專利名稱：壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置和制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置和制造方法，更詳細(xì)地 說(shuō)，涉及一種用于制造在利用平版印刷方法形成圖案時(shí)使用的模版的制造裝置和制造方 法，涉及一種通過(guò)改善印刷工序中使用的模版的制造方法和制造裝置，可制造性能優(yōu)良的 模版，從而能夠在利用印刷工序形成微細(xì)圖案時(shí)形成更優(yōu)良的微細(xì)圖案，同時(shí)，因簡(jiǎn)化了工 序，能夠降低制造單價(jià)并提高生產(chǎn)率的印刷用模版的制造方法和制造裝置。
背景技術(shù)：
通常，適用于信息存儲(chǔ)器、小型傳感器、光結(jié)晶和光學(xué)元件、微細(xì)電子機(jī)械元件、顯 示元件、顯示器和半導(dǎo)體的微細(xì)圖案形成工序利用了用光形成微細(xì)圖案的照相平版印刷工 序?？墒?，因LCD基板的大型化、圖案尺寸的微細(xì)化以及各領(lǐng)域的價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力越加激烈，不 是現(xiàn)有的照相平版印刷工序，而是革新的新概念的平版印刷工序的必要性興起。即，現(xiàn)有的 照相平版印刷工序因必須有形成圖案時(shí)的曝光工序、曝光后的烘干工序、顯影工序、顯影后 的烘干工序、蝕刻工序、清洗工序等，工序時(shí)間變長(zhǎng)，因必須反復(fù)地進(jìn)行數(shù)次照相工序，生產(chǎn) 率降低的問(wèn)題更加突出。另外，由于推進(jìn)圖案的超微型化，必須替換如曝光裝備那樣的高 價(jià)設(shè)備，因此存在著增加投資費(fèi)用，高分辨率的母掩模的價(jià)格也會(huì)驟漲，存在效率下降的劣 勢(shì)，必須使用高價(jià)裝備的問(wèn)題成為引起最終成本上升的另一要因。因此，作為可以解決此問(wèn)題的方法，提出了一種壓印(imprint)和輥印 (rollprint)平版印刷方法。首先，壓印平版印刷術(shù)是一種為了刻印納米尺寸最初由美國(guó)普 林斯頓大學(xué)的Stephen chou等發(fā)明的方法，在相對(duì)強(qiáng)度高的無(wú)機(jī)物或高分子表面預(yù)先制作 必要的形狀，并將其壓印在其他的物質(zhì)上以形成微細(xì)圖案。具體的，壓印平版印刷術(shù)是使用 預(yù)先形成有所希望的微細(xì)圖案的無(wú)機(jī)物或高分子模版(stamp)，與涂敷在金屬膜或有機(jī)膜 上的固化性組合物結(jié)合，使它們熱固化或光固化，以形成圖案的工藝，與現(xiàn)有的照相平版印 刷術(shù)相比，具有工序簡(jiǎn)化和有利于形成微細(xì)圖案的優(yōu)點(diǎn)。在此壓印平版印刷術(shù)中，實(shí)現(xiàn)以往 的母掩模作用的是模版。在壓印工序中，模版的作用是作為稱作壓印工序技術(shù)的核心的部 分，為了形成所希望形態(tài)的圖案，制造所希望形態(tài)的模版，才可通過(guò)執(zhí)行壓印工序形成所致 的圖案。另外，輥印是一項(xiàng)對(duì)現(xiàn)有印刷技術(shù)作進(jìn)一步改進(jìn)的技術(shù)，作為利用刻印有圖案的 輥?zhàn)拥挠∷⒎椒?，利用刻印有圖案的基板在無(wú)圖案的輥?zhàn)由闲纬晌⒓?xì)圖案的方法。此輥印 方法也使用將各自的材料向下個(gè)步驟轉(zhuǎn)印用的模版。輥印方法也像壓印工序那樣以優(yōu)良的 模版制造為前提，才可形成性能優(yōu)良的圖案。如此，壓印和輥印平版印刷工序提出了一種與照相平版印刷術(shù)相比，可以實(shí)現(xiàn)工 序簡(jiǎn)單，沒(méi)有作為高價(jià)工序的曝光工序，因而使得裝備簡(jiǎn)化，工序數(shù)減少，帶來(lái)無(wú)塵室空間 的劃時(shí)代的、革新的減少，與現(xiàn)有的工序相比，用低價(jià)的裝備就可實(shí)現(xiàn)微細(xì)圖案，因而能夠 具有優(yōu)越的價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力，已被提議作為未來(lái)圖案形成技術(shù)的可供選擇方法的重要核心技 術(shù)。
此壓印和輥印平版印刷方法也可適用于今后的FED(Field EmissionDisplay)、 OLED(ElectroLuminescent)、PDP (Plasma Display Panel)、太陽(yáng)電池(Solar cell)裝置。 由此，預(yù)想在各應(yīng)用領(lǐng)域，制造工序都得以簡(jiǎn)化，且在以后反復(fù)印刷后，也能確保圖案的精
也/又。在此，前述壓印和輥印平版印刷方法在制作模版后能夠通過(guò)印刷工序形成微細(xì)圖 案，以替代現(xiàn)有的照相平版印刷術(shù)中形成圖案時(shí)使用的高分辨率的母掩模。此印刷方法中 使用的模版能夠采用各種方法來(lái)制造。可是，現(xiàn)有的模版制造方法中，工序復(fù)雜，生產(chǎn)率差， 不能順暢地實(shí)現(xiàn)模版的平坦度、總節(jié)距(totalpitch)等模版的物理性能，在印刷工序時(shí)形 成優(yōu)良的圖案受到許多制約。為此，現(xiàn)實(shí)是要切實(shí)開(kāi)發(fā)一種可解決此以往技術(shù)問(wèn)題的新形態(tài)的壓印和輥印用模 版的制造方法和制造裝置。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決此以往的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種用于制造在形成壓印和輥印平版 印刷用圖案時(shí)使用的模版的制造方法和制造裝置。本發(fā)明的目的是通過(guò)利用本發(fā)明提供在 半導(dǎo)體、LCD、PDP、0LED、太陽(yáng)電池產(chǎn)業(yè)中的進(jìn)行印刷平版印刷所致的圖案形成工序中使用 的模版，以提高模版性能、改進(jìn)工序和改善制造單價(jià)。另外，通過(guò)實(shí)施利用本發(fā)明的模版的 印刷工序，能夠?qū)崿F(xiàn)更優(yōu)越的圖案形成。為了實(shí)現(xiàn)前述目的，本發(fā)明提供了一種壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置， 其特征在于，包含有由與真空發(fā)生裝置連接且可開(kāi)閉的空間構(gòu)成的真空腔、位于所述真空 腔的下部且頂面具有模具圖案的母模、可上下移動(dòng)地位于所述真空腔的上部且可附著和脫 離后面支持體的后面支持體附著用卡盤以及控制部，其中，控制部用于(a)通過(guò)所述真空 發(fā)生裝置在所述真空腔內(nèi)形成真空，(b)在將后面支持體附著于所述后面支持體附著用卡 盤上的狀態(tài)下，使所述附著用卡盤向下移動(dòng)，所述后面支持體附著到所述母模的頂面形成 的模版上，(C)在所述真空狀態(tài)下或除去所述真空的狀態(tài)下，在將后面支持體脫離所述后面 支持體附著用卡盤的狀態(tài)下，使所述附著用卡盤向上移動(dòng)。另外，本發(fā)明提供了一種壓印或輥印平版印刷用模版的制造方法，其特征在于，包 含有，a)在位于真空腔的下部且頂面具有模具圖案的母模的頂面涂布模版材料，將后面支 持體附著在后面支持體附著用卡盤上的步驟，其中，該后面支持體附著用卡盤位于所述真 空腔上部，用于附著和脫離后面支持體，b)通過(guò)真空發(fā)生裝置在真空腔內(nèi)形成真空的步驟， c)在后面支持體附著到所述后面支持體附著用卡盤上的狀態(tài)下，使所述附著用卡盤向下 移動(dòng)，以將所述后面支持體附著到在所述母模的頂面形成的模版上的步驟，d)在所述真空 狀態(tài)下或除去所述真空的狀態(tài)下，后面支持體從所述后面支持體附著用卡盤上脫離的狀態(tài) 下，使所述附著用卡盤向上移動(dòng)的步驟。根據(jù)本發(fā)明的壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置和制造方法，可提供一種與 現(xiàn)有的印刷用模版相比，能夠制造具有平坦度、圖案形狀優(yōu)越、總節(jié)距等優(yōu)秀物性的模版。 同時(shí)，能夠提供一種在印刷工序時(shí)，圖案不良的發(fā)生最少、產(chǎn)率改善、提高工序效率的壓印 或輥印模版的制造方法和制造裝置，由此，通過(guò)相對(duì)于各種印刷工序的穩(wěn)定的模版的供給， 得到能夠進(jìn)行優(yōu)良的印刷工序的效果。


圖1為分別示意地示出本發(fā)明的壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置的實(shí)施 例的視圖。圖2為示意地示出本發(fā)明的壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置的一實(shí)施例 的動(dòng)作例的視圖。圖3為示意地示出本發(fā)明的壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置的另一實(shí)施 例的動(dòng)作例的視圖。圖4為示意地示出本發(fā)明的壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置的另一實(shí)施 例的動(dòng)作例的視圖。符號(hào)說(shuō)明2真空發(fā)生裝置4真空腔的上部6真空腔的下部8直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)引件10真空腔20 母模30后面支持體附著用卡盤(chuck)40a加熱裝置(固化裝置)40b光照射裝置(固化裝置)B后面支持體S 模版
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖，詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明。本發(fā)明涉及一種壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置，其構(gòu)成包括由與真空發(fā) 生裝置2連接而被開(kāi)閉的空間構(gòu)成的真空腔10、位于前述真空腔10的下部且頂面具有模具 圖案的母模20，可上下移動(dòng)地位于前述真空腔10的上部且可附著和脫離后面支持體(B)的 后面支持體附著用卡盤30以及控制部，其中，控制部用于(a)通過(guò)前述真空發(fā)生裝置2在 前述真空腔10內(nèi)形成真空；(b)在將后面支持體(B)附著于前述后面支持體附著用卡盤30 上的狀態(tài)下，使前述附著用卡盤30向下移動(dòng)，將前述后面支持體(B)附著到在前述母模20 的頂面形成的模版(S)上；(c)在前述真空狀態(tài)下或除去前述真空的狀態(tài)下，在將后面支持 體(B)脫離前述后面支持體附著用卡盤30的狀態(tài)下，使前述附著用卡盤30向上移動(dòng)。S卩，與之相關(guān)的具體例如圖1所示，具有這樣一種真空腔，該真空腔與由旋轉(zhuǎn)泵、 擴(kuò)散泵或它們的組合等構(gòu)成的通常的真空發(fā)生裝置相連接、具有如圖1(a)的具體例(此時(shí) 關(guān)閉開(kāi)啟口用的門未示出)所示的可使后面支持體和模版形成用的材料出入的開(kāi)閉口或 者如圖1(b)的具體例所示的使真空腔自身上下分離或結(jié)合而開(kāi)閉的空間、并在前述空間 被封閉時(shí)通過(guò)前述真空發(fā)生裝置的運(yùn)行在密閉空間內(nèi)形成真空。另外，如圖1中的具體例所示的，頂面具有模具圖案的母模結(jié)合在前述真空腔的
5下部，而且如圖1中的具體例所示的，后面支持體附著用卡盤相結(jié)合在前述真空腔的上部， 其中，后面支持體附著用卡盤可附著和脫離結(jié)合于模版后面的后面支持體。在此，前述后面 支持體附著用卡盤相對(duì)于真空腔可上下移動(dòng)地結(jié)合，并且通過(guò)后述的控制部的控制而上下 移動(dòng)。前述母模20可以為頂面具有模具圖案的一體型模，也可以如圖示，在母掩模夾具 (jig)上形成規(guī)定的圖案，或者設(shè)置有形成所希望形態(tài)的形狀的母掩模(master)的組合體 形態(tài)構(gòu)成。前述后面支持體附著用卡盤(chuck) 30為與模版結(jié)合且將起支持體作用的后面 支持體進(jìn)行附著和脫離的卡盤，依據(jù)附著和脫離方法的各種卡盤都適用，較適用的是利用 靜電實(shí)現(xiàn)附著和脫離的靜電卡盤或者利用真空吸附方式實(shí)現(xiàn)附著和脫離的接著卡盤，因它 們相對(duì)于后面支持體的附加的應(yīng)力發(fā)生少，更好的是使用相對(duì)于后面支持體的附加應(yīng)力發(fā) 生最少的靜電卡盤(electrostaticchuck)。此真空腔、母模、附著用卡盤通過(guò)控制部實(shí)現(xiàn)如下的動(dòng)作a)通過(guò)前述真空發(fā)生 裝置在前述真空腔中形成真空，b)在將后面支持體附著到前述后面支持體附著用卡盤上的 狀態(tài)下，將前述附著用卡盤向下移動(dòng)，將前述后面支持體附著到在前述母模頂面形成的模 版上，c)在前述真空狀態(tài)下或除去前述真空的狀態(tài)下，在后面支持體從后面支持體附著用 卡盤上脫離的狀態(tài)下，將前述附著用卡盤向上移動(dòng)。與之相關(guān)的具體例如圖2、圖3所示。S卩，在具備真空腔、母模、附著用卡盤的制造裝置中，當(dāng)在母模和附著用卡盤上分 別形成模版和后面支持體并封閉真空腔以形成密閉空間后，開(kāi)動(dòng)真空發(fā)生裝置以在前述真 空腔中形成真空，并在將后面支持體附著到前述后面支持體附著用卡盤上的狀態(tài)下，使前 述附著用卡盤向下移動(dòng)，以將前述后面支持體附著到在前述母模頂面形成的模版上。之后， i)在維持前述真空狀態(tài)的狀態(tài)下，將后面支持體從前述后面支持體附著用卡盤上脫離，只 有前述附著用卡盤向上移動(dòng)，或者ii)在除去前述真空使真空腔處于常壓狀態(tài)后，將后面 支持體從前述后面支持體附著用卡盤上脫離，只有前述附著用卡盤向上移動(dòng)。由此，因?yàn)樵谡婵諣顟B(tài)下后面支持體與模版能夠在施加到后面支持體上的應(yīng)力最 少的情況下相互結(jié)合，所以它們之間的結(jié)合均勻并且附加的應(yīng)力發(fā)生少且不會(huì)產(chǎn)生殘留應(yīng) 力，能夠維持平坦度、圖案形狀的保存性、總節(jié)距等物性的優(yōu)良。此外，如圖2和圖3的具體例所示，本發(fā)明的模版制造裝置進(jìn)一步包括由加熱前述 母模20的加熱裝置40a或者位于前述母模20的頂面且對(duì)前述母模20照射含紫外線的多 種波長(zhǎng)光的光照射裝置40b構(gòu)成的固化裝置40a或40b (如圖示，也可二者都有地構(gòu)成)，前 述模版和后面支持體附著后，使相互間結(jié)合。為此，前述控制部能夠進(jìn)一步包含如下的控制 過(guò)程，在前述c)過(guò)程后，d)在前述真空狀態(tài)下或者除去前述真空的狀態(tài)下，使前述固化裝 置40a或40b動(dòng)作，將模版(S)與后面支持體(B)之間的結(jié)合體固化。即，前述固化過(guò)程能 夠在維持前述真空腔的真空的狀態(tài)下進(jìn)行，也能夠在解除真空狀態(tài)后進(jìn)行。與之相關(guān)的具 體例分別如圖2和圖3所示。另外，如前述，前述真空腔最好可如圖1(b)和圖3的具體例所示，使真空腔10的 上部4和下部6可分別上下分離而開(kāi)閉。由此，如圖3所示，通過(guò)相對(duì)于后面支持體的附著 用卡盤的負(fù)載、模版的形成、固化過(guò)程的光照射側(cè)面，具有能夠容易地進(jìn)行各過(guò)程的優(yōu)點(diǎn)。 另外，正如前述，前述后面支持體附著用卡盤最好是由靜電卡盤構(gòu)成，在附著(chucking)
6和脫離(dechucking)時(shí)應(yīng)力發(fā)生最少，因真空腔的驅(qū)動(dòng)與卡盤的驅(qū)動(dòng)之間驅(qū)動(dòng)方式的不 同，能夠減少相互間的干涉。另外，在具有如前所述地、將真空腔10上下分別分離成上部4和下部6以開(kāi)閉的 構(gòu)造時(shí)，能夠構(gòu)成如圖4的具體例所示的的形態(tài)，即前述真空腔10的上部4或下部6與直 線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)引件8結(jié)合以分離上部4和下部6時(shí)，彼此相對(duì)地直線移動(dòng)。由此，具有可構(gòu)成整 體裝置自動(dòng)化的優(yōu)點(diǎn)。另外，當(dāng)然，也能夠在此前述真空腔10的上部4和下部6各自均與 直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)引件8相結(jié)合地使它們移動(dòng)。此外，本發(fā)明提供了一種壓印(imprint 特別是后面支持體為玻璃等柔軟性差的 物質(zhì)時(shí))或者輥印(roll-print 特別是后面支持體為樹(shù)脂薄膜等柔軟性高的物質(zhì)時(shí))平 版印刷用模版的制造方法，其包含有如下步驟，a)在位于真空腔10的下部且頂面具有模具 圖案的母模20的頂面上涂布模版材料，將后面支持體(B)附著在用于附著和脫離位于前述 真空腔10上部的后面支持體(B)的后面支持體附著用卡盤30上的步驟，b)通過(guò)真空發(fā)生 裝置20在真空腔10內(nèi)形成真空的步驟，c)在將后面支持體(B)附著到前述后面支持體附 著用卡盤30上的狀態(tài)下，使前述附著用卡盤30向下移動(dòng)，以將前述后面支持體(B)附著到 在前述母模20的頂面形成的模版(S)上的步驟，d)在前述真空狀態(tài)下或除去前述真空的 狀態(tài)下，將后面支持體(B)從前述后面支持體附著用卡盤30上脫離的狀態(tài)下，使前述附著 用卡盤30向上移動(dòng)的步驟。S卩，本發(fā)明的模版的制造方法能夠包括如下的步驟，S卩，通過(guò)靜電卡盤或者接著卡 盤等的附著用卡盤對(duì)后面支持體加載，使用夾具將形成所希望形狀的母掩模設(shè)置于真空腔 中來(lái)準(zhǔn)備母模，在前述母模的母掩模上涂布模版材料后，在真空腔內(nèi)實(shí)施真空壓合工序，在 其上追加實(shí)施附加的熱固化或光固化或它們的組合所致的固化過(guò)程，將前述制造的模版 (被結(jié)合了后面支持體的)從由母掩模和夾具構(gòu)成的母模上分離。最好如前所述地，能夠進(jìn)一步包含有，在前述d)步驟后，e)在前述真空狀態(tài)下或 除去前述真空的狀態(tài)下，將附著前述后面支持體的模版結(jié)合體固化的步驟，前述固化可以 光固化或熱固化或它們的組合的形態(tài)進(jìn)行，前述后面支持體附著用卡盤正如前述能夠由靜 電卡盤或接著卡盤構(gòu)成。更詳細(xì)地說(shuō)，基于圖3所見(jiàn)，首先，使用靜電卡盤或接著卡盤30等，將支持模版且 可作為模版功能用的后面支持體(B)形成于上部真空腔4中，同時(shí)要防止模版收縮和歪斜， 該模版具有作為壓印和輥印平版印刷用模版的功能。此時(shí)的靜電卡盤、接著卡盤30因支持 后面支持體(B)，能夠通過(guò)對(duì)卡盤103施加靜電或真空，實(shí)現(xiàn)更好的后面支持體(B)形成工序。之后，在母掩模夾具(jig)上形成規(guī)定的圖案，或者設(shè)置形成所希望形態(tài)的形狀 的母掩模(master)，準(zhǔn)備母模。此時(shí)，通過(guò)對(duì)母掩模夾具施加真空，將母掩模穩(wěn)定地設(shè)置于 母掩模夾具上，穩(wěn)定設(shè)置的母掩模也會(huì)影響模版形成和模版物性。然后，將模版材料形成于 母掩模上后，設(shè)置于下部真空腔6上?；蛘?，也可將由母掩模夾具和母掩模構(gòu)成的母模設(shè)置 于下部真空腔6上后，形成模版材料。進(jìn)行上述的工序后，在將上部真空腔4和下部真空腔 6關(guān)閉的狀態(tài)下，使用真空泵施加真空。此時(shí)的真空度可在常壓下到IX 10_4Torr，更好的是 1 X IOTorr 1 X 10_2Torr。在施加真空的狀態(tài)下，一旦到達(dá)所希望的真空度，就使卡盤30下 降，實(shí)施與形成于下部真空腔6上的模版材料(S)的壓合工序。實(shí)施卡盤30所致的壓合工序后，也可在如圖3所示的維持真空的狀態(tài)下，進(jìn)行卡盤的上升過(guò)程，或者，也可取消真空 泵使真空腔內(nèi)的真空度形成常壓狀態(tài)后，如真空腔內(nèi)的真空度返回常壓狀態(tài)，就使卡盤30 上升。此時(shí)，也可以在完全取消使卡盤30附著到后面支持體(B)上的靜電或粘接力等后， 只是必須使卡盤30上升，通過(guò)實(shí)施空氣或氮?dú)獯禋?，?shí)施更好的分離。最后，除去或移動(dòng)上部真空腔4后，使用由曝光器和UV燈構(gòu)成的光照射裝置40b、 由加熱器構(gòu)成的加熱裝置40a等實(shí)施固化工序。實(shí)施固化工序后，通過(guò)實(shí)施從由母掩模夾 具和母掩模構(gòu)成的母模上分離，能夠制造壓印和輥印平版印刷用模版。實(shí)施前述的工序后制造的壓印和輥印平版印刷用模版通過(guò)模版材料的平坦度、總 節(jié)距(total pitch)、優(yōu)良的圖案形狀的形成等，執(zhí)行平版印刷工序時(shí)無(wú)彎曲地形成圖案的 同時(shí)，能夠減少圖案缺陷，因此能夠提高印刷工序的執(zhí)行能力。由本發(fā)明制造的模版通過(guò)實(shí)施由平版印刷工序進(jìn)行的圖案形成，能夠?qū)嵤┠０嬖u(píng) 價(jià)，通過(guò)掃描電子顯微鏡(SEM :Scanning Electron Microscope)、光學(xué)顯微鏡(Optical Microscope)、原子力顯微鏡(AFM Atomic Force Microscope)等，能夠?qū)ζ浯_認(rèn)。
實(shí)施例下面，為了本發(fā)明的理解，提出了較佳實(shí)施例，但下述的實(shí)施例不過(guò)是例示本發(fā) 明，本發(fā)明的范圍并不受下述實(shí)施例的限定。實(shí)施例1通過(guò)下述的實(shí)驗(yàn)過(guò)程實(shí)施本發(fā)明。首先，準(zhǔn)備LCD用玻璃(B)。使用靜電卡盤30將準(zhǔn)備的玻璃加載到上部真空腔 4中。加載后面支持體后，準(zhǔn)備刻有5μπι 20μπι的多種圖案的母掩模。將準(zhǔn)備的母掩 模設(shè)置于在下部真空腔6上設(shè)置的母掩模夾具上而準(zhǔn)備母模20后，準(zhǔn)備義々二- 二 社的作為硅彈性聚合體的力‘1辦-K 184A(sylgard 184A)和作為固化劑的力^辦-K 184B(sylgard 184B)后，以10 :1的比率充分混合后，以50 μ m的厚度在準(zhǔn)備的母掩模上實(shí) 施涂敷。實(shí)施前述的涂敷后，關(guān)閉真空腔10，之后，使用真空泵施加真空。真空腔內(nèi)的真空 度一旦到達(dá)1. OTorr,就使靜電卡盤30下降，實(shí)施壓合工序。使用靜電卡盤30實(shí)施壓合后， 停止真空泵，將真空腔內(nèi)的真空度形成為常壓狀態(tài)。一旦處于常壓狀態(tài)，就取消靜電卡盤30 的附著，使靜電卡盤30上升，之后，使上部真空腔4上升，真空腔敞開(kāi)。之后，加熱器40a加 熱到80°C，實(shí)施1小時(shí)的熱固化?；蛘撸部稍陉P(guān)閉上部真空腔4的狀態(tài)下，將加熱器40a 加熱到80°C，實(shí)施1小時(shí)的熱固化。最后，通過(guò)將形成的模版從母模20上分離，制造壓印用 模版。實(shí)施例2除了通過(guò)使用光固化型材料作為模版材料且實(shí)施UV光固化來(lái)制造壓印用模版 外，實(shí)施與實(shí)施例1相同的工序，以制造壓印用模版。實(shí)施例3除了通過(guò)使用PET薄膜作為后面支持體⑶實(shí)施工序以制造壓印用模版外，實(shí)施 與實(shí)施例1相同的工序，以制造壓印用模版。實(shí)施例4除了通過(guò)使用PET薄膜作為后面支持體(B)且使用光固化材料作為模版材料以制造輥印用模版外，實(shí)施與實(shí)施例1相同的工序，制造輥印用模版。如前所述方式制造的模版通過(guò)實(shí)施圖案形成工序，能夠?qū)嵤┰u(píng)價(jià)。使用印刷用材 料以實(shí)施印刷工序后，通過(guò)掃描電子顯微鏡(SEM Scanning ElectronMicroscope)、光學(xué)顯 微鏡(Optical Microscope)等，確認(rèn)形成的模版和圖案形狀等，能夠確認(rèn)為是一種圖案形 狀和物性比現(xiàn)有優(yōu)越的模版。上述的本發(fā)明并不限定于前述的實(shí)施例和附圖，而是在不脫離下述的權(quán)利要求書 的范圍記載的本發(fā)明的思想和領(lǐng)域的范圍內(nèi)，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所做的各種修正 和變更也包含在本發(fā)明的該范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置，其特征在于，包含有由與真空發(fā)生裝置連接且開(kāi)閉的空間構(gòu)成的真空腔，位于所述真空腔的下部且頂面具有模具圖案的母模，可上下移動(dòng)地位于所述真空腔的上部且可附著和脫離后面支持體的后面支持體附著用卡盤，以及控制部，其中，控制部用于(a)通過(guò)所述真空發(fā)生裝置在所述真空腔內(nèi)形成真空，(b)在將后面支持體附著于所述后面支持體附著用卡盤上的狀態(tài)下，使所述附著用卡盤向下移動(dòng)，將所述后面支持體附著到在所述母模的頂面形成的模版上，(c)在所述真空狀態(tài)下或除去所述真空的狀態(tài)下，在將后面支持體脫離所述后面支持體附著用卡盤的狀態(tài)下，使所述附著用卡盤向上移動(dòng)。
2.按照權(quán)利要求1所述的壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置，其特征在于，進(jìn)一 步包含由加熱所述母模的加熱裝置或者位于所述母模上部以對(duì)所述母模照射光的光照射 裝置構(gòu)成的固化裝置；所述控制部進(jìn)一步包含有(d)在所述真空狀態(tài)下或者除去所述真 空的狀態(tài)下，使所述固化裝置動(dòng)作來(lái)固化模版和后面支持體的結(jié)合體的控制過(guò)程。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置，其特征在于，所 述真空腔通過(guò)上部和下部彼此上下分離而開(kāi)閉，所述后面支持體附著用卡盤為靜電卡盤或 接著卡盤。
4.按照權(quán)利要求3所述的壓印或輥印平版印刷用模版的制造裝置，其特征在于，所述 真空腔的上部或下部與直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)引件結(jié)合，在上部和下部分離時(shí)，彼此相對(duì)直線移動(dòng)。
5.一種壓印或輥印平版印刷用模版的制造方法，其特征在于，包含有a)在位于真空腔的下部且頂面具有模具圖案的母模的頂面涂布模版材料，將后面支持 體附著在后面支持體附著用卡盤上的步驟，所述后面支持體附著用卡盤位于所述真空腔上 部，用于附著和脫離后面支持體，b)通過(guò)真空發(fā)生裝置在真空腔內(nèi)形成真空的步驟，c)在后面支持體附著到所述后面支持體附著用卡盤上的狀態(tài)下，使所述附著用卡盤向 下移動(dòng)，以將所述后面支持體附著到在所述母模的頂面形成的模版上的步驟，d)在所述真空狀態(tài)下或除去所述真空的狀態(tài)下，將后面支持體從所述后面支持體附著 用卡盤上脫離的狀態(tài)下，使所述附著用卡盤向上移動(dòng)的步驟。
6.按照權(quán)利要求5所述的壓印或輥印平版印刷用模版的制造方法，其特征在于，進(jìn)一 步包含有e)在所述真空狀態(tài)下或除去前述真空的狀態(tài)下，將附著所述后面支持體的模版 結(jié)合體固化的步驟。
7.按照權(quán)利要求6所述的壓印或輥印平版印刷用模版的制造方法，其特征在于，所述 固化為光固化或熱固化。
8.按照權(quán)利要求7所述的壓印或輥印平版印刷用模版的制造方法，其特征在于，所述 后面支持體附著用卡盤為靜電卡盤或接著卡盤。
全文摘要
本發(fā)明提供壓印或輥印平版印刷用模版制造裝置和制造方法，由真空腔和后面支持體吸附方式來(lái)進(jìn)行。該裝置包含有由與真空發(fā)生裝置連接且開(kāi)閉的空間構(gòu)成的真空腔、位于真空腔的下部且頂面具有模具圖案的母模、可上下移動(dòng)地位于真空腔的上部且可附著和脫離后面支持體的后面支持體附著用卡盤以及控制部。控制部用于(a)在真空腔內(nèi)形成真空，(b)將后面支持體附著于后面支持體附著用卡盤上，使附著用卡盤向下移動(dòng)，將后面支持體附著到母模頂面形成的模版上，(c)在真空狀態(tài)下或除去真空的狀態(tài)下，在將后面支持體脫離卡盤的狀態(tài)下，使附著用卡盤向上移動(dòng)。該制造裝置和制造方法，能實(shí)現(xiàn)平坦度、總節(jié)距、圖案形狀的正確性和其他物性優(yōu)良的模版。
文檔編號(hào)B41N1/24GK101941324SQ20101025678
公開(kāi)日2011年1月12日 申請(qǐng)日期2010年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月17日
發(fā)明者宋晙溶, 李命洙, 申承協(xié), 金柄郁, 金炳厚 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東進(jìn)世美肯