專利名稱：噴墨打印頭、噴嘴片及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種噴墨打印頭、該噴墨打印頭的噴嘴片以及該噴嘴片的制造方法，特別涉及可以減少降低圖像質(zhì)量的因素從而提高打印質(zhì)量的一種噴墨打印頭、噴嘴片以及該噴嘴片的制作方法。
目前，打印機(jī)大量用于在紙張這樣的對象上打印各種信息，在打印機(jī)中，從高速打印和低噪聲等觀點(diǎn)來看，通過把來自噴嘴的墨滴釋放到對象上而進(jìn)行打印的噴墨打印機(jī)被認(rèn)為是有利的。
噴墨打印機(jī)包括把墨滴釋放到例如紙張這樣的對象上的噴墨打印頭。普通類型的彩色噴墨打印頭包括四種公共的墨水通道(其提供相應(yīng)的每種CMYK(Cyan青，Magenta品紅，Yellow黃，blacK黑)顏色)，用于從相應(yīng)的墨盒向噴墨打印頭提供墨水；四個(gè)墨池(提供相應(yīng)四種顏色中的每一種)，其中分別填充有來自相應(yīng)顏色的公共墨水通道的墨水；噴墨孔，其作為噴墨片上的開孔，從該開孔把(相應(yīng)顏色)的墨水釋放到紙張這樣的對象上；以及壓力室(其對應(yīng)于每個(gè)噴墨孔)，通過壓電元件等施加壓力，以使得存儲(chǔ)在墨水池中的墨水釋放出來。
如日本專利第HEI 4-182134號中所公開的，常規(guī)的噴墨打印頭的噴嘴片以前是通過電解電鍍鑄造的方法而形成。在噴嘴片的形成中，通常使用由金屬片所制成的基片，并且通過利用光刻膠在基片上構(gòu)圖成噴嘴部分。在通過利用光刻膠構(gòu)圖的該金屬基片上，進(jìn)行鎳的電解淀積，從而形成用于形成噴嘴片的鎳層。然后，由鎳層所制成的噴嘴片被從金屬基片上除去，從而完成該噴嘴片。
作為用于噴嘴片的材料，使用金屬(SUS(不銹鋼)、鎳，等等)、塑料(聚合物、PES(聚醚磺基)，等等)等等。在噴嘴片中噴嘴孔的形成通?？梢酝ㄟ^電鑄、蝕刻、沖壓加工、準(zhǔn)分子激光加工等方法進(jìn)行。


圖1為示出利用電鑄的噴嘴片的常規(guī)制造方法的一個(gè)實(shí)例的截面視圖。光刻膠10覆蓋在由不銹鋼這樣的金屬所形成的基片9上，然后通過利用掩膜和顯影執(zhí)行曝光，從而在基片9上形成光刻膠圖案。然后，把一種金屬電解淀積到基片9的暴露表面上。當(dāng)電解淀積金屬層的厚度到達(dá)預(yù)定厚度時(shí)，該電解淀積金屬層(即，噴嘴片21)被從基片9上除去，從而完成噴嘴片21。
但是，通過電鑄方法形成的每個(gè)噴嘴孔1的形狀受到光刻膠10的覆蓋狀態(tài)、通過曝光和顯影方法構(gòu)圖的精度、以及掩膜的精度和使用壽命等等所影響。因此，噴嘴孔1的直徑、圓度等等根據(jù)上述條件而變化。
由于噴嘴孔1的直徑、圓度等等變化，從噴嘴孔1釋放的墨滴的直徑和速度必然發(fā)生變化，從而打印圖像的質(zhì)量下降。由于噴嘴孔1的圓度較差使得墨滴釋放的方向的一致性也變差，從而圖像質(zhì)量進(jìn)一步下降。
另外，由于用于噴嘴片21的構(gòu)圖的光刻膠10具有特定的厚度，因此必然在噴嘴片21上形成凹陷部分。如圖1的(C)所示，凹陷部分形成在噴嘴孔1周圍。由于噴嘴孔1周圍的凹陷部分，使得在噴墨打印機(jī)的刷新(清理)操作中通過利用刮刀清除噴嘴孔1周圍的墨水變得困難。
圖2A和2B為示出在通過利用上述常規(guī)制造方法所制造的常規(guī)噴墨打印頭(或者常規(guī)噴嘴片)的情況中的刮刀刮擦操作的截面視圖。參照圖2A和2B，當(dāng)刮刀30從左移到右(如箭頭所示)用于刮擦噴嘴片時(shí)，刮刀30不能夠正確地接觸噴嘴孔1周圍的凹陷表面，因此不能夠良好地清除噴嘴孔周圍的墨水，從而保留在噴嘴孔1周圍的墨水可能在墨滴釋放時(shí)造成問題。
因此本發(fā)明的主要目的是提供一種噴墨打印頭、噴墨打印頭的噴嘴片以及該噴嘴片的制造方法，從而通過電鑄形成的噴嘴孔的尺寸精度可以增加并且打印質(zhì)量可以提高。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種噴墨打印頭、噴墨打印頭的噴嘴片以及該噴嘴片的制造方法，從而可以保證通過刮擦操作清除噴嘴孔周圍的墨水，可以減小在墨滴直徑、墨滴速度和墨滴釋放方向中的變化，從而可以低成本地實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量打印。
根據(jù)本發(fā)明第一方面，在此提供一種具有噴嘴孔的噴嘴片，其用于噴墨打印頭，用于通過壓電元件的電致伸縮和由于壓電元件的電致伸縮在壓力室中產(chǎn)生的壓力波而從噴嘴孔釋放墨滴。在噴嘴片中，形成面向墨滴釋放方向的噴嘴片的表面使得每個(gè)噴嘴孔周圍的表面部分相對于其它部分向墨滴釋放方向凸出。
根據(jù)本發(fā)明第二方面，在第一方面中，表面的每個(gè)凸出部分形成為與相應(yīng)噴嘴孔同心的圓形形狀。
根據(jù)本發(fā)明第三方面，在第一方面中，凸出部分的高度被設(shè)置在5μm和100μm之間。
根據(jù)本發(fā)明第四方面，在第二方面中，每個(gè)凸出部分被形成為使得其外邊緣具有適當(dāng)?shù)男倍取?br> 根據(jù)本發(fā)明第五方面，在第四方面中，凸出部分的外邊緣相對于墨水釋放方向的斜度被設(shè)置在10度和50度之間。
根據(jù)本發(fā)明第六方面，在第一方面中，凸出部分和噴嘴孔是通過電鑄方法形成的。
根據(jù)本發(fā)明第七方面，在第六方面中，噴嘴片是由鎳形成的。
根據(jù)本發(fā)明第八方面，在第六方面中，噴嘴片是由鎳和鈷的合金形成的。
根據(jù)本發(fā)明第九方面，在此提供一種具有噴嘴孔的噴嘴片的制造方法，該噴嘴片用于噴墨打印頭，用于通過壓電元件的電致伸縮和由于壓電元件的電致伸縮在壓力室中產(chǎn)生的壓力波而從噴嘴孔釋放墨滴。該制造方法包括基片形成步驟、電解淀積步驟和除去步驟。在基片形成步驟中，在由電絕緣材料所制成的基底上表面上形成基片，避開要形成噴嘴的基底上表面部分。在電解淀積步驟中，利用在基片形成步驟中形成的基片作為種子層，把金屬層電解淀積到預(yù)定的厚度。在除去步驟中，當(dāng)電解淀積金屬層的厚度到達(dá)預(yù)定厚度之后，已經(jīng)在電解淀積步驟中電解淀積的作為噴嘴片的金屬層被從基底上除去。
根據(jù)本發(fā)明第十方面，在第九方面中，形成面向墨滴釋放方向的噴嘴片的表面使得每個(gè)噴嘴孔周圍的表面部分相對于其它部分向墨滴釋放方向凸出。
根據(jù)本發(fā)明第十一方面，在第十方面中，表面的每個(gè)凸出部分形成為與相應(yīng)噴嘴孔同心的圓形形狀。
根據(jù)本發(fā)明第十二方面，在第十方面中，凸出部分的高度被設(shè)置在5μm和100μm之間。
根據(jù)本發(fā)明第十三方面，在第十一方面中，每個(gè)凸出部分被形成為使得其外邊緣具有適當(dāng)?shù)男倍取?br> 根據(jù)本發(fā)明第十四方面，在第十三方面中，凸出部分的外邊緣相對于墨水釋放方向的斜度被設(shè)置在10度和50度之間。
根據(jù)本發(fā)明第十五方面，在第九方面中，在電解淀積步驟中電解淀積的金屬層是由鎳形成的。
根據(jù)本發(fā)明第十六方面，在第九方面中，在電解淀積步驟中電解淀積的金屬層是由鎳和鈷的合金形成的。
根據(jù)本發(fā)明第十七方面，在此提供一種噴墨打印頭，用于通過壓電元件的電致伸縮和由于壓電元件的電致伸縮在壓力室中產(chǎn)生的壓力波而從噴嘴孔釋放墨滴。該噴墨打印頭包括具有噴嘴孔的噴嘴片，它是通過如下步驟制成的在由電絕緣材料所制成的基底上表面上形成基片，避開要形成噴嘴的基底上表面部分；利用基片作為種子層，把金屬層電解淀積到預(yù)定的厚度；以及當(dāng)電解淀積金屬層的厚度到達(dá)預(yù)定厚度之后，從基底上除去已經(jīng)在電解淀積步驟中電解淀積的作為噴嘴片的金屬層。
根據(jù)本發(fā)明第十八方面，在第七方面中，形成面向墨滴釋放方向的噴嘴片的表面使得每個(gè)噴嘴孔周圍的表面部分相對于其它部分向墨滴釋放方向凸出。
根據(jù)本發(fā)明第十九方面，在第十八方面中，表面的每個(gè)凸出部分形成為與相應(yīng)噴嘴孔同心的圓形形狀。
根據(jù)本發(fā)明第二十方面，在第十八方面中，凸出部分的高度被設(shè)置在5μm和100μm之間。
根據(jù)本發(fā)明第二十一方面，在第十九方面中，每個(gè)凸出部分被形成為使得其外邊緣具有適當(dāng)?shù)男倍取?br> 根據(jù)本發(fā)明第二十二方面，在第二十一方面中，凸出部分的外邊緣相對于墨水釋放方向的斜度被設(shè)置在10度和50度之間。
根據(jù)本發(fā)明第二十三方面，在第十七方面中，該金屬層是由鎳形成的。
根據(jù)本發(fā)明第二十四方面，在第十七方面中，該金屬層是由鎳和鈷的合金形成的。
從下文結(jié)合附圖的具體描述中本發(fā)明的目的和特點(diǎn)將變得更加清楚，其中圖1為示出通過電鑄形成的噴嘴片的常規(guī)制造方法的一個(gè)實(shí)例的截面視圖；圖2A和2B為示出用刮刀刮擦通過常規(guī)制造方法制造的常規(guī)噴墨打印頭(或常規(guī)噴嘴片)的操作的截面視圖；圖3為用于說明根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的噴墨打印頭的組成的截面視圖；圖4為示出當(dāng)噴墨打印頭的振動(dòng)片形變時(shí)圖3的噴墨打印頭的狀態(tài)的截面視圖；圖5為示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的噴墨打印頭的頭部單元的組成的示意圖；圖6為示出圖5中所示的多層片組件的組成的示意圖；圖7為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的噴嘴片的制造方法的截面視圖；圖8為示出圖7的噴嘴片在噴嘴孔周圍的具體結(jié)構(gòu)的示意圖；以及圖9A和9B為示出用刮刀刮擦通過本發(fā)明實(shí)施例的制造方法制造的噴嘴片的操作的截面視圖。
現(xiàn)在參照附圖，具體描述根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
圖3為用于說明根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的噴墨打印頭的組成的截面視圖。圖3中所示的噴墨打印頭包括噴嘴孔1、減振室2、墨水池3、供墨孔4、壓力室5、振動(dòng)片6和壓電元件7。提供減振室2和墨水池3對應(yīng)于每種顏色。因此，在彩色噴墨打印頭使用四種顏色(例如CMYK(Cyan青，Magenta品紅，Yellow黃，blacK黑))的情況下，提供四個(gè)減振室2和四個(gè)墨水池3。提供對應(yīng)于每個(gè)噴嘴孔1的供墨孔4、壓力室5和壓電元件7。
墨水池3是填充有一種顏色(例如青、品紅、黃、黑)的墨水的腔體，該墨水從對應(yīng)該顏色的未示出墨水槽(墨盒)提供。噴嘴孔1是一個(gè)把墨水釋放到紙張這樣的對象上的開孔。提供減振室2(對應(yīng)于每種顏色)，以消除噴嘴之間的聲音串?dāng)_。形成幾乎與墨水池3相同形狀而沒有填充墨水的減振室2。
供墨孔4(對應(yīng)于噴嘴孔1)形成在墨水池3之上，以便連接墨水池3和對應(yīng)于噴嘴孔1的壓力室5。
振動(dòng)片6是部分根據(jù)壓電元件7的形變(電致伸縮)而形變的薄片。當(dāng)電信號提供到壓電元件7并且從而壓電元件7形變時(shí)，振動(dòng)片6的相應(yīng)部分形變，從而相應(yīng)的壓力室5的體積(容積)改變。由于壓力室5的體積改變，壓力波被傳送到噴嘴孔1，從而在壓力室5中的墨水被作為墨滴釋放到例如紙張這樣的對象上。
圖4為示出當(dāng)振動(dòng)片6形變時(shí)圖3的噴墨打印頭的狀態(tài)的截面視圖。參照圖4，振動(dòng)片6由于壓電元件7的電致伸縮而向內(nèi)形變，從而壓力室5的體積快速減小。由于壓力室5的體積快速減小，壓力波被傳送到噴嘴孔1，從而使墨滴從噴嘴孔1釋放。
圖5為示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施的噴墨打印頭的頭部單元的組成的示意圖。圖5中所示的頭部單元包括壓電元件7(壓電元件單元)、多層片組件11、噴嘴蓋12、打印頭驅(qū)動(dòng)電路板13、電纜14、打印頭殼體15、接頭16、連接板17、和打印頭蓋18。
圖6為示出圖5中所示的多層片組件11的組成的示意圖。圖6所示的多層片組件11包括其上形成有噴嘴孔1的噴嘴片21、形成有減振室2(對應(yīng)于不同顏色)的減振片22、形成有墨水池3(對應(yīng)于不同顏色)的墨池片23、形成有供墨孔4(對應(yīng)于噴嘴孔1)的供墨片24、形成有壓力室5(對應(yīng)于噴嘴孔1)的壓力室片25、振動(dòng)片6以及壓電元件單元(壓電元件7)。
在本實(shí)施例的噴墨打印頭的頭部單元中，一種顏色的墨水從未示出的墨水槽(墨盒)通過由接頭16和打印頭殼體15所提供的公共墨水通道提供到對應(yīng)于該顏色的一個(gè)墨水池3，從而填充到該墨水池3中。在墨水池3之上，對應(yīng)于噴嘴孔1的供墨孔4形成在供墨片24上面。對應(yīng)于每個(gè)供墨孔4，提供用于釋放墨滴的壓力室5和噴嘴孔1。噴嘴孔1被形成為在墨水釋放方向上通過噴嘴片21。在墨水池3和噴嘴片21之間，具有與墨水池3幾乎相同形狀的減振室2(其中沒有填充墨水)形成在減振片22上，以消除噴嘴之間的聲音串?dāng)_。形成在壓力室片25上的壓力室5被振動(dòng)片6所覆蓋，并且壓電元件單元(壓電元件7)附著到振動(dòng)片6上。
可以使用不銹鋼、鎳等制成的金屬片作為這些薄片(噴嘴片21、減振片22、墨池片23、供墨片24、壓力室片25和振動(dòng)片6)，并且通過蝕刻、電鑄等方法在這些薄片上形成凹陷和開孔(例如噴嘴孔1)。
還可以通過所謂的干膜形成這些薄片。在這種情況下，在薄片上的凹陷和開孔的形成可以通過光刻(曝光和顯影)方法而構(gòu)圖。
這些薄片相互層疊并結(jié)合，從而形成多層片組件11。該薄片的結(jié)合可以通過利用環(huán)氧樹脂粘合劑、干膜等等粘合以及熱擴(kuò)散結(jié)合等等方法實(shí)現(xiàn)。
還可以通過PPE(聚苯醚)、PES(聚醚磺基)等等的塑料成形方法把墨池片23、供墨片24和壓力室片25形成為一片。
當(dāng)本實(shí)施例的噴墨打印頭安裝在噴墨打印機(jī)中時(shí)，連接電纜14的打印頭驅(qū)動(dòng)電路板13通過回流焊接方法附著到多層片組件11的壓電元件單元(壓電元件7)上。多層片組件11和接頭16附著到打印頭殼體15上。連接電纜14的連接板17存放在打印頭蓋18中，并且打印頭蓋18附著到打印頭殼體15上。
如上文所述，用于從未示出的墨水槽(用于不同顏色的墨盒)提供墨水的公共墨水通道(對應(yīng)于不同顏色)通過接頭16和打印頭殼體15形成。接頭16和打印頭殼體15通過PPE、PES等等的塑料成形而形成。
在多層片組件11的噴嘴片21的下表面上，附著有噴嘴蓋12，以在卡紙等情況中保護(hù)噴嘴片21。噴嘴蓋12例如由不銹鋼所制成，并且通過沖壓加工而形成。包含如上文所述組成的頭部單元的噴墨打印頭被安裝在噴墨打印機(jī)中。
圖7為示出根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的噴嘴片的制造方法的截面視圖。圖7還示出根據(jù)本發(fā)明的噴嘴片的區(qū)別特征。
參照圖7(A)，電絕緣材料8被用作為基底，并且通過蝕刻等方法在電絕緣材料8的上表面上構(gòu)圖形成薄基片9。然后，如圖7(B)所示，在基片9上進(jìn)行電解淀積，直到電解淀積金屬層的厚度到達(dá)預(yù)定厚度。然后，如圖7(C)所示從基底(電絕緣材料8)除去電解淀積金屬層(即，噴嘴片21)。電解淀積金屬層(噴嘴片21)最好由鎳、鎳和鈷的合金等等所形成，但是，如果可能的話也可以改變噴嘴片21的材料。
圖8為示出圖7的噴嘴片21在噴嘴孔1周圍的具體結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖8中所示，在通過圖7的制造方法所制造的噴嘴片21的下表面上，在噴嘴孔1周圍形成凸起部分40。凸起部分40的高度幾乎與用于形成噴嘴片21的基片9的厚度相同。在圖7的凸起的制造方法中，凸起部分40形成為與噴嘴孔1同心的圓形形狀，并且圓形凸起部分40的外邊緣41被形成為具有適當(dāng)?shù)男倍?。從通過電鑄方法形成凸起部分40的角度來看，圓形凸起部分40的外邊緣41相對于面向墨滴釋放方向的噴嘴片(21)的表面的斜度最好設(shè)置在100度和140度之間(即，相對于墨滴釋放方向在10度和50度之間)。從用于形成噴嘴片21的基片9的厚度和尺寸(厚度)精度的角度來看，凸起部分40的高度最好設(shè)置在5-100μm之間。
圖9A和9B為示出刮刀刮擦通過利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的制造方法所制造的噴嘴片21的操作的截面視圖。參照圖9A，當(dāng)刮刀30從左移到右(如箭頭所示)用于刮擦噴嘴片21時(shí)，刮刀30的邊緣與噴嘴孔1周圍的噴嘴片21的凸起表面(凸起部分40)良好接觸，從而噴嘴孔1周圍的墨水可以被良好地清除。刮刀30與噴嘴片21的凸起部分40之間的接觸也在圖9B中示出。由于本發(fā)明實(shí)施例的噴嘴片21的結(jié)構(gòu)通過改進(jìn)刮刀30的清理能力，可以消除由于保留在噴嘴孔1周圍的墨水所造成噴墨打印頭的墨滴釋放性能下降，并且從而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量打印。凸起部分40的外邊緣41的適當(dāng)斜度有助于刮刀30和凸起部分40之間的接觸，如圖9A中所示，從而近一步提高刮刀30的清理能力。另外，通過外邊緣的適當(dāng)斜度減小刮刀30的磨損，從而延長刮刀30的使用壽命。
如上文所述，在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的噴墨打印頭、噴墨打印頭的噴嘴片以及噴嘴片的制造方法中，形成面向墨滴釋放方向的噴嘴片21表面，使得每個(gè)噴嘴孔1周圍的表面的部分40相對于其它部分在墨滴釋放方向上凸出。因此，刮刀30可以更好地與噴嘴孔1周圍的噴嘴片21的表面(凸起部分40)相接觸，并且噴嘴孔1周圍的墨水可以在刮擦操作中成功地擦除，從而噴墨打印頭的墨滴釋放特性可以保持穩(wěn)定并得到提高。
在優(yōu)選實(shí)施例中，每個(gè)凸起部分40形成為與相應(yīng)噴嘴孔1同心的圓形，并且凸起部分40的外邊緣41形成為具有適當(dāng)斜度。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，這種噴嘴片21的結(jié)構(gòu)是通過電解淀積工藝實(shí)現(xiàn)的，從而可以保證刮刀30與凸起部分40之間的良好接觸，從而保證本發(fā)明的上述效果。凸起部分40的外邊緣41還延長了刮刀30的使用壽命。
本實(shí)施例的噴嘴片21的凸起部分40和噴嘴孔1是通過電鑄方法形成的，而不使用光刻膠。因此，噴嘴孔1的形狀不受到光刻膠的覆蓋狀態(tài)、用于曝光和顯影的構(gòu)案的精度、掩膜的精度和使用壽命等等因素所影響。因此，可以提高噴嘴孔1的尺寸精度(直徑、圓度等等)，可以提高噴墨打印頭的成品率，可以減小制造成本，并且可以實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量打印。
盡管本發(fā)明已經(jīng)參照特定端實(shí)施例進(jìn)行描述，但是它不限于這些實(shí)施例而僅由所附權(quán)利要求限制。應(yīng)當(dāng)知道，本領(lǐng)域內(nèi)的專業(yè)人員可以改變或改動(dòng)該實(shí)施例而不脫離本發(fā)明的范圍和精神。
權(quán)利要求
1．一種具有噴嘴孔的噴嘴片，其用于噴墨打印頭，用于通過壓電元件的電致伸縮和由于壓電元件的電致伸縮在壓力室中產(chǎn)生的壓力波而從噴嘴孔釋放墨滴，其中形成面向墨滴釋放方向的噴嘴片的表面使得每個(gè)噴嘴孔周圍的表面部分相對于其它部分向墨滴釋放方向凸出。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴片，其特征在于，表面的每個(gè)凸出部分形成為與相應(yīng)噴嘴孔同心的圓形形狀。
3．根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴片，其特征在于，凸出部分的高度被設(shè)置在5μm和100μm之間。
4．根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴嘴片，其特征在于，每個(gè)凸出部分被形成為使得其外邊緣具有適當(dāng)?shù)男倍取?br> 5．根據(jù)權(quán)利要求4所述的噴嘴片，其特征在于，凸出部分的外邊緣相對于墨水釋放方向的斜度被設(shè)置在10度和50度之間。
6．根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴片，其特征在于，凸出部分和噴嘴孔是通過電鑄方法形成的。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴嘴片，其特征在于，噴嘴片是由鎳形成的。
8．根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴嘴片，其特征在于，噴嘴片是由鎳和鈷的合金形成的。
9．一種具有噴嘴孔的噴嘴片的制造方法，該噴嘴片用于噴墨打印頭，用于通過壓電元件的電致伸縮和由于壓電元件的電致伸縮在壓力室中產(chǎn)生的壓力波而從噴嘴孔釋放墨滴，該制造方法包括如下步驟基片形成步驟，其中在由電絕緣材料所制成的基底上表面上形成基片，避開要形成噴嘴的基底上表面部分；電解淀積步驟，其中利用在基片形成步驟中形成的基片作為種子層，把金屬層電解淀積到預(yù)定的厚度；除去步驟，其中當(dāng)電解淀積金屬層的厚度到達(dá)預(yù)定厚度之后，已經(jīng)在電解淀積步驟中電解淀積的作為噴嘴片的金屬層被從基底上除去。
10．根據(jù)權(quán)利要求9所述的噴嘴片制造方法，其特征在于，形成面向墨滴釋放方向的噴嘴片的表面使得每個(gè)噴嘴孔周圍的表面部分相對于其它部分向墨滴釋放方向凸出。
11．根據(jù)權(quán)利要求10所述的噴嘴片制造方法，其特征在于，表面的每個(gè)凸出部分形成為與相應(yīng)噴嘴孔同心的圓形形狀。
12．根據(jù)權(quán)利要求10所述的噴嘴片制造方法，其特征在于，凸出部分的高度被設(shè)置在5μm和100μm之間。
13．根據(jù)權(quán)利要求11所述的噴嘴片制造方法，其特征在于，每個(gè)凸出部分被形成為使得其外邊緣具有適當(dāng)?shù)男倍取?br> 14．根據(jù)權(quán)利要求13所述的噴嘴片制造方法，其特征在于，凸出部分的外邊緣相對于墨水釋放方向的斜度被設(shè)置在10度和50度之間。
15．根據(jù)權(quán)利要求9所述的噴嘴片制造方法，其特征在于，在電解淀積步驟中電解淀積的金屬層是由鎳形成的。
16．根據(jù)權(quán)利要求9所述的噴嘴片制造方法，其特征在于，在電解淀積步驟中電解淀積的金屬層是由鎳和鈷的合金形成的。
17．一種噴墨打印頭，用于通過壓電元件的電致伸縮和由于壓電元件的電致伸縮在壓力室中產(chǎn)生的壓力波而從噴嘴孔釋放墨滴，其特征在于該噴墨打印頭包括具有噴嘴孔的噴嘴片，它是通過如下步驟制成的在由電絕緣材料所制成的基底上表面上形成基片，避開要形成噴嘴的基底上表面部分；利用基片作為種子層，把金屬層電解淀積到預(yù)定的厚度；以及當(dāng)電解淀積金屬層的厚度到達(dá)預(yù)定厚度之后，從基底上除去已經(jīng)在電解淀積步驟中電解淀積的作為噴嘴片的金屬層。
18．根據(jù)權(quán)利要求17所述的噴墨打印頭，其特征在于，形成面向墨滴釋放方向的噴嘴片的表面使得每個(gè)噴嘴孔周圍的表面部分相對于其它部分向墨滴釋放方向凸出。
19．根據(jù)權(quán)利要求18所述的噴墨打印頭，其特征在于，表面的每個(gè)凸出部分形成為與相應(yīng)噴嘴孔同心的圓形形狀。
20．根據(jù)權(quán)利要求18所述的噴墨打印頭，其特征在于，凸出部分的高度被設(shè)置在5μm和100μm之間。
21．根據(jù)權(quán)利要求19所述的噴墨打印頭，其特征在于，每個(gè)凸出部分被形成為使得其外邊緣具有適當(dāng)?shù)男倍取?br> 22．根據(jù)權(quán)利要求21所述的噴墨打印頭，其特征在于，凸出部分的外邊緣相對于墨水釋放方向的斜度被設(shè)置在10度和50度之間。
23．根據(jù)權(quán)利要求17所述的噴墨打印頭，其特征在于，該金屬層是由鎳形成的。
24．根據(jù)權(quán)利要求17所述的噴墨打印頭，其特征在于，該金屬層是由鎳和鈷的合金形成的。
全文摘要
一種噴墨打印頭的噴嘴片形成為使其面向墨滴釋放方向的表面具有在每個(gè)噴嘴孔周圍向墨滴釋放方向凸出的部分。每個(gè)凸出部分形成為與相應(yīng)噴嘴孔同心的圓形形狀,并且其外邊緣具有適當(dāng)?shù)男倍取Ｓ捎谶@種噴嘴片的結(jié)構(gòu)使得刮刀可以與噴嘴片的表面(凸出部分)良好接觸,噴嘴孔周圍的墨水可以在刮擦操作中成功地清理,從而噴墨打印頭的墨滴釋放特性可以保持穩(wěn)定。這種噴嘴片是通過電解淀積實(shí)現(xiàn)而不使用光刻膠。因此提高噴嘴孔的尺寸精度。
文檔編號B41J2/055GK1293113SQ001301
公開日2001年5月2日 申請日期2000年10月18日 優(yōu)先權(quán)日1999年10月19日
發(fā)明者佐藤伸 申請人:日本電氣株式會(huì)社