在通過夾持片22b握持從其他設(shè)備等搬送至基準搬送帶21上的等待位置的印刷基板5的狀態(tài)下沿Xl方向移動，由此將印刷基板5搬送至印刷區(qū)域。此外，搬送機構(gòu)部20不管基板搬送部22在X方向上的當前位置如何，均沿與基準搬送帶21延伸的方向大致正交的印刷方向(Y方向)在基座10的上表面IOa上往返移動。SP，基板搬送部22可基于指定的運行模式而控制向X方向及Y方向的移動。此外，通過在基板搬送部22設(shè)置未圖示的驅(qū)動機構(gòu)而使基板載臺22a沿上下方向(Z方向)升降。由此，如圖7所示，搬送至印刷區(qū)域的印刷基板5與基板載臺22a —起移動至基準搬送帶21的上表面(Zl側(cè)的表面)上的抬升指定高度的位置。然后，由后述的掩模保持部42保持的網(wǎng)版掩模6下降并以指定擠壓力抵接于印刷基板5的上表面5a。此外，在基板搬送部22上設(shè)置有未圖示的驅(qū)動機構(gòu)，因此基板搬送部22可將Y方向上的寬度在指定范圍內(nèi)擴大、縮小。由此，可在根據(jù)印刷基板5的寬度(Y方向長度)而調(diào)整基板搬送部22在Y方向上的寬度的狀態(tài)下由夾持片22b保持印刷基板。此外，如圖4及圖7所示，沿基座10的X方向(基板搬送方向)隔開指定間隔而設(shè)置有一對框架結(jié)構(gòu)體30、30。此外，各個框架結(jié)構(gòu)體30具有門型結(jié)構(gòu)，且包括腿部31、31，分別從基座10 (圖6參照)的Y方向(印刷方向)上的兩側(cè)端部(Yl側(cè)及Y2側(cè))附近向上方延伸；以及梁部32，沿水平方向連接于Y方向上相向的腿部31、31。即，沿X方向從側(cè)部觀察印刷單元90時，沿Y方向延伸的梁部32經(jīng)由腿部31而跨在搬送機構(gòu)部20上。此外，腿部31通過未圖示的緊固部件而固定在基座10 (參照圖6)的上表面10a。此外，一對梁部32,32的上表面32a、32a與基座10的上表面IOa位于與水平面平行的平面上。此外，在各梁部32的上表面32a設(shè)置有沿Y方向延伸的導(dǎo)軌12 (參照圖4)。而且，后述的印刷機構(gòu)部40可沿Y方向在固定在梁部32的導(dǎo)軌12上移動。此外，如圖5所示，在搬送機構(gòu)部20的基板搬送部22設(shè)置有掩模用攝像機29。掩模用攝像機29使透鏡朝向上方(Zl方向)地安裝在基板載臺22a的外部位置上，具體而言該外部位置是指在基板搬送部22的移動方向上，比基板搬送部22位于更其中一側(cè)方向上(XI 一側(cè))的位置，并且，在與所述移動方向正交的方向上，比基板搬送部22位于更其中一側(cè)方向上(Y2 —側(cè))的位置。印刷單元90中，在保持印刷基板5的基板搬送部22向Xl方向移動時，通過掩模用攝像機29觀察網(wǎng)版掩模6 (參照圖7)的掩模開口部(未圖示)、檢測設(shè)置在網(wǎng)版掩模6下表面(Ζ2側(cè)的表面)上的未圖示的基準標記(位置對準標記)。由此，在進行印刷之前，可高精度地進行搬送至印刷區(qū)域的印刷基板5與網(wǎng)版掩模6的位置對準。另夕卜，掩模用攝像機29為本發(fā)明中的“攝像部”的一例。在此，本實施方式中，如圖7所示，在構(gòu)成框架結(jié)構(gòu)體30的梁部32的下表面32b(Z2側(cè))設(shè)置有基準標記70。S卩，基準標記70設(shè)置在進行印刷基板5的印刷的印刷區(qū)域之外的位置(X2側(cè)位置)上。此外，該基 準標記70如圖2所示，設(shè)置在沿Y方向延伸的梁部32的下表面32b (參照圖7)中搬送機構(gòu)部20 (基準搬送帶21)沿Y方向移動的范圍內(nèi)的指定位置。即，基準標記70設(shè)置在與搬送機構(gòu)部20 —起在與水平面平行的平面(X— Y平面)上移動的基板搬送部22通過印刷區(qū)域之外的區(qū)域即梁部32下部時可由掩模用攝像機29拍攝的位置。另外，不管基板搬送部22保持并搬送還是不搬送印刷基板5，均通過掩模用攝像機29對基準標記70進行拍攝。由此，搬送機構(gòu)部20隨著印刷動作的進行而產(chǎn)生的變形可以通過運算處理部81 (參照圖3)適當決定的時機進行修正。另外，基準標記70為本發(fā)明中的“標記”的一例。在此，參照圖10對搬送機構(gòu)部20的變形修正方法進行說明。例如，在印刷單元90運行中，基于運算處理部81 (參照圖3)的指令，基板搬送部22以指定時機移動并且掩模用攝像機29拍攝基準標記70時，基準標記70在X— Y平面上的位置事先被設(shè)為如下在通過伺服馬達26使?jié)L珠絲杠軸27旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)量U且通過伺服馬達23使?jié)L珠絲杠軸24旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)量V的情況下，使基準標記70處于掩模用攝像機29所具有的攝像區(qū)域的中央位置而被拍攝。在此，旋轉(zhuǎn)量U是使螺母部件28 (基板搬送部22)沿Xl方向從滾珠絲杠軸27的端部(例如圖6所示的X2側(cè)端部)的位置起移動至使掩模用攝像機29的攝像區(qū)域的中央重疊于基準標記70時的位置所需的滾珠絲杠軸27的旋轉(zhuǎn)量。同樣地，旋轉(zhuǎn)量V是使螺母部件25 (搬送機構(gòu)部20)沿Yl方向從滾珠絲杠軸24的端部(例如圖5所示的Y2側(cè)端部)的位置起移動至使掩模用攝像機29重疊于基準標記70時的位置所需的滾珠絲杠軸24的旋轉(zhuǎn)量。此外，與旋轉(zhuǎn)量U對應(yīng)的伺服馬達26的步進數(shù)及與旋轉(zhuǎn)量V對應(yīng)的伺服馬達23的步進數(shù)也同時存儲在控制數(shù)據(jù)存儲部82b (參照圖3)中。因此，在滾珠絲杠軸27、24旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)量(U、V)時，如圖10所示，在攝像區(qū)域中的位置P (中央部)拍攝基準標記70。在重復(fù)印刷有指定片數(shù)的印刷基板5之后，基板搬送部22以指定時機移動并且掩模用攝像機29再次拍攝基準標記70時，本實施方式的印刷裝置100使伺服馬達26、23的步進數(shù)旋轉(zhuǎn)至先前拍攝時所存儲的步進數(shù)，從而使掩模用攝像機29 (基板搬送部22)移動至相當于使當前時間點的滾珠絲杠軸27、24從初始位置起旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)量(U、V)時的位置。由此，如圖10所示，在攝像區(qū)域中的位置Q拍攝基準標記70。另外，實際上基準標記70的位置P及位置Q作為不同的圖像數(shù)據(jù)而被拍攝，但為說明從位置P向位置Q的變化而權(quán)且使用相同的附圖進行了圖示。另外，由于連續(xù)印刷多片印刷基板5，從而驅(qū)動搬送機構(gòu)部20的滾珠絲杠軸27、24分別與螺合于其的螺母部件28、25之間滑動而產(chǎn)生摩擦熱。此外，為提高工作效率(提高生產(chǎn)率)，搬送機構(gòu)部20被控制為以比較高的速度在X — Y平面上移動。由此，因隨螺母部件與滾珠絲杠軸的滑動而產(chǎn)生的摩擦熱導(dǎo)致滾珠絲杠軸27、24分別在軸方向產(chǎn)生熱膨脹。因此，即便滾珠絲杠軸27、24相對于控制上的初始位置(基準位置)旋轉(zhuǎn)相同的旋轉(zhuǎn)量(U、V)，螺母部件28、25的各移動間距(滾珠絲杠軸每旋轉(zhuǎn)I圈時的螺母部件28、25的各移動量)也較前次變化相應(yīng)于滾珠絲杠軸熱膨脹的程度。因此，圖10中的位置Q在相對于位置P而偏移的狀態(tài)下被拍攝。基于經(jīng)圖像處理而得的位置P的坐標和位置Q的坐標，本實施方式的印刷裝置100計算出基準標記70從位置P向位置Q的移位量。此時，本實施方式的印刷裝置100分別計算出向X方向的移位量ΛΧ及向Y方向的移位量ΛΥ。然后，根據(jù)移位量ΛΧ與旋轉(zhuǎn)量U的關(guān)系而計算出相當于基準標記70在X方向的移位量的滾珠絲杠軸27的熱膨脹率。此外，根據(jù)移位量△ Y與旋轉(zhuǎn)量V的關(guān)系而計算出相當于基準標記70在Y方向的移位量的滾珠絲杠軸24的熱膨脹率。印刷單元90中，由于固定設(shè)置在基座10上的框架結(jié)構(gòu)體30上所設(shè)置的基準標記70的位置Q (產(chǎn)生變形后)與位置P (產(chǎn)生變形前)必須一致，因此需考慮上述計算出的各滾珠絲杠軸所具有的熱膨脹率而調(diào)整滾珠絲杠軸27、24各自的旋轉(zhuǎn)量。 印刷單元90中，以所述方式調(diào)整滾珠絲杠軸27、24各自的旋轉(zhuǎn)量，即進行搬送機構(gòu)部20的變形修正。因此，即便滾珠絲杠軸27、24產(chǎn)生熱膨脹而導(dǎo)致移動間距(滾珠絲杠軸每旋轉(zhuǎn)I圈時的螺母部件28、25的移動量)發(fā)生變化，也可通過該變形修正(調(diào)整滾珠絲杠軸27 (和/或24)側(cè)的旋轉(zhuǎn)量)而正確地進行搬送機構(gòu)部20 (基板搬送部22)在X— Y平面上的定位。此外，本實施方式中，將由掩模用攝像機29拍攝的基準標記70的坐標(圖10中的位置P的坐標)作為搬送機構(gòu)部20 (基準搬送帶21及基板搬送部22)在X-Y平面上的位置坐標的基準位置而驅(qū)動伺服馬達23、26使搬送機構(gòu)部20移動。此外，本實施方式中，如圖8及圖9所示，在梁部32的下表面32b，與基準標記70鄰接設(shè)置有背景板75。此外，背景板75在基準標記70附近通過螺絲部件76、76固定在梁部32的下表面32b。此外，背景板75包括分別被涂成互不相同的顏色的一區(qū)域75a與另一區(qū)域75b。在此，掩模用攝像機29在透鏡附近(掩模用攝像機29的上表面?zhèn)?呈圓環(huán)狀地具有在拍攝時向拍攝對象(基準標記70)照射照明光的照射部(LED, light emitting diode,發(fā)光二極管)29a (參照圖7)。由此，由照射部29a照射的照明光在背景板75的一區(qū)域75a及另一區(qū)域75b反射，從而掩模用攝像機29拍攝的背景板75的拍攝結(jié)果不同。因此，在掩模用攝像機29拍攝基準標記70時，基于拍攝照明光照射的背景板75的結(jié)果而適當?shù)卣{(diào)整照明光的亮度。另外，照射部(LED) 29a為本發(fā)明中的“照明部”的一例。此外，如圖8所示，在梁部32的下表面32b設(shè)置有基板用攝像機99?；逵脭z像機99使透鏡朝向下方(Z2方向)安裝。印刷單元90中，在保持印刷基板5的基板搬送部22向Xl方向移動時，由所述基板用攝像機99拍攝設(shè)置在印刷基板5的上表面5a上的未圖示的基準標記(位置對準標記)。由此，在印刷前，可高精度地進行搬送至印刷區(qū)域的印刷基板5與網(wǎng)版掩模6的位置對準。此外，如圖4所示，印刷機構(gòu)部40包括印刷機構(gòu)支承部41，由框架結(jié)構(gòu)體形成，可沿Y方向在梁部32的上表面32a上移動；掩模保持部42，可相對于印刷機構(gòu)支承部41升降地(沿Z方向)安裝在印刷機構(gòu)支承部41的內(nèi)側(cè)(印刷區(qū)域內(nèi))且保持網(wǎng)版掩模6 ;以及印刷部60，經(jīng)由網(wǎng)版掩模6對印刷基板5印刷焊料。
印刷機構(gòu)支承部41包括一對側(cè)壁部41a，從梁部32的上表面32a向上方延伸；側(cè)壁部41b，沿X方向連接一對側(cè)壁部41a的Yl側(cè)端部間；以及梁部41c，沿X方向連接一對側(cè)壁部41a的上端部間。即，沿Y方向從正面?zhèn)?Y2側(cè))觀察印刷單元90時，印刷機構(gòu)支承部41具有門型結(jié)構(gòu)。此外，在梁部32的上表面32a上設(shè)置有伺服馬達43及連接于該伺服馬達43的旋轉(zhuǎn)軸的滾珠絲杠軸44。伺服馬達43以使旋轉(zhuǎn)軸與Y方向一致的狀態(tài)固定在梁部32的上表面32a。此外，滾珠絲杠軸44以沿伺服馬達43的旋轉(zhuǎn)軸在Y方向上延伸軸的狀態(tài)可旋轉(zhuǎn)地固定在上表面32a上。此外，在側(cè)壁部41a上安裝有螺母部件45，滾珠絲杠軸44與螺合該螺母部件45而插入在該螺母部件45中。由此，當通過伺服馬達43使?jié)L珠絲杠軸44旋轉(zhuǎn)時，螺母部件45沿Y方向(Yl方向及Y2方向)移動。此外，伺服馬達43、滾珠絲杠軸44及螺母部件45分別設(shè)置在左右(X方向)梁部32的上表面32a上。因此，印刷機構(gòu)支承部41不僅可通過左右伺服馬達43單獨地驅(qū)動而沿Y方向平行移動，也可在X — Y平面上以Z軸為中心稍微轉(zhuǎn)動。由此，印刷機構(gòu)部40可使由掩模保持部42保持的網(wǎng)版掩模6在X— Y平面上精確地位置對準于搬入至印刷區(qū)域的印刷基板5。 此外，掩模保持部42可沿上下方向(Z方向)升降地安裝在印刷機構(gòu)支承部41的側(cè)壁部41a。具體而言，伺服馬達46及經(jīng)由皮帶傳動機構(gòu)而由所述伺服馬達46旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的4根滾珠絲杠軸47組入至印刷機構(gòu)支承部41。此外，在掩模保持部42設(shè)置有螺母部件48。而且，螺母部件48分別螺合于沿Z方向延伸的滾珠絲杠軸47。即，掩模保持部42可通過伺服馬達46的工作而沿Z方向升降。由此，在印刷時使由掩模保持部42保持的網(wǎng)版掩模6沿Z2方向下降并抵接于搬入至印刷區(qū)域的印刷基板5的上表面，另一方面，在印刷后使網(wǎng)版掩模6沿Zl方向上升而使該網(wǎng)版掩模6離開印刷基板5的上表面5a。如圖7所示，印刷部60設(shè)置在具有門型結(jié)構(gòu)的印刷機構(gòu)支承部41內(nèi)側(cè)。該印刷部60包括刮板單元61，通過相對于網(wǎng)版掩模6的上表面(Zl側(cè))擠壓膏狀焊料2 (參照圖5)而經(jīng)由形成在該網(wǎng)版掩模6上的多個掩模開口部(未圖示)向印刷基板5上擠出焊料；以及焊料供應(yīng)部62，向網(wǎng)版掩模6的上表面供應(yīng)焊料2。此外，印刷部60通過以支承刮板單元61及焊料供應(yīng)部62的方式形成的未圖示的支承機構(gòu)而可移動地設(shè)置在掩模保持部42內(nèi)側(cè)的側(cè)面上。即，印刷部60通過使所述刮板單元61相對于掩模保持部42沿印刷方向(Y方向)往返移動，從而對印刷基板5印刷焊料2。此外，網(wǎng)版掩模6 (參照圖7)由具有約20 μ m以上且約150 μ m以下的厚度的板狀(片狀)部件形成，且具有使多個開口部(未圖示)圖案化的開口區(qū)域。這樣片狀網(wǎng)版掩模6具有彎曲性，因此網(wǎng)版掩模6固定在周圍由高剛性部件形成的框架7上?？蚣?呈長和寬最大約為750mm的正方形，但是也可根據(jù)網(wǎng)版掩模6的尺寸而適當決定框架7的尺寸。印刷單元90通過使用者打開取放蓋IOla (參照圖I)而將固定有網(wǎng)版掩模6的框架7插入固定在掩模保持部42上。如圖3所示,控制裝置80包括作為運算處理部的CPlXCentral Processing Unit,中央處理器)和基板電路部。具體而言，控制裝置80主要包括運算處理部81、存儲部82、夕卜部輸入輸出部83、圖像處理部84及驅(qū)動機構(gòu)控制部85。另外，運算處理部81為本發(fā)明中的“控制部”的一例。作為運算處理部81的CPU綜合控制印刷單元90整體的動作。存儲部82包括存儲運算處理部81可執(zhí)行的控制程序等的動作程序存儲部82a、及存儲在進行印刷動作時所需的數(shù)據(jù)的控制數(shù)據(jù)存儲部82b。在此，動作程序存儲部82a由快閃ROM(Read Only Memory,只讀存儲器)形成，控制數(shù)據(jù)存儲部82b由RAM (Random Access Memory，隨機存取存儲器)形成。此外，外部輸入輸出部83具有控制包含運行開始按鈕95的運行操作上的各種按鈕、及基板位置傳感器、掩模位置傳感器、刮板位置傳感器等各種傳感器(參照圖3)的信號的輸入輸出的功能。圖像處理部84具有對基板用攝像機99及掩模用攝像機29所拍攝的圖像數(shù)據(jù)進行處理而在內(nèi)部生成印刷單元90的動作所需的數(shù)據(jù)的功能。此時，掩模用攝像機29所拍攝的基準標記70的圖像數(shù)據(jù)通過圖像處理部84進行圖像處理。由此，通過運算處理部81掌握變形的大小(滾珠絲杠軸24、27的延伸量)。驅(qū)動機構(gòu)控制部85基于從運算處理部81輸出的控制信號而控制印刷單元90的各伺服馬達(使基板搬送部22沿X方向移動的伺服馬達26(參照圖6)、使搬送機構(gòu)部20沿Y方向移動的伺服馬達23 (參照圖6)、及使掩模保持部42沿Z方向移動的伺服馬達43 (參 照圖4)等)。此外，驅(qū)動機構(gòu)控制部85控制設(shè)置在基準搬送帶21上的基板搬送軸(未圖示)的伺服馬達。此外，驅(qū)動機構(gòu)控制部85可基于來自各伺服馬達所具有的編碼器(未圖示)的信號而識別基板搬送部22在X— Y平面上的位置、掩模保持部42的高度位置(Z方向)及旋轉(zhuǎn)位置(繞Z軸)等。此外，控制裝置80連接于設(shè)置在裝置主體上的緊急停止電路部92。該緊急停止電路部92電連接于設(shè)置在裝置主體內(nèi)的指定位置上的開蓋開關(guān)93，并且電連接于按鈕式緊急停止按鈕94。開蓋開關(guān)93根據(jù)取放蓋IOla (參照圖I)的開閉狀態(tài)而切換開關(guān)的開閉。由此，在取放蓋IOla打開的狀態(tài)下，緊急停止電路部92發(fā)揮功能而不使印刷單元90開始(重新開始)運行。此外，當使用者在運行中按下緊急停止按鈕94時，緊急停止電路部92發(fā)揮功能而即時中斷運行。另外，印刷單元91 (參照圖2)也具有與上述印刷單元90大致相同的結(jié)構(gòu)。因此，印刷裝置100在驅(qū)動各印刷單元90、91時，根據(jù)各印刷單元的動作狀況而進行與各印刷單元90、91相關(guān)的變形修正動作。此外，如圖I所示，在印刷裝置100的外側(cè)面上，與各印刷單元90、91相對應(yīng)地設(shè)置有顯示面板102、102。使用者可經(jīng)由該各顯示面板102掌握印刷動作的進行狀況或進行與顯示內(nèi)容對應(yīng)的機器操作。此外，在印刷裝置100上還設(shè)置有顯示燈103。顯示燈103位于比印刷裝置100的頂面部高的位置上，使用者即便從遠離印刷裝置100的位置也可看到印刷裝置100的運行狀況。以上述方式構(gòu)成印刷裝置100。下面，參照圖3 圖5、圖7及圖8對在上述印刷裝置100進行變形修正時的印刷單元90的動作進行說明。首先，在印刷結(jié)束后的印刷基板5從印刷區(qū)域通過基準搬送帶21沿Xl方向搬送至搬出區(qū)域的狀態(tài)(參照圖5)下，基板搬送部22在打開夾持片22b且降低基板載臺22a的狀態(tài)下停止在印刷區(qū)域(該印刷區(qū)域為印刷時網(wǎng)版掩模6 (參照圖7)載置在印刷基板5的上表面5a上的區(qū)域)。其后，從其他設(shè)備等向基準搬送帶21上的等待位置新移送印刷前的印刷基板5。在印刷單元90持續(xù)進行印刷動作時，正停止在印刷區(qū)域的基板搬送部22沿基準搬送帶21在X2方向移動至等待位置。然后，如圖5所示，基板搬送部22使用夾持片22b握持新的印刷基板5之后，再次沿Xl方向朝印刷區(qū)域移動。此時，本實施方式中，如圖7所示，在基板搬送部22沿Xl方向通過梁部32下部時，掩模用攝像機29對設(shè)置在梁部32的下表面32b上的基準標記70進行拍攝。由此，識別出X— Y平面上的基準標記70的當前位置坐標。此外，在基板搬送部22沿Xl方向通過梁部32下部時，設(shè)置在梁部32的下表面32b上的基板用攝像機99 (參照圖8)對設(shè)置在印刷基板5的上表面5a的未圖示的基準標記進行拍攝。其后，如圖4所示，基板搬送部22停止在印刷區(qū)域而打開夾持片22b。然后，通過基板載臺22a上升(沿Zl方向移動)，印刷基板5在下表面由銷支承的狀態(tài)下被抬升至指定高度。此外，在基板搬送部22停止在印刷區(qū)域時，掩模用攝像機29對設(shè)置在網(wǎng)版掩模6下表面的未圖示的基準標記進行拍攝。 其后，基于由基板用攝像機99拍攝的印刷基板5的基準標記的圖像、及由掩模用攝像機29拍攝的網(wǎng)版掩模6的基準標記的圖像而進行掩模保持部42 (參照圖4)在X— Y平面上的位置對準。然后，在該狀態(tài)下，網(wǎng)版掩模6 (參照圖7)與掩模保持部42 —起下降(沿Z2方向移動)，且網(wǎng)版掩模6以指定擠壓力抵接于印刷基板5的上表面5a。其后，在對網(wǎng)版掩模6上供應(yīng)有焊料2 (參照圖5)的狀態(tài)下驅(qū)動印刷部60 (參照圖7)，由此經(jīng)由網(wǎng)版掩模6對印刷基板5的上表面5a印刷焊料2。在印刷焊料2之后，網(wǎng)版掩模6與掩模保持部42 —起上升(沿Zl方向移動)而離開。然后，基板載臺22a下降(沿Z2方向移動)，從而印刷基板5載置在基準搬送帶21上。印刷單元90中通過重復(fù)上述印刷動作而持續(xù)對印刷基板5進行印刷。而且，在上述一系列印刷動作的中途，當基板搬送部22通過梁部32下部時，以基于運算處理部81 (參照圖3)的指令的適當時機拍攝基準標記70，由此對搬送機構(gòu)部20的變形進行修正。本實施方式中，如上所述，印刷裝置100 (印刷單元90、91)包括框架結(jié)構(gòu)體30，固定設(shè)置在基座10上，且具有搬送機構(gòu)部20的變形修正中所使用的基準標記70 ;以及掩模用攝像機29，對所述基準標記70進行拍攝，其中，在進行所述變形修正時，掩模用攝像機29對設(shè)置在所述框架結(jié)構(gòu)體30的梁部32的下表面32b的所述基準標記70進行拍攝。印刷裝置100 (印刷單元90、91)通過掩模用攝像機29拍攝不直接參與印刷機構(gòu)部40對印刷基板5的印刷動作的框架結(jié)構(gòu)體30上所設(shè)置的基準標記70而進行變形修正。因此，變形修正的時機的自由度高，與以往的印刷裝置相比可以在更為適當?shù)臅r機下拍攝基準標記70而進行變形修正。其結(jié)果，根據(jù)該印刷裝置100，可在對印刷基板5持續(xù)進行印刷動作的印刷單元90 (和/或91)中穩(wěn)定地維持印刷精度。此外，本實施方式中，掩模用攝像機29設(shè)置在基板搬送部22上，且與該基板搬送部22 —起在與水平面平行的平面(X — Y平面)上移動。由此,可在基板搬送部22移動時使掩模用攝像機29移動而以適當時機拍攝設(shè)置在梁部32下表面的基準標記70。因此，無須另行設(shè)置使掩模用攝像機29移動的專用驅(qū)動機構(gòu)，從而可簡化印刷裝置100 (印刷單元90,91)的結(jié)構(gòu)。此外，本實施方式中，框架結(jié)構(gòu)體30設(shè)置在進行印刷基板5的印刷的印刷區(qū)域(該印刷區(qū)域是進行印刷時網(wǎng)版掩模6載置在印刷基板5上的區(qū)域)之外的位置上，因此，掩模用攝像機29在印刷區(qū)域之外的區(qū)域拍攝基準標記70。這樣，掩模用攝像機29在不直接參與對印刷基板5進行的印刷動作的印刷區(qū)域之外的區(qū)域拍攝變形修正用基準標記70，因此不會在印刷區(qū)域內(nèi)拍攝基準標記70。因此，根據(jù)該印刷裝置100，不直接影響對印刷基板5進行的印刷動作即可進行變形修正。此外，本實施方式中，包括伺服馬達23，沿Y方向驅(qū)動搬送機構(gòu)部20整體；伺服馬達26，沿X方向驅(qū)動基板搬送部22 ；以及運算處理部81，基于掩模用攝像機29拍攝基準標記70的結(jié)果而對滾珠絲杠軸24、27伴隨發(fā)熱而產(chǎn)生的變形進行修正。由此，根據(jù)該印刷裝置100，可基于基準標記70的拍攝結(jié)果而以適當時機對各滾珠絲杠軸24、27伴隨發(fā)熱而產(chǎn)生的變形進行修正。此外，本實施方式中，運算處理部81基于掩模用攝像機29拍攝基準標記70的結(jié)果而對螺合于基板搬送部22的滾珠絲杠軸27 (和/或24)的變形進行修正。S卩，運算處理部81即便在對基板搬送部22傳輸驅(qū)動力的滾珠絲杠軸27 (和/或24)發(fā)生因發(fā)熱所引起的軸延伸時，也可以變形修正所需的適當時機進行與滾珠絲杠軸27 (和/或24)的變形對 應(yīng)的旋轉(zhuǎn)量修正。因此，根據(jù)該印刷裝置100，可高精度地由基板搬送部22進行印刷基板5的搬送動作。此外，本實施方式中，滾珠絲杠軸27 (和/或24)從進行印刷基板5的印刷的印刷區(qū)域延伸至其外部的區(qū)域，基板搬送部22螺合于該較長的滾珠絲杠軸27 (和/或24)而通過該滾珠絲杠軸27 (和/或24)的驅(qū)動在印刷區(qū)域與其外部的區(qū)域之間移動。該印刷裝置100可以變形修正所需的適當時機進行與滾珠絲杠軸27 (和/或24)的變形對應(yīng)的滾珠絲杠軸27 (和/或24)的旋轉(zhuǎn)量修正，因此即便使用上述較長的滾珠絲杠軸27 (和/或24)，也可穩(wěn)定地維持印刷精度。此外，本實施方式中，運算處理部81將由掩模用攝像機29拍攝的基準標記70的坐標作為搬送機構(gòu)部20 (基準搬送帶21及基板搬送部22)在X — Y平面上的位置坐標的基準位置而控制該搬送機構(gòu)部20的驅(qū)動。即，在本實施方式中，將設(shè)置在框架結(jié)構(gòu)體30上的基準標記70的坐標作為基準位置而控制伺服馬達26 (和/或23)的驅(qū)動。印刷裝置100將該基準標記70的坐標作為基準位置而控制搬送機構(gòu)部20的驅(qū)動，因此即便在更換伺服馬達26 (和/或23)或滾珠絲杠軸27 (和/或24)等元件時，在控制上的基準位置設(shè)定基準標記70的坐標即可容易地驅(qū)動伺服馬達26 (和/或23)。此外，本實施方式中，掩模用攝像機29在基板搬送部22進行向印刷區(qū)域搬入印刷基板5的動作時拍攝基準標記70。即，在本實施方式中，在由基板搬送部22進行的搬送動作中包含基準標記70的拍攝動作。因此，印刷裝置100可縮短用于拍攝基準標記70的動作時間，從而可縮短印刷裝置100的工作節(jié)拍時間。此外，本實施方式中，掩模用攝像機29在基板搬送部22向印刷區(qū)域搬入印刷基板5時，在基板搬送部22移動過程中拍攝基準標記70。這樣，印刷裝置100可在基板搬送部22移動的同時拍攝基準標記70，因此可縮短用于拍攝基準標記70的動作時間，從而，可容易且有效地縮短印刷裝置100的工作節(jié)拍時間。此外，本實施方式中，以可沿與基板搬送部22的搬送方向(X方向)交叉的方向(Y方向)移動地對保持網(wǎng)版掩模的掩模保持部42進行支承的方式固定設(shè)置有框架結(jié)構(gòu)體30，在基板搬送部22沿印刷基板5的搬送路徑移動時，掩模用攝像機29拍攝設(shè)置在框架結(jié)構(gòu)體30上的基準標記70。印刷裝置100在固定設(shè)置的框架結(jié)構(gòu)體30上具有變形修正用基準標記70，因此即便沿與基板搬送部22的搬送方向交叉的方向移動的掩模保持部42設(shè)置在框架結(jié)構(gòu)體30上，也可以適當時機確實進行變形修正。此外，本實施方式中，使用設(shè)置為網(wǎng)版掩模6的表面觀察用(檢查用)的掩模用攝像機29來拍攝變形修正用基準標記70，因此無須另行設(shè)置用于拍攝變形修正用基準標記70的“攝像部”。
此外，本實施方式中，基準標記70設(shè)置在框架結(jié)構(gòu)體30的下表面32b，掩模用攝像機29以可向上方(Zl方向)拍攝的方式設(shè)置在基板搬送部22上。因此，在基板搬送部22沿X— Y平面上的移動路徑通過框架結(jié)構(gòu)體30下部時，可通過掩模用攝像機29確實拍攝設(shè)置在下表面32b上的基準標記70。此外，本實施方式中，在框架結(jié)構(gòu)體30上除設(shè)置有基準標記70以外，還與基準標記70鄰接設(shè)置有用于調(diào)整照明光的照度的背景板75。而且，運算處理部81在掩模用攝像機29拍攝基準標記70時，基于對照明光照射的背景板75進行拍攝的結(jié)果而進行調(diào)整照明光的亮度的控制。由此，可與基準標記70的拍攝一起調(diào)整掩模用攝像機29照射的照明光的照度，從而可高精度地拍攝基準標記70。因此，可高精度地進行變形修正。此外，掩模用攝像機29可在拍攝基準標記70的同時調(diào)整照明光的照度，因此可將調(diào)整照明光所需的時間(工作損失)抑制于最小限度。由此，可縮短印刷裝置100的工作節(jié)拍時間。另外，此次公開的實施方式在所有方面均為例示而無限制性。本發(fā)明的范圍不由上述實施方式的說明而由發(fā)明內(nèi)容中所涉及的技術(shù)方案的范圍表示，且還包含與技術(shù)方案的范圍等同的意思及范圍內(nèi)的所有變更。例如，上述實施方式中，表示了在基板搬送部22進行向印刷區(qū)域搬入印刷基板5的動作時拍攝基準標記70的結(jié)構(gòu)例，但本發(fā)明并不限定在此。就在印刷區(qū)域之外的區(qū)域設(shè)置本發(fā)明中的“標記”而言，例如，也可采用在基板搬送部22進行搬出印刷結(jié)束后的印刷基板5的動作時拍攝基準標記71的結(jié)構(gòu)。具體而言，如圖11所示的第一變形例，也可在設(shè)置在圖中左側(cè)(搬出側(cè))的框架結(jié)構(gòu)體30的梁部32下表面設(shè)置基準標記71 (虛線)。此時，在載置有印刷結(jié)束后的印刷基板5的搬送機構(gòu)部20 (基板搬送部22)沿Yl方向在基座10上移動指定距離的路徑的中途，由掩模用攝像機29進行拍攝基準標記71的動作。另外，在搬送機構(gòu)部20沿Yl方向移動指定距離之后，印刷基板5沿Xl方向在基準搬送帶21上搬送而被搬出至印刷單元90外部。即便為該第一變形例的結(jié)構(gòu)，由于可在搬送機構(gòu)部20的搬送動作中包含基準標記71的拍攝動作，因此也可縮短印刷裝置100的工作節(jié)拍時間。另外，圖11中，為便于說明，省略設(shè)置在印刷單元90的Yl側(cè)的印刷單元91 (參照圖2)的圖示。此外，也可在印刷單元90上設(shè)置上述實施方式中例示的基準標記70與上述第一變形例中例示的基準標記71的雙方。而且，也可在進行變形修正時，基于運算處理部81的指令，通過掩模用攝像機29拍攝基準標記70和基準標記71的任一者而進行變形修正。此時，在進行變形修正時，較為理想的是拍攝基準標記70和基準標記71中更靠近動作中(移動中)的掩模用攝像機29側(cè)的標記。由此，可進而縮短變形修正動作所要的時間。此外，上述實施方式中，表示了在梁部32的下表面32b設(shè)置基準標記70的例，但本發(fā)明并不限定在此。例如，如圖12所示的變形例，只要掩模用攝像機29可向上方拍攝，則基準標記72也可設(shè)置在梁部32的側(cè)面32c。
此外，上述實施方式中，表示了分別使用由伺服馬達驅(qū)動的滾珠絲杠軸及螺母部件驅(qū)動搬送機構(gòu)部20的基準搬送帶21及基板搬送部22的結(jié)構(gòu)例，但本發(fā)明并不限定在此。也可使用滾珠絲杠軸及螺母部件以外的例如皮帶驅(qū)動或齒條齒輪及小齒輪等驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動搬送機構(gòu)部20 (基準搬送帶21及基板搬送部22)。此時，由于必須對伴隨驅(qū)動而產(chǎn)生的皮帶部件的熱延伸或齒條齒輪的熱延伸進行變形修正，因此可以適當時機對驅(qū)動部產(chǎn)生的變形進行修正。此外，上述實施方式中，表示了在印刷單元90、91中分別基于控制裝置80的運算處理部81的指令而進行變形修正動作的結(jié)構(gòu)例，但本發(fā)明并不限定在此。也可在印刷裝置100設(shè)置用于綜合進行印刷單元90、91的動作控制的本發(fā) 互動作(基板搬送部22在基座10上的位置關(guān)系)狀況，以適當時機進行各印刷單元的變形修正動作。匯總以上說明的本發(fā)明則如以下所示。本發(fā)明的印刷裝置包括基座；框體部件，固定設(shè)置在所述基座上；印刷部，由所述框體部件支承且對基板進行印刷；基板搬送部，在包含通過所述印刷部進行印刷的印刷區(qū)域的范圍內(nèi)能夠移動地設(shè)置在所述基座上，用于搬送基板；驅(qū)動機構(gòu)，驅(qū)動所述基板搬送部；控制部，控制所述驅(qū)動機構(gòu)對所述基板搬送部的驅(qū)動；標記，設(shè)置在所述框體部件上；以及攝像部，搭載在所述基板搬送部上，對所述標記進行拍攝，其中，所述控制部使所述基板搬送部移動以使基板位于所述印刷區(qū)域，并且基于所述攝像部拍攝的所述標記的圖像而進行用于糾正所述驅(qū)動機構(gòu)的變形所引起的所述基板搬送部的移動誤差的變形修正。該結(jié)構(gòu)中，在基板搬送部移動時通過搭載在該基板搬送部上的攝像部對設(shè)置在框體部件上的標記進行拍攝，控制部基于該標記的圖像而進行變形修正。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，攝像部對設(shè)置在不直接參與印刷部對基板的印刷動作的框體部件上的標記進行拍攝，因此拍攝標記的時機的自由度高，可以適當時機拍攝標記而進行變形修正。因此，在持續(xù)對基板進行印刷動作的印刷裝置中，可穩(wěn)定地維持印刷精度。此外，可使攝像部隨著基板搬送部的移動而移動地拍攝標記，因此無須另行設(shè)置使攝像部移動的專用驅(qū)動機構(gòu)，從而可簡化印刷裝置的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的印刷裝置中，較為理想的是，所述框體部件設(shè)置在所述印刷區(qū)域之外的位置上，所述攝像部在所述基板搬送部搬送所述基板時拍攝所述標記。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，攝像部在不直接參與基板的印刷動作的印刷區(qū)域之外的區(qū)域拍攝變形修正用標記，因此與在印刷區(qū)域內(nèi)拍攝標記時不同，不直接影響對基板的印刷動作即可進行變形修正。本發(fā)明的印刷裝置中，較為理想的是，所述驅(qū)動機構(gòu)為包括驅(qū)動源和接受該驅(qū)動源的驅(qū)動力而旋轉(zhuǎn)的進給螺桿軸且使所述基板搬送部隨該進給螺桿軸的旋轉(zhuǎn)而移動的螺桿進給機構(gòu)，所述控制部基于所述攝像部拍攝的所述標記的圖像而進行用于糾正所述進給螺桿軸的變形所引起的所述移動誤差的變形修正。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，即便在進給螺桿軸產(chǎn)生因發(fā)熱所引起的軸延伸時，也可以適當時機進行進給螺桿軸的變形修正，即進行與進給螺桿軸的變形對應(yīng)的進給螺桿軸的旋轉(zhuǎn)量修正。其結(jié)果，可高精度地由基板搬送部進行基板搬送動作。作為該結(jié)構(gòu)，例如可采用如下結(jié)構(gòu)所述進給螺桿軸從所述印刷區(qū)域延伸至所述印刷區(qū)域之外的區(qū)域，所述驅(qū)動機構(gòu)還包括用于插入所述進給螺桿軸的螺母部，所述基板搬送部隨所述進給螺桿軸的旋轉(zhuǎn)而在所述印刷區(qū)域與所述印刷區(qū)域之外的區(qū)域之間移動。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，即便包括從印刷區(qū)域延伸至其外部的區(qū)域的較長的進給螺桿軸，也可以適當時機進行進給螺桿軸的變形修正，因此可有效地獲得本發(fā)明的效果。本發(fā)明的印刷裝置中，較為理想的是，所述控制部將所述攝像部拍攝的所述標記的圖像的坐標設(shè)為所述基板搬送部的位置坐標的基準位置而控制該基板搬送部的驅(qū)動。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，將標記坐標設(shè)為基準位置，因此即便在更換驅(qū)動源或進給螺桿軸等元件時，僅在控制上的基準位置設(shè)定標記坐標即可容易地使驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動。本發(fā)明的印刷裝置中，較為理想的是，所述攝像部在所述基板搬送部進行向所述印刷區(qū)域搬入基板的動作和從所述印刷區(qū)域搬出基板的動作中的至少一動作時拍攝所述
己 O 根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可在基板搬送部的基板搬送動作中包含標記拍攝動作，從而可相應(yīng)地縮短用于拍攝標記的動作時間。由此，可縮短印刷裝置的動作時間作節(jié)拍時間)。在該結(jié)構(gòu)中，進一步理想的是，所述攝像部在所述基板搬送部的移動中拍攝所述 己 O根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可在基板搬送部的移動的同時拍攝標記，因此可縮短用于拍攝標記的動作時間。由此，可容易且有效地縮短印刷裝置的動作時間作節(jié)拍時間)。本發(fā)明的上述印刷裝置中，較為理想的是，所述框體部件包括跨所述基板搬送部搬送所述基板的搬送路徑的上方的梁部，所述框體部件的所述梁部支承所述印刷部，所述攝像部在所述基板搬送部沿所述搬送路徑搬送基板時拍攝所述標記。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在框體部件的梁部設(shè)置有印刷部，在基板搬送部通過所述梁部下方時拍攝設(shè)置在框體部件上的標記，因此可以適當時機確實進行變形修正。在該結(jié)構(gòu)中，進一步理想的是，所述印刷部包括在印刷時重疊于基板上表面的掩模，所述攝像部被設(shè)置為能夠拍攝所述掩模的下表面，在拍攝該掩模下表面時拍攝所述標記。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可使用設(shè)置為掩模的表面觀察用(檢查用)的攝像部拍攝變形修正用標記，因此無須另行設(shè)置用于拍攝變形修正用標記的攝像部。另外進一步理想的是，所述標記設(shè)置在所述框體部件的所述梁部的下表面或所述框體部件的側(cè)面。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，當基板搬送部在其移動路徑上通過框體部件附近時，可通過攝像部確實拍攝設(shè)置在框體部件的梁部的下表面或框體部件的側(cè)面的標記。本發(fā)明的印刷裝置中，較為理想的是，所述攝像部包括能夠?qū)ε臄z對象照射照明光的照明部，所述框體部件包括設(shè)置在與所述標記鄰接的位置上的背景板，所述控制部基于所述攝像部將所述標記與所述背景板一起拍攝的圖像而調(diào)整所述照明光的亮度。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，除了拍攝標記還能夠調(diào)整照明部照射的照明光的照度，因此可高精度地拍攝標記。其結(jié)果，可高精度地進行變形修正。此外，可在拍攝標記的同時調(diào)整照明光的照度，由此可將照明光的調(diào)整所需的時間(工作損失)抑制于最小限度。由此，也可縮短印刷裝置的工作節(jié)拍時間。
權(quán)利要求
1.一種印刷裝置，其特征在于包括 基座; 框體部件，固定設(shè)置在所述基座上； 印刷部，由所述框體部件支承且對基板進行印刷； 基板搬送部，在包含通過所述印刷部進行印刷的印刷區(qū)域的范圍內(nèi)能夠移動地設(shè)置在所述基座上，用于搬送基板； 驅(qū)動機構(gòu)，驅(qū)動所述基板搬送部； 控制部，控制所述驅(qū)動機構(gòu)對所述基板搬送部的驅(qū)動； 標記，設(shè)置在所述框體部件上；以及 攝像部，搭載在所述基板搬送部上，對所述標記進行拍攝，其中， 所述控制部使所述基板搬送部移動以使基板位于所述印刷區(qū)域，并且基于所述攝像部拍攝的所述標記的圖像而進行用于糾正所述驅(qū)動機構(gòu)的變形所引起的所述基板搬送部的移動誤差的變形修正。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的印刷裝置，其特征在于 所述框體部件設(shè)置在所述印刷區(qū)域之外的位置上， 所述攝像部在所述基板搬送部搬送所述基板時拍攝所述標記。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的印刷裝置，其特征在于 所述驅(qū)動機構(gòu)為包括驅(qū)動源和接受該驅(qū)動源的驅(qū)動力而旋轉(zhuǎn)的進給螺桿軸且使所述基板搬送部隨該進給螺桿軸的旋轉(zhuǎn)而移動的螺桿進給機構(gòu)， 所述控制部基于所述攝像部拍攝的所述標記的圖像而進行用于糾正所述進給螺桿軸的變形所引起的所述移動誤差的變形修正。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的印刷裝置，其特征在于 所述進給螺桿軸從所述印刷區(qū)域延伸至所述印刷區(qū)域之外的區(qū)域， 所述驅(qū)動機構(gòu)還包括用于插入所述進給螺桿軸的螺母部， 所述基板搬送部隨所述進給螺桿軸的旋轉(zhuǎn)而在所述印刷區(qū)域與所述印刷區(qū)域之外的區(qū)域之間移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的印刷裝置，其特征在于 所述控制部將所述攝像部拍攝的所述標記的圖像的坐標設(shè)為所述基板搬送部的位置坐標的基準位置而控制該基板搬送部的驅(qū)動。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的印刷裝置，其特征在于 所述攝像部在所述基板搬送部進行向所述印刷區(qū)域搬入基板的動作和從所述印刷區(qū)域搬出基板的動作中的至少一動作時拍攝所述標記。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的印刷裝置，其特征在于 所述攝像部在所述基板搬送部的移動中拍攝所述標記。
8.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的印刷裝置，其特征在于 所述框體部件包括跨所述基板搬送部搬送所述基板的搬送路徑的上方的梁部， 所述框體部件的所述梁部支承所述印刷部， 所述攝像部在所述基板搬送部沿所述搬送路徑搬送基板時拍攝所述標記。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的印刷裝置，其特征在于所述印刷部包括在印刷時重疊于基板上表面的掩模， 所述攝像部被設(shè)置為能夠拍攝所述掩模的下表面，在拍攝該掩模下表面時拍攝所述標記。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的印刷裝置，其特征在于 所述標記設(shè)置在所述框體部件的所述梁部的下表面或所述框體部件的側(cè)面。
11.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的印刷裝置，其特征在于 所述攝像部包括能夠?qū)ε臄z對象照射照明光的照明部， 所述框體部件包括設(shè)置在與所述標記鄰接的位置上的背景板， 所述控制部基于所述攝像部將所述標記與所述背景板一起拍攝的圖像而調(diào)整所述照明光的亮度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種印刷裝置，其包括基座；框體部件；印刷部；基板搬送部，在包含通過所述印刷部進行印刷的印刷區(qū)域的范圍內(nèi)能夠移動地設(shè)置在所述基座上，用于搬送基板；驅(qū)動機構(gòu)；控制部，控制所述驅(qū)動機構(gòu)對所述基板搬送部的驅(qū)動；標記，設(shè)置在所述框體部件上；以及攝像部，搭載在所述基板搬送部上，對所述標記進行拍攝，其中，所述控制部使所述基板搬送部移動以使基板位于所述印刷區(qū)域，并且基于所述攝像部拍攝的所述標記的圖像而進行用于糾正所述驅(qū)動機構(gòu)的變形所引起的所述基板搬送部的移動誤差的變形修正。由此，能夠提高變形修正的時機的自由度，從而與以往的印刷裝置相比在更為適當?shù)臅r機下能夠進行變形修正。
文檔編號B41F15/08GK102774129SQ201210148
公開日2012年11月14日 申請日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月13日
發(fā)明者佐藤英俊 申請人:雅馬哈發(fā)動機株式會社