專利名稱：彩色濾光器、液晶裝置、el裝置的制造方法和制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造液晶裝置等這樣的光學(xué)裝置使用的彩色濾光器的制造方法和制造裝置。另外，本發(fā)明涉及具有彩色濾光器的液晶裝置的制造方法和制造裝置。另外，本發(fā)明涉及使用EL發(fā)光層進(jìn)行顯示的EL裝置的制造方法和制造裝置。另外，本發(fā)明涉及向?qū)ο笪飮姵霾牧系牟牧系膰姵龇椒ê蛧婎^的控制裝置。此外，涉及搭載了使用這些制造方法制造的液晶裝置或EL裝置的電子儀器。
背景技術(shù)：
近年來，手機(jī)、便攜式電腦等這樣的電子儀器的顯示部已廣泛地使用液晶裝置、EL裝置等這樣的顯示裝置。另外，最近利用顯示裝置進(jìn)行全彩色顯示的情況已很多了。利用液晶裝置的全彩色顯示，是例如使由液晶層調(diào)制的光通過彩色濾光器而進(jìn)行的。并且，彩色濾光器是通過將R(紅)、G(綠)、B(籃)的點(diǎn)狀的各色濾光器元件在由玻璃、塑料等形成的基板的表面上排列成條形排列、三角形排列或鑲嵌排列等指定的排列而形成的。
另外，利用EL裝置進(jìn)行全彩色顯示時(shí)，是將R(紅)、G(綠)、B(籃)的點(diǎn)狀的各色EL發(fā)光層按指定的排列配置到在例如由玻璃、塑料等形成的基板的表面形成為例如條形排列、三角形排列或鑲嵌排列的電極上，通過對各像素控制加到這些電極上的電壓使該像素按所希望的色發(fā)光，以此進(jìn)行全彩色顯示。
以往，在制作彩色濾光器的R、G、B各色濾光器元件的圖形或EL裝置的R、G、B各色像素的圖形時(shí)，是使用光刻法，這是大家所熟知的。但是，使用光刻法時(shí)，工序復(fù)雜，要使用大量的各色材料和感光劑等，所以，存在成本高等問題。
為了解決這些問題，提案了利用噴墨法通過將濾光器材料或EL發(fā)光材料等噴射成點(diǎn)狀而形成點(diǎn)狀排列的燈絲或EL發(fā)光層等的方法。
現(xiàn)在，考慮在圖23(a)中設(shè)定在由玻璃、塑料等形成的大面積的基板即所謂的母板301的表面上的多個(gè)方格區(qū)域302的內(nèi)部區(qū)域如圖23(b)所示的那樣根據(jù)噴墨法形成排列為點(diǎn)狀的多個(gè)濾光器元件303的情況。
這時(shí)，例如圖23(c)所示的那樣，使具有將多個(gè)噴嘴304排列成一排而形成的噴嘴串305的噴墨頭306如圖23(b)中箭頭A1和箭頭A2所示的那樣對1個(gè)方格區(qū)域302主掃描多次(在圖23中，掃描2次)，在這些主掃描的期間，通過從多個(gè)噴嘴有選擇地噴出墨水即濾光器材料，在希望位置形成濾光器元件303。
濾光器元件303是通過將R、G、B的各色按條形排列、三角形排列、鑲嵌排列等這樣的適當(dāng)?shù)呐帕行问脚渲枚纬傻?，所以，圖23(b)所示的噴頭306的墨水噴出處理，是將噴出R、G、B單色的噴頭306預(yù)先設(shè)置R、G、B的3色，順序使用這些噴頭306在1個(gè)母板301上形成R、G、B的3色排列。
關(guān)于噴頭306，通常構(gòu)成噴嘴串305的多個(gè)噴嘴304的墨水噴出量有偏差，例如，如圖24(a)所示的那樣，具有與噴嘴串305的兩端部對應(yīng)的位置的噴出量多、其中央部次多、而兩端部與中央部之間的中間部的噴出量少的墨水噴出特性Q。
因此，如圖23(b)所示，在利用噴頭306形成濾光器元件303時(shí)，就如圖24(b)所示的那樣，將形成與噴頭306的端部對應(yīng)的位置P1或中央部P2或P1和P2雙方濃度濃的條紋，從而彩色濾光器的平面的光透過特性不均勻。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問題而提案的，目的旨在提供可以使彩色濾光器的光透過特性、液晶裝置的彩色顯示特性、EL發(fā)光面的發(fā)光特性等光學(xué)部件的光學(xué)特性在平面上均勻的各光學(xué)部件的制造方法和制造裝置。
本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法在特征在于包括使具有多個(gè)噴嘴排列而成的噴嘴串的噴頭和基板中的一方相對于另一方沿著主掃描方向進(jìn)行主掃描從而將濾光器材料從上述多個(gè)噴嘴向上述基板噴出的第1主掃描工序和使上述噴頭和基板中的一方相對于另一方沿著上述主掃描方向進(jìn)行主掃描從而將濾光器材料向上述基板噴出的第2主掃描工序，在上述第2主掃描工序中，對上述第1主掃描工序中上述噴嘴串與上述基板的交叉區(qū)域的一部分進(jìn)行主掃描，以使與上述第1主掃描工序中的這些交叉區(qū)域的至少一部分重疊。
按照本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法，彩色濾光器內(nèi)的各個(gè)濾光器元件，不是通過噴頭的1次主掃描而形成的，是通過接收由多個(gè)噴嘴重疊地墨水噴出形成指定的膜厚，所以，假如在多個(gè)噴嘴間，墨水噴出量存在偏差，也可以防止在多個(gè)濾光器元件間膜厚發(fā)生偏差，因此，可以使彩色濾光器的光透過特性在平面上均勻。
當(dāng)然，上述彩色濾光器的制造方法是使用排列多個(gè)噴嘴的噴頭的方法，所以，不必經(jīng)過使用光刻法那樣的復(fù)雜的工序，另外，也不會(huì)浪費(fèi)材料。
另外，按照上述彩色濾光器的制造方法，第1主掃描工序進(jìn)行多次，最好主掃描為各上述第1主掃描工序中上述噴嘴串與上述基板的交叉區(qū)域與其他上述第1主掃描工序中的這些交叉區(qū)域不重疊。即，在通過多次的濾光器材料的重疊噴出形成指定膜厚的濾光器元件之前，通?？梢詫⑻幱诟傻臓顟B(tài)的基板的全面設(shè)定為厚度均勻的濕的狀態(tài)，在此后進(jìn)行的重疊噴涂中就可以防止在墨水的重疊邊界部分形成明顯的分界線。
另外，不僅第1主掃描工序如此，上述第2主掃描工序也進(jìn)行多次，也可以主掃描為在各第2主掃描工序中上述噴嘴串與上述基板的交叉區(qū)域與其他上述第2主掃描工序的這些交叉區(qū)域不重疊。
按照該方法，彩色濾光器內(nèi)的各個(gè)濾光器元件不是通過噴頭的1次掃描而形成的，通過反復(fù)進(jìn)行多次以均勻的厚度向基板的表面噴出濾光器材料的工序進(jìn)行重疊噴涂，使各個(gè)濾光器元件形成指定的膜厚，所以，假如在多個(gè)噴嘴間墨水噴出量有偏差，也可以防止在多個(gè)濾光器元件間膜厚發(fā)生偏差，因此，可以使彩色濾光器的光透過特性在平面上均勻。
此外，按照該方法，第1次的主掃描工序即直接在基板的表面形成濾光器材料時(shí)，也不使噴嘴串重疊，通過上述主掃描使上述濾光器材料以均勻的厚度附著到上述基板的全面上，所以，通?？梢詫⑻幱诟傻臓顟B(tài)的基板的全面設(shè)定為厚度均勻的濕的狀態(tài)，在此后進(jìn)行的重疊噴涂中，可以防止在濾光器材料的重疊邊界部分形成明顯的分界線。
另外，上述噴嘴串假想地分為多個(gè)組，在上述第2主掃描工序中，最好主掃描為上述第1主掃描工序中各上述組與上述基板的交叉區(qū)域和上述第1主掃描工序中其他的上述組與上述基板的交叉區(qū)域重疊，此外，也可以將噴頭和基板中的一方相對于另一方設(shè)置在與主掃描方向交叉的方向即副掃描方向進(jìn)行副掃描的副掃描工序，以噴嘴組的副掃描方向的長度的整數(shù)倍的長度進(jìn)行副掃描移動(dòng)，反復(fù)多次進(jìn)行上述主掃描。通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，多個(gè)噴嘴組就重疊地掃描上述基板的相同的部分，從而由各噴嘴組內(nèi)的噴嘴向各個(gè)濾光器元件區(qū)域重疊地供給濾光器材料。
另外，可以將上述噴嘴串相對于上述副掃描方向傾斜地配置。噴嘴串通過將多個(gè)噴嘴排列成一排而形成。這時(shí)，噴嘴串的配置狀態(tài)相對于噴頭的副掃描方向平行時(shí)，由從噴嘴噴出的濾光器元件材料形成的濾光器元件相互相鄰的元件間的間隔即元件間距與形成噴嘴串的多個(gè)噴嘴的噴嘴間距相等。
在元件間距與噴嘴間距嚴(yán)格相等時(shí)，上述情況當(dāng)然非常好，但是，這種情況不管怎么說都是非常稀少的，通常，元件間距與噴嘴間距不同的情況比較多。這樣，在元件間距與噴嘴間距不同時(shí)，如上述結(jié)構(gòu)那樣，通過使噴嘴串相對于噴頭的副掃描方向傾斜地配置，就可以使噴嘴間距沿副掃描方向的長度與元件間距一致。這時(shí)，構(gòu)成噴嘴串的各噴嘴的位置與主掃描方向前后偏離，與此相反，通過使各噴嘴的濾光器材料的噴出時(shí)刻偏離，可以向希望的位置供給各噴嘴的墨水滴。
另外，在上述第1和第2彩色濾光器的制造方法中，噴頭的副掃描移動(dòng)的長度可以按以下方式?jīng)Q定。即，設(shè)上述噴嘴串的長度為L、通過上述分割而形成的上述組的數(shù)為n、上述噴嘴串與上述副掃描方向的夾角為θ時(shí)，上述副掃描移動(dòng)的長度δ可以表為δ≈(L/n)cosθ的整數(shù)倍按照該結(jié)構(gòu)，噴頭可以使多個(gè)噴嘴向副掃描方向每一噴嘴組。結(jié)果，例如考慮噴嘴串分割為4個(gè)噴嘴組的情況時(shí)，則基板上的各部分將由4個(gè)噴嘴組重疊滴進(jìn)行主掃描。
其次，在上述第1和第2彩色濾光器的制造方法中，可以采用使不從上述噴嘴串的兩端部分的數(shù)個(gè)噴嘴噴出濾光器材料的控制方法。在一般的噴頭中，如與圖24(a)相關(guān)聯(lián)的說明的那樣，墨水噴出分布在噴嘴串的兩端部分，與其他部分相比有變化。關(guān)于具有這樣的墨水噴出分布特性的噴頭，如果使用除了變化大的噴嘴串兩端部分的數(shù)個(gè)噴嘴外的墨水噴出分布均勻的多個(gè)噴嘴，就可以使濾光器元件的膜厚在平面上是均勻的。
另外，如上述那樣不使用噴嘴串的兩端部分的數(shù)個(gè)噴嘴進(jìn)行處理時(shí)，噴頭的副掃描移動(dòng)的長度就可以按以下方式?jīng)Q定。即，設(shè)除了使噴嘴串中不噴出墨水的端部噴嘴外的部分的長度為L、通過分割形成的組的數(shù)為n、噴嘴串與副掃描方向的夾角為θ時(shí)，副掃描移動(dòng)的長度δ則可表為δ≈(L/n)cosθ的整數(shù)倍其次，利用上述第1和第2彩色濾光器的制造方法制造的彩色濾光器，通常是通過將R(紅)、G(綠)、B(籃)或C(青)、M(品紅)、Y(黃)等多個(gè)色的濾光器元件在平面上配置成適當(dāng)?shù)膱D形而形成的。制造具有這種多個(gè)色的濾光器元件的彩色濾光器時(shí)，可以利用多個(gè)上述噴頭進(jìn)行第1或第2主掃描工序、并使各多個(gè)噴頭噴出的濾光器材料的色不同并且通過使每各噴頭進(jìn)行第1或第2主掃描工序而實(shí)現(xiàn)。
另外，作為制造具有這種多個(gè)色的濾光器元件的彩色濾光器的方法的其他例，也可以在噴頭上設(shè)置多個(gè)噴嘴串，屬于各噴嘴串的噴嘴分別噴出不同色的濾光器材料。
其次，本發(fā)明的彩色濾光器的制造裝置是一種將濾光器元件配置到基板上的彩色濾光器的制造裝置，其特征在于具有排列了多個(gè)噴嘴的噴嘴串的噴頭、使上述噴頭和上述基板中的一方相對于另一方沿著上述主掃描方向進(jìn)行主掃描的第1主掃描單元和使上述噴頭和上述基板中的一方相對于另一方沿著上述主掃描方向進(jìn)行主掃描的第2主掃描單元，上述第2主掃描單元主掃描為上述第1主掃描中上述噴嘴串與上述基板的交叉區(qū)域的一部分和上述第1主掃描中這些交叉區(qū)域中的至少一部分重疊。
在上述彩色濾光器的制造裝置中，最好具有向噴頭供給濾光器材料的墨水供給單元、使噴頭向與主掃描方向交叉的副掃描方向移動(dòng)的副掃描單元和控制噴嘴的墨水的噴出的噴嘴噴出控制單元等。
其次，本發(fā)明的液晶裝置的制造方法是在夾持液晶的一對基板中一邊的基板上形成彩色濾光器的液晶裝置的制造方法，其特征在于在基板上形成彩色濾光器的工序中，采用上述的彩色濾光器的制造方法中的某一個(gè)制造方法。
此外，本發(fā)明的液晶裝置的制造裝置的特征在于該制造裝置的一部分，特別是作為用于制造彩色濾光器的機(jī)構(gòu)，采用上述彩色濾光器的制造裝置。
下面，說明本發(fā)明的EL裝置的制造方法。通常，EL裝置采用EL發(fā)光層在基板上排列成點(diǎn)狀的結(jié)構(gòu)，所以，可以用和上述彩色濾光器的制造方法相同的方法進(jìn)行制造。即，只要把上述彩色濾光器的制造方法中的「濾光器材料」置換為「EL發(fā)光材料」，就成了本發(fā)明的EL裝置的制造方法。
另外，本發(fā)明的第1EL裝置的制造裝置也可以用和上述彩色濾光器的制造裝置相同的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)然，這時(shí)從噴頭噴出的材料是EL發(fā)光材料。
另外，本發(fā)明不僅可以應(yīng)用于上述彩色濾光器、液晶裝置和EL裝置，而且通過適當(dāng)變更噴出材料和被噴射物，就可以應(yīng)用于各種工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域。
另外，利用本發(fā)明的液晶裝置的制造方法、EL裝置的制造方法制造的液晶裝置和EL裝置主要可以作為顯示器利用，特別是可以應(yīng)用于以電腦、手機(jī)和便攜式信息機(jī)器等為代表的電子儀器。


圖1是模式地表示本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法的1個(gè)實(shí)施例的主要工序的平面圖。
圖2是模式地表示本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法的其他實(shí)施例的主要工序的平面圖。
圖3是模式地表示本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法的其他實(shí)施例的主要工序的平面圖。
圖4是模式地表示本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法的其他實(shí)施例的主要工序的平面圖。
圖5是模式地表示本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法的其他實(shí)施例的主要工序的平面圖。
圖6(a)是表示本發(fā)明的彩色濾光器的1個(gè)實(shí)施例的平面圖，圖6(b)是表示作為其基礎(chǔ)的母板的1個(gè)實(shí)施例的平面圖。
圖7是使用沿圖6(a)的VII-VII線的剖面部分模式地表示彩色濾光器的制造工序的圖。
圖8是表示彩色濾光器中R、G、B3色的像素的排列例的圖。
圖9是表示作為本發(fā)明的彩色濾光器的制造裝置、本發(fā)明的液晶裝置的制造裝置和本發(fā)明的EL裝置的制造裝置這樣的各制造裝置的主要部分的噴墨裝置的1個(gè)實(shí)施例的斜視圖。
圖10是將圖9的裝置的主要部分放大所示的斜視圖。
圖11是將作為圖10的裝置的主要部分的噴頭放大所示的斜視圖。
圖12是表示噴頭的硅例的斜視圖。
圖13是表示噴頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖，(a)表示切斷了一部分的斜視圖，(b)表示沿(a)的J-J線的剖面結(jié)構(gòu)。
圖14是表示噴頭的其他硅例的平面圖。
圖15是表示圖9的噴頭裝置數(shù)的電氣控制系統(tǒng)的框圖。
圖16是表示由圖15的控制系統(tǒng)執(zhí)行的控制的流程的流程圖。
圖17是表示噴頭的其他硅例的斜視圖。
圖18是表示本發(fā)明的液晶裝置的制造方法的1個(gè)實(shí)施例的工序圖。
圖19是用分解狀態(tài)表示由本發(fā)明的液晶裝置的制造方法制造的液晶裝置的一例的斜視圖。
圖20是表示沿圖19的X-X線的液晶裝置的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖21是表示本發(fā)明的EL裝置的制造方法的1個(gè)實(shí)施例的工序圖。
圖22是與圖21的工序圖對應(yīng)的EL裝置的剖面圖。
圖23是表示先有的彩色濾光器的制造方法的一例的圖。
圖24是用于說明先有的彩色濾光器的特性的圖。
發(fā)明的
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例1.
下面，說明彩色濾光器的制造方法及其制造裝置的1個(gè)實(shí)施例。首先，在說明這些制造方法和制造裝置之前，先說明使用這些制造方法制造的彩色濾光器。圖6(a)模式地表示彩色濾光器的1個(gè)實(shí)施例的平面結(jié)構(gòu)。另外，圖7(d)表示沿圖6(a)的VII-VII線的剖面結(jié)構(gòu)。
本實(shí)施例的彩色濾光器1，是通過在由玻璃1塑料等形成的方形的基板2的表面將多個(gè)濾光器元件3形成點(diǎn)圖形，在本實(shí)施例中是形成點(diǎn)矩陣狀，此外，如圖7(d)所示的那樣再在其上集層保護(hù)膜4而形成的。圖6(a)是在平面上表示除去了保護(hù)膜4的狀態(tài)的彩色濾光器1。
濾光器元件3利用由沒有透光性的樹脂材料形成格子狀圖形的隔壁6所劃分、不通過用色材埋入排列成點(diǎn)矩陣狀的多個(gè)方形的區(qū)域而形成。另外，這些濾光器元件3分別由R(紅)、G(綠)、B(籃)中的某一種1色的色彩形成，這些各色濾光器元件3配置成指定的排列。作為該排列，眾所周知的有例如圖8(a)所示的條形排列、圖8(b)所示的鑲嵌排列和圖8(c)所示的三角形排列等。
條形排列是矩陣的縱列全部成為同色的配色。鑲嵌排列是排列在縱橫所直線上的任意的3個(gè)濾光器元件成為R(紅)、G(綠)、B(籃)的3色的配色。并且，三角形排列是使濾光器元件的配置成為高低不齊，任意相鄰的3個(gè)濾光器元件成為R、G、B的3色的配色。
在本實(shí)施例中，采用了R(紅)、G(綠)、B(籃)的3色，但是，也可以采用C(青)、M(品紅)、Y(黃)的組合。
彩色濾光器1的大小是例如1.8英寸。另外，1個(gè)濾光器元件3的大小是例如30μm×100μm。另外，各濾光器元件3間的間隔即所謂的元件間距是例如75μm。
將本實(shí)施例的彩色濾光器1作為全彩色顯示用的光學(xué)要素使用時(shí)，將R、G、B的3個(gè)濾光器元件3作為1個(gè)單元形成1個(gè)像素，通過有選擇地使1像素內(nèi)的R、G、B的某一個(gè)或它們的組合而成的光通過，進(jìn)行全彩色顯示。這時(shí)，由沒有透光性的樹脂材料形成的隔壁6起黑矩陣的作用。
上述彩色濾光器1是從例如圖6(b)所示的大面積的母板12上切下來的。具體而言，首先在設(shè)定在母板12內(nèi)的多個(gè)彩色濾光器形成區(qū)域11的各個(gè)表面形成彩色濾光器1的1個(gè)圖形，進(jìn)而在這些彩色濾光器形成區(qū)域11的周圍形成切斷用的溝槽，通過沿這些溝槽切斷母板12，就形成了各個(gè)彩色濾光器1。
下面，說明制造圖6(a)所示的彩色濾光器1的制造方法及其制造裝置。
圖7是模式地表示彩色濾光器1的制造方法的工序圖。首先，在母板12的表面利用沒有透光性的樹脂材料將隔壁6形成從箭頭B方向看成為格子狀圖形。格子狀圖形的格子孔的部分7是形成濾光器元件3的區(qū)域，即濾光器元件區(qū)域。由該隔壁6形成的各個(gè)濾光器元件區(qū)域7從箭頭B方向看時(shí)的平面尺寸形成為例如約30μm×100μm。
隔壁6兼有阻止供給濾光器元件區(qū)域7的濾光器元件材料的流動(dòng)的功能和黑矩陣的功能。另外，隔壁6利用任意的圖形制作法例如光刻法形成，然后根據(jù)需要利用加熱器加熱而燒結(jié)。
在隔壁6形成之后，如圖7(b)所示，通過將濾光器元件材料的液滴8供給各濾光器元件區(qū)域7，將濾光器元件材料13埋入各濾光器元件區(qū)域7。在圖7(b)中，符號(hào)13R表示具有R(紅)的色的濾光器元件材料，符號(hào)13G表示具有G(綠)的色的濾光器元件材料，符號(hào)13B表示具有B(籃)的色的濾光器元件材料。
將指定量的濾光器元件材料填充到各濾光器元件區(qū)域7中時(shí)，由加熱器將母板12加熱到例如約70℃，使濾光器元件材料的熔劑蒸發(fā)。通過蒸發(fā)，如圖7(c)所示的那樣，濾光器元件材料13的體積減小。體積的減小激烈時(shí)，就反復(fù)進(jìn)行濾光器元件材料的液滴的供給和該液滴的加熱，直至作為彩色濾光器可以得到充分的膜厚為止。通過以上的處理，最后，僅留下濾光器元件材料的固體形部分而實(shí)現(xiàn)薄膜化，這樣，就形成了所希望的各色濾光器元件3。
在通過上述處理形成濾光器元件3之后，為了將這些濾光器元件3完全干燥，在指定的溫度下進(jìn)行指定時(shí)間的加熱處理。然后，使用例如旋轉(zhuǎn)鍍膜法、滾動(dòng)鍍膜法、涂敷法等適當(dāng)?shù)姆椒ㄐ纬杀Ｗo(hù)膜4。該保護(hù)膜4是為了保護(hù)濾光器元件3等和使彩色濾光器1的表面實(shí)現(xiàn)平坦化而形成的。
圖9表示用于進(jìn)行圖7(b)所示的濾光器元件材料的供給處理的噴墨裝置的1個(gè)實(shí)施例。該噴墨裝置16是用于將R、G、B中的1色例如R色的濾光器元件材料作為墨水的液滴向母板12(參見圖6(b))內(nèi)的各彩色濾光器形成區(qū)域11內(nèi)的指定位置噴出并使之附著到該位置的裝置。也分別準(zhǔn)備了G色的濾光器元件材料和B色的濾光器元件材料用的噴墨裝置，它們的結(jié)構(gòu)可以采用和圖9相同的結(jié)構(gòu)，所以，省略對它們的說明。
在圖9中，噴墨裝置16具有包含噴頭22的噴頭單元26、控制噴頭22的位置的噴頭位置控制裝置17、控制母板12的位置的基板位置控制裝置18、使噴頭22相對于母板12進(jìn)行主掃描移動(dòng)的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19、使噴頭22相對于母板12進(jìn)行副掃描移動(dòng)的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21、將母板12向噴墨裝置16內(nèi)的指定的作業(yè)位置供給的基板供給裝置23和進(jìn)行噴墨裝置16的全體控制的控制裝置24。
噴頭位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19和副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21的各裝置設(shè)置在底板9上。另外，這些各裝置根據(jù)需要由罩蓋14覆蓋。
噴頭22具有例如圖11所示的那樣通過將多個(gè)噴嘴27排列成一排而形成的噴嘴串28。噴嘴27的個(gè)數(shù)是例如180個(gè)，噴嘴27的孔徑是例如28μm，噴嘴27間的噴嘴間距是例如141μm。在圖6(a)和圖6(b)中，彩色濾光器1和對母板12的主掃描方向X以及與其正交的副掃描方向Y設(shè)定為在圖11中所示的那樣。
噴頭22設(shè)置在其噴嘴串28向與主掃描方向X交叉的方向延伸的位置，在向該主掃描方向X平行移動(dòng)的期間，通過將作為墨水的濾光器元件材料從多個(gè)噴嘴27有選擇地噴出，使濾光器元件材料附著到母板12(參見圖6(b))內(nèi)的指定位置。另外，噴頭22通過向副掃描方向Y平行移動(dòng)指定距離，可以使噴頭22的主掃描位置按指定的間隔偏移。
噴頭22具有例如圖13(a)和圖13(b)所示的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。具體而言，噴頭22具有例如不銹鋼制的噴嘴板29、與其相對的振動(dòng)板31和使它們相互接合的多個(gè)分割部件32。在噴嘴板29和振動(dòng)板31之間，利用分割部件形成多個(gè)墨水室33和儲(chǔ)液槽34。
多個(gè)墨水室33和儲(chǔ)液槽34通過通路38相互連通。
在振動(dòng)板31的適當(dāng)位置形成墨水供給孔36，墨水供給裝置37與該墨水供給孔36連接。該墨水供給裝置37學(xué)墨水供給孔36供給R、G、B中的1色例如R色的濾光器元件材料M。供給的濾光器元件材料M充滿儲(chǔ)液槽34，進(jìn)而通過通路38充滿墨水室33。
在噴嘴板29上，設(shè)置了用于從墨水室33以射流狀噴射濾光器元件材料M的噴嘴27。另外，在振動(dòng)板31的形成墨水室33的面的背面，與該墨水室33對應(yīng)地安裝了墨水加壓體39。該墨水加壓體39如圖13(b)所示，具有壓電元件41和夾持該壓電元件41的一對電極42a和42b。壓電元件41通過向電極42a和42b通電而彎曲變形為向箭頭C所示的外側(cè)突出，這樣，就增大了墨水室33的容積。于是，與增大的容積部分相當(dāng)?shù)臑V光器元件材料M就從儲(chǔ)液槽34通過通路38流入墨水室33。
其次，在解除了向壓電元件41的通電時(shí)，該壓電元件41和振動(dòng)板31都恢復(fù)為原來的形狀。這樣，墨水室33也恢復(fù)為原來的容積，所以，位于墨水室33的內(nèi)部的濾光器元件材料M的壓力就上升，從而濾光器元件材料M就從噴嘴27向母板12(參見圖6(b))噴出，成為液滴8。在噴嘴27的周邊部，為了防止液滴8的飛行彎曲或噴嘴27的孔堵塞等，設(shè)置了由例如鎳—四氟代乙烯共析電鍍層構(gòu)成的防墨水層43。
在圖10中，噴頭位置控制裝置17具有使噴頭22在面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的α電機(jī)44、使噴頭22繞與副掃描方向Y平行的軸搖動(dòng)旋轉(zhuǎn)的β電機(jī)46、使噴頭22繞與主掃描方向X平行的軸搖動(dòng)旋轉(zhuǎn)的γ電機(jī)47和使噴頭22向上下方向平行移動(dòng)的Z電機(jī)48。
圖9所示的基板位置控制裝置18，在圖10中具有承載母板12的臺(tái)板49和使該臺(tái)板49如箭頭θ所示的那樣在面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的θ電機(jī)51。另外，圖9所示的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19如圖10所示的那樣，具有沿主掃描方向X延伸的導(dǎo)軌52和內(nèi)藏脈沖驅(qū)動(dòng)的線性電機(jī)的滑塊53?；瑝K53在內(nèi)藏的線性電機(jī)工作時(shí)沿導(dǎo)軌52向主掃描方向平行移動(dòng)。
另外，圖9所示的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21如圖10所示的那樣，具有沿副掃描方向Y延伸的導(dǎo)軌54和內(nèi)藏脈沖驅(qū)動(dòng)的線性電機(jī)的滑塊56?；瑝K56在內(nèi)藏的線性電機(jī)工作時(shí)沿導(dǎo)軌54向副掃描方向Y平行移動(dòng)。
在滑塊53或滑塊56內(nèi)，脈沖驅(qū)動(dòng)的線性電機(jī)根據(jù)供給該電機(jī)的脈沖信號(hào)可以精細(xì)地進(jìn)行輸出軸的旋轉(zhuǎn)角度控制，因此，可以高精細(xì)地控制支持在滑塊53上的噴頭22的主掃描方向X上的位置或臺(tái)板49的副掃描方向Y上的位置等。
噴頭22或臺(tái)板49的位置控制不限于使用脈沖電機(jī)的位置控制，通過使用伺服電機(jī)的反饋控制或其他任意的控制方法也可以實(shí)現(xiàn)。
圖9所示的基板供給裝置23具有收容母板12的基板收容部57和傳送母板12的機(jī)械手58。機(jī)械手58具有設(shè)置在地板或地面等設(shè)置面上的基臺(tái)59、相對于基臺(tái)59升降移動(dòng)的升降軸61、以升降軸61為中心而旋轉(zhuǎn)的第1搖臂62、相對于第1搖臂62而旋轉(zhuǎn)的第2搖臂63和設(shè)置在第2搖臂63的前端下面的吸盤64。吸盤64通過空氣吸引等吸附母板12。
在圖9中，在由主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19驅(qū)動(dòng)的進(jìn)行主掃描移動(dòng)的噴頭22的軌跡下即副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21的一個(gè)側(cè)面位置設(shè)置了壓蓋裝置76和清洗裝置77。另外，在另一側(cè)面位置設(shè)置了電子天平78。清洗裝置77是用于將噴頭22清洗干凈的裝置。電子天平78是對每個(gè)噴嘴測定從噴頭22內(nèi)的各個(gè)噴嘴27(參見圖11)噴出的墨水的液滴的重量的機(jī)器。并且，壓蓋裝置76是在噴頭22處于待機(jī)狀態(tài)時(shí)用于防止噴嘴27(參見圖11)干燥的裝置。
在噴頭22的附近，設(shè)置了與該噴頭22一體地移動(dòng)的噴頭用照相機(jī)81。另外，支持到設(shè)置在底板9上的支持裝置(圖中未示出)上的基板用照相機(jī)82配置在可以拍攝母板12的位置。
圖9所示的控制裝置24具有收容處理器的電腦本體部66、作為輸入裝置的鍵盤67和作為顯示裝置的CRT顯示器68。上述處理器如圖15所示，具有進(jìn)行運(yùn)算處理的CPU69和存儲(chǔ)各種信息的存儲(chǔ)器即信息存儲(chǔ)媒體71。
圖9所示的噴頭位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19、副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21和驅(qū)動(dòng)噴頭22內(nèi)的壓電元件41(參見圖13(b))的噴頭驅(qū)動(dòng)電路72的各機(jī)器，在圖15中通過輸入輸出接口73和總線74與CPU69連接。另外，基板供給裝置23、輸入裝置67、顯示器68、電子天平78、清洗裝置77和壓蓋裝置76的各機(jī)器也通過輸入輸出接口73和總線74與CPU69連接。
存儲(chǔ)器71是包含RAM、ROM等這樣的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器、硬盤、CD-ROM讀取裝置、盤型存儲(chǔ)媒體等這樣的外部存儲(chǔ)裝置等的概念，在功能上，設(shè)定了存儲(chǔ)記述噴頭裝置16的動(dòng)作控制順序的程序軟件的存儲(chǔ)區(qū)域、將用于實(shí)現(xiàn)圖8所示的各種R、G、B排列的R、G、B中的1色(現(xiàn)在考慮的是R1色)在母板12(參見圖6)內(nèi)的噴出位置作為坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)的存儲(chǔ)區(qū)域、用于存儲(chǔ)圖10中母板12向副掃描方向Y的副掃描移動(dòng)量的存儲(chǔ)區(qū)域、起CPU69用的工作區(qū)域或暫時(shí)文件等的功能的區(qū)域和其他各種存儲(chǔ)區(qū)域。
CPU69按照存儲(chǔ)器71內(nèi)存儲(chǔ)的程序軟件控制墨水即濾光器元件材料噴出到母板12表面的指定位置，作為具體的功能實(shí)現(xiàn)部，具有進(jìn)行用于實(shí)現(xiàn)清洗處理的運(yùn)算的清洗運(yùn)算部、用于實(shí)現(xiàn)壓蓋處理的壓蓋運(yùn)算部、進(jìn)行用于實(shí)現(xiàn)使用電子天平78(參見圖9)的重量測定的運(yùn)算的重量測定運(yùn)算部和進(jìn)行用于通過噴射而在濾光器元件材料上進(jìn)行描繪的運(yùn)算的描繪運(yùn)算部。
如果將描繪運(yùn)算部詳細(xì)分割，則包括用于將噴頭22設(shè)定到描繪用的初始位置的描繪開始位置運(yùn)算部、計(jì)算用于使噴頭22以指定的速度向主掃描方向X進(jìn)行主掃描移動(dòng)的控制的主掃描控制運(yùn)算部、計(jì)算用于使母板12向副掃描方向Y偏移指定的副掃描量的控制的副掃描控制運(yùn)算部和進(jìn)行用于控制噴頭22內(nèi)的多個(gè)噴嘴27中的某一個(gè)動(dòng)作而噴出墨水即濾光器元件材料的運(yùn)算的墨水噴出控制運(yùn)算部等各種功能運(yùn)算部。
在本實(shí)施例中，使用CPU69以軟件方式實(shí)現(xiàn)上述各功能，但是，在利用不使用CPU的單獨(dú)的電子電路可以實(shí)現(xiàn)上述各功能時(shí)，也可以使用這樣的電子電路。
下面，根據(jù)圖16所示的流程圖說明由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的噴墨裝置16的動(dòng)作。
在操作員接通電源使噴墨裝置16動(dòng)作時(shí)，首先，在步驟S1進(jìn)行初始設(shè)定。具體而言，將噴頭單元26、基板供給裝置23和控制裝置24等設(shè)定到預(yù)先決定的初始狀態(tài)。
其次，如果到了重量測定時(shí)刻(在步驟S2為是)，主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19就使圖10的噴頭單元26移動(dòng)到圖9的電子天平78的地方(步驟S3)，使用電子天平78對所有的噴嘴27測定從噴嘴27噴出的墨水的量(步驟S4)。并且，根據(jù)噴嘴27的墨水噴出特性，調(diào)節(jié)加到與各噴嘴27對應(yīng)的壓電元件41上的電壓(步驟S5)。
然后，如果到了清洗時(shí)刻(在步驟S6為是)，主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19就使噴頭單元26移動(dòng)到清洗裝置77的地方(步驟S7)，由該清洗裝置77清洗噴頭22(步驟S8)。
在未到重量測定時(shí)刻或清洗時(shí)刻時(shí)(在步驟S2和S6為否)或這些處理已結(jié)束時(shí)，在步驟S9就使圖9的基板供給裝置23動(dòng)作，將母板12供給臺(tái)板49。具體而言，由吸盤64吸引并保持基板收容部57內(nèi)的母板12，然后使升降軸61、第1搖臂62和第2搖臂63移動(dòng)，將母板12傳送到臺(tái)板49上，進(jìn)而由預(yù)先設(shè)置的定位銷釘50(參見圖10)擠壓到臺(tái)板49的適當(dāng)位置。為了防止母板12在臺(tái)板49上發(fā)生位置偏離，最好利用空氣吸引等方法將母板12固定到臺(tái)板49上。
然后，利用圖9的基板用照相機(jī)82觀察母板12，通過使圖10的θ電機(jī)51的輸出軸按微小角度單位旋轉(zhuǎn)，使臺(tái)板49按微小角度單位在面內(nèi)旋轉(zhuǎn)而將母板12定位(步驟S10)。其次，由圖9的噴頭用照相機(jī)81觀察母板12，通過計(jì)算決定由噴頭22開始描繪的位置(步驟S11)，并且使主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19和副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21適當(dāng)?shù)貏?dòng)作，從而使噴頭22向描繪開始位置移動(dòng)(步驟S12)。
這時(shí)，噴頭22如圖1的(a)位置所示的那樣，噴嘴串28設(shè)置為相相對于噴頭22的副掃描方向Y傾斜角度θ。這樣的措施的目的在于，在通常的噴墨裝置的情況下，相鄰的噴嘴27間的間隔即噴嘴間距與相鄰的濾光器元件3即濾光器元件形成區(qū)域7間的間隔即元件間距多數(shù)情況不同，在使噴頭22向主掃描方向X移動(dòng)時(shí)，用以使噴嘴間距在副掃描方向Y的尺寸部分與元件間距在幾何上相等。
在圖16的步驟S12，噴頭22位于描繪開始位置時(shí)，在圖1中噴頭22就位于(a)位置。然后，在圖16的步驟S13，開始向主掃描方向X進(jìn)行主掃描，同時(shí)開始噴出墨水。具體而言，圖10的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19動(dòng)作，噴頭22以一定的速度向圖1的主掃描方向X直線掃描移動(dòng)，在該移動(dòng)中，在對應(yīng)的噴嘴27到達(dá)應(yīng)供給墨水的濾光器元件區(qū)域7時(shí)，就從該噴嘴27噴出墨水即濾光器元件材料。
這時(shí)的墨水噴出量不是填充濾光器元件區(qū)域7的全部容積的量，而是其總量的幾分之一的量，在本實(shí)施例中，是總量的1/4的量。如后面所述，這是因?yàn)椋鳛V光器元件區(qū)域7并不是通過噴嘴27的1次墨水噴出而填充的，而是通過多次墨水噴出的重疊噴出來填充全部容積的，在本實(shí)施例中，是通過4次重疊噴出來填充全部容積的。
噴頭22對母板12的1行的主掃描結(jié)束時(shí)(在步驟S14為是)，就反向移動(dòng)，返回到初始位置(a)(步驟S15)。并且，噴頭22由副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21所驅(qū)動(dòng)，向副掃描方向Y移動(dòng)預(yù)先決定的副掃描量(在本說明書中，將該距離稱為“δ”)(步驟S16)。
在本實(shí)施例中，CPU69在圖1中將形成噴頭22的噴嘴串28的多個(gè)噴嘴27分割為多個(gè)組n。在本實(shí)施例中，n＝4，即將由180各噴嘴27構(gòu)成的長度L的噴嘴串28分割為4個(gè)組進(jìn)行考慮。這樣，1個(gè)噴嘴組就定為包含180/4＝45個(gè)噴嘴27的長度L/n即L/4。上述副掃描量δ設(shè)定為上述噴嘴組長度L/4的副掃描方向的長度，即(L/4)cosθ的整數(shù)倍。
因此，1行的主掃描結(jié)束而返回到初始位置(a)的噴頭22，在圖1中就向副掃描方向Y平行移動(dòng)距離δ，移動(dòng)到位置(b)。副掃描移動(dòng)量δ的大小不是總是一定，根據(jù)控制的需要而變化。另外，在圖1中，從位置(a)到位置(k)是略微偏離主掃描方向X而描繪的，但是，這是為了容易理解說明所采取的措施，實(shí)際上從位置(a)到位置(k)的各位置對于主掃描方向X是相同的位置。
向位置(b)進(jìn)行副掃描移動(dòng)的噴頭22，在步驟S13反復(fù)進(jìn)行主掃描移動(dòng)和墨水噴出。然后，噴頭22如位置(c)～位置(k)那樣反復(fù)進(jìn)行副掃描移動(dòng)，并反復(fù)進(jìn)行主掃描移動(dòng)和墨水噴出(步驟S13～步驟S16)，這樣，就完成了母板12的彩色濾光器形成區(qū)域11的1列的墨水附著處理。
在本實(shí)施例中，是將噴嘴串28分割為4個(gè)組來決定成為副掃描量δ的基礎(chǔ)的到移動(dòng)量的，所以，在上述彩色濾光器形成區(qū)域11的1列的主掃描和副掃描結(jié)束時(shí)，各濾光器元件區(qū)域7將由4個(gè)噴嘴組分別各接收1次、合接收計(jì)4次的墨水噴出處理，從而向其總?cè)莘e內(nèi)供給指定量即指定膜厚的墨水即濾光器元件材料。
詳細(xì)表示該墨水重疊噴出的情況時(shí)，就是圖1(A)所示的情況。在圖1(A)中，“a”～“k”表示由位于“a”位置～“k”位置的各位置的噴頭22的噴嘴串28在母板12的表面重疊地附著的墨水層即濾光器元件材料層79。例如，通過位于“a”位置的噴嘴串28的主掃描時(shí)的墨水噴出形成圖1(A)的“a”層的墨水層，通過位于“b”位置的噴嘴串28的主掃描時(shí)的墨水噴出形成圖1(A)的“b”層的墨水層，以下，通過位于“c”位置、“d”位置、……的各位置的噴嘴串28的主掃描時(shí)的墨水噴出形成圖1(A)的“c”、“d”、……的各墨水層。
即，在本實(shí)施例中，噴嘴串28內(nèi)的4個(gè)噴嘴組對母板12內(nèi)的彩色濾光器形成區(qū)域11的相同部分4次重疊地進(jìn)行主掃描，噴出墨水，合計(jì)的膜厚T就成為所希望的膜厚。另外，通過位于圖1的“a”位置和“b”位置的噴嘴串28的主掃描，形成圖1(A)中的濾光器元件材料層79的第1層，通過位于“c”、“d”、“e”的各位置的噴嘴串28的主掃描形成第2層，通過位于“f”、“g”、“h”的各位置的噴嘴串28的主掃描形成第3層，通過位于“i”、“j”、“k”的各位置的噴嘴串28的主掃描形成第4層，這樣，就形成了濾光器元件材料層79的全體。
稱為第1層、第2層、第3、第4層，是為了便于表示噴嘴串28的各主掃描的墨水噴出次數(shù)的稱法，實(shí)際上各層并不進(jìn)行物理上的區(qū)分，而是全體形成均勻的1層濾光器元件材料層79。
另外，在圖1所示的實(shí)施例中，噴嘴串28從“a”位置向“k”位置順序進(jìn)行副掃描移動(dòng)時(shí)，各位置的噴嘴串28與其他位置的噴嘴串28在副掃描方向Y上不重疊，但是，各位置間的噴嘴串28在副掃描方向Y相互連續(xù)地進(jìn)行副掃描移動(dòng)。因此，濾光器元件材料層79的第1層～第4層的各層，層厚是均勻的。
另外，將噴頭22的副掃描移動(dòng)量δ設(shè)定為使形成第1層的“a”位置和“b”位置的噴嘴串的分界線與形成第2層的“c”位置、“d”位置和“e”位置的噴嘴串的分界線不重疊。同樣，設(shè)定為使第2層與第3層間的分界線和第3層與第4層間的分界線相互不重疊。假如在各層間噴嘴串28的分界線不向副掃描方向即圖1(A)的左右方向偏離而重疊，則在分界線部分就有可能形成條紋，但是，如果如本實(shí)施例那樣控制為在各層間使分界線偏離，就不會(huì)發(fā)生條紋，而且可以形成厚度均勻的濾光器元件材料層79。
另外，在本實(shí)施例中，在通過使噴嘴串28按噴嘴組到進(jìn)行副掃描移動(dòng)并反復(fù)進(jìn)行主掃描移動(dòng)而進(jìn)行墨水的重疊噴出形成指定的膜厚T的濾光器元件材料層79之前，首先將噴嘴串28置于圖1的“a”位置和“b”位置，即通過使噴嘴串28不重疊但連續(xù)地順序進(jìn)行墨水噴出，總之，開始就在彩色濾光器形成區(qū)域11的全面上形成厚度均勻而薄的濾光器元件材料層。
通常，基板12的表面處于干的狀態(tài)，濕潤性低，所以，墨水的附著性差，因此，突然局部地向基板12的表面噴出大量的墨水時(shí)，就不能使墨水良好地附著，墨水濃度的分布也不可能均勻。與此相反，如果像本實(shí)施例那樣，開始時(shí)盡可能在彩色濾光器形成區(qū)域11的全體上面不形成分界線，而薄薄地均勻地供給墨水，將該區(qū)域11的整個(gè)面設(shè)定為厚度均勻的濕潤的狀態(tài)，在此后進(jìn)行的重疊涂敷中就可以防止在墨水的重疊分界部分留下分界線。
如上所述，在圖6的母板12內(nèi)的彩色濾光器形成區(qū)域11的1列的墨水噴出結(jié)束時(shí)，噴頭22就由副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21所驅(qū)動(dòng)，傳送到下一列的彩色濾光器形成區(qū)域11的初始位置(步驟S19)，并且，對該列的彩色濾光器形成區(qū)域11反復(fù)進(jìn)行主掃描、副掃描和墨水噴出，從而在濾光器元件區(qū)域7內(nèi)形成濾光器元件(步驟S13～S16)。
然后，在母板12內(nèi)的所有的彩色濾先器形成區(qū)域11形成R、G、B的1色例如R1色的濾光器元件3時(shí)(在步驟S18為是)，在步驟S20就由基板供給裝置23或由別的傳送機(jī)器將處理后的母板12向外部排出。
然后，只要操作員沒有作出處理結(jié)束的指示(在步驟S21為否)，就返回步驟S2，對別的母板12反復(fù)進(jìn)行R1色的墨水排出作業(yè)。
在操作員作出作業(yè)結(jié)束的指示時(shí)(在步驟S21為是)，CPU69在圖9中將噴頭22傳送到壓蓋裝置76的位置，由該壓蓋裝置76對噴頭22進(jìn)行壓蓋處理(步驟S22)。
通過上述處理，對構(gòu)成彩色濾光器的R、G、B的3色中的第1色例如R色的圖形制作就結(jié)束了，然后，將母板12向把R、G、B的第2色例如G色作為濾光器元件材料的噴墨裝置16傳送，進(jìn)行G色的圖形制作，最后，向把R、G、B的第3色例如B色作為濾光器元件材料的噴墨裝置16傳送，進(jìn)行B色的圖形制作。這樣，就制造成了形成了多個(gè)具有條形排列等所希望的R、G、B的點(diǎn)排列的彩色濾光器1(圖6(a))。
如果將彩色濾光器1作為用于液晶裝置的彩色顯示使用，就進(jìn)而在本彩色濾光器1的表面集層上電極和取向膜等。這時(shí)，在集層電極和取向膜之前，將母板12切斷，切取出各個(gè)彩色濾光器1時(shí)，則此后的電極等的形成工序就非常麻煩。因此，這時(shí)，在母板12上完成彩色濾光器1之后，最好不立即將母板12切斷，而在電極形成和取向膜形成等所需要的附加工序結(jié)束之后才將母板12切斷。
如上所述，按照本實(shí)施例的彩色濾光器的制造方法和制造裝置，圖6(a)所示的彩色濾光器1內(nèi)的各個(gè)濾光器元件3不是通過噴頭22(參見圖1)向X方向的1次主掃描而形成的，而是各1各濾光器元件3通過接收由屬于不同的噴嘴組的多個(gè)噴嘴27進(jìn)行n次(在本實(shí)施例中是4次)重疊地墨水噴出形成指定的膜厚的。因此，假如在多個(gè)噴嘴27間墨水噴出量存在偏差，也可以防止在多個(gè)濾光器元件3間膜厚發(fā)生偏差，于是，便可使彩色濾光器的光透過特性在平面上是均勻的。
當(dāng)然，在本實(shí)施例的制造方法中，是通過使用噴頭22的墨水噴出形成濾光器元件3的，所以，不必經(jīng)過使用光刻法那樣的復(fù)雜的工序，另外，也不會(huì)浪費(fèi)材料。
形成噴頭22的噴嘴串28的多個(gè)噴嘴27的墨水噴出量的分布不均勻的情況，就是與圖24(a)關(guān)聯(lián)地說明的那樣。另外，特別是位于噴嘴串28的兩端部的數(shù)各例如每一端各10各的噴嘴27的墨水噴出量特別大，前面也已說明。這樣，墨水噴出量與其他噴嘴相比，使用特別多的噴嘴對于使墨水噴膜即濾光器元件的膜厚均勻不必理想。
因此，最好如圖14所示的那樣，可以預(yù)先設(shè)定形成噴嘴串28的多個(gè)噴嘴27中位于噴嘴串28的兩端部E的數(shù)各例如約10各不噴出墨水，而將位于其余部分F的噴嘴27分割為多個(gè)例如4各組，按該噴嘴組到進(jìn)行副掃描移動(dòng)。例如，在噴嘴27的個(gè)數(shù)為180個(gè)時(shí)，對外加電壓等預(yù)先附加上從兩端的個(gè)10個(gè)合計(jì)20噴嘴27不噴出墨水的條件，而將其余的中央部的160個(gè)分割為例如4個(gè)噴嘴組，每1個(gè)噴嘴組的的噴嘴為160/4＝40個(gè)。
在本實(shí)施例1中，作為隔壁6，使用沒有透光性的樹脂材料，但是，作為隔壁6，當(dāng)然也可以使用透光性的樹脂材料。這時(shí)，可以在與濾光器元件間對應(yīng)的位置例如隔壁6的上和隔壁6的下等位置另外設(shè)置遮光性的金屬膜或樹脂材料，作為黑掩膜。
另外，在本實(shí)施例1中，作為濾光器元件，使用R、G、B，但是，得不限于R、G、B，也可以采用例如C(青)、M(品紅)、Y(黃)。這時(shí)，可以使用具有C、M、Y的色的濾光器元件材料變?yōu)镽、G、B的濾光器元件材料。
例如，在本實(shí)施例1中，通過光刻法形成隔壁，但是，也可以和彩色濾光器一樣利用噴墨法形成隔壁6。實(shí)施例2.
圖2模式地表示由本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法和制造裝置的其他實(shí)施例使用噴頭22通過噴射向母板12內(nèi)的彩色濾光器形成區(qū)域11內(nèi)的各濾光器元件形成區(qū)域7供給墨水即濾光器元件材料的情況。
由本實(shí)施例實(shí)施的概略的工序和圖7所示的工序相同，用于墨水噴出所使用的噴墨裝置的結(jié)構(gòu)也和圖9所示的裝置相同。另外，圖15的CPU69將形成噴嘴串28的多個(gè)噴嘴27分為n個(gè)例如4個(gè)組并將各噴嘴組的長度L/n或L/4作為單位量來決定副掃描量δ的情況也和圖1的情況相同。
本實(shí)施例與圖1所示的上述實(shí)施例不同的地方是，在圖15中對存儲(chǔ)器71內(nèi)存儲(chǔ)的程序軟件進(jìn)行了改變，具體而言，就是對由CPU69進(jìn)行的主掃描控制運(yùn)算和副掃描控制運(yùn)算進(jìn)行了改變。
更具體的說明，在圖2中，在噴頭22向X1方向的主掃描移動(dòng)結(jié)束之后，不向初始位置返回移動(dòng)，而是立即向Y方向進(jìn)行副掃描移動(dòng)與4個(gè)噴嘴組相當(dāng)?shù)囊苿?dòng)量δ，移動(dòng)到位置(b)之后，向前次的主掃描方向X1的相反方向X2進(jìn)行主掃描移動(dòng)，返回到從初始位置(a)向副掃描方向偏離距離δ的位置(b’)。
在從位置(a)到位置(a’)的主掃描期間和從位置(b)到位置(b’)的主掃描移動(dòng)期間，當(dāng)然從多個(gè)噴嘴27有選擇地噴出墨水。
即，在本實(shí)施例中，在噴頭22的主掃描和副掃描之間不插入返回動(dòng)作，而是連續(xù)地交替地進(jìn)行，這樣，就可以省略返回動(dòng)作花費(fèi)的時(shí)間，從而可以縮短作業(yè)時(shí)間。實(shí)施例3.
圖3模式地表示由本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法和制造裝置的其他實(shí)施例使用噴頭22通過噴射向母板12內(nèi)的彩色濾光器形成區(qū)域11內(nèi)的各濾光器元件形成區(qū)域7供給墨水即濾光器元件材料的情況。
由本實(shí)施例實(shí)施的概略的工序和圖7所示的工序相同，用于墨水噴出所使用的噴墨裝置的結(jié)構(gòu)也和圖9所示的裝置相同。另外，圖15的CPU69將形成噴嘴串28的多個(gè)噴嘴27分為n個(gè)例如4個(gè)組的情況也和圖1的情況相同。
本實(shí)施例與圖1所示的上述實(shí)施例不同的地方是，在圖16的步驟S12將噴頭22設(shè)定到母板12的描繪開始位置時(shí)，該噴頭22如圖3的(a)位置所示的那樣，噴嘴串28延伸的方向與副掃描方向Y平行。這樣的噴嘴的排列結(jié)構(gòu)，對使關(guān)于噴頭22的噴嘴間距與關(guān)于母板12的元件間距相等的情況是有利的結(jié)構(gòu)。
在本實(shí)施例中，噴頭22從初始位置(a)到終端位置(k)，反復(fù)進(jìn)行向X方向的主掃描移動(dòng)、向初始位置的返回移動(dòng)和向Y方向的副掃描移動(dòng)量δ(δ的大小根據(jù)需要按以噴嘴組長度為單位的整數(shù)倍變化)的幅掃描移動(dòng)，在主掃描移動(dòng)的期間中，從多個(gè)噴嘴27有選擇地噴出墨水即濾光器元件材料，這樣，就使濾光器元件材料附著到母板12內(nèi)的彩色濾光器形成區(qū)域11內(nèi)的濾光器元件形成區(qū)域7內(nèi)。
在本實(shí)施例中，噴嘴串28設(shè)定到與副掃描方向Y平行的位置，所以，副掃描移動(dòng)量δ將分割的噴嘴組的長度/n即L/4決定為基準(zhǔn)的單位量。實(shí)施例4.
圖4模式地表示由本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法和制造裝置的其他實(shí)施例使用噴頭22通過噴射向母板12內(nèi)的彩色濾光器形成區(qū)域11內(nèi)的各濾光器元件形成區(qū)域7供給墨水即濾光器元件材料的情況。
由本實(shí)施例實(shí)施的概略的工序和圖7所示的工序相同，用于墨水噴出所使用的噴墨裝置的結(jié)構(gòu)也和圖9所示的裝置相同。另外，圖15的CPU69將形成噴嘴串28的多個(gè)噴嘴27分為n個(gè)例如4個(gè)組的情況也和圖1的情況相同。
本實(shí)施例與圖1所示的上述實(shí)施例不同的地方是，在圖16的步驟S12將噴頭22設(shè)定到母板12的描繪開始位置時(shí)，該噴頭22如圖4(a)位置所示的那樣，噴嘴串28延伸的方向與副掃描方向Y平行和與圖2的實(shí)施例的情況一樣在噴頭22的主掃描和副掃描之間不插入返回動(dòng)作，而是連續(xù)地交替地進(jìn)行。
在圖4所示的本實(shí)施例和圖3所示的上述實(shí)施例中，主掃描方向X在與噴嘴串28成直角的方向，所以，通過將噴嘴串28如圖12所示的那樣沿主掃描方向X設(shè)置2列，便可由處于相同主掃描行的2個(gè)噴嘴27向1個(gè)濾光器元件區(qū)域7供給濾光器元件材料。實(shí)施例5.
圖5模式地表示由本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法和制造裝置的其他實(shí)施例使用噴頭22通過噴射向母板12內(nèi)的彩色濾光器形成區(qū)域11內(nèi)的各濾光器元件形成區(qū)域7供給墨水即濾光器元件材料的情況。
由本實(shí)施例實(shí)施的概略的工序和圖7所示的工序相同，用于墨水噴出所使用的噴墨裝置的結(jié)構(gòu)也和圖9所示的裝置相同。另外，圖15的CPU69將形成噴嘴串28的多個(gè)噴嘴27分為n個(gè)例如4個(gè)組的情況也和圖1的情況相同。
在圖1所示的上述實(shí)施例中，是通過使噴嘴串28不重疊而連續(xù)地進(jìn)行副掃描移動(dòng)，在基板12的表面形成厚度均勻的濾光器元件材料層79的第1層，再在該第1層上，同樣順序集層厚度均勻的第2層、第3層和第4層。與此相反，在圖5的實(shí)施例中，第1層的形成方式和圖1(A)的情況相同，但第2層～第4層則不是順序重疊形成厚度均勻的層，而是從圖5(A)的左側(cè)向右側(cè)順序?qū)⒌?層、第3層、第4層形成部分的臺(tái)階狀，最后，形成濾光器元件材料層79。
在圖5所示的實(shí)施例中，第1層～第4層的各層中噴嘴串28的分界線在各層間重疊，所以，在分界部有可能會(huì)出現(xiàn)濃度濃的條紋。但是，在本實(shí)施例中，也是在最初的工序中通過在彩色濾光器形成區(qū)域11的全面形成厚度均勻的第1層而提高濕潤性，然后才進(jìn)行以后的第2層～第4層的集層的，所以，與不均勻地形成在整個(gè)面上無斑點(diǎn)的厚度均勻的第1層而從左側(cè)突然臺(tái)階狀地形成第1層～第4層的情況相比，可以形成沒有濃度斑點(diǎn)并且在分界部難于形成條紋的彩色濾光器。實(shí)施例6.
圖17表示本發(fā)明的彩色濾光器的制造方法和制造裝置的其他實(shí)施例使用的噴頭22A。該噴頭22A與圖11所示的噴頭22不同的地方是，將噴出R色墨水的噴嘴串28R、噴出G色墨水的噴嘴串28G和噴出B色墨水的噴嘴串28B的3種噴嘴串形成1個(gè)噴頭22A，在這3種噴嘴串上設(shè)置圖13(a)和圖13(b)所示的墨水噴出系統(tǒng)，將R墨水供給裝置37R與和R色噴嘴串28R對應(yīng)的墨水噴出系統(tǒng)連接，將G墨水供給裝置37G與和G色噴嘴串28G對應(yīng)的墨水噴出系統(tǒng)連接，將B墨水供給裝置37B與和B色噴嘴串28B對應(yīng)的墨水噴出系統(tǒng)37B連接。
由本實(shí)施例實(shí)施的概略的工序和圖7所示的工序相同，用于墨水噴出而使用的噴墨裝置也基本上和圖9所示的裝置相同。另外，圖15的CPU69將形成噴嘴串28R、28G、28B的多個(gè)噴嘴27分為n個(gè)例如4個(gè)組并對各噴嘴組使噴頭22A按副掃描移動(dòng)量δ進(jìn)行副掃描移動(dòng)的情況也和圖1的情況相同。
在圖1所示的實(shí)施例中，在噴頭22中只設(shè)置了1種噴嘴串28，所以，利用R、G、B3色形成彩色濾光器時(shí)，必須對R、G、B的3色分別準(zhǔn)備圖9所示的噴墨裝置16。與此相反，使用圖17所示結(jié)構(gòu)的噴頭22A時(shí)，通過噴頭22A向X方向的1次主掃描就可以使R、G、B的3色同時(shí)附著到母板12上，所以，噴墨裝置16和噴頭22只準(zhǔn)備1個(gè)就行了。實(shí)施例7.
圖18表示本發(fā)明的液晶裝置的制造方法的1個(gè)實(shí)施例。另外，圖19表示利用該制造方法制造的液晶裝置的1個(gè)實(shí)施例。圖20表示沿圖19的X-X線的液晶裝置的剖面結(jié)構(gòu)。在說明液晶裝置的制造方法和制造裝置之前，首先將利用該制造方法制造的液晶裝置舉出其一例進(jìn)行說明。本實(shí)施例的液晶裝置是用單純矩陣方式進(jìn)行全彩色顯示的半透過方式的液晶裝置。
在圖19中，液晶裝置101是通過在液晶顯示板102上裝配作為半導(dǎo)體芯片的液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a和103b、將作為配線連接要素的FPC(Flexible Printed Circuit)104與液晶顯示板102連接并進(jìn)而通過在液晶顯示板102的反面?zhèn)仍O(shè)置照明裝置106作為后照燈而形成的。
液晶顯示板102是通過利用密封部件108將第1基板107a與第2基板107b相互粘貼而形成的。密封部件108是通過利用例如絲網(wǎng)印刷等將環(huán)氧樹脂以環(huán)狀附著到第1基板107a或第2基板107b的內(nèi)側(cè)表面而形成的。另外，在密封部件108的內(nèi)部，如圖20所示，以分散狀態(tài)包含由導(dǎo)電性材料形成球狀或圓筒狀的導(dǎo)通部件109在圖20中，第1基板107a具有由透明的玻璃或透明的塑料等形成的板狀的基材111a。在該基材111a的內(nèi)側(cè)表面(圖20的上側(cè)表面)形成反射膜112，在該反射膜112上形成絕緣膜113，在絕緣膜113上形成從箭頭D方向看呈條狀(參見圖19)的第1電極114a，然后，進(jìn)而在第1電極114a上形成取向膜116a。另外，在基材111a的外側(cè)表面(圖20的下側(cè)表面)，通過粘貼等裝配偏振片117a。
在圖19中，為了容易理解第1電極114a的排列，將這些條的間隔描繪得比實(shí)際的寬度大，因此，畫出的第1電極114a的條數(shù)就少，但是，實(shí)際上，在基材111a上形成了很多條第1電極114a。
在圖20中，第2基板107b具有由透明的玻璃或透明的塑料等形成的板狀的基材111b。在該基材111b的內(nèi)側(cè)表面(圖20的下側(cè)表面)形成彩色濾光器118，在彩色濾光器118上形成從箭頭D方向向與上述第1電極114a正交的方向看呈條狀(參見圖19)的第2電極114b，然后，進(jìn)而在第2電極114b上形成取向膜116b。
另外，在基材料111b的外側(cè)表面(圖20的上側(cè)表面)通過粘貼等裝配偏振片117b。
在圖19中，為了容易理解第2電極114b的排列，和第1電極114a的情況一樣，將這些條的間隔描繪得比實(shí)際的寬度大，因此，畫出的第2電極114b的條數(shù)就少，但是，實(shí)際上，在基材111b上形成了很多條第2電極114b。
在圖20中，在由第1基板107a、第2基板107b和密封部件108包圍的間隙即所謂的單元間隙內(nèi)，封入了液晶例如STN(Super Twisted Nematic)液晶L。在第1基板107a或第2基板107b的內(nèi)側(cè)表面分散著大量微小的球形的間隔球119，通過在單元間隙內(nèi)存在這些間隔球119，均勻地維持該單元間隙的厚度。
第1電極114a和第2電極114b配置為相互正交，它們的交叉點(diǎn)從圖20的箭頭D方向看排列為點(diǎn)矩陣狀。并且，該點(diǎn)矩陣狀的各交叉點(diǎn)構(gòu)成1個(gè)像素單元。彩色濾光器118是通過將R(紅)、G(綠)、B(籃)的各色要素配置為從箭頭D方向看呈指定的圖形例如條形排列、三角形排列、鑲嵌排列等圖形而形成的。上述1個(gè)像素單元與這些R、G、B的各1個(gè)對應(yīng)，并且，R、G、B的3色像素單元成為1個(gè)單元，構(gòu)成1個(gè)像素。
通過有選擇地使排列為點(diǎn)矩陣狀的多個(gè)像素單元發(fā)光從而使像素發(fā)光，在液晶顯示板102的第2基板107b的外側(cè)就顯示文字、數(shù)字等這樣的像。這樣顯示像的區(qū)域就是有效像素區(qū)域，在圖19和圖20中，由箭頭V所示的平面的矩形區(qū)域成為有效顯示區(qū)域。
在圖20中，反射膜112由APC合金、Al(鋁)等這樣的光反射材料形成，在與作為第1電極114a和第2電極114b的交叉點(diǎn)的各像素單元對應(yīng)的位置形成開口121。結(jié)果，從圖20的箭頭D方向看，開口121就排列成和像素單元相同的點(diǎn)矩陣狀。
第1電極114a和第2電極114b由例如作為透明導(dǎo)電材料的ITO形成。另外，取向膜116a和116b通過將聚酰亞銨樹脂附著成厚度均勻的膜狀而形成。這些取向膜116a和116b通過接收摩擦處理，決定液晶分子在第1基板107a和第2基板107b的表面上的初始取向。
在圖19中，第1基板107a的面積比第2基板107b大，通過密封部件108將這兩個(gè)基板相互粘貼時(shí)，第1基板107a具有向第2基板107b的外側(cè)伸出的基板伸出部107c。并且，在該基板伸出部107c上，以適當(dāng)?shù)膱D形形成從第1電極114a延伸出的引線114c、通過位于密封部件108的內(nèi)部的導(dǎo)通部件109(參見圖20)與第2基板107b上的第2電極114b導(dǎo)通的引線114d、與液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a的輸入用凸起即輸入用端子連接的金屬配線114e和與液晶驅(qū)動(dòng)用IC103b的輸入用凸起連接的金屬蒎114f等各種配線。
在本實(shí)施例中，從第1電極114a延伸出的引線114c和與第2電極114b導(dǎo)通的引線114d由與這些電極相同的材料ITO即導(dǎo)電性氧化物形成。另外，液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a和103b的輸入側(cè)的配線即金屬配線114e和114f由電阻小的金屬材料例如APC合金形成。APC合金是主要包含Ag以及包含Pd和Cu的合金，例如由98％的Ag、1％的Pd和1％的Cu構(gòu)成的合金。
液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a和液晶驅(qū)動(dòng)用IC103b利用ACF(Anisotropic Conductive Film各向異性導(dǎo)電膜)122粘接到基板伸出部107c的表面。即，在本實(shí)施例中，在基板上形成直接裝配半導(dǎo)體芯片的結(jié)構(gòu)的所謂的COG(Chip On Glass)方式的液晶顯示板。在該COG方式的裝配結(jié)構(gòu)中，通過包含在ACF122的內(nèi)部的導(dǎo)電粒子，液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a和103b的輸入側(cè)凸起與金屬配線114e和114f導(dǎo)通連接，液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a和103b的輸出側(cè)凸起與引線114c和114d導(dǎo)通連接。
在圖19中，F(xiàn)PC104具有可撓性的樹脂膠片123、包含芯片部件124而構(gòu)成的電路126和金屬配線端子127。電路126通過焊錫以及其他導(dǎo)電連接方法直接裝配到樹脂膠片123的表面。另外，金屬配線端子127由APC合金、Cr、Cu以及其他導(dǎo)電材料形成。FPC104中形成金屬配線端子127的部分，通過ACF122與第1基板107a中形成金屬配線114e和金屬配線114f的部分連接。并且，通過包含在ACF122的內(nèi)部的導(dǎo)電粒子的作用，基板側(cè)的金屬配線114e和114f與FPC側(cè)的金屬配線端子127導(dǎo)通。
在FPC104的相反側(cè)的邊緣部形成外部連接端子131，該外部連接端子131與圖中未示出的外部電路連接。并且，根據(jù)從該外部電路傳送來的信號(hào)驅(qū)動(dòng)液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a和103b，向第1電極114a和第2電極114b的一方供給掃描信號(hào)，向另一方供給數(shù)據(jù)信號(hào)。這樣，就對排列在有效顯示區(qū)域V內(nèi)的點(diǎn)矩陣狀的各個(gè)像素單元進(jìn)行電壓控制，結(jié)果，液晶L的取向就按各個(gè)像素單元進(jìn)行控制。
在圖19中，起所謂的后照燈的功能的照明裝置106如圖20所示，具有由丙烯酰基樹脂等構(gòu)成的導(dǎo)光體132、設(shè)置在該導(dǎo)光體132的光出射面132b上的擴(kuò)散片133、設(shè)置在導(dǎo)光體132的光出射面132b的相對面上的反射片134和作為發(fā)光源的LED(Light Emitting Diode)136。
LED136支持在LED基板137上，該LED基板137裝配到例如與導(dǎo)光體132一體形成的支持部(圖中未示出)上。LED基板137通過裝配到支持部的指定位置，使LED136位于與導(dǎo)光體132的側(cè)邊端面即光射入面132a相對的位置。符號(hào)138表示用于緩沖加到液晶顯示板102上的沖擊的緩沖部件。
LED136發(fā)光時(shí)，該光從光射入面132a射入，導(dǎo)引到導(dǎo)光體132的內(nèi)部，在反射片134和導(dǎo)光體132的壁面上反射而傳播的期間，通過擴(kuò)散片133從光出射面132b作為平面光向外部射出。
本實(shí)施例的液晶裝置101如上述那樣構(gòu)成，所以，在太陽光、室內(nèi)光等這樣的外部光十分明亮?xí)r，在圖20中，外部光從第2基板107b側(cè)射入到液晶顯示板102的內(nèi)部，該光在通過液晶L后，由反射膜112反射，再次供給液晶L。液晶L由將其夾在中間的電極114a和114b按R、G、B的像素單元控制取向，因此，供給液晶L的光按像素單元進(jìn)行調(diào)制，由通過該調(diào)制而通過偏振片117b的光和不能通過的光在液晶顯示板102的外部顯示文字、數(shù)字這樣的像。這樣，就進(jìn)行反射型的顯示。
另一方面，在不能充分得到外部光的光量時(shí)，LED136發(fā)光，從導(dǎo)光體132的光出射面132b射出平面光，該光通過在反射膜112上形成的開口121供給液晶L。這時(shí)，和反射型的顯示一樣，供給的光由進(jìn)行取向控制的液晶L按像素單元進(jìn)行調(diào)制，從而向外部顯示像。這樣，就進(jìn)行透過型的顯示。
上述結(jié)構(gòu)的液晶裝置101利用例如圖18所示的制造方法制造。在該制造方法中，工序P1～工序P6的一連串的工序是形成第1基板107a的工序，工序P11～工序P14的一連串的工序是形成第2基板107b的工序。第1基板形成工序和第2基板形成工序通常分別獨(dú)自進(jìn)行。
首先，說明第1基板形成工序。在由透光性玻璃、透光性塑料等形成的大面積的母原料基材的壁面使用光刻法等形成液晶顯示板102的多個(gè)反射膜112，進(jìn)而在該反射膜112上使用眾所周知的成膜法形成絕緣膜113(工序P1)，然后，使用光刻法等形成第1電極114a和配線114c、114d、114e和114f(工序P2)。
然后，在第1電極114a上通過涂布或印刷等方法形成取向膜116a(工序P3)，進(jìn)而通過對取向膜116a進(jìn)行摩擦處理決定液晶的初始取向(工序P4)。然后，通過例如絲網(wǎng)印刷等形成環(huán)狀密封部件108(工序P5)，進(jìn)而在密封部件108上分散球狀的間隔球119(工序P6)。通過上述處理，形成具有多個(gè)液晶顯示板102的第1基板107a上的顯示板圖形的大面積的第1母基板。
與上述第1基板形成工序獨(dú)立地進(jìn)行第2基板形成工序(圖18的工序P11～工序P14)。首先，準(zhǔn)備由透光性玻璃、透光性塑料等形成的大面積的母原料基材，在其壁面形成液晶顯示板102的多個(gè)彩色濾光器118(工序P11)。該彩色濾光器的形成工序使用圖7所示的制造方法進(jìn)行，該制造方法中的R、G、B的各色濾光器元件的形成使用圖9的噴墨裝置16，按照圖1、圖2、圖3、圖4、圖5等所示的噴頭的控制方法進(jìn)行。這些彩色濾光器的制造方法和噴頭的控制方法與已說明的內(nèi)容相同，所以，省略其說明。
如圖7(d)所示，在母板12即母原料基材上形成彩色濾光器1即彩色濾光器118時(shí)，然后就利用光刻法形成第2電極114b(工序P12)，進(jìn)而通過涂布或印刷等方法形成取向膜116b(工序P13)，并對該取向膜116b進(jìn)行摩擦處理，決定液晶的初始取向(工序P14)。通過上述處理，形成具有多個(gè)液晶顯示板102的第2基板107b上的顯示板圖形的大面積的第2母基板。
通過上述處理形成大面積的第1母基板和第2母基板之后，將這些母板調(diào)準(zhǔn)位置后把密封部件108夾在其間而相互粘貼(工序P21)。這樣，就形成了包含多個(gè)液晶顯示板的顯示板部分但還未封入液晶的空的顯示板構(gòu)造體。
其次，在完成的空的顯示板構(gòu)造體的指定位置形成劃線溝槽即切斷用溝槽，并進(jìn)而以該劃線溝槽為基準(zhǔn)將顯示板構(gòu)造體切斷(工序P22)。這樣，將形成了各液晶顯示板部分的密封部件108的液晶注入用開口110(參見圖19)向外部露出的狀態(tài)即所謂的短?hào)艩畹目盏娘@示板構(gòu)造體。
然后，通過露出的液晶注入用開口110將液晶L注入到各液晶顯示板部分的內(nèi)部，進(jìn)而利用樹脂等將各液晶注入口110封住(工序P23)。通常的液晶注入處理，是例如將液晶貯存在貯存容器中，將貯存液晶的貯存容器和短?hào)艩畹目诊@示板裝入容器等中，在將該容器等抽成真空狀態(tài)后在該容器的內(nèi)部短?hào)艩畹目诊@示板就浸漬到液晶中，然后通過將容器與大氣連通而進(jìn)行的。這時(shí)，由于空顯示板的內(nèi)部是真空狀態(tài)，所以，被大氣壓加壓的液晶通過液晶注入用開口就注入到顯示板的內(nèi)部。在液晶注入后的液晶顯示板構(gòu)造體的周圍附著了液晶，所以，進(jìn)行液晶注入處理后的短?hào)艩铒@示板在工序P24要接收清洗處理。
然后，對進(jìn)行液晶注入和清洗后的短?hào)艩畹哪革@示板再次在指定位置形成劃線溝槽，進(jìn)而通過以該劃線構(gòu)造為基準(zhǔn)將短?hào)艩铒@示板切斷，就切割出了多個(gè)單個(gè)的液晶顯示板(工序P25)。對這樣制作的各個(gè)液晶顯示板102，如圖19所示的那樣裝配液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a和103b，通過裝配照明裝置106作為后照燈并進(jìn)而連接FPC104，就完成了作為目標(biāo)的液晶裝置101(工序P26)。
以上說明的液晶裝置的制造方法和制造裝置，推在制造彩色濾光器的階段，具有以下的特征。即，圖6(a)所示的彩色濾光器1即圖20的彩色濾光器118內(nèi)的各個(gè)濾光器元件3不是通過噴頭22(參見圖1)向X方向的1次主掃描而形成的，各1個(gè)濾光器元件3是由屬于不同的噴嘴組的多個(gè)噴嘴27通過n次例如4次重疊地接收墨水噴出而形成指定的膜厚的。因此，假如在多個(gè)噴嘴27間，墨水噴出量存在偏差，在多個(gè)濾光器元件3間也可以防止發(fā)生偏差，于是，可以使彩色濾光器的光透過特性在平面上是均勻的。這就是在圖20的液晶裝置101中，可以得到?jīng)]有色斑的鮮明的彩色顯示。
另外，在本實(shí)施例的液晶裝置的制造方法和制造裝置中，是通過使用圖9所示的噴墨裝置16，利用使用噴頭22的墨水噴出而形成濾光器元件3的，所以，不需要經(jīng)過使用光刻法的方法那樣的復(fù)雜的工序，另外，也不會(huì)浪費(fèi)材料。實(shí)施例8.
圖21表示本發(fā)明的EL裝置的制造方法的1個(gè)實(shí)施例。另外，圖22表示該制造方法的主要工序和最后得到的EL裝置的主要剖面結(jié)構(gòu)。如圖22(d)所示，EL裝置201是通過在透明基板204上形成像素電極202、在各像素電極202間形成從箭頭G方向看呈格子狀的隔壁205、在這些格子狀的凹部中形成孔穴注入層220、在各格子狀凹部中形成從箭頭G方向看成為條形排列等指定排列的R色發(fā)光層203R、G色發(fā)光層203G和B色發(fā)光層203B并進(jìn)而在其上形成對向電極213而形成的。
利用TFD(Thin Film Diode薄膜二極管)元件等2端子型的有源元件驅(qū)動(dòng)上述像素電極202時(shí)，上述對向電極213形成為從箭頭G方向看呈條形。另外，利用TFT(Thin Film Transistor薄膜晶體管)等3端子型的有源元件驅(qū)動(dòng)像素電極202時(shí)，上述對向電極213就形成為單一的面電極。
夾在各像素電極202和各對向電極213之間的區(qū)域成為1個(gè)像素單元，R、G、B3色的像素單元成為1個(gè)單元，形成1個(gè)像素。通過控制流過各像素單元的電流，可以有選擇地使多個(gè)像素單元中希望的像素單元發(fā)光，這樣，便可在箭頭H方向顯示希望的全彩色像。
上述EL裝置201利用例如圖21所示的制造方法制造。
即，如工序P51和圖22(a)所示的那樣，在透明基板204的表面形成TFD元件或TFT元件等這樣的有源元件，進(jìn)而形成像素電極202。作為形成方法，可以使用例如光刻法、真空鍍膜法、濺射法、高溫熔融法等。作為像素電極的材料，可以使用ITO(Indium Tin Oxide)、氧化錫、氧化銦和氧化鋅的復(fù)合氧化物等。
其次，如工序P52和圖21(a)所示的那樣，使用眾所周知的圖形方法例如光刻法形成隔壁205，利用該隔壁205埋入在高透明電極202之間。這樣，便可提高反差、防止發(fā)光材料的混色和防止像素與像素間的光泄漏等。作為隔壁205的材料，只要對EL材料的溶劑具有耐久性就可以，不特別限定，但是，最好是通過碳氟化合物氣體等離子體處理可以氟樹脂化的材料，例如丙烯?；鶚渲h(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞銨等有機(jī)材料。
其次，在涂布孔穴注入層用墨水之前，對基板204進(jìn)行氧氣和碳氟化合物氣體等離子體的連續(xù)等離子體處理(工序P53)。這樣，聚酰亞銨表面就具有抗水性，ITO表面就具有親水性，可以對噴射液滴細(xì)微地進(jìn)行制作圖形用的基板側(cè)的濕潤性的控制。作為發(fā)生等離子體的裝置，可以使用在真空中發(fā)生等離子體的裝置，也可以使用在大氣中發(fā)生等離子體的裝置。
然后，如工序P54和圖22(a)所示的那樣，將孔穴注入層用墨水從圖9的噴墨裝置16的噴頭22噴出，在各像素電極202上進(jìn)行圖形涂布。具體的噴頭的控制方法，使用圖1、圖2、圖3、圖4或圖5所示的方法。在該涂布之后，在真空(1torr)中，在室溫下用20分鐘的時(shí)間除去溶劑(工序P55)，然后，在大氣中，在20℃(加熱板上)下，通過10分鐘的熱處理，形成與發(fā)光層用墨水不相溶的孔穴注入層220(工序P56)。膜厚為40nm。
然后，如工序P57和圖22(b)所示的那樣，使用噴射方法將R發(fā)光層用墨水和G發(fā)光層用墨水涂布到各濾光器元件區(qū)域內(nèi)的孔穴注入層220上。這里，各發(fā)光層用墨水從圖9的噴墨裝置16的噴頭22噴出，而噴頭的控制方法按照圖1、圖2、圖3、圖4或圖5所示的方法。按照噴射方式，可以簡便地并且在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行微細(xì)的圖形制作。另外，通過改變墨水組成物的固態(tài)成分的濃度和噴出量，可以改變膜厚。
在發(fā)光層用墨水涂布之后，在真空中，在室溫下用20分鐘除去溶劑(工序P58)，然后，在氮?dú)夥諊?，?50℃的溫度下，通過4小時(shí)的熱處理，形成R色發(fā)光層203R和G色發(fā)光層203G(工序P59)。膜厚是50nm。通過熱處理而形成的發(fā)光層對溶劑是不溶的。
在形成發(fā)光層之前，也可以對孔穴注入層229進(jìn)行氫氣和碳氟化合物氣體等離子體的連續(xù)的等離子體處理。這樣，在孔穴注入層220上形成氟化物層，通過提高電離勢增加孔穴注入效率，從而可以提供發(fā)光效率高的有機(jī)EL裝置。
其次，如工序P60和圖22(c)所示的那樣，在各像素單元內(nèi)的R色發(fā)光層203R、G色發(fā)光層203G和孔穴注入層220上重疊地形成B色發(fā)光層203B這樣，不僅形成了R、G、B的3原色，而且可以將R色發(fā)光層203R和G色發(fā)光層203G與隔壁205的高低插填平，實(shí)現(xiàn)平坦化。這樣，就可以可靠地防止上下電極間的短路。通過調(diào)整B色發(fā)光層203B的膜厚，B色發(fā)光層203B在R色發(fā)光層203R和G色發(fā)光層203G的集層結(jié)構(gòu)中就起電子注入輸送層的作用，B色不發(fā)光。
作為上述B色發(fā)光層203B的形成方法，例如作為濕式法，可以采用通常的旋轉(zhuǎn)涂敷法，或者也可以采用與R色發(fā)光層203R和G色發(fā)光層203G的形成法相同的噴射法。
然后，如工序P61和圖22(d)所示的那樣，通過形成對向電極213，制造作為目標(biāo)的EL裝置201。對向電極213在其是面電極時(shí)，可以例如將Mg、Ag、Al、Li等作為材料，使用蒸發(fā)法、濺射法等成膜法來形成。另外，在對向電極213是條形電極時(shí)，可以使用光刻法等圖形制作方法形成成膜的電極層。
按照以上說明的EL裝置的制造方法和制造裝置，作為噴頭的控制方法，采用圖1、圖2、圖3、圖4或圖5等所示的控制方法，所以，圖22中的各像素單元內(nèi)的孔穴注入層220和R、G、B各色發(fā)光層203R、203G、203B就不是通過噴頭22(參見圖1)向X方向的1次主掃描而形成的，1個(gè)像素單元內(nèi)的孔穴注入層和/或各色發(fā)光層由屬于不同的噴嘴組的多個(gè)噴嘴27n次例如4次重疊地接收墨水噴出形成指定的膜厚。因此，假如在多個(gè)噴嘴27間，墨水噴出量存在偏差，在多個(gè)像素單元間也可以防止膜厚發(fā)生偏差，于是，可以使EL裝置的發(fā)光面的發(fā)光分布特性在平面上是均勻的。這就是在圖22(d)的EL裝置201中可以得到?jīng)]有色斑的鮮明的彩色顯示。
另外，在本實(shí)施例的EL裝置的制造方法和制造裝置中，通過使用圖9所示的噴墨裝置16，利用使用噴頭22的墨水噴出，形成R、G、B的各色像素單元，所以，不需要經(jīng)過使用光刻法的方法那樣的復(fù)雜的工序，另外，也不會(huì)浪費(fèi)材料。其他實(shí)施例.
以上，以理想的實(shí)施例說明了本發(fā)明，但是，本發(fā)明不限于該實(shí)施例，在權(quán)利要求所述的發(fā)明的范圍內(nèi)可以進(jìn)行種種改變。
例如，在以上說明的實(shí)施例中，給出了在圖6(b)所示的母板12中設(shè)定了多個(gè)列的彩色濾光器形成區(qū)域11、使用比這些彩色濾光器形成區(qū)域11小的噴頭22在各彩色濾光器形成區(qū)域11內(nèi)形成濾光器元件3的情況，但是，對于使用長度比1個(gè)彩色濾光器形成區(qū)域11的一邊長但是比母板12的一邊短的噴嘴串28在1個(gè)母板12內(nèi)形成濾光器‘元件3的情況，也可以應(yīng)用本發(fā)明。
另外，在圖1所示的實(shí)施例中，給出了在母板12中設(shè)定多個(gè)列的彩色濾光器形成區(qū)域11的情況，但是，對于在母板12中設(shè)定1列彩色濾光器形成區(qū)域11的情況，也可以應(yīng)用本發(fā)明。另外，對于在母板12中設(shè)定大小和母板12基本上相同或比母板12小得多的1個(gè)彩色濾光器形成區(qū)域11的情況，也可以應(yīng)用本發(fā)明。
另外，在圖9和圖10所示的彩色濾光器的制造裝置中，是使噴頭22向X方向移動(dòng)，對基板12進(jìn)行主掃描，而通過由副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21使基板12向Y方向移動(dòng)，由噴頭22對基板進(jìn)行副掃描，但是，也可以與此相反，通過基板12向Y方向的移動(dòng)進(jìn)行主掃描，而通過噴頭22向X方向的移動(dòng)進(jìn)行副掃描。
另外，在上述實(shí)施例中，使用了利用壓電元件的彎曲形變而噴出墨水的結(jié)構(gòu)的噴頭，但是，也可以使用其他任意的結(jié)構(gòu)的噴頭。
另外，在上述實(shí)施例中，僅表示了主掃描方向與副掃描方向正交的最一般的結(jié)構(gòu)，但是，主掃描方向與副掃描方向的關(guān)系不限于正交關(guān)系，可以按任意的角度交叉。
作為噴出的材料，可以根據(jù)在基板等對象物上形成的要素進(jìn)行各種選擇，例如，除了上述墨水、EL發(fā)光材料外，可以舉出二氧化硅玻璃原料、金屬化合物等導(dǎo)電材料、電介質(zhì)材料或半導(dǎo)體材料作為為其一例。
另外，在上述實(shí)施例中，以彩色濾光器的制造方法和制造裝置、液晶裝置的制造方法和制造裝置、EL裝置的制造方法和制造裝置為例進(jìn)行了說明，但是，本發(fā)明不限于這些，可以應(yīng)用于在對象物上進(jìn)行微細(xì)圖形制作的所有的工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域。
例如，可以舉出各種半導(dǎo)體元件(薄膜晶體管、薄膜二極管等)、各種布線圖形和絕緣膜的形成等作為其利用范圍的一例。
作為從噴頭噴出的材料，可以根據(jù)在基板等對象物上形成的要素進(jìn)行各種選擇，例如，除了上述墨水、EL發(fā)光材料外，可以舉出二氧化硅玻璃原料、金屬化合物等導(dǎo)電材料、電介質(zhì)材料或半導(dǎo)體材料作為其一例。
另外，在上述實(shí)施例中，為了簡便，稱為「墨水噴頭」，但是，從該墨水噴頭噴出的噴出物不限于墨水，也可以是例如上述EL發(fā)光材料、二氧化硅玻璃原料、金屬化合物等導(dǎo)電性材料、電介質(zhì)材料或半導(dǎo)體材料等。利用上述實(shí)施例的制造方法制造的液晶裝置、EL裝置可以搭載到例如手機(jī)、便攜式電腦等電子儀器的顯示部。
權(quán)利要求
1.一種將濾光器元件配置到基板上的彩色濾光器的制造方法，其特征在于包括使具有多個(gè)噴嘴排列而成的噴嘴串的噴頭和基板中的一方相對于另一方沿著主掃描方向進(jìn)行主掃描從而將濾光器材料從上述多個(gè)噴嘴向上述基板噴出的第1主掃描工序，和在上述第1主掃描工序之后使上述噴頭和基板中的一方相對于另一方沿著上述主掃描方向進(jìn)行主掃描從而將濾光器材料向上述基板噴出的第2主掃描工序，在上述第2主掃描工序中，對上述第1主掃描工序中上述噴嘴串與上述基板的交叉區(qū)域的一部分進(jìn)行主掃描，以使與上述第1主掃描工序中的這些交叉區(qū)域的至少一部分重疊。
2.按權(quán)利要求1所述的彩色濾光器的制造方法，其特征在于上述第1主掃描工序進(jìn)行多次主掃描，使各上述第1主掃描工序中的上述噴嘴串和上述基板的交叉區(qū)域與其他上述第1主掃描工序中的這些交叉區(qū)域不重疊。
3.按權(quán)利要求2所述的彩色濾光器的制造方法，其特征在于上述第2主掃描工序進(jìn)行多次主掃描，使各上述第2主掃描工序中的上述噴嘴串和上述基板的交叉區(qū)域與其他上述第2主掃描工序中的這些交叉區(qū)域不重疊。
4.按權(quán)利要求1所述的彩色濾光器的制造方法，其特征在于上述噴嘴串假想地分割為多個(gè)組，在上述第2主掃描工序中進(jìn)行主掃描，使上述第1主掃描工序中的各上述組和上述基板的交叉區(qū)域與上述第1主掃描工序中的其他上述組和上述基板的交叉區(qū)域不重疊。
5.按權(quán)利要求1～權(quán)利要求4的任一權(quán)項(xiàng)所述的彩色濾光器的制造方法，其特征在于進(jìn)而包括使上述噴頭和基板中的一方相對于另一方在與上述主掃描方向交叉的方向即副掃描方向進(jìn)行副掃描的副掃描工序，上述噴嘴串相對于上述副掃描方向傾斜地配置。
6.按權(quán)利要求5所述的彩色濾光器的制造方法，其特征在于設(shè)上述噴嘴串的長度為L、上述組的個(gè)數(shù)為n、上述噴嘴串與上述副掃描方向的夾角為θ時(shí)，上述副掃描移動(dòng)量δ為δ≈(L/n)cosθ的整數(shù)倍。
7.按權(quán)利要求1～權(quán)利要求6中的任一權(quán)項(xiàng)所述的彩色濾光器的制造方法，其特征在于控制配置在上述噴嘴串的端部的噴嘴不噴出上述濾光器材料。
8.按權(quán)利要求7所述的彩色濾光器的制造方法，其特征在于設(shè)上述噴嘴串中除了控制為不噴出上述濾光器材料的上述噴嘴以外的部分的長度為L、上述組的個(gè)數(shù)為n、上述噴嘴串與上述副掃描方向的夾角為θ時(shí)，上述副掃描移動(dòng)量δ為δ≈(L/n)cosθ的整數(shù)倍。
9.按權(quán)利要求1～權(quán)利要求8的任一權(quán)項(xiàng)所述的彩色濾光器的制造方法，其特征在于上述第1或上述第2主掃描工序由多個(gè)上述噴頭進(jìn)行，各上述多個(gè)噴頭噴出的濾光器材料分別顏色不同，由上述各噴頭進(jìn)行上述第1或上述第2主掃描工序。
10.按權(quán)利要求1～權(quán)利要求8的任一權(quán)項(xiàng)所述的彩色濾光器的制造方法，其特征在于上述噴頭具有多個(gè)上述噴嘴串，屬于各上述多個(gè)噴嘴串的噴嘴分別噴出不同顏色的濾光器材料。
11.一種將濾光器元件配置到基板上的彩色濾光器的制造裝置，其特征在于具有配置了多個(gè)噴嘴的噴嘴串的噴頭和使上述基板中的一方相對于另一方沿主掃描方向進(jìn)行主掃描的主掃描單元，上述主掃描單元進(jìn)行多次上述主掃描，使各主掃描中上述噴嘴串和上述基板的交叉區(qū)域的一部分與其他主掃描中的這些交叉區(qū)域的至少一部分重疊。
12.一種制造具有將液晶夾在中間的一對基板并在上述一對基板中的一方的基板上形成彩色濾光器的液晶裝置的方法，其特征在于上述彩色濾光器利用權(quán)利要求1～權(quán)利要求8的任一權(quán)項(xiàng)所述的彩色濾光器的制造方法進(jìn)行制造。
13.一種用于制造具有將液晶夾在中間的一對基板并在上述一對基板中的一方的基板上形成彩色濾光器的液晶裝置的液晶裝置的制造裝置，其特征在于具有權(quán)利要求11所述的彩色濾光器的制造裝置。
14.一種制造EL發(fā)光層在基板上排列成點(diǎn)狀的EL裝置的方法，是將EL發(fā)光材料配置到基板上的EL裝置的制造方法，其特征在于包括使具有多個(gè)噴嘴排列而成的噴嘴串的噴頭和基板中的一方相對于另一方沿著主掃描方向進(jìn)行主掃描從而將EL發(fā)光材料從上述多個(gè)噴嘴向上述基板噴出的第1主掃描工序，和使上述噴頭和基板中的一方相對于另一方沿著上述主掃描方向進(jìn)行主掃描從而將EL發(fā)光材料向上述基板噴出的第2主掃描工序，在上述第2主掃描工序中，對上述第1主掃描工序中上述噴嘴串與上述基板的交叉區(qū)域的一部分進(jìn)行主掃描，以使與上述第1主掃描工序中的這些交叉區(qū)域的至少一部分重疊。
15.按權(quán)利要求14所述的EL裝置的制造方法，其特征在于上述第1主掃描工序進(jìn)行多次主掃描，使各上述第1主掃描工序中的上述噴嘴串和上述基板的交叉區(qū)域與其他上述第1主掃描工序中的這些交叉區(qū)域不重疊。
16.按權(quán)利要求15所述的EL裝置的制造方法，其特征在于上述第2主掃描工序進(jìn)行多次主掃描，使各上述第2主掃描工序中的上述噴嘴串和上述基板的交叉區(qū)域與其他上述第2主掃描工序中的這些交叉區(qū)域不重疊。
17.按權(quán)利要求14所述的EL裝置的制造方法，其特征在于上述噴嘴串假想地分割為多個(gè)組，在上述第2主掃描工序中進(jìn)行主掃描，使上述第1主掃描工序中的各上述組和上述基板的交叉區(qū)域與上述第1主掃描工序中的其他上述組和上述基板的交叉區(qū)域不重疊。
18.按權(quán)利要求14～權(quán)利要求17的任一權(quán)項(xiàng)所述的EL裝置的制造方法，其特征在于進(jìn)而包括使上述噴頭和基板中的一方相對于另一方在與上述主掃描方向交叉的方向即副掃描方向進(jìn)行副掃描的副掃描工序，上述噴嘴串相對于上述副掃描方向傾斜地配置。
19.按權(quán)利要求18所述的EL裝置的制造方法，其特征在于設(shè)上述噴嘴串的長度為L、上述組的個(gè)數(shù)為n、上述噴嘴串與上述副掃描方向的夾角為θ時(shí)，上述副掃描移動(dòng)量δ為δ≈(L/n)cosθ的整數(shù)倍。
20.按權(quán)利要求14～權(quán)利要求19中的任一權(quán)項(xiàng)所述的EL裝置的制造方法，其特征在于控制配置在上述噴嘴串的端部的噴嘴不噴出上述EL發(fā)光材料。
21.按權(quán)利要求20所述的EL裝置的制造方法，其特征在于設(shè)上述噴嘴串中除了控制為不噴出上述EL發(fā)光材料的上述噴嘴以外的部分的長度為L、上述組的個(gè)數(shù)為n、上述噴嘴串與上述副掃描方向的夾角為θ時(shí)，上述副掃描移動(dòng)量δ為δ≈(L/n)cosθ的整數(shù)倍。
22.按權(quán)利要求14～權(quán)利要求21的任一權(quán)項(xiàng)所述的EL裝置的制造方法，其特征在于上述第1或上述第2主掃描工序由多個(gè)上述噴頭進(jìn)行，各上述多個(gè)噴頭噴出的EL發(fā)光材料分別顏色不同，由上述各噴頭進(jìn)行上述第1或上述第2主掃描工序。
23.按權(quán)利要求14～權(quán)利要求21的任一權(quán)項(xiàng)所述的EL裝置的制造方法，其特征在于上述噴頭具有多個(gè)上述噴嘴串，屬于各上述多個(gè)噴嘴串的噴嘴分別噴出不同顏色的EL發(fā)光材料。
24.一種將EL發(fā)光層配置到基板上的EL裝置的制造裝置，其特征在于具有配置了多個(gè)噴嘴的噴嘴串的噴頭和使上述基板中的一方相對于另一方沿主掃描方向進(jìn)行主掃描的主掃描單元，上述主掃描單元進(jìn)行多次上述主掃描，使各主掃描中上述噴嘴串和上述基板的交叉區(qū)域的一部分與其他主掃描中的這些交叉區(qū)域的至少一部分重疊。
25.一種向?qū)ο笪飮姵霾牧系牟牧系膰姵龇椒?，其特征在于包括使具有多個(gè)噴嘴排列而成的噴嘴串的噴頭和基板中的一方相對于另一方沿著主掃描方向進(jìn)行主掃描從而將材料從上述多個(gè)噴嘴向上述對象物噴出的第1主掃描工序，和使上述噴頭和對象物中的一方相對于另一方沿著上述主掃描方向進(jìn)行主掃描從而將材料向上述對象物噴出的第2主掃描工序，在上述第2主掃描工序中，對上述第1主掃描工序中上述噴嘴串與上述基板的交叉區(qū)域的一部分進(jìn)行主掃描，以使與上述第1主掃描工序中的這些交叉區(qū)域的至少一部分重疊。
26.按權(quán)利要求25所述的材料的噴出方法，其特征在于上述第1主掃描工序進(jìn)行多次主掃描，使各上述第1主掃描工序中的上述噴嘴串和上述基板的交叉區(qū)域與其他上述第1主掃描工序中的這些交叉區(qū)域不重疊。
27.按權(quán)利要求26所述的材料的噴出方法，其特征在于上述第2主掃描工序進(jìn)行多次主掃描，使各上述第2主掃描工序中的上述噴嘴串和上述基板的交叉區(qū)域與其他上述第2主掃描工序中的這些交叉區(qū)域不重疊。
28.按權(quán)利要求25所述的材料的噴出方法，其特征在于上述噴嘴串假想地分割為多個(gè)組，在上述第2主掃描工序中進(jìn)行主掃描，使上述第1主掃描工序中的各上述組和上述基板的交叉區(qū)域與上述第1主掃描工序中的其他上述組和上述基板的交叉區(qū)域不重疊。
29.按權(quán)利要求25～權(quán)利要求28的任一權(quán)項(xiàng)所述的材料的噴出方法，其特征在于進(jìn)而包括使上述噴頭和基板中的一方相對于另一方在與上述主掃描方向交叉的方向即副掃描方向進(jìn)行副掃描的副掃描工序，上述噴嘴串相對于上述副掃描方向傾斜地配置。
30.按權(quán)利要求29所述的材料的噴出方法，其特征在于設(shè)上述噴嘴串的長度為L、上述組的個(gè)數(shù)為n、上述噴嘴串與上述副掃描方向的夾角為θ時(shí)，上述副掃描移動(dòng)量δ為δ≈(L/n)cosθ的整數(shù)倍。
31.按權(quán)利要求25～權(quán)利要求30中的任一權(quán)項(xiàng)所述的材料的噴出方法，其特征在于控制配置在上述噴嘴串的端部的噴嘴不噴出上述材料。
32.按權(quán)利要求31所述的材料的噴出方法，其特征在于設(shè)上述噴嘴串中除了控制為不噴出上述材料的上述噴嘴以外的部分的長度為L、上述組的個(gè)數(shù)為n、上述噴嘴串與上述副掃描方向的夾角為θ時(shí)，上述副掃描移動(dòng)量δ為δ ≈(L/n)cosθ的整數(shù)倍。
33.按權(quán)利要求25～權(quán)利要求32的任一權(quán)項(xiàng)所述的材料的噴出方法，其特征在于上述第1或上述第2主掃描工序由多個(gè)上述噴頭進(jìn)行，各上述多個(gè)噴頭噴出的材料各不相同，由上述各噴頭進(jìn)行上述第1或上述第2主掃描工序。
34.按權(quán)利要求25～權(quán)利要求32的任一權(quán)項(xiàng)所述的材料的噴出方法，其特征在于上述噴頭具有多個(gè)上述噴嘴串，屬于各上述多個(gè)噴嘴串的噴嘴分別噴出各不相同的材料。
35.一種向?qū)ο笪锷蠂姵霾牧系膰婎^的控制裝置，其特征在于具有使上述基板中的一方相對于另一方沿主掃描方向進(jìn)行主掃描的主掃描元件，上述主掃描元件進(jìn)行多次主掃描，使各主掃描中上述噴嘴串和上述基板的交叉區(qū)域的一部分與其他主掃描中的這些交叉區(qū)域的至少一部分重疊。
36.電子儀器的特征在于具有利用權(quán)利要求13所述的方法制造的液晶裝置作為顯示部。
37.電子儀器的特征在于具有利用權(quán)利要求14～ 24中的任一權(quán)項(xiàng)所述的方法制造的EL裝置作為顯示部。
38.電子儀器的特征在于搭載了使用權(quán)利要求25～權(quán)利要求34所述的材料的噴出方法制造的部件。
全文摘要
使彩色濾光器的光透過特性、液晶裝置的彩色顯示特性、EL發(fā)光面的發(fā)光特性等這樣的光學(xué)部件的光學(xué)特性在平面上是均勻的。利用具有將多個(gè)噴嘴27排列成列狀而成的噴嘴串28的噴頭22在基板12的彩色濾光器形成區(qū)域11中向X方向進(jìn)行主掃描,從多個(gè)噴嘴27有選擇地向排列成點(diǎn)矩陣狀的濾光器元件區(qū)域7噴出濾光器材料,形成濾光器元件3,從而制造彩色濾光器。開始時(shí),通過使噴嘴串28在“a”、“b”位置向X方向進(jìn)行主掃描,提高區(qū)域11的表面的濕潤性,然后,通過使噴嘴串28順序副掃描到“c”～“k”位置,并在各個(gè)位置進(jìn)行主掃描,向區(qū)域11的相同的部分重疊地進(jìn)行墨水噴出。
文檔編號(hào)B41J2/14GK1366205SQ01143359
公開日2002年8月28日 申請日期2001年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2000年12月21日
發(fā)明者川瀨智己, 有賀久, 片上悟, 清水政春, 木口浩史 申請人:精工愛普生株式會(huì)社