專利名稱：功能液滴噴出頭的吸引裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使功能液滴噴出頭與帽緊貼，通過帽吸引功能液滴噴出頭的功能液滴噴出頭的吸引方法和吸引裝置、液滴噴出裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置、電子儀器。
背景技術(shù)：
作為液滴噴出裝置的一種，在從以往就知道的噴墨記錄裝置中，連接在墨水泵上的頭帽(帽)與打印頭(功能液滴噴出頭)緊貼，通過驅(qū)動墨水泵，通過頭帽，從打印頭的全部噴嘴進行墨水的吸引(例如，特開2000-127454號公報(參照第2-3頁、第7-8頁、圖4)。
在液滴噴出裝置中，在用于防止干燥等引起的打印頭堵塞的清理時，或在新導(dǎo)入的功能液滴噴出頭的頭內(nèi)流路中填充功能液時(初始填充)，從功能液滴噴出頭的全部噴嘴進行吸引。
如果從功能液滴噴出頭進行吸引，在功能液之前，從流路內(nèi)吸引空氣(氣泡)。因此，如所述噴墨記錄裝置那樣，如果使用泵進行對液滴噴出裝置的吸引，則在從泵排出吸引的空氣之前，存在泵空轉(zhuǎn)的問題。這樣的問題在向新導(dǎo)入的功能液滴噴出頭填充功能液時特別顯著，在相關(guān)時候，功能液到達泵之前無法確保充分的吸引力，所以功能液的填充所需時間拖得很長。此外，由于吸引力的下降，來自頭內(nèi)流路的氣泡排出性惡化，所以填充功能液時所需的功能液消耗量增加，產(chǎn)生浪費高價的功能液的問題。因為泵具有旋轉(zhuǎn)部件或往復(fù)運動的部件(可動部)，所以很難小型化，在設(shè)置中需要寬的空間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的問題而提出的，其目的在于提供能高效進行對功能液滴噴出頭的吸引的功能液滴噴出頭的吸引方法和吸引裝置、液滴噴出裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置、電子儀器。
本發(fā)明提供一種功能液滴噴出頭的吸引裝置，使帽緊貼在噴出功能液滴的功能液滴噴出頭上，通過所述帽吸引所述功能液滴噴出頭，其特征在于，包括與所述帽連通，吸引所述功能液滴噴出頭的全部噴嘴的噴射器；向所述噴射器供給工作流體的工作流體供給部件；檢測連接所述帽與所述噴射器的吸引口的吸引管路內(nèi)壓力的壓力檢測部件；根據(jù)所述壓力檢測部件的檢測結(jié)果，控制所述流量調(diào)節(jié)閥的第一控制部件，此外，當所述吸引管路內(nèi)的吸引壓力小于規(guī)定壓力時，控制所述流量調(diào)整閥而增加所述工作流體的供給量，當所述吸引管路內(nèi)的吸引壓力大于規(guī)定壓力時，控制所述流量調(diào)整閥而減少所述工作流體的供給量，使多個功能液滴噴出頭的吸引被控制為在一定吸引壓力下進行。
本發(fā)明的功能液滴噴出頭的吸引方法的特征在于通過緊貼在噴出功能液滴的功能液滴噴出頭的噴嘴面上的帽，通過噴射器吸引功能液滴噴出頭的噴嘴。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，因為通過噴射器吸引功能液滴噴出頭的噴嘴，所以能使吸引力直接作用于功能液和在功能液之前的空氣，與用泵吸引時不同，不發(fā)生空氣泄漏。即，通過帽使侵入噴射器的氣泡與噴射器的工作流體一起順利排出，所以由氣泡導(dǎo)致的吸引壓力的變動小。因此，能穩(wěn)定進行從功能液滴噴出頭噴嘴的吸引。此外，可以對于全部噴嘴進行吸引，也可以只吸引所使用的噴嘴。
這時，希望控制向噴射器供給的工作流體的流量，使從帽到噴射器的吸引口的吸引管路內(nèi)的吸引壓力為一定。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，控制向噴射器供給的工作流體的流量，把吸引管路內(nèi)的吸引壓力保持一定，所以能進行來自功能液滴噴出頭的吸引。例如，當初始填充功能液時，吸引氣泡和液體，當在各情況時流路阻力不同時，通過控制工作流體的流量，能使吸引管路內(nèi)的壓力變動被限制在最小限度，不會損害對功能液滴噴出頭的吸引力。
這時，當對功能液滴噴出頭的吸引動作結(jié)束時，希望把從帽到噴射器的吸引口的吸引管路對大氣開放。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，在對于功能液滴噴出頭的吸引動作的結(jié)束時，吸引管路對大氣開放，所以通過噴射器，能把吸引管路內(nèi)殘留的功能液完全排出。因此，在吸引動作結(jié)束后，能防止由于功能液殘留或附著在吸引管路內(nèi)而產(chǎn)生的堵塞。
本發(fā)明是一種功能液滴噴出頭的吸引裝置，使帽緊貼在噴出功能液滴的功能液滴噴出頭上，通過帽吸引功能液滴噴出頭，其特征在于包括與帽連通，吸引功能液滴噴出頭的全部噴嘴的噴射器；向噴射器供給工作流體的工作流體供給部件。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，通過帽進行吸引，所以從頭內(nèi)流路排出的氣泡的影響小，能穩(wěn)定吸引功能液滴噴出頭的全部噴嘴。此外，噴射器不具有可動部位，是小型的，所以與使用泵吸引的結(jié)構(gòu)相比，能節(jié)省空間。
這時，希望噴射器配置在帽的附近。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，在帽附近配置噴射器，所以能使從帽到噴射器的(吸引)管路最短，通過與功能液滴噴出頭緊貼的帽，能通過噴射器高效進行功能液滴噴出頭的吸引。
這時，希望還包括檢測連接帽與噴射器的吸引口的吸引管路內(nèi)壓力的壓力檢測部件；設(shè)置在連接工作流體供給部件和噴射器的供給口的工作流體供給管路中，調(diào)節(jié)提供給噴射器的工作流體流量的流量調(diào)節(jié)閥；根據(jù)壓力檢測部件的檢測結(jié)果，控制流量調(diào)節(jié)閥的第一控制部件。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，根據(jù)壓力檢測部件的檢測結(jié)果，通過第一控制部件調(diào)節(jié)提供給噴射器的工作流體流量，能恰當調(diào)節(jié)對功能液滴噴出頭的吸引壓力，能穩(wěn)定并且恰當吸引功能液滴噴出頭的全部噴嘴。
這時，希望第一控制部件在對于功能液滴噴出頭的吸引結(jié)束時，使流量調(diào)節(jié)閥逐漸關(guān)閉。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，在對于功能液滴噴出頭的吸引結(jié)束時，使流量調(diào)節(jié)閥關(guān)閉，所以對于功能液滴噴出頭的吸引壓力急劇下降，防止功能液滴噴出頭內(nèi)的壓力變得比與功能液滴噴出頭緊貼的帽內(nèi)的壓力還低。此外，在吸引結(jié)束時，通過使流量調(diào)節(jié)閥逐漸關(guān)閉，通過調(diào)節(jié)吸引壓力，能使從功能液滴噴出頭到噴射器的(吸引)管路的負壓漸漸下降，在吸引結(jié)束后，當從功能液滴噴出頭取下帽時，空氣不會向功能液滴噴出頭內(nèi)逆流。
這時，希望還具有設(shè)置在吸引管路內(nèi)，開關(guān)吸引管路的吸引管路開關(guān)閥；第一控制部件當對于功能液滴噴出頭的吸引結(jié)束時，在關(guān)閉流量調(diào)節(jié)閥的同時，關(guān)閉吸引管路開關(guān)閥。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，當對于功能液滴噴出頭的吸引結(jié)束時，關(guān)閉流量調(diào)節(jié)閥，所以不向噴射器供給工作流體，能使吸引動作停止。此外，通過在關(guān)閉流量調(diào)節(jié)閥的同時，關(guān)閉吸引管路開關(guān)閥，能可靠地挺直對功能液滴噴出頭的吸引，不會從功能液滴噴出頭繼續(xù)無用地吸引功能液。
這時，吸引管路開關(guān)閥由具有大氣開放端口的三通閥構(gòu)成，第一控制部件與吸引管路開關(guān)閥的關(guān)閉同時，把大氣開放端口打開，并且再次打開流量調(diào)節(jié)閥。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，如果對功能液滴噴出頭的吸引動作結(jié)束，則吸引管路向大氣開放，所以由吸引動作充滿吸引管路的功能液通過噴射器排出。即在吸引管路內(nèi)，功能液不會由于干燥等而粘度增加而使吸引管路堵塞。此外，通過與大氣開放端口打開的同時，再次打開流量調(diào)節(jié)閥，能快速排出吸引管路內(nèi)的功能液。當工作流體是液體時，能防止工作流體滯留在工作流體供給管路中。
這時，希望還具有預(yù)先貯存功能液，并且通過排出管路連接在噴射器的排出口上的貯存容器；工作流體供給部件由泵構(gòu)成，并且通過循環(huán)管路連接在貯存容器上，供給功能液作為工作流體。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，作為噴射器的工作流體，供給非壓縮性的功能液，所以能高效進行吸引。此外，當使用壓縮空氣作為工作流體時，在從功能液滴噴出頭(的全部噴嘴)吸引的功能液中不會混合，能容易進行再利用。此外，作為使工作流體即功能液循環(huán)的結(jié)構(gòu)，所以能把作為工作流體使用的功能液量抑制在最小限度，并且能減小用于貯存作為工作流體的功能液的空間。
這時，還希望具有在連接工作流體供給部件和貯存容器的循環(huán)管路中設(shè)置由具有大氣開放端口的三通閥構(gòu)成的循環(huán)管路開關(guān)閥；當對功能液滴噴出頭的吸引結(jié)束時，關(guān)閉循環(huán)管路開關(guān)閥，并且打開循環(huán)管路開關(guān)閥的大氣開放端口的第二控制部件。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，在對功能液滴噴出頭的吸引結(jié)束時，關(guān)閉循環(huán)管路開關(guān)閥，停止從貯存容器向工作流體供給部件供給功能液，能停止對于功能液滴噴出頭的吸引。此外，通過開放循環(huán)管路開關(guān)閥的大氣開放端口，把循環(huán)管路向大氣開放，能把循環(huán)管路內(nèi)的功能液排出到貯存容器中。
這時，希望設(shè)置多個功能液滴噴出頭，與多個功能液滴噴出頭對應(yīng)分別設(shè)置多個帽、噴射器和吸引管路。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，對于設(shè)置的多個功能液滴噴出頭，設(shè)置多個帽、噴射器和吸引管路，所以能對與該噴射器對應(yīng)的各功能液滴噴出頭調(diào)節(jié)提供給各噴射器的工作流體的供給量，能分別在適當?shù)臓顟B(tài)下吸引各功能液滴噴出頭。即在本發(fā)明中，不會像用單一泵吸引多個功能液滴噴出頭時那樣，由于流路阻力不同的影響，在各功能液滴噴出頭中吸引壓力產(chǎn)生偏移，能高效吸引各功能液滴噴出頭。因此，不會發(fā)生吸引時的功能液流速下降，能高效從流路排出起跑，能削減為了排出氣泡而消耗的功能液。此外，能使各功能液滴噴出頭的吸引時間相同，能縮短功能液滴噴出頭的吸引時間，能減少吸引時消耗的功能液。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的特征在于具有所述吸引裝置、向工件噴出功能液的功能液滴噴出頭。
根據(jù)本結(jié)構(gòu)，通過噴射器能高效并且恰當?shù)匚δ芤旱螄姵鲱^，所以對于功能液滴噴出頭的功能液初始填充時或功能液滴噴出頭的清理時等，能縮短進行功能液滴噴出頭的吸引時所需時間，并且能削減吸引時消耗的功能液。
本發(fā)明的電光裝置的制造方法的特征在于使用所述液滴噴出裝置，在工件上形成由從功能液滴噴出頭噴出的功能液滴構(gòu)成的成膜部。
此外，本發(fā)明的電光裝置的特征在于使用所述液滴噴出裝置，在工件上形成由從功能液滴噴出頭噴出的功能液滴構(gòu)成的成膜部。
根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，使用能從功能液滴噴出頭高效吸引功能液的液滴噴出裝置制造，所以能高效制造電光裝置。此外，作為電光裝置(器件)，可以是液晶顯示裝置、有機EL(Electro-Luminescence)裝置、電子發(fā)射裝置、PDP(Plasma Display Panel)裝置和電泳顯示裝置。此外，電子發(fā)射裝置是包含所謂的FED(Field Emission Display)或SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)裝置的概念。作為電光裝置，可以是包含金屬布線的形成、透鏡的形成、抗蝕劑的形成和光擴散體的形成等裝置。
本發(fā)明的電子儀器的特征在于搭載了所述電光裝置。
這時，作為電子儀器，可以是搭載了所謂的平板顯示器的移動電話、個人計算機及各種電制品。


圖1是本實施例的功能液滴噴出裝置的外觀立體圖。
圖2是本實施例的功能液滴噴出裝置的右側(cè)視圖。
圖3是頭部件的平面圖。
圖4A是功能液滴噴出頭的外觀立體圖，4B是把功能液滴噴出頭安裝在管道轉(zhuǎn)接器上時的剖視圖。
圖5是吸引部件的外觀立體圖。
圖6是吸引部件的帽周圍的剖視圖。
圖7是說明擦拭部件的圖，7A是擦拭部件的模式圖，7B是擦拭動作的說明圖。
圖8是本發(fā)明實施例1的功能液滴噴出頭、連接在其上的功能液供給系統(tǒng)、空氣供給系統(tǒng)、吸引部件的模式圖。
圖9是本發(fā)明實施例2功能液泵和吸引部件周圍的模式圖。
圖10是說明濾色器制造工序的程序流程圖。
圖11A～11E是表示按制造工序的順序表示的濾色器的模式剖視圖。
圖12是使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器的液晶裝置概略結(jié)構(gòu)的要部剖視圖。
圖13是使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器的第二例的液晶裝置概略結(jié)構(gòu)的要部剖視圖。
圖14是使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器的第三例的液晶裝置概略結(jié)構(gòu)的要部剖視圖。
圖15是有機EL裝置的顯示裝置的要部剖視圖。
圖16是說明有機EL裝置的顯示裝置制造工序的流程圖。
圖17是說明無機物隔柵層的形成的工序圖。
圖18是說明有機物隔柵層的形成的工序圖。
圖19是說明形成空穴注入/輸送層的過程的工序圖。
圖20是說明形成空穴注入/輸送層的過程的工序圖。
圖21是說明形成藍色發(fā)光層的過程的工序圖。
圖22形成藍色發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。
圖23是說明形成各色發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。
圖24是說明陰極的形成的工序圖。
圖25是等離子體顯示裝置(PDP裝置)的顯示裝置的主要部分分解立體圖。
圖26是電子發(fā)射裝置(FED裝置)的顯示裝置的要部剖視圖。
圖27A是顯示裝置的電子發(fā)射部周圍的平面圖，圖27B是表示其形成方法的平面圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖，說明本發(fā)明的實施例1。圖1是應(yīng)用了本發(fā)明的液滴噴出裝置的外觀立體圖，圖2是應(yīng)用本發(fā)明的液滴噴出裝置的右側(cè)視圖。將在后面詳細描述，但是本液滴噴出裝置1用于把特殊的墨水和發(fā)光性的樹脂液等功能液導(dǎo)入功能液滴噴出頭31中，在基板等工件W上形成由功能液滴構(gòu)成的成膜部。
如兩圖所示，液滴噴出裝置1具有用于噴出功能液的噴出部件2、進行噴出部件2的維護的維護部件3、向各部件供給液體(例如功能液)并且回收不要的液體的液體供給回收部件4、用于驅(qū)動和控制各部件的供給壓縮空氣的空氣供給部件5(工作流體供給部件)。噴出部件2的主要部分配置在架臺11上設(shè)置的底盤12上，在與這些一體設(shè)置的公共機臺13上配置有維護部件3、液體供給回收部件4、空氣供給部件5的主要部分。而且，這些各部件由控制部件6控制。下面，說明各部件。
噴出部件2包括具有噴出功能液的功能液滴噴出頭31的頭部件21、支撐頭部件21的主滑架41、通過主滑架41使頭部件21(功能液滴噴出頭31)對于工件W相對移動的XY移動機構(gòu)51。
如圖3和圖4A、B所示，頭部件21由12個功能液滴噴出頭31、搭載功能液滴噴出頭31的子滑架22、用于把各功能液滴噴出頭31安裝在子滑架22上的頭保持部件23構(gòu)成。在子滑架22上，12個功能液滴噴出頭31按6個一組分為兩組，為了確保對工件W的充分的涂敷密度，傾斜規(guī)定的角度固定在子滑架22上。此外，在子滑架22上設(shè)置用于連接各功能液滴噴出頭31和供液容器153(后面描述)的管道接頭24。此外，功能液滴噴出頭31的個數(shù)和排列并不限于所述的結(jié)構(gòu)，是任意的，例如如果對功能液滴噴出頭31使用與利用目的匹配的專用液滴噴出頭，就沒必要采取傾斜功能液滴噴出頭31的結(jié)構(gòu)。
如圖4A、B所示，功能液滴噴出頭31是所謂的雙聯(lián)的，包括具有雙聯(lián)的連接針33的功能液導(dǎo)入部32、與功能液滴噴出頭32相連的雙聯(lián)的頭基板34、連接在功能液導(dǎo)入部32的下方并且在內(nèi)部形成用功能液充滿的頭內(nèi)流路的頭主體35。各連接針33通過管道轉(zhuǎn)接器25連接在后面描述的供液容器153，功能液導(dǎo)入部32從各連接針33接受功能液的供給。頭主體35具有雙聯(lián)的泵部36、形成多個噴出噴嘴39的噴嘴形成板37，在功能液滴噴出頭31中，通過泵部36的作用，從噴出噴嘴39噴出功能液滴。此外，噴嘴形成板37的下表面變?yōu)閲娮煨纬擅?8(噴嘴面)，功能液滴噴出頭31使噴嘴形成面38向下方突出，通過頭保持部件23固定在子滑架22上(參照圖4)。
如圖2所示，主滑架41由以下部分構(gòu)成從下方固定在后面描述的Y軸臺54上的外觀“I”形的吊設(shè)部件42；安裝在吊設(shè)部件42的下面上，用于進行對(頭部件21的)θ方向的位置修正的θ臺43；安裝為吊設(shè)在θ臺43的下方的滑架主體44。在滑架主體44上具有用于游動嵌入頭部件21的方形開口，對頭部件21進行定位固定。此外，在滑架主體44上配置有用于識別工件W的工件識別相機(省略圖示)。
XY移動機構(gòu)51具有吸附(固定)工件W的吸附臺53，包括通過吸附臺53使工件W在X軸方向(主掃描方向)移動的X軸臺52、通過主滑架41使頭部件21在Y軸方向(副掃描方向)移動的Y軸臺54。XY移動機構(gòu)51配置在所述底盤12上，能維持工件W的平坦度，并且能使頭部件21正確移動。
這里，簡單說明噴出部件2的一系列動作。首先，作為噴出功能液前的準備，進行頭部件21和設(shè)置的工件W的位置修正。接著，XY移動機構(gòu)51(X軸臺52)使工件W在主掃描方向(X軸)往返移動。與工件W往返移動同步，驅(qū)動多個功能液滴噴出頭31，進行對于工件W的功能液滴的有選擇噴出動作。如果工件W進行一次往返移動，則XY移動機構(gòu)51(Y軸臺54)使頭部件21在副掃描(Y州)方向移動。然后，再次進行工件W向主掃描方向的往返移動和功能液滴噴出頭31的驅(qū)動。此外，在本實施例中，對于頭部件21，使工件W在主掃描方向移動，但是也可以是使頭部件21在主掃描方向移動的結(jié)構(gòu)。此外，也可以把頭部件21固定，使工件W在主掃描方向和副掃描方向移動的結(jié)構(gòu)。
下面，說明維護部件3。維護部件3維護功能液滴噴出頭31，功能液滴噴出頭31能適當噴出功能液，具有沖洗部件61、吸引部件71、擦拭部件141(參照圖1)。
沖洗部件61用于接受通過液滴噴出時的多個(12個)功能液滴噴出頭的沖洗動作即來自全部噴出噴嘴39的預(yù)備噴出(無用噴出)而按順序噴出的功能液。沖洗部件61固定在X軸臺52上，接受噴出的功能液的一對沖洗盒62夾著吸附臺而固定。沖洗盒62伴隨著主掃描與工件W一起向頭部件21移動，所以能從面臨沖洗盒62的功能液滴噴出頭的噴出噴嘴依次進行沖洗動作。而且，由沖洗盒62接受的功能液存儲在后面描述的廢液容器182中。此外，在本實施例的沖洗動作中，是進行從全部噴出噴嘴39的預(yù)備噴出，但是也可以例如只讓使用的噴出噴嘴39進行預(yù)備噴出那樣地只讓一部分噴出噴嘴進行預(yù)備噴出。
吸引部件71被設(shè)置在上述的公共機臺13上，用于吸引功能液滴噴出頭31。具體是，在如新將功能液滴噴出頭31裝入頭部件21內(nèi)時進行功能液填充的情況下和在進行為了除去功能液滴噴出頭31內(nèi)的粘度增加了的功能液的吸引(清洗)的情況下使用吸引部件71。
如圖5所示，吸引部件71包括具有與各功能液滴噴出頭31緊貼的12個帽73的帽部件72；通過使帽部件72升降，使帽73離開或接觸功能液滴噴出頭31的升降機構(gòu)91；通過緊貼的帽73，進行功能液的吸引的噴射器101；連接各帽73和噴射器101的吸引用管111；支撐帽部件72的支撐部件131。
帽部件72如圖5所示，與搭載在頭部件21上的12個功能液滴噴出頭31的配置對應(yīng)，把12個帽73配置在帽座74上，能使各帽73緊貼在對應(yīng)的各功能液滴噴出頭31上。
如圖6所示，帽73由帽主體81、帽支架82構(gòu)成。帽主體81通過兩個彈簧靠向上方，并且在稍微能移動的狀態(tài)下保持在帽支架82上。在帽主體81的上表面形成包含功能液滴噴出頭31的2列噴出噴嘴39的凹部83，在凹部83的周圍部安裝著密封墊片84。而且，在凹部83的底部以通過按壓框86按壓的狀態(tài)設(shè)置了吸收部件85。在吸引功能液滴噴出頭31時，把密封墊片84按壓緊貼在功能液滴噴出頭31的噴嘴形成面39上，密封噴嘴形成面38，使其包含兩列噴出噴嘴39。此外，在各帽73上設(shè)置有大氣開放閥88，能在凹部83的底面一側(cè)向大氣開放(參照圖6)。而且，在吸引動作的最終階段，通過打開大氣開放閥88向大氣開放，也能吸引含浸在吸收部件85中的功能液。
升降機構(gòu)91由氣缸構(gòu)成，具有行程彼此不同的兩個升降氣缸92、93。而且，通過兩個升降氣缸92、93的選擇工作，能把帽部件72的上升位置切換為比較高的第一位置和比較低的第二位置，當帽部件72位于第一位置時，各帽73與各功能液滴噴出頭31緊貼，當帽部件72位于第二位置時，各功能液滴噴出頭31和各帽73之間產(chǎn)生很小的間隙。
噴射器101通過吸引用管111與帽73連接，通過帽73從功能液滴噴出頭31的全部噴嘴39進行吸引。噴射器101設(shè)置在帽73附近，能高效進行功能液滴噴出頭的吸引，如圖8和圖9所示，對于各帽73配置一個噴射器101即共計12個噴射器101。此外，在帽73和噴射器101之間分別從帽73一側(cè)按順序設(shè)置檢測功能液的有無的功能液檢測傳感器121、檢測吸引用管111內(nèi)壓力的帽一側(cè)壓力傳感器122(壓力檢測部件)、開關(guān)吸引用管111的帽一側(cè)開關(guān)閥(吸引管路開關(guān)閥)。
噴射器101具有連接在所述空氣供給部件5上，接受成為工作流體的壓縮空氣的供給的供給口102；連接在帽73上，使吸引力作用的吸引口103；與供給口102連接，用于排出供給的工作流體和從吸引口103吸引的氣泡或功能液的排出口104。即，通過伴隨著壓縮空氣的供給而產(chǎn)生的伴隨流，使噴射器101內(nèi)部產(chǎn)生負壓，能進行通過吸引口103使帽73緊貼的功能液滴噴出頭31的吸引。而且，通過后面描述的流量調(diào)節(jié)閥196，調(diào)節(jié)壓縮空氣的供給量，能調(diào)節(jié)來自吸引口103的吸引力(吸引壓力)。由于噴射器101不具有可動部，比較小型，所以通過采用使用噴射器101進行功能液滴噴出頭31的吸引的結(jié)構(gòu)，與使用泵進行吸引的結(jié)構(gòu)相比，能使裝置小型化。此外，在功能液之前從吸引口103吸引的氣泡與壓縮空氣一起從排出口104快速排出，所以與用泵吸引時不同，不會產(chǎn)生空氣泄漏引起的吸引力下降。
吸引用管111由吸引管112、把吸引管112分支為多個(12個)的分支吸引管113(吸引管路)構(gòu)成，通過分支吸引管113連接帽73和噴射器101。此外，在本實施例的液滴噴出裝置1中，各帽兼任接受在功能液的非噴出時，即，對工件W的功能液的噴出暫時停止時的功能液滴噴出頭31的沖洗動作中噴出的功能液的功能液接受部，在吸引管112中設(shè)置用于通過帽吸引在沖洗中噴出的功能液的吸引泵114。如圖8所示，在吸引泵114上游的吸引管112中設(shè)置有三通閥115。在三通閥115中，一端連接在再利用容器162上，連接用于把從噴射器101排出的工作流體和功能液向再利用容器162引導(dǎo)的排出管116。
而且，通過切換三通閥115，能根據(jù)不同的目的分開使用噴射器101和吸引泵114。具體而言，當向功能液滴噴出頭31填充功能液時，或清理功能液滴噴出頭31時，使用噴射器101，所以切換三通閥115，使吸引管112與排出管116連通，當像在吸引在沖洗中噴出的功能液時那樣使用吸引泵114時，切換三通閥115，使吸引管112與吸引泵114連通。
擦拭部件141與吸引部件71同樣設(shè)置在公共機臺13上，通過功能液滴噴出頭31的吸引(清理)，一邊使附著了功能液的被污染的各功能液滴噴出頭31的噴嘴形成面38在X軸方向上移動，一邊擦拭。如圖7A、B所示，擦拭部件141由以下部分構(gòu)成一邊輸送擦拭用的擦拭帶144，一邊進行卷繞的卷繞部件142；具有用于使擦拭帶144接觸噴嘴形成面38的卷繞輥145的擦取部件143。擦拭部件141在充分接近功能液滴噴出頭31的狀態(tài)下，從卷繞部件142輸送擦拭帶144，把使用卷繞輥145輸送的擦拭帶144按在功能液滴噴出頭31的噴嘴形成面38上，一邊擦拭污垢。此外，從后面描述的清洗液供給系統(tǒng)171向輸送的擦拭帶144供給清洗液，高效擦取附著在功能液滴噴出頭31上的功能液。
下面，說明液體供給回收部件4。液體供給回收部件4由向頭部件21的各功能液滴噴出頭31供給功能液的功能液供給系統(tǒng)151、回收由維護部件3的吸引部件71吸引的功能液的功能液回收系統(tǒng)161、把功能材料的溶劑作為清洗用而提供給擦拭部件141的清洗液供給系統(tǒng)171；回收由沖洗部件61接受的功能液的廢液回收系統(tǒng)181構(gòu)成。而且，如圖2所示，在公共機臺13的收容室14中，從圖示右側(cè)開始按順序橫向配置有功能液供給系統(tǒng)151的加壓容器152、功能液回收系統(tǒng)161的再利用容器162、清洗液供給系統(tǒng)171的清洗液容器172。而且，在再利用容器162和清洗液容器172附近設(shè)置有形成小型的廢液回收系統(tǒng)181的廢液容器182。
功能液供給系統(tǒng)151有以下部分構(gòu)成存儲大量(3L)功能液的加壓容器152；存儲從加壓容器152輸送的功能液，并且把功能液向各功能液滴噴出頭31供給的供液容器153；形成供液通路，連接它們的供液管154(參照圖1、圖2、圖8)。存儲在加壓容器152中的功能液通過從后面描述的空氣供給部件5導(dǎo)入的壓縮空氣(惰性氣體)，通過供液管154把存儲的功能液壓送給供液容器153。
供液容器153向大氣開放，解除來自加壓容器152的壓力。然后，將供液容器153保持在比功能液滴噴出頭31呈稍微負液位差(例如25mm±0.5mm)的狀態(tài)，防止功能液從功能液滴噴出頭滴下，并且以功能液滴噴出頭31的泵動作，即，泵部36內(nèi)的壓電元件的泵驅(qū)動，高精度噴出液滴。
在供液容器153上連接著向功能液滴噴出頭31延伸的6根供液管154，這些供液管154分別通過T字接頭157分支為兩根，形成共計12個分支供液管155。12個分支供液管155連接在作為裝置一側(cè)管道部件而設(shè)置在頭部件21上的管道接頭24上，向各功能液滴噴出頭31共計功能液(參照圖1和圖8)。此外，在各分支供液管155中設(shè)置用于開關(guān)分支供液管155的頭一側(cè)供給閥156，通過控制部件6開關(guān)控制。
功能液回收系統(tǒng)161用于存儲由吸引部件71的噴射器101和吸引泵114吸引的功能液，具有存儲吸引的功能液的再利用容器162；連接在吸引泵114上，把吸引的功能液向再利用容器162引導(dǎo)的回收用管164。
清洗液供給系統(tǒng)171用于向擦拭部件141的擦拭帶144供給清洗液，具有存儲清洗液容器172、用于供給清洗液容器172的清洗液的清洗液供給管(省略圖示)。此外，通過從空氣供給部件5向清洗液容器172導(dǎo)入壓縮空氣，進行清洗液的供給。此外，在清洗液中使用揮發(fā)性比較高的功能液的溶劑，能高效擦取附著在功能液滴噴出頭31上的功能液。
廢液回收系統(tǒng)181用于回收向沖洗部件61噴出的功能液，具有存儲回收的功能液的廢液容器182；連接在沖洗部件61(沖洗盒62)上，把向沖洗盒62噴出的功能液向廢液容器182引導(dǎo)的廢液泵(省略圖示)；連接它們的廢液用管(省略圖示)。
下面，說明空氣供給部件5。如圖8所示，空氣供給部件5把壓縮惰性氣體(N2)的壓縮空氣向各部例如加壓容器152或噴射器101等供給，具有壓縮惰性氣體的空氣泵191(壓縮機)；與供給目標匹配，把壓縮空氣保持一定壓力的調(diào)整器192；把空氣泵191與各部通過管道連接，把壓縮空氣向各部供給的空氣供給管193。此外，在連接空氣泵191和調(diào)整器192的空氣供給管193中設(shè)置用于除去壓縮空氣(功能液)中的灰塵的空氣(液體)過濾器194和用于除去油分的分離器196。此外，在連接空氣泵191和噴射器101的空氣供給管193(工作流體供給管路)中，設(shè)置有調(diào)節(jié)壓縮空氣供給量的流量調(diào)整閥196(流量調(diào)節(jié)閥)，能調(diào)節(jié)提供給各噴射器101的壓縮空氣的供給量。
下面，說明控制部件6?？刂撇考?具有用于控制各部件的動作的控制部，控制部具有存儲控制程序或控制數(shù)據(jù)，并且用于進行各種控制處理的作業(yè)區(qū)。而且，控制部件6與所述各部件連接，控制裝置全體。
作為基于控制部件6的控制的一例，說明使用吸引部件71，吸引功能液滴噴出頭31時的情形，下面參照圖8，進行說明。當吸引功能液滴噴出頭31時，控制部件6(第一控制部件)驅(qū)動所述XY移動機構(gòu)，首先使頭部件21面臨配置在公共機臺13上的吸引部件71。然后，驅(qū)動吸引部件71的升降機構(gòu)91，使帽部件72上升到第一位置，使各帽73緊貼在對應(yīng)的功能液滴噴出頭31上。
接著，漸漸打開設(shè)置在空氣供給管193中的流量調(diào)整閥196，從空氣供給部件5向12個噴射器101供給壓縮空氣，開始功能液滴噴出頭31的吸引。通過根據(jù)所述各帽一側(cè)壓力傳感器122的檢測結(jié)果，開關(guān)控制流量調(diào)整閥196，為各噴射器101適當調(diào)節(jié)吸引時的壓縮空氣供給量。具體而言，當吸引用管111(分支吸引管113)內(nèi)的吸引壓力比規(guī)定的壓力還低時，控制流量調(diào)整閥196，使壓縮空氣供給量增加，當吸引用管111內(nèi)的吸引壓力比規(guī)定的壓力還高時，控制流量調(diào)整閥196，使壓縮空氣供給量下降，進行控制，以便在一定的吸引壓力下進行各功能液滴噴出頭31的吸引。這樣，通過用各噴射器101個別調(diào)節(jié)壓縮空氣供給量，能高效并且恰當?shù)匚鞴δ芤旱螄姵鲱^31。
此外，在本實施例中，為了個別控制對于各功能液滴噴出頭31的吸引壓力，成為對各帽73設(shè)置噴射器101的結(jié)構(gòu)，但是也可以是通過使連接在噴射器101的吸引口103上的分支吸引管113分支，對于多個帽73設(shè)置一個噴射器101的結(jié)構(gòu)。即，也能采用用一個噴射器101吸引兩個帽73的結(jié)構(gòu)，或用一個噴射器101吸引12個帽73的結(jié)構(gòu)，根據(jù)情況，能適當變更噴射器101的設(shè)置數(shù)。
當使功能液滴噴出頭31的吸引結(jié)束時，首先漸漸關(guān)閉流量調(diào)整閥196。由此，防止了吸引壓力急劇下降，在吸引結(jié)束后，防止氣泡向功能液滴噴出頭31內(nèi)逆流。此外，與流量調(diào)整閥196的關(guān)閉一起，控制所述帽一側(cè)開關(guān)閥123，使吸引動作可靠結(jié)束，以便不浪費高價的功能液。
然后，驅(qū)動升降機構(gòu)91，使帽部件72下降，把各帽73向大氣開放，并且再次打開流量調(diào)整閥196。由此，能把由各帽73的吸收材料85吸收的功能液和殘留在吸引用管111中的功能液向再利用容器162引導(dǎo)。此外，當帽73的結(jié)構(gòu)為不能向大氣開放時，希望用具有大氣開放端口的三通閥構(gòu)成所述帽一側(cè)開關(guān)閥123。而且，在關(guān)閉流量調(diào)整閥196的同時，把帽一側(cè)開關(guān)閥123切換到大氣開放端口后，打開流量調(diào)整閥196，防止功能液殘留在吸引用管111中，產(chǎn)生堵塞。
下面，說明本發(fā)明的實施例2。本實施例的液滴噴出裝置1的基本結(jié)構(gòu)與上述的實施例1大致同樣，但是在實施例2的液滴噴出裝置1中，不同點在于向吸引部件71的噴射器101供給的工作流體不是來自空氣供給部件5的壓縮空氣，而使用功能液。
如果參照圖9進行說明，則噴射器101的供給口102通過壓力調(diào)整閥202連接在由高壓泵構(gòu)成的功能液泵201上，排出口104通過連接管203(排出管路)連接在再利用容器162上(貯存容器)。而且，在本實施例中，通過使用壓力調(diào)整閥202控制從功能液泵201輸送的功能液的壓力，調(diào)整噴射器101的吸引力。此外，噴射器101的吸引口103與實施例1同樣，通過分支吸引管113連接在帽73上，通過帽73能從功能液滴噴出頭31吸引。
再利用容器162和功能液泵201由連接管203連接，由從功能液泵201到噴射器101以及再利用容器162的管路、從再利用容器162到功能液泵201的管路構(gòu)成成為工作流體的功能液循環(huán)的循環(huán)管路204。而且，在連接再利用容器162和功能液泵201的循環(huán)管路204中設(shè)置有由具有大氣開放端口的三通閥構(gòu)成的開關(guān)閥205(循環(huán)管路開關(guān)閥)。
此外，在再利用容器162中預(yù)先存儲著能充滿循環(huán)管路204的量的功能液，通過不間斷地把作為工作流體的功能液向噴射器101供給，能進行穩(wěn)定的吸引。
這里，參照圖9，說明功能液滴噴出頭31的一系列吸引動作和控制。首先，控制部件6(第二控制部件)與實施例1時同樣使頭部件21面臨吸引部件71后，使帽73緊貼在各功能液滴噴出頭31上。接著，開始功能液泵201的驅(qū)動，從再利用容器162吸出成為噴射器101的工作流體的功能液，向壓力調(diào)整閥202輸送功能液。
壓力調(diào)整閥202根據(jù)各帽一側(cè)壓力傳感器122的檢測結(jié)果，由控制部件6控制，以便對各保持適當?shù)奈龎毫Α＞唧w而言，當分支吸引管113內(nèi)的吸引壓力比規(guī)定的壓力低時，使功能液的輸送量增加，當分支吸引管113內(nèi)的吸引壓力比規(guī)定的壓力還高時，使功能液的輸送量減少。
經(jīng)過壓力調(diào)整閥202的功能液由適當?shù)膲毫?shù)送給噴射器101的供給口102，一邊產(chǎn)生吸引力，一邊從排出口104排出到再利用容器162中。此外，從功能液滴噴出頭31吸引的功能液也與在噴射器101內(nèi)由供給口102供給的功能液合流，從排出口104排出到再利用容器162中。然后，排出到再利用容器162中的功能液由功能液泵201吸出，作為工作流體循環(huán)。
這樣，在本實施例中，也使用非壓縮性的功能液作為工作流體，所以能更高效吸引功能液滴噴出頭31。此外，變?yōu)槭构δ芤貉h(huán)的結(jié)構(gòu)，所以能通過功能液滴噴出頭31的吸引把使用的功能液量抑制在最小限度，并且使再利用容器162小型化，能謀求裝置的省空間。與對工作流體使用壓縮空氣時不同，在排出吸引的功能液時，不會混著氣泡(壓縮空氣)，所以能容易地把排出的功能液再利用。
當使對功能液滴噴出頭31的吸引動作結(jié)束時，為了防止吸引壓力的急劇下降，控制部件6控制壓力調(diào)整閥202，使提供給噴射器101的功能液的壓力漸漸下降，并且減少由功能液泵201的功能液供給量。然后，使所述開關(guān)閥205關(guān)閉，停止來自再利用容器162的功能液供給。接著，把開關(guān)閥205切換到大氣開放端口，通過把循環(huán)管路向大氣開放，把循環(huán)管路內(nèi)殘留的功能液送入再利用容器162中。然后，使功能液泵201的驅(qū)動停止，結(jié)束吸引動作。
這樣，在實施例1和實施例2的液滴噴出裝置1中，成為使用噴射器進行功能液滴噴出頭31的吸引的結(jié)構(gòu)，所以與使用泵進行吸引時不同，不會受在功能液之前吸引的氣泡的影響而吸引力下降，能高效進行功能液滴噴出頭31的吸引。因此，通過把所述液滴噴出裝置1應(yīng)用于各種制品的制造，能進行高效的制造。
下面，作為使用本實施例的液滴噴出裝置1制造的電光裝置(平板顯示器)，以濾色器、有機EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)等為例，說明它們的構(gòu)造及其制造方法。
首先，說明在液晶顯示裝置和有機EL裝置中設(shè)置的濾色器的制造方法。圖10是表示濾色器的制造工序的程序流程圖，圖11A～E是按照工序順序表示的本實施例的濾色器500(濾色器基體500A)的模式剖視圖。
首先，在黑矩陣形成工序(S11)中，如圖11A所示，在基板(W)501上形成黑矩陣502。黑矩陣502由金屬鉻和氧化鉻的層疊體、或由樹脂黑形成。在形成由金屬薄膜構(gòu)成的黑矩陣502時，能使用濺射或蒸鍍法。此外，在形成由樹脂薄膜構(gòu)成的黑矩陣502時，能使用照相凹版印刷法、光刻法、熱復(fù)制法。
接著，在隔柵形成工序(S12)中，以層疊在黑矩陣502上的狀態(tài)形成隔柵503。即首先如圖11B所示，覆蓋基板501和黑矩陣502形成由負片形透明感光性樹脂構(gòu)成的抗蝕劑層504。然后，在用形成為矩陣圖案的掩模層505覆蓋其上表面的狀態(tài)下，進行曝光處理。
如圖11C所示，通過對抗蝕劑層504進行蝕刻處理，對抗蝕劑層504構(gòu)圖，形成隔柵503。此外，當由樹脂黑形成黑矩陣時，能兼任黑矩陣和隔柵。
該隔柵503和其下的黑矩陣502變?yōu)閯澐指飨袼貐^(qū)域507a的劃分壁部507b，在以后的著色層形成工序中，當通過功能液滴噴出頭31形成著色層508R、508G、508B時，固定功能液滴的落下區(qū)域。
經(jīng)過以上的黑矩陣形成工序和隔柵形成工序，獲得所述濾波器基體500A。
此外，在本實施例，作為隔柵503的材料，使用鍍膜表面成為斥液(斥水)性的樹脂材料。而且，基板(玻璃基板501)的表面為親液性(親水)，所以在后面描述的著色層形成工序中，液滴向由隔柵503(劃分壁部507b)包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)的落下位置精度提高。
接著，在著色層形成工序(S13)中，如圖11D所示，通過功能液滴噴出頭31噴出功能液滴，落在由劃分壁部507b包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)。這時，使用功能液滴噴出頭31，導(dǎo)入R、G、B等3色功能液(濾色器材料)，進行的噴出。此外，作為R、G、B等3色的排列圖案，有帶狀排列、馬賽克排列和三角排列。
然后，經(jīng)過干燥處理(加熱等處理)使功能液固定，形成三色的著色層508R、508G、508B。當形成了著色層508R、508G、508B后，轉(zhuǎn)移到保護膜形成工序(S14)，如圖11E所示，覆蓋基板501、劃分壁部507b和著色層508R、508G、508B的上表面形成保護膜509。
即，向基板501的形成著色層508R、508G、508B的面全體噴出保護膜用涂敷液后，經(jīng)過干燥處理，形成保護膜509。
然后，形成保護膜509后，通過把基板501切斷為各有效像素區(qū)域，獲得濾色器500。
圖12是表示作為使用所述濾色器500的液晶顯示裝置一例的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略結(jié)構(gòu)的要部剖視圖。通過在該液晶裝置520上安裝液晶驅(qū)動用IC、背光燈、支撐體等附帶要素，獲得作為最終制品的透射型液晶顯示裝置。此外，濾色器500與圖11所示相同，所以對于對應(yīng)的部位采用相同的符號，省略其說明。
該液晶裝置520由濾色器500、用玻璃基板等構(gòu)成的對置基板521、夾在它們之間的用STN(Super Twisted Nematic)液晶組成物構(gòu)成的液晶層522構(gòu)成，濾色器500配置在圖中上方(觀察者一側(cè))。
此外，雖然未圖示，但是在對置基板521和濾色器500的外表面(與液晶層522相反一側(cè)的面)分別配置偏振片，此外在位于對置基板521一側(cè)的偏振片外側(cè)配置有背光燈。
在濾色器500的保護膜509上(液晶層一側(cè))，以規(guī)定的間隔形成在圖12中左右方向長的矩形第一電極523，覆蓋該第一電極523的與濾色器500一側(cè)相反一側(cè)的面形成第一定向膜524。
而在與對置基板521的與濾色器500相對的面上，以規(guī)定的間隔形成多個在的與第一電極523正交的方向長的矩形第二電極526，覆蓋該第二電極526的液晶層522一側(cè)的面形成第二定向膜527。這些第一電極523和第二電極526由ITO(Indium Tin Oxide)等透明導(dǎo)電材料形成。
設(shè)置在液晶層522內(nèi)的隔離塊528是用于把液晶層522厚度(單元間隔)保持一定的部件。此外，密封材料529是用于防止液晶層522內(nèi)的液晶組成物向外部泄漏的部件。此外，第一電極523的一端部作為圍繞布線523a延伸到密封材料529的外側(cè)。
而且，第一電極523和第二電極526交叉的部分是像素，濾色器500的著色層508R、508G、508B位于成為該像素的部分。
在通常的制造工序中，對濾色器500進行第一電極523的構(gòu)圖和第一定向膜524的涂敷，生成濾色器500一側(cè)的部分，另外在對置基板521上進行第二電極526的構(gòu)圖和第二定向膜527的涂敷，生成對置基板521一側(cè)的部分。然后，在對置基板521一側(cè)的部分設(shè)置隔離塊528和密封材料529，在該狀態(tài)下，摘鐵濾色器500一側(cè)的部分。接著，從密封材料529的注入口注入構(gòu)成液晶層522的液晶，關(guān)閉注入口。然后，層疊兩個偏振片和背光燈。
實施例的液滴噴出裝置1涂敷構(gòu)成所述單元間隔的隔離塊材料(功能液)，并且向?qū)χ没?21一側(cè)的部分粘貼濾色器500一側(cè)的部分前，能向由密封材料529包圍的區(qū)域均勻涂敷液晶(功能液)。此外，也能用功能液滴噴出頭31進行所述密封材料529的印刷。也能用功能液滴噴出頭31進行第一和第二定向膜524、527的涂敷。
圖13是表示使用在本實施例中制造的濾色器500的液晶裝置的第二例概略結(jié)構(gòu)的要部剖視圖。
該液晶裝置530與所述液晶裝置520的大的不同點在于在圖中下方(與觀察者一側(cè)相反一側(cè))配置濾色器500。
該濾色器500在濾色器500和由玻璃基板構(gòu)成的對置基板531之間夾著由STN液晶構(gòu)成的液晶層532。此外，雖然未圖示，但是在對置基板531和濾色器500的外表面分別配置有偏振片。
在濾色器500的保護膜509上(液晶層532一側(cè))，以規(guī)定的間隔配置多個在圖中向里方向長的第一電極533，覆蓋該第一電極533的液晶層532一側(cè)的面形成第一定向膜534。
在對置基板531的與濾色器500相對的面上，以規(guī)定的間隔形成在與濾色器500一側(cè)的第一電極533正交的方向延伸的多個矩形第二電極536，覆蓋該第二電極536的液晶層532一側(cè)的面形成第二定向膜537。
在液晶層532上設(shè)置用于把該液晶層532的厚度保持一定的隔離塊538和用于防止液晶層532內(nèi)的液晶組成物向外部泄漏的密封材料539。
而且，與所述液晶裝置520同樣，第一電極533與第二電極536交叉的部分是像素，著色層508R、508G、508B位于成為該像素的部位。
圖14表示使用應(yīng)用本發(fā)明的濾色器500構(gòu)成液晶裝置的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
該液晶裝置550是把濾色器500配置在圖中上方(觀察者一側(cè))。
該液晶裝置550由濾色器500、與其相對配置的對置基板551、夾在它們之間的未圖示的液晶層、配置在濾色器500的上表面一側(cè)(觀察者一側(cè))的偏振片555、配置在對置基板551的下表面一側(cè)的偏振片(未圖示)構(gòu)成。
在濾色器500的保護膜509的表面(對置基板551一側(cè)的面)上形成液晶驅(qū)動用的電極556。該電極556由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，成為覆蓋形成后面描述的像素電極560的區(qū)域全體的全面電極。此外，在覆蓋該電極556的與像素電極560相反一側(cè)的面的狀態(tài)設(shè)置定向膜557。
在對置基板551的與濾色器500相對的面上形成絕緣層558，在該絕緣層558上以彼此正交的狀態(tài)形成掃描線561和信號線562。而且，在由這些掃描線561和信號線562包圍的區(qū)域內(nèi)形成像素電極560。此外，在實際的液晶裝置中在像素電極560上設(shè)置定向膜，但是省略了圖示。
此外，在由像素電極560的缺口部、掃描線561和信號線562包圍的部分設(shè)置具有源電極、漏電極、半導(dǎo)體和柵電極的薄膜晶體管563。而且，通過對掃描線561和信號線562施加信號，使薄膜晶體管563導(dǎo)通和斷開，能進行對像素電極560的通電控制。
此外，所述各例的液晶裝置520、530、550為透射型的結(jié)構(gòu)，但是也能設(shè)置反射層或半透半反層，成為反射型的液晶裝置或半透半反型的液晶裝置。
圖15是有機EL裝置的顯示區(qū)(以下只稱作顯示裝置600)的要部剖視圖。
在基板(W)601上層疊了電路元件部602、發(fā)光元件部603和陰極604的狀態(tài)下，概略構(gòu)成該顯示裝置600。
在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601發(fā)出的光透射電路元件部602和基板601，向觀察者一側(cè)出射，并且從發(fā)光元件部603向基板601相反一側(cè)發(fā)出的光由陰極604反射后，透射電路元件部602和基板601，向觀察者一側(cè)出射。
在電路元件部602和基板601之間形成由氧化硅構(gòu)成的底層保護膜606，在該底層保護膜606上(發(fā)光元件部603一側(cè))形成由多晶硅構(gòu)成的島狀的半導(dǎo)體膜607。在該半導(dǎo)體膜607的左右的區(qū)域中，分別通過高濃度陽離子注入，形成源區(qū)607a和漏區(qū)607b。而且，未注入陽離子的中央部變?yōu)闇系绤^(qū)607c。
此外，在電路元件部602上形成覆蓋底層保護膜606和半導(dǎo)體膜607的透明柵絕緣膜608，在該柵絕緣膜608上的與半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)607c對應(yīng)的位置形成由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極609。在該柵電極609和柵絕緣膜608上形成透明的第一層間絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b。此外，貫通第一、第二層間絕緣膜611a、611b形成分別與半導(dǎo)體膜607的源區(qū)607a、漏區(qū)607b連通的接觸孔612a、612b。
然后，在第二層間絕緣膜611b上構(gòu)圖，把由ITO等構(gòu)成的像素電極613形成規(guī)定的圖案，該像素電極613通過接觸孔612a連接在源區(qū)607a上。
此外，在第一層間絕緣膜611a上配置電源線614，該電源線614通過接觸孔612b連接在漏區(qū)607b上。
這樣，在電路元件部602上分別形成連接在各像素電極613上的驅(qū)動用薄膜晶體管615。
所述發(fā)光元件部603由層疊在多個像素電極613上的功能層617、設(shè)置在各像素電極613和功能層617之間的劃分各功能層617的隔柵部618構(gòu)成。
由這些像素電極613、功能層617和配置在功能層617上的陰極604構(gòu)成發(fā)光元件。此外，像素電極613構(gòu)圖形成平面視圖中的矩形，在各像素電極613之間形成隔柵部618。
隔柵部618由以下部分構(gòu)成例如由SiO、SiO2、TiO2等無機材料構(gòu)成的無機物隔柵層618a(第一隔柵層)；層疊在無機物隔柵層618a上，由丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂等耐熱性、耐溶劑性優(yōu)異的抗蝕劑形成的截面為梯形的有機物隔柵層618b(第二隔柵層)。該隔柵部618的一部分以在像素電極613的周圍部上的狀態(tài)形成。
而且，在各隔柵部618之間，形成相對像素電極613向上方逐漸擴大的開口部619。
所述功能層617由在開口部619內(nèi)以層疊在像素電極613上的狀態(tài)形成的空穴注入/輸送層617a、形成在該空穴注入/輸送層617a上的發(fā)光層617b構(gòu)成。此外，還可以與該發(fā)光層617b相鄰形成具有其他功能的功能層。例如，也能形成電子輸送層。
空穴注入/輸送層617a具有從像素電極613一側(cè)輸送空穴，注入發(fā)光層617b中的功能。通過噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組成物(功能液)，形成該空穴注入/輸送層617a。作為空穴注入/輸送層形成材料，使用聚乙烯二氧噻吩等聚噻吩衍生物和硫代聚苯乙烯等的混合物。
發(fā)光層617b發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任意一種光，通過噴出包含發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第二組成物(功能液)而形成。作為第二組成物的溶劑，希望對于空穴注入/輸送層120a是不溶解的，例如，能使用環(huán)己基苯、二氫苯呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通過對發(fā)光層617b的第二組成物使用這樣的非極性溶劑，在不使空穴注入/輸送層617a再次溶解的前提下，能形成發(fā)光層617b。
而且，在發(fā)光層617b中，從空穴注入/輸送層617a注入的空穴和從陰極604注入的電子在發(fā)光層中再耦合，發(fā)光。
陰極604以覆蓋發(fā)光元件部603的全面的狀態(tài)形成，與像素電極613成對，完成使電流流向功能層617的任務(wù)。此外，在該陰極604的上部配置未圖示的密封部件。
下面，參照圖16～圖24說明所述顯示裝置600的制造工序。
該顯示裝置600如圖16所示，經(jīng)過隔柵部形成工序(S21)、表面處理工序(S22)、空穴注入/輸送層形成工序(S23)、發(fā)光層形成工序(S24)、對置電極形成工序(S25)制造。此外，制造工序并不局限于例示的，按照必要有時追加其他工序，有時刪除其他工序。
首先，在隔柵部形成工序(S21)中，如圖17所示，在第二層間絕緣膜611b上形成無機物隔柵層618a。在形成位置上形成無機物膜后，通過光刻技術(shù)對該無機物膜構(gòu)圖，形成該無機物隔柵層618a。這時，無機物隔柵層618a的一部分層疊在像素電極613的邊緣部上。
當形成了無機物隔柵層618a后，如圖18所示，在無機物隔柵層618a上形成有機物隔柵層618b。該有機物隔柵層618b也與無機物隔柵層618a同樣，通過光刻技術(shù)，構(gòu)圖形成。
這樣形成了隔柵部618。此外，伴隨著此，在各隔柵部618之間形成相對像素電極613在上方開口的開口部619。由該開口部619規(guī)定像素區(qū)。
在表面處理工序(S22)中，進行親液化處理和斥液化處理。進行親液化處理的區(qū)域是無機物隔柵層618a的第一層疊部618aa和像素電極613的電極面613a，這些區(qū)域例如通過以氧為處理氣體的等離子體處理被表面處理為親液性。該等離子體處理也兼任像素電極613的ITO的清洗。
此外，斥液化處理對有機物隔柵層618b的壁面618s和有機物隔柵層618b的上表面618t進行，通過例如以四氟甲烷為處理氣體的等離子體處理，把表面進行氟化處理(處理為呈斥液性)。
通過進行該表面處理工序，當使用功能液滴噴出頭31形成功能層617時，能更可靠地使功能液滴落在像素區(qū)中，此外，能防止落在像素區(qū)中的功能液滴從開口部619溢出。
而且，經(jīng)過以上的工序，獲得顯示裝置基體600A。把該顯示裝置基體600A安放在圖1所示的液滴噴出裝置1的吸附臺53上，進行以下的空穴注入/輸送層形成工序(S23)、發(fā)光層形成工序(S24)。
如圖19所示，在空穴注入/輸送層形成工序(S23)中，從功能液滴噴出頭31向像素區(qū)即各開口部619內(nèi)噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組成物。然后，如圖20所示，進行干燥處理和熱處理，使第一組成物中包含的極性溶劑蒸發(fā)，在像素電極613(電極面613a)上形成空穴注入/輸送層617a。
下面，說明發(fā)光層形成工序(S24)。在該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層617a的再次溶解，作為發(fā)光層的形成時使用的第二組成物的溶劑，使用對于空穴注入/輸送層617a不溶解的非極性溶劑。
可是，因為空穴注入/輸送層617a對于非極性溶劑的親和性低，所以即使把包含非極性溶劑的第二組成物向空穴注入/輸送層617a上噴出，也有可能無法使空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b緊貼，或無法均勻涂敷發(fā)光層617b。
因此，為了提高空穴注入/輸送層617a對于非極性溶劑以及發(fā)光層形成材料的表面親和性，希望在形成發(fā)光層之前進行表面處理(表面改質(zhì)處理)。通過在空穴注入/輸送層617a上涂敷與發(fā)光層的形成時使用的第二組成物的非極性溶劑相同的溶劑或與它類似的溶劑即表面改質(zhì)材料，使它干燥，進行該表面處理。
通過實施這樣的處理，空穴注入/輸送層617a的表面變得容易與非極性溶劑親和，在此后的工序中，在空穴注入/輸送層617a上均勻涂敷包含發(fā)光層形成材料的第二組成物。
然后，如圖21所示，把包含各色中的任意一種(在圖21的例子中，藍色(B))所對應(yīng)的發(fā)光層形成材料的第二組成物作為功能液滴向像素區(qū)(開口部619)注入規(guī)定的量。注入像素區(qū)中的第二組成物在空穴注入/輸送層617a上擴散，充滿開口部619內(nèi)。此外，萬一第二組成物從像素區(qū)偏移，落在隔柵部618的上表面618t上時，該上表面618t如上所述進行了斥液處理，所以第二組成物容易地落入開口部619內(nèi)。
然后，通過進行干燥工序，對噴出后的第二組成物進行干燥處理，使第二組成物中包含的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖22所示，在空穴注入/輸送層617a上形成發(fā)光層617b。這時，形成與藍色(B)對應(yīng)的發(fā)光層617b。
同樣，如圖23所示，使用功能液滴噴出頭31，依次進行與所述藍色(B)所對應(yīng)的發(fā)光層617b時同樣的工序，形成其他顏色(紅色(R)、綠色(G))所對應(yīng)的發(fā)光層617b。此外，發(fā)光層617b的形成順序并不局限于例示的順序，可以是任意的順序。例如，能按照發(fā)光層形成材料決定順序。此外，作為R、G、B等三色的排列圖案，有帶狀排列、馬賽克排列、三角排列。
如上所述，在像素電極613上形成功能層617，即，空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b。然后，轉(zhuǎn)移到對置電極形成工序(S25)。
在對置電極形成工序(S25)中，如圖24所示，在發(fā)光層617b和有機物隔柵層618b的全面上通過例如蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成陰極604(對置電極)。該陰極604在本實施例中，例如由鈣層和鋁層層疊構(gòu)成。
在該陰極604的上部適當設(shè)置作為電極的Al膜、Ag膜或防止其氧化的SiO2、SiN等保護膜。
這樣形成陰極604后，通過進行由密封部件密封該陰極604的上部的密封處理和布線處理等其他處理，獲得顯示裝置600。
下面，圖25是表示等離子體顯示裝置(PDP裝置，以下稱作顯示裝置700)的要部剖視圖。此外，在同一圖，以切去其一部分的狀態(tài)表示顯示裝置700。
該顯示裝置700包含彼此相對配置的第一基板701、第二基板702、形成在它們之間的放電顯示部703。放電顯示部703由多個放電室705構(gòu)成。這些放電室705中，紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍色放電室705B等3個放電室705成為組，構(gòu)成一個像素。
在第一基板701的上面以規(guī)定的間隔把形成地址電極706形成條紋狀，覆蓋該地址電極706和第一基板701的上表面形成介質(zhì)層707。在該介質(zhì)層707上，設(shè)置隔離壁708，使其位于各地址電極706之間，并且沿著各地址電極706。該隔離壁708如圖所示，包含在地址電極706的寬度方向兩側(cè)延伸的、在與地址電極706正交的方向延伸的未圖示的。
而且，由該隔離壁708劃分的區(qū)域成為放電室705。
在放電室705內(nèi)配置有熒光體709。熒光體709發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任意一種光，在紅色放電室705R的底部配置有紅色熒光體709R，在綠色放電室705G的底部配置有綠色熒光體709，在藍色放電室705B的底部配置有藍色熒光體709B。
在第二基板的圖中下方的面上以規(guī)定的間隔，在與所述地址電極706正交的方向形成多個顯示電極711。然后，覆蓋這些形成介質(zhì)層712、由MgO構(gòu)成的保護膜713。
第一基板701和第二基板702在地址電極706和顯示電極711彼此正交的狀態(tài)下相對粘貼在一起。此外，所述地址電極706和顯示電極711連接在未圖示的交流電源上。
而且，通過對各電極706、711通電，在放電顯示部703中，熒光體709激勵放電，能進行彩色顯示。
在本實施例中，能使用圖1所示的液滴噴出裝置1形成所述地址電極706、顯示電極711和熒光體709。下面，表示第一基板701的地址電極706的形成工序。
這時，在把第一基板安放在液滴噴出裝置1的吸附臺53上的狀態(tài)下，進行以下的工序。
首先，通過功能液滴噴出頭31，使包含導(dǎo)電膜布線形成材料的液體材料(功能液)作為功能液滴落在地址電極形成區(qū)域中。該液體材料作為導(dǎo)電膜布線形成材料，是把金屬等導(dǎo)電性微粒分散到分散劑中。作為該導(dǎo)電性微粒，使用含有金、銀、銅、鈀或鎳的金屬微粒、導(dǎo)電性聚合物。
當對于成為補充對象的全部地址電極形成區(qū)域完成液體材料的補給后，對噴出后的液體材料進行干燥處理，使液體材料中包含的分散劑蒸發(fā)，形成地址電極706。
可是，在上述的各個工序中，例示了地址電極706的形成，但是對于所述顯示電極711和熒光體709，也能通過所所述各個工序形成。
當形成顯示電極711時，與地址電極706同樣，使含有導(dǎo)電膜布線形成材料的液體材料(功能液)作為功能液滴落在顯示電極型城區(qū)中。
此外，當形成熒光體709的情況下，從功能液滴噴出頭31噴出包含與各色(R、G、B)對應(yīng)的熒光材料的液體材料(功能液)的液滴，使其落在對應(yīng)顏色的放電室705內(nèi)。
圖26是電子發(fā)射裝置(FED裝置，以下只稱作顯示裝置800)的要部剖視圖。此外，在同一圖中，把其一部分作為剖面表示顯示裝置800。
該顯示裝置800包含彼此相對配置的第一基板801、第二基板802和形成在它們之間的場致發(fā)射顯示部803。場致發(fā)射顯示部803由配置為矩陣狀的多個電子發(fā)射部805構(gòu)成。
在第一基板801的上面，彼此正交形成構(gòu)成陰極806的第一元件電極806a和第二元件電極806b。此外，在由第一元件電極806a和第二元件電極806b分隔的部分形成有形成間隔808的導(dǎo)電性膜807。即，通過第一元件電極806a、第二元件電極806b和導(dǎo)電性膜807構(gòu)成多個電子發(fā)射部805。導(dǎo)電性膜807例如由氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，此外，在形成導(dǎo)電性膜807后，通過物理成形等形成間隔808。
在第二基板802的下表面上形成與陰極806對向的陽極809。在該陽極809的下面形成格子狀的隔柵部811，在由該隔柵部811包圍的向下的各開口部812中，與電子發(fā)射部805對應(yīng)配置熒光體813。熒光體813發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任意一種光，在各開口部812中，所述紅色熒光體813R、綠色熒光體813G、藍色熒光體813B以所述規(guī)定的圖案配置。
然后，把這樣構(gòu)成的第一基板801、第二基板802保持微小的間隙粘貼在一起。在該顯示裝置800中通過導(dǎo)電性膜(間隔808)807，從陰極即第一元件電極806a或第二元件電極806b飛出的電子撞擊陽極即陽極809上形成的熒光體813，激勵發(fā)光，能顯示彩色。
這時，與其它實施例同樣，能使用液滴噴出裝置1形成第一元件電極806a、第二元件電極806b和導(dǎo)電性膜807，并且能使用液滴噴出裝置1形成各色的熒光體813R、813G、813B。
第一元件電極806a、第二元件電極806b和導(dǎo)電性膜807具有圖27A所示的平面形狀，在對它們成膜時，如圖27B所示，預(yù)先留下設(shè)置第一元件電極806a、第二元件電極806b和導(dǎo)電性膜807的部分，形成隔柵部BB(光刻法)。接著，在由隔柵部BB構(gòu)成的溝部分形成第一元件電極806a、第二元件電極806b(基于液滴噴出裝置1的噴墨法)，使其溶劑干燥，進行成膜后，形成導(dǎo)電性膜807(基于液滴噴出裝置1的噴墨法)。然后，形成導(dǎo)電性膜807后，除去隔柵部BB(灰化剝離處理)，轉(zhuǎn)移到所述成形處理。此外，與所述有機EL裝置同樣，希望進行對第一基板801和第二基板802的親液化處理或?qū)τ诟魱挪?11、BB的斥液化處理。
此外，作為其他電光裝置，可以是形成有金屬布線、透鏡、抗蝕劑和光擴散體等的裝置。通過在各種電光裝置(器件)的制造中使用所述液滴噴出裝置1，能高效制造各種電光裝置。
如上所述，本發(fā)明的功能液滴噴出頭的吸引方法和吸引裝置使用噴射器作為功能液滴噴出頭的吸引部件，所以不會受功能液之前的氣泡的影響，能維持適當?shù)奈?，高效進行功能液滴噴出頭的吸引。因此，從功能液滴噴出頭高效排出氣跑，能削減功能液滴噴出頭的吸引中消耗的功能液，并且能把吸引所需時間抑制在最小限度。此外，噴射器比泵小型，所以能使裝置小型化。
此外，本發(fā)明的液滴噴出裝置具有所述吸引裝置，所以能實現(xiàn)裝置的省空間。此外，在向功能液滴噴出頭填充功能液時，或像清理功能液滴噴出頭時那樣，進行功能液滴噴出頭的吸引時，能高效進行吸引。
在本發(fā)明的電光裝置的制造方法、電光裝置、電子儀器中，使用所述液滴噴出裝置制造，所以能削減功能液滴噴出頭的吸引中所需功能液量和時間，能高效地進行制造。
權(quán)利要求
1.一種功能液滴噴出頭的吸引裝置，使帽緊貼在噴出功能液滴的功能液滴噴出頭上，通過所述帽吸引所述功能液滴噴出頭，其特征在于，包括與所述帽連通，吸引所述功能液滴噴出頭的全部噴嘴的噴射器；向所述噴射器供給工作流體的工作流體供給部件；檢測連接所述帽與所述噴射器的吸引口的吸引管路內(nèi)壓力的壓力檢測部件；根據(jù)所述壓力檢測部件的檢測結(jié)果，控制所述流量調(diào)節(jié)閥的第一控制部件，當所述吸引管路內(nèi)的吸引壓力小于規(guī)定壓力時，控制所述流量調(diào)整閥而增加所述工作流體的供給量，當所述吸引管路內(nèi)的吸引壓力大于規(guī)定壓力時，控制所述流量調(diào)整閥而減少所述工作流體的供給量，使多個功能液滴噴出頭的吸引被控制為在一定吸引壓力下進行。
全文摘要
本發(fā)明提供一種功能液滴噴出頭的吸引裝置，使帽緊貼在噴出功能液滴的功能液滴噴出頭上，通過所述帽吸引所述功能液滴噴出頭，其特征在于，包括與所述帽連通，吸引所述功能液滴噴出頭的全部噴嘴的噴射器；向所述噴射器供給工作流體的工作流體供給部件；檢測連接所述帽與所述噴射器的吸引口的吸引管路內(nèi)壓力的壓力檢測部件；根據(jù)所述壓力檢測部件的檢測結(jié)果，控制所述流量調(diào)節(jié)閥的第一控制部件，當所述吸引管路內(nèi)的吸引壓力小于規(guī)定壓力時，控制所述流量調(diào)整閥而增加所述工作流體的供給量，當所述吸引管路內(nèi)的吸引壓力大于規(guī)定壓力時，控制所述流量調(diào)整閥而減少所述工作流體的供給量，使多個功能液滴噴出頭的吸引被控制為在一定吸引壓力下進行。
文檔編號B41J2/175GK1865008SQ200610084499
公開日2006年11月22日 申請日期2003年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月12日
發(fā)明者中村真一, 山田善昭 申請人:精工愛普生株式會社