專(zhuān)利名稱(chēng)：曝光裝置和用于制造曝光裝置的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及，在其中預(yù)存校正值的，用于校正在光調(diào)制設(shè)備中所包含的多個(gè)像素之間光量變化的曝光裝置，和用于制造這種曝光裝置的方法。
背景技術(shù)：
已知通過(guò)使用裝配有多個(gè)發(fā)光部件的曝光頭，可提供通過(guò)曝光彩色感光材料等而形成彩色圖像的光打印機(jī)。由于這樣的曝光頭具有多個(gè)發(fā)光部件，從而存在多個(gè)發(fā)光部件之間出現(xiàn)光量變化以致不能獲得高質(zhì)量圖像的問(wèn)題。為克服該問(wèn)題，實(shí)際采用了通過(guò)檢測(cè)發(fā)光部件之間的變化來(lái)應(yīng)用陰影校正(光量校正)。
在陰影校正的第一種現(xiàn)有技術(shù)方法中，同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件，利用光探測(cè)器來(lái)測(cè)量自每個(gè)發(fā)光部件所發(fā)出的光量。
然而，該方法具有不能實(shí)現(xiàn)正確陰影校正的缺點(diǎn)，這是由于在測(cè)量期間發(fā)光部件和光探測(cè)器的環(huán)境條件發(fā)生變化。另一個(gè)缺點(diǎn)在于，由于一次對(duì)一個(gè)發(fā)光部件進(jìn)行測(cè)量，完成測(cè)量需要占用時(shí)間。此外，當(dāng)由多個(gè)發(fā)光部件所構(gòu)成的曝光頭實(shí)際用于曝光操作時(shí)，由于自每個(gè)發(fā)光部件發(fā)出的光的擴(kuò)展，以及由于諸如在發(fā)光部件與感光材料之間所提供的透鏡系統(tǒng)(SELFOC透鏡陣列等)出現(xiàn)傾斜之類(lèi)的差錯(cuò)，使來(lái)自?xún)蓚€(gè)或多個(gè)發(fā)光部件(例如，多個(gè)相鄰的發(fā)光部件)的光線(xiàn)以重疊方式入射在感光材料上的任何特定點(diǎn)上。因此，當(dāng)使用已對(duì)發(fā)光部件之間光量變化進(jìn)行校正的曝光頭在感光材料上執(zhí)行曝光，且校正是通過(guò)測(cè)量自一個(gè)特定發(fā)光部件發(fā)出的光時(shí)，由于自相鄰發(fā)光部件的光散射，使感光材料曝光量出現(xiàn)不均勻，致使彩色圖像色密度出現(xiàn)不均勻。也就是，上述方法存在不能對(duì)來(lái)自相鄰發(fā)光部件的影響進(jìn)行校正的其他缺點(diǎn)。
在陰影校正的第二種現(xiàn)有技術(shù)方法中，通過(guò)同時(shí)點(diǎn)亮所有多個(gè)發(fā)光部件在感光材料上進(jìn)行嘗試性曝光，之后，將感光材料顯影并進(jìn)行色密度測(cè)量，基于色密度測(cè)量值，對(duì)每個(gè)發(fā)光部件的光量變化進(jìn)行校正(日本未審專(zhuān)利申請(qǐng)No.H09-127485，pp.7-8和圖5(A))。
然而，該方法具有為顯影感光材料而花費(fèi)時(shí)間和精力的缺點(diǎn)，而且不能很快地并以簡(jiǎn)單方式來(lái)校正每個(gè)發(fā)光部件的光量變化。
在陰影校正的第三種現(xiàn)有技術(shù)方法中，當(dāng)對(duì)于具有多個(gè)發(fā)光部件的曝光頭，校正其中每個(gè)發(fā)光部件的光量變化時(shí)，考慮了來(lái)自相鄰發(fā)光部件的光的影響(日本專(zhuān)利No.3269425)。在該方法中，假設(shè)一個(gè)發(fā)光部件對(duì)應(yīng)光接收表面上的一個(gè)特定區(qū)域，基于那個(gè)區(qū)域所接收的光量，來(lái)確定對(duì)一個(gè)發(fā)光部件光量變化進(jìn)行校正的校正值。此處假定，在一個(gè)區(qū)域上所接收的光量受來(lái)自三個(gè)發(fā)光部件的光的影響，即，從與該區(qū)域相對(duì)應(yīng)的一個(gè)發(fā)光部件的光量(Li，i)，和從其左和右相鄰發(fā)光部件的光量(Li-1，i)和(Li+1，i)。
然而，在該方法中，由于在一個(gè)區(qū)域上所接收的光量包括正如所描述的來(lái)自左和右相鄰發(fā)光部件的光量(Li-1，i)和(Li+1，i)，這就存在這樣的問(wèn)題若對(duì)與那一個(gè)區(qū)域相對(duì)應(yīng)的那一個(gè)發(fā)光部件進(jìn)行控制，不能夠?qū)ν渡涞礁泄獠牧仙瞎饬康姆蔷鶆蛐赃M(jìn)行校正，導(dǎo)致圖像色密度不均勻。另外，因不能通過(guò)同時(shí)點(diǎn)亮所有多個(gè)發(fā)光部件來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量，還存在著完成測(cè)量需占用時(shí)間的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
就上述第一種現(xiàn)有技術(shù)方法而言，它基本不可能進(jìn)行正確的校正。至于上述的第二種現(xiàn)有技術(shù)方法，盡管可同時(shí)對(duì)相鄰光的影響進(jìn)行校正，但由于采用曝光，顯影，和測(cè)量的步驟，存在校正占用過(guò)多時(shí)間和精力的問(wèn)題。此外，以上所述的第三種現(xiàn)有技術(shù)方法目的在于校正相鄰光的影響，但方法本身存在錯(cuò)誤，且不能進(jìn)行正確校正。
因此，本發(fā)明的目的在于，提供能夠采用從包含有相鄰發(fā)光部件光線(xiàn)的復(fù)合光中檢測(cè)對(duì)應(yīng)于一個(gè)特定發(fā)光部件的光量的方法，確定各個(gè)發(fā)光部件校正值的曝光裝置，以及用于制造這種曝光裝置的制造方法。
本發(fā)明的另一個(gè)目的在于，提供能夠在相同條件下且不導(dǎo)致發(fā)光部件和光探測(cè)器的環(huán)境條件發(fā)生改變，通過(guò)測(cè)量在曝光頭中多個(gè)發(fā)光部件各自的光量確定各個(gè)發(fā)光部件校正值的曝光裝置，以及用于制造這種曝光裝置的制造方法。
本發(fā)明的又一目標(biāo)在于，提供能夠按照不因相鄰發(fā)光部件的光導(dǎo)致曝光不均勻性的方式，對(duì)曝光頭中多個(gè)發(fā)光部件各自的光量進(jìn)行校正的曝光裝置，以及用于制造這種曝光裝置的制造方法。
為實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，根據(jù)本發(fā)明，提供了包括如下操作步驟的制造方法同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件，通過(guò)使用線(xiàn)狀(line-like)光接收設(shè)備進(jìn)行測(cè)量來(lái)檢測(cè)在所有多個(gè)發(fā)光部件上的輸出光量分布，通過(guò)使用輸出光量分布檢測(cè)與每個(gè)發(fā)光部件相對(duì)應(yīng)的峰位置，基于峰位置檢測(cè)每個(gè)發(fā)光部件的光量，和基于每個(gè)發(fā)光部件的光量，確定用于校正發(fā)光部件光量不均勻性的校正值。由于通過(guò)采用從包含有相鄰發(fā)光部件光線(xiàn)的復(fù)合光中檢測(cè)對(duì)應(yīng)于一個(gè)特定發(fā)光部件的光量的方法，能夠確定各個(gè)發(fā)光部件校正值，從而能夠?qū)崿F(xiàn)正確的陰影校正。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，確定每個(gè)發(fā)光部件光量的步驟包括步驟獲得在輸出光量分布中對(duì)應(yīng)于每個(gè)峰位置的值，和確定該值作為發(fā)光部件的光量。
此外，優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，確定每個(gè)發(fā)光部件光量的步驟包括步驟提供參考光量分布，通過(guò)使用參考光量分布和在峰位置附近的輸出光量分布，獲得對(duì)于與峰位置相對(duì)應(yīng)的發(fā)光部件的獨(dú)特(sole)光量分布，并基于獨(dú)特光量分布確定發(fā)光部件的光量。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，每個(gè)發(fā)光部件在沿發(fā)光部件的排列方向上具有以規(guī)定角度傾斜的開(kāi)口。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件的步驟包括步驟，同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件中的所有奇數(shù)發(fā)光部件，以及同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件中的所有偶數(shù)發(fā)光部件。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，檢測(cè)輸出光量分布的步驟包括步驟檢測(cè)當(dāng)同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件中的所有奇數(shù)發(fā)光部件時(shí)出現(xiàn)的第一輸出光量分布，以及檢測(cè)當(dāng)同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件中的所有偶數(shù)發(fā)光部件時(shí)出現(xiàn)的第二輸出光量分布。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，檢測(cè)峰位置的步驟包括步驟通過(guò)使用第一輸出光量分布檢測(cè)第一峰位置，通過(guò)使用第二輸出光量分布檢測(cè)第二峰位置，和將第一峰位置和第二峰位置組合。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，控制裝置具有存儲(chǔ)器，且將其配置成基于存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)來(lái)控制曝光頭，其中，方法還包括在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)由此所確定的校正值的步驟。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，光接收設(shè)備包括光接收部件，每個(gè)光接收部件的寬度比每個(gè)發(fā)光部件寬度更窄。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，在光接收設(shè)備中所包含光接收部件的數(shù)量等于多個(gè)發(fā)光部件數(shù)量的整數(shù)倍。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，按照三個(gè)或更多光接收部件對(duì)應(yīng)一個(gè)發(fā)光部件的方式排列光接收部件。
優(yōu)選是，在根據(jù)本發(fā)明的制造方法中，由多個(gè)光接收部件形成的光接收表面比由多個(gè)發(fā)光部件形成的發(fā)光表面更長(zhǎng)。
此外，為實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種曝光裝置，該曝光裝置包括，具有多個(gè)發(fā)光部件的曝光頭，且各個(gè)發(fā)光部件的光量隨所提供的驅(qū)動(dòng)信號(hào)而變化；和通過(guò)根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的校正值校正圖像數(shù)據(jù)而產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)的控制裝置，其中，校正值最好基于以下步驟來(lái)確定同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件，通過(guò)使用線(xiàn)狀光接收設(shè)備進(jìn)行測(cè)量來(lái)檢測(cè)在所有多個(gè)發(fā)光部件上的輸出光量分布，通過(guò)使用輸出光量分布檢測(cè)與每個(gè)發(fā)光部件相對(duì)應(yīng)的峰位置，基于峰位置檢測(cè)每個(gè)發(fā)光部件的光量，基于每個(gè)發(fā)光部件的光量，確定用于校正發(fā)光部件光量不均勻性的校正值。
為實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，根據(jù)本發(fā)明，還提供了一種制造方法，該制造方法包括步驟同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件，通過(guò)使用光接收設(shè)備測(cè)量來(lái)自多個(gè)發(fā)光部件的光量，從光接收設(shè)備所獲得的測(cè)量值檢測(cè)峰值和峰位置，和基于峰值和峰位置確定用于校正每個(gè)發(fā)光部件光量不均勻性的校正值。


圖1的原理圖顯示根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)的一個(gè)示例。
圖2表示根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)的一個(gè)示例的外部視圖。
圖3用于說(shuō)明用在根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)中的CCD線(xiàn)狀傳感器。
圖4的分解透視圖顯示曝光頭的一個(gè)示例。
圖5表示如圖4所示曝光頭的剖面圖。
圖6的剖面圖顯示根據(jù)本發(fā)明的曝光裝置的一個(gè)示例。
圖7表示如圖6所示曝光裝置的透視圖。
圖8表示用于如圖4所示曝光頭中的液晶快門(mén)的剖面圖。
圖9A顯示在液晶快門(mén)陣列中開(kāi)口形狀的一個(gè)示例，以及圖9B顯示在液晶快門(mén)陣列中開(kāi)口形狀的另一示例。
圖10用于說(shuō)明在系統(tǒng)中的光路。
圖11的原理圖顯示曝光控制電路的一個(gè)示例。
圖12表示用于校正所加電流值的流程圖。
圖13顯示由CCD線(xiàn)狀傳感器所檢測(cè)光量數(shù)據(jù)分布的一個(gè)示例。
圖14顯示相鄰值之間變化量分布的一個(gè)示例。
圖15顯示對(duì)于每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的光量分布的一個(gè)示例。
圖16表示用于獲得陰影校正的校正值的流程圖。
圖17顯示校正參考值的分布的一個(gè)示例。
圖18顯示在液晶快門(mén)陣列中驅(qū)動(dòng)像素的驅(qū)動(dòng)特性的一個(gè)示例。
圖19顯示感光材料敏感特性的一個(gè)示例。
圖20顯示，對(duì)于液晶快門(mén)陣列中的驅(qū)動(dòng)像素，在歸一化曝光光量和歸一化驅(qū)動(dòng)時(shí)間之間的關(guān)系。
圖21顯示關(guān)系方程的一個(gè)示例。
圖22示例性顯示，根據(jù)圖16的流程圖所獲得的校正值。
圖23用于說(shuō)明通過(guò)參考Fmin獲得校正值的優(yōu)點(diǎn)。
圖24顯示，使用根據(jù)圖16的流程圖所獲得的校正值，所實(shí)現(xiàn)陰影校正結(jié)果的一個(gè)示例。
圖25顯示用于獲得照度的第二過(guò)程流程圖。
圖26顯示在加權(quán)函數(shù)，獨(dú)特照度和照度分布之間的關(guān)系。
圖27用于說(shuō)明在驅(qū)動(dòng)像素，光接收元件，和每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的照度之間的關(guān)系。
圖28顯示在理想光量分布和連續(xù)性光量分布之間的關(guān)系。
圖29顯示用于獲得峰值和峰位置的第二過(guò)程流程圖。
圖30A顯示對(duì)于具有矩形形狀開(kāi)口的液晶快門(mén)陣列的獨(dú)特照度分布和連續(xù)性光量分布，圖30B顯示對(duì)于具有平行四邊形形狀開(kāi)口的液晶快門(mén)陣列的獨(dú)特照度分布和連續(xù)性光量分布。
圖31用于說(shuō)明，當(dāng)使用具有平行四邊形形狀開(kāi)口的液晶快門(mén)陣列時(shí)所檢測(cè)的光量數(shù)據(jù)特性。
圖32A顯示當(dāng)僅驅(qū)動(dòng)奇數(shù)像素時(shí)所檢測(cè)光量數(shù)據(jù)的一個(gè)示例，圖32B顯示當(dāng)僅驅(qū)動(dòng)偶數(shù)像素時(shí)所檢測(cè)光量數(shù)據(jù)的一個(gè)示例。
具體實(shí)施例方式
以下將結(jié)合附圖，描述根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例，圖1顯示出制造系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)。圖2用于說(shuō)明系統(tǒng)的外部結(jié)構(gòu)。
如圖1和圖2所示，制造系統(tǒng)包括所要測(cè)量的曝光頭100，測(cè)量裝置200，和用于執(zhí)行控制的個(gè)人計(jì)算機(jī)(以后稱(chēng)之為PC)300。
曝光頭100通過(guò)附著裝置(未示出)被安置在測(cè)量裝置200上，信號(hào)線(xiàn)126與測(cè)量裝置200的接口(以后稱(chēng)之為IF)240相連。測(cè)量裝置200和PC 300通過(guò)總線(xiàn)260互連，從而能在它們之間傳遞數(shù)據(jù)。此外，曝光頭100與曝光控制電路150相連，它們一起構(gòu)成曝光裝置500。
如圖1所示，測(cè)量裝置200包括驅(qū)動(dòng)條件信號(hào)發(fā)生裝置210，電流供給電路220，用于和曝光頭100連接的IF 240，用于和PC 300連接的IF 250，和光量測(cè)量裝置270。
驅(qū)動(dòng)條件信號(hào)發(fā)生裝置210包括，CPU 211，用于控制全部操作；液晶快門(mén)驅(qū)動(dòng)電路212；LED驅(qū)動(dòng)條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器213，用于對(duì)包含在曝光頭100中的LED進(jìn)行控制條件數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)；液晶快門(mén)驅(qū)動(dòng)條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器214，用于對(duì)包含在曝光頭100中的液晶快門(mén)陣列118(后面將會(huì)描述)的測(cè)量進(jìn)行驅(qū)動(dòng)條件數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)(諸如對(duì)每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的驅(qū)動(dòng)灰度數(shù)據(jù))；光量存儲(chǔ)存儲(chǔ)器215，用于對(duì)液晶快門(mén)陣列118的每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的照度F(N)(后面將會(huì)描述)進(jìn)行存儲(chǔ)；和校正值存儲(chǔ)存儲(chǔ)器216，用于校正在液晶快門(mén)陣列118中每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的光量變化。
CPU 211通過(guò)IF 250和總線(xiàn)260與PC 300相連，并從PC 300接收關(guān)于測(cè)量開(kāi)始定時(shí)，測(cè)量結(jié)束定時(shí)，對(duì)曝光頭100的驅(qū)動(dòng)條件等的控制數(shù)據(jù)。CPU 211通過(guò)根據(jù)所接收的控制數(shù)據(jù)對(duì)曝光頭100、測(cè)量裝置200等進(jìn)行控制，來(lái)控制光量測(cè)量(曝光裝置的形成/設(shè)置)。
液晶快門(mén)驅(qū)動(dòng)電路212通過(guò)IF 240和線(xiàn)126對(duì)包含在曝光頭100中液晶快門(mén)陣列118的多個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制。
電流供給電路220通過(guò)IF 240和線(xiàn)126向包含在曝光頭100中的LED 120(藍(lán)LED，綠LED，和紅LED)(后面會(huì)描述)提供電流；通過(guò)改變所提供的電流值可控制每個(gè)LED的發(fā)光強(qiáng)度。
光量測(cè)量裝置270包括，CCD線(xiàn)狀傳感器230；CCD控制電路276，用于控制包含在CCD線(xiàn)狀傳感器230中的多個(gè)光接收元件；接收光量檢測(cè)電路274，用于對(duì)CCD線(xiàn)狀傳感器230中所包含的多個(gè)光接收元件的各個(gè)元件所接收的光量進(jìn)行檢測(cè)；和積分電路272，用于通過(guò)將接收光量檢測(cè)電路274的檢測(cè)輸出進(jìn)行積分，來(lái)獲得每單位時(shí)間的接收光量數(shù)據(jù)。
電流供給電路220和液晶快門(mén)驅(qū)動(dòng)電路212各自通過(guò)IF 240傳送LED驅(qū)動(dòng)信號(hào)和液晶快門(mén)驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以分別驅(qū)動(dòng)LED 120和液晶快門(mén)陣列118。
測(cè)量裝置200還包括，ROM，用于存儲(chǔ)CPU 211的控制程序；RAM，用于臨時(shí)存儲(chǔ)多種數(shù)據(jù)；和多種信號(hào)線(xiàn)和總線(xiàn)，用于在構(gòu)成元件之間傳遞數(shù)據(jù)。
測(cè)量裝置200和PC 300根據(jù)后面所述的測(cè)量過(guò)程獲得對(duì)于LED120的LED驅(qū)動(dòng)條件數(shù)據(jù)和對(duì)于液晶快門(mén)陣列118的陰影校正值數(shù)據(jù)，并分別將數(shù)據(jù)臨時(shí)存儲(chǔ)在LED驅(qū)動(dòng)條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器213和校正值存儲(chǔ)存儲(chǔ)器216中。PC 300將LED驅(qū)動(dòng)條件數(shù)據(jù)和對(duì)于液晶快門(mén)陣列118的陰影校正值數(shù)據(jù)發(fā)送(如302所示)到曝光裝置500中的曝光控制電路150，且分別將這些數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在曝光控制電路150中所包含的LED驅(qū)動(dòng)條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器160(后面會(huì)描述)和校正值存儲(chǔ)存儲(chǔ)器153(后面會(huì)描述)中；從而使曝光裝置500能夠執(zhí)行正確的LED驅(qū)動(dòng)和陰影校正。
此處，如以上描述，當(dāng)實(shí)現(xiàn)測(cè)量時(shí)，可將由測(cè)量裝置200所測(cè)量的LED驅(qū)動(dòng)條件數(shù)據(jù)和陰影校正值數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在曝光控制電路150中。在此情形，可省略測(cè)量裝置200中的LED驅(qū)動(dòng)條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器213和校正值存儲(chǔ)存儲(chǔ)器216。
或者，可采用以下過(guò)程(1)同樣使用測(cè)量裝置200依次測(cè)量多個(gè)曝光頭，(2)將對(duì)于多個(gè)曝光頭100的LED驅(qū)動(dòng)條件數(shù)據(jù)(電流值數(shù)據(jù))和陰影校正數(shù)據(jù)臨時(shí)存儲(chǔ)在PC 300中，(3)將數(shù)據(jù)傳送或轉(zhuǎn)移(通過(guò)諸如FD或CD的介質(zhì))到另一PC，(4)將曝光頭與各自的曝光控制電路相連，和(5)使用其他PC，將數(shù)據(jù)依次記錄在各自的曝光控制電路中。在此情形，最好是通過(guò)使用印在序列號(hào)片132(后面會(huì)描述)上的序列號(hào)來(lái)標(biāo)識(shí)每個(gè)曝光頭。
圖3顯示出CCD線(xiàn)狀傳感器230的示意圖。CCD線(xiàn)狀傳感器230具有2048個(gè)細(xì)長(zhǎng)(vertically long)的光接收元件232，每個(gè)光接收元件232的長(zhǎng)度“a”為2500μm，寬度“c”為25μm，排列間距為“d”(25μm)。因此，光接收元件實(shí)際上以非常接近的間距排列在一起，它們之間幾乎沒(méi)有什么空隙，只不過(guò)在圖3中，所示在每個(gè)光接收元件之間的間隙是為了便于說(shuō)明。
在圖3中還顯示出后面描述的液晶快門(mén)陣列118的驅(qū)動(dòng)像素234；每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素234的長(zhǎng)度“b”為150μm(或200μm)，寬度“e”為76μm，排列間距為“f”(100μm)。從而，將驅(qū)動(dòng)像素234排列成四個(gè)光接收元件232對(duì)應(yīng)一個(gè)驅(qū)動(dòng)像素。在此實(shí)施例中，液晶快門(mén)陣列118總共具有480個(gè)驅(qū)動(dòng)像素，且將驅(qū)動(dòng)像素234沿如圖3所示直線(xiàn)排列。不過(guò)，例如為匹配用于驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)像素的電極的布線(xiàn)布局，可將驅(qū)動(dòng)像素以交錯(cuò)形式排列。
此外，如圖3所示，選擇由光接收元件所構(gòu)成的光接收表面的總長(zhǎng)度比驅(qū)動(dòng)像素所構(gòu)成的發(fā)光表面的總長(zhǎng)度更長(zhǎng)。
在此實(shí)施例中，將驅(qū)動(dòng)像素234排列成四個(gè)光接收元件232對(duì)應(yīng)一個(gè)驅(qū)動(dòng)像素，不過(guò)，排列方式并不限于該特定示例。例如，最好是，光接收元件的數(shù)量等于驅(qū)動(dòng)像素?cái)?shù)量的整數(shù)倍，可采用三，五，或七個(gè)光接收元件對(duì)應(yīng)一個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的排列。特別是，最好排列驅(qū)動(dòng)像素，以使三個(gè)或更多光接收元件對(duì)應(yīng)一個(gè)驅(qū)動(dòng)像素。
下面將參照?qǐng)D4和圖5，描述用作為根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)中所測(cè)對(duì)象的曝光頭100的結(jié)構(gòu)。圖4表示曝光頭100的分解透視圖，圖5表示曝光頭100的剖面圖。如圖所示，曝光頭100包括上殼體104和下殼體130，在上、下殼體104、130之間設(shè)置有上反射板106，光導(dǎo)向設(shè)備108，反射鏡112，下反射板114，液晶快門(mén)陣列118，和LED 120。上下殼體104、130通過(guò)夾子140而固定在一起，從而不會(huì)相互分開(kāi)。
上殼體104的上表面附著有遮光片102，以遮擋外部光。此外，圖中下殼體的下表面附著有用于標(biāo)識(shí)曝光頭100的序列號(hào)片132和驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)136，將SELFOC lens array(SELFOC透鏡陣列，注冊(cè)商標(biāo))138固定在下殼體130中的溝槽。
上反射板106被構(gòu)造成環(huán)繞光導(dǎo)向設(shè)備108并將來(lái)自L(fǎng)ED 120的光反射，以使光能夠有選擇地從光導(dǎo)向設(shè)備108的凸出部分110射出。反射鏡112將來(lái)自L(fǎng)ED 120的光反射入光導(dǎo)向設(shè)備108，而在下反射板114中形成可露過(guò)光導(dǎo)向設(shè)備108凸出部分110的狹縫116。液晶快門(mén)陣列118安置并固定到下殼體130上，同時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)螺釘124和126來(lái)調(diào)節(jié)其光路位置。LED 120，即曝光頭100的光源，由紅、綠、和藍(lán)LED組成。用于控制在液晶快門(mén)陣列118中每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素驅(qū)動(dòng)時(shí)間以及為L(zhǎng)ED 120提供電流的信號(hào)線(xiàn)122與液晶快門(mén)陣列118相連，信號(hào)線(xiàn)122的另一端自上下殼體104和130之間伸到曝光頭100的外面。圖中的128表示用于移動(dòng)曝光頭100的軸承。驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)136是用于當(dāng)使用滾珠軸承(未示出)和軸承128驅(qū)動(dòng)曝光頭100時(shí)與傳感器等(未示出)一起確定曝光頭的驅(qū)動(dòng)定時(shí)等的元件。SELFOC lensarray 138是用于在焦距處形成具有一致放大倍率正像的光學(xué)設(shè)備，并包括以重疊方式沿縱向排列的許多柱面透鏡。
此外，如圖5所示，在圖中光導(dǎo)向設(shè)備108的上表面上形成散射膜107，散射膜107沿光導(dǎo)向設(shè)備108的縱向伸展，以將來(lái)自L(fǎng)ED 120的彩色光沿圖中正好在光導(dǎo)向設(shè)備108下方液晶快門(mén)陣列118的方向集中。散射膜107通過(guò)以直線(xiàn)模式應(yīng)用白色散射基片而形成。當(dāng)在測(cè)量裝置200上設(shè)置了曝光頭100時(shí)，來(lái)自散射膜107的彩色光通過(guò)液晶快門(mén)陣列108和SELFOC lens array 138，聚焦在CCD傳感器陣列230上。
圖6顯示曝光裝置500的剖面圖，圖7顯示去除上蓋體15的透視圖。在外殼1中，曝光裝置500包含有曝光頭100和曝光控制電路150中。曝光頭100和曝光控制電路150通過(guò)信號(hào)線(xiàn)122相連。曝光控制電路150固定在外殼1的內(nèi)壁。利用通過(guò)形成于下殼體130中的開(kāi)孔的兩個(gè)支桿128，支撐曝光頭100沿支桿128移動(dòng)。
在圖中，以可拆卸(沿箭頭A的方向)的方式，在外殼1的下面提供用于裝載記錄介質(zhì)(打印紙)8的暗盒4。
當(dāng)曝光頭100沿支桿128移動(dòng)時(shí)，在暗盒4所裝載的記錄介質(zhì)8上形成圖像(例如，形成潛像)。
在圖6和7中所示曝光裝置500僅作為一種示例，本發(fā)明并不限于所示結(jié)構(gòu)。例如，可將曝光裝置500構(gòu)造成移動(dòng)記錄介質(zhì)8，而曝光頭100保持不動(dòng)。暗盒4可與曝光裝置500分開(kāi)。此外，可通過(guò)包括用于將形成在記錄介質(zhì)上的潛像顯影的處理部件，來(lái)構(gòu)造曝光裝置500。此外，還可通過(guò)僅使用曝光頭100和曝光控制電路150來(lái)構(gòu)造曝光裝置500。
圖8顯示出如圖4和5所示液晶快門(mén)陣列118的剖面圖。在圖8中，在上基片401的所有下表面上形成由透明ITO薄膜等制成的透明普通電極411，對(duì)透明普通電極411覆蓋以由聚酰亞胺等制成的調(diào)整膜413。在下基片402的上表面形成精細(xì)透明像素電極416，對(duì)精細(xì)透明像素電極416覆蓋以調(diào)整膜415。使用由環(huán)氧樹(shù)脂等形成的密封元件403將兩個(gè)基片的外邊緣粘合在一起，在各個(gè)基片上所形成的調(diào)整膜413和415之間密封液晶414。選擇液晶414的厚度為5μm。透明普通電極411也覆蓋以鉻材料等形成的擋光層412，且在與透明像素電極416相對(duì)應(yīng)的一部分擋光層412中形成狹縫，從而使光僅能夠通過(guò)該部分。在各個(gè)基片的外表面附著有偏振片410和417。液晶414例如以具有240°扭轉(zhuǎn)角的STN模式操作，且可將兩個(gè)偏振片410和417設(shè)置成其偏振軸取向相互之間角度與扭轉(zhuǎn)角相匹配。
此外，各形成在透明普通電極412和一個(gè)透明像素電極416之間的驅(qū)動(dòng)像素234，被設(shè)置在一條直線(xiàn)上以形成液晶快門(mén)陣列。形成液晶快門(mén)陣列的每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素234的長(zhǎng)度(b)為150μm(或200μm)，寬度(e)為76μm，并以100μm的間距(f)進(jìn)行排列，如前面參照?qǐng)D3的描述。
圖9顯示在液晶快門(mén)陣列中的驅(qū)動(dòng)像素。圖9A顯示出參照?qǐng)D3所述的液晶快門(mén)陣列，如所示，驅(qū)動(dòng)像素234的形狀為矩形。每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素234的長(zhǎng)度“b”為150μm(或200μm)，寬度“e”為76μm，間距“f”為100μm。圖9B顯示出另一液晶快門(mén)陣列118’。如圖9B中所示示例，在沿驅(qū)動(dòng)像素(以后稱(chēng)之為“傾斜驅(qū)動(dòng)像素”)的排列方向上具有沿規(guī)定角度傾斜的開(kāi)口234’。在圖9B中，每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素234’的長(zhǎng)度“b”為150μm(或200μm)，寬度“e”為76μm，間距“f”為100μm，且傾角θ約為60°。
在此實(shí)施例中，可使用任何一種液晶快門(mén)陣列。不過(guò)，當(dāng)使用傾斜驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，可消除因驅(qū)動(dòng)像素之間間隙所導(dǎo)致的感光材料未曝光部分。從而，當(dāng)使用具有傾斜驅(qū)動(dòng)像素234’的液晶快門(mén)陣列118時(shí)，有可能阻止因余留在感光材料上未曝光部分而導(dǎo)致垂直條紋的形成。不過(guò)，就像后面所要描述的，當(dāng)使用傾斜驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，會(huì)出現(xiàn)當(dāng)測(cè)量光量時(shí)不能清楚地檢測(cè)峰位置的問(wèn)題。
此處，最好將傾角θ設(shè)置在45°至80°的范圍，以便能覆蓋每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素之間的間隙。
圖10用于說(shuō)明從包含在曝光頭100中的LED 120開(kāi)始到CCD線(xiàn)狀傳感器230的光路。如圖10所示，從每個(gè)LED 120發(fā)出的光沿縱向射入光導(dǎo)向設(shè)備108，并由散射膜107向下反射，通過(guò)光導(dǎo)向設(shè)備108下方的凸出部分110引向液晶快門(mén)陣列118。通過(guò)液晶快門(mén)陣列118每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素234的光通過(guò)SELFOC lens array 138以受控方式聚焦在CCD線(xiàn)狀傳感器230上。曝光頭100包含有三種顏色的LED，自每個(gè)彩色LED發(fā)出的彩色光通過(guò)如圖10所示的光路，聚焦在CCD線(xiàn)狀傳感器230上。
曝光頭100被設(shè)計(jì)成，自各個(gè)彩色LED發(fā)出的彩色光和自液晶快門(mén)陣列118的驅(qū)動(dòng)像素234出射的彩色光具有相同的光量，不過(guò)，會(huì)存在各個(gè)驅(qū)動(dòng)像素之間光量出現(xiàn)變化的情形。下面，將以示例方式，描述此原因。
首先，為使來(lái)自光導(dǎo)向設(shè)備108下方突出部分110的光均勻地投射向液晶快門(mén)陣列118，散射膜107被構(gòu)造成沿光導(dǎo)向設(shè)備108的縱向等寬。然而，難以形成沿縱向完全等寬的散射膜107。從而，散射膜107寬度的細(xì)微誤差妨礙光均勻地進(jìn)入液晶快門(mén)陣列118的驅(qū)動(dòng)像素，這導(dǎo)致在各個(gè)驅(qū)動(dòng)像素之間產(chǎn)生光量的隨機(jī)變化。
其次，液晶快門(mén)陣列118的驅(qū)動(dòng)像素234被構(gòu)造成，每個(gè)像素的透明度隨所施加在形成像素的透明電極上的電壓而變化，從而有可能控制透明度。不過(guò)，難以使所有驅(qū)動(dòng)像素的光透明度均勻，尤其是當(dāng)打開(kāi)各驅(qū)動(dòng)像素時(shí)。從而，即使向所有驅(qū)動(dòng)像素射入均勻的光，在各個(gè)驅(qū)動(dòng)像素之間也會(huì)出現(xiàn)光量的變化。
此外，通過(guò)SELFOC lens array 138將液晶快門(mén)陣列118每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素234射出的光聚焦，SELFOC lens array 138通過(guò)沿縱向以重疊方式排列許多柱面透鏡而構(gòu)成。從而，即使向SELFOC lens array 138射入均勻的光，與柱面透鏡排列周期相對(duì)應(yīng)的出射光也會(huì)出現(xiàn)波動(dòng)。
由于以上及其他原因在各個(gè)驅(qū)動(dòng)像素之間出現(xiàn)光量變化，如果通過(guò)曝光頭100在感光材料上執(zhí)行曝光，就不可能形成高質(zhì)量的圖像。因此，必須測(cè)量在曝光頭100中的每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素234的光量，而且應(yīng)用陰影校正，以便當(dāng)對(duì)任何特定驅(qū)動(dòng)像素234施加相同的灰度級(jí)時(shí)，總能夠獲得相同的光量。
圖11顯示出曝光控制電路150的一個(gè)示例。曝光控制電路150包括輸入IF 151，通過(guò)它可從個(gè)人計(jì)算機(jī)等輸入灰度圖像數(shù)據(jù)Dg；陰影校正電路152，用于對(duì)灰度圖像數(shù)據(jù)Dg應(yīng)用灰度校正；校正值存儲(chǔ)存儲(chǔ)器153，用于存儲(chǔ)陰影校正電路152用來(lái)進(jìn)行陰影校正的陰影校正數(shù)據(jù)；LCS控制電路154，通過(guò)使用校正的灰度圖像數(shù)據(jù)Dg’和曝光定時(shí)數(shù)據(jù)Sc，產(chǎn)生用于驅(qū)動(dòng)液晶快門(mén)陣列118的控制信號(hào)(LCS控制信號(hào))；查詢(xún)表(LUT)155，在產(chǎn)生LCS控制信號(hào)時(shí)使用；和LCS驅(qū)動(dòng)電路156，根據(jù)LCS控制信號(hào)，產(chǎn)生實(shí)際用于驅(qū)動(dòng)液晶快門(mén)陣列各個(gè)像素的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(LCS驅(qū)動(dòng)信號(hào))。
曝光控制電路150還包括曝光校正電路158，從灰度圖像數(shù)據(jù)Dg產(chǎn)生曝光定時(shí)數(shù)據(jù)Sc；LED照明控制電路159，根據(jù)曝光定時(shí)數(shù)據(jù)Sc和LED驅(qū)動(dòng)條件數(shù)據(jù)，產(chǎn)生用于驅(qū)動(dòng)LED 120的LED驅(qū)動(dòng)信號(hào)；和LED驅(qū)動(dòng)條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器160，用于存儲(chǔ)LED驅(qū)動(dòng)條件數(shù)據(jù)。
LCS驅(qū)動(dòng)信號(hào)和LED驅(qū)動(dòng)信號(hào)通過(guò)信號(hào)線(xiàn)122傳遞至曝光頭，并分別根據(jù)LCS驅(qū)動(dòng)信號(hào)和LED驅(qū)動(dòng)信號(hào)驅(qū)動(dòng)液晶快門(mén)陣列188和LED 120。
這里假定，將所獲得(獲得方式將在后面描述)用于陰影校正的校正值和LED驅(qū)動(dòng)條件數(shù)據(jù)(電流值數(shù)據(jù))各預(yù)存在校正值存儲(chǔ)存儲(chǔ)器153和LED驅(qū)動(dòng)條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器160中。
下面，將描述用于調(diào)節(jié)所要施加到每個(gè)LED的電流值的操作，以及確定每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素照度的方法。
圖12顯示出用于校正所要加到曝光頭100的每個(gè)LED 120的電流值的流程。在啟動(dòng)校正之前，將所要測(cè)量的曝光頭100設(shè)置在測(cè)量裝置200上的規(guī)定位置，并將信號(hào)線(xiàn)122插入到IF 240中。此后，操作人員在PC 300上鍵入測(cè)量啟動(dòng)命令，該命令通過(guò)總線(xiàn)260傳送到測(cè)量裝置200的CPU 211以啟動(dòng)測(cè)量。之后，通過(guò)PC 300協(xié)同測(cè)量裝置200的CPU 211，根據(jù)存儲(chǔ)在PC 300中的系統(tǒng)控制軟件，執(zhí)行如圖12所示的流程。
首先，自電流供給電路220向曝光頭100中指定的一個(gè)LED設(shè)備120提供預(yù)定值的參考LED電流，從而使指定的LED設(shè)備打開(kāi)(步驟1201)。該實(shí)施例的曝光頭100具有三種顏色(藍(lán)，綠和紅)的LED設(shè)備，并對(duì)每種顏色的LED設(shè)備做出測(cè)量。在該實(shí)施例中，當(dāng)執(zhí)行測(cè)量時(shí)，液晶快門(mén)驅(qū)動(dòng)電路212輸出具有最大驅(qū)動(dòng)時(shí)間(對(duì)應(yīng)最高灰度級(jí))的打開(kāi)控制信號(hào)，以施加給液晶快門(mén)陣列118的所有驅(qū)動(dòng)像素。在測(cè)量期間施加到每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的控制信號(hào)并非必須是與最大驅(qū)動(dòng)時(shí)間相對(duì)應(yīng)的控制信號(hào)，而是也可施加與中間驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)相對(duì)應(yīng)的控制信號(hào)。
然后，通過(guò)接收光量檢測(cè)電路274，檢測(cè)來(lái)自CCD線(xiàn)狀傳感器230的所有光接收元件232的接收光量，并通過(guò)積分電路272進(jìn)行積分，通過(guò)A/D轉(zhuǎn)換電路(未示出)將結(jié)果轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，被CPU 211檢測(cè)為光量數(shù)據(jù)E(X)(步驟1202)。在該實(shí)施例中，由于具有如前所述的2048個(gè)光接收元件232，從而獲得2048片光量數(shù)據(jù)E(X)(X從0到2047)。所獲得光量數(shù)據(jù)E(X)的分布如圖13所示。在圖13中，將光量數(shù)據(jù)顯示為A/D轉(zhuǎn)換電路的輸出值(0至4095)。
接下來(lái)，從所有光接收元件的光量數(shù)據(jù)E(X)中獲得最大值光量數(shù)據(jù)Emax(步驟1203)，并確定Emax是否處在預(yù)定范圍內(nèi)(步驟1204)。進(jìn)行該確定的原因在于，如果Emax較大且值超過(guò)了A/D轉(zhuǎn)換電路的A/D轉(zhuǎn)換極限，轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)很可能飽和，導(dǎo)致不能獲得較好的測(cè)量結(jié)果。反過(guò)來(lái)，如果Emax較小，這意味著數(shù)據(jù)通常被壓低，降低了谷值等(后面會(huì)進(jìn)行討論)的檢測(cè)能力，也不能獲得較好的測(cè)量結(jié)果。在該實(shí)施例中，設(shè)置使Emax處在不高于A/D轉(zhuǎn)換極限90％，也不低于80％的范圍內(nèi)。
如果Emax處在預(yù)定范圍外，程序?qū)⑦M(jìn)行到步驟1205，將在步驟1201中所施加的參考LED電流值以規(guī)定比例變化，重復(fù)從步驟1202到1204的過(guò)程。在該實(shí)施例中，規(guī)定比例為10％。如果Emax高于預(yù)定范圍的上限，則LED電流值減少10％，如果Emax低于預(yù)定范圍的下限，則LED電流值增加10％。
如果能夠使LED性能一致，例如可省略上述步驟1201至1205。
如果Emax處在預(yù)定范圍內(nèi)，則程序進(jìn)行到步驟1206，從所檢測(cè)光量數(shù)據(jù)E(X)中檢測(cè)每個(gè)谷值V(N)的位置。作為示例，在圖13中的1201處顯示出所檢測(cè)的谷位置。這里，N為表示每個(gè)谷的序列號(hào)，該值為0或不小于1的整數(shù)。谷值V(N)出現(xiàn)在與那些處在驅(qū)動(dòng)像素234之間位置且不在驅(qū)動(dòng)像素正下方的光接收元件232相對(duì)應(yīng)的位置，如圖3中Y1至Y2所示。因此，可通過(guò)檢測(cè)谷值V(N)來(lái)識(shí)別驅(qū)動(dòng)像素的位置。
接下來(lái)，從所檢測(cè)光量數(shù)據(jù)E(X)中檢測(cè)相鄰谷值V(N)和V(N+1)之間的峰值P(N)(步驟1207)。作為示例，在圖13中的1202處顯示出峰值。同時(shí)，獲得檢測(cè)出峰值P(N)的峰位置，也就是，檢測(cè)出峰值P(N)的光接收元件序號(hào)。
然后，檢測(cè)相鄰值之間的變化量R(N)，也就是谷值V(N)與其相鄰峰值P(N)之間的變化量(步驟1208)。首先獲得在谷值V(N)與其相鄰峰值P(N)之間相鄰值之間的變化量R(N)，然后獲得在峰值P(N)與其相鄰谷值V(N+1)之間相鄰值之間的變化量。作為示例，在圖14中顯示出，對(duì)如圖13所示光量數(shù)據(jù)E(X)進(jìn)行檢測(cè)的情形，在相鄰值之間的變化量R(N)。此處，N為表示在具體相鄰值對(duì)之間變化量的序列號(hào)，且N為0或不小于1的整數(shù)。在所示示例中，用(+)表示值從谷值V(N)上升到相鄰峰值P(N)的方向，用(-)表示值從峰值P(N)下降到相鄰谷值V(N+1)的方向。
接下來(lái)，獲得增加的最大量Rmax和減少的最大量Rmin(步驟1209)。圖14中以示例形式顯示出Rmin和Rmax。
然后，通過(guò)查看Rmin和Rmax的位置，將它們之間的區(qū)域識(shí)別為像素區(qū)(步驟1210)。
在圖15中顯示出由此所識(shí)別像素區(qū)(N＝0至479)的一個(gè)示例。
接下來(lái)，從所獲的像素區(qū)的每個(gè)邊緣去除五個(gè)像素，將剩余的區(qū)視為有效像素區(qū)(步驟1211)。在圖15中顯示出有效像素區(qū)的一個(gè)示例(N＝5至474)。由于如液晶快門(mén)結(jié)構(gòu)以及透明電極排列之類(lèi)的因素，處在液晶快門(mén)陣列118邊緣的像素可具有不同于那些處在中心處驅(qū)動(dòng)像素的驅(qū)動(dòng)特性。因此，在每個(gè)邊緣處的五個(gè)像素不用于圖像記錄，從而將其去除，以便不會(huì)測(cè)量或存儲(chǔ)與這樣的像素相關(guān)的光量。從而，有效像素區(qū)為N＝5至474。
隨后，將有效像素區(qū)中包含的峰值P(N)視作液晶快門(mén)陣列118(在本實(shí)施例中有480個(gè)像素)中第N個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的照度F(N)，即從該驅(qū)動(dòng)像素發(fā)射出的光量(步驟1212)。
對(duì)于設(shè)置在液晶快門(mén)陣列118的驅(qū)動(dòng)像素區(qū)232邊緣和外部的光接收元件，如圖3中所示，所接收的光量急劇減少；因此，通過(guò)假設(shè)第一驅(qū)動(dòng)像素(N＝0)位于接收光量首次突然增大的位置(Rmax)，最后一個(gè)驅(qū)動(dòng)像素(N＝479)位于接收光量最后突然減小的位置(Rmin)，確定出像素位置。圖15顯示出在上述過(guò)程中得到的照度F(N)的分布。在圖15中，通過(guò)將與各驅(qū)動(dòng)像素相對(duì)應(yīng)的光量連成一條曲線(xiàn)，來(lái)表示光量分布。
之后，從有效像素區(qū)(N＝5至474)內(nèi)的照度F(N)中檢測(cè)出最小光量Fmin(步驟1213)，并判斷Fmin是否處于預(yù)定的光量范圍內(nèi)(步驟1214)。此處，根據(jù)曝光頭100所適用的光敏材料的種類(lèi)確定Fmin的值；特別是，在確定該值時(shí)考慮對(duì)于曝光圖像的亮度設(shè)置。
如果Fmin處于預(yù)定光量范圍之外，則在步驟1215中，及時(shí)將該時(shí)刻施加給LED的電流值以規(guī)定比例(5％)改變，且從電流供給電路220將經(jīng)過(guò)改變的電流輸送給LED，如同步驟1202中那樣再次獲取每個(gè)光接收元件的光量數(shù)據(jù)(步驟1216)。此處，如果Fmin低于預(yù)定范圍的下限，則沿增大LED電流的方向改變電流值；反過(guò)來(lái)，如果Fmin高于預(yù)定范圍的上限，則沿減小LED電流的方向改變電流值。之后，重復(fù)從步驟1206到步驟1216的過(guò)程，并且改變施加給LED的電流值，直至Fmin處于預(yù)定光量范圍內(nèi)為止。在上述過(guò)程中，如果Fmin處于預(yù)定范圍外部，則此處所需的調(diào)節(jié)通常為微調(diào)，這是因?yàn)橐呀?jīng)根據(jù)步驟1202到1205的循環(huán)進(jìn)行控制使Emax處于預(yù)定范圍之內(nèi)。不過(guò)，如果任何灰塵粘附到與Fmin相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素，或者在LED120發(fā)生故障時(shí)，為了使Fmin處于預(yù)定范圍內(nèi)則需要粗調(diào)(步驟1215)。在此情形中，最好不執(zhí)行Fmin調(diào)節(jié)步驟，而應(yīng)考慮曝光頭100有缺陷。
在步驟1214中，如果Fmin處于預(yù)定光量范圍內(nèi)，則流程進(jìn)行到步驟1217。在步驟1217中，及時(shí)將該時(shí)刻的LED電流值存儲(chǔ)到LED控制條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器213中，同時(shí)，及時(shí)將與液晶快門(mén)陣列118各驅(qū)動(dòng)像素的驅(qū)動(dòng)時(shí)間有關(guān)的控制數(shù)據(jù)(該數(shù)據(jù)定義打開(kāi)各驅(qū)動(dòng)像素的條件)存儲(chǔ)在液晶快門(mén)驅(qū)動(dòng)條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器214中。
然后，及時(shí)將該時(shí)刻的照度F(N)存儲(chǔ)到光量存儲(chǔ)存儲(chǔ)器215中，以備后面所述的陰影校正之用(步驟1218)，以完成各驅(qū)動(dòng)像素光量的測(cè)量。
存儲(chǔ)在光量存儲(chǔ)存儲(chǔ)器215中的液晶快門(mén)陣列118的各驅(qū)動(dòng)像素234的照度(F(N)等)，可以從PC 300輸出(顯示或打印)，并用于各種目的。在本實(shí)施例中，通過(guò)將所要測(cè)量的曝光頭100設(shè)置在測(cè)量裝置200上，執(zhí)行光量測(cè)量，不過(guò)，測(cè)量裝置也可以被包含在具有曝光頭的圖像形成裝置中。
如上所述，由于將寬度比液晶快門(mén)陣列各驅(qū)動(dòng)像素小的各光接收元件設(shè)置成，使多個(gè)光接收元件與一個(gè)驅(qū)動(dòng)像素對(duì)應(yīng)，可通過(guò)計(jì)算多個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的相互作用來(lái)測(cè)量光量，從而無(wú)需使用實(shí)際形成在光敏元件上的圖像就可精確測(cè)量光量。
此外，由于并非從光敏材料上實(shí)際形成的圖像的色密度而間接測(cè)量光量，而使用從與液晶快門(mén)陣列相對(duì)設(shè)置的光接收元件獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行測(cè)量，可以精確地檢測(cè)各驅(qū)動(dòng)像素的位置，從而可以以更高精度測(cè)量光量。
此外，由于無(wú)需使用實(shí)際形成在光敏材料上的圖像即可精確測(cè)量光量，可以消除將光敏材料顯影所需的時(shí)間，從而可迅速測(cè)量光量。
下面將描述獲得用于陰影校正的校正值的方法。
圖16表示通過(guò)使用在圖12的步驟1218中存儲(chǔ)在光量存儲(chǔ)存儲(chǔ)器215中的照度F(N)，獲得陰影校正的校正值的流程圖。
在此情形中，在圖12的步驟1212中將P(N)設(shè)定成等于F(N)。這表明，將所檢測(cè)光量數(shù)據(jù)E(X)的谷值V(N)之間的峰值P(N)，作為各驅(qū)動(dòng)像素的表示值，從而作為用于陰影校正的照度。
可以在圖12的流程之后，通過(guò)PC 300協(xié)同測(cè)量裝置200的CPU211，根據(jù)存儲(chǔ)在PC 300中的系統(tǒng)控制軟件，執(zhí)行圖16的流程，或者僅在PC 300中單獨(dú)執(zhí)行該流程。
首先，準(zhǔn)備對(duì)于液晶快門(mén)陣列118所有驅(qū)動(dòng)像素所通用的，用于定義驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)(H)與歸一化曝光照度量T之間關(guān)系的關(guān)系方程T(H)(步驟1601)。后面將詳細(xì)描述關(guān)系方程T(H)。
然后，從光量存儲(chǔ)存儲(chǔ)器215讀出根據(jù)圖12的流程測(cè)量并存儲(chǔ)的所有驅(qū)動(dòng)像素的照度值F(N)(步驟1602)。
隨后，從驅(qū)動(dòng)像素的照度值F(N)中檢測(cè)最小光量Fmin(步驟1603)。
然后，將N設(shè)為0，即選擇第0個(gè)驅(qū)動(dòng)像素234(步驟1604)。
接下來(lái)，參考步驟1603中檢測(cè)出的Fmin，獲得第N個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的校正參考值U(N)。此處，可由下式得出U(N)。
U(N)＝Fmin/F(N)圖17示例性顯示出對(duì)于從光量存儲(chǔ)存儲(chǔ)器215讀出圖15中所示的照度值F(N)情形的校正參考值U(N)。與最小光量Fmin相對(duì)應(yīng)的校正參考值為1.00。
然后，將H設(shè)為0，即設(shè)置對(duì)于驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)0的校正值(步驟1606)。
下面，由校正值U(N)和關(guān)系方程T(H)，通過(guò)使用下式，得出對(duì)于第N個(gè)驅(qū)動(dòng)像素當(dāng)輸入驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)H時(shí)所需的曝光照度量S(H)(步驟1607)。
S(H)＝T(H)/U(N)然后，獲得對(duì)于第N個(gè)驅(qū)動(dòng)像素滿(mǎn)足S(H)＝T(H′)的實(shí)數(shù)值H’(步驟1608)。H’表示，如同將驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)H賦予與最小光量Fmin相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素那樣，當(dāng)將驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)H賦予第N個(gè)驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，獲得相同曝光照度量所需的驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)。即，當(dāng)將驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)H賦予第N個(gè)驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，通過(guò)將H改變到H’，執(zhí)行陰影校正。
隨后，通過(guò)將H’四舍五入為最接近的整數(shù)，得出具有整數(shù)值的校正值H”(步驟1609)。這是因?yàn)?，包含本?shí)施例曝光頭100的系統(tǒng)只能處理具有0或者1到255整數(shù)值的驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)。因此，可根據(jù)情況省略這一步驟。
下面，將在步驟1609中獲得的校正值H”存儲(chǔ)在校正值存儲(chǔ)器216中(步驟1610)。
之后，對(duì)第N個(gè)驅(qū)動(dòng)像素執(zhí)行相同過(guò)程(步驟1607至1611和1613)，直至對(duì)所有驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)(0至255)完成該過(guò)程，此外，對(duì)所有驅(qū)動(dòng)像素(N＝0到479)重復(fù)與上述相同的過(guò)程(步驟1605至1614)，之后該流程終止。
此處，T(H)為通用于液晶快門(mén)陣列118所有驅(qū)動(dòng)像素的關(guān)系方程，并且定義了驅(qū)動(dòng)灰度(H)與歸一化曝光照度量T之間的關(guān)系。預(yù)先根據(jù)曝光頭100中所用液晶快門(mén)陣列118和所用光敏材料，由圖18中所示的液晶快門(mén)陣列118的驅(qū)動(dòng)特性，以及圖19中所示所用光敏材料的靈敏度特性，得出關(guān)系方程T(H)。
圖18中所示液晶快門(mén)陣列118的驅(qū)動(dòng)特性表示，對(duì)于液晶快門(mén)陣列118的各驅(qū)動(dòng)像素，歸一化曝光照度量T與驅(qū)動(dòng)時(shí)間t(驅(qū)動(dòng)像素打開(kāi)使光透過(guò)的時(shí)間)之間的關(guān)系。在圖18中表示驅(qū)動(dòng)特性的曲線(xiàn)不是線(xiàn)性的，這是因?yàn)橐壕Э扉T(mén)陣列118各驅(qū)動(dòng)像素的歸一化曝光照度量T，相對(duì)于對(duì)驅(qū)動(dòng)像素的控制信號(hào)，具有圖20中所示的特性。具體而言，當(dāng)施加在t0時(shí)刻打開(kāi)驅(qū)動(dòng)像素，在t1時(shí)刻關(guān)閉驅(qū)動(dòng)像素的控制信號(hào)時(shí)，來(lái)自液晶快門(mén)陣列的驅(qū)動(dòng)像素的曝光照度量并非立即升高到最大值，而是逐漸接近最大曝光量。在圖20中，曲線(xiàn)E1表示位于液晶快門(mén)陣列118中心部分(N＝20至460)的像素的性能，而曲線(xiàn)E0表示位于液晶快門(mén)陣列118邊緣部分(N＝0至19或461至479)中的像素的性能。位于邊緣部分的液晶像素的性能與位于中心部分的液晶像素的性能不同，這是因?yàn)槲挥谶吘壊糠值尿?qū)動(dòng)像素靠近密封元件403；即，認(rèn)為用樹(shù)脂制成的密封元件403形成時(shí)所產(chǎn)生的雜質(zhì)，未固化樹(shù)脂等，對(duì)靠近密封元件403的調(diào)整膜或者液晶有影響。
通常，E1與E0之間的差別非常?。粡亩?，可以?xún)H基于E1獲得表示驅(qū)動(dòng)特性的曲線(xiàn)，如圖18中所示，并可根據(jù)該曲線(xiàn)得出T(H)。不過(guò)，當(dāng)希望進(jìn)行更詳細(xì)的陰影校正時(shí)，其最好事先基于E1獲得T1(H)，基于E0獲得T0(H)，并且根據(jù)各驅(qū)動(dòng)像素的序號(hào)或位置選擇適當(dāng)關(guān)系方程。
另一方面，圖19中所示的光敏材料的敏感特性表示，色密度D與光敏材料上的曝光量E之間的關(guān)系，其中，色密度D相當(dāng)于灰度級(jí)，曝光量E相應(yīng)于曝光照度量。
在本實(shí)施例中，從圖18和19中所示曲線(xiàn)獲得惟一的關(guān)系方程T(H)，該關(guān)系方程定義灰度級(jí)數(shù)據(jù)H與歸一化曝光照度量T之間的關(guān)系；為便于隨后步驟中的計(jì)算，使用最小二乘近似方法通過(guò)下面的10階多項(xiàng)式表示該關(guān)系方程。
T(H)=Σi=010AiHi=A0+A1·H+A2·H2+A3·H3+A4·H4+A5·H5+]]>A6·H6+A7·H7+A8·H8+A9·H9+A10·H10]]>此處，對(duì)于各種顏色LED，公式中的系數(shù)A0至A10具有下面表1中所示數(shù)值。


在本實(shí)施例中，使用上述10階多項(xiàng)式得到T(H)，但關(guān)系方程不限于10階多項(xiàng)式。不過(guò)，由于圖18和19中所示特性為非線(xiàn)性，最好使用3階或更高階關(guān)系方程近似該關(guān)系。
圖21顯示出上述T(H)，S(H)等的示例。如圖21中所示，由于對(duì)于與Fmin相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素，U(N)＝1.00，得出S(H)＝T(H)，并且與最高灰度級(jí)255相對(duì)應(yīng)的歸一化驅(qū)動(dòng)時(shí)間為1.00，這表示最大曝光照度量。對(duì)于光量高于Fmin的驅(qū)動(dòng)像素而言，當(dāng)給定相同灰度級(jí)H1時(shí)，所需的曝光量為S(H1)，從而獲得相同曝光量的驅(qū)動(dòng)灰度為H1’。也就是，當(dāng)將驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)H1賦予可用驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，應(yīng)用陰影校正，將灰度校正到H1’。
圖22舉例說(shuō)明通過(guò)這種方法得出的校正值。在圖22中表示出，對(duì)于每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素N，與所給定的所有驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)相對(duì)應(yīng)的校正驅(qū)動(dòng)灰度。在圖22的示例中，將第123個(gè)像素顯示為與Fmin相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素。圖22的示例顯示出僅對(duì)于紅色LED裝置的校正值，但實(shí)際上，還要根據(jù)相同過(guò)程獲得對(duì)于藍(lán)色和綠色LED裝置的校正值，并存儲(chǔ)在校正值存儲(chǔ)器中。
如前面所述，根據(jù)圖16中的流程獲得的校正值(參見(jiàn)圖22)被存儲(chǔ)到設(shè)置在與曝光頭100相連的曝光控制電路150中的指定存儲(chǔ)器，如校正值存儲(chǔ)器153和LED驅(qū)動(dòng)條件存儲(chǔ)存儲(chǔ)器163中。此處，對(duì)于各種顏色的LED，校正值可以與圖12流程中得到的電流值一起被寫(xiě)入諸如FD或CD之類(lèi)的記錄介質(zhì)，且記錄介質(zhì)可以安裝有由此所進(jìn)行測(cè)量的曝光頭100。
下面，將參照?qǐng)D23簡(jiǎn)要描述參考最小光量Fmin獲得校正值的原因。選擇Fmin作為參考值是為了有效利用全部驅(qū)動(dòng)灰度的范圍。例如，當(dāng)將Fmin設(shè)為參考值時(shí)，具有最低曝光照度量的驅(qū)動(dòng)像素為與Fmin相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素；如果賦予該驅(qū)動(dòng)像素最高灰度級(jí)255，則校正值也為255。不過(guò)，如果通過(guò)參考最大光量Fmax要獲得每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的校正參考值，則必須將參考校正值U(N)＝1.00映射到最大光量Fmax，從而對(duì)于與Fmax相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素，Smax(X)＝T(H)。此處，如果與Fmax相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素設(shè)定為，在最高灰度255提供最大歸一化曝光照度量(1.00)(參見(jiàn)Smax(H))，那么當(dāng)最高驅(qū)動(dòng)灰度(255)被賦予與Fmin相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，則必須進(jìn)行校正，以獲得比Fmax更高的光量。在此情形中，如圖23中所示，為了獲得所需的最大歸一化曝光照度量，必須進(jìn)行校正，以提供比最高灰度級(jí)255更高的驅(qū)動(dòng)灰度H2(參見(jiàn)Smin(H))。不過(guò)，不可能將驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)校正到比最高灰度級(jí)255更高的灰度級(jí)。
解決該問(wèn)題的一種方法是，預(yù)先確定關(guān)系方程，該關(guān)系方程具有某些余量，以便與Fmax相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素在低于最高灰度級(jí)255的驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)H3將提供最大的歸一化曝光照度量(參見(jiàn)Smax’(x))。然而，不能精確地預(yù)測(cè)驅(qū)動(dòng)像素中隨機(jī)發(fā)生的光量。此處，如果將對(duì)于與最小光量Fmin相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素的校正關(guān)系方程設(shè)為Smin’(H)，例如如圖23中所示，則當(dāng)將驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)H3賦予該驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，灰度級(jí)只能校正為H4。從而，不能利用直至最高灰度級(jí)255的全部范圍(參見(jiàn)Smin’(H))。
相反，在參考最小光量Fmin校正校正值的情形中，由于可將與最小光量Fmin相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素設(shè)定為在最高灰度級(jí)產(chǎn)生最大的歸一化曝光照度量，則有可能有效利用驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)的全部范圍。
圖24顯示出，使用根據(jù)圖16所示流程圖所獲得的校正值，進(jìn)行陰影校正所得到的結(jié)果的一個(gè)示例。圖24顯示出光量的分布，其中以相對(duì)于最小光量Fmin的誤差(％)表示各驅(qū)動(dòng)像素的光量。
在所示示例中，通過(guò)施加根據(jù)圖12的流程得到的LED電流，打開(kāi)曝光頭100中的紅色LED，并且將最高灰度級(jí)數(shù)據(jù)(255)賦予所有驅(qū)動(dòng)像素；然后，使用圖22中所示的校正值執(zhí)行驅(qū)動(dòng)校正控制，并再次根據(jù)圖12的流程測(cè)量光量。如圖所示，480個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的光量中的誤差最大為0.04％，這表明誤差被校正到根本不會(huì)影響圖像形成的級(jí)別。
此處，將概括圖12中所示流程圖的內(nèi)容與下面所述實(shí)施例之間的關(guān)系。步驟1206和1207相當(dāng)于峰值檢測(cè)過(guò)程(A)，其中基于光量數(shù)據(jù)E(X)檢測(cè)隨特定像素出現(xiàn)的峰值(最大值)和谷值(最小值)及其出現(xiàn)位置(光接收元件序號(hào))，以確定像素與光接收元件之間的對(duì)應(yīng)性。通過(guò)兩種方法之中的一種執(zhí)行峰值檢測(cè)過(guò)程(A)，例如這兩種方法是在第一實(shí)施例的描述中所述的方法，或者后面將要描述的第三實(shí)施例中所述的方法，當(dāng)驅(qū)動(dòng)像素具有后面將要描述的傾斜形狀時(shí)，易于通過(guò)采用第三實(shí)施例中所述的方法檢測(cè)峰值。
步驟1208至1211對(duì)應(yīng)有效像素區(qū)確定過(guò)程(B)，其中，在排成一行的驅(qū)動(dòng)像素中，基于峰值檢測(cè)過(guò)程中檢測(cè)到的峰值和谷值確定可有效確定校正值的像素區(qū)。
步驟1212相當(dāng)于照度確定過(guò)程(C)，該過(guò)程用于確定有效像素區(qū)內(nèi)所包含的各驅(qū)動(dòng)像素的照度。通過(guò)兩種方法中的一種執(zhí)行照度確定過(guò)程(C)，這兩種方法為，如第一實(shí)施例的描述中所揭示的用峰值P(N)表示驅(qū)動(dòng)像素照度(F(N))的方法，或者在后面所述的第二實(shí)施例中將要解釋的方法；特別是，如果采用第二實(shí)施例中所述方法，則可以更精確地獲得各驅(qū)動(dòng)像素的照度(F’(N))。
下面，將描述第二實(shí)施例。
在第二實(shí)施例中，通過(guò)使用利用不同于在圖12的流程中用于確定照度F(N)的方法所確定的驅(qū)動(dòng)像素的照度F’(N)，來(lái)獲得用于陰影校正的校正值。在通過(guò)以后將要描述的方法獲得F’(N)之后的流程，除用F’(N)代替F(N)外，與在圖16所示相對(duì)應(yīng)的流程相同。
在以后所述的過(guò)程中，在所檢測(cè)光量數(shù)據(jù)E(X)中谷值V(N)之間獲得峰值P(N)的峰位置Xp，被視為每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的表示位置，利用加權(quán)函數(shù)W(X)，獲得F’(N)，并將其用作用于陰影校正的照度。
如前所述，在圖16的流程中，將P(N)被視為各驅(qū)動(dòng)像素照度F(N)的表示。這表明，由于多個(gè)光接收元件對(duì)應(yīng)一個(gè)驅(qū)動(dòng)像素，表現(xiàn)出峰值的光接收元件的測(cè)量值被視作驅(qū)動(dòng)像素光量的表示。然而，實(shí)際上，來(lái)自多個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的光線(xiàn)以重疊方式入射在多個(gè)光接收元件上，峰值可不必總是與特定的一個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的光量相吻合。有鑒于此，在該實(shí)施例中，通過(guò)使用加權(quán)函數(shù)W(X)，由光接收元件(X為0至2047)所獲得的檢測(cè)光量數(shù)據(jù)E(X)，確定一特定驅(qū)動(dòng)像素的照度F’(N)。也就是，由于所檢測(cè)光量數(shù)據(jù)E(X)表示從多個(gè)驅(qū)動(dòng)像素入射光線(xiàn)的混合，使用加權(quán)函數(shù)W(X)來(lái)估計(jì)一特定驅(qū)動(dòng)像素的照度。只要估計(jì)出每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的照度F’(N)，就能正確地控制每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素，以實(shí)現(xiàn)最佳的陰影校正。
下面，將參照?qǐng)D28，描述如何獲得加權(quán)函數(shù)W(X)。在圖28中，(N-1)，(N)和(N+1)表示在液晶快門(mén)陣列118中的三個(gè)驅(qū)動(dòng)像素，E(X-6)至E(X+6)表示在CCD傳感器陣列230中與三個(gè)驅(qū)動(dòng)像素相對(duì)應(yīng)的13個(gè)光接收元件的(組合)光量數(shù)據(jù)。在圖28中，假設(shè)驅(qū)動(dòng)像素(N-1)至(N+1)為在光量分布中無(wú)變化的理想驅(qū)動(dòng)像素。在柱形圖中，以無(wú)陰影的柱條顯示出光量數(shù)據(jù)E(X-6)至E(X+6)。在所示示例中，對(duì)應(yīng)像素N-1的峰值P(N)與光接收元件X-4相對(duì)應(yīng)；同樣，光接收元件X±0與驅(qū)動(dòng)像素N對(duì)應(yīng)，光接收元件X+4與驅(qū)動(dòng)像素N+1相對(duì)應(yīng)。
由于驅(qū)動(dòng)像素N-1，N，和N+1彼此排列緊密，把打開(kāi)所有驅(qū)動(dòng)像素時(shí)由光接收元件X±0所接收的光量作為(組合)光量E(X)進(jìn)行檢測(cè)，將來(lái)自驅(qū)動(dòng)像素N-1的光量，來(lái)自驅(qū)動(dòng)像縮N的光量，和來(lái)自驅(qū)動(dòng)像素N+1的光量進(jìn)行組合。
此處，應(yīng)注意，打開(kāi)一特定驅(qū)動(dòng)像素N，且僅打開(kāi)驅(qū)動(dòng)像素N，而其他驅(qū)動(dòng)像素關(guān)閉，從而允許光僅通過(guò)驅(qū)動(dòng)像素N，而阻止光通過(guò)其他像素；在該條件中，獲得由各光接收元件(X)所檢測(cè)的光量G(N，X-6)到G(N，X±0)至G(N，X+6)，在柱形圖中以斜線(xiàn)陰影的柱條表示。
然后，計(jì)算光量G(N，X-6)至G(N，X+6)與對(duì)應(yīng)于各個(gè)光接收元件(X-6至X+6)的光量E(X-6)至E(X+6)的比值，將每個(gè)比值視為加權(quán)函數(shù)W(X)。具體數(shù)值如表2所示。
使用該加權(quán)函數(shù)，從被檢測(cè)為來(lái)自設(shè)置在光接收元件正上方的驅(qū)動(dòng)像素光量和來(lái)自于該驅(qū)動(dòng)像素相鄰驅(qū)動(dòng)像素的光量之和的組合光量，可精確獲得僅來(lái)自設(shè)置在各光接收元件正上方的一特定驅(qū)動(dòng)像素的入射光量。


圖25顯示為獲得每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的照度F’(N)(N為5至474)的流程圖。用圖25的流程代替在如圖12所示流程中的步驟1212；其他步驟與圖12所示那些步驟完全相同。
在圖12中的步驟1213之后，通過(guò)使用加權(quán)函數(shù)W(X)以及在檢測(cè)出峰值P(N)的光接收元件的位置X附近的檢測(cè)光量數(shù)據(jù)E(X)，獲得與峰值P(N)相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)像素N的凈照度G(N，X)(步驟2501)。
然后，將凈照度G(N，X)積分，以獲得驅(qū)動(dòng)像素N的照度F’(N)(步驟2502)。
之后，程序返回至圖12并進(jìn)行到步驟1213，將最后獲得的照度F’(N)存儲(chǔ)在光量存儲(chǔ)存儲(chǔ)器215中(步驟1218)。此后，程序進(jìn)行到如圖16所示的流程，基于照度F’(N)獲得陰影校正值。
在第二實(shí)施例中，在步驟1216中再次獲得光量數(shù)據(jù)E(X)之后，程序可直接進(jìn)行到步驟1212，而無(wú)需返回到步驟1206，如圖12中虛線(xiàn)1219所示。這是由于，即使在步驟1215中LED的電流值發(fā)生改變，峰位置X也不會(huì)改變。因此，如虛線(xiàn)1219所示，將以前所檢測(cè)的峰位置在峰檢測(cè)過(guò)程(A)和有效像素區(qū)確定過(guò)程(B)中同樣使用(is usedas-is)。
圖26顯示出光接收元件(937至953)的位置，由各光接收元件所檢測(cè)的(組合)光量數(shù)據(jù)E(X)，以及后面所要描述的凈照度G(X，N)的關(guān)系。
在柱形圖中以無(wú)陰影的柱條顯示(組合)光量數(shù)據(jù)E(937)至E(953)(有些標(biāo)記被省略)。在所示示例中，對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)像素225的峰值P(225)與光接收元件939相對(duì)應(yīng)；同樣，光接收元件943與驅(qū)動(dòng)像素226相對(duì)應(yīng)，光接收元件947與驅(qū)動(dòng)像素227相對(duì)應(yīng)，光接收元件950與驅(qū)動(dòng)像素228相對(duì)應(yīng)。
這里，注意對(duì)于一特定驅(qū)動(dòng)像素227，獲得通過(guò)該特定驅(qū)動(dòng)像素227入射到各個(gè)光接收元件(941至953)上的凈照度G(227，941)至G(227，953)，并在柱形圖中以斜線(xiàn)陰影的柱條表示。
獲得凈照度的方法如下將與驅(qū)動(dòng)像素227的峰值P(227)相對(duì)應(yīng)的光接收元件(947)的光量E(947)，和與光接收元件(947)左右相鄰的光接收元件(在947的兩側(cè)總共六個(gè)光接收元件)的光量E(941)至E(946)和E(948)至E(953)，分別乘以其相應(yīng)的加權(quán)函數(shù)W(X-6)至W(X+6)，僅求出假定通過(guò)驅(qū)動(dòng)像素227入射到各個(gè)光接收元件(941至953)的凈照度G(227，941)至G(227，953)。在該實(shí)施例中，通過(guò)基于從基本處在驅(qū)動(dòng)像素227正上方的光接收元件(945至949)所獲得的光量，以及從基本處在驅(qū)動(dòng)像素227兩側(cè)的各個(gè)驅(qū)動(dòng)像素226和228正上方的光接收元件(941至944)和(950至953)所獲得的光量，進(jìn)行計(jì)算，成功獲得自驅(qū)動(dòng)像素227出射的幾乎所有的光。通過(guò)將凈照度G(227，941)至G(227，953)積分獲得如圖27所使得照度F’(227)。
通過(guò)上述方法實(shí)現(xiàn)步驟1212“獲得每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的照度F(N)”。
在該實(shí)施例中，選擇光接收元件941至953作為求解對(duì)象，以獲得與驅(qū)動(dòng)像素227相對(duì)應(yīng)的照度，不過(guò)，可適當(dāng)通過(guò)考慮各驅(qū)動(dòng)像素之間的距離等來(lái)確定選擇求解對(duì)象的范圍。
圖27顯示出在與每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素相對(duì)應(yīng)的照度F’(N)與峰值位置的關(guān)系。圖中顯示出與第224各至第229個(gè)驅(qū)動(dòng)像素相對(duì)應(yīng)的照度F’(224)至F’(229)。圖27還顯示出來(lái)自液晶快門(mén)陣列118的每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素234的光如何通過(guò)SELFOC透鏡陣列138到達(dá)CCD傳感器陣列230。由于形成自聚焦透鏡陣列的微透鏡的傾斜等，來(lái)自液晶快門(mén)陣列118的每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素的光可能不會(huì)沿直線(xiàn)傳播，而是沿傾斜方向傳播。因此，通過(guò)CCD傳感器陣列230檢測(cè)出峰值光量P(N)的峰值位置(各在圖中以無(wú)陰影的圓形顯示)可能不會(huì)總是等間距的。
如上所述，在第二實(shí)施例中，自每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素N的峰值位置，在峰值位置附近的光量數(shù)據(jù)E(X)，和加權(quán)函數(shù)W(X)獲得凈照度G(N，X)，從凈照度G(N，X)獲得每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素N的照度F’(N)。由于使用凈照度G(N，X)可獲得幾乎所有從一特定驅(qū)動(dòng)像素N射出的光量，通過(guò)校正照度F’(N)可實(shí)現(xiàn)正確的陰影校正。因此，即使在液晶快門(mén)陣列118的驅(qū)動(dòng)像素之間光量分布中出現(xiàn)峰值變化，能夠精確地對(duì)每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素獲得用于陰影校正的校正值。
下面，將描述第三實(shí)施例。
在第三實(shí)施例中，使用具有前面如圖9B所示傾斜驅(qū)動(dòng)像素234’的液晶快門(mén)陣列118’，通過(guò)使用利用不同于在圖12流程中的方法所確定的峰值P’(N)及其相應(yīng)的峰值位置Xp’，來(lái)獲得用于陰影校正的校正值。在通過(guò)以后所描述的方法獲得值P’(N)和Xp’之后的流程，除分別用P’(N)和Xp’代替P(N)和Xp外，與在圖12和16所示流程相同。在通過(guò)后面的方法獲得P’(N)和Xp’之后，根據(jù)如圖25所示的流程獲得F’(N)可獲得用于陰影校正的校正值。
圖29顯示出用于獲得峰值P’(N)及其相對(duì)應(yīng)的峰值位置Xp’的流程。用圖29的流程代替在如圖12所示流程中的步驟1206和步驟1207；其他步驟與圖12所示那些步驟完全相同。
下面將描述使用具有如圖9B所示傾斜驅(qū)動(dòng)像素234’的液晶快門(mén)陣列118’的示例。圖30A顯示出當(dāng)使用具有如圖9A所示矩形驅(qū)動(dòng)像素234的液晶快門(mén)陣列118時(shí)在理想光量分布L與連續(xù)性照度分布M之間的關(guān)系。在另一方面，圖30B顯示出當(dāng)使用具有傾斜驅(qū)動(dòng)像素234’的液晶快門(mén)陣列118’時(shí)在理想光量分布L’與連續(xù)性照度分布M’之間的關(guān)系。
如圖30B所示，當(dāng)使用傾斜驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，凈照度分布L’的基底會(huì)展開(kāi)，可使連續(xù)照度分布M’的變化減小(能夠使其更扁平)。因此，當(dāng)使用傾斜驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，可減少因驅(qū)動(dòng)像素之間間隙所導(dǎo)致的感光材料未曝光部分，有可能阻止因余留在感光材料上未曝光部分而導(dǎo)致垂直條紋的形成。
然而，當(dāng)使用具有傾斜驅(qū)動(dòng)像素234’的液晶快門(mén)陣列118’時(shí)，可在CCD線(xiàn)狀傳感器230所檢測(cè)的光量數(shù)據(jù)中出現(xiàn)谷峰差距極小的部分，使得不會(huì)精確地檢測(cè)谷值V(N)(參見(jiàn)圖12中的步驟1206)。在圖31中顯示出這樣情形的一個(gè)示例。在圖31中，附圖標(biāo)記3201顯示當(dāng)使用具有傾斜驅(qū)動(dòng)像素234’的液晶快門(mén)陣列118’時(shí)所檢測(cè)的光量數(shù)據(jù)(相當(dāng)于圖13中的E(X))的一個(gè)示例。在圖31中以放大形式顯示的中心部分3202中，谷峰差距非常小，以致不能精確地檢測(cè)出谷值V(N)。這可能是由于應(yīng)出現(xiàn)在如3203所示位置的谷被埋入其之前和之后的光量變化中。如果不能精確地檢測(cè)出谷值V(N)，就不能精確地獲得峰值P(N)以及出現(xiàn)峰值的峰值位置Xp。
有鑒于此，第三實(shí)施例提供了如圖29所示的方法，在該方法中，為了對(duì)谷、峰值，和峰位置準(zhǔn)確定位，僅驅(qū)動(dòng)液晶快門(mén)陣列118’中的奇數(shù)或偶數(shù)的驅(qū)動(dòng)像素。圖32A顯示出當(dāng)僅驅(qū)動(dòng)液晶快門(mén)陣列118’中奇數(shù)驅(qū)動(dòng)像素時(shí)所檢測(cè)出的光量數(shù)據(jù)3302(Eo(X))。同樣，圖32B顯示出當(dāng)僅驅(qū)動(dòng)液晶快門(mén)陣列118’中偶數(shù)驅(qū)動(dòng)像素時(shí)所檢測(cè)出的光量數(shù)據(jù)3304(Ee(X))。圖中，3301和3303所表示的部分各與圖32中部分3203和表示圖31中所示檢測(cè)光量數(shù)據(jù)的3201相對(duì)應(yīng)。
如圖32A和32B所示，當(dāng)僅驅(qū)動(dòng)奇數(shù)或偶數(shù)的驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，由于不考慮來(lái)自每個(gè)驅(qū)動(dòng)像素兩側(cè)的光量，谷峰差距增大，從而能精確定位谷值V(N)。
下面，將描述圖29所示的流程。該流程與在圖12中的峰值檢測(cè)過(guò)程(A)相對(duì)應(yīng)。
在該實(shí)施例中，當(dāng)在圖12的步驟1204中Emax處在預(yù)定范圍之內(nèi)時(shí)，程序進(jìn)行到圖29中的步驟3001。液晶快門(mén)驅(qū)動(dòng)電路212向液晶快門(mén)陣列118’發(fā)送打開(kāi)控制信號(hào)，以便使所有驅(qū)動(dòng)像素中，僅將奇數(shù)驅(qū)動(dòng)像素打開(kāi)并持續(xù)最大驅(qū)動(dòng)時(shí)間(對(duì)應(yīng)最高灰度級(jí))(步驟3001)。如前面參照?qǐng)D12的描述，施加到驅(qū)動(dòng)像素的打開(kāi)控制信號(hào)并非必須是與最大驅(qū)動(dòng)時(shí)間相對(duì)應(yīng)的控制信號(hào)，而是也可施加與中間驅(qū)動(dòng)灰度級(jí)相對(duì)應(yīng)的控制信號(hào)。
接下來(lái)，獲得當(dāng)僅打開(kāi)液晶快門(mén)陣列118’中奇數(shù)驅(qū)動(dòng)像素時(shí)由每個(gè)光接收元件232所檢測(cè)的光量數(shù)據(jù)Eo(X)(參照?qǐng)D32A中3302)(步驟3002)。
然后，從光量數(shù)據(jù)Eo(X)檢測(cè)出每個(gè)谷的位置Vo(No)(步驟3003)。從光量數(shù)據(jù)獲得每個(gè)谷的方法與在圖12中步驟1206所示方法相同。
此后，獲得在相鄰谷值Vo(No)和Vo(No+1)之間的峰值Po(No)以及出現(xiàn)峰值Po(No)的位置Xpo(對(duì)應(yīng)相應(yīng)光接收元件232的序號(hào))(步驟3004)。獲得在相鄰谷之間的峰值及峰位置的方法與圖12的步驟1207中的方法相同。
之后，液晶快門(mén)驅(qū)動(dòng)電路212向液晶快門(mén)陣列118’發(fā)送打開(kāi)控制信號(hào)，以便將所有驅(qū)動(dòng)像素中僅偶數(shù)驅(qū)動(dòng)像素打開(kāi)并持續(xù)最大驅(qū)動(dòng)時(shí)間(對(duì)應(yīng)最高灰度級(jí))(步驟3005)。
接下來(lái)，獲得當(dāng)僅打開(kāi)液晶快門(mén)陣列118’中偶數(shù)驅(qū)動(dòng)像素時(shí)由每個(gè)光接收元件232所檢測(cè)的光量數(shù)據(jù)Ee(X)(參照?qǐng)D32B中3304)(步驟3006)。
然后，從光量數(shù)據(jù)Ee(X)檢測(cè)出每個(gè)谷的位置Ve(Ne)(步驟3007)。從光量數(shù)據(jù)獲得每個(gè)谷的方法與在圖12中步驟1206所示方法相同。
此后，獲得在相鄰谷值Ve(Ne)和Ve(Ne+1)之間的峰值Pe(Ne)以及出現(xiàn)峰值Pe(Ne)的位置Xpe(對(duì)應(yīng)相應(yīng)光接收元件232的序號(hào))(步驟3008)。獲得在相鄰谷之間的峰值及峰位置的方法與圖12的步驟1207中的方法相同。
之后，將對(duì)應(yīng)于奇數(shù)驅(qū)動(dòng)像素的峰值Po(No)和對(duì)應(yīng)于偶數(shù)驅(qū)動(dòng)像素的峰值Pe(Ne)以交替方式組合，以獲得對(duì)應(yīng)于所有驅(qū)動(dòng)像素的峰值P’(N)(N為5至474)。同樣，將分別出現(xiàn)對(duì)應(yīng)于奇數(shù)驅(qū)動(dòng)像素的峰值Po(No)的峰值位置Xpo，和分別出現(xiàn)對(duì)應(yīng)于偶數(shù)驅(qū)動(dòng)像素的峰值Pe(Ne)的峰值位置Xpe，以交替方式組合，以獲得分別出現(xiàn)對(duì)應(yīng)于所有驅(qū)動(dòng)像素的峰值P’(N)的峰值位置Xp’(步驟3009)。
之后，程序返回至圖12并進(jìn)行到步驟1208，將最后基于P’(N)和Xp’獲得的照度F(N)存儲(chǔ)在光量存儲(chǔ)存儲(chǔ)器215中(步驟1218)。此后，程序進(jìn)行到如圖16所示的流程，基于照度F(N)獲得陰影校正值。此處，如前所述，當(dāng)根據(jù)該實(shí)施例的方法獲得峰值P’(N)和峰位置Xp’之后，可通過(guò)根據(jù)在第二實(shí)施例中所述的方法獲得照度F’(N)來(lái)獲得陰影校正值。
在具有如圖9B所示傾斜驅(qū)動(dòng)像素的液晶快門(mén)陣列118’中，將驅(qū)動(dòng)像素234’排列成單行，不過(guò)，也可將驅(qū)動(dòng)像素以交錯(cuò)形式排列。在這種情形中，最好是將奇數(shù)驅(qū)動(dòng)像素以交錯(cuò)形式沿一行排列，將偶數(shù)驅(qū)動(dòng)像素以交錯(cuò)形式沿一行排列。
當(dāng)按如上所述使用如圖9B所示傾斜驅(qū)動(dòng)像素時(shí)，可抑制因驅(qū)動(dòng)像素之間間隙所導(dǎo)致的感光材料未曝光部分，有可能阻止因余留在感光材料上未曝光部分而導(dǎo)致垂直條紋的形成。此外，根據(jù)圖29的流程通過(guò)分別打開(kāi)奇數(shù)驅(qū)動(dòng)像素和偶數(shù)驅(qū)動(dòng)像素，可精確地獲得峰值P’(N)和峰位置Xp’。
權(quán)利要求
1.一種用于制造曝光裝置的方法，所述曝光裝置包括具有多個(gè)發(fā)光部件的曝光頭和用于控制所述曝光頭的控制裝置，所述方法包括步驟同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件；通過(guò)使用線(xiàn)狀光接收設(shè)備進(jìn)行測(cè)量，來(lái)檢測(cè)在所有所述多個(gè)發(fā)光部件上的輸出光量分布；通過(guò)使用所述輸出光量分布，檢測(cè)與每個(gè)所述發(fā)光部件相對(duì)應(yīng)的峰位置；基于所述每個(gè)峰位置，檢測(cè)所述每個(gè)發(fā)光部件的光量；和基于所述每個(gè)發(fā)光部件的光量，確定用于校正所述每個(gè)發(fā)光部件光量不均勻性的校正值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的制造方法，其中，確定所述每個(gè)發(fā)光部件光量的所述步驟包括步驟獲得在所述輸出光量分布中對(duì)應(yīng)于所述每個(gè)峰位置的值；和確定所述值作為所述每個(gè)發(fā)光部件的光量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的制造方法，其中，確定所述每個(gè)發(fā)光部件光量的所述步驟包括步驟提供參考光量分布；使用所述參考光量分布和在所述峰位置附近的所述輸出光量分布，獲得對(duì)于與所述峰位置相對(duì)應(yīng)的所述發(fā)光部件的獨(dú)特光量分布；和基于所述獨(dú)特光量分布，確定所述發(fā)光部件的光量。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的制造方法，其中，每個(gè)所述發(fā)光部件在沿所述發(fā)光部件的排列方向上具有以規(guī)定角度傾斜的開(kāi)口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的制造方法，其中，同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件的所述步驟包括步驟同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件中的所有奇數(shù)發(fā)光部件；和同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件中的所有偶數(shù)發(fā)光部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的制造方法，其中，檢測(cè)所述輸出光量分布的所述步驟包括步驟檢測(cè)當(dāng)同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件中的所有奇數(shù)發(fā)光部件時(shí)出現(xiàn)的第一輸出光量分布；和檢測(cè)當(dāng)同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件中的所有偶數(shù)發(fā)光部件時(shí)出現(xiàn)的第二輸出光量分布。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的制造方法，其中，檢測(cè)所述峰位置的所述步驟包括步驟通過(guò)使用所述第一輸出光量分布，檢測(cè)第一峰位置；通過(guò)使用所述第二輸出光量分布，檢測(cè)第二峰位置；和將所述第一峰位置和所述第二峰位置組合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的制造方法，其中，所述控制裝置具有存儲(chǔ)器，且將其配置成基于所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)來(lái)控制所述曝光頭，其中，所述方法還包括在所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)所述所確定的校正值的步驟。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的制造方法，其中，所述光接收設(shè)備包括光接收部件，每個(gè)光接收部件的寬度比每個(gè)所述發(fā)光部件寬度更窄。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的制造方法，其中，在所述光接收設(shè)備中所包含光接收部件的數(shù)量等于所述多個(gè)發(fā)光部件數(shù)量的整數(shù)倍。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的制造方法，其中，按照三個(gè)或更多光接收部件對(duì)應(yīng)一個(gè)發(fā)光部件的方式排列所述光接收部件。
12.根據(jù)權(quán)利要求9的制造方法，其中，由所述多個(gè)光接收部件形成的光接收表面比由所述多個(gè)發(fā)光部件形成的發(fā)光表面更長(zhǎng)。
13.一種曝光裝置，該曝光裝置包括曝光頭，具有多個(gè)發(fā)光部件，且各個(gè)發(fā)光部件的光量隨所提供的驅(qū)動(dòng)信號(hào)而變化；和控制裝置，具有存儲(chǔ)器，用于通過(guò)根據(jù)存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器中的校正值校正圖像數(shù)據(jù)而產(chǎn)生所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)，其中所述校正值基于以下步驟而確定同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件；通過(guò)使用線(xiàn)狀光接收設(shè)備進(jìn)行測(cè)量，來(lái)檢測(cè)在所有所述多個(gè)發(fā)光部件上的輸出光量分布；通過(guò)使用所述輸出光量分布，檢測(cè)與每個(gè)所述發(fā)光部件相對(duì)應(yīng)的峰位置；基于所述每個(gè)峰位置，檢測(cè)所述每個(gè)發(fā)光部件的光量；基于所述每個(gè)發(fā)光部件的光量，確定用于校正所述每個(gè)發(fā)光部件光量不均勻性的所述校正值。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的曝光裝置，其中，確定所述每個(gè)發(fā)光部件光量的所述步驟包括步驟獲得在所述輸出光量分布中對(duì)應(yīng)于所述每個(gè)峰位置的值；和確定所述值作為所述每個(gè)發(fā)光部件的光量。
15.根據(jù)權(quán)利要求13的曝光裝置，其中，確定所述每個(gè)發(fā)光部件光量的所述步驟包括步驟提供參考光量分布；使用所述參考光量分布和在所述峰位置附近的所述輸出光量分布，獲得對(duì)于與所述峰位置相對(duì)應(yīng)的所述發(fā)光部件的獨(dú)特光量分布；和基于所述獨(dú)特光量分布，確定所述發(fā)光部件的光量。
16.根據(jù)權(quán)利要求13的曝光裝置，其中，每個(gè)所述發(fā)光部件在沿所述發(fā)光部件的排列方向上具有以規(guī)定角度傾斜的開(kāi)口。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的曝光裝置，其中，同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件的所述步驟包括步驟同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件中的所有奇數(shù)發(fā)光部件；和同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件中的所有偶數(shù)發(fā)光部件。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光裝置，其中，檢測(cè)所述輸出光量分布的所述步驟包括步驟檢測(cè)當(dāng)同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件中的所有奇數(shù)發(fā)光部件時(shí)出現(xiàn)的第一輸出光量分布；和檢測(cè)當(dāng)同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件中的所有偶數(shù)發(fā)光部件時(shí)出現(xiàn)的第二輸出光量分布。
19.根據(jù)權(quán)利要求18的曝光裝置，其中，檢測(cè)所述峰位置的所述步驟包括步驟通過(guò)使用所述第一輸出光量分布，檢測(cè)第一峰位置；通過(guò)使用所述第二輸出光量分布，檢測(cè)第二峰位置；和將所述第一峰位置和所述第二峰位置組合。
20.一種用于生產(chǎn)曝光裝置的制造方法，所述曝光裝置包括具有多個(gè)發(fā)光部件的曝光頭和用于控制所述曝光頭的控制裝置，所述方法包括步驟同時(shí)點(diǎn)亮所述多個(gè)發(fā)光部件；通過(guò)使用光接收設(shè)備，測(cè)量來(lái)自所述多個(gè)發(fā)光部件的光量；由所述光接收設(shè)備所獲得的測(cè)量值，檢測(cè)峰值和峰位置；和基于所述峰值和所述峰位置，確定用于校正自每個(gè)發(fā)光部件所發(fā)出光量不均勻性的校正值。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于，提供能夠采用從包含有相鄰發(fā)光部件光線(xiàn)的復(fù)合光中檢測(cè)對(duì)應(yīng)于一個(gè)特定發(fā)光部件的光量的方法，確定各個(gè)發(fā)光部件校正值的曝光裝置，而且還提供用于制造這種曝光裝置的方法。根據(jù)本發(fā)明的制造方法包括步驟同時(shí)點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光部件，通過(guò)使用線(xiàn)狀光接收設(shè)備進(jìn)行測(cè)量來(lái)檢測(cè)在所有多個(gè)發(fā)光部件上的輸出光量分布，通過(guò)使用輸出光量分布檢測(cè)與每個(gè)發(fā)光部件相對(duì)應(yīng)的峰位置，基于峰位置檢測(cè)每個(gè)發(fā)光部件的光量，和基于每個(gè)發(fā)光部件的光量，確定用于校正發(fā)光部件光量不均勻性的校正值。
文檔編號(hào)B41J2/45GK1684836SQ200380100089
公開(kāi)日2005年10月19日 申請(qǐng)日期2003年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月10日
發(fā)明者鹽田聰, 安永真, 增瀏貞夫, 巖子彰展, 橫山正史 申請(qǐng)人:西鐵城時(shí)計(jì)株式會(huì)社