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熱寫系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):2484557閱讀:154來源:國知局
專利名稱:熱寫系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明有關(guān)于一種熱寫系統(tǒng)(Systems for thermal patterning),特別有關(guān)于一種用于圖案化的熱寫系統(tǒng)。
背景技術(shù)
顯示器面板持續(xù)朝大尺寸化及可撓性發(fā)展。為達(dá)到快速且精確制造效果,制造方法包括黃光顯影工藝、激光工藝、噴墨印刷工藝和熱寫頭(thermal printhead)印刷工藝。
傳統(tǒng)黃光顯影工藝為成熟的半導(dǎo)體主流技術(shù),其工藝復(fù)雜且自動(dòng)化生產(chǎn)成本高。再者,(A激光工藝亦為目前實(shí)際采用的工藝技術(shù),然而,其必須由一條圖案(pattern)由數(shù)條圖案組成,各條圖案之間易有線痕跡,且生產(chǎn)速度慢,激光熱源不穩(wěn)定且品質(zhì)不易控制。另一方面,噴墨印刷工藝制造成本低,然而噴墨液滴不易涂布所有材質(zhì),且液滴易揮發(fā)與歪斜,導(dǎo)致圖案品質(zhì)不穩(wěn)的問題。 美國專利US 6, 498, 679,揭露使用紅外線C02激光源加熱,制作圖案化位相延遲膜。每次激光掃描只加工一條細(xì)線,由相鄰的多條細(xì)線構(gòu)成具相延遲差異的圖紋。
圖1是顯示傳統(tǒng)微位相延遲(micro retarder)結(jié)構(gòu)的分層示意圖。在圖1中,一微位相延遲板14包括兩個(gè)不同位相延遲的區(qū)域14a(空白區(qū)域)和14b(斜線區(qū)域),其中斜線區(qū)域14b是經(jīng)過紅外線C02激光加熱處理,而空白區(qū)域14a則未經(jīng)過激光處理,形成交替相延遲不同區(qū)域的位相延遲板。微位相延遲板14的上、下側(cè)各包括一保護(hù)層18和10,分別通過粘結(jié)層16和12與微位相延遲板14貼合。傳統(tǒng)微位相延遲板14的斜線區(qū)域14b是由激光依序掃描多線形成,因而形成速率慢且激光熱源不穩(wěn)定,更有甚者,導(dǎo)致線條痕跡及氣泡殘留。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種熱寫系統(tǒng),可用于圖案化。 根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例,本發(fā)明提供一種熱寫系統(tǒng),包括一熱寫頭模塊,其配置至少一個(gè)加熱器;一彈性調(diào)整裝置,以調(diào)整該熱寫頭模塊的平整度;以及一旋轉(zhuǎn)控制裝置,控制該熱寫頭模塊旋轉(zhuǎn)一特定角度。 根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例,本發(fā)明另提供一種熱寫系統(tǒng),包括一熱寫頭模塊,外部包覆一保護(hù)材料,該熱寫頭模塊配置至少一個(gè)加熱器;一彈性調(diào)整裝置,以調(diào)整該熱寫頭模塊的平整度;以及一旋轉(zhuǎn)控制裝置,控制該熱寫頭模塊旋轉(zhuǎn)一特定角度。 本發(fā)明的熱寫系統(tǒng)可以用于圖案化,且圖案化的速度快、效率高、品質(zhì)佳、以控制且熱源穩(wěn)定、易達(dá)成大面積化制造生產(chǎn)。本發(fā)明的熱寫系統(tǒng)可應(yīng)用在自動(dòng)化滾動(dòng)條至滾動(dòng)條(roll-to-roll)工藝中,也可應(yīng)用在大尺寸軟板和大尺寸顯示器技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明通過熱寫頭(thermal print head)上的加熱體熱能集中、穩(wěn)定及可個(gè)別控制的特性,還可應(yīng)用在3D位相延遲板、IT0電極基板及軟板光阻等領(lǐng)域。本發(fā)明采用熱寫頭模塊,其具有集中穩(wěn)定能量的特性,可應(yīng)用在ITO軟板結(jié)構(gòu)取代傳統(tǒng)黃光工藝制作方法。利用本發(fā)明的熱寫系統(tǒng)可形成圖案化軟板結(jié)構(gòu)及顯示面板。


為讓本發(fā)明能更明顯易懂,下文特舉出實(shí)施例,并配合所附附圖,作詳細(xì)說明如下 圖1是顯示傳統(tǒng)微位相延遲(micro retarder)結(jié)構(gòu)的分層示意圖; 圖2是顯示本發(fā)明實(shí)施例所使用的熱寫系統(tǒng)的示意圖; 圖3A是顯示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的熱寫頭模塊的立體示意圖; 圖3B是顯示圖3A的熱寫頭模塊的剖面示意圖; 圖3C是顯示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的熱寫頭模塊的立體示意圖; 圖4是顯示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的熱寫頭模塊的立體示意圖; 圖5是顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的滾動(dòng)條至滾動(dòng)條(roll-to-roll)工藝的示意
圖; 圖6A和6B是顯示利用熱寫裝置制造的3D影像位相延遲板的示意圖;以及 圖7A-7C是顯示利用熱寫裝置制造的ITO電極基板各步驟的剖面示意圖。主要組件符號(hào)說明
已知部分(圖1) 10和18 保護(hù)層; 12和16 粘結(jié)層; 14 微位相延遲板; 14a和14b 不同位相延遲的區(qū)域。 本發(fā)明部分(圖2 8C) 100 熱寫系統(tǒng); 110 基座; 115a和115b 垂直軸; 116 高度固定裝置; 118 垂直高度控制機(jī)構(gòu); 120 熱寫頭模土央; 120a、120b 熱寫頭模土央; 122 點(diǎn)加熱器; 123 間隙; 125 自動(dòng)平整調(diào)整機(jī)構(gòu); 126 旋轉(zhuǎn)控制裝置; 128、 128b 彈性調(diào)整裝置; 130 支撐座; 140 熱轉(zhuǎn)寫平臺(tái); 144 欲圖案化圖紋; 145 待圖案化的工件; P 間距;
5
Ah 加熱器間的高度差; 410 軟性基板; 420 熱轉(zhuǎn)寫頭模塊; 430和440 滾動(dòng)條; 500a 待圖案化膜; 510 非圖案化區(qū)域; 520 圖案化區(qū)域; 520a和520b 寬度不同的條紋; 610 基禾反; 620 ITO電極層; 622 圖案化區(qū)域; 630 熱寫頭模塊。
具體實(shí)施例方式
以下以各實(shí)施例并伴隨著

的范例,做為本發(fā)明的參考依據(jù)。在附圖或說明書描述中,相似或相同的部分皆使用相同的圖號(hào)。且在附圖中,實(shí)施例的形狀或是厚度可擴(kuò)大,并以簡化或是方便標(biāo)示。再者,附圖中各組件的部分將以分別描述說明之,值得注意的是,圖中未繪示或描述的組件,為所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者所知的形式,另外,特定的實(shí)施例僅為揭示本發(fā)明使用的特定方式,其并非用以限定本發(fā)明。 本發(fā)明可將熱寫技術(shù)應(yīng)用在大尺寸軟板和大尺寸顯示器技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明各實(shí)施例的熱寫技術(shù)利用一熱寫系統(tǒng)形成圖案化軟板結(jié)構(gòu)及顯示面板。 圖2是顯示本發(fā)明實(shí)施例所使用的熱寫系統(tǒng)的示意圖。請(qǐng)參閱圖2,熱寫系統(tǒng)100包括一支撐座130設(shè)置于一基座110上。支撐座130利用精密軸承馬達(dá),精確控制一熱寫平臺(tái)140的移動(dòng)位置。待圖案化的基板或膜固定于熱寫平臺(tái)140。兩垂直軸115a和115b固定一橫梁,并由高度固定裝置116固定橫梁。 一熱寫頭模塊120架設(shè)并固定在橫梁下,其可與熱寫平臺(tái)140上的待圖案化的工件145或膜微接觸(micro contact)。熱寫頭模塊120與待圖案化的基板或膜的接觸面由一熱寫頭模塊自動(dòng)平整調(diào)整機(jī)構(gòu)125微調(diào),亦可通過一旋轉(zhuǎn)控制裝置126,設(shè)置在橫梁上,以控制該熱寫頭模塊旋轉(zhuǎn)一特定角度。熱寫系統(tǒng)100還包括微處理器及控制器(未繪示)具以控制熱寫頭模塊120的輸出。 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例,熱寫系統(tǒng)100可調(diào)整待圖案化物(例如基板上的材料層)的高度與熱寫頭模塊120的相對(duì)位置(沿Z-軸方向)。熱寫頭模塊120可通過調(diào)整機(jī)構(gòu)125,自動(dòng)調(diào)整熱寫頭模塊接觸待圖案化物時(shí)平整度。當(dāng)圖案化時(shí),待圖案化物可由真空或其它固定方式固定于平臺(tái)140上。固定于平臺(tái)140上的待圖案化物,由支撐座130利用精密軸承馬達(dá)為一精密馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸承所固定。當(dāng)待圖案化物被一精密馬達(dá)軸承驅(qū)動(dòng)移動(dòng)時(shí)(待圖案化物可被真空吸住),如此可獲得良好的圖紋(pattern)。 本發(fā)明實(shí)施例的熱寫系統(tǒng)使用特殊圓形熱寫頭模塊,可將各熱寫頭排列成線型(heater line),每一熱寫頭單元將能量(energy)集中精準(zhǔn)到所需要圖案化顯示面板或軟板上。在熱寫頭模塊的上方,設(shè)有一垂直高度控制機(jī)構(gòu)118或彈性調(diào)整裝置(請(qǐng)參見圖3C的128b),以控制并調(diào)整熱寫頭模塊和待圖案化顯示面板或軟板之間距離。另外,亦可通過控制待圖案化物的移動(dòng)速度,而改變待圖案化物上的溫度。在熱寫頭設(shè)計(jì)上,可選擇較易圖案化平面的熱寫頭實(shí)施多點(diǎn)印刷,適合大面積印刷。并且,熱寫頭模塊上的每一加熱單元所提供能源穩(wěn)定又集中。再者,可將熱寫頭固定(不移動(dòng)),以極接近待圖案化物的方式印刷。如此印刷出來的圖案邊緣清晰。 圖3A顯示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的熱寫頭模塊的立體示意圖,圖3B是顯示圖3A的熱寫頭模塊的剖面示意圖。請(qǐng)參閱圖3A,一熱寫頭模塊120a配置至少一個(gè)點(diǎn)加熱器122。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例,該熱寫頭模塊120a配置多個(gè)點(diǎn)加熱器,且該多個(gè)加熱器可排列成線性,或者該多個(gè)加熱器可排列成矩陣形式,然非限定于此,該多個(gè)加熱器亦可成交錯(cuò)排列,如圖3C所示。根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例,一彈性調(diào)整裝置128設(shè)置于該熱寫頭模塊120a上,以調(diào)整該熱寫頭模塊的平整度。該彈性調(diào)整裝置128可為一單一構(gòu)件調(diào)整該熱寫頭模塊的整體的平整度。請(qǐng)參閱圖3B,各個(gè)加熱器之間具有一間隙123,加熱器的寬度和間隙123的和定義成間距P。該間距P的范圍大抵介于10微米(ii m)至2000微米(y m)之間。 圖3C顯示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的熱寫頭模塊的立體示意圖。在圖3C中,熱寫頭模塊120b的各加熱器122b為彼此獨(dú)立。該彈性調(diào)整裝置包括多個(gè)彈性體128b,每個(gè)彈性體128b分別對(duì)應(yīng)一加熱器122b,以分別地調(diào)整每一個(gè)加熱器122b的平整度。例如,當(dāng)相鄰的加熱器具有一高度差A(yù)h時(shí),彈性體128b會(huì)自動(dòng)調(diào)整使每一個(gè)加熱器122b與待圖案化基板的接觸面,達(dá)到完全平整。 圖4是顯示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的熱寫頭模塊的立體示意圖。當(dāng)各個(gè)加熱器之間的間距P大于欲圖案化圖紋144的間距時(shí),可通過一旋轉(zhuǎn)控制裝置(請(qǐng)參見圖2的126),控制該熱寫頭模塊旋轉(zhuǎn)一特定角度e ,使得各個(gè)加熱器之間的該間距沿一移動(dòng)方向的投影值等于一待圖案化圖紋144的間距。 應(yīng)注意的是,上述本發(fā)明實(shí)施例通過熱寫法,圖案化的速度快、效率高、品質(zhì)佳、易控制且熱源穩(wěn)定、易達(dá)成大面積化制造生產(chǎn)且可應(yīng)用自動(dòng)化滾動(dòng)條至滾動(dòng)條(roll_to_roll)工藝。 圖5是顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的滾動(dòng)條至滾動(dòng)條(roll-to-roll)工藝的示意圖。在圖5中,將軟性基板410,例如高分子基板,以滾動(dòng)條430至滾動(dòng)條440的型式,并利用一熱寫頭模塊420,固定于特定位置,因此控制滾動(dòng)條的轉(zhuǎn)動(dòng)速率,即可達(dá)成連續(xù)式大面積化的圖案化結(jié)構(gòu)的制作。 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例,通過熱寫頭(thermal print head)上的加熱體熱能集中、穩(wěn)定及可個(gè)別控制的特性,可應(yīng)用在3D位相延遲板、IT0電極基板及軟板光阻等領(lǐng)域。
圖6A和6B是顯示利用圖2的熱寫系統(tǒng)制造的3D影像位相延遲板的示意圖。請(qǐng)參閱圖6A,待圖案化膜(例如一高分子膜)500a被熱寫頭模塊加熱形成一圖案化區(qū)域520和一非圖案化區(qū)域510,做為三維(3D)影像顯示器的位相延遲板。圖案化區(qū)域520可為周期的條紋,亦可為寬度不同的條紋520a和520b,如圖6B所示。又或者,圖案化區(qū)域可為其它形狀如格子狀。 圖7A-7C是顯示利用圖2的熱寫系統(tǒng)制造的ITO電極基板各步驟的剖面示意圖。請(qǐng)參閱圖7A,首先,提供一基板610,并形成一 ITO電極層620于其上。將熱寫頭模塊630自該基板610的一端(左端)移向另一端(右端),使其形成一圖案化ITO電極區(qū)域622,
7例如加熱轉(zhuǎn)變成結(jié)晶化的材料,如圖7B所示。 請(qǐng)參閱圖7C,移除非圖案化區(qū)域620,留下圖案化的ITO電極區(qū)域622,完成ITO電 極基板的制作。 本發(fā)明實(shí)施例采用熱寫頭模塊,其具有集中穩(wěn)定能量的特性,可應(yīng)用在ITO軟板 結(jié)構(gòu)取代傳統(tǒng)黃光工藝制作方法。 本發(fā)明雖以實(shí)施例揭露如上,然其并非用以限定本發(fā)明的范圍,任何所屬技術(shù)領(lǐng) 域中具有通常知識(shí)者,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當(dāng)可做些許的更動(dòng)與潤飾,因此本 發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種熱寫系統(tǒng),其特征在于,包括一熱寫頭模塊,其配置至少一個(gè)加熱器;一彈性調(diào)整裝置,以調(diào)整該熱寫頭模塊的平整度;以及一旋轉(zhuǎn)控制裝置,控制該熱寫頭模塊旋轉(zhuǎn)一特定角度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該熱寫頭模塊配置多個(gè)加熱器。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該多個(gè)加熱器以線性排列。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該多個(gè)加熱器以矩陣排列。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該彈性調(diào)整裝置包括多個(gè)彈性體,每 個(gè)彈性體分別對(duì)應(yīng)一加熱器。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該彈性調(diào)整裝置包括一單一彈性體 設(shè)置于該熱寫頭模塊上方,以調(diào)整該熱寫頭模塊的水平面。
7 根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,各個(gè)加熱器之間具有一間距。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該間距的范圍介于10微米至2000微 米之間。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該旋轉(zhuǎn)控制裝置控制該熱寫頭模塊 旋轉(zhuǎn),使得各個(gè)加熱器之間的該間距沿一移動(dòng)方向的投影值等于一待圖案化圖紋的間距。
10. —種熱寫系統(tǒng),其特征在于,包括一熱寫頭模塊,外部包覆一保護(hù)材料,該熱寫頭模塊配置至少一個(gè)加熱器; 一彈性調(diào)整裝置,以調(diào)整該熱寫頭模塊的平整度;以及 一旋轉(zhuǎn)控制裝置,控制該熱寫頭模塊旋轉(zhuǎn)一特定角度。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該熱寫頭模塊配置多個(gè)加熱器。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該多個(gè)加熱器以線性排列。
13. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該多個(gè)加熱器以矩陣排列。
14. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該彈性調(diào)整裝置包括多個(gè)彈性體, 每個(gè)彈性體分別對(duì)應(yīng)一加熱器。
15. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該彈性調(diào)整裝置包括一單一彈性 體設(shè)置于該熱寫頭模塊上方,以調(diào)整該熱寫頭模塊的水平面。
16. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,各個(gè)加熱器之間具有一間距。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該間距的范圍介于10微米至2000 微米之間。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,該旋轉(zhuǎn)控制裝置控制該熱寫頭模 塊旋轉(zhuǎn),使得各個(gè)加熱器之間的該間距沿一移動(dòng)方向的投影值等于一待圖案化圖紋的間 距。
19. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,還包括一支撐座設(shè)置于一基座上,該支撐座利用一精密軸承馬達(dá),精確控制一熱寫平臺(tái)的移 動(dòng)位置;一待圖案化工件固定于該熱寫平臺(tái)上;兩垂直軸固定于一橫梁,并由一高度固定裝置固定該橫梁;以及 該熱寫頭模塊架設(shè)并固定在該橫梁下,且與該待圖案化工件微接觸。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的熱寫系統(tǒng),其特征在于,還包括一微處理器及一控制器以 控制該熱寫頭模塊的輸出。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種熱寫系統(tǒng),包括一熱寫頭模塊,該熱寫頭模塊配置至少一個(gè)加熱器;一彈性調(diào)整裝置,以調(diào)整該熱寫頭模塊的平整度;以及一旋轉(zhuǎn)控制裝置,控制該熱寫頭模塊旋轉(zhuǎn)一特定角度。
文檔編號(hào)B41J25/316GK101722736SQ2008101683
公開日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2008年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月28日
發(fā)明者蔡朝旭, 陳英棋 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
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