專利名稱：圖案形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及圖案形成裝置。
背景技術(shù)：
一般地說，作為使用功能液在基板上形成希望圖案的圖案形成裝置， 公知的是將功能液形成為液滴而噴出的噴墨裝置，即液滴噴出裝置。液滴 噴出裝置是通過一邊使載置在工作臺上的基板和將功能液形成為液滴而 噴出的液滴噴頭進行二維地相對移動， 一邊將從液滴噴頭噴出的功能液的 液滴配置在基板上的任意部位來形成圖案。近年，在一個滑架上搭載多個液滴噴頭，進而設有多個該滑架的液滴噴出裝置開始實用化。這樣的液滴噴出裝置用于大畫面濾色器(color filter) 的制造等中，并排設置多個滑架，通過同時噴出液滴，提高其掃描速度。但是，液滴噴頭在進行噴出時，其內(nèi)部設置的驅(qū)動元件等因驅(qū)動而發(fā) 熱。由于該發(fā)熱，導致滑架周邊的空氣或液滴噴頭內(nèi)的功能液的溫度上升。 伴隨著該功能液溫度的上升，功能液的粘度發(fā)生變化，由此來自液滴噴頭 的液滴的噴出量也發(fā)生變化，這是已知的。因此，為了使掃描中的基板周 邊保持清潔度，并且使室內(nèi)溫度一定，在被提供了從上側(cè)調(diào)節(jié)的空氣(下 降流)的清潔室內(nèi)配置液滴噴出裝置來進行掃描。但是，上述搭載了多個滑架的液滴噴出裝置，具有在兩條導軌上能夠 移動地架設的滑架板，在該滑架板的下側(cè)設有搭載了液滴噴頭的滑架。因 此，在滑架以及液滴噴頭的周邊，形成難以供給下降流的構(gòu)造。即，由于 液滴噴頭的發(fā)熱而溫度上升了的空氣停滯在滑架周邊，導致液滴噴頭的溫 度進一步上升，無法使噴出量均勻。在這樣的遮擋了下降流的構(gòu)造的裝置 中，提出一種在清潔室內(nèi)做出水平方向的空氣流的方法(例如，專利文獻 1)。專利文獻l:日本特開平9一153530號公報
但是，專利文獻l的方法，水平方向的空氣流流入液滴噴頭和基板之 間，對從液滴噴頭噴出的液滴進行推壓流動，存在無法得到液滴的正確的 噴落位置的顧慮。另外，作為使滑架周邊的空氣排氣的方法，還考慮了在 滑架周邊配置排氣專用管道，但考慮到滑架的維護空間，難以實現(xiàn)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種對滑架周邊 的空氣進行排氣，并且使該滑架周邊簡化的圖案形成裝置。本發(fā)明的圖案形成裝置，其包括搬送臺，其在主掃描方向往復移動 而搬送載置的基板； 一對導軌，其在所述搬送臺的移動路徑的上方，在與 所述主掃描方向垂直的副掃描方向上延伸形成；滑架，其被支承于所述一 對導軌，能夠沿著該一對導軌在副掃描方向上往復移動；液滴噴頭，其在 所述滑架的單元板上并排設置有多個，向所述基板噴出功能液的液滴，在 該基板上描畫圖案；檢查相機，其對從所述液滴噴頭噴出的液滴進行攝像； 相機基座，其固定設置所述檢查相機；線性電動機，其使所述相機基座在 副掃描方向上往復移動；電動機收容盒，其沿著所述一對導軌設置，收容 所述線性電動機，并形成有將所述相機基座向副掃描方向引導的引導孔； 移動電纜，其與所述檢査相機電連接；電纜收容盒，其沿著所述電動機收 容盒設置，收容所述移動電纜，并形成有開口窗，使得所述移動電纜的前 端追隨于所述檢查相機的副掃描方向的往復移動， 一邊使載置了所述基板 的搬送臺在主掃描方向移動， 一邊從所述多個噴頭將液滴噴出向所述基 板，在該基板上描畫圖案，并且使所述檢査相機在副掃描方向移動，對從 所述各液滴噴頭噴出的液滴進行攝像而檢査液滴，所述圖案形成裝置的特 征在于，在所述電纜收容盒的兩端部設置排氣口，從所述電纜收容盒的開 口窗對所述滑架的周邊的空氣進行吸引排氣。根據(jù)該圖案形成裝置，可以使滑架周邊的空氣從現(xiàn)存的電纜收容盒的 開口窗吸引排氣。因此，不用在滑架周邊配置排氣專用的管道，可以吸引 滑架周邊的空氣并將其排出。其結(jié)果是可以簡化滑架周邊的結(jié)構(gòu)，并且可 以減少零件數(shù)量。另外，通過吸引并對滑架周邊的空氣進行排氣，滑架周邊變成負壓狀 態(tài)，可以導入液滴噴出裝置周邊的空氣。因此，抑制液滴噴頭的溫度上升， 可以將液滴噴頭內(nèi)的功能液的溫度保持一定。其結(jié)果是可以使液滴噴頭的 噴出量均勻。而且，由于從液滴噴出裝置周邊向滑架周邊導入的空氣不會流入液滴 噴頭和基板之間，因此可以確保液滴的正確的噴落位置。該圖案形成裝置，還可以在所述電動機收容盒的兩端部設置排氣口， 從所述電動機收容盒的引導孔對所述滑架周邊的空氣進行吸引排氣。根據(jù)該圖案形成裝置，其還可以將滑架周邊的空氣從現(xiàn)存的電動機收 容盒的引導孔吸引排氣。因此，不用在滑架周邊配置排氣專用的管道，可 以吸引滑架周邊的空氣并將其排出。其結(jié)果是可以簡化滑架周邊的結(jié)構(gòu)， 并且可以減少零件數(shù)量。另外，通過吸引并對滑架周邊的空氣進行排氣，滑架周邊變成負壓狀 態(tài)，可以導入液滴噴出裝置周邊的空氣。因此，抑制液滴噴頭的溫度上升， 可以將液滴噴頭內(nèi)的功能液的溫度保持一定。其結(jié)果是可以使液滴噴頭的 噴出量均勻。而且，由于從液滴噴出裝置周邊向滑架周邊導入的空氣不會流入液滴 噴頭和基板之間，因此可以確保液滴的正確的噴落位置。該圖案形成裝置，還可以設置有分隔板，該分隔板將所述電纜收容盒 劃分成電纜收容室和管道通路室，所述電纜收容室配置所述移動電纜并具 有所述開口窗，所述管道通路室使從所述開口窗吸引的空氣通過，在所述 分隔板上，設有使所述電纜收容室和所述管道通路室連通并且均等排列的 通氣孔。根據(jù)該圖案形成裝置，從開口窗吸引的滑架周邊的空氣通過電纜收容 室、通氣孔、管道通路室被排氣。在此，例如當在電纜收容盒的兩端部設 置排氣管，吸引電纜收容盒內(nèi)的空氣時，越是排氣管附近的通氣孔流量變 得越大。即，相比于開口窗的中央附近兩端部的吸引量更大。在此，通過 適當堵住通氣孔，可以使來自開口窗的空氣的吸引量一樣。其結(jié)果是，可 以有效地對滑架周邊的空氣進行排氣。而且，由于從液滴噴出裝置周邊向滑架周邊導入的空氣不會流入液滴 噴頭和基板之間，因此可以確保液滴的正確的噴落位置。
該圖案形成裝置還可以所述開口窗形成為副掃描方向的中央部的開 口面積最大的大致菱形形狀。根據(jù)該圖案形成裝置，例如在電纜收容盒的兩端部設置排氣管，吸引 電纜收容盒內(nèi)的空氣時，在開口窗的空氣的吸引量少的中央部將開口面積 增大，在來自開口窗的空氣的吸引量大的兩端部將開口面積減小。其結(jié)果 是可以使來自開口窗的空氣的吸引量一樣。本發(fā)明的圖案形成裝置，其包括搬送臺，其在主掃描方向往復移動 而搬送載置的基板； 一對導軌，其在所述搬送臺的移動路徑的上方，在與 所述主掃描方向垂直的副掃描方向上延伸形成；滑架，其被支承于所述一 對導軌，能夠沿著該一對導軌在副掃描方向上往復移動；液滴噴頭，其在 所述滑架的單元板上并排設置有多個，向所述基板噴出功能液的液滴，在 該基板上描畫圖案；檢查相機，其對從所述液滴噴頭噴出的液滴進行攝像； 相機基座，其固定設置所述檢查相機；線性電動機，其使所述相機基座在 副掃描方向上往復移動；電動機收容盒，其沿著所述一對導軌設置，收容 所述線性電動機，并形成有將所述相機基座向副掃描方向引導的引導孔； 移動電纜，其與所述檢查相機電連接；電纜收容盒，其沿著所述電動機收 容盒設置，收容所述移動電纜，并形成有開口窗，使得所述移動電纜的前 端追隨于所述檢査相機的副掃描方向的往復移動， 一邊使載置了所述基板 的搬送臺在主掃描方向移動， 一邊從所述多個噴頭將液滴噴出向所述基 板，在該基板上描畫圖案，并且使所述相機在副掃描方向移動，對從所述 各液滴噴頭噴出的液滴進行攝像而檢查噴出的液滴，所述圖案形成裝置的 特征在于，使所述電動機收容盒以及所述電纜收容盒與所述導軌連通，并 且在所述導軌設置排氣口，從所述電動機收容盒的引導孔和所述收容盒的 開口窗對所述滑架的周邊的空氣進行吸引排氣。根據(jù)本發(fā)明的圖案形成裝置，可以使滑架周邊的空氣從現(xiàn)存的電纜收 容盒的開口窗和現(xiàn)存的電動機收容盒的引導孔吸引排氣。因此，不用在滑 架周邊配置排氣專用的管道，可以吸引滑架周邊的空氣并將其排出。其結(jié) 果是可以簡化滑架周邊的結(jié)構(gòu)，并且可以減少零件數(shù)量。另外，通過在導軌上連接排氣管，確保大流量的排氣路徑，可以從電 纜收容盒的開口窗和電動機收容盒的引導孔吸引更大量的空氣。即，滑架周邊變成負壓狀態(tài)，可以向滑架周邊更多導入液滴噴出裝置周邊的空氣。 因此，抑制液滴噴頭的溫度上升，可以將液滴噴頭內(nèi)的功能液的溫度保持 一定。其結(jié)果是可以使液滴噴頭的噴出量均勻。而且，由于從液滴噴出裝置周邊向滑架周邊導入的空氣不會流入液滴 噴頭和基板之間，因此可以確保液滴的正確的噴落位置。


圖1是表示液滴噴出裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖； 圖2是表示滑架板和滑架的關(guān)系的俯視圖；圖3 (a)是從基板工作臺一側(cè)觀察液滴噴頭的立體圖，圖3 (b)是 液滴噴頭的泵部剖面圖；圖4是掃描檢查相機裝置的概略立體圖；圖5是在第一實施方式中，掃描檢查相機裝置和Y軸導軌的概略剖面圖；圖6是在第二實施方式中，掃描檢査相機裝置和Y軸導軌的概略剖面圖；圖7是在其他例子中，掃描檢查相機裝置的概略立體圖； 圖中CA —檢查相機；F —功能液；Fb —液滴；M1—X軸線性電動機；M2 一Y軸線性電動機；Pl—排氣口； P2 —排氣口； P3 —排氣口； PZ —壓電元 件、S —連通路；W—CF基板；l一液滴噴出裝置；2 —基臺；2a—上表面； ll一X軸導軌；12 — X軸移動板；14一基板工作臺；16 —工作臺轉(zhuǎn)動機構(gòu)； 18 — Y軸導軌；19a—支柱；19b —支柱；21—滑架板；22 —功能液供給單 元；23 —頭用電裝單元；25 —懸吊機構(gòu)；26 —懸吊基板；27 —懸吊轉(zhuǎn)動框； 28 —懸吊支承框；30 —滑架；31—滑架框；34 —單元板；40 —液滴噴頭；40A—頭本體；41一液體導入部；42 —連接針；43 —頭基板；43A—頭連 接器；44一泵部；45 —噴嘴板；45a—噴嘴形成面；46 —噴出噴嘴；47 — 噴嘴列；48 —凸緣部；49一螺紋孔；52_腔；53 —振動板；80 —掃描檢查 相機裝置；81—基座框體；81A—相機移動臺部；81B—電纜支架管(cable bearer duct)部；82 —引導孔;83 —臂;84—基座板;85 —吸出孔;86 —
圍臂；87—電纜；88 —分隔板；88a—通氣孔；89a—電纜收容室；89b —管道通路室具體實施方式

(第一實施方式)以下，參考

實施本發(fā)明的圖案形成裝置的一實施方式。 圖1表示作為用于在形成了黑底(black matrix)的玻璃基板上形成紅、 綠、藍的濾色器的圖案形成裝置的液滴噴出裝置1的概略結(jié)構(gòu)。如圖1所 示，液滴噴出裝置1在地面上設置沿主掃描方向(X軸方向)延伸的基臺 2，在其上表面2a將一對X軸導軌ll鋪設在主掃描方向(X軸方向)上， 在該一對X軸導軌11上載置X軸移動板12。 X軸移動板12沿著X軸導 軌11能夠在主掃描方向上移動地搭載。 一對X軸導軌11具有X軸線性 電動機M1， X軸線性電動機M1使在一對X軸導軌11上載置的X軸移 動板12通過氣動滑塊(airslider)在X軸方向往復移動。而且，在圖1中，將主掃描方向設為X軸方向，將與主掃描方向(X 軸方向)垂直的副掃描方向設為Y軸方向，將與X軸方向以及Y軸方向 垂直的方向(上下方向)設為Z軸方向，將繞Z軸方向的轉(zhuǎn)動方向表記為 e方向。在X軸移動板12的上表面設有作為搬送臺的基板工作臺14?；骞?作臺14是真空吸附臺，在其上表面吸附固定由玻璃基板構(gòu)成的濾色器基 板(稱為CF基板)W，搬送該CF基板W?；骞ぷ髋_14在設置于X軸 移動板12和基板工作臺14之間的由虛線表示的工作臺轉(zhuǎn)動機構(gòu)16的作 用下，被固定支承為相對于X軸移動板12能夠向9方向轉(zhuǎn)動。因此，基板工作臺14 (CF基板W)與X軸移動板12 —起在X軸方 向(主掃描方向)移動。另外，基板工作臺14 (CF基板W)相對于X軸 移動板12的平面(XY平面(水平面))平行地向e方向轉(zhuǎn)動。以在Y軸方向上跨過所述X軸導軌11的上方的方式，配置有作為引 導軌道的一對Y軸導軌18。 一對Y軸導軌18的一端的支柱19a立起設置 在基臺2的上表面2a的一側(cè)，另一端的支柱19b立起設置在從基臺2離 開的地面上。 一對Y軸導軌18在X軸方向上隔開預定的間隔平行配置。
而且，在本實施方式中，在Y軸方向上平行延伸的一對Y軸導軌18中， 將基臺2的上方位置作為操作區(qū)域，并將從基臺2離開的位置作為待機區(qū) 域。在一對Y軸導軌18之間，以架設(差L渡卞)方式配置有多個(在 本實施方式中是六個)滑架板21。而且，各滑架板21被載置成沿著Y軸 導軌18能夠在副掃描方向(Y軸方向)上移動。在一對Y軸導軌18上， 具有Y軸線性電動機M2， Y軸線性電動機M2使載置在一對Y軸導軌18 上的各滑架板21分別通過氣動滑塊(未圖示)在Y軸方向上往復移動。 即，各滑架板21在Y軸導軌18上的操作區(qū)域和待機區(qū)域之間往復移動。在各滑架板21的上表面載置有功能液供給單元22和頭用電裝單元 23。功能液供給單元22是用于儲存規(guī)定量的功能液F (參考圖3 (b))， 并向各液滴噴頭40 (參考圖3 (a)、圖3 (b))供給功能液F的供給回路 裝置。頭用電裝單元23是用于供給用于驅(qū)動各液滴噴頭40的電信號的電 路裝置。另外，在此所謂的功能液F是向在CF基板W上形成的黑底的框內(nèi)配 置的紅、綠、藍的過濾器(filter)用墨。功能液F當被配置在形成于CF 基板W上的黑底的框內(nèi)之后被干燥時，形成紅、綠、藍的過濾器。如圖2所示，在各滑架板21的下表面的中央位置設置懸吊機構(gòu)25， 在該懸吊機構(gòu)25的下端部安裝滑架30。懸吊機構(gòu)25具有懸吊基板26、懸吊轉(zhuǎn)動框27以及懸吊支承框28。 懸吊基板26固定在滑架板21的下表面的中央位置，在其下端部連結(jié)有懸 吊轉(zhuǎn)動框27。懸吊轉(zhuǎn)動框27在其下端部將懸吊支承框28連結(jié)支承為能夠向e方向轉(zhuǎn)動。懸吊轉(zhuǎn)動框27上具有e軸轉(zhuǎn)動電動機(未圖示)，e軸轉(zhuǎn)動電動機使懸吊支承框28相對于懸吊基板26 (滑架板21)向9方向轉(zhuǎn)動。 在懸吊支承框28上支承固定滑架30，使在懸吊機構(gòu)25上垂設的滑架30 向e方向轉(zhuǎn)動?；?0具有大致長方體形狀的滑架框31 。在滑架框31上在X軸方向 以及Y軸方向的各自的兩側(cè)面設有開口部(X軸方向的各開口部省略圖 示)，周圍的空氣可以相對于滑架框31的內(nèi)側(cè)流入流出。另外，在滑架30 的滑架框31的下端部，由未圖示的螺釘?shù)裙潭ㄔO有單元板34。在單元板
34上，液滴噴頭40可以裝卸地且高精度地被定位固定安裝。在本實施方 式中，沿X軸方向并排設置的三個液滴噴頭40與Y軸方向平行地安裝有 兩列即合計六個液滴噴頭40。此外，滑架框31的內(nèi)側(cè)雖然配置有配管或 配線等，但由于表示繁瑣，故省略圖示。 (液滴噴頭40)下面，參考圖3說明在單元板34上安裝的液滴噴頭40。圖3 (a)是 從基板工作臺14一側(cè)觀察液滴噴頭的外觀立體圖。該液滴噴頭40包括.-具有兩個連接針42的液體導入部41 、與液體導入部41的側(cè)面相連的頭基 板43、與液體導入部41相連的泵部44、與泵部44相連的噴嘴板45。液體導入部41的連接針42連接著與功能液供給單元22連通的未圖 示的配管連接部件。在頭基板43上安裝一對頭連接器43A，通過該頭連 接器43A連接未圖示的擾性扁平電纜，該未圖示的擾性扁平電纜與頭用電 裝單元23連接。一方面，通過泵部44和噴嘴板45構(gòu)成方形的頭本體40A。在噴嘴板45的噴嘴形成面45a上形成有兩條噴嘴列47，該兩條噴嘴 列47由噴出液滴的噴出噴嘴46構(gòu)成。兩條噴嘴列47相互平行配置，各 噴嘴列47由以等間距并排設置的180個(在圖示中模式表示)的噴出噴 嘴46構(gòu)成。即，在頭本體40A的噴嘴形成面45a上，隔著其中心線對稱 配置有兩條噴嘴列47。圖3 (b)表示液滴噴頭40的泵部44的內(nèi)部，在各噴出噴嘴46的上 側(cè)分別具有腔52、振動板53以及壓電元件PZ。各腔52分別通過配管連 接部件與功能液供給單元22連接，收容來自該功能液供給單元22的功能 液F (過濾器用墨)，將該過濾器用墨供給到噴出噴嘴46。振動板53通過 在與各腔52相對的區(qū)域在Z方向上振動，使該腔52的容積擴大以及縮小， 伴隨于此，使噴出噴嘴46的月面振動。各壓電元件PZ在分別接收規(guī)定的 驅(qū)動波形信號時，通過在Z方向收縮伸張，使振動板53的各區(qū)域在Z方 向振動。各腔52在各自的振動板53在Z方向振動時，將收容的功能液F (過濾器用墨)的一部分形成為規(guī)定重量的液滴Fb，并從噴出噴嘴46噴 出。 ^泵部44的基部側(cè)即頭本體40A的基部側(cè)。為承受液體導入部41而形
成有方形凸緣狀的凸緣部48。該凸緣部48起到防脫落的作用，還起到用 頭固定螺釘(未圖示)與單元板34連結(jié)固定的連結(jié)部的作用。在凸緣部 48形成有一對將液滴噴頭40固定于單元板34的小螺釘用的螺紋孔(陰螺 紋)49。 g卩，液滴噴頭40使頭本體40A貫穿在單元板34的規(guī)定位置形成 的貫通孔(未圖示)，被貫穿單元板34與螺紋孔49擰合的頭固定螺釘(未 圖示)固定在單元板34上。圖2以及圖3所示的X軸、Y軸、Z軸與圖1所示的X軸、Y軸、Z 軸相同。即，在單元板34安裝在液滴噴頭1上的狀態(tài)下，形成于液滴噴 頭40上的噴嘴列47 (參考圖3)構(gòu)成為在Y軸方向延伸。 (掃描檢查相機裝置80)下面，說明對載置在基板工作臺14上的CF基板W的對準標記進行 攝像而測量CF基板W的位置，或?qū)π纬稍贑F基板W上的配置圖案等進 行攝像而檢查掃描狀態(tài)的掃描檢査相機裝置80。如圖1以及圖2所示，掃描檢查相機裝置80在一對Y軸導軌18的內(nèi) 側(cè)分別沿著Y軸導軌18設置。圖4是在圖1以及圖2中沿著右側(cè)的Y軸 導軌18設置的掃描檢査相機裝置80的整體立體圖。而且，在另一方的Y 軸導軌18上設置的掃描檢查相機裝置80只是配置位置不同，其結(jié)構(gòu)相同， 因此省略說明。在圖4中，掃描檢査相機裝置80具有基座框體81?；蝮w81沿著 Y軸導軌18延伸，將其下半部分劃分形成為作為電動機收容盒的相機移 動臺部81A、將其上半部分劃分形成為作為電纜收容盒的電纜支架管部 81B?；蝮w81的下半部分的相機移動臺部81A沿著Y軸方向形成有引 導孔82，從引導孔82突出的臂83 (參考圖5)與固定設有檢查相機CA 的作為相機基座的基座板84連結(jié)。從引導孔82突出的臂83通過設置在 相機移動臺部81A內(nèi)的未圖示的相機掃描用的線性電動機，能夠沿著引導 孔82在Y軸方向移動。因此，固定設于基座板84的檢査相機CA也在線 性電動機的作用下能夠沿著引導孔82在Y軸方向移動。其結(jié)果是，檢查相機CA通過在Y軸方向移動，能夠?qū)υ跈z查相機 CA的Y軸方向移動的軌跡的正下方的CF基板W上掃描的配置圖案進行攝像?；蝮w81的上半部分的電纜支架管部81B的吸出孔85沿Y軸方 向形成為大致長方形，從固定設有檢查相機的基座板84延伸的拉回臂86 貫穿在吸出孔85內(nèi)，在基座板84 (檢査相機CA)的Y軸方向移動并沿 吸出孔85移動。電纜支架管部81B內(nèi)，為了進行檢查相機CA的驅(qū)動電力的授受、數(shù) 據(jù)信號的授受，以彎曲狀態(tài)配置有作為移動電纜的電纜87。電纜87的前 端與設置在拉回臂86上的連接器連結(jié)，并與檢査相機CA電連接。而且， 電纜87伴隨著檢查相機CA在Y軸方向移動，在電纜支架管部81B內(nèi)使 彎曲部分變化，追隨檢査相機CA的移動。電纜支架管部81B如圖5所示，被分隔板88劃分開，將吸出孔85側(cè) 作為電纜收容室89a、將Y軸導軌18側(cè)作為管道通路室89b。分隔板88 上以均等排列貫通形成有多個通氣孔88a，多個通氣孔88a的開口面積相 同。另外，在管道通路室8%的Y軸一側(cè)的側(cè)壁上形成有排氣口 Pl (參 考圖4)。排氣口P1與未圖示的吸引泵連接。因此，驅(qū)動吸引泵從排氣口 Pl吸引空氣時，從電纜支架管部81B的吸出孔85吸引外部(滑架30附 近)的空氣，該被吸引的空氣通過通氣孔88a、管道通路室89b從排氣口 Pl被排氣。同樣地，在相機移動臺部81A的兩端部，如圖4以及圖5所示，設有 排氣口P2。排氣口P2與未圖示的吸引泵連接。因此，在驅(qū)動吸引泵從排 氣口 P2吸引空氣時，從相機移動臺部81A的引導孔82吸引外部(滑架 30周邊)的空氣，并從排氣口P2被排氣。上述實施方式可以得到以下這樣的效果。 (1)根據(jù)上述實施方式，在掃描檢查相機裝置80的基座框體81上 設置的電纜支架管部81B的管道通路室89b的各Y軸側(cè)側(cè)壁上，設置與 未圖示的吸引泵連接的排氣口P1，吸引管道通路室89b的空氣。另外，在 相機移動臺部81A的兩端部設置與未圖示的吸引泵連接的排氣口 P2，吸 引相機移動臺部81A內(nèi)的空氣。因此，可以將滑架30周邊的空氣從電纜支架管部81B的吸出孔85經(jīng)
通氣孔88a、管道通路室89b從排氣口Pl排氣。另外，可以將滑架30周 邊的空氣經(jīng)相機移動臺部81A內(nèi)從排氣口 P2排氣。其結(jié)果是，不用配置對滑架30周邊的空氣進行排氣的排氣專用的管 道，可以使滑架30周邊的空氣排氣，因此可以簡化滑架30周邊的構(gòu)造， 并可以減少零件數(shù)量。另外，通過吸引滑架30周邊的空氣并進行排氣，滑架30周邊變成負 壓狀態(tài)，可以導入液滴噴出裝置1周邊的空氣。因此，抑制液滴噴頭40 的溫度上升，可以將泵部44內(nèi)的功能液F的溫度保持為一定。其結(jié)果是， 可以使液滴噴頭40的噴出量均勻。而且，從液滴噴出裝置1周邊導入滑架30周邊的空氣不會流入液滴 噴頭40和CF基板W之間，因此可以得到液滴的正確的噴落位置。(2)根據(jù)上述實施方式，在掃描檢查相機裝置80的基座框體81內(nèi)， 劃分為電纜收容室89a和管道通路室89b，并且設有分隔板88，分隔板88 上均等排列而形成了多個通氣孔88a，并且所述通氣孔88a的開口面積相 同。在此，當從各排氣口 Pl吸引空氣時，對于通過各通氣孔88a的空氣 的流量來說，相比于基座框體81的Y軸方向中央附近，在各排氣口 Pl 側(cè)設置的通氣孔88a的空氣的流量更大。因此，用帶膜的護線環(huán)(Grommet) 等將在各排氣口 Pl側(cè)配置的通氣孔88a適當堵住，由此可以使從吸出孔 85吸引的空氣的流量一樣。其結(jié)果是，可以有效使滑架30周邊的空氣排 氣。(第二實施方式)以下，參考圖6說明將本發(fā)明具體化了的第二實施方式。而且，在本 實施方式中，詳細說明與第一實施方式的不同點，對于基本上相同的結(jié)構(gòu)， 為了方便省略其詳細說明。如圖6所示，在掃描檢查相機裝置80的基座框體81和Y軸導軌18 上分別形成貫通孔，通過該貫通孔使基座框體81和Y軸導軌18連通的連 通路S設有多個。在Y軸導軌18的各Y軸側(cè)側(cè)壁上設有排氣口 P3。排氣 口 P3與未圖示的吸引泵連接。而且，通過驅(qū)動吸引泵從排氣口 P3吸引Y 軸導軌18內(nèi)的空氣，由此從電纜支架管部81B的吸出孔85吸引外部(滑 架30附近)的空氣，該被吸引了的空氣通過通氣孔88a、管道通路室89b、 連通路S從排氣口 P3被排氣。根據(jù)上述實施方式，除了第一實施方式的(1)以及(2)記載的效果 以外，還可以得到以下這樣的效果。(3)根據(jù)上述實施方式，設有多個使掃描檢查相機裝置80的基座框 體81和Y軸導軌18連通的連通路S。另外，在Y軸導軌18的各Y軸側(cè) 側(cè)壁上，設有與吸引泵連接的排氣口P3。然后，吸引Y軸導軌18內(nèi)的空 氣。因此，通過將Y軸導軌18內(nèi)作為排氣管道利用，可以確保大流量的 排氣路徑，可以吸引更大量的空氣。即，可以有效地吸引滑架30周邊的 空氣。其結(jié)果是，可以抑制液滴噴頭40的溫度上升，可以將泵部44內(nèi)的 功能液F的溫度保持為一定。而且，上述實施方式還可以以下這樣變更。*在上述第一以及第二實施方式中，在掃描檢查相機裝置80的基座 框體81上設置的吸出孔85，被設置為大致長方形的形狀。但是并不限定 于此，例如，如圖7所示，還可以是在Y軸方向的中央部開口面積最大的 大致菱形。由此，由于基座框體81的Y軸方向中央部的開口面積變大， 所以可以使來自吸出孔85的空氣的吸引量一樣。其結(jié)果是，可以有效使 滑架30的周邊的空氣排氣。另外，由于可以省去分隔板88，所以可以減 少零件數(shù)。*在上述第一以及第二實施方式中，通過適當堵住在分隔板88上設 置的開口面積相同的通氣孔88a，可以使從吸出孔85吸引的空氣的流量一 樣。但并不限定于此，還可以適當變更通氣孔88a的開口面積以及排列， 例如還可以通過使通氣孔88a的開口面積的大小從基座框體81的Y軸方 向兩端部朝向中央附近變大，由此可以使來自吸出孔85的空氣的咴引量 一樣。，在上述第一以及第二實施方式中，具體化為搭載了六個滑架的液滴 噴出裝置l，滑架搭載有六個液滴噴頭40。但不限定于此，搭載在滑架上 的液滴噴頭的配置或數(shù)量以及搭載在液滴噴出裝置上的滑架的數(shù)量可以 適當變更。例如，還可以具體化為搭載了一個滑架的液滴噴出裝置，滑架
搭載了一個液滴噴頭。，在上述第一以及第二實施方式中，具體化為噴出作為功能液F的過 濾器用墨的液滴噴出裝置1。但并不限定于此，例如，還可以是在包括傳 真機、復印機等印刷裝置，或液晶顯示器、EL顯示器以及面發(fā)光顯示器 的制造等中使用的電極材料或色材料等的功能液。
權(quán)利要求
1. 一種圖案形成裝置，其包括搬送臺，其在主掃描方向往復移動而搬送載置的基板；一對導軌，其在所述搬送臺的移動路徑的上方，在與所述主掃描方向垂直的副掃描方向上延伸形成；滑架，其被支承于所述一對導軌，能夠沿著該一對導軌在副掃描方向上往復移動；液滴噴頭，其在所述滑架的單元板上并排設置有多個，向所述基板噴出功能液的液滴，在該基板上描畫圖案；檢查相機，其對從所述液滴噴頭噴出的液滴進行攝像；相機基座，其固定設置所述檢查相機；線性電動機，其使所述相機基座在副掃描方向上往復移動；電動機收容盒，其沿著所述一對導軌設置，收容所述線性電動機，并形成有沿副掃描方向引導所述相機基座的引導孔；移動電纜，其與所述檢查相機電連接；電纜收容盒，其沿著所述電動機收容盒設置，收容所述移動電纜，并形成有開口窗，使得所述移動電纜的前端追隨于所述檢查相機的副掃描方向的往復移動，一邊使載置了所述基板的搬送臺在主掃描方向移動，一邊從所述多個噴頭將液滴向所述基板噴出，在該基板上描畫圖案，同時使所述檢查相機在副掃描方向移動，對從所述各液滴噴頭噴出的液滴進行攝像而檢查液滴，所述圖案形成裝置的特征在于，在所述電纜收容盒的兩端部設置排氣口，從所述電纜收容盒的開口窗對所述滑架的周邊的空氣進行吸引排氣。
2. 如權(quán)利要求l所述的圖案形成裝置，其特征在于， 在所述電動機收容盒的兩端部設置排氣口，從所述電動機收容盒的引導孔對所述滑架周邊的空氣進行吸引排氣。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的圖案形成裝置，其特征在于， 設置有分隔板，該分隔板將所述電纜收容盒內(nèi)劃分成電纜收容室和管道通路室，所述電纜收容室配置所述移動電纜并具有所述開口窗，所述管 道通路室使從所述開口窗吸引的空氣通過，在所述分隔板上，設有使所述電纜收容室和所述管道通路室連通并且 均等排列的通氣孔。
4. 如權(quán)利要求1 3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述開口窗形成為副掃描方向的中央部的開口面積最大的大致菱形形狀。
5. —種圖案形成裝置，其包括搬送臺，其在主掃描方向往復移動而搬送載置的基板；一對導軌，其在所述搬送臺的移動路徑的上方，在與所述主掃描方向垂直的副掃描方向上延伸形成；滑架，其被支承于所述一對導軌，能夠沿著該一對導軌在副掃描方向上往復移動；液滴噴頭，其在所述滑架的單元板上并排設置有多個，向所述基板噴 出功能液的液滴，在該基板上描畫圖案；檢查相機，其對從所述液滴噴頭噴出的液滴進行攝像；相機基座，其固定設置所述檢査相機；線性電動機，其使所述相機基座在副掃描方向上往復移動；電動機收容盒，其沿著所述一對導軌設置，收容所述線性電動機，并 形成有沿副掃描方向引導所述相機基座的引導孔；移動電纜，其與所述檢查相機電連接；-電纜收容盒，其沿著所述電動機收容盒設置，收容所述移動電纜，并 形成有開口窗，使得所述移動電纜的前端追隨于所述檢査相機的副掃描方 向的往復移動，一邊使載置了所述基板的搬送臺在主掃描方向移動， 一邊從所述多個 噴頭將液滴噴出向所述基板，在該基板上描畫圖案，并且使所述相機在副掃描方向移動，對從所述各液滴噴頭噴出的液滴 進行攝像而檢查噴出的液滴， 所述圖案形成裝置的特征在于，使所述電動機收容盒以及所述電纜收容盒與所述導軌連通，并且在所 述導軌設置排氣口，從所述電動機收容盒的引導孔和所述收容盒的開口窗 對所述滑架的周邊的空氣進行吸引排氣。
全文摘要
提供一種圖案形成裝置，其對滑架周邊的空氣進行排氣，并且使該滑架周邊簡化。沿著Y軸導軌(18)設置，并且進行從液滴噴頭噴出的液滴的檢查的掃描檢查相機裝置(80)，其中，在收容與檢查相機(CA)電連接的電纜(87)的電纜支架管部(81B)的兩端部設有排氣口(P1)。另外，在相機移動臺(81A)的兩端部設有排氣口(P2)。而且，從排氣口(P1)以及排氣口(P2)吸引空氣。因此，通過從吸出孔(85)和引導孔(82)吸引滑架周邊的空氣并排氣，可以向滑架周邊導入液滴噴出裝置周邊的空氣。其結(jié)果是抑制液滴噴頭的溫度上升，使功能液的溫度一定，由此使液滴噴頭的噴出量均勻。
文檔編號B41J29/02GK101396906SQ20081016108
公開日2009年4月1日 申請日期2008年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月28日
發(fā)明者藤森英二郎 申請人:精工愛普生株式會社