專(zhuān)利名稱(chēng)：薄片積層體的制造方法及薄片積層體的制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)積層芯片電容器、積層芯片電感器等的陶瓷綠帶進(jìn)行積層制成積層型的電子部件的制造方法，及使用該制造方法的制造裝置。
背景技術(shù)：
積層型的電子部件中最具有代表性的例子——積層陶瓷電容器，是將通過(guò)積層印有內(nèi)部電極圖案的綠帶制成的薄片積層體切成芯片狀，讓內(nèi)部電極露出在端面外，然后通過(guò)燒結(jié)制造的。在這種積層陶瓷電容器的制造中，在積層印有內(nèi)部電極的綠帶時(shí)，如果印刷的內(nèi)部電極的位置發(fā)生偏離，積層陶瓷電容器取得的靜電容量就會(huì)不穩(wěn)定。因此，作為防止綠帶積層時(shí)發(fā)生位置偏離的方法，歷來(lái)采用在綠帶穿孔工序中穿設(shè)定位孔，以該定位孔為基準(zhǔn)進(jìn)行印刷，在定位孔插入導(dǎo)電銷(xiāo)，同時(shí)積層各綠帶的方法，或者采用如專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的，通過(guò)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志識(shí)別裝置識(shí)別預(yù)先安裝在綠帶上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志的位置，再根據(jù)該位置信息起動(dòng)對(duì)準(zhǔn)裝置，給各綠帶定位的方法。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)平03-142910號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的課題但是，向綠帶中穿設(shè)的定位孔中插入導(dǎo)電銷(xiāo)同時(shí)積層各薄片的方法，由于定位孔和印刷位置經(jīng)常發(fā)生偏離，定位孔必須一定程度上比銷(xiāo)大，因此不能進(jìn)行高精度的定位。另一方面，利用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志識(shí)別裝置和對(duì)準(zhǔn)裝置定位各薄片的方法，需要在同一個(gè)積層裝置內(nèi)，進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志的識(shí)別，進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，進(jìn)行綠帶積層等多個(gè)動(dòng)作，所以不能在短時(shí)間內(nèi)形成薄片積層體，積層裝置變得復(fù)雜，保養(yǎng)維護(hù)也變難，有很多不足的地方。
本發(fā)明的目的是提供一種解決上述現(xiàn)有的薄片積層體的制造方法的問(wèn)題，在能高精度定位各個(gè)薄片的基礎(chǔ)上，短時(shí)間內(nèi)高效率地制成薄片積層體的薄片積層體的制造方法。此外，還提供一種能這樣高效率地制造薄片積層體的薄片積層體的制造裝置。
課題的解決方案在本發(fā)明中，權(quán)利要求1所述的發(fā)明構(gòu)成是，一種由多個(gè)陶瓷薄片積層而成的薄片積層體的制造方法，其中將薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上識(shí)別薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置，再根據(jù)該位置信息定位薄片，之后，將下一個(gè)薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位該薄片后，積層到先定位的薄片的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后，將臨時(shí)接合的薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上加熱臨時(shí)接合狀態(tài)的薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，在積層臺(tái)上熱壓接薄片的期間，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位下一個(gè)薄片的位置，之后將定位的薄片積層到先熱壓接的薄片上的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后，將臨時(shí)接合的薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)進(jìn)行熱壓接，之后反復(fù)進(jìn)行這些操作，熱壓接多個(gè)薄片，制造積層為一體的薄片積層體。
權(quán)利要求2所述的發(fā)明構(gòu)成是，一種由多個(gè)陶瓷薄片積層而成的薄片積層體的制造方法，其中將薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上識(shí)別薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置，再根據(jù)該位置信息定位薄片，之后，將下一個(gè)薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位該薄片后，積層到先定位的薄片的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后，重復(fù)這些操作臨時(shí)接合多個(gè)薄片，之后，將臨時(shí)接合的多個(gè)薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上加熱多個(gè)臨時(shí)接合狀態(tài)的薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，在積層臺(tái)上熱壓接薄片的期間，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位下一個(gè)薄片，積層該定位的薄片到先熱壓接的多個(gè)薄片上的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，重復(fù)該動(dòng)作，制造熱壓接多個(gè)薄片的薄片積層體。
權(quán)利要求3所述的發(fā)明構(gòu)成是，一種由多個(gè)陶瓷薄片積層而成的薄片積層體的制造方法，其中將多個(gè)薄片按照順序搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上，根據(jù)薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置信息定位薄片后，將該定位的薄片積層到先定位的臨時(shí)接合的薄片上的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后重復(fù)這些操作進(jìn)行多個(gè)薄片的臨時(shí)接合，之后將臨時(shí)接合狀態(tài)的多個(gè)薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上，加熱臨時(shí)接合狀態(tài)的多個(gè)薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，熱壓接多個(gè)薄片制造積層為一體的薄片積層體。
權(quán)利要求4所述的發(fā)明構(gòu)成是，在權(quán)利要求1到權(quán)利要求3的任何一項(xiàng)所述的發(fā)明中，在薄片的下面被吸附保持的狀態(tài)下搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上，在薄片的上面被吸附保持的狀態(tài)下定位，之后，將該定位的薄片積層到先定位的、其下面被吸附保持的薄片的上側(cè)，同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后在臨時(shí)接合的薄片的下面被吸附保持的狀態(tài)搬下運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上，對(duì)臨時(shí)接合狀態(tài)的薄片上下兩側(cè)加熱，同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接。
權(quán)利要求5到權(quán)利要求8所述的發(fā)明構(gòu)成是，在權(quán)利要求1到權(quán)利要求4分別所述的發(fā)明中，薄片是帶薄膜的薄片，在將該帶薄膜的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前將薄膜從薄片上剝離，在臨時(shí)接合臺(tái)，定位薄膜已被剝離狀態(tài)的薄片。
權(quán)利要求9到權(quán)利要求12所述的發(fā)明構(gòu)成是，在權(quán)利要求1到權(quán)利要求4分別所述的發(fā)明中，薄片是帶薄膜的薄片，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位帶薄膜的薄片，之后，將完成定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)以外，在臨時(shí)接合臺(tái)定位下一個(gè)薄片，為了將該定位的下一個(gè)薄片積層到先定位的薄片上，在將先定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前，將薄膜從先定位的薄片上剝離。
權(quán)利要求13所述的發(fā)明構(gòu)成是，一種由多個(gè)陶瓷薄片積層而成的薄片積層體的制造裝置，其具有將薄片一個(gè)一個(gè)搬入的搬入臺(tái)；積層被搬運(yùn)的薄片，然后臨時(shí)接合到上一個(gè)薄片的臨時(shí)接合臺(tái)；將臨時(shí)接合的薄片加熱的同時(shí)加壓，進(jìn)行熱壓接的積層臺(tái)；搬出熱壓接的薄片的搬出臺(tái)；設(shè)有具有可吸附保持薄片下面的第一升降臺(tái)、可在搬入臺(tái)和臨時(shí)接合臺(tái)之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第一搬運(yùn)裝置；具有可吸附保持薄片下面的第二升降臺(tái)、可在臨時(shí)接合臺(tái)和積層臺(tái)之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第二搬運(yùn)裝置；具有可保持薄片的保持手段、可在積層臺(tái)和搬出臺(tái)之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第三搬運(yùn)裝置；在臨時(shí)接合臺(tái)上設(shè)有可在薄片上面被吸附保持的狀態(tài)下根據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置信息定位薄片的對(duì)準(zhǔn)裝置和可將定位的薄片臨時(shí)接合到第二升降臺(tái)上的前面的薄片上面的臨時(shí)接合裝置；在積層臺(tái)上設(shè)有具有可加熱第二升降臺(tái)上的臨時(shí)接合的積層薄片的加熱裝置和可從上側(cè)加壓該積層薄片的加壓裝置。
權(quán)利要求14所述的發(fā)明構(gòu)成是，在權(quán)利要求13所述的發(fā)明中，搬入臺(tái)，臨時(shí)接合臺(tái)和積層臺(tái)按照順序配置成一列，在第一搬運(yùn)裝置上設(shè)有可在搬入臺(tái)和臨時(shí)接合臺(tái)之間往復(fù)引導(dǎo)第一升降臺(tái)的第一導(dǎo)軌，在第二搬運(yùn)裝置上設(shè)有可在臨時(shí)接合臺(tái)和積層臺(tái)之間往復(fù)引導(dǎo)第二升降臺(tái)的第二導(dǎo)軌，第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌由相同的直線(xiàn)型的導(dǎo)軌構(gòu)成。
權(quán)利要求15所述的發(fā)明構(gòu)成是，在權(quán)利要求13所述的發(fā)明中，在臨時(shí)接合臺(tái)上設(shè)有固定地支承著的支承部件；在對(duì)準(zhǔn)裝置中具有可在支承部件的水平面內(nèi)，向X方向，Y方向，旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)，設(shè)于對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上的可吸附保持薄片上面的吸附板，設(shè)于支承部件上的通過(guò)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)和吸附板的貫通孔識(shí)別薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置的可調(diào)整位置的照相機(jī)，以及設(shè)于支承部件上的根據(jù)來(lái)自照相機(jī)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置信息讓對(duì)準(zhǔn)臺(tái)在X方向，Y方向，旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)的控制裝置；在臨時(shí)接合裝置中，具有設(shè)于支承部件上、可通過(guò)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)和吸附板的貫通孔向著孔開(kāi)口部升降的加熱烙鐵。
權(quán)利要求16所述的發(fā)明構(gòu)成是，在權(quán)利要求13所述的發(fā)明中，在積層臺(tái)上設(shè)有固定地支承著的支承部件；在加壓裝置中具有使得活塞桿向支承部件下行的固定的油壓缸，可相對(duì)于支承部件升降地支承著的、與活塞桿連接的升降體，固定在升降體上、內(nèi)置有加熱器的上模，包圍上模的全部側(cè)面和上模的上方、可相對(duì)于升降體升降的抽吸箱，可從抽吸箱的內(nèi)部空間抽吸空氣的真空裝置；升降體下降的話(huà)，在下降途中，抽吸箱與第二升降臺(tái)靠接，使下降停止，同時(shí)氣密地封閉抽吸箱。
發(fā)明的效果由于權(quán)利要求1的發(fā)明的特征是將薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上識(shí)別薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置，再根據(jù)該位置信息定位薄片，之后，將下一個(gè)薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位該薄片后，積層到先定位的薄片的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后，將臨時(shí)接合的薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上加熱臨時(shí)接合狀態(tài)的薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，因此能正確定位的同時(shí)還能在維持該位置關(guān)系的狀態(tài)下進(jìn)行一體的積層，提高薄片積層體的積層精度和積層體的質(zhì)量。另外，由于其特征還包括在積層臺(tái)熱壓接薄片的期間，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位下一個(gè)薄片的位置，之后將定位的薄片積層到先熱壓接的薄片上的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后，將臨時(shí)接合的薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)進(jìn)行熱壓接，因此能同時(shí)并行處理定位(對(duì)準(zhǔn))薄片、進(jìn)行臨時(shí)接合的動(dòng)作以及加壓熱壓接的加壓動(dòng)作，縮短薄片積層體制造的流水時(shí)間，提高生產(chǎn)率。
由于權(quán)利要求2的發(fā)明特征是，將薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上識(shí)別薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志，再根據(jù)該位置信息定位薄片，之后，將下一個(gè)薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位該薄片后，積層到先定位的薄片的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后，重復(fù)這些操作臨時(shí)接合多個(gè)薄片，之后，將臨時(shí)接合的多個(gè)薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上加熱多個(gè)臨時(shí)接合狀態(tài)的薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，因此，能在正確定位多個(gè)薄片進(jìn)行積層的同時(shí)在保持該位置關(guān)系的狀態(tài)下進(jìn)行一體的接合，提高薄片積層體的積層精度。另外，由于其特征還包括在積層臺(tái)上熱壓接薄片的期間，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位下一個(gè)薄片，積層該定位的薄片到先熱壓接的多個(gè)薄片上的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，重復(fù)這些動(dòng)作，臨時(shí)接合多個(gè)薄片到熱壓接的薄片上，之后重復(fù)這些動(dòng)作，熱壓接多個(gè)薄片，制造積層為一體的的薄片積層體，因此能同時(shí)并行處理多個(gè)薄片的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作以及臨時(shí)接合和多個(gè)薄片的加壓及熱壓接的加壓動(dòng)作，縮短薄片積層體制造的流水時(shí)間，提高生產(chǎn)率。
由于權(quán)利要求3的發(fā)明特征是，將多個(gè)薄片按照順序搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上，根據(jù)薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置信息決定薄片的位置后，將該定位的薄片積層到先定位的臨時(shí)接合的薄片上的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后重復(fù)這些操作進(jìn)行多個(gè)薄片的臨時(shí)接合，之后將臨時(shí)接合狀態(tài)的多個(gè)薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上，加熱臨時(shí)接合狀態(tài)的多個(gè)薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，熱壓接多個(gè)薄片制造積層一體的薄片積層體，因此，能在正確定位多個(gè)薄片的同時(shí)在保持該位置關(guān)系的狀態(tài)下進(jìn)行一體的接合，提高薄片積層體的積層精度，另外，由于其特征還包括將臨時(shí)接合狀態(tài)的多個(gè)薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)上，在積層臺(tái)上，加熱臨時(shí)接合狀態(tài)的多個(gè)薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，制造薄片積層體，因此能同時(shí)并行處理多個(gè)薄片的臨時(shí)接合動(dòng)作和多個(gè)薄片的加壓動(dòng)作，縮短薄片積層體制造的流水時(shí)間，提高生產(chǎn)率。
根據(jù)權(quán)利要求4的發(fā)明，能將定位的薄片高效率地積層到位置保持狀態(tài)的薄片上面，并能正確地臨時(shí)接合，能高效率地制造薄片積層體。
根據(jù)權(quán)利要求5到權(quán)利要求8的發(fā)明，即使是帶薄膜的薄片，也能剝離該薄膜正確定位多個(gè)薄片進(jìn)行臨時(shí)接合，能提高薄片積層體的積層精度。
根據(jù)權(quán)利要求9到權(quán)利要求12的發(fā)明，在臨時(shí)接合臺(tái)上，為了定位下一個(gè)薄片并將其積層到先定位的薄片上，在將先定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前，將薄膜從薄片上剝離，因此，能以帶薄膜的薄片的狀態(tài)熱壓接先定位的薄片，通過(guò)薄膜能抑制薄片的熱變形以及壓制模型與薄片的黏著。
根據(jù)權(quán)利要求13的發(fā)明，能將薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)定位之后，積層到先定位的薄片的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，將臨時(shí)接合的薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)加熱的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，能機(jī)械化地制造將多個(gè)薄片積層為一體的薄片積層體。根據(jù)權(quán)利要求14的發(fā)明，能用簡(jiǎn)易的機(jī)械裝置高效率地將薄片搬入搬出臨時(shí)接合臺(tái)和積層臺(tái)。
根據(jù)權(quán)利要求15的發(fā)明，能吸附搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)上的薄片的上面并正確定位后，能容易地將該薄片臨時(shí)接合到其他的、下面被吸附的薄片上，能用簡(jiǎn)易的機(jī)械裝置高效率地進(jìn)行臨時(shí)接合。
根據(jù)權(quán)利要求16的發(fā)明，能在比大氣壓低的真空區(qū)域內(nèi)加熱及加壓然后熱壓接搬運(yùn)到積層臺(tái)上的多個(gè)積層薄片，即使快速加壓積層薄片，也能夠防止氣泡殘留在積層薄片的薄片之間，提高薄片積層體的制造效率。


圖1是表示薄片積層體制造裝置的正面的說(shuō)明圖。
圖2是表示從上往下看的狀態(tài)的薄片積層體制造裝置的俯視圖。
圖3是表示第一搬運(yùn)裝置和第二搬運(yùn)裝置的斜視立體圖。
圖4是表示從上往下看的狀態(tài)的對(duì)準(zhǔn)裝置的俯視圖。
圖5是表示對(duì)準(zhǔn)裝置的鉛直斷面的說(shuō)明圖。
圖6是表示加熱裝置，加壓裝置的設(shè)置部位的說(shuō)明圖。
1薄片2搬入臺(tái)3臨時(shí)接合臺(tái)4積層臺(tái)5搬出臺(tái)6第一搬運(yùn)裝置7第二搬運(yùn)裝置8第三搬運(yùn)裝置9第一升降臺(tái)10第二升降臺(tái)11保持手段12對(duì)準(zhǔn)裝置13臨時(shí)接合裝置14電熱烙鐵15加熱裝置薄片的搬入臺(tái)2，用于積層被搬運(yùn)的薄片然后臨時(shí)接合到前面的薄片的臨時(shí)接合臺(tái)3，用于加熱臨時(shí)接合的積層薄片的同時(shí)加壓然后熱壓接的積層臺(tái)4，以及用于搬出熱壓接的薄片積層體的搬出臺(tái)5。
此外，在積層裝置41的支承板42上，設(shè)有可在搬入臺(tái)2和臨時(shí)接合臺(tái)3之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第一搬運(yùn)裝置6，可在臨時(shí)接合臺(tái)3和積層臺(tái)4之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第二搬運(yùn)裝置7，可在積層臺(tái)4和搬出臺(tái)5之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第三搬運(yùn)裝置8。圖3是表示第一搬運(yùn)裝置6和第二搬運(yùn)裝置7的附圖，在第一搬運(yùn)裝置6上，設(shè)有可吸附保持陶瓷綠帶(以下，簡(jiǎn)稱(chēng)薄片)1的下面的第一升降臺(tái)9，在第二搬運(yùn)裝置7上，設(shè)有可同樣吸附保持薄片1的下面的第一升降臺(tái)10，另一方面，第三搬運(yùn)裝置8上，設(shè)有用于保持薄片的四個(gè)角將薄片從積層臺(tái)4搬出到搬出臺(tái)5的搬出操作臺(tái)5A上的保持手段11。
上述第一搬運(yùn)裝置6、第二搬運(yùn)裝置7具有與直線(xiàn)型平行配置的一對(duì)導(dǎo)軌17，配置在導(dǎo)軌17上的可滑動(dòng)的臺(tái)車(chē)6A，7A，以及在第一搬運(yùn)裝置6，第二搬運(yùn)裝置7的下側(cè)，與分別由固定在支承板42上的一對(duì)支承板18A，19A支承的導(dǎo)軌17平行配置、同時(shí)具有螺合在第一搬運(yùn)裝置6、第二搬運(yùn)裝置7上的臺(tái)車(chē)6A，7A上的螺軸18，19，以及連接固定配置在支承體42的端部的伺服馬達(dá)18B，19B。在第一搬運(yùn)裝置6的臺(tái)車(chē)6A和第二搬運(yùn)裝置7的臺(tái)車(chē)7A上，前后分別具有使第一升降臺(tái)9和第二升降臺(tái)10升降的一對(duì)升降氣缸9A，10A和引導(dǎo)第一升降臺(tái)9和第二升降臺(tái)10的升降的圖中未表示的引導(dǎo)手段。此外，第一搬運(yùn)裝置6的第一升降臺(tái)9上，前后附設(shè)有一對(duì)定位第一升降臺(tái)9上載有的薄片的定位氣缸9B，9C(圖2所示)。一個(gè)定位氣缸9B，使定位薄片的擋止器前后移動(dòng)，另一個(gè)的定位氣缸9C用于推壓薄片使之與擋止器靠接。此外，在第一升降臺(tái)9和第二升降臺(tái)10上，使用鑲嵌在金屬框等框內(nèi)的薄片時(shí)，內(nèi)置使金屬框等的4個(gè)角的部分升降的4個(gè)框升降氣缸(圖示省略)，在將薄片交到位于上方的后述的定位臺(tái)的吸附板上時(shí)提升金屬框，確保薄片交接到吸附板上。在支承臺(tái)42上，設(shè)有為了讓第二搬運(yùn)裝置7的臺(tái)車(chē)7A停在臨時(shí)接合臺(tái)3的正確位置的感應(yīng)器60。并且，在導(dǎo)軌17內(nèi)，螺軸18側(cè)的部分發(fā)揮在搬入臺(tái)
16加壓裝置20第一導(dǎo)軌21第二導(dǎo)軌23對(duì)準(zhǔn)臺(tái)24吸附板25照相機(jī)26控制裝置27孔開(kāi)口部28A框架(支承部件)29油壓缸30活塞桿31升降體32加熱器33上模34抽吸箱35真空裝置41積層裝置43支承部件具體實(shí)施方式

發(fā)明的最佳實(shí)施方式下面，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明涉及的薄片積層體的制造裝置及薄片積層體制造方法的一個(gè)實(shí)施方式。
圖1，圖2是表示薄片積層體的制造裝置的附圖，薄片積層體的制造裝置(以下，簡(jiǎn)稱(chēng)積層裝置)41按照順序排成一列，設(shè)有用于一個(gè)一個(gè)搬入2和臨時(shí)接合臺(tái)3之間往復(fù)引導(dǎo)第一升降臺(tái)9的第一導(dǎo)軌20的作用，螺軸19側(cè)的部分，發(fā)揮在臨時(shí)接合臺(tái)3和積層臺(tái)4之間往復(fù)引導(dǎo)第二升降臺(tái)10的第二導(dǎo)軌21的作用。
在臨時(shí)接合臺(tái)3上，支承板42上樹(shù)立設(shè)有4根支柱22，22……，支承部件43被水平地固定在各個(gè)支柱22的上端部分。并且，該支承部件(框架)43上，設(shè)有根據(jù)預(yù)先設(shè)置在薄片1上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置的相關(guān)信息定位薄片1的對(duì)準(zhǔn)裝置12。圖4，圖5是表示對(duì)準(zhǔn)裝置12的設(shè)置部位的附圖，對(duì)準(zhǔn)位置12具有固定在支承部件43的下面的中空的安裝基板12A，以及可在水平面內(nèi)移動(dòng)地安裝在安裝基板12A的下側(cè)的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)23。對(duì)準(zhǔn)臺(tái)23，如特開(kāi)2000-98631號(hào)公報(bào)所述，是設(shè)置在安裝基板12A上的歷來(lái)公知的機(jī)械裝置，可根據(jù)控制裝置26的指令，在水平面內(nèi)，可向X方向，Y方向，旋轉(zhuǎn)方向(θ方向)移動(dòng)。在支承部件43和安裝基板12A上面的中央部分，設(shè)有大的開(kāi)口部43C，12C。
還有，對(duì)準(zhǔn)臺(tái)23的中央部分具有一個(gè)大的開(kāi)口部23A，在其下面設(shè)有，堵住開(kāi)口部23A，吸附保持薄板的上面的吸附保持板24。在吸附保持板24上，除了在吸附其下面的薄板的區(qū)域的邊緣的位置，固定著與其持平的、由可進(jìn)行抽吸的多孔質(zhì)材料組成的大致呈方形的吸附板24A，在位于該吸附板24A的上側(cè)的內(nèi)部，設(shè)有抽吸室24B，在吸附保持板24的上面連接有用于進(jìn)行抽吸室24B的真空抽吸和真空破壞的多根抽吸管24C。另外，在吸附保持板24上，為了使用鑲嵌在多個(gè)金屬框內(nèi)的薄片，在抽吸薄板區(qū)域的側(cè)方向的多處埋設(shè)有可吸附金屬框的磁石24D，同時(shí)，為了使這些被磁石吸引的金屬框脫離向下配置有多個(gè)銷(xiāo)氣缸24E。此外，在吸附保持板24上，在吸附薄片區(qū)域的邊緣的一部分，穿設(shè)有4個(gè)貫通孔36，36……和用于后面所示的臨時(shí)接合的4個(gè)貫通孔26，26……。在各通孔36的內(nèi)部，分別設(shè)有用于識(shí)別在薄片1上所附的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志的照相機(jī)(電荷耦合(CCD)照相機(jī))25，25……，該照相機(jī)由安裝在支承部件43上面的支架25A所支承，可調(diào)整位置。
此外，在對(duì)準(zhǔn)臺(tái)23的上方，設(shè)有可將定位的薄片1臨時(shí)接合到前面定位的薄片的上面的臨時(shí)接合裝置13。并且，在臨時(shí)接合裝置13上，在安裝在支承部件43上面的支架13A上，作為臨時(shí)接合手段，安裝有4個(gè)可向下升降的電熱烙鐵14，14……。電熱烙鐵14，14……通過(guò)穿設(shè)在對(duì)準(zhǔn)臺(tái)23的開(kāi)口部23A及吸附保持板24上的通孔26，26……，可出入孔開(kāi)口部27。
另一方面，在積層臺(tái)4上，基板42上立設(shè)有4根支柱28，28……，支承部件(框架)28A被固定在這些支柱28的上端部。并且，在該支承部件28A上，具有可加熱第二升降臺(tái)9上的被臨時(shí)接合的積層薄片的加熱裝置15，并設(shè)有可從上側(cè)加壓加熱積層薄片的加壓裝置16。
圖6是表示加熱裝置15，加壓裝置16的設(shè)置部位的附圖，在加壓裝置16上具有活塞桿30向下、固定在支承部件28A上面的油壓缸29，可被固定在支承部件28A上的一對(duì)引導(dǎo)襯套28B，28B升降自由地引導(dǎo)的一對(duì)導(dǎo)向桿31A，和固定在導(dǎo)向桿31A的下端部同時(shí)與油壓缸29的活塞桿30相連的升降體31。并且，在升降體31上，內(nèi)置加熱體32的上模33通過(guò)支承體33A固定。
此外，在升降體31上，固定有引導(dǎo)左右的一對(duì)升降桿34A的一對(duì)導(dǎo)向襯套31B，在升降桿34A的下端部設(shè)有抽吸箱34，在降下的位置，包圍上模33的全部側(cè)面和上模33的上面。設(shè)置在抽吸箱34上壁的嵌合孔34B氣密地，可上下滑動(dòng)自由地嵌合在上模33的支承體33A上，抽吸箱34的下降被圖中未表示的擋止器所阻止。此外，抽吸箱34被管子35A連接到設(shè)置在基板42下側(cè)的真空裝置35上，能從內(nèi)部抽吸空氣制造真空和進(jìn)行真空破壞。并且，升降體31下降時(shí)，在下降的途中，抽吸箱34與第二升降臺(tái)9靠接，在阻止抽吸箱34下降的同時(shí)將其氣密地密封，保持抽吸箱34內(nèi)部的脫氣的狀態(tài)。第三搬運(yùn)裝置8具有相互平行地配置在積層臺(tái)4的側(cè)方的第三導(dǎo)軌44和空氣壓驅(qū)動(dòng)的無(wú)桿氣缸44A，第三導(dǎo)軌44引導(dǎo)的無(wú)桿氣缸44A使水平移動(dòng)的移動(dòng)體44B移動(dòng)積層臺(tái)4的第二搬運(yùn)裝置7的上方伸出的保持手段11。保持手段11具有通過(guò)空氣抽吸能吸附熱壓接的薄片積層體上面的吸附手段，此外，為了使用鑲嵌在金屬框等內(nèi)的薄片，保持手段11具有可通過(guò)設(shè)于第二升降臺(tái)10上的框升降氣缸，進(jìn)出剛處于上升狀態(tài)中的金屬框等的左右的邊緣部分的下方的扣合部件，抬起金屬框等的左右邊緣進(jìn)行搬運(yùn)。
下面，說(shuō)明一個(gè)使用如上構(gòu)成的積層裝置41的薄片積層體的制造方法的例子。下面的說(shuō)明涉及通過(guò)重復(fù)制造每一個(gè)薄片的一系列的薄片定位→臨時(shí)接合→熱壓接的動(dòng)作，最終積層需要個(gè)數(shù)(如，40個(gè))的薄片的薄片積層體的制造方法。
薄片1被切斷成所定大小的矩形，事先，通過(guò)印刷等形成所定的圖案，構(gòu)成電氣元件的材料膜(如，內(nèi)部電極)。此外，薄片1的四角印刷有定位用的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志。上述薄片1被搬運(yùn)到搬運(yùn)臺(tái)2，然后放置在第一搬運(yùn)裝置6上的第一升降臺(tái)9上。薄片1被放置在第一升降臺(tái)9上后，定位氣缸9B，9C即啟動(dòng)，將薄片1定位后，通過(guò)設(shè)在第一升降臺(tái)9的外周的抽吸孔(圖中未表示)的抽吸，薄片1的下面被固定在第一升降臺(tái)9上。并且，薄片1被放置在第一升降裝置9后，第一搬運(yùn)裝置6沿著第一導(dǎo)軌20被搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)3(向圖1的右側(cè)滑去)。第一搬運(yùn)裝置6的臺(tái)車(chē)6A的移動(dòng)位置被螺軸18的轉(zhuǎn)動(dòng)限制。
吸附保持如上所述的薄片1的第一搬運(yùn)裝置6通過(guò)滑動(dòng)搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)3后，升降氣缸9A即啟動(dòng)，第一升降臺(tái)9上升，通過(guò)設(shè)置在對(duì)準(zhǔn)裝置12的下端的吸附板24A和薄片1靠接(即，薄片1通過(guò)第一升降臺(tái)9和吸附板24A變成輕度被壓狀態(tài))。這樣，薄片1與吸附板24靠接，通過(guò)吸附板24A下面進(jìn)行的全部抽吸，薄片1的上面被固定在吸附板24A上。此外，同時(shí)，第一升降臺(tái)9停止抽吸薄片1，薄片1從第一升降臺(tái)交到吸附板24A。薄片1交到吸附板24A上后，第一升降臺(tái)即開(kāi)始下降到最下端的位置，同時(shí)，第一搬運(yùn)裝置6沿著第一導(dǎo)軌20，移動(dòng)到搬入臺(tái)2(向圖1的左側(cè)滑去)。
此外，薄片1交到吸附板24上后，內(nèi)置在吸附板24內(nèi)的照相機(jī)25，25……即識(shí)別薄片1上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志。并且按照該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志的位置信息，按照來(lái)自控制裝置26的指令，通過(guò)向X方向，Y方向，旋轉(zhuǎn)方向(θ方向)移動(dòng)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)23，將薄片1與吸附板24A一起定位在所定的位置。
另一方面，在定位如上所述的薄片1的期間，第二搬運(yùn)裝置7沿著第二導(dǎo)軌21移動(dòng)到臨時(shí)接合臺(tái)3，通過(guò)定位感應(yīng)器60在正確的位置停止(向圖1的左側(cè)滑動(dòng))。而第二搬運(yùn)裝置7的移動(dòng)被螺軸19的轉(zhuǎn)動(dòng)所限制。并且，第二搬運(yùn)裝置7搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)3后，第二升降臺(tái)10即上升，通過(guò)對(duì)準(zhǔn)裝置12的下端的吸附板24A和薄片1靠接(即，薄片1通過(guò)第二升降臺(tái)10和吸附板24A變成輕度被壓狀態(tài))。這樣，薄片1與第二升降臺(tái)靠接，通過(guò)從設(shè)在第二升降臺(tái)10的外周的抽吸孔(圖中未表示)進(jìn)行抽吸，薄片1的下面被固定在第二升降臺(tái)10上。此外，同時(shí)，吸附板24A停止抽吸薄片1，薄片1從吸附板24A交到第二升降臺(tái)10上。如上所述，薄片1在吸附板24A上已經(jīng)被定位，所以保持被定位的狀態(tài)，交到第二升降臺(tái)10上。薄片1交接到第二升降臺(tái)10上后，第二升降臺(tái)10朝著最下端的位置下降，同時(shí)，第二搬運(yùn)裝置7沿著第二導(dǎo)軌21向積層臺(tái)4移動(dòng)。
如上所述，第一個(gè)薄片1被定位，在被交到第二升降臺(tái)10的期間，第2個(gè)薄片(被切斷為所定矩形的薄片)1，被搬運(yùn)到搬入臺(tái)2，放置在第一搬運(yùn)裝置6上的第一升降臺(tái)9上，用與第一個(gè)薄片1同樣的方法，定位，抽吸固定，第二搬運(yùn)裝置7從臨時(shí)接合臺(tái)3向積層臺(tái)4移動(dòng)開(kāi)始后被搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)3。并且，用與第1個(gè)薄片相同的方法，交到吸附板24A上，定位。
如上所述，在定位第2個(gè)薄片1的期間，抽吸固定第1個(gè)薄片的第二搬運(yùn)裝置7，再次沿著第二導(dǎo)軌21移動(dòng)到臨時(shí)接合臺(tái)3(向圖1的左側(cè)滑動(dòng))。并且，第二搬運(yùn)裝置7向臨時(shí)接合臺(tái)3移動(dòng)后，就停止定位，第二升降臺(tái)10上升，通過(guò)第1個(gè)薄片1和第2個(gè)薄片1，與吸附板24A靠接(即，2個(gè)薄片1，1通過(guò)第二升降臺(tái)10和吸附板24A變成輕度被壓狀態(tài))。并且，這樣2個(gè)薄片1，1通過(guò)第二升降臺(tái)10和吸附板24A輕度被壓，臨時(shí)接合裝置13的加熱狀態(tài)的4個(gè)電熱烙鐵14，14……下降，在所定的位置(四個(gè)角)臨時(shí)接合2個(gè)薄片1，1(熱融接)。而2個(gè)薄片1，1如上所述，都已經(jīng)在吸附板24A上被定位，因此保持定位的狀態(tài)，進(jìn)行臨時(shí)接合。
這樣，2個(gè)薄片1，1被臨時(shí)接合后，就通過(guò)第二升降臺(tái)10的抽吸孔(圖中未表示)進(jìn)行抽吸，第1個(gè)薄片1的下面被固定在第二升降臺(tái)10上的同時(shí)，吸附板24A停止抽吸第2個(gè)薄片1，臨時(shí)接合的薄片1，1從吸附板24A交到第二升降臺(tái)10上。如上所述，2個(gè)薄片1，1以定位的狀態(tài)臨時(shí)接合，因此保持定位的狀態(tài)，交到第二升降臺(tái)10。
2個(gè)薄片1，1在被定位的狀態(tài)下交到第二升降臺(tái)10后，第二升降臺(tái)10開(kāi)始下降到最下端位置，同時(shí)，第二搬運(yùn)裝置7沿著第二導(dǎo)軌10移動(dòng)到積層臺(tái)4(向圖1的右側(cè)滑動(dòng))。第二搬運(yùn)裝置7搬運(yùn)到積層臺(tái)4后，通過(guò)加壓裝置16的油壓氣缸29的啟動(dòng)，設(shè)有加熱器23加熱的上模33和抽吸箱34的升降體31下降。并且，抽吸箱34的下端的正方形的邊緣通過(guò)與第二升降臺(tái)10的上面的靠接，抽吸箱34的內(nèi)部與外部被氣密地隔斷。為了提高抽吸箱34內(nèi)的氣密性，最好在抽吸箱34的下端附設(shè)密封材料。并且，在該狀態(tài)下，通過(guò)真空裝置35抽吸箱34內(nèi)的空氣。此外，如上所述，升降體31下降后，通過(guò)抽吸箱34與第二升降體10靠接后升降體的進(jìn)一步下降，通過(guò)加熱體32加熱的上模33下降，與第二升降體10靠接(通過(guò)抽吸固定在第二升降臺(tái)10上的臨時(shí)接合后的2個(gè)薄片1，1靠接)。之后，通過(guò)施加所定的壓力，2個(gè)薄片(臨時(shí)接合后的薄片)1，1被熱壓接(在保持定位的狀態(tài)下被熱壓接)。并且在2個(gè)薄片1，1被熱壓接后，即向抽吸箱34內(nèi)填充空氣，真空破壞之后，抽吸箱34和上模33上升到最上端的位置。
另一方面，在熱壓接第1個(gè)薄片和第2個(gè)薄片的期間，第3個(gè)薄片(被切斷成所定的矩形的薄片)1，被搬運(yùn)到搬入臺(tái)2，放置在第一搬運(yùn)裝置6上的第一升降臺(tái)9上，用與第1，2個(gè)薄片1同樣的方法，抽吸固定后搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)3。并且，用與第1，2個(gè)薄片1，1同樣的方法，交到吸附板24A上，對(duì)準(zhǔn)，定位。
此外，在定位第3個(gè)薄片1的期間，抽吸固定熱壓接的第1，2個(gè)薄片1，1的第二搬運(yùn)裝置7，再次沿著第二導(dǎo)軌21移動(dòng)到臨時(shí)接合臺(tái)3(向圖1的左側(cè)滑動(dòng))。并且，第二搬運(yùn)裝置7移動(dòng)到臨時(shí)接合臺(tái)3并定位后，第二升降臺(tái)10即上升，通過(guò)第1，2個(gè)薄片(熱壓接的薄片)1，1和第3個(gè)薄片1，與吸附板24A靠接。并且，這樣3個(gè)薄片1，1，1通過(guò)第二升降臺(tái)10和吸附板24A輕度被壓，通過(guò)臨時(shí)接合裝置13的加熱狀態(tài)的4個(gè)電熱烙鐵14，14……的下降，在所定的位置(四個(gè)角)臨時(shí)接合第1，2個(gè)薄片1，1和第3個(gè)薄片(熱融接)。而3個(gè)薄片1，1，1如上所述，都在吸附板24A上被定位，因此在保持定位的狀態(tài)下，進(jìn)行臨時(shí)接合。
這樣，3個(gè)薄片被臨時(shí)接合后，3個(gè)薄片1，1，1就從吸附板24A交到第二升降臺(tái)10上，第二升降臺(tái)10滑動(dòng)到積層臺(tái)4。并且，通過(guò)與熱壓接第1，2個(gè)薄片1，1時(shí)同樣的工程，在抽吸箱34的脫氣狀態(tài)下，通過(guò)被加熱的上模33，熱壓接3個(gè)薄片(臨時(shí)接合的3個(gè)薄片)1，1，1。
并且，通過(guò)反復(fù)進(jìn)行如上所述的所定次數(shù)的搬入→定位→臨時(shí)接合→熱壓接，最終形成積層需要的個(gè)數(shù)薄片1，1……的薄片積層體。之后，形成的積層體，由設(shè)置在第三搬運(yùn)裝置8上的保持手段11保持，從積層臺(tái)4搬出到搬出臺(tái)5。第三搬運(yùn)裝置8，和第一搬運(yùn)裝置6，第二搬運(yùn)裝置7一樣，由第三導(dǎo)軌44引導(dǎo)，可在積層臺(tái)4和搬出臺(tái)5之間移動(dòng)。
采用積層裝置41的上述薄片積層體的制造方法，能正確定位各個(gè)薄片1，1……并在進(jìn)行積層的同時(shí)在保持該位置關(guān)系的狀態(tài)下，一體地進(jìn)行積層，能提高薄片積層體的積層精度，提高薄片積層體的品質(zhì)。此外，能同時(shí)并行處理定位(對(duì)準(zhǔn))各個(gè)薄片1，1……并臨時(shí)接合的動(dòng)作和加壓，熱壓接薄片的加壓動(dòng)作，縮短薄片積層體制造的流水時(shí)間，因此具有很高的生產(chǎn)率。
此外，積層裝置41能在定位搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)3上的薄片1后，將其積層到前面定位的薄片1，同時(shí)，部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，搬運(yùn)臨時(shí)接合的薄片1到積層臺(tái)4并在加熱的同時(shí)加壓，進(jìn)行熱壓接，能機(jī)械地制造積層為一體的多個(gè)薄片1，1……的薄片積層體。
本發(fā)明的薄片積層體的制造方法及薄片積層體的積層裝置的構(gòu)成不限定于上述實(shí)施方式所述的方式，在不脫離搬入臺(tái)，臨時(shí)接合臺(tái)，積層臺(tái)，搬出臺(tái)，第一搬運(yùn)裝置，第二搬運(yùn)裝置，第三搬運(yùn)裝置，對(duì)準(zhǔn)裝置，臨時(shí)接合裝置，加熱裝置，加壓裝置，第一導(dǎo)軌，第二導(dǎo)軌，第三導(dǎo)軌等的形狀、構(gòu)造等結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，可進(jìn)行適應(yīng)需要的適合變更。
例如，本發(fā)明的薄片的積層方法，如上所述，不僅僅限于通過(guò)反復(fù)進(jìn)行每個(gè)薄片的定位→臨時(shí)接合→熱壓接，形成積層最終需要個(gè)數(shù)的薄片的積層體的方法，可變通為所定的個(gè)數(shù)(如10個(gè))一個(gè)一個(gè)的定位→反復(fù)進(jìn)行臨時(shí)接合形成薄片積層體(所定個(gè)數(shù)的積層體)后，熱壓接該臨時(shí)接合狀態(tài)的薄片積層體，之后通過(guò)反復(fù)進(jìn)行定位每個(gè)薄片和定位的薄片的上述熱壓接后的薄片積層體的臨時(shí)接合，熱壓接，形成積層最終的需要的個(gè)數(shù)的薄片的薄片積層體的方法。即使是采用上述的積層方法時(shí)，和上述實(shí)施方式的積層方法一樣，也能在正確定位多個(gè)薄片進(jìn)行積層的同時(shí)，在保持該位置關(guān)系的狀態(tài)下進(jìn)行一體的接合，能提高薄片積層體的積層精度。此外，能同時(shí)并行處理多個(gè)薄片的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作及臨時(shí)接合和加壓熱壓接多個(gè)薄片的加壓動(dòng)作，縮短薄片積層體制造的流水時(shí)間，提高其生產(chǎn)率。
此外，本發(fā)明的薄片的積層方法，可變通為反復(fù)進(jìn)行每個(gè)薄片的定位→臨時(shí)接合直到最終需要的個(gè)數(shù)，形成積層最終需要的個(gè)數(shù)的薄片積層體后，熱壓接該薄片積層體的積層方法。即使是采用上述的積層方法時(shí)，和上述實(shí)施方式的積層方法一樣，也能在正確定位多個(gè)薄片進(jìn)行積層的同時(shí)，在保持該位置關(guān)系的狀態(tài)下進(jìn)行一體的接合，能提高薄片積層體的積層精度。此外，能同時(shí)并行處理多個(gè)薄片的臨時(shí)接合動(dòng)作和多個(gè)薄片的加壓動(dòng)作，縮短薄片積層體制造的流水時(shí)間，提高其生產(chǎn)率。此外，在薄片是帶薄膜的薄片時(shí)，需要用特許第2727739號(hào)公報(bào)和特開(kāi)平8-244019號(hào)公報(bào)等公開(kāi)的公知的薄膜剝離手段，從薄片上剝離薄膜，但是在本發(fā)明中，在搬入臺(tái)和臨時(shí)接合臺(tái)之間設(shè)置了薄膜剝離手段，在帶薄膜的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前從薄片上剝離薄膜，在臨時(shí)接合臺(tái)定位剝離了薄膜狀態(tài)的薄片，因此可以防止薄膜剝離產(chǎn)生的薄片位置偏離。
此外，本發(fā)明的薄片的積層方法，也可是到將薄片搬入臨時(shí)接合臺(tái)，薄片是被保護(hù)用的薄膜覆蓋的帶薄膜的薄片，在臨時(shí)接合臺(tái)上，從薄片上剝離薄膜，定位剝離薄膜狀態(tài)的薄片的構(gòu)成。采用該構(gòu)成時(shí)，具有能防止薄片上沾上粉塵，制造電氣特性良好的薄片積層體的優(yōu)點(diǎn)。
此外，本發(fā)明的薄片的積層方法，也可是在臨時(shí)接合臺(tái)上，對(duì)帶薄膜的薄片狀態(tài)下的薄片進(jìn)行定位，之后將完成定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)外，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位下一個(gè)薄片，為了將該定位的下一個(gè)薄片積層到前面定位的薄片上，在將前面定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前，通過(guò)設(shè)置在臨時(shí)接合臺(tái)和積層臺(tái)之間的薄膜剝離手段從前面定位的薄片中剝離薄膜的構(gòu)成。這時(shí)，最好的是熱壓接帶薄膜狀態(tài)的薄片后，從熱壓接后的薄片中剝離薄膜，將該薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，可以抑制薄片熱壓接時(shí)的薄片熱變形和薄片與向壓制模型的黏著。
此外，積層裝置不僅僅限于設(shè)置識(shí)別對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志的4個(gè)照相機(jī)的裝置，也可設(shè)置3個(gè)以下的照相機(jī)，還可設(shè)置5個(gè)以上的照相機(jī)。此外，臨時(shí)接合的手段也不僅僅限于電熱烙鐵，也可用其他的手段，如超聲波焊接，震動(dòng)焊接，紅外線(xiàn)激光焊接等。超聲波焊接和震動(dòng)焊接時(shí)，可讓超聲波焊接機(jī)的振子和震動(dòng)焊接機(jī)的振子與電熱烙鐵一樣升降焊接積層薄片，紅外線(xiàn)激光焊接時(shí)可將紅外線(xiàn)激光焊接機(jī)的照射器固定設(shè)置在最佳位置，焊接積層薄片。
權(quán)利要求
1.一種由多個(gè)陶瓷薄片積層而成的薄片積層體的制造方法，其特征在于將薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上識(shí)別薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置，再根據(jù)該位置信息定位薄片，之后，將下一個(gè)薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位該薄片后，積層到先定位的薄片的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后，將臨時(shí)接合的薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上加熱臨時(shí)接合狀態(tài)的薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，在積層臺(tái)上熱壓接薄片的期間，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位下一個(gè)薄片的位置，之后將定位的薄片積層到先熱壓接的薄片上的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后，將臨時(shí)接合的薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)進(jìn)行熱壓接，之后反復(fù)進(jìn)行這些操作，熱壓接多個(gè)薄片，制造積層為一體的薄片積層體。
2.一種由多個(gè)陶瓷薄片積層而成的薄片積層體的制造方法，其特征在于將薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上識(shí)別薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置，再根據(jù)該位置信息定位薄片，之后，將下一個(gè)薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位該薄片后，積層到先定位的薄片的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后，重復(fù)這些操作臨時(shí)接合多個(gè)薄片，之后，將臨時(shí)接合的多個(gè)薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上加熱多個(gè)臨時(shí)接合狀態(tài)的薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，在積層臺(tái)上熱壓接薄片的期間，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位下一個(gè)薄片，積層該定位的薄片到先熱壓接的多個(gè)薄片上的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，重復(fù)該動(dòng)作，制造熱壓接多個(gè)薄片的薄片積層體。
3.一種由多個(gè)陶瓷薄片積層而成的薄片積層體的制造方法，其特征在于將多個(gè)薄片按照順序搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上，根據(jù)薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置信息定位薄片后，將該定位的薄片積層到先定位的臨時(shí)接合的薄片上的同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后重復(fù)這些操作進(jìn)行多個(gè)薄片的臨時(shí)接合，之后將臨時(shí)接合狀態(tài)的多個(gè)薄片搬運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上，加熱臨時(shí)接合狀態(tài)的多個(gè)薄片的同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接，熱壓接多個(gè)薄片制造積層為一體的薄片積層體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到權(quán)利要求3的任何一項(xiàng)所述的薄片積層體的制造方法，其特征在于，在薄片的下面被吸附保持的狀態(tài)下搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)，在臨時(shí)接合臺(tái)上，在薄片的上面被吸附保持的狀態(tài)下定位，之后，將該定位的薄片積層到先定位的、其下面被吸附保持的薄片的上側(cè)，同時(shí)部分加熱進(jìn)行臨時(shí)接合，之后在臨時(shí)接合的薄片的下面被吸附保持的狀態(tài)搬下運(yùn)到積層臺(tái)，在積層臺(tái)上，對(duì)臨時(shí)接合狀態(tài)的薄片上下兩側(cè)加熱，同時(shí)加壓進(jìn)行熱壓接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片積層體的制造方法，其特征在于，薄片是帶薄膜的薄片，在將該帶薄膜的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前將薄膜從薄片上剝離，在臨時(shí)接合臺(tái)，定位薄膜已被剝離狀態(tài)的薄片。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄片積層體的制造方法，其特征在于，薄片是帶薄膜的薄片，在將該帶薄膜的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前將薄膜從薄片上剝離，在臨時(shí)接合臺(tái)，定位薄膜已被剝離狀態(tài)的薄片。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄片積層體的制造方法，其特征在于，薄片是帶薄膜的薄片，在將該帶薄膜的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前將薄膜從薄片上剝離，在臨時(shí)接合臺(tái)，定位薄膜已被剝離狀態(tài)的薄片。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄片積層體的制造方法，其特征在于，薄片是帶薄膜的薄片，在將該帶薄膜的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前將薄膜從薄片上剝離，在臨時(shí)接合臺(tái)，定位薄膜已被剝離狀態(tài)的薄片。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片積層體的制造方法，其特征在于，薄片是帶薄膜的薄片，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位帶薄膜的薄片，之后，將完成定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)以外，在臨時(shí)接合臺(tái)定位下一個(gè)薄片，為了將該定位的下一個(gè)薄片積層到先定位的薄片上，在將先定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前，將薄膜從先定位的薄片上剝離。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄片積層體的制造方法，其特征在于，薄片是帶薄膜的薄片，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位帶薄膜的薄片，之后，將完成定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)以外，在臨時(shí)接合臺(tái)定位下一個(gè)薄片，為了將該定位的下一個(gè)薄片積層到先定位的薄片上，在將先定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前，將薄膜從先定位的薄片上剝離。
11.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄片積層體的制造方法，其特征在于，薄片是帶薄膜的薄片，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位帶薄膜的薄片，之后，將完成定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)以外，在臨時(shí)接合臺(tái)定位下一個(gè)薄片，為了將該定位的下一個(gè)薄片積層到先定位的薄片上，在將先定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前，將薄膜從先定位的薄片上剝離。
12.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄片積層體的制造方法，其特征在于，薄片是帶薄膜的薄片，在臨時(shí)接合臺(tái)上定位帶薄膜的薄片，之后，將完成定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)以外，在臨時(shí)接合臺(tái)定位下一個(gè)薄片，為了將該定位的下一個(gè)薄片積層到先定位的薄片上，在將先定位的薄片搬運(yùn)到臨時(shí)接合臺(tái)之前，將薄膜從先定位的薄片上剝離。
13.一種積層多個(gè)陶瓷薄片的薄片積層體的制造裝置，其特征在于其具有將薄片一個(gè)一個(gè)搬入的搬入臺(tái)；積層被搬運(yùn)的薄片，然后臨時(shí)接合到上一個(gè)薄片的臨時(shí)接合臺(tái)；將臨時(shí)接合的薄片加熱的同時(shí)加壓，進(jìn)行熱壓接的積層臺(tái)；搬出熱壓接的薄片的搬出臺(tái)；設(shè)有具有可吸附保持薄片下面的第一升降臺(tái)、可在搬入臺(tái)和臨時(shí)接合臺(tái)之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第一搬運(yùn)裝置；具有可吸附保持薄片下面的第二升降臺(tái)、可在臨時(shí)接合臺(tái)和積層臺(tái)之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第二搬運(yùn)裝置；具有可保持薄片的保持手段、可在積層臺(tái)和搬出臺(tái)之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第三搬運(yùn)裝置；在臨時(shí)接合臺(tái)上設(shè)有可在薄片上面被吸附保持的狀態(tài)下根據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置信息定位薄片的對(duì)準(zhǔn)裝置和可將定位的薄片臨時(shí)接合到第二升降臺(tái)上的前面的薄片上面的臨時(shí)接合裝置；在積層臺(tái)上設(shè)有具有可加熱第二升降臺(tái)上的臨時(shí)接合的積層薄片的加熱裝置和可從上側(cè)加壓該積層薄片的加壓裝置。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的薄片積層體的制造裝置，其特征在于，搬入臺(tái)，臨時(shí)接合臺(tái)和積層臺(tái)按照順序配置成一列，在第一搬運(yùn)裝置上設(shè)有可在搬入臺(tái)和臨時(shí)接合臺(tái)之間往復(fù)引導(dǎo)第一升降臺(tái)的第一導(dǎo)軌，在第二搬運(yùn)裝置上設(shè)有可在臨時(shí)接合臺(tái)和積層臺(tái)之間往復(fù)引導(dǎo)第二升降臺(tái)的第二導(dǎo)軌，第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌由相同的直線(xiàn)型的導(dǎo)軌構(gòu)成。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的薄片積層體的制造裝置，其特征在于，在臨時(shí)接合臺(tái)上設(shè)有固定地支承著的支承部件；在對(duì)準(zhǔn)裝置中具有可在支承部件的水平面內(nèi)，向X方向，Y方向，旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)，設(shè)于對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上的可吸附保持薄片上面的吸附板，設(shè)于支承部件上的通過(guò)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)和吸附板的貫通孔識(shí)別薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置的可調(diào)整位置的照相機(jī)，以及設(shè)于支承部件上的根據(jù)來(lái)自照相機(jī)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志位置信息讓對(duì)準(zhǔn)臺(tái)在X方向，Y方向，旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)的控制裝置；在臨時(shí)接合裝置中，具有設(shè)于支承部件上、可通過(guò)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)和吸附板的貫通孔向著孔開(kāi)口部升降的加熱烙鐵。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的薄片積層體的制造裝置，其特征在于，在積層臺(tái)上設(shè)有固定地支承著的支承部件；在加壓裝置中具有使得活塞桿向支承部件下行的固定的油壓缸，可相對(duì)于支承部件升降地支承著的、與活塞桿連接的升降體，固定在升降體上、內(nèi)置有加熱器的上模，包圍上模的全部側(cè)面和上模的上方、可相對(duì)于升降體升降的抽吸箱，可從抽吸箱的內(nèi)部空間抽吸空氣的真空裝置；升降體下降的話(huà)，在下降途中，抽吸箱與第二升降臺(tái)靠接，使下降停止，同時(shí)氣密地封閉抽吸箱。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能在高精度定位各個(gè)薄片的基礎(chǔ)上，短時(shí)間內(nèi)高效率地制成薄片積層體的薄片積層體的制造方法，同時(shí)，提供一種能高效率地制造薄片積層體的薄片積層體的制造裝置。薄片積層體的制造裝置(41)按照順序排成一列，設(shè)有一個(gè)一個(gè)搬入薄片的搬入臺(tái)(2)，積層被搬運(yùn)的薄片然后臨時(shí)接合到前面的薄片的臨時(shí)接合臺(tái)(3)，加熱臨時(shí)接合的積層薄片的同時(shí)加壓然后熱壓接的積層臺(tái)(4)，以及搬出熱壓接的薄片積層體的搬出臺(tái)(5)。在設(shè)置在臨時(shí)接合臺(tái)(3)上的對(duì)準(zhǔn)裝置(12)的下側(cè)的吸附板上，內(nèi)置有識(shí)別對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志的照相機(jī)以及臨時(shí)接合定位薄片的電熱烙鐵。
文檔編號(hào)B32B18/00GK1970291SQ2006101453
公開(kāi)日2007年5月30日 申請(qǐng)日期2006年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月25日
發(fā)明者水野浩明, 內(nèi)藤昭彥 申請(qǐng)人:豐和工業(yè)株式會(huì)社